專利名稱：共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)計(jì)制造領(lǐng)域，且特別涉及一種共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵 式閃存。
背景技術(shù)：
閃存以其便捷，存儲(chǔ)密度高，可靠性好等優(yōu)點(diǎn)成為非揮發(fā)性存儲(chǔ)器中研究的熱點(diǎn)。 從二十世紀(jì)八十年代第一個(gè)閃存產(chǎn)品問(wèn)世以來(lái)，隨著技術(shù)的發(fā)展和各類電子產(chǎn)品對(duì)存儲(chǔ)的 需求，閃存被廣泛用于手機(jī)，筆記本，掌上電腦和U盤等移動(dòng)和通訊設(shè)備中，閃存為一種非 易變性存儲(chǔ)器，其運(yùn)作原理是通過(guò)改變晶體管或存儲(chǔ)單元的臨界電壓來(lái)控制門極通道的開 關(guān)以達(dá)到存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的目的，使存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的數(shù)據(jù)不會(huì)因電源中斷而消失，而閃存為電 可擦除且可編程的只讀存儲(chǔ)器的一種特殊結(jié)構(gòu)。如今閃存已經(jīng)占據(jù)了非揮發(fā)性半導(dǎo)體存儲(chǔ) 器的大部分市場(chǎng)份額，成為發(fā)展最快的非揮發(fā)性半導(dǎo)體存儲(chǔ)器。然而現(xiàn)有的閃存在邁向更高存儲(chǔ)密度的時(shí)候，由于受到編程電壓的限制，通過(guò)縮 小器件尺寸來(lái)提高存儲(chǔ)密度將會(huì)面臨很大的挑戰(zhàn)，因而研制高存儲(chǔ)密度的閃存是閃存技術(shù) 發(fā)展的重要推動(dòng)力。傳統(tǒng)的閃存在邁向更高存儲(chǔ)密度的時(shí)候，由于受到結(jié)構(gòu)的限制，實(shí)現(xiàn)器 件的編程電壓進(jìn)一步減小將會(huì)面臨著很大的挑戰(zhàn)。一般而言，閃存為分柵結(jié)構(gòu)或堆疊柵結(jié)構(gòu)或兩種結(jié)構(gòu)的組合。分柵式閃存由于其 特殊的結(jié)構(gòu)，相比堆疊柵閃存在編程和擦除的時(shí)候都體現(xiàn)出其獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì)，因此分柵 式結(jié)構(gòu)由于具有高的編程效率，字線的結(jié)構(gòu)可以避免“過(guò)擦除”等優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)用尤為廣泛。但 是由于分柵式閃存相對(duì)于堆疊柵閃存多了一個(gè)字線從而使得芯片的面積也會(huì)增加，因此如 何在提高芯片性能的同時(shí)進(jìn)一步減小芯片的尺寸是亟需解決的問(wèn)題。同時(shí)，隨著存儲(chǔ)器件尺寸不斷縮小和存儲(chǔ)密度的不斷上升，形成于內(nèi)層介電層中 的接觸孔的尺寸也會(huì)變得更小，然而該內(nèi)層介電層必須保持合理的厚度，使得該接觸孔需 要保持相當(dāng)大的深寬比(深度/寬度)，從而使得半導(dǎo)體襯底上的接觸點(diǎn)占據(jù)整個(gè)存儲(chǔ)單元 面積相當(dāng)大的比率，成為制約存儲(chǔ)器件尺寸和存儲(chǔ)密度進(jìn)一步發(fā)展的重要因素。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出一種共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其得到的閃存器件能夠在 保持芯片的電學(xué)隔離性能不變的情況下，有效地縮小芯片的面積，同時(shí)也可以避免過(guò)擦除 的問(wèn)題。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提出一種共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，包 括半導(dǎo)體襯底，其上具有間隔設(shè)置的源極區(qū)域和漏極區(qū)域；溝道區(qū)，位于所述源極區(qū)域和漏極區(qū)域之間；第一位線和第二位線，分別連接于所述源極區(qū)域和漏極區(qū)域；納米晶存儲(chǔ)單元，位于所述溝道區(qū)上方；
字線，位于所述納米晶存儲(chǔ)單元上方，所述字線兩側(cè)具有弧形結(jié)構(gòu)延伸至所述第一位線和第二位線上方，并通過(guò)絕緣層與所述第一位線和第二位線頂部相隔離；第一控制柵和第二控制柵，分別設(shè)置于所述納米晶存儲(chǔ)單元和字線兩側(cè)，其中，所述納米晶存儲(chǔ)單元包括第一存儲(chǔ)單元和第二存儲(chǔ)單元，所述第一存儲(chǔ)單元鄰近第一控制 柵，所述第二存儲(chǔ)單元鄰近第二控制柵。進(jìn)一步的，分別對(duì)所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加第一存儲(chǔ)位單元讀取電壓，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元讀取。進(jìn)一步的，對(duì)所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加的第一存儲(chǔ)位單元讀取電壓分別為2. 5V、2V、4V、0V和0. 8V，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位 單元讀取。進(jìn)一步的，分別對(duì)所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加第二存儲(chǔ)位單元讀取電壓，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位單元讀取。
進(jìn)一步的，對(duì)所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述 第二位線施加的第二存儲(chǔ)位單元讀取電壓分別為2. 5V、4V、2V、0. 8V和0V，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位 單元讀取。進(jìn)一步的，分別對(duì)所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和 所述第二位線施加第一存儲(chǔ)位單元編程電壓，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元編程。進(jìn)一步的，對(duì)所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述 第二位線施加的第一存儲(chǔ)位單元編程電壓分別為1. 4V、8V、5V、0V和5V，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單 元編程。進(jìn)一步的，分別對(duì)所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和 所述第二位線施加第二存儲(chǔ)位單元編程電壓，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位單元編程。進(jìn)一步的，對(duì)所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述 第二位線施加的第二存儲(chǔ)位單元編程電壓分別為1. 4V、5V、8V、5V和0V，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位單 元編程。進(jìn)一步的，分別對(duì)所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和 所述第二位線施加存儲(chǔ)位單元擦除電壓，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元和第二存儲(chǔ)位單元擦除。進(jìn)一步的，對(duì)所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述 第二位線施加的存儲(chǔ)位單元擦除電壓分別為0V、10. 5V、10. 5V、10. 5V和10. 5V，實(shí)現(xiàn)第一存 儲(chǔ)位單元和第二存儲(chǔ)位單元擦除。本發(fā)明提出的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，得到的閃存器件將兩個(gè)存儲(chǔ) 位單元共享使用一個(gè)字線，通過(guò)對(duì)字線、第一控制柵、第二控制柵、第一位線和第二位線施 加不同的工作電壓實(shí)現(xiàn)對(duì)存儲(chǔ)位單元的讀取、編程和擦除，共享位線的結(jié)構(gòu)使得分柵式閃 存其能夠在保持芯片的電學(xué)隔離性能不變的情況下，有效地縮小芯片的面積，同時(shí)也可以 避免過(guò)擦除的問(wèn)題。同時(shí)采用無(wú)觸點(diǎn)的設(shè)計(jì)，使得閃存器件具有尺寸小，工藝與CMOS傳統(tǒng) 工藝兼容的特點(diǎn)，有利于器件尺寸進(jìn)一步縮小。


圖1所示為本發(fā)明較佳實(shí)施例的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為了更了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉具體實(shí)施例并配合所附圖式說(shuō)明如下。本發(fā)明提出一種共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其得到的閃存器件能夠在 保持芯片的電學(xué)隔離性能不變的情況下，有效地縮小芯片的面積，同時(shí)也可以避免過(guò)擦除 的問(wèn)題。請(qǐng)參考圖1，圖1所示為本發(fā)明較佳實(shí)施例的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃 存結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明提出一種共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，包括半導(dǎo)體襯底 10，其上具有間隔設(shè)置的源極區(qū)域11和漏極區(qū)域12 ；溝道區(qū)13，位于所述源極區(qū)域11和漏 極區(qū)域12之間；第一位線21和第二位線22，分別連接于所述源極區(qū)域11和漏極區(qū)域12 ； 納米晶存儲(chǔ)單元30，位于所述溝道區(qū)13上方；字線50，位于所述納米晶存儲(chǔ)單元30上方， 所述字線50兩側(cè)具有弧形結(jié)構(gòu)51、52延伸至所述第一位線21和第二位線22上方，并通過(guò) 絕緣層61、62與所述第一位線21和第二位線22頂部相隔離；第一控制柵41和第二控制柵 42，分別設(shè)置于所述納米晶存儲(chǔ)單元30和字線50兩側(cè)，其中，所述納米晶存儲(chǔ)單元30包括 第一存儲(chǔ)單元31和第二存儲(chǔ)單元32，所述第一存儲(chǔ)單元31鄰近第一控制柵41，所述第二 存儲(chǔ)單元32鄰近第二控制柵42。根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例，本發(fā)明的第一位線21和第二位線22，分別直接連接于所 述源極區(qū)域11和漏極區(qū)域12，而不需要通過(guò)制作接觸孔在半導(dǎo)體襯底10上形成接觸點(diǎn)的 方式連接，具有無(wú)接觸點(diǎn)的設(shè)計(jì)，使得閃存器件具有更小的尺寸，有利于器件尺寸進(jìn)一步縮 小。本發(fā)明較佳實(shí)施例中，溝道13內(nèi)有電流在源極區(qū)域11和漏極區(qū)域12之間流動(dòng)， 所述第一存儲(chǔ)位單元31和第二存儲(chǔ)位單元32有無(wú)電荷存儲(chǔ)會(huì)影響溝道13內(nèi)電流大小，當(dāng) 所述第一存儲(chǔ)位單元31和第二存儲(chǔ)位單元32有電荷時(shí)，溝道13內(nèi)電流很小，反之當(dāng)所述 第一存儲(chǔ)位單元31和第二存儲(chǔ)位單元32無(wú)電荷時(shí)，溝道13內(nèi)電流很大，設(shè)定溝道13內(nèi)小 電流狀態(tài)為“0”，設(shè)定溝道130內(nèi)大電流狀態(tài)為“1”，這樣所述第一存儲(chǔ)位單元31和第二存 儲(chǔ)位單元32有無(wú)電荷存儲(chǔ)的狀態(tài)可以作為區(qū)分存儲(chǔ)“0”或“1”信息狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位 單元31和第二存儲(chǔ)位單元32信息存儲(chǔ)讀取的功能。根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例，分別對(duì)所述字線50、所述第一控制柵41、所述第二控制 柵42、所述第一位線21和所述第二位線22施加第一存儲(chǔ)位單元讀取電壓，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位 單元讀取。進(jìn)一步的，對(duì)所述字線50、所述第一控制柵41、所述第二控制柵42、所述第一位線 21和所述第二位線22施加的第一存儲(chǔ)位單元讀取電壓分別為2. 5V、2V、4V、0V和0. 8V，實(shí)
現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元讀取。根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例，分別對(duì)所述字線50、所述第一控制柵41、所述第二控制柵42、所述第一位線21和所述第二位線22施加第二存儲(chǔ)位單元讀取電壓，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位 單元讀取。進(jìn)一步的，對(duì)所述字線50、所述第一控制柵41、所述第二控制柵42、所述第一位線 21和所述第二位線22施加的第二存儲(chǔ)位單元讀取電壓分別為2. 5V、4V、2V、0. 8V和0V，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位單元讀取。當(dāng)源極區(qū)域11和漏極區(qū)域12之間的源_漏極電壓足夠高，足以導(dǎo)致某些高能電 子越過(guò)絕緣介電層，并進(jìn)入絕緣介電層上的儲(chǔ)位單元，這種過(guò)程稱為熱電子注入。而所述絕 緣介電層的成分為硅的氧化物或者硅的氮化物，如二氧化硅或者氮化硅等材料，其位于半 導(dǎo)體襯底10和所述第一存儲(chǔ)位單元31和第二存儲(chǔ)位單元32之間。根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例，分別所述字線50、所述第一控制柵41、所述第二控制柵 42、所述第一位線21和所述第二位線22施加第一存儲(chǔ)位單元編程電壓，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單 元編程。本發(fā)明較佳實(shí)施例中，在施加編程工作電壓后，溝道13內(nèi)有電子從漏極區(qū)域12流 到源極區(qū)域11，部分電子通過(guò)熱電子注入方式注入到所述第一存儲(chǔ)位單元31中，實(shí)現(xiàn)第一 存儲(chǔ)位單元的編程操作。進(jìn)一步的，對(duì)所述字線50、所述第一控制柵41、所述第二控制柵42、所述第一位線 21和所述第二位線22施加的第一存儲(chǔ)位單元編程電壓分別為1.4V、8V、5V、0V和5V，實(shí)現(xiàn)
第一存儲(chǔ)位單元編程。根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例，分別對(duì)所述字線50、所述第一控制柵41、所述第二控制 柵42、所述第一位線21和所述第二位線22施加第二存儲(chǔ)位單元編程電壓，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位 單元編程。本發(fā)明較佳實(shí)施例中，在施加編程工作電壓后，溝道13內(nèi)有電子從源極區(qū)域11 流到漏極區(qū)域12，部分電子通過(guò)熱電子注入方式注入到第二存儲(chǔ)位單元32中，實(shí)現(xiàn)第二存 儲(chǔ)位單元的編程操作。進(jìn)一步的，對(duì)所述字線50、所述第一控制柵41、所述第二控制柵42、所述第一位線 21和所述第二位線22施加的第二存儲(chǔ)位單元編程電壓分別為1. 4V、5V、8V、5V和0V，實(shí)現(xiàn)
第二存儲(chǔ)位單元編程。根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例，分別對(duì)所述字線50、所述第一控制柵41、所述第二控制 柵42、所述第一位線21和所述第二位線22施加存儲(chǔ)位單元擦除電壓，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元 和第二存儲(chǔ)位單元擦除。在該施加工作電壓條件下，存儲(chǔ)在所述第一存儲(chǔ)位單元31和第二 存儲(chǔ)位單元32的電子在高電場(chǎng)下FN(Fowler-Nordheim)隧穿到半導(dǎo)體襯底10端，通過(guò)半 導(dǎo)體襯底10端流走，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元31和第二存儲(chǔ)位單元32的擦除操作。進(jìn)一步的對(duì)所述字線50、所述第一控制柵41、所述第二控制柵42、所述第一位 線21和所述第二位線22施加的存儲(chǔ)位單元擦除電壓分別為0V、10. 5V、10. 5V、10. 5V和 10. 5V，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元和第二存儲(chǔ)位單元擦除。本發(fā)明提出的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，得到的閃存器件將兩個(gè)存儲(chǔ) 位單元共享使用一個(gè)字線，通過(guò)對(duì)字線、第一控制柵、第二控制柵、第一位線和第二位線施 加不同的工作電壓實(shí)現(xiàn)對(duì)存儲(chǔ)位單元的讀取、編程和擦除，共享位線的結(jié)構(gòu)使得分柵式閃 存其能夠在保持芯片的電學(xué)隔離性能不變的情況下，有效地縮小芯片的面積，同時(shí)也可以 避免過(guò)擦除的問(wèn)題。同時(shí)采用無(wú)觸點(diǎn)的設(shè)計(jì)，使得閃存器件具有尺寸小，工藝與CMOS傳統(tǒng) 工藝兼容的特點(diǎn)，有利于器件尺寸進(jìn)一步縮小。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾。因 此，本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，包括半導(dǎo)體襯底，其上具有間隔設(shè)置的源極區(qū)域和漏極區(qū)域；溝道區(qū)，位于所述源極區(qū)域和漏極區(qū)域之間；第一位線和第二位線，分別連接于所述源極區(qū)域和漏極區(qū)域；納米晶存儲(chǔ)單元，位于所述溝道區(qū)上方；字線，位于所述納米晶存儲(chǔ)單元上方，所述字線兩側(cè)具有弧形結(jié)構(gòu)延伸至所述第一位線和第二位線上方，并通過(guò)絕緣層與所述第一位線和第二位線頂部相隔離；第一控制柵和第二控制柵，分別設(shè)置于所述納米晶存儲(chǔ)單元和字線兩側(cè)，其中，所述納米晶存儲(chǔ)單元包括第一存儲(chǔ)單元和第二存儲(chǔ)單元，所述第一存儲(chǔ)單元鄰近第一控制柵，所述第二存儲(chǔ)單元鄰近第二控制柵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，分別對(duì) 所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加第一存儲(chǔ) 位單元讀取電壓，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元讀取。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，對(duì)所述 字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加的第一存儲(chǔ)位 單元讀取電壓分別為2. 5V、2V、4V、0V和0. 8V，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元讀取。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，分別對(duì) 所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加第二存儲(chǔ) 位單元讀取電壓，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位單元讀取。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，對(duì)所述 字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加的第二存儲(chǔ)位 單元讀取電壓分別為2. 5V、4V、2V、0. 8V和0V，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位單元讀取。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，分別對(duì) 所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加第一存儲(chǔ) 位單元編程電壓，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元編程。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，對(duì)所述 字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加的第一存儲(chǔ)位 單元編程電壓分別為1. 4V、8V、5V、0V和5V，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元編程。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，分別對(duì) 所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加第二存儲(chǔ) 位單元編程電壓，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位單元編程。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，對(duì)所述 字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加的第二存儲(chǔ)位 單元編程電壓分別為1. 4V、5V、8V、5V和0V，實(shí)現(xiàn)第二存儲(chǔ)位單元編程。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，分別對(duì) 所述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加存儲(chǔ)位單 元擦除電壓，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元和第二存儲(chǔ)位單元擦除。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，其特征在于，對(duì)所 述字線、所述第一控制柵、所述第二控制柵、所述第一位線和所述第二位線施加的存儲(chǔ)位單元擦除電壓分別為0V、10. 5V、10. 5V、10. 5V和10. 5V，實(shí)現(xiàn)第一存儲(chǔ)位單元和第二存儲(chǔ)位單元擦除。
全文摘要
本發(fā)明提出的共享字線的無(wú)觸點(diǎn)納米晶分柵式閃存，得到的閃存器件將兩個(gè)存儲(chǔ)位單元共享使用一個(gè)字線，通過(guò)對(duì)字線、第一控制柵、第二控制柵、第一位線和第二位線施加不同的工作電壓實(shí)現(xiàn)對(duì)存儲(chǔ)位單元的讀取、編程和擦除，共享位線的結(jié)構(gòu)使得分柵式閃存其能夠在保持芯片的電學(xué)隔離性能不變的情況下，有效地縮小芯片的面積，同時(shí)也可以避免過(guò)擦除的問(wèn)題。同時(shí)采用無(wú)觸點(diǎn)的設(shè)計(jì)，使得閃存器件具有尺寸小，工藝與CMOS傳統(tǒng)工藝兼容的特點(diǎn)，有利于器件尺寸進(jìn)一步縮小。
文檔編號(hào)H01L27/115GK101819978SQ201010164918
公開日2010年9月1日 申請(qǐng)日期2010年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月29日
發(fā)明者曹子貴 申請(qǐng)人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司