專利名稱：料件取送預(yù)裝機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型為一種有關(guān)于料件取送預(yù)裝(prdoad)機(jī)構(gòu)；特別是指 一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中料件加工的傳輸過(guò)程改良，借由承料平臺(tái)及 至少兩移動(dòng)平臺(tái)的承料轉(zhuǎn)換及取料區(qū)的預(yù)裝(prdoad)置換動(dòng)作，來(lái)達(dá) 到快速料件取送加工的目的，以有效達(dá)到改善半導(dǎo)體制程效率的料件 換料裝機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前一般習(xí)知的料件輸送換料制程如在有些舊有設(shè)計(jì)其主要結(jié) 構(gòu)包括利用一單一的n字形固定平臺(tái)13來(lái)承載輸送已加工或未加 工之料件11，并利用一可夾取取料區(qū)12料件11的可移動(dòng)夾具10， 以及利用一可將所需料件11移至加工區(qū)之承料平臺(tái)14為習(xí)知技術(shù)的 主要結(jié)構(gòu)；由前述可了解習(xí)知技術(shù)首先是利用夾具10將料件11夾住 后移至固定的位置，再將可Z軸上升并可X、 Y軸平移的承料平臺(tái) 14抬升到可承接料件11之固定平臺(tái)13，再將承料平臺(tái)14向周邊平 移至可加工之位置，然而，其缺點(diǎn)是必需先將加工后之料件11退回 原本的位置再將未加工的料件11取出，如此一來(lái)在換料時(shí)需要較長(zhǎng) 的時(shí)間，也因?yàn)閾Q料速度太慢，因此使得在半導(dǎo)體制程中顯得相當(dāng)缺 乏效率。
由于先前技術(shù)始終未能在半導(dǎo)體制程效能上有所突破，因此本實(shí)用新型申請(qǐng)人特提出一種利用復(fù)數(shù)個(gè)移動(dòng)平臺(tái)并配合換料預(yù)裝
(preload)技術(shù)，使得能更快、更有效率來(lái)?yè)Q料及料件轉(zhuǎn)換傳輸?shù)男滦?創(chuàng)作；本實(shí)用新型實(shí)具有相當(dāng)?shù)目蓪＠约霸瓌?chuàng)性，舉目所及并無(wú)此 類料件取送預(yù)裝(preload)機(jī)構(gòu)公開使用，本實(shí)用新型實(shí)是一種極佳改 良的新型裝置結(jié)構(gòu)。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種料件取送預(yù)裝機(jī)構(gòu)，借由夾固裝 置、承料平臺(tái)、復(fù)數(shù)個(gè)(至少兩個(gè))移動(dòng)平臺(tái)以及卡匣式取料區(qū)預(yù)裝 (preload)系統(tǒng)的配合，即可達(dá)到使半導(dǎo)體制程更有效能，換料更快速、 節(jié)省時(shí)間的目的。
為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型為一種料件取送預(yù)裝機(jī)構(gòu)，包括一 夾固裝置，是位于一移動(dòng)平臺(tái)的一端，且可沿該移動(dòng)平臺(tái)的X軸或Y 軸方向移動(dòng)的夾取裝置，用來(lái)將一未加工料件自一取料區(qū)中夾取出或 將一已加工料件推回該取料區(qū)； 一承料平臺(tái)，是活動(dòng)于該移動(dòng)平臺(tái)， 且可沿該移動(dòng)平臺(tái)的X軸或Y軸方向移動(dòng)的承料裝置，用來(lái)承接該
未加工料件或該已加工料件；以及至少兩移動(dòng)平臺(tái)，用來(lái)將該承料平
臺(tái)所承接的該已加工料件移至該移動(dòng)平臺(tái)的上層，并推回該取料區(qū)， 而將該承料平臺(tái)所承接的該未加工料件移至該移動(dòng)平臺(tái)的另層，再移 至加工區(qū)加工，如此借由該承接平臺(tái)及該至少兩移動(dòng)平臺(tái)的承接轉(zhuǎn)
換，并該取料區(qū)的預(yù)裝(prdoad)置換動(dòng)作，來(lái)達(dá)到快速料件換料加工 進(jìn)一步，其中該料件為面積約20cm X 20cm的晶粒承載。進(jìn)一步，其中該夾固裝置為具有夾爪的夾具。
進(jìn)一步，其中該取料區(qū)為可上下移動(dòng)并作料件取出置入的料件預(yù)
裝(preload)置換(r印lacement)的卡匣機(jī)構(gòu)。
進(jìn)一步，其中該承料平臺(tái)為可上下左右移動(dòng)以承接料件的平臺(tái)機(jī)構(gòu)。
進(jìn)一步，其中該至少兩移動(dòng)平臺(tái)為至少上、下二層，該兩層移動(dòng) 平臺(tái)可連動(dòng)并可沿著Y軸方向上、下移動(dòng)的平臺(tái)機(jī)構(gòu)。

圖1為為本實(shí)用新型習(xí)知的平面結(jié)構(gòu)圖。 圖2為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的平面結(jié)構(gòu)圖。 圖中主要組件符號(hào)說(shuō)明 IO:夾具
ll:料件
12:取料區(qū)
13:固定平臺(tái)
14:承料平臺(tái)
20:夾固裝置
21:料件
22:取料區(qū)
23:上層移動(dòng)平臺(tái)
24:下層移動(dòng)平臺(tái)
25:承料平臺(tái)具體實(shí)施方式
為對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)特征能夠進(jìn)一步了解，特提出以下實(shí)施例 的詳細(xì)說(shuō)明
請(qǐng)參閱圖1,此圖為本實(shí)用新型習(xí)知的平面結(jié)構(gòu)圖，借由此圖可 進(jìn)一步了解本實(shí)用新型習(xí)知的更換料件技術(shù)。首先，利用可左右移動(dòng)
的夾具10移至取料區(qū)12夾取料件11，并移至固定平臺(tái)13上層，取 料完畢后隨即移開，之后，將承料平臺(tái)14移至料件11下方并且抬升 承料平臺(tái)14以承接料件11，之后，承接完料件11后隨即移開至加 工區(qū)位置后再下降以利加工，之后，加工完畢再將承料平臺(tái)14移至 固定平臺(tái)13下方并抬升料件11至固定平臺(tái)13，之后，再利用夾具 10將加工完成的料件11推回取料區(qū)12，之后，取料區(qū)12移動(dòng)至下 一片要加工的料件ll位置。
請(qǐng)參閱圖2，此圖為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的平面結(jié)構(gòu)圖，借由 此圖可進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的技術(shù)特征。首先，利用一個(gè)可左右移 動(dòng)的夾固裝置20(如夾具)在取料區(qū)22夾取料件21后移至上層移動(dòng) 平臺(tái)23,取料完畢后隨即移開，之后，利用承料平臺(tái)25將加工完成 的料件21移至下層移動(dòng)平臺(tái)24，并將加工后的料件21推回可上下 移動(dòng)的取料區(qū)22，之后，將上層移動(dòng)平臺(tái)23未加工的料件21置于 承料平臺(tái)25并移至加工區(qū)，并同時(shí)將上層移動(dòng)平臺(tái)23移動(dòng)至取料區(qū) 22之取料位置。
綜合以上說(shuō)明，可知本實(shí)用新型是一種能更快速、更有效率更換 料件的半導(dǎo)體制程改良技術(shù)，不但能改善半導(dǎo)體制程效率，同時(shí)亦是節(jié)省時(shí)間的一種新型創(chuàng)作，本實(shí)用新型不但具有其優(yōu)越功效，亦為熟 悉此技藝之人士所不易想到，并己具體實(shí)施，且從未先見(jiàn)于國(guó)內(nèi)外刊 物或已公開使用，本實(shí)用新型符合新穎性、創(chuàng)造性及實(shí)用性的專利三 要件。
權(quán)利要求1. 一種料件取送預(yù)裝機(jī)構(gòu)，其特征為包括一夾固裝置，是位于一移動(dòng)平臺(tái)的一端，且可沿該移動(dòng)平臺(tái)的X軸或Y軸方向移動(dòng)的夾取裝置，用來(lái)將一未加工料件自一取料區(qū)中夾取出或?qū)⒁灰鸭庸ち霞苹卦撊×蠀^(qū)；一承料平臺(tái)，是活動(dòng)于該移動(dòng)平臺(tái)，且可沿該移動(dòng)平臺(tái)的X軸或Y軸方向移動(dòng)的承料裝置，用來(lái)承接該未加工料件或該已加工料件；以及至少兩移動(dòng)平臺(tái)，用來(lái)將該承料平臺(tái)所承接的該已加工料件移至該移動(dòng)平臺(tái)的上層，并推回該取料區(qū)，而將該承料平臺(tái)所承接的該未加工料件移至該移動(dòng)平臺(tái)的另層，再移至加工區(qū)加工，如是借由該承料平臺(tái)及該至少兩移動(dòng)平臺(tái)的承料轉(zhuǎn)換，并該取料區(qū)的預(yù)裝置換動(dòng)作，來(lái)達(dá)到快速料件換料加工目的的機(jī)構(gòu)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的料件取送預(yù)裝機(jī)構(gòu)，其特征為其中該 料件為面積約20cm X 20cm的晶粒承載。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的料件取送預(yù)裝機(jī)構(gòu)，其特征為其中該 夾固裝置為具有夾爪的夾具。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的料件取送預(yù)裝機(jī)構(gòu)，其特征為其中該 取料區(qū)為可上下移動(dòng)并作料件取出、置入的料件預(yù)裝置換卡匣式機(jī) 構(gòu)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的料件取送預(yù)裝機(jī)構(gòu)，其特征為其中該 承料平臺(tái)為可上下、左右移動(dòng)，以承接料件的平臺(tái)機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的料件取送預(yù)裝機(jī)構(gòu)，其特征為其中該 至少兩移動(dòng)平臺(tái)為至少上、下二層，該兩層移動(dòng)平臺(tái)可連動(dòng)并可沿著 Y軸方向上、下移動(dòng)的平臺(tái)機(jī)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型為一種料件取送預(yù)裝機(jī)構(gòu)，其主要包括一用來(lái)將取料區(qū)中的未加工料件夾取出或?qū)⒁鸭庸ち霞苹厝×蠀^(qū)的夾固裝置；一用來(lái)承接該未加工料件或已加工料件的承料平臺(tái)；以及用來(lái)將承料平臺(tái)所承接的已加工料件移至移動(dòng)平臺(tái)的上層，并推回取料區(qū)，而將承料平臺(tái)所承接的未加工料件移至移動(dòng)平臺(tái)的另層，再移至加工區(qū)加工的至少兩移動(dòng)平臺(tái)。如是借由承料平臺(tái)及至少兩移動(dòng)平臺(tái)的承料轉(zhuǎn)換，并取料區(qū)的預(yù)裝(preload)置換動(dòng)作，來(lái)達(dá)到快速料件取送加工目的的機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK201266601SQ20082012822
公開日2009年7月1日 申請(qǐng)日期2008年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月10日
發(fā)明者盧彥豪 申請(qǐng)人:威控自動(dòng)化機(jī)械股份有限公司