專利名稱：微型連接器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有微細(xì)的觸點(diǎn)構(gòu)造的微型連接器。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的連接器的觸點(diǎn)往往采用使用了彈簧材料的彈簧板的壓機(jī)沖裁的方法。就機(jī) 械加工而言，觸點(diǎn)的尺寸可以認(rèn)為0. 2mm左右為極限。另一方面，在半導(dǎo)體裝置的連接接口 構(gòu)造中，已實(shí)現(xiàn)0. Imm以下的構(gòu)造。但是，半導(dǎo)體裝置的連接接口并不以高穩(wěn)定性地反復(fù)拆 裝為目標(biāo)。近年來，在電子設(shè)備的小型化的進(jìn)程中，連接器的小型化也得到進(jìn)展。伴隨著連接 器的小型化，必須以0. 2mm以下的尺寸及間距來配置的微細(xì)的觸點(diǎn)部。在形成這種觸點(diǎn)部 的場合，就加工精度接近極限的機(jī)械加工而言，高精度的加工是困難的，而且制造的合格率 降低使制造成本增加。作為形成微細(xì)的觸點(diǎn)部的方法，已知的有采用電鑄法或電鍍法而形成金屬圖案的 方法，或者使用導(dǎo)電性微粒子來形成導(dǎo)電圖案的方法等。在用這些方法形成的觸點(diǎn)中，因在 表面形成氧化膜而成為具有凹凸的表面。為了穩(wěn)定地得到接觸電阻低的連接，當(dāng)施加壓力 而使觸點(diǎn)彼此滑動就使氧化膜破壞，要加上恒定的負(fù)荷就要增加觸點(diǎn)彼此的接觸面積。但是，就由金屬圖案和導(dǎo)電圖案構(gòu)成的微細(xì)觸點(diǎn)而言，要確保彈性系數(shù)是困難的， 因而難于得到觸點(diǎn)的穩(wěn)定的接觸。另外，若為了確保觸點(diǎn)部的接觸而增加推壓力，則產(chǎn)生因 觸點(diǎn)表面的磨損導(dǎo)致的微小的變形以及由磨損粉末引起的短路等問題。這樣，對微細(xì)的觸 點(diǎn)部施加負(fù)荷等形成的壓力就成為問題。在基板的厚度方向取向并形成耐磨性優(yōu)良并具有高導(dǎo)電系數(shù)的碳納米管(CNT) 并作為觸點(diǎn)使用的連接器已見諸于報告(參照專利文獻(xiàn)1 日本特開2009-7461號公報及 專利文獻(xiàn)2 日本特開2007-287375號公報)。由多個CNT構(gòu)成的束(CNT束)為確保觸點(diǎn) 部的接觸而使前端部從基板表面突出。若使CNT束推壓金屬電極并與其接觸，則產(chǎn)生CNT 束的分散。這種情況，由于一部分CNT向外側(cè)散開或縱向彎曲而存在產(chǎn)生與鄰接的觸點(diǎn)等 接觸的危險，有可能妨礙窄間距化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可以高穩(wěn)定性地反復(fù)接觸，能實(shí)現(xiàn)小型化的微型連接
ο為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的第一方案，提供一種微型連接器，用于連接設(shè)置 了多個第一凹部的絕緣性的第一基板和設(shè)置了多個第二凹部的絕緣性的第二基板之間，該 多個第一凹部在各自的底面配置有多個第一導(dǎo)電部，該多個第二凹部在各自的底面配置有 多個第二導(dǎo)電部；該微型連接器的特征是，具備第一連接部件和第二連接部件，該第一連接 部件與多個第一凹部對應(yīng)地具有多個第一觸點(diǎn)，該第一觸點(diǎn)由將一端與第一導(dǎo)電部連接、 而另一端從第一基板的表面突出的多個第一碳納米管的束構(gòu)成；該第二連接部件與多個第
4二凹部對應(yīng)地具有多個第二觸點(diǎn)，該第二觸點(diǎn)由將一端連接在第二導(dǎo)電部的多個第二碳納 米管的束構(gòu)成；通過將多個第一碳納米管的各自的另一端插入到多個第二碳納米管的各自 的另一端之間并以相互重疊的方式接觸，從而多個第一觸點(diǎn)分別與對應(yīng)的多個第二觸點(diǎn)接 觸。根據(jù)本發(fā)明的第二方案，提供一種微型連接器，用于連接設(shè)置了多個第一凹部的 絕緣性的第一基板和設(shè)置了多個第二凹部的絕緣性的第二基板之間，該多個第一凹部在各 自的底面配置有多個第一導(dǎo)電部，該多個第二凹部在各自的底面配置有多個第二導(dǎo)電部， 該微型連接器的特征是，具備第一連接部件和第二連接部件，該第一連接部件與多個第一 凹部對應(yīng)地具有多個第一觸點(diǎn)，該第一觸點(diǎn)由將一端與第一導(dǎo)電部連接、而另一端從第一 基板的表面突出的多個第一碳納米管的束構(gòu)成；該第二連接部件與多個第二凹部對應(yīng)地具 有多個第二觸點(diǎn)，該第二觸點(diǎn)由將一端連接在第二導(dǎo)電部的多個第二碳納米管的束構(gòu)成； 多個第一碳納米管與多個第二碳納米管的面密度相互不同，通過將多個第一及第二碳納米 管的一方的面密度高的碳納米管的另一端插入到另一方的面密度低的碳納米管的各個的 另一端的間隙中，使面密度低的碳納米管的各個與面密度高的碳納米管的一部分重疊而接 觸，從而使多個第一觸點(diǎn)分別與對應(yīng)的多個第二觸點(diǎn)接觸。本發(fā)明的效果是，根據(jù)本發(fā)明，能提供一種可以高穩(wěn)定性地反復(fù)接觸，能實(shí)現(xiàn)小型 化的微型連接器。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的微型連接器的一個例子的立體圖。圖2是表示圖1所示的微型連接器的A-A斷面的簡圖。圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的微型連接器的接觸的一個例子的剖面簡圖。圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的微型連接器的CNT的剖面簡圖。圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的微型連接器的滑動的一個例子的剖面簡圖。圖6是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的微型連接器的其它例子的剖面簡圖。圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的微型連接器的其它例子的剖面簡圖。圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的微型連接器的其它例子的剖面簡圖。圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的微型連接器的其它例子的俯視簡圖。圖10是表示本發(fā)明的其它實(shí)施方式的微型連接器的一個例子的俯視簡圖。圖中2-第一碳納米管(CNT)，4-第二碳納米管(CNT)，10-第一連接部件，11-第一基 板，12-CNT束，14-第一導(dǎo)電部，16-第一觸點(diǎn)，17-前端部，20-第二連接部件，21-第二基 板，22-CNT束，24-第二導(dǎo)電部，26-第二觸點(diǎn)，30-引導(dǎo)部，32-表面層。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。在下面對附圖的記載中，對于相同或類似 的部分標(biāo)上相同或類似的標(biāo)號。但是，應(yīng)當(dāng)注意的是，附圖只是示意圖，厚度與平面尺寸的 關(guān)系、各層的厚度的比例等與實(shí)際的狀況不同。因此，具體的厚度及尺寸應(yīng)根據(jù)以下的說明 進(jìn)行判斷。當(dāng)然，在附圖相互之間也包含相互的尺寸關(guān)系及比例不同的部分。
另外，以下所示的本發(fā)明的實(shí)施方式只是以例子表示為將本發(fā)明的技術(shù)思想具體 化的裝置及方法，但本發(fā)明的技術(shù)思想并不將構(gòu)成零部件的材質(zhì)、形狀、構(gòu)造、配置等特別 限定于下述的內(nèi)容。本發(fā)明的技術(shù)思想只要在保護(hù)范圍內(nèi)可以進(jìn)行種種變更。本發(fā)明的實(shí)施方式的微型連接器如圖1所示，具有第一連接部件10和第二連接部 件20。第一連接部件10具有第一基板11及從第一基板11的一端延伸到另一端的多個 第一觸點(diǎn)16a、16b、16c、. · ·。第一觸點(diǎn)16a、16b、16c在與第一觸點(diǎn)16a、16b、16c的延伸方 向正交的方向上以寬度Wa、間距P進(jìn)行排列。第二連接部件20具有第二基板21及從第 二基板21的一端延伸到另一端的多個第二觸點(diǎn)26a、26b、26c、...。第二觸點(diǎn)26a、26b、26c 在與第二觸點(diǎn)26a、26b、26c的延伸方向正交的方向上以寬度Wb、間距P進(jìn)行排列。第一觸點(diǎn)16a的表面與第二觸點(diǎn)26a的表面相對。同樣，第一觸點(diǎn)16b、16c各自 的表面與第二觸點(diǎn)26b、26c各自的表面相對。使第一連接部件10和第二連接部件20重合 時，第一觸點(diǎn)16a、16b、16c分別與第二觸點(diǎn)26a、26b、26c接觸。如圖2所示，第一連接部件10的第一觸點(diǎn)16具有第一導(dǎo)電部14以及由多個第一 CNT2構(gòu)成的束(以下，稱為CNT束)12。第一導(dǎo)電部14配置于在第一基板11上所設(shè)置的 凹部的底面。多個第一 CNT2各自的一端與第一導(dǎo)電部14連接，各自的另一端以高度Ta從 第一基板11的表面突出。另外，第二連接部件10的第二觸點(diǎn)26具有第二導(dǎo)電部24以及由多個第二 CNT4 構(gòu)成的束(以下，稱為CNT束)22。第二導(dǎo)電部24配置于在第二基板21上所設(shè)置的凹部的 底面。多個第二 CNT4各自的一端與第二導(dǎo)電部24連接，各自的另一端以高度Tb從第二基 板21的表面突出。例如，第一及第二 CNT2、4的平均直徑在約2nm IOnm的范圍內(nèi)。CNT束12、22的 第一及第二 CNT2、4的面密度分別在約IO11CnT2 約IO12CnT2的范圍內(nèi)。第一及第二導(dǎo)電部 14、24使用金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、鋁(Al)等金屬材料。作為第一及第二基板11、21使 用塑料或陶瓷等絕緣性基板。CNT束12、22可以采用通常的化學(xué)氣相生長法(CVD)等進(jìn)行生長。例如，在硅(Si) 等半導(dǎo)體襯底上有選擇地形成鈷(Co)、鐵(Fe)、鎳(Ni)等金屬催化劑。通過使用碳?xì)浠?物氣體的CVD來使CNT在半導(dǎo)體襯底上垂直地取向并生長。將這樣生成的CNT轉(zhuǎn)印到第一 及第二基板11、21的第一及第一導(dǎo)電部14、24的表面而形成CNT束12、22。如圖3所示，使第一及第二基板11、21的表面接觸而使第一及第二觸點(diǎn)16、26接 觸。第一及第二 CNT2、4分別以高度Ta、Tb從第一及第二基板11、21的表面突出的部分以 彼此之間相互重疊的方式接觸。第一及第二觸點(diǎn)16、26之間的接觸無需特別推壓。因而， 可以使第一及第二 CNT2、4高穩(wěn)定性地反復(fù)接觸。另外，第一及第二觸點(diǎn)16、26的寬度Wa、Wb及間距P無特別限定。由于CNT束 可以形成微細(xì)圖案，因而能夠以機(jī)械加工精度的極限例如0. 2mm以下的寬度及間距形成觸 點(diǎn)。再有，由于在第一及第二觸點(diǎn)16、26之間無需特別推壓，因而不存在因觸點(diǎn)的磨損導(dǎo)致 的微小變形及由磨損粉引起的短路等問題。由此，能夠分別以0. 2mm以下的間距及0. Imm 以下的寬度Wa、Wb來形成第一及第二觸點(diǎn)16、26。并且，在如圖3所示連接第一及第二連接部件10、20之后，例如使第一連接部件10 相對第二連接部件20沿圖4的箭頭方向滑動。其結(jié)果，如圖4所示，第一及第二 CNT2、4的
6重疊部分被彎曲而能更穩(wěn)定地連接。另外，可以通過滑動來進(jìn)行第一及第二連接部件10、20的連接。如圖5所示，在第 一及第二觸點(diǎn)16、26的延伸方向上使第一觸點(diǎn)16的一端與第二觸點(diǎn)26的另一端接觸，使 第一連接部件10相對第二連接部件20沿圖5的箭頭方向滑動。第一及第二觸點(diǎn)16、26的 各自的多個第一及第二 CNT2、4由于從第一及第二基板11、21的表面突出的部分滑動而向 相反的方向彎曲從而相互重疊并接觸。這樣，通過使第一及第二連接部件10、20滑動并接 觸，從而可以使多個第一及第二 CNT2、4分別彎曲并相互重疊而使第一及第二觸點(diǎn)16、26接 觸。因此，可以使第一及第二觸點(diǎn)16、26間的接觸反復(fù)穩(wěn)定地進(jìn)行。在通過滑動進(jìn)行連接的場合，如圖6所示，最好在第一及第二基板11、21的表面形 成各自的摩擦系數(shù)為例如0.5以下的絕緣體的表面層32。作為表面層32，可以使用氟樹 脂、尼龍等樹脂材料。通過設(shè)置摩擦系數(shù)小的表面層32，即使反復(fù)地進(jìn)行通過滑動的連接， 也能穩(wěn)定地保持機(jī)械特性。另外，如圖6所示，也可以在第一基板11的端部設(shè)置與第一觸點(diǎn)16的延伸方向平 行的引導(dǎo)部30，從而使多個第一觸點(diǎn)16與對應(yīng)的多個第二觸點(diǎn)16接觸的同時使第一基板 11滑動。即使以微小的間距對微細(xì)寬度的第一及第二觸點(diǎn)16、26進(jìn)行排列，也能利用引導(dǎo) 部30使多個第一觸點(diǎn)16與對應(yīng)的多個第二觸點(diǎn)16進(jìn)行高精度的對位。此外，表面層32雖設(shè)置在第一及第二基板11、21兩方，但也可以只設(shè)置在任何一 方。另外，也可以將第一及第二基板11、21的至少一方做成摩擦系數(shù)小的絕緣體。另外，雖 然在第一基板11上設(shè)置引導(dǎo)部30，但也可以在第二基板21上設(shè)置引導(dǎo)部?；蛘?，也可以在 第一及第二基板11、21兩方上設(shè)置引導(dǎo)部。第一變形例本發(fā)明的實(shí)施方式的第一變形例的微型連接器如圖7所示，具備具有第一觸點(diǎn)16 的第一連接部件10以及具有第二觸點(diǎn)26的第二連接部件20a。第二觸點(diǎn)26具有第二導(dǎo)電 部24以及由多個第二 CNT4構(gòu)成的CNT束22a。多個第二 CNT4將各自的一端與第二導(dǎo)電 部24連接，而該第二導(dǎo)電部24配置在設(shè)于第二基板21的凹部的底面上；各自的另一端位 于距設(shè)于第二基板21的凹部的表面深度為Tc的下方的水平位置。在實(shí)施方式的第一變形例中，在多個第二 CNT4的另一端位于距設(shè)于第二基板21 的凹部的表面的下方的水平位置這點(diǎn)上與實(shí)施方式不同。由于其它結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式相同， 因而省略了重復(fù)的說明。如圖2及圖3所示，若第一及第二 CNT2、4分別從第一及第二基板11、21的表面突 出，則在接觸時CNT束12、22a的外周部的第一及第二 CNT2、4容易向外側(cè)散開而縱向彎曲。 若第一及第二 CNT2、4縱向彎曲，則由于因滑動進(jìn)行的反復(fù)連接而使外周部的第一及第二 CNT2、4破損，有可能成為短路的原因。在實(shí)施方式的第一變形例中，如圖7所示，多個第一 CNT2雖以高度Ta從第一基板 11的表面突出，但多個第二 CNT4卻從第二基板21的表面后退到凹部。在這里，高度Ta比 深度Tc更大，并且，第一觸點(diǎn)16的寬度Wa比第二觸點(diǎn)26的寬度Wb更小。若使第一觸點(diǎn) 16與對應(yīng)的第二觸點(diǎn)26接觸，則第一 CNT2的突出部分與第二基板21的凹部嵌合。因此， 不會產(chǎn)生第一 CNT2的縱向彎曲，可以穩(wěn)定地反復(fù)進(jìn)行第一連接部件10及第二連接部件20a 的連接。
另外，在上述的說明中，使多個第二 CNT4從第二基板21的表面后退。但是，也可 以使多個第一 CNT2從第一基板11的表面后退，而使多個第二 CNT4從第二基板21的表面 突出。在這種情況下，將第一觸點(diǎn)16的寬度Wa做得比第二觸點(diǎn)26的寬度Wb更大。第二變形例本發(fā)明的實(shí)施方式的第二變形例的微型連接器如圖8所示，具備具有第一觸點(diǎn)16 的第一連接部件10以及具有第二觸點(diǎn)26的第二連接部件20b。第二觸點(diǎn)26具有第二導(dǎo)電 部24以及由多個第二 CNT4構(gòu)成的CNT束22b。多個第二 CNT4的面密度比多個第一 CNT2 的面密度更小。在實(shí)施方式的第二變形例中，在多個第二 CNT4的面密度比多個第一 CNT2的面密 度更小這點(diǎn)上與實(shí)施方式及第一變形例不同。由于其它結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式及第一變形例相 同，因而省略了重復(fù)的說明。如圖8所示，由于多個第二 CNT4的面密度比多個第一 CNT2的面密度更小，因而容 易使多個第一 CNT2與多個第二 CNT4的間隙重合。其結(jié)果，可以穩(wěn)定地反復(fù)進(jìn)行第一及第 二連接部件10、20b的連接。另外，在上述的說明中，將多個第二 CNT4的面密度做得比多個第一 CNT2的面密度 更小。但是，也可以將多個第二 CNT4的面密度做得比多個第一 CNT2的面密度更大。第三變形例本發(fā)明的實(shí)施方式的第三變形例的微型連接器如圖9所示，具備具有第一觸點(diǎn)16 的第一連接部件IOa以及具有第二觸點(diǎn)26的第二連接部件20。第一觸點(diǎn)16在第一基板 11的一端部，第一觸點(diǎn)16的前端形狀具有三角形的前端部17。在實(shí)施方式的第三變形例中，在第一觸點(diǎn)16具有三角形的前端部17這點(diǎn)上與實(shí) 施方式、第一及第二變形例不同。由于其它結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式、第一及第二變形例相同，因而 省略了重復(fù)的說明。例如，如圖9所示，使第一連接部件IOa相對第二連接部件20滑動而使第一及第 二觸點(diǎn)16、26接觸。在這種情況下，使其從第一觸點(diǎn)16的前端部17 —側(cè)與第二觸點(diǎn)26接 觸，使第一連接部件IOa滑動。由于前端部17的前端比對應(yīng)的第二觸點(diǎn)26的寬度窄，能夠 以良好的再現(xiàn)性穩(wěn)定地進(jìn)行從滑動狀態(tài)直到固定狀態(tài)的第一及第二觸點(diǎn)16、26接觸。此外，前端部17的形狀并不限定于三角形。也可以設(shè)置為得到滑動插入時的穩(wěn)定 的變形的斜度，例如，第一觸點(diǎn)16的前端部可以是梯形或階梯狀。另外，也可以是朝向前端 以曲線狀逐漸變細(xì)的形狀。其它實(shí)施方式如上所述，本發(fā)明記載的實(shí)施方式不應(yīng)理解為成為其公開的一部分論述及附圖是 對本發(fā)明的限定。很顯然，本行業(yè)的從業(yè)人員可根據(jù)這些公開的內(nèi)容提出各種等同替換的 實(shí)施方式、實(shí)施例及運(yùn)用技術(shù)。在本發(fā)明的實(shí)施方式中，第一及第二觸點(diǎn)16、26是從第一及第二基板11、21的一 端向另一端延伸。但是，對第一及第二觸點(diǎn)的形狀并無限定。也可以在第一及第二基板上 分散排列圓形或矩形的第一及第二觸點(diǎn)。例如，如圖10所示，第一連接部件IOA具有分散 排列在第一基板11的表面上的圓形的多個第一觸點(diǎn)16A、16B、16C、16D。第二連接部件20A 具有分別與第一觸點(diǎn)16A 16D相對應(yīng)的分散排列在第二基板21上的圓形的多個第二觸
8點(diǎn)26A、26B、26C、26D。多個第二觸點(diǎn)26A 26D分別與多個第一觸點(diǎn)16A 16D對應(yīng)。這樣，不言而喻，本發(fā)明也包含在此未記載的各種實(shí)施方式等。因此，本發(fā)明的保 護(hù)范圍只能由根據(jù)上述說明所妥善提出的有關(guān)權(quán)利要求書的發(fā)明特定內(nèi)容來決定。本發(fā)明可應(yīng)用于具有微細(xì)的觸點(diǎn)構(gòu)造的微型連接器。
權(quán)利要求
1.一種微型連接器，用于連接設(shè)置了多個第一凹部的絕緣性的第一基板和設(shè)置了多 個第二凹部的絕緣性的第二基板之間，該多個第一凹部在各自的底面配置有多個第一導(dǎo)電 部，該多個第二凹部在各自的底面配置有多個第二導(dǎo)電部，該微型連接器的特征在于，具備第一連接部件和第二連接部件，上述第一連接部件與上述多個第一凹部對應(yīng)地具有多個第一觸點(diǎn)，該第一觸點(diǎn)由將一 端與上述第一導(dǎo)電部連接、而另一端從上述第一基板的表面突出的多個第一碳納米管的束 構(gòu)成，上述第二連接部件與上述多個第二凹部對應(yīng)地具有多個第二觸點(diǎn)，該第二觸點(diǎn)由將一 端與上述第二導(dǎo)電部連接的多個第二碳納米管的束構(gòu)成，通過將上述多個第一碳納米管的各自的另一端插入到上述多個第二碳納米管的各自 的另一端之間并以相互重疊的方式接觸，從而上述多個第一觸點(diǎn)分別與對應(yīng)的上述多個第 二觸點(diǎn)接觸。
2.一種微型連接器，用于連接設(shè)置了多個第一凹部的絕緣性的第一基板和設(shè)置了多 個第二凹部的絕緣性的第二基板之間，該多個第一凹部在各自的底面配置有多個第一導(dǎo)電 部，該多個第二凹部在各自的底面配置有多個第二導(dǎo)電部，該微型連接器的特征在于，具備第一連接部件和第二連接部件，上述第一連接部件與上述多個第一凹部對應(yīng)地具有多個第一觸點(diǎn)，該第一觸點(diǎn)由將一 端與上述第一導(dǎo)電部連接、而另一端從上述第一基板的表面突出的多個第一碳納米管的束 構(gòu)成，上述第二連接部件與上述多個第二凹部對應(yīng)地具有多個第二觸點(diǎn)，該第二觸點(diǎn)由將一 端與上述第二導(dǎo)電部連接的多個第二碳納米管的束構(gòu)成，上述多個第一碳納米管與上述多個第二碳納米管的面密度相互不同，通過將上述多個 第一及第二碳納米管的一方的面密度高的碳納米管的另一端插入到另一方的面密度低的 碳納米管的各個的另一端的間隙中，使上述面密度低的碳納米管的各個與上述面密度高的 碳納米管的一部分重疊而接觸，從而使上述多個第一觸點(diǎn)分別與對應(yīng)的上述多個第二觸點(diǎn) 接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微型連接器，其特征在于，上述多個第二碳納米管的各自的另一端位于距設(shè)置于上述第二基板上的多個第二凹 部各自的表面下方的水平位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3任一項(xiàng)所述的微型連接器，其特征在于，上述多個第一觸點(diǎn)的各個從上述第一基板表面的一端向另一端延伸，上述多個第二觸 點(diǎn)的各個從上述第二基板表面的一端向另一端延伸，通過在使上述第一基板的一端與上述 第二基板的另一端接觸之后使上述第一基板從上述第二基板的另一端向一端滑動，從而使 上述多個第一觸點(diǎn)的各個與對應(yīng)的上述多個第二觸點(diǎn)的各個接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微型連接器，其特征在于，上述第一基板具有與上述多個第一觸點(diǎn)的延伸方向平行的引導(dǎo)部，從而使上述多個第 一觸點(diǎn)的各個一邊與對應(yīng)的上述多個第二觸點(diǎn)的各個接觸一邊在上述第一基板上滑動。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的微型連接器，其特征在于，上述第一及第二基板的表面摩擦系數(shù)為0. 5以下。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的微型連接器，其特征在于，上述多個第一觸點(diǎn)的各個在上述第一基板表面的一端的寬度比對應(yīng)的上述多個第二 觸點(diǎn)的各個在上述第二基板表面的一端的寬度更小。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 3任一項(xiàng)所述的微型連接器，其特征在于，上述多個第一觸點(diǎn)分散配置在上述第一基板上，上述多個第二觸點(diǎn)分散配置在上述第二基板上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 8任一項(xiàng)所述的微型連接器，其特征在于，上述多個第一觸點(diǎn)具有0. Imm以下的寬度，并以0. 2mm以下的間距排列。
全文摘要
本發(fā)明的微型連接器具備第一連接部件(10)和第二連接部件(20)。該第一連接部件具有多個第一觸點(diǎn)(16)，該多個第一觸點(diǎn)由將一端與配置于在絕緣性第一基板(11)上所設(shè)的多個凹部各自的底面上的第一導(dǎo)電部(14)連接、而另一端從第一基板的表面突出的多個第一碳納米管(2)的束(12)構(gòu)成；該第二連接部件與多個第一觸點(diǎn)的各個對應(yīng)地具有多個第二觸點(diǎn)(26)，該多個第二觸點(diǎn)由將一端與配置于在絕緣性第二基板(21)上所設(shè)的多個凹部各自底面上的第二導(dǎo)電部(24)連接的多個第二碳納米管(4)的束(22)構(gòu)成。在使多個第一觸點(diǎn)分別與對應(yīng)的多個第二觸點(diǎn)接觸的狀態(tài)下，使多個第一碳納米管各個在多個第二碳納米管各個之間以相互重疊的方式接觸。
文檔編號H01R13/629GK102005656SQ20101012131
公開日2011年4月6日 申請日期2010年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月31日
發(fā)明者鴫原正義 申請人:Smk株式會社