專(zhuān)利名稱(chēng)：蒸發(fā)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種蒸發(fā)裝置(ev即oration a卯a(chǎn)ratus)，尤其涉及一種在大尺寸基 板上沉淀均勻厚度的蒸發(fā)材料并且同時(shí)具有簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)裝置。
背景技術(shù)：
通常，蒸發(fā)裝置通過(guò)在利用真空泵排氣且減壓的真空腔中加熱并且蒸發(fā)在蒸發(fā)源 中填充的材料，將該材料沉積在基板上。 近來(lái)，越來(lái)越需要提供一種能夠短時(shí)間內(nèi)將蒸發(fā)材料沉積在基板上的蒸發(fā)裝置。 作為蒸發(fā)裝置的一個(gè)示例，已經(jīng)研發(fā)出一種具有細(xì)長(zhǎng)開(kāi)口的大尺寸的蒸發(fā)源并且移動(dòng)基板 的同時(shí)執(zhí)行蒸發(fā)處理的蒸發(fā)裝置，其中該細(xì)長(zhǎng)開(kāi)口的寬度等于基板的寬度。在這種裝置中， 移動(dòng)基板所需的空間會(huì)不可避免地導(dǎo)致尺寸變大，并且由于很難對(duì)大尺寸的源執(zhí)行溫度控 制而導(dǎo)致所沉積的膜的均勻度較差。 出于上述原因，已經(jīng)研發(fā)出一種這樣的蒸發(fā)裝置，其具有一個(gè)能夠移動(dòng)并且同時(shí) 將材料沉積到懸浮的基板上的蒸發(fā)源。然而，這種蒸發(fā)裝置需要較長(zhǎng)的處理時(shí)間并且使用 會(huì)產(chǎn)生許多顆粒的包括球形螺絲的移動(dòng)部件。 研究還在繼續(xù)進(jìn)行并研發(fā)出一種具有多個(gè)蒸發(fā)單元的蒸發(fā)裝置，各蒸發(fā)單元都包 括一個(gè)源和一個(gè)移動(dòng)部件以便短時(shí)間內(nèi)將材料蒸發(fā)到大尺寸的基板上。然而，這種裝置變 得很復(fù)雜并且十分昂貴，這是由于它需要多個(gè)移動(dòng)部件來(lái)移動(dòng)多個(gè)蒸發(fā)源的緣故。

發(fā)明內(nèi)容
相應(yīng)地，提出本發(fā)明以解決現(xiàn)有技術(shù)中所存在的上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于，提 供一種蒸發(fā)裝置，其可縮短蒸發(fā)的處理時(shí)間并且改善基板上所沉積的蒸發(fā)材料的厚度均勻 度。 本發(fā)明的另一目的在于，提供一種蒸發(fā)裝置，其可簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)并且最小化顆粒的產(chǎn) 生。 本發(fā)明的目的是通過(guò)如下的一種蒸發(fā)裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)的，該蒸發(fā)裝置包括移動(dòng)板，其 設(shè)置在框體上往復(fù)移動(dòng)；多個(gè)蒸發(fā)源，其用于將蒸發(fā)材料蒸發(fā)到基板上，以便在基板上沉積 蒸發(fā)材料，在與所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向相交的方向上，在所述移動(dòng)板上設(shè)置所述多個(gè)蒸發(fā) 源；以及驅(qū)動(dòng)單元，其用于往復(fù)移動(dòng)所述移動(dòng)板。 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，該蒸發(fā)裝置包括導(dǎo)向單元，其用于引導(dǎo)所述移動(dòng)板的往復(fù) 移動(dòng)，該導(dǎo)向單元包括導(dǎo)向軌道，其設(shè)置在所述框體中；和導(dǎo)向部，其被緊固到所述移動(dòng) 板上并且具有將所述導(dǎo)向軌道插入的導(dǎo)向凹槽。 該驅(qū)動(dòng)單元包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；和功率傳送單元，其用于將所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力 傳送到所述移動(dòng)板以使所述移動(dòng)板移動(dòng)。所述功率傳送單元包括驅(qū)動(dòng)滑輪，其旋轉(zhuǎn)地設(shè)置 在框體中并且被所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)所驅(qū)動(dòng)；空轉(zhuǎn)滑輪，其旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在框體中，所述空轉(zhuǎn)滑輪與 所述驅(qū)動(dòng)滑輪在所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向上彼此間隔；鋼帶，其與所述空轉(zhuǎn)滑輪和所述驅(qū)動(dòng)滑輪驅(qū)動(dòng)地相連，其中所述移動(dòng)板與所述鋼帶緊固；以及一對(duì)用于將驅(qū)動(dòng)力傳送到所述驅(qū) 動(dòng)滑輪的斜齒輪，其中所述驅(qū)動(dòng)滑輪、所述空轉(zhuǎn)滑輪、所述鋼帶都是偶數(shù)個(gè)，并且它們都在 與所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向相交的方向上彼此間隔。 此外，所述蒸發(fā)源包括多個(gè)主體蒸發(fā)源，其在與所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向相交的方 向上彼此間隔；和客體蒸發(fā)源，其具有與主體蒸發(fā)源的數(shù)量對(duì)應(yīng)的數(shù)量，并且每一個(gè)都在所 述移動(dòng)板的移動(dòng)方向上與對(duì)應(yīng)的主體蒸發(fā)源相間隔。 根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例，所述驅(qū)動(dòng)滑輪與所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)軸是相連的，從 而省去了一對(duì)斜齒輪。 同時(shí)，本發(fā)明的目的還可通過(guò)如下的一種蒸發(fā)裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)的，該蒸發(fā)裝置，包括 驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；移動(dòng)板，其設(shè)置在框體上往復(fù)移動(dòng)；至少一個(gè)蒸發(fā)源，其設(shè)置在所述移動(dòng)板上， 所述至少一個(gè)蒸發(fā)源用于將蒸發(fā)材料蒸發(fā)到基板上，以便在基板上沉積蒸發(fā)材料；以及鋼 帶，其與所述移動(dòng)板緊固地相連，當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述鋼帶時(shí)，所述鋼帶使得所述移動(dòng) 板往復(fù)移動(dòng)。


通過(guò)下面的具體實(shí)施方式
并且結(jié)合所附的附圖，可以使得本發(fā)明的上述和其他目 的、特征和優(yōu)點(diǎn)更加清楚和明了，其中 圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的蒸發(fā)裝置的示意性透視圖； 圖2是圖1所示的蒸發(fā)裝置的側(cè)視圖； 圖3是圖1所示的蒸發(fā)裝置的截面圖；以及 圖4是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的蒸發(fā)裝置的透視圖。
具體實(shí)施例方式
在下文中，將會(huì)參考所附的附圖來(lái)詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的示例性實(shí)施例。
參考圖1至圖3，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的蒸發(fā)裝置包括框體100、以可在框體100上 線性往復(fù)的方式安裝到框體100上的移動(dòng)板110、在移動(dòng)板110上設(shè)置的多個(gè)蒸發(fā)源120、 用于引導(dǎo)移動(dòng)板110線性移動(dòng)的導(dǎo)向單元130、以及用于線性地往復(fù)移動(dòng)移動(dòng)板110的驅(qū)動(dòng) 單元140。 移動(dòng)板110被用來(lái)一并承載并且移動(dòng)多個(gè)蒸發(fā)源120，并且具有在其上設(shè)置了多 個(gè)蒸發(fā)源120的頂面和在其上設(shè)置了用于將移動(dòng)板IIO連接到驅(qū)動(dòng)單元140的一對(duì)連接部 112的底面。此外，還在移動(dòng)板110的底面上設(shè)置了一對(duì)承載部114，其用于在導(dǎo)向單元130 上承載移動(dòng)板110。盡管在本實(shí)施例中所示的移動(dòng)板110是矩形板，但是移動(dòng)板110還可具 有由多種材料制成的多種變形形狀，只要移動(dòng)板110可承載多個(gè)蒸發(fā)源120并可使它們移 動(dòng)即可。 在垂直于移動(dòng)板110的移動(dòng)方向的方向上，在移動(dòng)板110的頂面上設(shè)置了多個(gè)蒸 發(fā)源120。優(yōu)選地，多個(gè)蒸發(fā)源120彼此相距相同的間隔，以便根據(jù)基板的位置可沉積均勻 厚度的蒸發(fā)材料。同時(shí)，在蒸發(fā)有機(jī)EL材料的情況下，多個(gè)蒸發(fā)源120中的每一個(gè)都包括 主體蒸發(fā)源124和客體蒸發(fā)源122，兩者在移動(dòng)板110的移動(dòng)方向上彼此間隔。主體蒸發(fā)源 124填充有主體材料，而客體蒸發(fā)源122填充有作為攙雜劑的客體材料，從而可以在基板上同時(shí)沉積主體和客體材料。 這些蒸發(fā)源120中的每一個(gè)都具有設(shè)置了填充有蒸發(fā)材料的坩鍋和環(huán)繞該坩鍋 設(shè)置的用于加熱并且蒸發(fā)該蒸發(fā)材料的電熱線的公知結(jié)構(gòu)。由于蒸發(fā)源120的配置都已經(jīng) 是公知的，因此省略了對(duì)其的結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)原理的詳細(xì)說(shuō)明。 此外，還可靠近各個(gè)蒸發(fā)源120設(shè)置用來(lái)測(cè)量蒸發(fā)源120的蒸發(fā)的包括石英振蕩 器的感應(yīng)器(未示出)。通過(guò)基于測(cè)量得到的各個(gè)蒸發(fā)源120的蒸發(fā)來(lái)調(diào)節(jié)它們中每一個(gè) 的溫度，可操作控制器來(lái)控制各個(gè)蒸發(fā)源120的蒸發(fā)速率。 導(dǎo)向單元130用來(lái)引導(dǎo)移動(dòng)板110的線性往復(fù)移動(dòng)，并且每一個(gè)導(dǎo)向單元130都 包括為每一個(gè)承載部114設(shè)置的導(dǎo)向部134和對(duì)框體100設(shè)置的導(dǎo)向軌道132。導(dǎo)向部134 具有導(dǎo)向凹槽135，在導(dǎo)向凹槽135中插入了導(dǎo)向軌道132。利用上述結(jié)構(gòu)，移動(dòng)板110可 沿著導(dǎo)向軌道132線性地往復(fù)移動(dòng)。 盡管在這個(gè)實(shí)施例中導(dǎo)向軌道132被固定在框體IOO上并且具有各自導(dǎo)向凹槽 135的導(dǎo)向部134被固定到移動(dòng)板110上，但是還可與這個(gè)實(shí)施例相反，即導(dǎo)向軌道132被 固定到移動(dòng)板110上而在框體100中形成導(dǎo)向凹槽。 驅(qū)動(dòng)單元140用來(lái)移動(dòng)上述移動(dòng)板110，并且包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)141和用于將驅(qū)動(dòng)馬達(dá) 141的驅(qū)動(dòng)力傳送到移動(dòng)板110的功率傳送單元142。 驅(qū)動(dòng)馬達(dá)141被緊固到框體100并且可以響應(yīng)于所提供的電流方向前向和后向旋 轉(zhuǎn)，從而使得移動(dòng)板110往復(fù)移動(dòng)。 功率傳送單元142包括一對(duì)連接到驅(qū)動(dòng)馬達(dá)141的驅(qū)動(dòng)軸141a上并且具有彼此 相通的軸的斜齒輪143和144、與斜齒輪143和144相連的驅(qū)動(dòng)滑輪145、通過(guò)鋼帶147驅(qū) 動(dòng)地與各個(gè)驅(qū)動(dòng)滑輪145相連的空轉(zhuǎn)滑輪146、以及將驅(qū)動(dòng)滑輪145的驅(qū)動(dòng)力傳送到空轉(zhuǎn)滑 輪146的鋼帶147。 斜齒輪143和144包括與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)141的驅(qū)動(dòng)軸141a相連的第一斜齒輪143和 具有與第一斜齒輪143的軸垂直的軸的第二斜齒輪144。由于驅(qū)動(dòng)馬達(dá)141的驅(qū)動(dòng)軸141a 垂直于驅(qū)動(dòng)滑輪145的軸，故第一斜齒輪143和第二斜齒輪144被用來(lái)轉(zhuǎn)換驅(qū)動(dòng)力的旋轉(zhuǎn) 方向。因此，根據(jù)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)141的定位和位置可以省略第一斜齒輪143和第二斜齒輪144。
驅(qū)動(dòng)滑輪145包括一對(duì)在驅(qū)動(dòng)馬達(dá)141的相對(duì)側(cè)設(shè)置的滑輪。更具體的， 一對(duì)驅(qū) 動(dòng)滑輪145分別旋轉(zhuǎn)地安裝到框體100的承載肋104，并且驅(qū)動(dòng)滑輪145與第二斜齒輪144 共享軸144a。因此，第二斜齒輪144的旋轉(zhuǎn)功率可經(jīng)過(guò)軸144a傳遞驅(qū)動(dòng)滑輪145。
空轉(zhuǎn)滑輪146被驅(qū)動(dòng)滑輪145所驅(qū)動(dòng)并且被設(shè)置在移動(dòng)板110的移動(dòng)方向上與驅(qū) 動(dòng)滑輪145相隔一距離?？辙D(zhuǎn)滑輪146是對(duì)應(yīng)于一對(duì)驅(qū)動(dòng)滑輪145并且被旋轉(zhuǎn)地安裝到框 體100的承載肋的一對(duì)滑輪。 鋼帶147是一對(duì)鋼帶，其中每一個(gè)鋼帶都與對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)滑輪145和空轉(zhuǎn)滑輪146 相連以使其旋轉(zhuǎn)。因此，在鋼帶147的每一個(gè)的點(diǎn)處將移動(dòng)板110緊固。更具體的，與移動(dòng) 板IIO相連的連接部112分別固定到各鋼帶147。利用上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)鋼帶147旋轉(zhuǎn)時(shí)，移動(dòng) 板110可沿著導(dǎo)向軌道132線性地移動(dòng)。由于使用鋼帶147作為功率傳送部件按照如上所 述的方式使移動(dòng)板110移動(dòng)，因此可以最小化諸如球體螺絲等在其他功率傳送部件中以更 快的速率產(chǎn)生的顆粒。最小化的顆粒實(shí)現(xiàn)了沉積有蒸發(fā)材料的基板的廢品率。同時(shí)，還可 設(shè)置用來(lái)覆蓋鋼帶147、驅(qū)動(dòng)滑輪145和空轉(zhuǎn)滑輪146的外殼。在這種情況下，由于相對(duì)于基板將功率傳送單元142密封，而可以進(jìn)一步降低顆粒所產(chǎn)生的基板的廢品率。
在下文中將會(huì)說(shuō)明具有上述配置的蒸發(fā)裝置的操作。 首先，朝向蒸發(fā)源120來(lái)安裝基板，并且向蒸發(fā)源120施加電能以使蒸發(fā)材料得以 蒸發(fā)。此時(shí)，激勵(lì)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)141以使移動(dòng)板110沿著導(dǎo)向軌道132移動(dòng)。更具體的，當(dāng)激勵(lì) 驅(qū)動(dòng)馬達(dá)141時(shí)， 一對(duì)驅(qū)動(dòng)滑輪145經(jīng)過(guò)第一斜齒輪143和第二斜齒輪144旋轉(zhuǎn)，并且通過(guò) 摩擦力與各驅(qū)動(dòng)滑輪145相連的鋼帶147也旋轉(zhuǎn)。隨后移動(dòng)在鋼帶147的各個(gè)點(diǎn)處固定的 移動(dòng)板110。此時(shí)，在移動(dòng)板110上安裝的多個(gè)蒸發(fā)源120將蒸發(fā)材料蒸發(fā)到整個(gè)基板上， 同時(shí)沿著基板的長(zhǎng)度方向移動(dòng)。 圖4是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的蒸發(fā)裝置的示意性透視圖。參考圖4，在本發(fā)明 的這個(gè)實(shí)施例中所省略的是，通過(guò)改變驅(qū)動(dòng)馬達(dá)241的位置而省略了在上述實(shí)施例中所使 用的第一斜齒輪143和第二斜齒輪144。也就是說(shuō)，根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的功率傳送單 元242包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)241，該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)241的驅(qū)動(dòng)軸241a直接地與驅(qū)動(dòng)滑輪245相連。驅(qū) 動(dòng)滑輪245又通過(guò)鋼帶247與空轉(zhuǎn)滑輪246相連。這里，優(yōu)選地，將鋼帶247、驅(qū)動(dòng)滑輪245 和空轉(zhuǎn)滑輪146都定位在移動(dòng)板210的寬度的中間位置處。這可以在移動(dòng)板210的移動(dòng)方 向上更加有效地傳送驅(qū)動(dòng)力。除此以外，連接移動(dòng)板210和鋼帶247的結(jié)構(gòu)以及引導(dǎo)移動(dòng) 板210的移動(dòng)的結(jié)構(gòu)都與上述實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)相同。 以上述方式，通過(guò)使驅(qū)動(dòng)滑輪245與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)241的驅(qū)動(dòng)軸241a直接相連，可進(jìn) 一步簡(jiǎn)化蒸發(fā)裝置的結(jié)構(gòu)。 根據(jù)如上所述的本發(fā)明，由于通過(guò)一個(gè)往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)板上承載多個(gè)蒸發(fā)源對(duì)蒸 發(fā)材料進(jìn)行蒸發(fā)而在懸浮的基板上沉積蒸發(fā)材料，因此可以簡(jiǎn)化蒸發(fā)裝置的結(jié)構(gòu)，并且可 以縮短沉積時(shí)間，由于可以輕易地執(zhí)行對(duì)各個(gè)蒸發(fā)源的溫度控制，因此可獲得均勻厚度的 沉積膜。 特別地，通過(guò)使用驅(qū)動(dòng)馬達(dá)和鋼帶來(lái)往復(fù)移動(dòng)用于承載多個(gè)蒸發(fā)源的移動(dòng)板，可
進(jìn)一步簡(jiǎn)化蒸發(fā)裝置的移動(dòng)部件的結(jié)構(gòu)，并且最小化由移動(dòng)部件所產(chǎn)生的顆粒。 此外，由于驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)軸直接地與驅(qū)動(dòng)滑輪相連，由此實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)
構(gòu)的進(jìn)一步簡(jiǎn)化。 盡管是出于說(shuō)明性目的描述了本發(fā)明的示例性實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員在不 脫離所附的權(quán)利要求限定的本發(fā)明的范圍和精神的前提下，還可作出多種修改、追加和替換。
權(quán)利要求
一種蒸發(fā)裝置，包括移動(dòng)板，其設(shè)置在框體上往復(fù)移動(dòng)；多個(gè)蒸發(fā)源，其用于將蒸發(fā)材料蒸發(fā)到基板上，以便在基板上沉積蒸發(fā)材料，在與所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向相交的方向上，在所述移動(dòng)板上設(shè)置所述多個(gè)蒸發(fā)源；以及驅(qū)動(dòng)單元，其用于往復(fù)移動(dòng)所述移動(dòng)板。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的蒸發(fā)裝置，包括導(dǎo)向單元，其用于引導(dǎo)所述移動(dòng)板的往復(fù)移動(dòng)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸發(fā)裝置，其中，所述導(dǎo)向單元包括導(dǎo)向軌道，其設(shè)置在所述框體中；禾口導(dǎo)向部，其被緊固到所述移動(dòng)板上并且具有導(dǎo)向凹槽，所述導(dǎo)向軌道插入到所述導(dǎo)向凹槽中。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的蒸發(fā)裝置，其中，所述驅(qū)動(dòng)單元包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；禾口功率傳送單元，其用于將所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力傳送到所述移動(dòng)板以使所述移動(dòng)板移動(dòng)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸發(fā)裝置，其中，所述功率傳送單元包括驅(qū)動(dòng)滑輪，其旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在框體中并且被所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)所驅(qū)動(dòng)；空轉(zhuǎn)滑輪，其旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在框體中，所述空轉(zhuǎn)滑輪與所述驅(qū)動(dòng)滑輪在所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向上彼此間隔；以及鋼帶，其與所述空轉(zhuǎn)滑輪和所述驅(qū)動(dòng)滑輪驅(qū)動(dòng)地相連，其中所述移動(dòng)板與所述鋼帶在一點(diǎn)上緊固，其中，當(dāng)所述空轉(zhuǎn)滑輪和所述驅(qū)動(dòng)滑輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述鋼帶旋轉(zhuǎn)以便往復(fù)移動(dòng)所述移動(dòng)板。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的蒸發(fā)裝置，其中，所述功率傳送單元包括一對(duì)用于將驅(qū)動(dòng)力傳送到所述驅(qū)動(dòng)滑輪的斜齒輪。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸發(fā)裝置，其中，所述驅(qū)動(dòng)滑輪與所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)軸是相連的。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的蒸發(fā)裝置，其中，所述驅(qū)動(dòng)滑輪、所述空轉(zhuǎn)滑輪、所述鋼帶都是多個(gè)，并且都在與所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向相交的方向上彼此間隔。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)裝置，其中，所述蒸發(fā)源包括多個(gè)主體蒸發(fā)源，其在與所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向相交的方向上彼此間隔；禾口客體蒸發(fā)源，其具有與主體蒸發(fā)源的數(shù)量對(duì)應(yīng)的數(shù)量，并且每一個(gè)都在所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向上與對(duì)應(yīng)的主體蒸發(fā)源相間隔。
10. —種蒸發(fā)裝置，包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；移動(dòng)板，其設(shè)置在框體上往復(fù)移動(dòng)；至少一個(gè)蒸發(fā)源，其設(shè)置在所述移動(dòng)板上，所述至少一個(gè)蒸發(fā)源用于將蒸發(fā)材料蒸發(fā)到基板上，以便在基板上沉積蒸發(fā)材料；以及鋼帶，其與所述移動(dòng)板緊固地相連，當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述鋼帶時(shí)，所述鋼帶使得所述移動(dòng)板往復(fù)移動(dòng)'
全文摘要
一種蒸發(fā)裝置，包括移動(dòng)板，其設(shè)置在框體上往復(fù)移動(dòng)；多個(gè)蒸發(fā)源，其用于將蒸發(fā)材料蒸發(fā)到基板上，以便在基板上沉積蒸發(fā)材料，在與該移動(dòng)板的移動(dòng)方向相交的方向上，在該移動(dòng)板上設(shè)置多個(gè)蒸發(fā)源；以及驅(qū)動(dòng)單元，其用于往復(fù)移動(dòng)該移動(dòng)板。該蒸發(fā)裝置可簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，并可短時(shí)間內(nèi)在基板上沉積均勻厚度的蒸發(fā)材料。
文檔編號(hào)H01L21/20GK101743617SQ200880022053
公開(kāi)日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2008年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月27日
發(fā)明者宋校俊, 樸基柱, 權(quán)真煥, 李炫基, 睦鎮(zhèn)一, 趙成在 申請(qǐng)人:斗山麥卡泰克株式會(huì)社