專利名稱：晶體硅太陽能電池燒結爐的頂針網帶的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池制作設備，進一步是指采用頂針網帶的太陽能電池燒 結爐傳動機構。
背景技術：
太陽能電池是利用半導體材料光生伏打效應直接將光能轉化為電能的器件，硅基 太陽能電池以成熟的工藝，高轉換效率成為市場的主流產品。硅基太陽能電池是以半導 體材料硅為基體，利用擴散工藝在硅基體中摻入硼、磷等雜質，形成太陽能電池的核心器 件-pn結。當光照在p-n結上，形成新的空穴_電子對，在p-n結內電場的作用下，空穴由η 區(qū)流向P區(qū)，電子由P區(qū)流向η區(qū)，接通電路后就形成電流，這樣就形成了太陽能電池。燒 結是晶體硅電池制作工藝中的最后實質性的一道工藝，其將印刷在硅片表面的導電金屬層 在高溫的作用完成與P-n結的接觸。燒結是完成電池金屬化，形成正負極的關鍵工藝步驟。 傳統(tǒng)燒結爐采用無頂針網帶傳送硅片完成燒結工藝，硅片與網帶接觸面積大，易形成背場 陰影，增大了電池內阻，成為提高電池片轉換效率的瓶頸。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是，針對現(xiàn)有技術存在的缺陷，設計一種用于傳送 硅片的晶體硅太陽能電池燒結爐的頂針網帶，它結合適當?shù)膫鲃訖C構，可以在生產工藝過 程中將硅片與網帶的接觸由原來的面接觸改變?yōu)辄c接觸，減少背場陰影，提高電池片的轉 換效率。本實用新型的技術方案是，所述晶體硅太陽能電池燒結爐的頂針網帶包括兩端分 別繞裝在導向滾輪和主動滾輪上而做循環(huán)運行的輸送網帶，驅動電機的主軸經減速機和傳 動機構同主動滾輪聯(lián)接；輸送網帶位于導向滾輪和主動滾輪下方的網帶體側有換向惰輪和 支撐惰輪，導向滾輪和主動滾輪之間且位于該導向滾輪和主動滾輪上方的網帶體的下面裝 有用以承托網帶體的支撐石英導軌，其結構特點是，所述輸送網帶的外表面上均勻設置多 個頂針且所述頂針成行成列布置；輸送網帶位于導向滾輪和主動滾輪下方的網帶體一側裝 有輸送網帶張緊機構。本實用新型的工作原理是，在輸送網帶的外表面設置(焊接)做為支承硅片之支 點的頂針，最好是每單行兩個頂針(支點)，頂針在整個網帶長度上均布，頂針之間的行距 和列距根據硅片尺寸決定，每個硅片由四個頂針(支點)支撐。在傳送硅片時，頂針朝上， 硅片放置在頂針上完成燒結工藝。硅片在出片口卸出并進入下道工序，網帶返回循環(huán)運行。 實際安裝時，主動滾輪8設置在燒結爐的尾部，導向滾輪1設置在燒結爐的頭部，驅動電機 10經減速機驅動主動滾輪8運轉，在張緊機構和主動滾輪8的摩擦力共同作用下，有頂針的 輸送網帶2隨著主動滾輪8的運轉而往復循環(huán)前進。爐內支撐石英導軌5和換向惰輪3及 支撐惰輪4分別在爐內和返程支撐網帶。由以上可知，本實用新型為一種用于傳送硅片的晶體硅太陽能電池燒結爐的頂針網帶，它結合適當?shù)膫鲃訖C構，可以在生產工藝過程中將硅片與網帶的接觸由原來的面接 觸改變?yōu)辄c接觸，減少了背場陰影，有效提高了電池片的轉換效率。
圖1是本實用新型一種實施例的整體結構示意圖；圖2是圖1中輸送網帶及頂針的截面結構示意圖；圖3是圖1所示裝置中張緊機構的結構示意圖；圖4是圖1所示裝置中換向滾輪的結構示意圖；圖5是換向滾輪表面開有用以容置頂針的槽的結構示意圖。在圖中1-導向滾輪，4-支撐惰輪，7-張緊汽缸，10-驅動電機，13-齒輪，16-較大硅片，
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型所述晶體硅太陽能電池燒結爐的頂針網帶包括兩端分別 繞裝在導向滾輪1和主動滾輪8上而做循環(huán)運行的輸送網帶2，驅動電機10的主軸經減速 機和傳動機構同主動滾輪8聯(lián)接；輸送網帶2位于導向滾輪1和主動滾輪8下方的網帶體 側設有換向惰輪3和支撐惰輪5，導向滾輪1和主動滾輪8之間且位于該導向滾輪1和主動 滾輪8上方的網帶體的下面裝有用以承托網帶體的支撐石英導軌5，其結構特點是，所述輸 送網帶2的外表面上均勻設置多個頂針17 (參見圖2)且所述頂針成行成列布置；輸送網帶 2位于導向滾輪1和主動滾輪8下方的網帶體一側裝有輸送網帶張緊機構。所述輸送網帶張緊機構的一種實施例結構如圖1所示，它包括一只換向滾輪6和 一只張緊滾輪9，主動滾輪8下方的輸送網帶呈“S”形繞經該兩只滾輪；如圖3和圖4所示， 所述張緊滾輪9的軸兩端各裝有一只齒輪13且齒輪13置于對應的齒條12上并與對應的 齒條12嚙合；所述張緊滾輪9的軸兩端還各裝有滑動軸承座14，所述滑動軸承座14的頂 部滑條和底部滑條分別置于對應的直滑條導軌11的導槽中；該兩滑動軸承座14分別同對 應的液壓油缸7的活塞前端連接，而所述液壓油缸7的缸體相對地面(機架)固定安裝。本實用新型中，驅動電機10經減速機驅動主動滾輪8轉動，在張緊汽缸7的推力 到達一定程度，主動滾輪8和輸送網帶2的摩擦力足以驅動輸送網帶2與主動滾輪8同步 運動，形成循環(huán)往復運動。張緊汽缸7產生推力，推動固定在張緊滾輪9軸上的滑動軸承座 14在滑條導軌11上直線運動，使固定在張緊滾輪9上的齒輪13沿著齒條12滾動前行，保 證張緊滾輪9兩端同步(參見圖4)。換向滾輪6和換向惰輪3用以在需要的位置改變輸 送網帶2的傳動方向。支撐惰輪4和支撐石英導軌5分別在網帶回程和爐內支撐輸送網帶 2。換向滾輪6和支撐惰輪4與輸送網帶2帶頂針的一面接觸，該換向滾輪6表面開有用以 容置頂針的槽18 (參見圖5)。頂針網帶2采用特殊設計，可以通用于較小硅片(如5”硅
2-頂針網帶， 5-支撐石英導軌， 8-主動滾輪， 11-滑條導軌， 14-滑動軸承座， 17-頂針，
3_換向惰輪， 6_換向滾輪， 9-張緊滾輪， 12-齒條， 15-較小硅片， 18-槽。
4片)15和較大硅片16 (如6”硅片)的兩種常用規(guī)格硅片(參見圖2)。
權利要求一種晶體硅太陽能電池燒結爐的頂針網帶，包括兩端分別繞裝在導向滾輪(1)和主動滾輪(8)上而做循環(huán)運行的輸送網帶(2)，驅動電機(10)的主軸經減速機和傳動機構同主動滾輪(8)聯(lián)接；輸送網帶(2)位于導向滾輪(1)和主動滾輪(8)下方的網帶體側設有換向惰輪(3)和支撐惰輪(5)，導向滾輪(1)和主動滾輪(8)之間且位于該導向滾輪(1)和主動滾輪(8)上方的網帶體的下面裝有用以承托網帶體的支撐石英導軌(5)，其特征是，所述輸送網帶(2)的外表面上均勻設置多個頂針(17)且所述頂針成行成列布置；輸送網帶(2)位于導向滾輪(1)和主動滾輪(8)下方的網帶體一側裝有輸送網帶張緊機構。
2.根據權利要求1所述晶體硅太陽能電池燒結爐的頂針網帶，其特征是，所述輸送網 帶張緊機構包括一只換向滾輪(6)和一只張緊滾輪(9)，主動滾輪(8)下方的輸送網帶呈 “S”形繞經該兩只滾輪；所述張緊滾輪(9)的軸兩端各裝有一只齒輪(13)且齒輪(13)置 于對應的齒條(12)上并與對應的齒條(12)嚙合；所述張緊滾輪(9)的軸兩端還各裝有滑 動軸承座(14)，所述滑動軸承座(14)的頂部滑條和底部滑條分別置于對應的直滑條導軌 (11)的導槽中；該兩滑動軸承座(14)分別同對應的液壓油缸(7)的活塞前端連接，而所述 液壓油缸(7)的缸體相對地面固定安裝。
3.根據權利要求1所述晶體硅太陽能電池燒結爐的頂針網帶，其特征是，每單行設置 兩個頂針。
4.根據權利要求1所述晶體硅太陽能電池燒結爐的頂針網帶，其特征是，所述換向滾 輪(6)表面開有用以容置頂針的槽(18)。
專利摘要一種晶體硅太陽能電池燒結爐的頂針網帶，包括兩端分別繞裝在導向滾輪和主動滾輪上而做循環(huán)運行的輸送網帶，驅動電機的主軸經減速機和傳動機構同主動滾輪聯(lián)接；輸送網帶位于導向滾輪和主動滾輪下方的網帶體側設有換向惰輪和支撐惰輪，導向滾輪和主動滾輪之間且位于該導向滾輪和主動滾輪上方的網帶體的下面裝有用以承托網帶體的支撐石英導軌，其特征是，所述輸送網帶的外表面上均勻設置多個頂針且所述頂針成行成列布置；輸送網帶位于導向滾輪和主動滾輪下方的網帶體一側裝有輸送網帶張緊機構。它用于硅片燒結工藝，可以減少硅片背場與網帶的接觸面積，減少由此形成的背場陰影，提高電池片的轉換效率。
文檔編號H01L31/18GK201611666SQ20092025965
公開日2010年10月20日 申請日期2009年12月14日 優(yōu)先權日2009年12月14日
發(fā)明者郭立 申請人:中國電子科技集團公司第四十八研究所