專利名稱：多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體設(shè)備上多種化學(xué)品的分類排放或回收的裝置，具體為一 種多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，在工藝處理單元的化學(xué)品使用后，對要排放的多種化 學(xué)品進(jìn)行自動(dòng)分類排放或回收，多用于半導(dǎo)體制成的顯影設(shè)備清洗設(shè)備刻蝕設(shè)備等。
背景技術(shù)：
目前，隨著在半導(dǎo)體制成的多樣化設(shè)備中很多清洗刻蝕顯影等設(shè)備的工藝很復(fù) 雜，制程中需要使用多種化學(xué)品，有的化學(xué)品價(jià)格昂貴，使用一次后就直接排放造成浪 費(fèi)，還有一些化學(xué)品相互之間不能混合排放，否則會(huì)造成危險(xiǎn)，或是對工廠的排廢系統(tǒng) 造成腐蝕危害，使機(jī)臺對不同工藝制品的工藝制成不完全適用。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服直接排放浪費(fèi)，解決再回收利用和多種化學(xué)品分類排放的問題，本發(fā) 明的目的在于提供一種多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，它是廢液自動(dòng)分類排放回收系 統(tǒng)，可以充分解決上述問題。本發(fā)明的技術(shù)方案是一種多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，該系統(tǒng)設(shè)有排放廢液收集管、分類排放 管、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)支臂，排放廢液收集管安裝于旋轉(zhuǎn)支臂上，旋轉(zhuǎn)支臂與分類排放廢 液管支架上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過軸承連接，旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)支臂旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)排放廢液收 集管與相應(yīng)的分類排放管對應(yīng)。所述的多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，還設(shè)有防漏液收集盤，防漏液收集盤為 環(huán)形槽結(jié)構(gòu)，分類排放管設(shè)置于防漏液收集盤的環(huán)形槽內(nèi)。所述的多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，分類排放管底部的排放口分別與相應(yīng)的 可回收廢液桶或不可回收液體直排管道連通。所述的多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，該系統(tǒng)固定在最底部的旋轉(zhuǎn)軸承上，整 體系統(tǒng)以旋轉(zhuǎn)軸承為支點(diǎn)在360度范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。所述的多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，可回收廢液桶設(shè)置于該系統(tǒng)的可旋轉(zhuǎn)底 板上，在可旋轉(zhuǎn)底板的底部設(shè)有上限位擋塊，整體系統(tǒng)的下方設(shè)有與上限位擋塊旋轉(zhuǎn)方 向相應(yīng)的下限位擋塊。本發(fā)明的有益效果是1、本發(fā)明結(jié)構(gòu)巧妙，在不耽誤機(jī)臺設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下，自動(dòng)的對各種使用 的多種化學(xué)品進(jìn)行分類排放，操作簡單，使設(shè)備能適用更多重的工藝制程，而且還有效 地將價(jià)格昂貴的化學(xué)品單獨(dú)回收后再利用，從而節(jié)省資金。2、本發(fā)明在工藝單元下部安裝排液管路，利用電機(jī)控制排液的排液路徑，電機(jī) 轉(zhuǎn)動(dòng)停止位置由定位傳感器精確定位。當(dāng)上部的工藝單元使用一種化學(xué)品時(shí)，其供應(yīng) 系統(tǒng)通訊其指定的排放傳感器工作，電機(jī)驅(qū)動(dòng)排液管轉(zhuǎn)動(dòng)，到指定位置后停止，廢液排放。當(dāng)使用另一種化學(xué)品時(shí)，電機(jī)自動(dòng)驅(qū)動(dòng)排液管轉(zhuǎn)到另一指定的位置進(jìn)行排液，從而 實(shí)現(xiàn)不同化學(xué)品分類排放的目的，整體部分可以隨意轉(zhuǎn)動(dòng)一周，便于操作人員對回收桶 的取放。3、本發(fā)明整體系統(tǒng)設(shè)有泄露檢測、液位檢測、液體排放檢測等，結(jié)構(gòu)簡單、實(shí)用。


圖1本發(fā)明立體結(jié)構(gòu)圖(省略部分可回收廢液桶4)。圖2是本發(fā)明的主視圖。圖中，1排放廢液收集管；2分類排放管；3旋轉(zhuǎn)電機(jī)；4可回收廢液桶；5連接 固定盤；6可旋轉(zhuǎn)底板；7旋轉(zhuǎn)支臂；8防漏液收集盤；9不可回收液體直排管道；10上 限位擋塊；11下限位擋塊；12旋轉(zhuǎn)軸承；13液位傳感器；14分類排放廢液管支架；15 機(jī)臺。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。如圖1-圖2所示，本發(fā)明多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)主要包括排放廢液收集 管1、分類排放管2、旋轉(zhuǎn)電機(jī)3、可回收廢液桶4、連接固定盤5、可旋轉(zhuǎn)底板6、旋轉(zhuǎn) 支臂7、防漏液收集盤8、不可回收液體直排管道9、上限位擋塊10、下限位擋塊11、旋 轉(zhuǎn)軸承12、液位傳感器13、分類排放廢液管支架14等，具體結(jié)構(gòu)如下排放廢液收集管1安裝于旋轉(zhuǎn)支臂7上，旋轉(zhuǎn)支臂7與分類排放廢液管支架14 上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)3通過軸承連接，旋轉(zhuǎn)電機(jī)3通過分類排放廢液管支架14的連接固定盤5 支撐，旋轉(zhuǎn)電機(jī)3通過驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)支臂7旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)排放廢液收集管1與指定的分類排放管2 相對應(yīng)。防漏液收集盤8為環(huán)形槽結(jié)構(gòu)，分類排放管2設(shè)置于防漏液收集盤8的環(huán)形槽 內(nèi)，分類排放管2底部的排放口分別與相應(yīng)的可回收廢液桶4或不可回收液體直排管道9 連通，在可回收廢液桶4中安裝液位傳感器13，可回收廢液桶4設(shè)置于該系統(tǒng)的可旋轉(zhuǎn)底 板6上。本實(shí)施例中，分類排放管2為六個(gè)，其中五個(gè)分類排放管2分別與可回收廢液桶 4相對應(yīng)另外一個(gè)分類排放管2與不可回收液體直排管道9連通。本發(fā)明中，整體系統(tǒng)固定在最底部(即可旋轉(zhuǎn)底板6的底部)的旋轉(zhuǎn)軸承12上， 整體系統(tǒng)以旋轉(zhuǎn)軸承12為支點(diǎn)在360度范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。分類排放廢液管支架14安裝于可 旋轉(zhuǎn)底板6上，在可旋轉(zhuǎn)底板6的底部還設(shè)有上限位擋塊10，整體系統(tǒng)的下方設(shè)有與上限 位擋塊10旋轉(zhuǎn)方向相應(yīng)的下限位擋塊11，通過上限位擋塊10和下限位擋塊11配合，限 制整體系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)角度。本發(fā)明的工作過程如下在圖1中，當(dāng)上部的工藝單元工作時(shí)，無論要使用何種化學(xué)品，旋轉(zhuǎn)電機(jī)3會(huì)通 過指令驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)支臂7帶著排放廢液收集管1旋轉(zhuǎn)到指定的、分類排放管2的廢液排放 口，廢舊化學(xué)品利用后，通過排放廢液收集管1流下，經(jīng)過分類排放管2排放到指定的地 方。如果是可回收的化學(xué)品，則直接排放到相應(yīng)的可回收廢液桶4內(nèi)。如果是不可回收的廢液，則可直徑通過不可回收液體直排管道9排放到工廠廢液管道中去，旋轉(zhuǎn)電機(jī)3是 通過分類排放廢液管支架14的連接固定盤5來支撐的，整體系統(tǒng)固定在最底部的旋轉(zhuǎn)軸 承12上，整體系統(tǒng)可以旋轉(zhuǎn)軸承12為支點(diǎn)旋轉(zhuǎn)360度，為防止旋轉(zhuǎn)圈數(shù)過多使相關(guān)電纜 和管路盤繞，通過上限位擋塊10和下限位擋塊11來限制，上限位擋塊10固定在可旋轉(zhuǎn) 底板6的底部，下限位擋塊11固定在機(jī)臺15(清洗刻蝕顯影等設(shè)備的機(jī)臺，位于本發(fā)明 整體系統(tǒng)的下方)上。當(dāng)排放廢液收集管1旋轉(zhuǎn)過程中，管道內(nèi)部的殘留液體會(huì)落在防 漏液收集盤8中，這樣就避免液體泄漏。當(dāng)液體排到一定量后，為了防止超量從可回收 廢液桶4中溢出，要在可回收廢液桶4中安裝液位傳感器13，用以檢測收集量，每種可回 收廢液桶4和對應(yīng)的分類排放管2位置是相對不變的。 通過上述方案，可以克服直接排放浪費(fèi)，解決再回收利用和多種化學(xué)品分類排 放的問題。
權(quán)利要求
1.一種多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，其特征在于該系統(tǒng)設(shè)有排放廢液收集管、 分類排放管、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)支臂，排放廢液收集管安裝于旋轉(zhuǎn)支臂上，旋轉(zhuǎn)支臂與分 類排放廢液管支架上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過軸承連接，旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)支臂旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)排 放廢液收集管與相應(yīng)的分類排放管對應(yīng)。
2.按照權(quán)利要求1所述的多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，其特征在于還設(shè)有防漏 液收集盤，防漏液收集盤為環(huán)形槽結(jié)構(gòu)，分類排放管設(shè)置于防漏液收集盤的環(huán)形槽內(nèi)。
3.按照權(quán)利要求1所述的多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，其特征在于分類排放管 底部的排放口分別與相應(yīng)的可回收廢液桶或不可回收液體直排管道連通。
4.按照權(quán)利要求1所述的多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，其特征在于該系統(tǒng)固定 在最底部的旋轉(zhuǎn)軸承上，整體系統(tǒng)以旋轉(zhuǎn)軸承為支點(diǎn)在360度范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
5.按照權(quán)利要求1所述的多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，其特征在于可回收廢液 桶設(shè)置于該系統(tǒng)的可旋轉(zhuǎn)底板上，在可旋轉(zhuǎn)底板的底部設(shè)有上限位擋塊，整體系統(tǒng)的下 方設(shè)有與上限位擋塊旋轉(zhuǎn)方向相應(yīng)的下限位擋塊。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體設(shè)備上多種化學(xué)品的分類排放或回收的裝置，具體為一種多種化學(xué)品分類排放回收系統(tǒng)，在工藝處理單元的化學(xué)品使用后，對要排放的多種化學(xué)品進(jìn)行自動(dòng)分類排放或回收，多用于半導(dǎo)體制成的顯影設(shè)備清洗設(shè)備刻蝕設(shè)備等。該系統(tǒng)設(shè)有排放廢液收集管、分類排放管、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)支臂，排放廢液收集管安裝于旋轉(zhuǎn)支臂上，旋轉(zhuǎn)支臂與分類排放廢液管支架上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過軸承連接，旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)支臂旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)排放廢液收集管與相應(yīng)的分類排放管對應(yīng)。采用本發(fā)明可以克服直接排放浪費(fèi)，解決再回收利用和多種化學(xué)品分類排放的問題。
文檔編號H01L21/00GK102024675SQ20091022003
公開日2011年4月20日 申請日期2009年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月20日
發(fā)明者汪明波, 王紹勇 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司