專利名稱：半導體模塊制造工藝專用夾具及其滑塊組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于在半導體制造或檢測過程中固定半導體模塊的專用
夾具(jig)。
背景技術(shù)：
在半導體制造工藝過程中，例如，在高精度表面貼裝工藝過程中，需要 將半導體模塊固定在專用夾具上執(zhí)行各種制造工藝。此外，在半導體模塊的 生產(chǎn)工序完成之后， 一般需要對產(chǎn)品進行外觀檢測，以確定產(chǎn)品是否有明顯 的缺陷。由于半導體產(chǎn)品制造精度高、集成度高度，因此在半導體產(chǎn)品的操 作和處理過程中容易使產(chǎn)品受到損傷，從而使廢品率上升，提高了制造成本。
無論是在生產(chǎn)過程中還是在檢測過程中，為了提高生產(chǎn)效率，通常需要 將多個半導體產(chǎn)品放置在一個專用夾具上，然后將該夾具固定到專用裝載工 具上以執(zhí)行制造工藝或進行4全測。
在市場上可購買到一種由韓國企業(yè)生產(chǎn)的型號為SODIMM/DIMM的半 導體模塊制造工藝專用夾具。在使用這種專用夾具檢測半導體產(chǎn)品時，首先 將該夾具放置在專用裝載工具(loading tool)上，然后裝載工具上的氣壓閥 門打開，以使裝載工具的多個頂針向上運動，插入夾具的對應孔中，從而將 覆蓋夾具的孔的一部分的滑塊推動至預定位置。之后，將多個工件放置在夾 具上，利用夾具上的定位突起和滑塊上的突起與工件上的定位孔之間的配合， 使工件在夾具上定位。最后，松開裝載工具的氣壓閥門，使裝載工具的頂針 縮回，從而使夾具的滑塊在鋼簧的回復力的作用下將產(chǎn)品鉤住和固定。
在上述夾具中，滑塊在形成于夾具上的直的滑動槽中滑動，并且與設置 在夾具的鋼簧槽中的鋼簧連接，其連接方式為，鋼簧與滑塊垂直，鋼簧的一 端嵌入滑塊中，與滑塊一起運動。此外，鋼簧的另一端穿過鋼簧槽固定于夾 具主體中。由于鋼簧的一端嵌入滑塊中并隨著滑塊的滑動而擺動，其另一端 被固定在夾具主體上，所以滑塊的滑動使鋼簧產(chǎn)生擺角，從而在鋼簧與滑塊 之間以及鋼簧與鋼簧槽的側(cè)壁之間會出現(xiàn)摩擦。摩擦力導致鋼簧的復位功能變差，從而不能牢固地固定工件，這會使工件在實際作業(yè)中容易掉落，導致 制造成本增加。并且，由于鋼簧的另一端通過溝槽(即，鋼簧槽)固定于夾 具上，所以在維修損壞的鋼簧或滑塊時會使鋼簧槽磨損，這導致由與鋼簧對 應的滑塊固定的工件不能被很好地定位，最終整個夾具報廢。
因此，需要一種結(jié)構(gòu)簡單、拆卸方便、便于維修的半導體模塊制造工藝 專用夾具。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的提供一種利用內(nèi)置的壓縮彈簧的回復力使滑塊復位的半導體模 塊制造工藝專用夾具，其中，壓縮彈簧直線伸縮運動，且布置在滑塊的兩側(cè)， 因而其回復性能好，減少了因夾具磨損造成的產(chǎn)品損壞。
本發(fā)明還提供一種半導體模塊制造工藝專用夾具，其中，通過使用蓋片 覆蓋滑塊和壓縮彈簧，并利用螺釘將蓋片固定，其結(jié)構(gòu)簡單，便于維護。
為了實現(xiàn)上述目的，提供一種半導體模塊制造工藝專用夾具，該夾具包 括夾具主體和若干個滑塊組件，在夾具主體上具有多個滑動槽、用于穿過裝 載工件的頂針的多個頂針孔和用于固定半導體模塊的多個定位突起，滑動槽 的鄰近工件的一側(cè)具有缺口，該缺口與外部相通，滑塊組件布置在對應的滑
動槽中，其特征在于，滑塊組件包括滑塊，滑塊在對應的滑動槽中可滑動， 滑塊的一端從滑動槽的缺口伸出；彈性構(gòu)件，彈性構(gòu)件沿著滑塊的滑動方向 布置，其一端由滑塊的所述一端的相對端支撐，其另一端由滑動槽的具有缺 口的一側(cè)的側(cè)壁支撐，用于通過其回復力使滑塊朝著對應的頂針孔的方向滑 動；蓋片，用于覆蓋滑塊和彈性構(gòu)件，以防止滑塊和彈性構(gòu)件從滑動槽脫離。 為了實現(xiàn)上述目的，還提供一種用于半導體模塊制造工藝專用夾具的滑 塊組件，該滑塊組件被安裝在形成于夾具主體上的滑動槽中，其特征在于所 述滑塊組件包括滑塊，在對應的滑動槽中可滑動，且其一端從滑動槽中伸 出；彈性構(gòu)件，彈性構(gòu)件沿著滑塊的滑動方向布置，其一端由滑塊的一端支 撐，其另一端由滑動槽的側(cè)壁支撐，用于通過其回復力使滑塊反向運動；蓋 片，用于覆蓋滑塊和彈性構(gòu)件，以防止滑塊和彈性構(gòu)件從滑動槽脫離。


5通過下面結(jié)合附圖進行的描述，本發(fā)明的上述和其它目的及特點將會變
得更加清楚，其中
圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的半導體模塊制造工藝專用夾具 的俯視圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的半導體模塊制造工藝專用夾具 的滑塊組件的結(jié)構(gòu)的放大平面圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的去掉蓋片和螺釘之后的滑塊組 件的結(jié)構(gòu)的放大平面圖。
圖4是沿圖1中的A-A線截取的剖視圖，示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實 施例的滑塊組件的剖視圖。
具體實施方式
以下，參照附圖來詳細說明本發(fā)明的實施例。
圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的半導體模塊制造工藝專用夾具 1的俯視圖。圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的定位滑塊的結(jié)構(gòu)的局 部俯視圖。圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的去掉蓋片和螺釘之后的 定位滑塊結(jié)構(gòu)的局部俯視圖。
如圖1所示，夾具1包括具有一定厚度的夾具主體10和若干個滑塊組件 20。在夾具主體10上具有若干個定位突起11，用于與工件的定位孔(未 顯示)相配合；若干個頂針孔12，穿透夾具主體10形成，用于使裝載工具 (未示出)上的頂針穿過；若干個滑動槽13,從夾具主體10的表面上凹入 預定深度，用于容納對應的滑塊組件20。其中，頂針孔12與滑動槽13部分 重疊，即，頂針孔12穿透滑動槽13頂部的一部分?；瑒硬?3為一側(cè)部分地 與外部相通的T形槽。也就是說，滑動槽13的一側(cè)具有缺口 ，缺口的深度比 滑動槽13其它部分的深度淺。
如圖2至圖4所示，滑塊組件20包括T形滑塊21、 一對彈性構(gòu)件22、 蓋片23和一對螺釘24。優(yōu)選地，彈性構(gòu)件22為壓縮彈簧。
具體地講，T形滑塊21具有沿水平方向延伸的第一部分21a以及沿垂直 方向延伸的第二部分21b,該T形滑塊布置在夾具主體10的滑動槽13的中 部，其第一部分從滑動槽13的缺口伸出。 一對彈性構(gòu)件22分別布置在T形 滑塊21的兩側(cè)，并被卡在由T形滑塊21和滑動槽13限定的兩個矩形空間中。蓋片23用于覆蓋T形滑塊21和彈性構(gòu)件22,以防止它們與滑動槽13 脫離。優(yōu)選地，蓋片23的頂端被切去一部分，以防止當T滑塊21被裝載工 具的頂針推動時蓋片23與頂針干涉。優(yōu)選地，蓋片23的被切去部分的形狀 與頂針孔12和滑動槽13重疊的區(qū)域的形狀相同。
蓋片23通過一對螺釘24緊固到夾具主體10上。優(yōu)選地，在滑動槽13 的兩端可分別設置被置于滑動槽13中的固定凸臺26,所述固定凸臺26可與 夾具主體10固定地連接，并且在每個固定凸臺26上可形成螺紋孔26a，用于 與螺釘24結(jié)合，以將蓋片23緊固到夾具主體10上。顯然，可以不設置固定 凸臺26，而是將蓋片23直接緊固于夾具主體10上，以覆蓋滑塊21和彈性 構(gòu)件22。
優(yōu)選地，為了美觀起見，裝配后的蓋片23的上表面與夾具主體10的上 表面平齊。在本發(fā)明的實施例中，蓋片通過螺釘緊固到夾具主體上，顯然， 本發(fā)明不限于此，蓋片也可以卡在蓋片槽中，或通過其它方式固定。
此外，在滑塊21的第一部分上還形成有圓柱形或橢圓柱形的突起21d, 以與工件一端的定位孔配合，從而固定工件。
雖然在本實施例中采用兩個彈性構(gòu)件，但是也可以僅設置一個彈性構(gòu)件。 具體地講，可以將彈性構(gòu)件沿著滑塊的滑動方向設置在滑塊(不限于T形形 狀，可以為直條形)的中部之下，使彈性構(gòu)件的一端與滑動槽的具有缺口的 一側(cè)的側(cè)壁接觸，其另 一端與滑塊的從滑動槽伸出的一端相對的一端接觸
下面將描述根據(jù)本發(fā)明實施例的夾具1對工件進行定位的操作過程。
首先，打開裝載工具的氣閥，裝載工具的頂針向上運動，同時將T形滑 塊推動，導致T形滑塊21在滑動槽13內(nèi)朝著裝載工件的方向運動一定距離。 在裝載工件之后，T形滑塊21的突起21d插入工件一端的定位孔內(nèi)，同時夾 具主體10上的定位突起11也插入工件的另一端的定位孔內(nèi)。之后，松開裝 載工具的氣閥，頂針向下縮回，從而T形滑塊21在兩個彈性構(gòu)件22的作用 下朝著頂針孔12的方向運動，從而利用T形滑塊的突起21d以及夾具主體的 突起ll將工件鉤緊。
通過上述描述可以看出，本發(fā)明提供的半導體^f莫塊制造工藝專用夾具利 用壓縮彈簧的回復力使滑塊復位，其中，壓縮彈簧沿直線伸縮運動，且布置 在滑塊的兩側(cè)，使滑塊的受力對稱，因而其復位性能好，減少了因夾具磨損 造成的產(chǎn)品損壞。此外，通過上述描述還可以看出，本發(fā)明提供的半導體模塊制造工藝專 用夾具通過使用蓋片和螺釘蓋住滑塊和壓縮彈簧，其結(jié)構(gòu)簡單，便于維護。
本發(fā)明不限于上述實施例，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下，可以進行各 種變形和纟務改。
權(quán)利要求
1、一種半導體模塊制造工藝專用夾具，包括夾具主體和若干個滑塊組件，在夾具主體上具有多個滑動槽、用于穿過裝載工件的頂針的多個頂針孔和用于固定半導體模塊的多個定位突起，所述滑動槽鄰近安裝半導體模塊的一側(cè)具有缺口，該缺口與外部相通，所述滑塊組件布置在對應的滑動槽中，其特征在于所述滑塊組件包括滑塊，滑塊在對應的滑動槽中可滑動，滑塊的一端從滑動槽的缺口伸出；彈性構(gòu)件，彈性構(gòu)件沿著滑塊的滑動方向布置，其一端由滑塊的所述一端的相對端支撐，其另一端由滑動槽的具有缺口的一側(cè)的側(cè)壁支撐，用于通過其回復力使滑塊朝著對應的頂針孔的方向滑動；蓋片，用于覆蓋滑塊和彈性構(gòu)件，以防止滑塊和彈性構(gòu)件從滑動槽脫離。
2、 如權(quán)利要求1所述的半導體模塊制造工藝專用夾具，其特征在于所述 滑塊為T形。
3、 如權(quán)利要求2所述的半導體模塊制造工藝專用夾具，其特征在于所述 彈性構(gòu)件為兩個，分別布置在由T形滑塊和滑動槽的內(nèi)壁限定的兩個空間中。
4、 如權(quán)利要求1所述的半導體模塊制造工藝專用夾具，其特征在于所述 蓋片與頂針孔相鄰的位置被切去一部分，以防止與裝載工具上的頂針干涉。
5、 如權(quán)利要求1所述的半導體模塊制造工藝專用夾具，其特征在于所述 裝配后的蓋片的上表面與夾具主體的上表面平齊。
6、 如權(quán)利要求1所述的半導體模塊制造工藝專用夾具，其特征在于所述 彈性構(gòu)件為壓縮彈簧。
7、 如權(quán)利要求1所述的半導體模塊制造工藝專用夾具，其特征在于所述 滑塊從滑動槽伸出的一端具有圓柱形或橢圓柱形突起，用于與半導體模塊上 的定位孔配合，以對半導體模塊進行定位。
8、 如權(quán)利要求1所述的半導體模塊制造工藝專用夾具，其特征在于所述 蓋片通過螺釘被緊固到夾具主體上。
9、 如權(quán)利要求8所述的半導體模塊制造工藝專用夾具，其特征在于在所 述滑動槽的兩端中分別設置有固定凸臺，在所述固定凸臺上形成有螺釘孔， 用于通過螺釘將蓋片固定到夾具主體上。
10、 一種用于半導體模塊制造工藝專用夾具的滑塊組件，該滑塊組件被安裝在形成于夾具主體上的滑動槽中，其特征在于所述滑塊組件包括 滑塊，在對應的滑動槽中可滑動，且其一端^v滑動槽中伸出； 彈性構(gòu)件，彈性構(gòu)件沿著滑塊的滑動方向布置，其一端由滑塊的一端支撐，其另一端由滑動槽的側(cè)壁支撐，用于通過其回復力使滑塊反向運動； 蓋片，用于覆蓋滑塊和彈性構(gòu)件，以防止滑塊和彈性構(gòu)件從滑動槽脫離。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種半導體模塊制造工藝專用夾具，該夾具包括主體和滑塊組件，在夾具主體上具有多個滑動槽、多個頂針孔和多個定位突起，滑動槽的一側(cè)具有缺口，該缺口與外部相通，滑塊組件布置在對應的滑動槽中，其特征在于，滑塊組件包括滑塊，在對應的滑動槽中滑動，滑塊的一端從滑動槽的缺口伸出；彈性構(gòu)件，沿著滑塊的滑動方向布置，一端由滑塊的所述一端的相對端支撐，另一端由滑動槽的具有缺口的一側(cè)的側(cè)壁支撐，用于通過其回復力使滑動槽向著對應的頂針孔的方向滑動；蓋片，用于覆蓋滑塊和彈性構(gòu)件，以防止滑塊和彈性構(gòu)件與滑動槽脫離。所述夾具利用內(nèi)置彈性構(gòu)件直向運動，其滑塊復位性能好，使用蓋片蓋住滑塊和彈性構(gòu)件的方式方便維修。
文檔編號H01L21/68GK101552223SQ20091000104
公開日2009年10月7日 申請日期2009年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月20日
發(fā)明者汪勝琴, 郭士達 申請人:三星電子(蘇州)半導體有限公司