專利名稱：具有不連續(xù)貼合點的吸附墊片及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種吸附墊片及其制造方法，具體來說，涉及一種具有不連續(xù)貼合點 的吸附墊片及其制造方法。
背景技術(shù)：
拋光一般是指化學(xué)機械研磨(CMP)工藝中，對于初為粗糙表面的磨耗控制，其利 用含細(xì)粒子的研磨漿液平均分散于拋光墊的上表面，同時將待拋光工件抵住所述拋光墊后 以重復(fù)規(guī)律動作搓磨。所述待拋光工件是例如半導(dǎo)體、存儲媒體工件、集成電路、LCD平板 玻璃、光學(xué)玻璃與光電面板等物體。在拋光過程中，必須使用吸附墊片以吸附且固定所述待 拋光工件，因而所述吸附墊片的質(zhì)量會直接影響所述待拋光工件的拋光效果。參考圖1，其顯示具有習(xí)知吸附墊片的研磨設(shè)備的示意圖。研磨設(shè)備1包括壓力板 (Pressure Plate) 11、吸附墊片(Sheet) 12、待拋光工件(Polishing Workpiece) 13、拋光盤 (Polishing Plate) 14、拋光墊(Polishing Pad) 15 及研磨漿液(Slurry) 16。壓力板 11 相 對于拋光盤14。吸附墊片12利用背膠層(圖中未顯示)粘附到壓力板11上，且吸附墊片 12用以吸附且固定待拋光工件13。拋光墊15固定到拋光盤14，且面向壓力板11，用以對 待拋光工件13進行拋光。研磨設(shè)備1的作動方式如下。首先將待拋光工件13置于吸附墊片12上，且待拋 光工件13被吸附墊片12吸住。接著，拋光盤14及壓力板11以相反方向旋轉(zhuǎn)，且同時將壓 力板11向下移動，使拋光墊15接觸到待拋光工件13的表面，通過不斷補充研磨漿液16以 及拋光墊15的作用，可對待拋光工件13進行拋光操作。參考圖2，其顯示圖1中所述吸附墊片的放大示意圖。吸附墊片12包括緩沖層 121、吸附層122及貼合層123。緩沖層121的材質(zhì)是聚氨酯(PU)樹脂，且具有多個連通性 孔洞。吸附層122的材質(zhì)還是聚氨酯(PU)樹脂，且位于緩沖層121上，用以吸附待拋光工件 13(圖1)。貼合層123位于緩沖層121與吸附層122之間，貼合層123的材質(zhì)是糊劑(例 如一液型PU樹脂)，其全面性充滿吸附層122與緩沖層121之間，以使吸附層122貼合到緩 沖層121上。習(xí)知吸附墊片12的缺點是由于貼合層123的糊劑的使用量會影響吸附墊片12的 吸附強度，因此在習(xí)知吸附墊片12中貼合層123的糊劑充滿吸附層122與緩沖層121之間， 因而降低吸附墊片12的吸附強度，導(dǎo)致在拋光過程中，待拋光工件13及吸附墊片12的四 周容易造成滲水，因而吸附墊片12很快就達到其使用壽命。因此，有必要提供一種創(chuàng)新且具進步性的具有不連續(xù)貼合點的吸附墊片及其制造 方法，以解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種具有不連續(xù)貼合點的吸附墊片，其包括緩沖層、吸附層及貼合層。 所述緩沖層的材質(zhì)為高分子體，且具有多個連通性孔洞。所述吸附層的材質(zhì)為高分子體，且
3位于所述緩沖層上，用以吸附工件。所述貼合層位于所述緩沖層與所述吸附層之間，所述貼 合層具有多個貼合點，以使所述緩沖層與所述吸附層彼此貼合，所述貼合點是不連續(xù)的，且 彼此之間具有間隙。本發(fā)明另外提供一種吸附墊片的制造方法，其包括以下步驟(a)提供緩沖層，所 述緩沖層的材質(zhì)為高分子體，且具有多個連通性孔洞；(b)提供吸附層，所述吸附層的材質(zhì) 為高分子體；(c)在所述緩沖層上形成貼合層，所述貼合層包括多個貼合點，所述貼合點是 不連續(xù)的，且彼此之間具有間隙；及(d)將所述吸附層貼合到所述緩沖層上，以形成吸附墊 片，其中所述緩沖層與所述吸附層利用所述貼合點而彼此貼合，所述貼合點是不連續(xù)的，且 彼此之間具有間隙。在本發(fā)明中，所述緩沖層與所述吸附層之間具有多個不連續(xù)的貼合點，因此當(dāng)所 述吸附墊片受到垂直方向的力時，所述緩沖層與所述吸附層受到擠壓，此時所述緩沖層與 所述吸附層之間的空氣不僅可以經(jīng)由垂直方向排出，還可以經(jīng)由水平方向排出，因而產(chǎn)生 吸盤效果，如此可以增加吸附強度。


圖1顯示具有習(xí)知吸附墊片的研磨設(shè)備的示意圖；圖2顯示圖1中所述吸附墊片的放大示意圖；圖3顯示具有本發(fā)明吸附墊片的研磨設(shè)備的示意圖；圖4顯示圖3中所述吸附墊片的放大示意圖；圖5顯示本發(fā)明吸附墊片的制造方法的流程示意圖；圖6顯示本發(fā)明中貼合層形成于所述緩沖層上的俯視放大示意圖，其中所述貼合 點為四邊形；及圖7顯示本發(fā)明中貼合層形成于所述緩沖層上的俯視放大示意圖，其中所述貼合 點為六邊形。
具體實施例方式參考圖3，其顯示具有本發(fā)明吸附墊片的研磨設(shè)備的示意圖。研磨設(shè)備3包括壓力 板31、吸附墊片32、待拋光工件33、拋光盤34、拋光墊35及研磨漿液36。壓力板31相對 于拋光盤34。吸附墊片32利用背膠層(圖中未顯示)粘附到壓力板31上，且吸附墊片32 用以吸附且固定待拋光工件33。待拋光工件33選自由半導(dǎo)體、存儲媒體工件、集成電路、 IXD平板玻璃、光學(xué)玻璃及光電面板組成的群組。拋光墊35固定到拋光盤34，且面向壓力 板31，用以對待拋光工件33進行拋光。研磨設(shè)備3的作動方式如下。首先將待拋光工件33置于吸附墊片32上，且待拋 光工件33被吸附墊片32吸住。接著，拋光盤34與壓力板31以相反方向旋轉(zhuǎn)，且同時將壓 力板31向下移動，使拋光墊35接觸到待拋光工件33的表面，通過不斷補充研磨漿液36以 及拋光墊35的作用，可對待拋光工件33進行拋光操作。參考圖4，其顯示圖3中所述吸附墊片的放大示意圖。吸附墊片32包括緩沖層 321、吸附層322及貼合層323。緩沖層321的材質(zhì)為高分子體，例如聚氨酯樹脂(PU)、聚氯 乙烯(PVC)樹脂、聚苯乙烯(PS)樹脂、聚乙烯(PE)樹脂、聚酰胺(PA)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂或乙烯-醋酸乙烯酯(EVA)樹脂。緩沖層321具有多個連通性孔洞。吸附層322的材質(zhì)為高分子體，例如聚氨酯樹脂(PU)、聚氯乙烯(PVC)樹脂、聚苯 乙烯(PS)樹脂、聚乙烯(PE)樹脂、聚酰胺(PA)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂或乙烯-醋酸乙烯 酯(EVA)樹脂。吸附層322位于緩沖層321上，用以吸附待拋光工件33。吸附層322不同 于緩沖層321，優(yōu)選地，緩沖層321的壓縮率高于吸附層322的壓縮率，緩沖層321的空孔率 高于吸附層322的空孔率。貼合層323位于緩沖層321與吸附層322之間。貼合層323是糊劑層，其材質(zhì)為 壓敏粘合劑(Pressure Sensitive Adhesives, PSA)、濕氣硬化型PU樹脂、一液型PU樹脂 或二液型PU樹脂。貼合層323具有多個貼合點3231，以使緩沖層321與吸附層322彼此貼 合。貼合點3231是不連續(xù)的，且彼此之間具有間隙。即貼合層323并非全面性完全充滿緩 沖層321與吸附層322之間。貼合點3231的分布是規(guī)則性分布或不規(guī)則性分布。貼合點 3231之間的間隙大小是相同或不相同的，優(yōu)選地，貼合點3231之間的間隙大小是相同的。 吸附墊片32的吸附強度大于2. Okg/12. 25cm2。參考圖5，其顯示本發(fā)明吸附墊片的制造方法的流程示意圖。所述制造方法包括以 下步驟。首先，步驟S501提供緩沖層321，緩沖層321的材質(zhì)為高分子體，且具有多個連通 性孔洞。緩沖層321的制法如下。首先在載體(例如，離型布)上濕式涂覆第一樹脂層，所 述第一樹脂層的材質(zhì)為聚氨酯樹脂(PU)、聚氯乙烯(PVC)樹脂、聚苯乙烯(PS)樹脂、聚乙烯 (PE)樹脂、聚酰胺(PA)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂或乙烯-醋酸乙烯酯(EVA)樹脂。接著，使 所述第一樹脂層凝固。接著，水洗所述第一樹脂層。最后，烘干所述第一樹脂層，以形成緩 沖層321。接著，步驟S502提供吸附層322，吸附層322的材質(zhì)為高分子體。吸附層322的制 法如下。首先，在第二載體(例如，離型布)上濕式涂覆第二樹脂層，所述第二樹脂層的材 質(zhì)為聚氨酯樹脂(PU)、聚氯乙烯(PVC)樹脂、聚苯乙烯(PS)樹脂、聚乙烯(PE)樹脂、聚酰胺 (PA)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂或乙烯-醋酸乙烯酯(EVA)樹脂。接著，使所述第二樹脂層凝 固。接著，水洗所述第二樹脂層。最后，烘干所述第二樹脂層，以形成吸附層322。接著，步驟S503在緩沖層321上形成貼合層323，貼合層323包括多個貼合點 3231，貼合點3231是不連續(xù)的，且彼此之間具有間隙。貼合層323是糊劑層，其材質(zhì)為壓敏 粘合劑(Pressure Sensitive Adhesives，PSA)、濕氣硬化型PU樹脂、一液型PU樹脂或二液 型PU樹脂。貼合層323并非全面性涂覆于緩沖層321上，其利用印刷輪或轉(zhuǎn)寫工具等貼合 工具在緩沖層321上形成多個貼合點3231。貼合點3231的分布是規(guī)則性分布或不規(guī)則性 分布。優(yōu)選地，貼合點3231之間的間隙大小是相同的。貼合點3231的形狀，可以是點狀、 圓形、橢圓形、不規(guī)則形、三邊形、四邊形(如圖6的俯視放大示意圖所示)五邊形或六邊形 (如圖7的俯視放大示意圖所示)等。最后，步驟S504將吸附層322貼合到緩沖層321上，之后靜置一天使其熟成之后， 即形成吸附墊片32。在吸附墊片32中，緩沖層321與吸附層322利用貼合點3231而彼此 貼合，貼合點3231是不連續(xù)的，且彼此之間具有間隙。即，在步驟S504的貼合工藝后，貼合 點3231仍大致上保持與步驟S503的形狀與分布，而不會全面性完全充滿緩沖層321與吸 附層322之間?，F(xiàn)在以下列實例詳細(xì)說明本發(fā)明，但并不意味本發(fā)明僅局限于此實例所揭示的內(nèi)容。實例首先，提供第一載體作為涂覆底材，所述第一載體為離型布。另外，均勻混合重 量百分比19. 9%的涂覆用聚氨酯樹脂(PU Resin)、重量百分比6. 6%的色料、重量百分比 2. 5%的界面劑及71%二甲基甲酰胺(DMF)溶劑制備成涂料用料。接著，將所述涂料用料涂 覆在所述第一載體上以形成第一樹脂層。接著，使所述第一樹脂層凝固，其是在凝固槽內(nèi)二 甲基甲酰胺(DMF)的濃度6 15%進行交換凝固。接著，水洗所述第一樹脂層，其水洗溫度 為40 80°C。接著，在60 150°C下烘干所述第一樹脂層，以形成連通多孔性的緩沖層。接著，提供第二載體作為涂覆底材，所述第二載體為離型布。另外，均勻混合重 量百分比37. 7%的涂覆用聚氨酯樹脂(PU Resin)、重量百分比1.1%的色料、重量百分比 23. 5%的界面劑及37. 7%二甲基甲酰胺(DMF)溶劑制備成涂料用料。接著，將所述涂料用 料涂覆在所述第二載體上以形成第二樹脂層。接著，使所述第二樹脂層凝固，其是在凝固槽 內(nèi)二甲基甲酰胺(DMF)的濃度6 15%進行交換凝固。接著，水洗所述第二樹脂層，其水洗 溫度為70°C。接著，在130°C下烘干所述第二樹脂層，以形成吸附層。接著，利用照相凹版印刷(Gravure printing)將濕氣硬化型PU樹脂在所述緩沖 層上形成多個貼合點，所述貼合點是不連續(xù)的，且彼此之間具有間隙。所述貼合點的分布是 規(guī)則性分布，其形狀為四邊形(如圖6的俯視放大示意圖所示)。最后，將所述吸附層貼合到所述緩沖層上，且靜置一天使其熟成之后，即形成吸附 墊片。所述吸附墊片的吸附強度為3. 0 3. 5kg/12. 25cm2，其軟硬度為16蕭氏A(ShoreA)， 其壓縮率為51. 00%，且其壓縮回復(fù)率為96. 08% ；而習(xí)知的吸附墊片的吸附強度通常為 1. 5 2. Okg/12. 25cm2 左右。在本發(fā)明中，以圖4為例，緩沖層321與吸附層322之間具有多個不連續(xù)的貼合點 3231，因此當(dāng)吸附墊片32受到圖中垂直方向的力時(例如待拋光工件33置放于吸附墊片 32上時)，緩沖層321與吸附層322受到擠壓，此時緩沖層321與吸附層322之間的空氣不 僅可以經(jīng)由垂直方向(經(jīng)由吸附層322)排出，還可以經(jīng)由水平方向(經(jīng)由貼合點3231之 間的間隙)排出，因而產(chǎn)生吸盤效果，如此可以增加吸附層322吸附待拋光工件33的強度。上述實施例僅為說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用以限制本發(fā)明。因此，所屬領(lǐng) 域的技術(shù)人員對上述實施例進行修改及變化仍不脫離本發(fā)明的精神。本發(fā)明的權(quán)利范圍應(yīng) 如前述的權(quán)利要求書所列。
權(quán)利要求
一種具有不連續(xù)貼合點的吸附墊片，其包括緩沖層，其材質(zhì)為高分子體，且具有多個連通性孔洞；吸附層，其材質(zhì)為高分子體，且位于所述緩沖層上，用以吸附工件；及貼合層，其位于所述緩沖層與所述吸附層之間，所述貼合層具有多個貼合點，以使所述緩沖層與所述吸附層彼此貼合，所述貼合點是不連續(xù)的，且彼此之間具有間隙。
2.如權(quán)利要求1所述的吸附墊片，其中所述工件選自由半導(dǎo)體、存儲媒體工件、集成電 路、LCD平板玻璃、光學(xué)玻璃及光電面板組成的群組，所述緩沖層的材質(zhì)選自由聚氨酯樹脂、 聚氯乙烯樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚乙烯樹脂、聚酰胺樹脂、聚丙烯樹脂及乙烯_醋酸乙烯酯 樹脂組成的群組，所述吸附層的材質(zhì)選自由聚氨酯樹脂、聚氯乙烯樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚 乙烯樹脂、聚酰胺樹脂、聚丙烯樹脂及乙烯_醋酸乙烯酯樹脂組成的群組，所述貼合層是糊 劑層，所述貼合層選自由壓敏粘合劑、濕氣硬化型PU樹脂、一液型PU樹脂及二液型PU樹脂 組成的群組。
3.如權(quán)利要求1所述的吸附墊片，其中所述貼合點的分布是規(guī)則性分布。
4.如權(quán)利要求1所述的吸附墊片，其中所述貼合點的分布是不規(guī)則性分布。
5.一種吸附墊片的制造方法，其包括以下步驟(a)提供緩沖層，所述緩沖層的材質(zhì)為高分子體，且具有多個連通性孔洞；(b)提供吸附層，所述吸附層的材質(zhì)為高分子體；(c)在所述緩沖層上形成貼合層，所述貼合層包括多個貼合點，所述貼合點是不連續(xù) 的，且彼此之間具有間隙；及(d)將所述吸附層貼合到所述緩沖層上，以形成吸附墊片，其中所述緩沖層與所述吸附 層利用所述貼合點而彼此貼合，所述貼合點是不連續(xù)的，且彼此之間具有間隙。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述步驟(a)包括 (al)在第一載體上濕式涂覆第一樹脂層；(a2)使所述第一樹脂層凝固； (a3)水洗所述第一樹脂層；及 (a4)烘干所述第一樹脂層，以形成所述緩沖層。
7.如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述步驟(b)包括 (al)在第二載體上濕式涂覆第二樹脂層；(a2)使所述第二樹脂層凝固； (a3)水洗所述第二樹脂層；及 (a4)烘干所述第二樹脂層，以形成所述吸附層。
8.如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述步驟(c)中所述貼合層是糊劑層，其是利用貼合 工具形成于所述緩沖層上，所述貼合工具是印刷輪或轉(zhuǎn)寫工具。
9.如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述步驟(c)中所述貼合點的分布是規(guī)則性分布，所 述貼合點為點狀、圓形、橢圓形、不規(guī)則形、三邊形、四邊形、五邊形或六邊形。
10.如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述步驟(c)中所述貼合點的分布是不規(guī)則性分布。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種具有不連續(xù)貼合點的吸附墊片及其制造方法，所述吸附墊片包括緩沖層、吸附層及貼合層。所述貼合層位于所述緩沖層與所述吸附層之間，所述貼合層具有多個貼合點，以使所述緩沖層與所述吸附層彼此貼合，所述貼合點是不連續(xù)的，且彼此之間具有間隙。因而，當(dāng)所述吸附墊片受力時，空氣可經(jīng)由所述貼合點之間的間隙排出，因而可以增加吸附強度。
文檔編號H01L21/304GK101862987SQ200910134478
公開日2010年10月20日 申請日期2009年4月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月17日
發(fā)明者馮崇智, 吳文杰, 姚伊蓬, 王良光 申請人:貝達先進材料股份有限公司