專利名稱:帶放電電極清掃裝置的電離器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種帶放電電極清掃裝置的電離器,該電離器用于除 去(中和)帶電工件上的正、負(fù)電荷。再詳細(xì)一點說,利用電暈放 電而產(chǎn)生正、負(fù)離子的放電電極臟了的時候,要用清掃裝置清潔, 上述這種電離器就是帶有這種清掃裝置的電離器。
背景技術(shù):
在半導(dǎo)體晶片或液晶玻璃等工件的處理工序中,為了中和因靜電 效應(yīng)而帶電的工件上的正、負(fù)電荷(除靜電),要使用利用電暈放 電原理的電離器。這種利用電暈放電原理的電離器,大致分為直流 式和交流式兩種。直流式電離器 一般具有針狀的正放電電極和負(fù)放 電電極,這些》文電電極在外加高壓電的作用下在電極前端的放電部 位產(chǎn)生電暈放電現(xiàn)象,將此時產(chǎn)生的正、負(fù)離子用空氣流的方式吹 送到工件上,從而使該工件上的正、負(fù)電荷中和。交流式的電離器, 外加交流電壓到放電電極上,在此電極上會交替地產(chǎn)生正離子及負(fù) 離子。
這種電離器,放電電極發(fā)生電暈放電,會使空氣中的灰塵等被吸 引并附著在放電部位,使該放電部位慢慢地變成絕緣狀態(tài),因而會 使電暈放電現(xiàn)象較難發(fā)生,阻礙了離子的產(chǎn)生,導(dǎo)致電離器除靜電 效率降低。因此,需要用刷子等清掃構(gòu)件對放電部位進行定期清潔。 這時候,要使用特別準(zhǔn)備的清掃構(gòu)件,在清掃構(gòu)件不用的時候,會 有將清掃構(gòu)件丟失或忘記放在哪里等問題。
在專利文獻1中(日本發(fā)明專利公開公報特開2004-234972)公 開有一種為防止這種問題發(fā)生,而在外殼吹風(fēng)口內(nèi)設(shè)置放電電極、 風(fēng)扇和清掃構(gòu)件(刷子構(gòu)件)的電離器。這種電離器,在上述的吹風(fēng)口內(nèi)設(shè)置有被來自于風(fēng)扇的空氣流帶動旋轉(zhuǎn)的可動構(gòu)件,在該可 動構(gòu)件上安裝有上述的清掃構(gòu)件,此清掃構(gòu)件與上述可動構(gòu)件一起 旋轉(zhuǎn)的時候,接觸放電電極的前端,使附著在該前端上的污垢掉落。
但是,上述專利文獻1中所公開的電離器存在著如下所述的弊 端,因為上述的可動構(gòu)件和清掃構(gòu)件是設(shè)置在吹風(fēng)口內(nèi)部的,所以 這會導(dǎo)致含有離子的氣流因可動構(gòu)件和清掃構(gòu)件的存在而變成紊流 或被遮擋,這不僅會使空氣吹出效率降低,還會導(dǎo)致正、負(fù)離子因 空氣的紊流而混雜并再結(jié)合,使吹送到工件上的離子量減少。
另外,因為是在電離器的使用時清掃放電電極,所以會使從放電 電極上脫落的污垢隨氣流飛散,從而出現(xiàn)污垢附著在電離器的其他 部位、吹出電離器而污染除靜電環(huán)境和吹在工件上使該工件受到污 染等問題。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)情況,提出了本發(fā)明。本發(fā)明的目的在于提供 這樣一種電離器,電離器上帶有清潔放電電極用的清掃裝置,該清 掃裝置不會使來自于風(fēng)扇的氣流成為紊流或被遮擋,另外,因清潔 而從放電電極上脫落的污垢不會向周圍飛散而污染除靜電環(huán)境或除 靜電對象。
為達到上述目的,本發(fā)明提供的電離器,在開口于外殼上的吹風(fēng) 口內(nèi)設(shè)置有吹風(fēng)用的風(fēng)扇,同時,在該外殼上的面向上述吹風(fēng)口的 位置設(shè)置了通過電暈放電產(chǎn)生離子的多個放電電極。上述放電電極 安裝在可以在外殼上自由裝卸的電極支承架上,該電極支承架上還 安裝有在多個放電電極間接觸移動的用于清潔上述放電電極的清掃
于離開上述吹風(fēng)口區(qū)域的待機位置。將上述電極支承架從上述外殼 中取出時,為清掃放電電極該清掃構(gòu)件可以移動。
本發(fā)明優(yōu)選,上述支承架由位于上述吹風(fēng)口的一半部分一側(cè)的第
1電極支承架和位于另一半部分一側(cè)的第2電極支撐架構(gòu)成,各電極支承架上分別安裝著上述放電電極和清掃構(gòu)件。
本發(fā)明具體的結(jié)構(gòu)方式是,上述第1、第2電極支承架包括,與 上述的圓形吹風(fēng)口的一部分相適應(yīng)的圓弧狀的彎曲部;以使前端放 電部伸出到上述吹風(fēng)口內(nèi)的姿態(tài)安裝在該彎曲部上的上述放電電 極;在上述電極支承架的前后兩面上,與上述彎曲部相鄰接的位置 形成的導(dǎo)軌;沿著該導(dǎo)軌可自由移動的上述清掃構(gòu)件。上述清掃構(gòu) 件包括,通過夾持的方式安裝在上述彎曲部的刷支架;位于該刷支 架內(nèi)部并與上述放電電極接觸的刷子;可在上述導(dǎo)軌上自由滑動的滑塊。
本發(fā)明的上述導(dǎo)軌由溝槽構(gòu)成,并包括,沿著上述彎曲部平緩彎 曲的主體部和在主體部一端彎曲并與主體部相連的清掃構(gòu)件待才幾
上述突起部分位于上述刷支架的兩側(cè)板的內(nèi)表面上,將上述清掃構(gòu) 件移動到上述滑塊的端部,使一部分滑動突起與上述待機部嵌合, 從而將該清掃構(gòu)件固定在上述的待機位置。
本發(fā)明優(yōu)選,上述電極支承架l和上述電極支承架2具有互換性, 可以互換安裝在上述外殼上。
本發(fā)明在上述外殼上設(shè)置有與高壓電源電連接的多個供電端子, 在上述電極支承架上設(shè)置有與上述放電電極電連接的多個受電端 子,該電極支承架安裝在上述外殼上,上述受電端子與上述供電端 子分別相連。
另外,本發(fā)明具有多個放電電極對,該放電電極對由產(chǎn)生不同離 子的兩個》文電電才及組成,并且,兩個》文電電才及的前端到吹風(fēng)口中心 的距離不同。
本發(fā)明的電離器,在電極支承架上安裝有放電電極和清掃構(gòu)件, 該電極支承架可在外殼上自由裝卸。在電離器停止工作的時候,將 上述電極支承架從外殼中取出,通過上述清掃構(gòu)件來清潔放電電極。 所以,此電離器與上述現(xiàn)有技術(shù)的產(chǎn)品不同,不會出現(xiàn)從放電電極 上脫落的污垢隨氣流向周圍飛散而污染除靜電環(huán)境和除靜電對象的問題。另外,在上述電極支承架安裝在外殼上的時候,上述清掃構(gòu) 件處在離開吹風(fēng)口的上述待機位置,這樣不會導(dǎo)致在電離器工作時 氣流因該清掃構(gòu)件而變成紊流或被遮擋。
圖1為與本發(fā)明相關(guān)的電離器的一個實施方式的斜視圖2為圖1中電離器的局部剖面圖3為相克略地表示風(fēng)扇單元內(nèi)部結(jié)構(gòu)的主一見圖4為取出電極支承架的圖1電離器的斜視圖5為表示放電電極結(jié)構(gòu)的局部剖面圖6為一個電極支承架的主視圖7為圖6電極支承架的后視圖8為表示以清掃構(gòu)件清潔放電電極狀態(tài)下的主視圖9為圖8的局部放大圖10為清掃構(gòu)件的斜視圖11為表示不同的清掃構(gòu)件例子的局部剖面圖。
具體實施例方式
圖1-圖4所示為與本發(fā)明相關(guān)的帶電極清掃裝置的電離器的一 種實施方式。該電離器是直流式的,通過高壓電源12a、 12b給正、 負(fù)放電電極3a及3b外加正、負(fù)直流高電壓,使之發(fā)生電暈放電, 將此時產(chǎn)生的正、負(fù)離子通過來自于風(fēng)扇4的氣流吹送到除靜電對 象(工件)上。上述電離器由兩個單元構(gòu)成,包括具有上述放電電 極3a、 3b和風(fēng)扇4的吹風(fēng)單元,及內(nèi)置有控制上述高壓電源12a、 12b和風(fēng)扇4的控制裝置7的控制單元。這兩個單元上下重疊配置構(gòu) 成了上述電離器。
上述的吹風(fēng)單元1有一個整體上呈矩形的合成樹脂制成的上部 外殼5a。該上部外殼5a的內(nèi)部構(gòu)成是,在上部外殼5a的前后兩方 開有圓形的吹風(fēng)口 IO,在此吹風(fēng)口 10內(nèi)周部分上配設(shè)多個正放電電極3a及負(fù)》文電電極3b,所述放電電極安裝在電極支承架lla、 lib 上,這些電極的前端皆指向上述吹風(fēng)口 10的中心O,并繞此中心O 保持一定間隔布置。另外,在上述吹風(fēng)口 IO的內(nèi)部設(shè)置有上述風(fēng)扇 4,來自于此風(fēng)扇4的氣流將上述放電電極3a與3b產(chǎn)生的正、負(fù)離 子吹送到帶電工件上。
另一方面,上述控制單元2在合成樹脂制成的下部外殼5b中內(nèi) 置有上述控制裝置7,在該下部外殼5b的前面設(shè)置有如下一些配件, 電源開關(guān)8a,用于和外部電源或外部機器接線用的連接器8b,調(diào)節(jié) 風(fēng)量用的旋鈕開關(guān)8c,連接外部傳感器用的模塊連接器8d,連接交 流適配器用的插口 8e,顯示電離器工作狀態(tài)的指示器8f等。
在將電離器設(shè)置于預(yù)定的場所時,控制單元2兼作電離器的基 座,就前后方向的尺寸而言,該控制單元的尺寸比吹風(fēng)單元1的要 大。不過,也可以將這兩個單元的前后方向上的尺寸設(shè)置成相同尺 寸。
上述吹風(fēng)單元1的上部外殼5a和上述控制單元2的下部外殼5b, 組合在一起構(gòu)成電離器的整體外殼5。所以在下面的說明中有時會將 上部外殼5a和下部外殼5b都稱為外殼5。上部外殼5a和下部外殼 5b形成一體或以可分離的形式形成并組合在一起均可。
上述風(fēng)扇4由位于中心位置的電動才幾4a和安裝在電動機輸出軸 上的葉片4b組成。風(fēng)扇4安裝在上述吹風(fēng)口 IO的內(nèi)部,與吹風(fēng)口 10呈同心狀,上述電動機4a與上述控制裝置7為電連接。
上述吹風(fēng)單元1的內(nèi)部置有正高壓電源12a和負(fù)高壓電源12b, 它們分別對上述正放電電極3a和負(fù)放電電極3b外加高電壓。此高 壓電源12a及12b與上述控制裝置7和各放電電極3a及3b是接通 的。
直流式電離器外加的高電壓有兩種形式,即持續(xù)的一定大小的高 電壓與脈沖狀的高電壓,本發(fā)明的實施方式選用哪種高電壓皆可。
另外,上述的高壓電源12a、 12b和控制裝置7既可共同安裝在 上述控制單元2中,也可以安裝在吹風(fēng)單元1中。上述正放電電極3a與負(fù)放電電極3b,每2根為 一組組成放電電 極對3A、 3B。圖示例中,4根正放電電極3a與4根負(fù)放電電極3b 一根一根的交替布置,相鄰的正放電電極3a與負(fù)放電電極3b為一 組,共組成4對;故電電才及對3A、 3B,這些》丈電電^L對3A、 3B繞著 上述吹風(fēng)口 10的中心O保持一定間隔排列布置。
上述各》文電電極對3A、 3B中的正》文電電極3a與負(fù)放電電極3b 在吹風(fēng)口 10內(nèi)突出的長度即電極長度并不相同。換言之就是,電極 前端到上述吹風(fēng)口中心O的距離(前端-中心間距離)并不相同。此 時,正放電電極3a與負(fù)放電電極3b的前端-中心間距離的大小關(guān)系, 在所有的放電電極對3A、 3B中也并不相同,第1放電電極對3A與 第2放電電極對3B是不同的。即第1放電電極對3A中,正放電電 極3a前端-中心間距離長,負(fù)放電電極3b前端-中心間距離短;第2 放電電極對3B中,正放電電極3a前端-中心間距離短,負(fù)放電電極 3b前端-中心間距離長。調(diào)整放電電極前端-中心間距離是通過延長 或縮短電極長度來實現(xiàn)的。
并且,第1放電電極對3A與第2放電電極對3B交互配置,第 1放電電極對3A的兩組電極對繞上述吹風(fēng)口 10的中心O呈對稱布 置,第2放電電極對3B的兩組電極對也是如此。此時,4組放電電 極對3A、 3B相互之間,相近的正i文電電才及之間大約呈90°角,相 近的負(fù)》文電電極也是如此。而各放電電極對3A、 3B中相鄰的正、 負(fù)電極間的間隔小于90° 。
上述的》丈電電極如圖5所示,具有圓柱狀的主體部分14a與前端 逐漸變細(xì)的尖細(xì)狀的前端部分14b。上述主體部分14a被合成樹脂做 成的絕緣構(gòu)件15包覆,或者是直接安裝埋進合成樹脂等絕緣材料做 成的上述電才及支岸義架lla、 llb中,^v而只露出前端部分14b,利用 此露出部分14b通過電暈放電產(chǎn)生離子。因而該前端部分14b形成 了放電部,所以在以下的說明中將電極前端部分稱為力丈電部14b。
上述放電電極3a、 3b的前端部分14b的形狀,既可以是像圓錐 那樣前端尖的形狀,又可以是稍稍帶有圓形的形狀。上述i文電電才及3a、 3b,除了上述》文電部14b之外的其他部分均 被絕緣體包覆,所以即使將正、負(fù)放電電極3a與3b布置得很近, 兩個放電電極3a及3b的放電部之間通過上述絕緣材料15的表面和 電極支承架lla及l(fā)ib的表面形成的沿面距離,也要比該放電電極 不被包覆的情況下要長。因此,長期使用或在惡劣環(huán)境下使用產(chǎn)生 的污垢附著在放電電極上引起電極絕緣破壞所需的時間也要長。
如圖4所示,上述it電電極3a、 3b^皮各自地安裝在上述的兩個 電極支承架lla及l(fā)ib上。電極支承架lla及l(fā)ib是一個矩形構(gòu)件 的縱向分割的兩半部分,在上述^皮分割的兩部分相向側(cè)的中間部位 形成與上述吹風(fēng)口的圓周形狀相適應(yīng)的圓弧形的彎曲部分,兩個電 極支壽義架lla及l(fā)ib互相對稱。并且,電才及支壽義架lla的彎曲部17 安裝有第1放電電極對3A及第2放電電極對3B,電極支承架lib 也與電極支承架lla同樣的安裝有兩組電極對。各放電電極3a、 3b 配置成彎曲部17兩端是電極長度較短的放電電極,中間是電極長度 專交長的i丈電電才及。
如此一來,各電極對3A、 3B中的正放電電極3a與負(fù)放電電極 3b的前端-中心間距離不同,產(chǎn)生的正離子與負(fù)離子在吹風(fēng)口 10的 半徑方向上的位置也不同,因來自于風(fēng)扇4的氣流而混雜并再結(jié)合 的正、負(fù)離子的比例會下降,使到達除靜電對象的離子量增多。
并且,因為第1放電電極對與第2放電電極對是混雜布置的,所 以離子在吹風(fēng)口 10的半徑方向上的分布較平均,離子的均衡較好。
上述的上部外殼5a的上面開有兩個支承架安裝孔18a、 18b,從 上述兩個支承架安裝孔18a、 18b將兩個支承架lla、 lib以上述彎 曲部17相對而組合的形式插入到外殼5內(nèi)部,〗吏兩個電極支承架lla 及l(fā)lb分別占據(jù)吹風(fēng)口 IO—側(cè)的位置,并可在外殼5a中自由裝卸。
上述的第1電極支承架lla及第2電極支承架lib,不僅外形形 狀相同,而且內(nèi)部的構(gòu)造,如上述訪文電電極3a、 3b,后面說到的受 電端子21a-21d以及清掃構(gòu)件23等均相同。因此,兩個電極支承架 具有互換性,可以隨意互換地安裝在上述外殼5a的電極支承架安裝孔18a、 18b中。
在上述電極支承架lla、 llb的上端,安裝有由一對有彈性的彈 片19a構(gòu)成的固定構(gòu)件19。上述彈片19a在沿上述電極支承架lla、 lib的側(cè)面向上延伸出之后,向該側(cè)面的外部方向大約折成直角的形 狀,各彈片19a的側(cè)面具有卡止突起19b,并且,在上述電極支承架 lla、 lib插入到上述上部外殼5a的支岸(架安裝孔18a、 18b中時, 上述卡止突起19b彈性地卡止住上部外殼5a,將該電極支承架lla、 lib固定在該上部外殼5a上。
要將上述電極支承架lla、 llb從上部外殼5a中取出時,使上述 彈片19a向互相接近的方向發(fā)生彈性變形,使上述卡止突起19b脫 離卡止?fàn)顟B(tài),在這種方式下,將該電極支承架lla、 llb從上述支承 架安裝孔18a、 18b中取出即可。
另外,在上述電才及支承架lla、 llb的前后兩表面上,于接近上 述彎曲部17的相向側(cè)側(cè)邊的位置上,如圖6及圖7所示,設(shè)置有分 別與上述各》文電電極3a、及3b相接通的各個受電端子21a-21d,即, 在電極支承架lla、 lib的前后面的其中一面上,電極長度較短的最 上面的放電電極3a (或3b),與電極長度較長的上數(shù)第3個放電電 極3a(或3b),分別與受電端子21a及21c相接通;在電極支承架 lla、 llb的另一面上,電極長度較長的上數(shù)第2個放電電極3b (或 3a),與電極長度較短的最下面的放電電極3b (或3a),分別與受 電端子21b及21d相接通。這4個受電端子21a-21d,在電極支承架 lla、 lib的上下方向上的位置各不相同。
于此相對應(yīng),如圖2及圖4所示,在上述上部外殼5a的支承架 安裝孔18a及18b上分別設(shè)置有與上述高壓電源12a及12b接通的 正負(fù)多個(每邊有4個)供電端子22a-22d及22e-22h。將上述電極 支承架lla、 lib插入上述支承架安裝孔18a、 18b并安裝在上部外 殼5a上時,對應(yīng)的受電端子21a-21d與供電端子22a-22h互相接觸 實現(xiàn)接通,對各》文電電極3a及3b外加固定才及性的高電壓。
圖示的例子的實施方式中,在第1支承架安裝孔18a的后側(cè)內(nèi)壁面上下相異的位置設(shè)置有與正的高壓電源12a接通的2個正的供電 端子22a及22c,在前側(cè)的內(nèi)壁面上下相異的位置設(shè)置有與負(fù)的高壓 電源12b接通的2各負(fù)的供電端子22b及22d;另夕卜,在第2支承架 安裝孔18b的后側(cè)內(nèi)壁面上下相異的位置設(shè)置有與正的高壓電源12a 接通的2個正的供電端子22f及22h,在前側(cè)的內(nèi)壁面上下相異的位 置設(shè)置有與負(fù)的高壓電源12b接通的2各負(fù)的供電端子22e及22g。
所以,將第1支承架lla插入第1支承架安裝孔18a內(nèi),第2支 承架llb插入第2支承架18b內(nèi)。這種情況下,在上述第1電極支 承架lla上,受電端子21a及21c接在正的供電端子22a及22c上, 同時,受電端子21b、及21d接在負(fù)的供電端子22b及22d上;另外, 在第2電極支承架llb上,受電端子21a及21c接在負(fù)的供電端子 22e及22g上,同時,受電端子21b、及21d接在正的供電端子22f 及22h上。兩電極支承架lla及l(fā)ib的各放電電極3a及3b上外加 高電壓的極性如圖4所示。
另外,將上述第1電極支承架lla和第2電極支承架llb前后翻 轉(zhuǎn)互換,使第1電極支承架lla插入第2支承架安裝孔18b內(nèi),第2 電極支承架llb安裝在第1支承間安裝孔18a內(nèi),兩電極支承架lla 及l(fā)ib上的各;^文電電極3a及3b的極性會逆轉(zhuǎn),即,變成圖4中符 號"lla"與"lib"互換的方式。
一般地,眾所周知,放電電極發(fā)生電暈》文電的時候,正的放電電 極與負(fù)的放電電極的損耗程度是不同的,所以,使上述2個電極支 承架lla及l(fā)ib具有互換性,定期的將它們互換,使放電電極正負(fù) 極性交替的〗吏用,可以使各放電電極的損耗均一化,延長放電電極 的總使用壽命。
上述電極支承架lla、 lib上,安裝有清潔上述放電電極3a及 3b用的清掃構(gòu)件23,該清掃構(gòu)件23可沿著在該電極支承架lla、 lib 上形成的導(dǎo)軌24自由地移動。
從圖4、圖9及圖10中可清楚的看到,上述清掃構(gòu)件23具有U 形斷面的刷支架25,該刷支架可從上述電極支承架lla、 llb的上述彎曲部17的側(cè)面夾持上述電極支承架lla、 11b。在該刷支架的內(nèi)部, 安裝有與上述放電電極接觸的刷子26,在上述刷支架25的底端形成 有一個滑塊27,該滑塊27以可相對于上述導(dǎo)軌24自由滑動的方式 與之相配合。
上述刷支架25由合成樹脂等絕緣材料制成,具有左右側(cè)板部25a 和連接兩個側(cè)^反部25a的底端^反部25b。在該底端壽反部25b的里面安 裝有上述刷子26,刷子的毛指向刷支架25的底端部。當(dāng)該清掃構(gòu)件 23橫掃過放電電極3a、 3b時,此刷子26與該放電電極3a、 3b的前 端部分即》文電部14b^妻觸,將該;故電部14b上的污垢清除。上述刷 子26安裝在刷子基座26a上,此基座26a安裝在上述刷支架25的 底端板部25b之上。該刷子基座26a可以是裝卸自由的。
上述導(dǎo)軌2 4是由圓弧狀的溝槽構(gòu)成的,該溝槽形成在上述電極 支承架lla、 lib的前后兩表面的與上述彎曲部17相近的位置上, 具有沿著上述彎曲部17而形成的主體部24a,與在該主體部的一端 向上述彎曲部17的反方向急劇彎折并與主體部相連的待機部24b。
上述主體部24a的曲率半徑,比上述彎曲部17的曲率半徑大, 而且該主體部24a的曲率中心與上述彎曲部的17的曲率中心并不在 同一位置,而是在該彎曲部17的曲率半徑的延長線上。因此,該主 體部的中間部位離該彎曲部17最近,而兩端距彎曲部17較遠(yuǎn)。所 以,安裝在上述彎曲部17兩端部附近的電極長度較短的放電電極3a、 3b的;^文電部14b沿著上述刷支架25到上述主體部24a的距離,與安 裝在上述彎曲部17中間部附近的電極長度較長的放電電極3a、 3b 的放電部14b沿著上述刷支架25到上述主體部24a的距離是大致相 同的。因而,可以使上述清掃構(gòu)件23的刷子26很好的清潔電極長 度不同的各放電電極3a及3b的放電部14b。
上述滑塊27由在上述刷支架25的兩側(cè)板部25a的里表面形成的 滑動突起27a構(gòu)成。各側(cè)板部25a的里表面分別有兩個滑動突起27a, 這些滑動突起嵌合在上述導(dǎo)軌24形成的溝槽內(nèi)。并且,如圖8及圖 9所示,在使用上述清掃構(gòu)件23清潔放電電極3a及3b時,上述的滑動突起27a嵌合并滑動在上述主體部24a內(nèi)。另外,在不清潔》文 電電才及3a、 3b時,如圖9中點劃線所示,將上方的一個滑動突起27a 嵌合在上述待才幾部24b內(nèi),使上述清掃構(gòu)件23移動到待機位置。
處在上述待機位置的上述清掃構(gòu)件23,與電極支承架lla、 lib 的上邊是平行的,并且與安裝在該電極支承架lla、 11b上的邊框29 的下面相接。像這樣地使清掃構(gòu)件23處于待機位置,將電極支承架 lla、 lib安裝在上部外殼5a內(nèi)。此時,因為上述清掃構(gòu)件23是離 開上述吹風(fēng)口 IO的區(qū)域的,所以在電離器工作時,流過上述吹風(fēng)口 10的氣流不會因該清掃構(gòu)件23而變成紊流或^皮遮擋。
再有,在上述待機位置上,通過在左右側(cè)板部形成的卡止孔30 與在電極支承架lla、 lib上形成的卡止突起31相嵌合,清掃構(gòu)件 23卡止在此待機位置上。
此外,在左右側(cè)板部25a的外表面有固定用突起32,當(dāng)上述電 極支承架lla、 llb安裝在上部外殼5a的時候,該固定用突起32卡 止在上部外殼5a的一部分上,使上述清掃構(gòu)件不能移動到清掃位置。
圖9中的符號33是在上述電極支承架lla、 lib的上述彎曲部 17的某 一 側(cè)形成的凹溝,當(dāng)上述清掃構(gòu)件處于上述待機位置的時候, 刷子26的前端部嵌合在該凹溝33內(nèi)。
具有上述結(jié)構(gòu)的電離器,當(dāng)使用上述清掃構(gòu)件23清潔放電電極 3a及3b的時候,將該電離器停止工作,如圖4所示,將上述電極支 承架lla、 llb從上部外殼5a中取出。并且,如圖8及圖9所示, 將處在待機位置的上述清掃構(gòu)件2 3沿著導(dǎo)軌2 4在可動范圍內(nèi)滑動, 4吏之沿該導(dǎo)4九24的主體部24a往復(fù)運動一次或多次。此時該清掃構(gòu) 件23在吹風(fēng)口 10的區(qū)域內(nèi)以從上述彎曲部伸出的方式,逐漸變換 姿勢并在各》文電電極3a及3b間移動,使刷子26順序地與各放電電 極3a及3b的放電部14b接觸,從而將該放電部14b上附著的污垢 清除。
像這樣,如果清掃臟污的放電電極是在電離器停止工作,電極支 承架lla、 lib從外殼中取出的方式下進行的話,從該放電電極3a及3b上脫落的污垢就不會隨氣流飛散,所以,有效的解決了現(xiàn)有產(chǎn) 品污垢再附著在電離器其他部位、從電離器中流出污染除靜電環(huán)境、 吹送到除靜電對象工件上污染該工件等問題。
放電電極的清潔結(jié)束時,將上述清掃構(gòu)件移動到導(dǎo)軌2 4的上端, 使上方的滑動突起27嵌合在上述待機部24b內(nèi),如圖6所示,此清 掃構(gòu)件23處于離開上述吹風(fēng)口區(qū)域的待機位置。在此方式下上述電 極支承架lla、 llb安裝在上部外殼5a內(nèi),電離器可以工作。并且, 在此狀態(tài)下,即使電離器工作,因為上述清掃構(gòu)件23處于離開吹風(fēng) 口 IO的區(qū)域的待機位置,所以不會出現(xiàn)來自與風(fēng)扇4的氣流因該清 掃構(gòu)件而成為紊流或被遮擋的問題。這樣,有效的解決了現(xiàn)有的電 離器的氣體吹出效率低下、正負(fù)離子因空氣流紊流而互相混雜并再 結(jié)合、吹送到除靜電對象工件上的離子量減少等缺點。
再有,上述電極支承架lla、 11b上端的上述邊框29,除了具有 將上述清掃構(gòu)件23定位于待機位置的功能之外,在該電極支承架 lla、 lib安裝在上部外殼5a的安裝孔18中時,還具有堵住該安裝 孔18的上端的功能。
在上述的實施方式中,清掃構(gòu)件23的刷子26是由一定長度的纖 維構(gòu)成的,該刷子的前端形狀形成一個平面,不過,如圖11所示, 該刷子26的前端形狀也可以形成一個外凸形的彎曲曲面。刷子26 形成這種形狀,該刷子26的前端^f妄觸到^:電電才及3a、 3b的各個地 方,提高了清潔能力。另外,在正負(fù)2個放電電極3a、 3b的電極長 度相差無幾時,刷子26的前端形狀形成如上所述的形狀,可以使上 述導(dǎo)軌24的主體部24a形成與彎曲部17同心的圓弧。
在圖示的實施方式中,各電極支承架lla、 11b各自安裝有2組 放電電極對3A、 3B,不過也可以在電極支承架lla、 llb上安裝1 組或3組以上的》文電電極對3A、 3B。
還有,在上述的實施方式中,配有2個電極支承架lla與lib, 也可以將這2個電極支承架lla與lib連結(jié)成一體。即,只有一個 電極支承架也可以。這時,清掃構(gòu)件23可以分別在電極支承架的一側(cè)和另一側(cè)各設(shè)一個,也可以使其能繞吹風(fēng)口 IO的圓周自由移動而
只設(shè)置一個。
另夕卜,在i文電電才及對3A、 3B中,正的方文電電才及3a的長度和負(fù) 的放電電極3b的長度,即前端-中心間距離并非是一定不同的,在不 必考慮正負(fù)離子再結(jié)合的問題的時候,兩電極的長度相同也沒關(guān)系。 此時,導(dǎo)軌24的主體部24a形成與上述彎曲部17同心的圓弧。 還有,上述實施方式的電離器是直流式的,本發(fā)明也適用于交流式 的電離器。這時,在各放電電極對的放電電極3a及3b上外加交流的 高電壓,兩放電電極3a及3b的極性的互相逆轉(zhuǎn)與此交流高電壓同步。
權(quán)利要求
1.一種電離器,在外殼上開出的吹風(fēng)口內(nèi)設(shè)置有吹風(fēng)用的風(fēng)扇,同時,在面向上述吹風(fēng)口的位置設(shè)置有通過電暈放電產(chǎn)生正負(fù)離子的多個放電電極,其特征在于,上述放電電極安裝在以自由裝卸的方式設(shè)置于上述外殼中的電極支承架上,此電極支承架上安裝有于多個放電電極間與放電電極邊接觸邊移動的清潔上述放電電極用的清掃構(gòu)件,在上述電極支承架安裝在上述外殼中的狀態(tài)下,該清掃構(gòu)件處于離開上述吹風(fēng)口區(qū)域的待機位置,將上述電極支承架從上述外殼中取出時,為清掃放電電極該清掃構(gòu)件可以移動。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電離器,其特征在于,上述電極支承 架由位于上述吹風(fēng)口的一半部分一側(cè)的第1電極支承架,與位于吹 風(fēng)口的另一半部分一側(cè)的第2電極支承架組成,各電極支承架分別 安裝有上述放電電極與清掃構(gòu)件。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的電離器,其特征在于,上述第1電極 支承架及第2電極支承架包括與圓形的上述吹風(fēng)口的一部分相適 應(yīng)的圓弧狀的彎曲部;以使放電部突出于上述吹風(fēng)口的方式安裝在 所述彎曲部上的上述放電電極;在上述電極支承架的前后兩表面上 的與上述彎曲部相臨近的位置形成的導(dǎo)軌;沿此導(dǎo)軌自由移動的上 述清掃構(gòu)件,上述清掃構(gòu)件包括在上述彎曲位置以夾持上述電極支承架的方 式安裝的刷支架;安裝在該刷支架內(nèi)部并與上述放電電極接觸的刷 子;相對于導(dǎo)軌自由滑動的滑塊。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的電離器,其特征在于,上述導(dǎo)軌由溝 槽構(gòu)成,該溝槽具有沿著上述彎曲部平緩彎曲的主體部,和在主體 部一端彎折并與主體部相連的待機部,上述滑塊由嵌合在所述導(dǎo)軌 中并自由滑動的滑動突起構(gòu)成,在上述刷支架的兩側(cè)內(nèi)表面上形成 有多個滑動突起,將上述清掃構(gòu)件移動到上述導(dǎo)軌的端部,使一部分滑動突起嵌合在上述待機部內(nèi),以使此清掃構(gòu)件處于上述的待機 位置。
5. 如權(quán)利要求2 4任意一項所述的電離器,其特征在于,上述 第1電極支承架和第2電極支承架具有互換性,可進行互換安裝在 上述夕卜殼中。
6. 如權(quán)利要求2 4任意一項所述的電離器,其特征在于,上述 外殼上設(shè)置有與高壓電源接通的多個供電端子,上述電極支承架上 設(shè)置有與上述放電電極接通的多個受電端子,將該電極支承架安裝 在上述外殼中時,上述受電端子與上述供電端子分別相連接。
7. 如權(quán)利要求2 4任意一項所述的電離器,其特征在于,所述 電離器有多個放電電極對,所述放電電極對由產(chǎn)生不同極性的離子 的2個放電電相J且成,在該放電電極對中的2個》文電電極的前端到 吹風(fēng)口中心的距離不相同。
全文摘要
安裝在電離器外殼上的裝卸自由的電極支承架上,安裝有產(chǎn)生離子用的放電電極和清潔放電電極用的清潔構(gòu)件,該清潔構(gòu)件,在上述放電電極支承架安裝在上述外殼的方式下,處在不使來自于風(fēng)扇的氣流變?yōu)槲闪鞯拇龣C位置,將上述電極支承架從外殼中取出,通過使該清掃構(gòu)件與各放電電極邊接觸邊移動,將該放電部的污垢清除。
文檔編號H01T19/00GK101645581SQ20091016363
公開日2010年2月10日 申請日期2009年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月7日
發(fā)明者唯野晃, 土志田孝之, 折原正幸 申請人:Smc株式會社