專利名稱：源氣體供給裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種采用化學(xué)氣相沉積法進(jìn)行薄膜蒸鍍時(shí)能夠控制蒸鍍室內(nèi)的源氣體壓力的源氣體供給裝置。更具體地說(shuō)，涉及一種使特定量的源氣體流入蒸鍍室內(nèi)，從而能夠準(zhǔn)確地控制蒸鍍室內(nèi)的源氣體的壓力或者流量的源氣體供給裝置。
背景技術(shù)：
采用化學(xué)氣相沉積法(Chemical Vapor Deposition :CVD)的薄膜蒸鍍?cè)诎雽?dǎo)體元件的絕緣層和有源層、液晶顯示元件的透明電極、電致發(fā)光顯示元件的發(fā)光層、保護(hù)層等的各種領(lǐng)域的應(yīng)用中，在技術(shù)上非常重要。一般地，采用CVD蒸鍍的薄膜的物性很受蒸鍍壓力、蒸鍍溫度、蒸鍍時(shí)間等CVD工藝條件的影響。例如，隨著蒸鍍壓力的變化，蒸鍍薄膜的結(jié)構(gòu)、密度、粘合力、蒸鍍速度等會(huì)發(fā)生變化。采用CVD的情況，蒸鍍壓力直接受到源氣體供給裝置所提供的源氣體流量(即，源氣體的壓力)的影響，該源氣體供給裝置用于供給所要蒸鍍的薄膜物質(zhì)原料。即，為在CVD 中適當(dāng)?shù)乜刂普翦儔毫?，最好必須?zhǔn)確地控制源氣體供給裝置中的源氣體流量。特別是，需要精密而一定地調(diào)節(jié)蒸鍍速度時(shí)，源氣體流量調(diào)節(jié)的重要性更明顯。圖1是表示現(xiàn)有源氣體供給裝置100的構(gòu)成的示意圖?，F(xiàn)有源氣體供給裝置100 由加熱源物質(zhì)120而生成源氣體的源氣體生成部110、加熱器130、載氣供給部140、蒸鍍室 150以及多個(gè)閥161 164構(gòu)成。一般地，源物質(zhì)120在常溫下以固體或者液體狀態(tài)存在， 因此，為了使源物質(zhì)120氣化，需要將源物質(zhì)120加熱至常溫以上。此時(shí)，加熱器130作為加熱源物質(zhì)120的裝置而使用。通常，源氣體由于比重大，因此其移動(dòng)性較差。為了使源氣體順利地向蒸鍍室150 內(nèi)移動(dòng)，需要利用載氣。根據(jù)情況，通過(guò)開(kāi)閉多個(gè)閥161 164來(lái)調(diào)節(jié)源氣體及載氣的流量或者壓力。例如，在不使用載氣的情況下，關(guān)閉閥161、163。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問(wèn)題但是，這種現(xiàn)有源氣體供給裝置100存在如下問(wèn)題。首先，隨著源氣體生成部110 內(nèi)所殘留的源物質(zhì)120的量的不同，源物質(zhì)120的蒸發(fā)性發(fā)生變化。所以單憑閥162的開(kāi)閉，難以準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)源氣體的壓力。而且，隨著通過(guò)加熱源物質(zhì)120使源物質(zhì)120的蒸發(fā)以及凝結(jié)過(guò)程的反復(fù)進(jìn)行，源物質(zhì)120的蒸發(fā)表面積發(fā)生變化，源物質(zhì)120的蒸發(fā)性也發(fā)生變化，所以不能準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)源氣體的壓力。特別是，源物質(zhì)120呈粉末狀的情況下，源物質(zhì)120 的表面條件的變化更大，上述問(wèn)題點(diǎn)變得更嚴(yán)重。技術(shù)解決方案本發(fā)明是為了解決如上所述的以往技術(shù)問(wèn)題而提出的，目的在于，提供一種源氣體供給裝置，其在采用化學(xué)氣相沉積法進(jìn)行薄膜蒸鍍時(shí)，能夠準(zhǔn)確地控制蒸鍍室內(nèi)的源氣體的壓力或者流量。有益效果本發(fā)明涉及的源氣體供給裝置在采用化學(xué)氣相沉積法進(jìn)行薄膜蒸鍍時(shí)，與源氣體生成部?jī)?nèi)的源物質(zhì)的狀態(tài)無(wú)關(guān)，能夠準(zhǔn)確地控制流入蒸鍍室內(nèi)的源氣體的量，從而具有在蒸鍍室內(nèi)進(jìn)行的蒸鍍工藝中能夠準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)蒸鍍壓力的效果。


圖1是表示現(xiàn)有源氣體供給裝置100的構(gòu)成的示意圖。圖2是表示本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的源氣體供給裝置200的構(gòu)成的示意圖。圖3至圖6是表示源氣體供給裝置200的源氣體凝結(jié)部240的內(nèi)部構(gòu)成以及動(dòng)作步驟的一實(shí)施例的示意圖。圖7至圖10是表示源氣體供給裝置200的源氣體凝結(jié)部MO的內(nèi)部構(gòu)成以及動(dòng)作步驟的另一實(shí)施例的示意圖。圖11是表示本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的源氣體供給裝置300的構(gòu)成的示意圖。圖12至圖14是表示源氣體供給裝置300的源氣體凝結(jié)部340的動(dòng)作步驟的一實(shí)施例的示意圖。圖15是表示源氣體供給裝置300的源氣體凝結(jié)部340的動(dòng)作步驟的另一實(shí)施例的示意圖。附圖標(biāo)記
200源氣體供給裝置
210源氣體生成部
212源物質(zhì)
214 加熱器
220載氣供給部
230流量控制部
240源氣體凝結(jié)部
241第一主體部
242第一溫度調(diào)節(jié)部
243第二主體部
244第二溫度調(diào)節(jié)部
245源氣體凝結(jié)層
250蒸鍍室
260旁路部
271第一閥
272第二閥
273第三閥
274第四閥
275第五閥
276第六閥
300:源氣體供給裝置310 源氣體生成部312 源物質(zhì)314 加熱器320載氣供給部
330流量控制部
340源氣體凝結(jié)部
341第一凝結(jié)部(管狀結(jié)構(gòu)物)
342內(nèi)表面
343第一溫度調(diào)節(jié)部
344第二凝結(jié)部(網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物)
345第二溫度調(diào)節(jié)部
346凝結(jié)的源氣體
350傳感器部
360蒸鍍室
370旁路部
381第一閥
382第二閥
383第三閥
384第四閥
385第五閥
386第六閥
具體實(shí)施例方式為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明涉及的源氣體供給裝置，其在采用化學(xué)氣相沉積法進(jìn)行薄膜蒸鍍時(shí)，向蒸鍍室內(nèi)供給源氣體，其特征在于，包括源氣體生成部，加熱源物質(zhì)而生成源氣體；源氣體凝結(jié)部，在上述源氣體生成部所生成的源氣體流入上述源氣體凝結(jié)部并被凝結(jié)；在此，使源氣體從上述源氣體生成部流入源氣體凝結(jié)部，并使源氣體在上述源氣體凝結(jié)部?jī)?nèi)被凝結(jié)，直至在上述源氣體凝結(jié)部?jī)?nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量為止；當(dāng)在上述源氣體凝結(jié)部?jī)?nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量之后，阻斷源氣體從上述源氣體生成部流入上述源氣體凝結(jié)部?jī)?nèi)，并且使凝結(jié)在上述源氣體凝結(jié)部?jī)?nèi)的源氣體流入上述蒸鍍室內(nèi)。上述源氣體凝結(jié)部可以包括隔開(kāi)規(guī)定間距對(duì)置配置的第一主體部及第二主體部。還可以是，將上述第一主體部的溫度調(diào)節(jié)到低于上述源氣體的凝結(jié)溫度，而將上述第二主體部的溫度調(diào)節(jié)到高于上述源氣體的凝結(jié)溫度，直至在上述源氣體凝結(jié)部?jī)?nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量為止。而且，當(dāng)上述源氣體凝結(jié)部?jī)?nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量之后，將上述第一主體部及上述第二主體部的溫度調(diào)節(jié)到高于上述源氣體的凝結(jié)溫度。還可以是，上述源氣體的飽和凝結(jié)量由上述第一主體部與上述第二主體部之間的溫度差以及上述第一主體部與上述第二主體部之間的距離中的至少一個(gè)來(lái)確定。還可以是，在上述第一主體部上連接有第一溫度調(diào)節(jié)部，在上述第二主體部上連接有第二溫度調(diào)節(jié)部。上述第一主體部及上述第二主體部可以是板狀結(jié)構(gòu)物。還可以是，上述第一主體部是柱狀結(jié)構(gòu)物，而上述第二主體部是圍繞上述第一主體部的空心的柱狀結(jié)構(gòu)物。上述源氣體凝結(jié)部可并列設(shè)置多個(gè)。而且，本發(fā)明涉及的源氣體供給裝置，其在采用化學(xué)氣相沉積法進(jìn)行薄膜蒸鍍時(shí)， 向蒸鍍室內(nèi)供給源氣體，其特征在于，包括源氣體生成部，加熱源物質(zhì)而生成源氣體；源氣體凝結(jié)部，使在上述源氣體生成部所生成的源氣體流入并被凝結(jié)；載氣供給部，用于供給載氣以使在上述源氣體生成部生成的源氣體順利地流入上述源氣體凝結(jié)部；傳感器部，用于檢測(cè)通過(guò)上述源氣體凝結(jié)部的載氣的流量(flow rate)；在此，當(dāng)上述檢測(cè)到的流量大于事先設(shè)定的流量時(shí)，使源氣體從上述源氣體生成部流入源氣體凝結(jié)部，并使源氣體在上述源氣體凝結(jié)部?jī)?nèi)被凝結(jié)；當(dāng)上述檢測(cè)到的流量與事先設(shè)定的流量實(shí)質(zhì)上相同時(shí)，阻斷源氣體從上述源氣體生成部流入上述源氣體凝結(jié)部，并使凝結(jié)在上述源氣體凝結(jié)部?jī)?nèi)的源氣體流入上述蒸鍍室內(nèi)。上述源氣體凝結(jié)部可以并列設(shè)置多個(gè)。上述源氣體凝結(jié)部可以包括配置在上述源氣體生成部側(cè)的第一凝結(jié)部和配置在上述蒸鍍室側(cè)的第二凝結(jié)部。上述第一凝結(jié)部可以是管狀結(jié)構(gòu)物。上述第二凝結(jié)部可以是網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物。還可以是，隨著源氣體在上述網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物上凝結(jié)，通過(guò)上述網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物的載氣的流量減少。還可以是，當(dāng)上述減少的載氣流量達(dá)到在上述網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物上未凝結(jié)有源氣體時(shí)通過(guò)上述網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物的載氣流量的l/n(n ^ 2的整數(shù))時(shí)，阻斷源氣體從上述源氣體生成部流入上述源氣體凝結(jié)部。還可以是，在上述第一凝結(jié)部上連接有第一溫度調(diào)節(jié)部，在上述第二凝結(jié)部上連接有第二溫度調(diào)節(jié)部。在上述載氣供給部與上述源氣體生成部之間可設(shè)置流量控制部，用于控制流入上述源氣體生成部的載氣流量。發(fā)明實(shí)施方式后述的有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明，參照以本發(fā)明能夠?qū)嵤┑奶囟▽?shí)施例為示例示出的附圖，并且詳細(xì)說(shuō)明這些實(shí)施例，以使普通技術(shù)人員能夠充分實(shí)施。應(yīng)理解為本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施例雖然互相不同但并不相互排斥。例如，在一實(shí)施例中記載的特定形狀、結(jié)構(gòu)以及特性，在不脫離本發(fā)明的思想及范圍的情況下，可以以其它實(shí)施例來(lái)實(shí)現(xiàn)。而且，應(yīng)理解為分別公開(kāi)的各實(shí)施例中的個(gè)別構(gòu)成要素的位置或者配置，可以在不脫離本發(fā)明的思想及范圍的情況下進(jìn)行變更。因此，后述的詳細(xì)說(shuō)明并非限定本發(fā)明，本發(fā)明的保護(hù)范圍由權(quán)利要求以及與該權(quán)利要求的主張具有均等的全范圍的來(lái)限定。在附圖中的相同附圖標(biāo)記在不同層面上表示相同或者相似功能。
下面，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的構(gòu)成。第一實(shí)施例圖2是表示本發(fā)明一實(shí)施例涉及的源氣體供給裝置200的構(gòu)成的詳細(xì)示意圖。參照?qǐng)D2，源氣體供給裝置200包括，源氣體生成部210、載氣供給部220、流量控制部230、源氣體凝結(jié)部M0、蒸鍍室250、旁路部沈0、多個(gè)閥271 276、以及連接上述構(gòu)成要素的氣體通道觀0。首先，源氣體生成部210利用加熱器214加熱源物質(zhì)212，以執(zhí)行將從源物質(zhì)212 生成源氣體(未圖示)的功能。在此，源物質(zhì)212作為在蒸鍍工藝中使用的源氣體的原料， 一般在常溫下以固體或者液體狀態(tài)存在。而且，加熱器214可以將存在于源氣體生成部210 內(nèi)的源物質(zhì)212加熱至常溫以上的溫度，以使固體狀態(tài)的源物質(zhì)212發(fā)生氣化。載氣供給部220供給規(guī)定的載氣，該載氣起到載運(yùn)源氣體的功能，以使在源氣體生成部210所生成的源氣體能夠順利地被輸送到后述的源氣體凝結(jié)部M0、蒸鍍室250以及旁路部沈0。通常，由金屬元素構(gòu)成的源氣體由于比重大，從而其移動(dòng)性差，因此需要單獨(dú)的用于順利輸送源氣體的載氣。在此，載氣要求輕的同時(shí)不能影響蒸鍍工藝，因此優(yōu)選比重小且反應(yīng)性差的氣體。例如，載氣可以包括氬氣(Ar)、氮?dú)?N2)等惰性氣體。流量控制部230執(zhí)行檢測(cè)并控制由載氣供給部220所供給的載氣流量的功能。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，流量控制部230使載氣的供給穩(wěn)定化，從而能夠穩(wěn)定地將載氣供給到源氣體生成部210以及后述的源氣體凝結(jié)部M0。源氣體凝結(jié)部MO的一端與源氣體生成部210連接，而另一端與蒸鍍室250以及旁路部260連接，并執(zhí)行對(duì)流入到源氣體生成部210的源氣體進(jìn)行凝結(jié)或者蒸發(fā)的功能。更具體地說(shuō)，源氣體凝結(jié)部240執(zhí)行如下功能，即，使源氣體凝結(jié)，直至在源氣體凝結(jié)部240內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量；當(dāng)在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量之后，使在源氣體凝結(jié)部240內(nèi)所凝結(jié)的源氣體流入蒸鍍室250內(nèi)，從而準(zhǔn)確地控制流入蒸鍍室250內(nèi)的源氣體量。下面，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的源氣體凝結(jié)部MO的構(gòu)成及動(dòng)作原理。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，源氣體凝結(jié)部240可以包括隔開(kāi)規(guī)定間距對(duì)置配置的第一主體部241及第二主體部M3。在此，第一主體部241和第二主體部243可以具有多種形狀。作為一例，第一主體部241及第二主體部243可以是板狀結(jié)構(gòu)物；作為另一例，第一主體部241可以是柱狀結(jié)構(gòu)物、第二主體部243可以是圍繞第一主體部Ml的空心的柱狀結(jié)構(gòu)物。但是，第一主體部241及第二主體部243的形狀并不限定于此，在能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明目的的范圍之內(nèi)，可進(jìn)行適當(dāng)變更。而且，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在第一主體部241和第二主體部243上可分別連接有第一溫度調(diào)節(jié)部242和第二溫度調(diào)節(jié)部M4，由此可分別獨(dú)立調(diào)節(jié)第一主體部241和第二主體部M3的溫度。例如，可將第一主體部Ml的溫度調(diào)節(jié)到低于源氣體開(kāi)始凝結(jié)的溫度 (以下稱為“源氣體凝結(jié)溫度”)，與此相反，可將第二主體部M3的溫度調(diào)節(jié)到高于源氣體凝結(jié)溫度。但是，第一溫度調(diào)節(jié)部242及第二溫度調(diào)節(jié)部244的溫度并不限定于此，在能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明目的的范圍之內(nèi)，可進(jìn)行適當(dāng)變更。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，詳細(xì)說(shuō)明在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)進(jìn)行的源氣體的凝結(jié)過(guò)程如下。
(i)首先，源氣體開(kāi)始流入源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)時(shí)，將第一主體部Ml的溫度調(diào)節(jié)到低于源氣體凝結(jié)溫度的同時(shí)，將第二主體部M3的溫度調(diào)節(jié)到高于源氣體的凝結(jié)溫度， 從而可使源氣體只凝結(jié)在第一主體部Ml中。而且，在第一主體部241上所凝結(jié)的源氣體可形成具有規(guī)定厚度的層對(duì)5，隨著源氣體繼續(xù)凝結(jié)，源氣體凝結(jié)層M5的厚度逐漸變厚。(ii)另外，由于設(shè)定溫度高于源氣體凝結(jié)溫度的第二主體部243與第一主體部 241隔開(kāi)一定距離且相對(duì)置地形成，因此，在第一主體部241上凝結(jié)有充分多的量的源氣體時(shí)，該源氣體凝結(jié)層245與第二主體部M3的距離變近，由此，受到第二主體部M3的高溫影響，源氣體凝結(jié)層245表面的溫度上升，從而可使源氣體不再繼續(xù)凝結(jié)。S卩，在源氣體凝結(jié)部240內(nèi)所進(jìn)行的源氣體的凝結(jié)達(dá)到飽和狀態(tài)，此時(shí)，源氣體凝結(jié)部240內(nèi)僅凝結(jié)有飽和凝結(jié)量的源氣體。(iii)當(dāng)源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量之后，阻斷源氣體從源氣體生成部210流入源氣體凝結(jié)部M0，并且僅使凝結(jié)在源氣體凝結(jié)部240內(nèi) (準(zhǔn)確地說(shuō)第一主體部Ml)的飽和凝結(jié)量的源氣體蒸發(fā)，從而使源氣體流入蒸鍍室250內(nèi)。 在此，阻斷源氣體流入的手段可通過(guò)后述的閥271 276來(lái)執(zhí)行。具體地說(shuō)，可通過(guò)關(guān)閉位于源氣體凝結(jié)部240的源氣體生成部210側(cè)一端的第四閥274，從而阻斷源氣體從源氣體生成部210流入源氣體凝結(jié)部M0。而在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)凝結(jié)飽和凝結(jié)量的源氣體的期間，不能準(zhǔn)確地控制從源氣體凝結(jié)部240排出的源氣體的量，因此，不應(yīng)直接將源氣體流入蒸鍍室250內(nèi)。所以，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，源氣體在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)進(jìn)行凝結(jié)的期間，可利用后述的閥275 及276來(lái)控制源氣體的移動(dòng)路徑，以使通過(guò)源氣體凝結(jié)部MO的載氣及源氣體不流入蒸鍍室250內(nèi)而流入旁路部沈0。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，可以在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)僅凝結(jié)飽和凝結(jié)量的源氣體，以調(diào)節(jié)上述源氣體的飽和凝結(jié)量，從而能夠達(dá)到準(zhǔn)確地控制流入蒸鍍室250 內(nèi)的源氣體量的效果。下面，說(shuō)明調(diào)節(jié)在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)凝結(jié)的源氣體的飽和凝結(jié)量的具體實(shí)施例。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，可基于第一主體部241的溫度、第二主體部243的溫度以及第一主體部241和第二主體部243的溫度差來(lái)調(diào)節(jié)在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的飽和凝結(jié)量。具體地說(shuō)，將第一主體部241的溫度設(shè)定得較低時(shí)，可增加在源氣體凝結(jié)部240內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的飽和凝結(jié)量；將第二主體部243的溫度設(shè)定的較高時(shí)，可減少在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的飽和凝結(jié)量。并且，第一主體部241和第二主體部 243之間的溫度差越大，越增加在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的飽和凝結(jié)量。而且，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，可基于第一主體部241和第二主體部243之間的距離，調(diào)節(jié)在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的飽和凝結(jié)量。具體地，將第一主體部Ml 與第二主體部243之間的距離越長(zhǎng)，越增加在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的飽和凝結(jié)量。再者，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，當(dāng)需要比在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)的飽和凝結(jié)量更多的源氣體時(shí)，可反復(fù)執(zhí)行一次以上的在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)凝結(jié)飽和凝結(jié)量的源氣體并使該源氣體流入蒸鍍室250內(nèi)的過(guò)程，從而能夠使飽和凝結(jié)量以上的源氣體流入蒸鍍室 250 內(nèi)。
而且，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選一實(shí)施例，源氣體供給裝置200可以包括多個(gè)源氣體凝結(jié)部Mo。例如，多個(gè)源氣體凝結(jié)部240并列設(shè)置在源氣體生成部210與蒸鍍室250之間， 此時(shí)，能夠抵消在各源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量的誤差，從而能夠更準(zhǔn)確地控制流入蒸鍍室250內(nèi)的源氣體量。其次，蒸鍍室250執(zhí)行利用自源氣體凝結(jié)部240流入的源氣體在基板(未圖示)上形成規(guī)定薄膜層(未圖示)的功能。在此，采用化學(xué)氣相沉積法(Chemical Vapor Deposition =CVD)在蒸鍍室250內(nèi)形成薄膜層，例如，化學(xué)氣相沉積法可采用低壓化學(xué)氣相沉積(Low Pressure Chemical Vapor Deposition :LPCVD)及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition PECVD)等方法。之后，旁路部沈0向外部排出來(lái)自源氣體凝結(jié)部MO的源氣體中壓力或者流量未被控制的源氣體。例如，旁路部可以采用公知的通氣孔(vent)。然后，根據(jù)不同情況，多個(gè)閥271 276開(kāi)閉源氣體的輸送通道，執(zhí)行調(diào)節(jié)源氣體及載氣壓力和流量的功能。具體地，第一閥271及第三閥273可調(diào)節(jié)由載氣供給部220供給的載氣的流量，第二閥272可調(diào)節(jié)在源氣體生成部210生成的源氣體的流量。而且，第四閥274、第五閥275及第六閥276可分別調(diào)節(jié)流入源氣體凝結(jié)部M0、蒸鍍室250及旁路部 260的源氣體的流量。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的源氣體凝結(jié)部M0，能夠準(zhǔn)確地控制流入蒸鍍室250內(nèi)的源氣體的量。特別是，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的控制源氣體的量或者壓力，在如采用原子層沉積法(Atomic Layer Deposition =ALD)進(jìn)行原子層單位或者其以下的薄膜沉積等，需要微量調(diào)節(jié)流入蒸鍍室內(nèi)的源氣體量時(shí)，更具有效果。圖3至圖6是表示源氣體供給裝置200的源氣體凝結(jié)部240的內(nèi)部構(gòu)成及動(dòng)作步驟的一實(shí)施例的示意圖。作為參考，圖3至圖6是示出源氣體凝結(jié)部MO的剖視圖。參照?qǐng)D3至圖6，說(shuō)明源氣體凝結(jié)部MO的動(dòng)作步驟如下。首先，參照?qǐng)D3，源氣體凝結(jié)部MO的第一主體部241及第二主體部243可以是隔開(kāi)一定距離對(duì)置配置的板狀結(jié)構(gòu)物，并且，可利用分別與第一主體部241及第二主體部243 連接的第一溫度調(diào)節(jié)部242及第二溫度調(diào)節(jié)部244來(lái)調(diào)節(jié)第一主體部241及第二主體部 243的溫度。而且，源氣體凝結(jié)部240的兩端可以與源氣體的輸送通道280連接，并且在輸送通道280上可以連接多個(gè)加熱器282，以使輸送通道觀0內(nèi)的溫度維持一定溫度以上，從而保證源氣體在移動(dòng)的途中不被凝結(jié)。其次，參照?qǐng)D4，源氣體凝結(jié)部240將第一主體部Ml的溫度調(diào)節(jié)到低于源氣體凝結(jié)溫度、第二主體部M3的溫度調(diào)節(jié)到高于源氣體凝結(jié)溫度，由此，能夠只在第一主體部 241上凝結(jié)源氣體。隨著在第一主體部241上所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量的增加而使源氣體凝結(jié)層245的厚度變厚，最新的源氣體凝結(jié)位置接近第二主體部243 (設(shè)定溫度高于源氣體凝結(jié)溫度)時(shí)，在源氣體凝結(jié)層245上不再凝結(jié)源氣體，從而使源氣體凝結(jié)部240內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量。之后，參照?qǐng)D5，在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量之后，阻斷源氣體從源氣體生成部210流入源氣體凝結(jié)部M0，并且，將第一主體部241的溫度提高到源氣體凝結(jié)溫度以上，從而使凝結(jié)在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)的源氣體蒸發(fā)并流入蒸鍍室250內(nèi)。
最后，參照?qǐng)D6，使凝結(jié)在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)的源氣體全部蒸發(fā)，從而能夠準(zhǔn)確地將相當(dāng)于飽和凝結(jié)量的源氣體流入蒸鍍室250內(nèi)。而且，圖7至圖10是表示源氣體供給裝置200的源氣體凝結(jié)部240的內(nèi)部構(gòu)成以及動(dòng)作步驟的另一實(shí)施例的示意圖。作為參考，圖7至圖10是示出源氣體凝結(jié)部240的剖視圖。參照?qǐng)D7至圖10，說(shuō)明源氣體凝結(jié)部MO的動(dòng)作步驟如下。首先，參照?qǐng)D7，在源氣體凝結(jié)部240的第一主體部241可以是柱狀結(jié)構(gòu)物，而第二主體部243可以是，與第一主體部241相隔一定距離對(duì)置配置并圍繞第一主體部Ml的空心的柱狀結(jié)構(gòu)物。在此，可以利用分別與第一主體部241及第二主體部243連接的第一溫度調(diào)節(jié)部242及第二溫度調(diào)節(jié)部244來(lái)調(diào)節(jié)第一主體部241及第二主體部243的溫度。而且，源氣體凝結(jié)部240的兩端可以與源氣體輸送通道(未圖示)連接，且在輸送通道(未圖示)上連接多個(gè)加熱器(未圖示)，以使輸送通道(未圖示)內(nèi)的溫度維持在一定溫度以上，從而保證源氣體在移動(dòng)途中不被凝結(jié)。其次，參照?qǐng)D8，在源氣體凝結(jié)部240將第一主體部Ml的溫度調(diào)節(jié)到低于源氣體凝結(jié)溫度、第二主體部M3的溫度調(diào)節(jié)到高于源氣體凝結(jié)溫度，因此，能夠僅在第一主體部 241上使源氣體凝結(jié)。隨著在第一主體部241上所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量的增加而使源氣體凝結(jié)層245的厚度變厚，最新的源氣體凝結(jié)位置接近第二主體部243 (設(shè)定溫度高于源氣體凝結(jié)溫度)時(shí)，在源氣體凝結(jié)層245上不再凝結(jié)源氣體，從而使源氣體凝結(jié)部240內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量。之后，參照?qǐng)D9，在源氣體凝結(jié)部210內(nèi)所凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量之后，阻斷源氣體從源氣體生成部210流入源氣體凝結(jié)部M0，并且，將第一主體部241的溫度提高到源氣體凝結(jié)溫度以上，以使凝結(jié)在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)的源氣體蒸發(fā)并流入蒸鍍室250內(nèi)。最后，參照?qǐng)D10，使凝結(jié)在源氣體凝結(jié)部MO內(nèi)的源氣體全部蒸發(fā)，從而能夠準(zhǔn)確地將相當(dāng)于飽和凝結(jié)量的源氣體流入蒸鍍室250內(nèi)。實(shí)施例2圖11是表示本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的源氣體供給裝置300的構(gòu)成的詳細(xì)示意圖。參照?qǐng)D11，源氣體供給裝置300包括源氣體生成部310、載氣供給部320、流量控制部330、源氣體凝結(jié)部340、傳感器部350、蒸鍍室360、旁路部370、多個(gè)閥381 386、以及連接上述構(gòu)成要素的氣體通道390。首先，源氣體生成部310、載氣供給部320以及流量控制部330，與上述第一實(shí)施例中提及的源氣體生成部210、載氣供給部220以及流量控制部230執(zhí)行相同的功能，故省略詳細(xì)說(shuō)明。再者，源氣體凝結(jié)部340的一端與上述源氣體生成部310連接，另一端與蒸鍍室 360及旁路部370連接，用于執(zhí)行對(duì)流入到源氣體生成部310內(nèi)的源氣體選擇性地進(jìn)行凝結(jié)或者蒸發(fā)的功能。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，源氣體凝結(jié)部340以由后述的傳感器部350所檢測(cè)的載氣的流量(flow rate)為基準(zhǔn)，可對(duì)源氣體選擇性地進(jìn)行凝結(jié)或者蒸發(fā)。而且，傳感器部350檢測(cè)通過(guò)源氣體凝結(jié)部340的載氣的壓力或者流量(flow rate)。由傳感器部350所檢測(cè)的載氣的壓力或者流量可作為決定后述的源氣體凝結(jié)部340 的動(dòng)作類型(即，使源氣體凝結(jié)的動(dòng)作或者源氣體蒸發(fā)的動(dòng)作)的基準(zhǔn)。
下面，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的源氣體凝結(jié)部340及傳感器部350的構(gòu)成及動(dòng)作原理。圖12至圖4是表示源氣體供給裝置300的源氣體凝結(jié)部340的動(dòng)作步驟的一實(shí)施例的示意圖。作為參考，圖12至圖14是示出源氣體凝結(jié)部340的剖視圖。首先，參照?qǐng)D12，源氣體凝結(jié)部340可包括第一凝結(jié)部341，第一溫度調(diào)節(jié)部 343，第二凝結(jié)部344以及第二溫度調(diào)節(jié)部345。在此，第一凝結(jié)部部341是柱狀結(jié)構(gòu)物，可配置在源氣體生成部310側(cè)，而第二凝結(jié)部344是網(wǎng)(mesh)狀結(jié)構(gòu)物，可配置在蒸鍍室360 側(cè)。而且，第一溫度調(diào)節(jié)部343及第二溫度調(diào)節(jié)部345分別執(zhí)行調(diào)節(jié)第一凝結(jié)部341及第二凝結(jié)部344內(nèi)部溫度的功能，其可以包括規(guī)定的加熱器及冷卻器。另外，源氣體凝結(jié)部340 的兩端可以與源氣體的輸送通道390連接，在輸送通道390上可以連接有多個(gè)加熱器392， 以使輸送通道390內(nèi)的溫度保持一定溫度以上，從而保證源氣體在移動(dòng)的途中不被凝結(jié)。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，可通過(guò)冷卻第一凝結(jié)部341或者第二凝結(jié)部344的內(nèi)部， 在第一凝結(jié)部341或者第二凝結(jié)部344中分別凝結(jié)源氣體。相反地，也可以通過(guò)加熱第一凝結(jié)部341或者第二凝結(jié)部344的內(nèi)部來(lái)使凝結(jié)在第一凝結(jié)部341或者第二凝結(jié)部344上的源氣體蒸發(fā)。之后，參照?qǐng)D13，當(dāng)由傳感器部350檢測(cè)到的、通過(guò)源氣體凝結(jié)部340的載氣壓力或者流量大于事先設(shè)定的壓力或者流量時(shí)，源氣體凝結(jié)部340使源氣體流入源氣體凝結(jié)部 340內(nèi)，并冷卻源氣體凝結(jié)部340的內(nèi)部，從而在源氣體凝結(jié)部340內(nèi)凝結(jié)規(guī)定量的源氣體。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在源氣體凝結(jié)部340的第一凝結(jié)部341的情況，源氣體可以在管狀結(jié)構(gòu)物的內(nèi)表面342上凝結(jié)，在源氣體凝結(jié)部340的第二凝結(jié)部344的情況，源氣體可以在網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物344上凝結(jié)。特別是，第二凝結(jié)部344的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物344具有密實(shí)的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，可在源氣體凝結(jié)部340的蒸鍍室360側(cè)的整個(gè)通道上形成。在具有這種密實(shí)的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物344上凝結(jié)大量的源氣體時(shí)，可使氣體移動(dòng)的通道變窄，因此，減少通過(guò)上述網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物344的載氣的壓力及流量(flow rate)。由此，利用如上所述的大量源氣體凝結(jié)在網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物344上時(shí)載氣的壓力或者流量減少的現(xiàn)象，在網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物344上凝結(jié)源氣體，直到使傳感器部350所檢測(cè)的載氣的壓力及流量達(dá)到與事先設(shè)定的特定壓力或者流量相同為止，從而能夠使與上述事先設(shè)定的特定壓力或者流量相對(duì)應(yīng)的、特定量的源氣體在源氣體凝結(jié)部340內(nèi)凝結(jié)。而且，在源氣體凝結(jié)部340內(nèi)凝結(jié)特定量的源氣體的期間，不能準(zhǔn)確地控制從源氣體凝結(jié)部340排出的源氣體的壓力或者流量，因此，不應(yīng)直接使源氣體流入蒸鍍室360 內(nèi)。由此，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，源氣體在源氣體凝結(jié)部340內(nèi)凝結(jié)的期間，可利用后述的閥385 386控制源氣體的移動(dòng)路徑，以使通過(guò)源氣體凝結(jié)部340的載氣及源氣體不流入蒸鍍室360內(nèi)而流入旁路部370。再者，參照?qǐng)D14，由傳感器部350檢測(cè)到的、通過(guò)源氣體凝結(jié)部340的載氣壓力或者流量與事先設(shè)定的特定壓力或者流量實(shí)質(zhì)上相同時(shí)，可以阻斷源氣體流入源氣體凝結(jié)部 340，以避免更多源氣體在源氣體凝結(jié)部340內(nèi)凝結(jié)。在此，可利用后述的閥384來(lái)阻斷源氣體的流入，具體地，通過(guò)關(guān)閉位于源氣體凝結(jié)部340的源氣體生成部310側(cè)一端上的第四閥384來(lái)執(zhí)行。例如，當(dāng)由于凝結(jié)在網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物344上的源氣體而使載氣流量減少到在網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物344上未凝結(jié)有源氣體時(shí)通過(guò)網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物344的載氣流量的l/n(n彡2的整數(shù))時(shí)，阻斷源氣體從上述源氣體生成部310流入源氣體凝結(jié)部340。而且，如上所述，阻斷源氣體流入源氣體凝結(jié)部340內(nèi)之后，源氣體凝結(jié)部340利用第一溫度調(diào)節(jié)部343或者第二溫度調(diào)節(jié)部345，提高源氣體凝結(jié)部340內(nèi)部的溫度，從而能夠使凝結(jié)在第一凝結(jié)部341或者第二凝結(jié)部344內(nèi)的源氣體346蒸發(fā)。如上所述，在阻斷源氣體流入源氣體凝結(jié)部340內(nèi)的狀態(tài)下，使已凝結(jié)在源氣體凝結(jié)部340內(nèi)的特定量的源氣體346蒸發(fā)，從而能夠準(zhǔn)確地控制流入蒸鍍室360內(nèi)的源氣體的壓力及流量。另外，圖15是表示源氣體供給裝置300的源氣體凝結(jié)部340的動(dòng)作步驟的另一實(shí)施例的示意圖。作為參考，圖15是示出源氣體凝結(jié)部340的剖視圖。參照?qǐng)D15，在源氣體凝結(jié)部340的第一凝結(jié)部341及第二凝結(jié)部344內(nèi)進(jìn)行的源氣體的凝結(jié)及蒸發(fā)過(guò)程可分別獨(dú)立進(jìn)行，因此，能夠更準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)從源氣體凝結(jié)部340蒸發(fā)并流入蒸鍍室360內(nèi)的源氣體的量。特別是，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在第一凝結(jié)部341 及第二凝結(jié)部344上都凝結(jié)源氣體之后，可以只蒸發(fā)在第二凝結(jié)部344上凝結(jié)的少量的源氣體，而不蒸發(fā)在第一凝結(jié)部341上凝結(jié)的源氣體，由此，能夠微量調(diào)節(jié)流入蒸鍍室360內(nèi)的源氣體的量。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的源氣體凝結(jié)部340及傳感器部350，能夠準(zhǔn)確地控制流入蒸鍍室360內(nèi)的源氣體的壓力或者流量。特別是，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的控制源氣體的量或者壓力，在如采用原子層沉積法(Atomic Layer Deposition ALD)進(jìn)行原子層單位或者其以下的薄膜沉積等，需要微量調(diào)節(jié)流入蒸鍍室內(nèi)的源氣體量時(shí)，尤其有效。再者，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選一實(shí)施例，源氣體供給裝置300可以包括多個(gè)源氣體凝結(jié)部340。例如，多個(gè)源氣體凝結(jié)部340并列設(shè)置在源氣體生成部310與蒸鍍室360之間， 此時(shí)，可以抵消在各源氣體凝結(jié)部340內(nèi)凝結(jié)的源氣體凝結(jié)量的誤差，因此，能夠更準(zhǔn)確地控制流入蒸鍍室360內(nèi)的源氣體的壓力或者流量。另外，蒸鍍室360、旁路部370及多個(gè)閥381 386，與上述第一實(shí)施例中提及的蒸鍍室250、旁路部260及多個(gè)閥271 276執(zhí)行相同的功能，故省略詳細(xì)說(shuō)明。本發(fā)明雖然例舉如上所述的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于上述實(shí)施例， 在不脫離本發(fā)明的思想范圍內(nèi)，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可進(jìn)行多種變形和變化。 這些變形例及變化均屬于本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種源氣體供給裝置，在采用化學(xué)氣相沉積法進(jìn)行薄膜蒸鍍時(shí)，向蒸鍍室供給源氣體，其特征在于，包括源氣體生成部，加熱源物質(zhì)而生成源氣體；以及源氣體凝結(jié)部，在上述源氣體生成部生成的源氣體流入上述源氣體凝結(jié)部并被凝結(jié)；其中，使源氣體從上述源氣體生成部流入上述源氣體凝結(jié)部，并使源氣體在上述源氣體凝結(jié)部被凝結(jié)，直至在上述源氣體凝結(jié)部凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量為止; 當(dāng)在上述源氣體凝結(jié)部凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量之后，阻斷源氣體從上述源氣體生成部流入上述源氣體凝結(jié)部，并使凝結(jié)在上述源氣體凝結(jié)部的源氣體流入上述蒸鍍室。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的源氣體供給裝置，其特征在于，上述源氣體凝結(jié)部包括隔開(kāi)規(guī)定間距對(duì)置配置的第一主體部及第二主體部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的源氣體供給裝置，其特征在于，將上述第一主體部的溫度調(diào)節(jié)到低于上述源氣體的凝結(jié)溫度，而將上述第二主體部的溫度調(diào)節(jié)到高于上述源氣體的凝結(jié)溫度，直至在上述源氣體凝結(jié)部凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量為止；當(dāng)在上述源氣體凝結(jié)部凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量之后，將上述第一主體部及上述第二主體部的溫度調(diào)節(jié)到高于上述源氣體的凝結(jié)溫度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的源氣體供給裝置，其特征在于，上述源氣體的飽和凝結(jié)量由上述第一主體部與上述第二主體部之間的溫度差以及上述第一主體部與上述第二主體部之間的距離中的至少一個(gè)來(lái)確定。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的源氣體供給裝置，其特征在于，在上述第一主體部上連接有第一溫度調(diào)節(jié)部，在上述第二主體部上連接有第二溫度調(diào)節(jié)部。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的源氣體供給裝置，其特征在于，上述第一主體部及上述第二主體部是板狀結(jié)構(gòu)物。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的源氣體供給裝置，其特征在于，上述第一主體部是柱狀結(jié)構(gòu)物，上述第二主體部是圍繞上述第一主體部的空心的柱狀結(jié)構(gòu)物。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的源氣體供給裝置，其特征在于，上述源氣體凝結(jié)部并列設(shè)置有多個(gè)。
9.一種源氣體供給裝置，在采用化學(xué)氣相沉積法進(jìn)行薄膜蒸鍍時(shí)，向蒸鍍室供給源氣體，其特征在于，包括源氣體生成部，加熱源物質(zhì)而生成源氣體；源氣體凝結(jié)部，在上述源氣體生成部生成的源氣體流入上述源氣體凝結(jié)部并被凝結(jié)；載氣供給部，用于供給載氣以使在上述源氣體生成部生成的源氣體順利地流入上述源氣體凝結(jié)部；以及傳感器部，用于檢測(cè)通過(guò)上述源氣體凝結(jié)部的載氣流量；當(dāng)上述檢測(cè)到的流量大于事先設(shè)定的流量時(shí)，使源氣體從上述源氣體生成部流入上述源氣體凝結(jié)部，并使源氣體在上述源氣體凝結(jié)部被凝結(jié)；當(dāng)上述檢測(cè)到的流量與事先設(shè)定的流量實(shí)質(zhì)上相同時(shí)，阻斷源氣體從上述源氣體生成部流入上述源氣體凝結(jié)部，并使凝結(jié)在上述源氣體凝結(jié)部?jī)?nèi)的源氣體流入上述蒸鍍室。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的源氣體供給裝置，其特征在于，上述源氣體凝結(jié)部并列設(shè)置有多個(gè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的源氣體供給裝置，其特征在于，上述源氣體凝結(jié)部包括配置在上述源氣體生成部側(cè)的第一凝結(jié)部和配置在上述蒸鍍室側(cè)的第二凝結(jié)部。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的源氣體供給裝置，其特征在于，上述第一凝結(jié)部是管狀結(jié)構(gòu)物。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的源氣體供給裝置，其特征在于，上述第二凝結(jié)部是網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的源氣體供給裝置，其特征在于，隨著源氣體在上述網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物上凝結(jié)，通過(guò)上述網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物的載氣流量減少。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的源氣體供給裝置，其特征在于，當(dāng)上述減少的載氣流量達(dá)到在上述網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物上未凝結(jié)有源氣體時(shí)通過(guò)上述網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物的載氣流量的1/n時(shí)，阻斷源氣體從上述源氣體生成部流入上述源氣體凝結(jié)部，其中， η是大于等于2的整數(shù)。
16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的源氣體供給裝置，其特征在于，在上述第一凝結(jié)部上連接有第一溫度調(diào)節(jié)部，在上述第二凝結(jié)部上連接有第二溫度調(diào)節(jié)部。
17.根據(jù)權(quán)利要求9所述的源氣體供給裝置，其特征在于，在上述載氣供給部與上述源氣體生成部之間設(shè)置有流量控制部，該流量控制部用于控制流入上述源氣體生成部的載氣流量。
全文摘要
一種采用化學(xué)氣相沉積法進(jìn)行薄膜蒸鍍時(shí)將源物質(zhì)進(jìn)行氣化并供給蒸鍍室的源氣體供給裝置。該源氣體供給裝置(200)包括源氣體生成部(210)，加熱源物質(zhì)而生成源氣體；源氣體凝結(jié)部(240)，使在源氣體生成部生成的源氣體流入并被凝結(jié)；在此，使源氣體從源氣體生成部(210)流入源氣體凝結(jié)部(240)，并且在源氣體凝結(jié)部(240)凝結(jié)源氣體，直至在源氣體凝結(jié)部(240)凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量為止；當(dāng)在源氣體凝結(jié)部(240)內(nèi)凝結(jié)的源氣體的凝結(jié)量達(dá)到飽和凝結(jié)量之后，阻斷源氣體從源氣體生成部(210)流入源氣體凝結(jié)部(240)，使在源氣體凝結(jié)部(240)內(nèi)凝結(jié)的源氣體流入蒸鍍室(250)。
文檔編號(hào)H01L21/205GK102165560SQ200980138274
公開(kāi)日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2009年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月1日
發(fā)明者宋鐘鎬, 張錫弼, 樸暻完, 李炳一 申請(qǐng)人:泰拉半導(dǎo)體株式會(huì)社