專利名稱：：液滴噴射裝置和液滴噴射頭的制作方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及液滴噴射裝置例如噴墨打印機和液滴噴射頭例如噴墨頭。
背景技術：
：傳統(tǒng)上，作為其中一種液滴噴射裝置，已知這樣一種噴墨打印機，設有噴墨頭，它具有其中規(guī)則形成有多個壓力腔室的空腔單元和與空腔單元連接以便選擇性地噴射在壓力腔室中的墨的壓電促動器；以及電壓施加機構(gòu)，用于向壓電促動器施加電壓。然后，作為上述壓電促動器，已知一種具有層疊式垂直效應促動器的壓電促動器(例如，參見日本專利申請?zhí)卦S公開No.2005-59551)和一種采用了單晶片促動器的壓電促動器(例如，參見日本專利申請?zhí)卦S公開No.2005-317952)。要求提高壓力腔室的密度以便通過增加在這種噴墨打印機的噴墨頭中的噴嘴數(shù)量來確保高圖像質(zhì)量或高記錄質(zhì)量。在壓力腔室以高密度布置時，在相鄰壓力腔室之間的距離變短，因此在驅(qū)動時會出現(xiàn)對相鄰壓力腔室的影響，即所謂的串擾問題。具體地說，例如如圖69、70所示一樣，噴墨頭如此形成，從而由三個壓電材料層912a、912b、912c形成的壓電促動器912通過粘接板915連接在其中規(guī)則形成有多個壓力腔室940的空腔單元914的上側(cè)上。然后，將與壓力腔室940對應的單獨電極921設在壓電材料層912a的上表面?zhèn)壬?，并且將恒定電位電極922(接地電位)設在壓電材料層912a的下表面?zhèn)壬稀Ａ硗?，在壓電材料?12c的上表面?zhèn)群拖卤砻鎮(zhèn)壬戏謩e設有單獨電極921和恒定電位電極922。通過這種結(jié)構(gòu)，夾在單獨電極921和恒定電位電極922之間的區(qū)域(壓電材料層)用作活性區(qū)域S，在那里通過向單獨電極921選擇性地施加正電位來改變壓力腔室940的體積，以便從噴嘴孔914b中噴射出墨。用于噴墨的這種變形不僅影響了噴墨的壓力腔室，而且還通過壓電材料層912a至912c的變形影響了與這些壓力腔室940相鄰的壓力腔室940，如圖71所示。因此，己經(jīng)出現(xiàn)了相鄰壓力腔室940的噴射特性波動的問題(例如，從噴嘴孔914b中出現(xiàn)不期望的墨噴射的問題)，即串擾問題。為了解決串擾這個問題，已經(jīng)提出了許多措施。例如，在日本專利申請?zhí)卦S公開No.2002-254640(圖2)中，描述了這樣一種結(jié)構(gòu)，其中在每個壓力產(chǎn)生腔室12沿著寬度方向的兩側(cè)上橫跨分隔壁11設有梁部分100以便改善分隔壁11的剛度，由此防止了在相鄰壓力產(chǎn)生腔室之間串擾的出現(xiàn)。另外，在日本專利申請?zhí)卦S公開No.2002-19113(圖l)中，描述了這樣一種結(jié)構(gòu)，其中在分隔每個加壓液體腔室4的側(cè)壁5上設有彈性體7，該彈性體7具有到噴嘴板3的預定深度并且具有預定寬度，由此降低了機械串擾。但是，由于壓力腔室(墨噴射腔室)的密度不斷提高，所以這些措施變得不再理想。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供液滴噴射裝置和液滴噴射頭，其能夠在不增加單獨電極的數(shù)量即在高密度構(gòu)造時信號線的數(shù)量的情況下抑制串擾。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種噴射液滴的液滴噴射裝置，該裝置包括液滴噴射頭，它包括其中形成有規(guī)則布置的多個壓力腔室的空腔單元和連接在空腔單元上以覆蓋壓力腔室并且選擇性地噴射在壓力腔室中的墨的壓電促動器，所述壓電促動器具有每個與其中一個壓力腔室的中央部分對應的第一活性部分和每個與其中一個壓力腔室的覆蓋著位于其中一個壓力腔室的中央部分外面的部分的外周部分對應的第二活性部分；以及電壓施加機構(gòu)，該電壓施加機構(gòu)向壓電促動器施加電壓；其中第一活性部分和第二活性部分沿著朝著壓力腔室的第一方向擴展，并且在通過電壓施加機構(gòu)向第一和第二活性部分施加電壓時沿著與第一方向垂直的第二方向收縮；并且在向第一活性部分施加第一電壓時，電壓施加機構(gòu)沒有向第二活性部分施加第二電壓，而在沒有向第一活性部分施加第一電壓時，電壓施加機構(gòu)向第二活性部分施加第二電壓。這里，"活性部分"指的是通過施加/未施加電壓而轉(zhuǎn)向變形狀態(tài)或非變形狀態(tài)的部分。另外，"第二活性部分"除了在與壓力腔室對應的部分和與位于壓力腔室之間的梁部分對應的部分上存在的情況之外還包括只是存在于在與壓力腔室對應的部分之外的與梁部分對應的部分中的情況以及只是存在于與壓力腔室對應的部分中的情況。"第一方向"指的是壓力腔室和活性部分對齊的方向，即壓電促動器和空腔單元的層疊方向。這樣，根據(jù)電壓的施加/未施加，在與壓力腔室的中央部分對應的第一活性部分和與位于比壓力腔室的中央部分更外面的外周側(cè)上的部分對應的第二活性部分中變形沿著兩個相反方向出現(xiàn)。在壓力腔室以布置并且因此相鄰的壓力腔室彼此靠近時，通過第二活性部分的變形消除了在傳遞給相鄰壓力腔室時第一活性部分的變形，由此抑制了所謂的串擾問題，即第一活性部分的變形傳播到相鄰的壓力腔室。施加在第一活性部分上的第一電壓可以與施加在第二活性部分上的第二電壓相同。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，每個第二活性部分可以覆蓋位于其中一個壓力腔室的外周邊緣內(nèi)側(cè)的內(nèi)側(cè)部分。在該情況中，不僅第一活性部分而且還有第二活性部分都有助于壓力腔室的體積變化，因此壓力腔室的體積可以比在只是通過第一活性部分實現(xiàn)的情況中改變更大。因此，可以改善通過向壓電促動器施加電壓來選擇性地噴射在壓力腔室中的液滴的噴射效率(在施加電壓時的噴射量)。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，壓電促動器可以包括其上選擇性地施加有第一電位和與第一電位不同的第二電位的單獨電極、其上施加有第一電位的第一恒定電位電極、和其上施加有第二電位的第二恒定電位電極；每個第一活性部分可以包括夾在其中一個第一電極和其中一個第一恒定電位電極之間的壓電材料；并且每個第二活性部分可以包括夾在其中一個單獨電極和其中一個第二恒定電位電極之間的壓電材料。在該情況中，僅僅通過向單獨電極選擇性地施加第一電位和第二電位，就能夠使得第一活性部分的變形和第二活性部分的變形(返回到原始狀態(tài))完全同時出現(xiàn)。因此，通過第二活性部分的變形消除了第一活性部分的變形傳播到相鄰壓力腔室的企圖，由此抑制了串擾同時不需要高精度定時控制。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，單獨電極可以橫跨與第一活性部分對應的第一區(qū)域和與壓電促動器的第二活性部分對應的第二區(qū)域形成，以便覆蓋第一和第二區(qū)域；第一恒定電位電極可以形成為覆蓋壓電促動器的第一區(qū)域；并且第二恒定電位電極可以形成為覆蓋壓電促動器的第二區(qū)域。在該情況中，電極可以有效地布置，由此可能實現(xiàn)沒有浪費的布置。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，第一活性部分可以沿著與在向單獨電極施加第二電位并且向第一恒定電位電極施加第一電位時所施加電壓的方向相同的方向極化；并且第二活性部分可以沿著與在向單獨電極施加第一電位并且向第二恒定電位電極施加第二電位時所施加電壓的方向相同的方向極化。在該情況中，在第一和第二活性部分中，在驅(qū)動期間電壓的施加方向和在極化期間電壓的施加方向都可以一致，并且這些電極不僅可以在驅(qū)動期間(在活性部分變形期間)使用，而且在制造期間可以用于極化。另外，由于在驅(qū)動期間電壓的施加方向和在極化期間電壓的施加方向(極化方向)相同，并且在驅(qū)動期間不會向壓電材料層施加反向電場，所以能夠抑制在活性部分變形中弱化的出現(xiàn)。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，第一電位可以為正電位，并且第二電位可以為接地電位。另外，第一電位可以為接地電位，并且第二電位可以為正電位。在這些情況中，通過向單獨電極選擇性地施加兩種電位，即正電位和接地電位，從而可以容易地控制驅(qū)動。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，第二恒定電位電極可以在壓力腔室中的兩個相鄰壓力腔室中共用。在該情況中，由于第二恒定電位電極由相鄰兩個壓力腔室共用，所以能夠減少第二恒定電位電極的數(shù)量，因此可以簡化整個電極。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，壓電促動器可以具有壓電材料層；并且單獨電極可以形成在壓電材料層的一個表面?zhèn)壬喜⑶业谝缓愣娢浑姌O和第二恒定電位電極可以形成在壓電材料層的另一個表面?zhèn)壬?，而且第一活性部分和第二活性部分可以形成在相同的壓電材料層上。這里，"壓電材料層"除了通過燃燒所謂的基片而生產(chǎn)出的壓電片之外還包括通過例如所謂的AD方法(氣溶膠沉積方法)生產(chǎn)出的壓電片。在該情況中，可以通過具有至少一個壓電材料層來實現(xiàn)所需電極的布置，因此它在材料節(jié)約方面是有利的。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，可以將比壓電材料層薄的絕緣層設置成由形成在另一個表面?zhèn)壬系牡谝缓愣娢浑姌O和第二恒定電位電極夾著；并且第一恒定電位電極和第二恒定電位電極可以通過絕緣層隔離。在該情況中，由于第一恒定電位電極和第二恒定電位電極通過夾著絕緣層而被隔離，所以第一恒定電位電極和第二恒定電位電極即使在它們彼此相鄰布置時也不會短路。因此，可以將第一活性部分和第二活性部分彼此相鄰布置，這對于減小尺寸是有利的。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，絕緣層由與壓電材料層相同的材料形成。在該情況中，由于絕緣層采用了與壓電材料層相同的材料，所以其制造比較容易，這在成本方面也是有利的。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，第一恒定電位電極可以形成為夾在在壓力腔室之中的相鄰兩個壓力腔室之間以與兩個相鄰壓力腔室形成多排；并且第二恒定電位電極可以只是形成在兩個壓力腔室的一側(cè)上。在該情況中，第二活性部分布置在壓力腔室的一側(cè)上，并且只是對于一側(cè)抑制了串擾。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，壓電促動器可以具有多個壓電材料層；第一恒定電位電極或第二恒定電位電極可以形成在多個壓電材料層中的最遠層的沒有面對壓力腔室的最遠表面上，該最遠層離壓力腔室最遠；單獨電極可以形成在一個壓電材料層的表面上，該表面與最遠層不同；作為通向單獨電極的輸入端子的表面電極可以分別形成在最遠表面的與外周部分重疊的區(qū)域中；并且單獨電極可以通過填充在穿過壓電材料層的通孔中的導電材料與表面電極導通。在該情況中，在具有多個壓電材料層時，可以使用表面電極和通孔來實現(xiàn)理想的單獨電極布置。在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，第二活性部分可以形成在多個壓電材料層之中的除了最遠層之外的層上；并且每個表面電極可以形成在位于最遠表面上與在相鄰壓力腔室之間的部分重疊的區(qū)域中。在該情況中，表面電極可以形成在相鄰壓力腔室之間的區(qū)域中且不會與第二活性部分干涉。因此，改善了形成表面電極的位置自由度。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了噴射液滴的液滴噴射裝置，該裝置包括液滴噴射頭，它包括其中形成有規(guī)則布置的多個壓力腔室的空腔單元和與空腔單元連接以覆蓋壓力腔室并且選擇性地噴射在壓力腔室中的液體的壓電促動器，所述壓電促動器具有每個都與一個壓力腔室的中央部分對應的第一部分和每個都與覆蓋著位于其中一個壓力腔室的中央部分外面的部分的外周部分對應的第二部分；以及電壓施加機構(gòu)，該電壓施加機構(gòu)向壓電促動器施加電壓；其中所述電壓施加機構(gòu)切換向第一部分施加和不施加第一電壓以便改變每個壓力腔室的體積，并且切換向第二部分施加和不施加第二電壓以便抑制由于切換到向第一部分施加電壓而導致在壓力腔室之中的一個壓力腔室中產(chǎn)生出的第一部分的變形傳播到與該壓力腔室相鄰的另一個壓力腔室。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，切換向第一部分施加和不施加電壓以便改變壓力腔室的體積，并且切換向第二部分施加和不施加電壓以便抑制由于該切換而導致的第一活性部分的變形傳播到相鄰壓力腔室，由此抑制了串擾。根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供了一種用于噴射液滴的液滴噴射頭，包括空腔單元，其中形成有規(guī)則布置的多個壓力腔室；以及壓電促動器，它與空腔單元連接以覆蓋壓力腔室并且選擇性地噴射在壓力腔室中的液體，該壓電促動器具有每個都與一個壓力腔室的中央部分對應的第一活性部分、每個都與一個壓力腔室的覆蓋著位于一個壓力腔室的中央部分外面的部分的外周部分對應的第二活性部分、形成為橫跨與第一活性部分對應的第一區(qū)域和與第二活性部分對應的第二區(qū)域以便覆蓋第一和第二區(qū)域的單獨電極、形成為覆蓋第一區(qū)域的第一恒定電位電極，以及形成為覆蓋第二區(qū)域的第二恒定電位電極。在該情況中，根據(jù)在與壓力腔室的中央部分對應的第一活性部分和與位于比壓力腔室的中央部分更外面的外周側(cè)上的部分對應的第二活性部分中施加/不施加電壓，沿著反向方向的變形出現(xiàn)，因此抑制了串擾，即第一活性部分的變形到相鄰壓力腔室的傳播。如上所述，通過本發(fā)明的液滴噴射裝置和液滴噴射頭，根據(jù)在與壓力腔室的中央部分對應的第一活性部分和與位于比壓力腔室的中央部分更外面的外周側(cè)上的部分對應的第二活性部分中施加/不施加電壓，沿著反向方向的變形出現(xiàn)。因此，即使在壓力腔室以高密度布置時，也能夠抑制串擾，即活性部分的變形到相鄰壓力腔室的傳播。圖1A為示意性結(jié)構(gòu)圖，顯示出根據(jù)本發(fā)明的噴墨打印機(液滴噴射裝置)的示意性結(jié)構(gòu)，圖1B為說明圖，顯示出在根據(jù)本發(fā)明的空腔單元、壓電促動器和柔性接線板(COP)之間的關系；圖2為透視圖，顯示出壓電促動器安裝在空腔單元的上側(cè)上的狀態(tài)；圖3顯示出與頂板一起分解成作為組成部分的多塊板的空腔單元；圖4為第一實施方案的示意性剖視圖；圖5為在壓電促動器的壓電材料層中的電極布置的說明圖；圖6A、6B為說明圖，顯示出有關第一實施方案在接通期間有效并且在電壓施加期間有效的部分(第一活性部分)和在斷開期間有效并且在沒施加電壓期間有效的部分(第二活性部分)之間在極化方向方面的關系；圖7A、7B為說明圖，分別顯示出在向第一活性部分施加/不施加電壓期間壓力腔室的體積變化；圖8為有關第一實施方案的變化示例的與圖4類似的視圖；圖9為有關第一實施方案的另一個變化示例的與圖4類似的視圖；圖10為有關第一實施方案的不同的變化示例的與圖4類似的視圖；圖IIA、IIB分別為有關第一實施方案的不同的變化示例(參見圖IO)的與圖6A、6B類似的視圖12為有關第一實施方案的另一個不同變化示例的與圖4類似的視圖；圖13A、13B分別為有關第一實施方案的另一個不同變化示例的與圖6A、6B類似的視圖；圖14為有關第二實施方案的與圖4類似的視圖；圖15為有關第三實施方案的與圖4類似的視圖；圖16為有關第四實施方案的與圖4類似的視圖；圖17為有關第五實施方案的與圖4類似的視圖；圖18A、18B分別為有關第五實施方案的與圖7A、7B類似的視圖圖19為有關第六實施方案的與圖4類似的視圖；圖20為有關第七實施方案的與圖4類似的視圖；圖21為有關第七實施方案的與圖5類似的視圖；圖22A、22B分別為有關第七實施方案的與圖6A、6B類似的視圖；圖23為有關第八實施方案的與圖4類似的視圖；圖24為有關第八實施方案的與圖5類似的視圖；圖25A、25B分別為有關第八實施方案的與圖6A、6B類似的視圖；圖26A、26B分別為有關第八實施方案的與圖7A、7B類似的視27A、27B為時序圖；圖28為有關第九實施方案的與圖4類似的視圖；圖29為有關第九實施方案的與圖5類似的視圖；圖30A、30B分別為有關第九實施方案的與圖6A、6B類似的視圖；圖31A、31B分別為有關第九實施方案的與圖7A、7B類似的視圖；圖32為有關第十實施方案的與圖4類似的視圖；圖33A、33B分別為有關第十實施方案的與圖6A、6B類似的視200810161067.8說明書第ll/52頁圖；圖34A、34B分別為有關第十實施方案的與圖7A、7B類似的視圖；圖35為有關第十一實施方案的與圖4類似的視圖；圖36為有關第十一實施方案的與圖5類似的視圖；圖37A、37B分別為有關第十一實施方案的與圖6A、6B類似的視圖；圖38A、38B分別為有關第十一實施方案的與圖7A、7B類似的視圖；圖39為在第十二實施方案中在壓電促動器的壓電材料層上的電極布置的說明圖；圖40是分別顯示出電極在各個壓電材料層上的布置的視圖；圖41為沿著在圖39中的XLI-XLI線剖開的剖視圖；圖42為沿著在圖39中的XLII-XLII線剖開的剖視圖；圖43為沿著在圖39中的XLIII-XLIII線剖開的剖視圖；圖44為有關一變化示例的與圖39類似的視圖；圖45是分別顯示出電極在壓電材料層上的布置的視圖；圖46為沿著在圖44中的XLVI-XLVI線剖開的剖視圖；圖47為沿著在圖44中的XLVII-XLVII線剖開的剖視圖；圖48為有關另一個變化示例的與圖39類似的視圖；圖49是分別顯示出電極在壓電材料層上的布置的視圖；圖50為沿著在圖48中的L-L線剖開的剖視圖；圖51為沿著在圖48中的LI-LI線剖開的剖視圖；圖52為沿著相交方向的說明圖；圖53為第十三實施方案的示意性剖視圖；圖54為在壓電促動器的壓電材料層上的電極布置的說明圖；圖55A、55B、55C為說明圖，顯示出有關第十三實施方案在接通期間有效并且在電壓施加期間有效的部分(第一活性部分)和在斷開期間有效并且在沒施加電壓期間有效的部分(第二活性部分)之間在極化方向方面的關系；圖56為時序圖；圖57A、57B為說明圖，顯示出在向第一活性部分施加/不施加電壓期間壓力腔室的體積變化；圖58為有關第十三實施方案的變化示例的與圖53類似的視圖；圖59A、59B為有關所述變化示例的分別與圖55A、55B類似的視圖；圖60為有關第十三實施方案的另一個不同的變化示例的與圖53類似的視圖；圖61為有關所述不同的變化示例的與圖54類似的視圖；圖62A、62B、62C分別為有關所述不同的變化示例的與圖55A、55B、55C類似的視圖、圖63A、63B為有關壓力腔室形狀的變化示例的說明圖；圖64為剖視圖，顯示出在第十四實施方案的壓電促動器的壓電材料層上的電極布置；圖65是分別顯示出電極在壓電材料層上的布置的視圖；圖66是分別顯示出在壓電材料層上的電極的視圖；圖67是分別顯示出在壓電材料層上的電極圖案的視圖；圖68是分別顯示出有關第十四實施方案的變化示例的電極在壓電材料層上的布置的視圖；圖69為有關傳統(tǒng)示例的示意性剖視圖；圖70為說明圖，顯示出有關傳統(tǒng)示例的在電壓施加期間有效的部分和在沒施加電壓期間有效的部分之間在極化方向方面的關系；并且圖71為說明圖，顯示出在向傳統(tǒng)示例中的活性部分施加電壓時壓力腔室的體積變化。具體實施方式下面將根據(jù)這些附圖對本發(fā)明的實施方案進行說明。第一實施方案圖1A為示意性結(jié)構(gòu)圖，顯示出根據(jù)本發(fā)明的噴墨打印機(液滴噴射裝置)的示意性結(jié)構(gòu)，并且圖IB為說明圖，顯示出根據(jù)本發(fā)明在空腔單元、壓電促動器和柔性接線板(COP)之間的關系。在根據(jù)本發(fā)明的噴墨打印機1中，如圖1A所示，用于在記錄紙張P(記錄介質(zhì))上進行記錄的噴墨頭3設在其上安裝有墨盒(未示出)的滑架2的下表面上?；?由滑架軸5和設在打印機框架4中的導板(未示出)支撐，并且沿著與記錄紙張P的進給方向A垂直的方向B往復運動。從未示出的紙張進給單元沿著方向A運送的記錄紙張P被導入到在壓輥(未示出)和噴墨頭3之間的空間中，在那里利用從噴墨頭3朝著記錄紙張P噴射的墨進行預定的記錄，然后記錄紙張P由排出輥6排出。另外，如圖1B所示，噴墨頭3設有柔性接線板13(信號線)，它從下側(cè)開始依次具有空腔單元11和壓電促動器12，并且給壓電促動器12的上表面提供驅(qū)動信號。如圖2所示，空腔單元11包括由多個板構(gòu)件形成的層疊件14。頂板15設在層疊件14的上側(cè)上。將板組件18整體粘接在層疊件14的下側(cè)上，并且通過將具有噴嘴孔16a的噴嘴板16和具有與噴嘴孔16a對應的通孔17a的間隔板17粘接在一起來形成板組件18。然后，將用于選擇性地噴射壓力腔室40中的墨(液體)的壓電促動器12接合在頂板15的上側(cè)上。另外，用于捕獲包含在墨中的灰塵等的過濾器19設在空腔單元11的開口11a上。噴嘴辦16為合成樹脂(例如聚酰亞胺樹脂)板，其中每個噴嘴孔16a設置成與空腔板14A(形成層疊件14)的其中一個壓力腔室40對應。要指出的是，噴嘴板16可以為金屬板。如圖3所示，層疊件14如此形成，從而空腔板14A、基板14B、孔道板14C、兩個歧管板14D、14E和緩沖板14F從上側(cè)依此順序?qū)盈B，并且通過金屬擴散焊接將這些板粘接在一起。這六塊板14A至14F相互對準和疊置，從而對于各個噴嘴孔16a分別單獨形成墨通道。這里，空腔板14A為金屬板，其中與噴嘴排對應地規(guī)則形成有用作多個壓力腔室40的開口?；?4B為金屬板，其中形成有通孔51a，這些通孔形成允許在壓力腔室40和將在下面說明的歧管50(共同墨腔室)之間的連通的連通孔51的部分；以及通孔52a，這些通孔形成允許在壓力腔室40和噴嘴孔16a之間的連通的連通孔52的部分。在孔道板14C的上表面上，允許在壓力腔室40和歧管50之間的連通的連通通道21形成為凹入通道。另外，孔道板14C為金屬板，其中設有形成連通孔51的部分的連通孔51b和形成連通孔52的部分的連通孔52b。在歧管板14D、14E中，分別形成有限定歧管50的連通孔50a、50b。另外，歧管板14D、14E為金屬板，其中分別設有形成連通孔52的部分的連通孔52c、52d。緩沖板14F為金屬板，其中分別設有形成連通孔52的部分的連通孔52e，并且形成為凹槽的緩沖腔室53也設在緩沖板14F的下表面中?？涨粏卧?1包括多個噴嘴孔16a，從而多個壓力腔室40分別與噴嘴孔16a連通并且歧管50暫時存儲提供給壓力腔室40的墨。另外，連通孔51a、51b相互連通，并且形成允許在壓力腔室40和歧管50之間的連通的連通孔51。另外，連通孔52a至52e相互連通，并且形成允許在壓力腔室40和噴嘴孔16a之間的連通的連通孔52。壓電促動器12是通過將如圖4所示的多層壓電材料層12a、12b、12c層疊在一起形成的。壓電材料層12a至12c由具有鐵電性的鋯鈦酸鉛(PZT)基陶瓷材料(壓電片)形成，并且沿著其厚度方向極化(參見圖6A、6B)。然后，如在平面圖中看(如從空腔單元11和壓電促動器12的層疊方向看)的，壓電促動器12包括與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分71、72、73(第一部分)和與位于比壓力腔室40的中央部分更外面的外周側(cè)上的左右部分對應的第二活性部分81、82(第二部分)。這里，如圖4所示，第一活性部分71、72、73分別與壓電片12a、12b、12c對應，且第二活性部分81、82分別與壓力腔室40的左側(cè)和右側(cè)對應。要指出的是，壓力腔室40的中央部分為沿著布置噴嘴孔16a的噴嘴排方向X的中央部分。第二活性部分81、82不僅包括與作為分隔相鄰壓力腔室40的壁的梁部分(橫梁部分、支柱部分)對應的區(qū)域，而且還包括與比壓力腔室40的外周邊緣40a更里面(中央部分側(cè))的部分對應的區(qū)域。第一活性部分71至73分別為壓電片12a在單獨電極21A和第一恒定電位電極22A之間的的區(qū)域、壓電片12b在第一恒定電位電極22A和單獨電極21B之間的區(qū)域、以及壓電片12c在單獨電極21B和第一恒定電位電極22B之間的區(qū)域。另一方面，兩個第二活性部分81、82為壓電片12a至12c在單獨電極21A和第二恒定電位電極23之間的區(qū)域。要指出的是，電極21A、21B、22A、22B由Ag-Pd基金屬材料等形成。提供驅(qū)動信號的驅(qū)動器IC90(參見圖1B)通過柔性接線板13(信號線)與單獨電極21電連接。驅(qū)動器IC卯和柔性接線板13形成電壓施加機構(gòu)，用于向壓電促動器12的第一和第二活性部分71至73、81、82施加驅(qū)動電壓。通過柔性接線板13向單獨電極21選擇性地施加第一電位(接地電位)和與之不同的第二電位(例如20V)以改變壓力腔室40的體積。另外，一直向第一恒定電位電極22A、22B施加第一電位(接地電位)，并且一直向第二恒定電位電極23施加第二電位(例如20V)。因此，壓電促動器12具有與壓力腔室40對應的單獨電極21。在選擇性地向單獨電極21施加第一電位(接地電位)和第二電位(正電位)作為驅(qū)動信號時，壓電促動器12改變壓力腔室40的體積以從噴嘴孔16a中噴墨。單獨電極21的長度比壓力腔室40沿著與噴嘴排方向X垂直的方向Y的長度短(參見圖6B)，但是比壓力腔室40沿著噴嘴排方向X的長度長。單獨電極21形成為橫跨與第一活性部分71至73對應的區(qū)域(第一區(qū)域)和與第二活性部分81、82對應的區(qū)域(第二區(qū)域)以便覆蓋這兩個區(qū)域。第一恒定電位電極22A、22B的長度比壓力腔室40沿著噴嘴排方向X的長度短以便覆蓋與第一活性部分71至73對應的區(qū)域。然后，位于壓力腔室40側(cè)上的第一恒定電位電極22B的長度在噴嘴排方向X上比遠離壓力腔室40設置的第一恒定電位電極22A的長度長。也就是說，單獨電極21供第一和第二恒定電位電極22A、22B、23共享(共用)。第二恒定電位電極23形成為覆蓋與第二活性部分81、82對應的區(qū)域和與在沿著與噴嘴排方向垂直的方向彼此相鄰的壓力腔室40之間的梁部分41對應的區(qū)域。也就是說，第二恒定電位電極23延伸至與壓力腔室40在噴嘴排方向上的側(cè)面部分對應的區(qū)域，這些側(cè)面部分包括梁部分41。每個第二恒定電位電極供在噴嘴排方向上彼此相鄰的兩個壓力腔室40共享。具體地說，單獨電極21形成在壓電材料層12a的離壓力腔室40最遠的一個表面(在圖4中的上面)的側(cè)上，并且第一恒定電位電極22A和第二恒定電位電極23形成在壓電材料層12a的另一個表面(在圖4中的下面)的側(cè)上。因此，第一活性部分71和第二活性部分81在相同的壓電材料層12a中并排形成。另外，第一恒定電位電極22A和第二恒定電位電極23交替形成在壓電材料層12b的一個表面(在圖4中的上面)的側(cè)上，并且單獨電極21形成在壓電材料層12b的另一個表面(在圖4中的下面)的側(cè)上。因此，與壓電材料層12a的第一活性部分71和第二活性部分81對應的第一活性部分72和第二活性部分82在相同的壓電材料層12b中并排形成。另外，單獨電極21形成在壓電材料層12c的離壓力腔室40最近的一個表面(在圖4中的上面)側(cè)上，并且第一恒定電位電極22B形成在壓電材料層12c的另一個表面(在圖4中的下面)側(cè)上。因此，第一活性部分73形成在壓電材料層12c中。因為在噴嘴排方向X上恒定電位電極22B比恒定電位電極22A長，所以在噴嘴排方向上第一活性部分73的長度比第一活性部分71、72的長度長。另外，在如圖5所示的平面圖中布置各個壓電片12a至12c的電極21、22A、22B、23。也就是說，在壓電片12a(12c)的上表面?zhèn)?第一層、第三層)上，單獨電極21分別與壓力腔室40對應地沿著噴嘴排方向(X方向)以恒定的間距布置。多排單獨電極21沿著Y方向布置。然后，在沿著Y方向彼此相鄰的排中，單獨電極21形成為沿著X方向彼此偏移半個間距。在這些排中，在單獨電極21上，要與柔性接線板13的連接端子(未示出)連接的連接部分26以之字形圖案布置。在壓電材料層12a的下側(cè)(第二層)上，第一恒定電位電極22A分別與各壓力腔室40對應地沿著噴嘴排方向以固定的間距形成。第一恒定電位電極22A的一個端部與保持在接地電位處并且沿著噴嘴排方向延伸的其中一個第一共同電極27A連接。另外，在第一恒定電位電極22A之間，分別形成有第二恒定電位電極23，并且其各一個端部也處于正電位(例如20V:恒定)，并且與沿著噴嘴排方向X延伸的其中一個第二共同電極28連接。然后在相鄰壓力腔室40之間，中間電極25以之字形形式形成(參見圖6B)以便利用通孔24(里面填充有導電材料)將在壓電材料層12a的上面?zhèn)壬系膯为氹姌O21與在位于其下面的壓電材料層12c的上面?zhèn)壬系膯为氹姌O21電連接。在壓電材料層12c的下面?zhèn)戎校谝缓愣娢浑姌O22B分別與壓力腔室40對應地沿著噴嘴排方向以恒定的間距形成，并且其一個端部與在接地電位處沿著噴嘴排方向X延伸的其中一個第一共同電極27B連接。要指出的是，位于壓力腔室s40側(cè)上的第一恒定電位電極22B形成為在噴嘴排方向X上其長度比遠離壓力腔室40的第一恒定電位電極22A的長度長。要指出的是，如圖6A、6B所示，在向單獨電極21施加第二電位并且向第一恒定電位電極22A、22B施加第一電位時，第一活性部分71至73在與施加電壓的方向相同的方向(極化方向)上極化以變形。另一方面，在向單獨電極21施加第一電位并且向第二恒定電位電極23施加第二電位時，第二活性部分81、82在與施加電壓的方向相同的方向上極化以變形。也就是說，施加電壓的方向和極化方向是相同的。這里，在圖6A、6B中，"在接通期間有效"的部分分別與在向單獨電極21施加第二電位時其上施加電壓(20V)的第一活性部分對應，并且"在斷開期間有效"的部分分別與在向單獨電極21施加第一電位時其上施加電壓(20V)的第二活性部分對應。第一恒定電位電極22A、22B總是處于第一電位(接地電位)，并且第二恒定電位電極23總是處于第二電位(正電位)。然后，向單獨電極21選擇性地施加第一電位(接地電位)和第二電位(正電位)以便改變壓力腔室40的體積。也就是說，如在下表l中所示一樣，電壓的施加方向在極化期間以及在驅(qū)動期間都是相同的。但是，第一恒定電位電極22A、22B總是處于接地電位(OV)，第二恒定電位電極23總是處于正電位(20V:恒定)，并且向單獨電極21施加正電位(20V:恒定)，或者解除這種施加(參見圖27A)。因此，在向單獨電極21施加正電位時，向第一活性部分71至73施加電壓，但是沒有向第二活性部分81、82施加電壓。另一方面，在沒有向單獨電極21施加正電位并且單獨電極21處于接地電位時，沒有向第一活性部分71至73施加電壓，并且向第二活性部分81、82施加電壓。這里，在驅(qū)動期間在電極之間施加的電壓如在表1中所示一樣小于在極化期間施加的電壓，由此抑制了由于在電極之間反復施加電壓而導致的弱化。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>由于電極21、22A、22B、23如上所述布置，所以在其中通過電壓施加機構(gòu)向單獨電極21施加第二電位(接地電位)的沒有向第一活性部分71至73施加電壓的期間(在等待期間)，第一活性部分71至73處于沿著第一和第二方向Z、X無擴展/無收縮(無變形)的狀態(tài)。這時，第二活性部分81、82處于電壓施加狀態(tài)，并且趨向于沿著朝著壓力腔室40的層疊方向Z(第一方向)擴展，并且沿著與層疊方向Z垂直的噴嘴排方向X(第二方向)收縮。因此，通過作為粘接板(約束板)的頂板15的操作，位于沿著噴嘴排方向的側(cè)面部分處的第二活性部分81、82變形以沿著與壓力腔室40分離的方向彎曲。如圖7A所示，第二活性部分81、82的這種變形有助于壓力腔室40的體積變化的增大，并且有助于從歧管50向壓力腔室40吸入大量墨。另一方面，在其中向單獨電極21施加第一電位(正電位20V)的向第一活性部分71至73施加電壓的期間(在驅(qū)動期間)，在壓電橫向作用下，沿著與極化方向相同的方向施加有電壓的第一活性部分71至73沿著層疊方向Z朝著壓力腔室40擴展并且沿著與其層疊方向Z垂直的噴嘴排方向X收縮。因此，第一活性部分71至73回到沿著朝著壓力腔室40內(nèi)部的方向凸出并且變形的狀態(tài)。另一方面，在頂板15由于它沒有受到電場影響而沒有自動地收縮時，在位于上側(cè)上的壓電材料層12c和位于下側(cè)上的頂板15之間在沿著極化方向和沿著垂直方向的變形方面出現(xiàn)差異。這與固定在空腔板14A上的頂板15—起使得壓電材料層12c和頂板15企圖變形，以便朝著壓力腔室40側(cè)凸出(單晶片變形)。因此，壓力腔室40的體積減小，墨的壓力增大，并且從噴嘴孔16a中噴射出墨。在向第一活性部分71至73施加電壓這個期間，第二活性部分81、82回到電壓非施加狀態(tài)，因此沿著第一和第二方向Z、X轉(zhuǎn)到非擴展/非收縮(未變形)狀態(tài)。因此，在第一活性部分71至73沿著朝著壓力腔室40的方向凸起和變形時，第二活性部分81、82返回到?jīng)]有變形的狀態(tài)。因此，如圖7B所示，第一活性部分71至73的變形影響由第二活性部分81、82消除，并且難以傳播到與之相鄰的壓力腔室40，由此抑制了串擾。也就是說，將向第二活性部分81、82的施加和不施加電壓進行切換以便抑制由于對向第一活性部分71至73的施加和不施加電壓進行切換而導致的第一活性部分71至73的變形傳播到相鄰壓力腔室40。下面，在單獨電極21返回到與第一恒定電位電極22A、22B相同的電位(接地電位)時，第一活性部分71至73轉(zhuǎn)到如上所述沒有變形的狀態(tài)。然后，第二活性部分81、82變形以沿著遠離壓力腔室40的方向彎曲，并且壓力腔室40的體積返回到原始體積。因此，從歧管50將墨吸入到壓力腔室中。通過第一活性部分71至73和第二活性部分81、82的這種變形重復墨的噴射操作，并且使得壓力腔室40的體積變化在每次噴射操作中較大，由此提高了噴射效率并且抑制了沿著三個方向的串擾。順便提及地，在第一實施方案和傳統(tǒng)示例(參見圖40)中獲得相鄰壓力腔室的橫截面積的變化的比。如在表2中所示一樣，在第一實施方案的情況中，該比例為11%，而在傳統(tǒng)示例的情況中該比例為24%。在第一實施方案的情況中的變化比與傳統(tǒng)示例相比減小到幾乎一半，并且可以看出顯示出抑制串擾的效果。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>在第一實施方案中，第二活性部分81、82橫跨第一區(qū)域和第二區(qū)域布置，第一區(qū)域與位于沿著噴嘴排方向X比壓力腔室40的中央部分更外面的外周側(cè)上的部分對應，并且第二區(qū)域與梁部分41對應。但是，它也可以如圖8所示一樣構(gòu)成。也就是說，它也可以如此構(gòu)成，從而第二恒定電位電極23A與對應于壓力腔室40的區(qū)域不相關地僅設在與梁部分41對應的區(qū)域中，并且第二活性部分81a、82a只是存在于與梁部分41對應的區(qū)域中。在該情況中，即使在向第二活性部分81a、82a施加電壓并且第二活性部分81a、82a變形時，它也不會有助于壓力腔室的體積的增大，但是顯示出抑制串擾的作用。相反，如圖9所示，還可以如此構(gòu)成，從而第二活性部分81b、82b只是存在于與在壓力腔室40的外周側(cè)上的部分對應的區(qū)域中。也就是說，第二恒定電位電極23B可以和與梁部分41對應的區(qū)域無關地僅設在與在比壓力腔室40的中央部分更外面的外周側(cè)上的部分對應的區(qū)域中。在該情況中，第二活性部分81b、82b沿著噴嘴排方向的長度與一種結(jié)構(gòu)相比變得短，在該結(jié)構(gòu)中，上述第二活性部分81、82橫跨第一區(qū)域和第二區(qū)域布置，該第一區(qū)域?qū)谠诒葔毫η皇?0的中央部分更外面的外周側(cè)上的部分，并且該第二區(qū)域?qū)诹翰糠?1(參見圖4)。因此，雖然在抑制串擾的效果以及有助于體積變化的效果方面是較低的，但是出現(xiàn)這些效果的這一點與上述相同。另外，如圖10所示，它還可以是這樣一種結(jié)構(gòu)，其中在沒有設置頂板的情況下，通過具有小的層厚的絕緣層12e在空腔板14A的上側(cè)上設有壓電材料層12d，且第一和第二活性部分形成在該壓電材料層12d中。在該情況中，在壓電材料層12d中，與壓電材料層12b類似，第一和第二恒定電位電極22A、23交替形成在一個表面(上表面)上，并且單獨電極21形成在另一個表面(下表面)上。因此，形成有分別與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分71、72、73a、74以及分別與位于其外周側(cè)上的部分對應的第二活性部分81、82、83、84。順便提及地，在圖11A、11B中顯示出在接通時有效并且在電壓施加期間有效的部分(第一活性部分)和在斷開時有效并且在沒施加電壓期間有效的部分(第二活性部分)之間在極化方向方面的關系。這樣，第一活性部分71、72、73a、74和第二活性部分81、82、83、84兩者都進行垂直作用變形，而不是均勻變形，因此第二活性部分81至84不能變形以與均勻變形(即沿著使壓力腔室40擴大的方向變形)一樣彎曲離開壓力腔室40。因此，能夠獲得抑制串擾的作用，但是不能獲得提高壓力腔室40的體積變化的效果。另外，還關于其中第二恒定電位電極23A只是設在與梁部分41對應的區(qū)域中的結(jié)構(gòu)(請見圖8)，同樣它當然可以是這樣一種結(jié)構(gòu)，其中壓電材料層12d通過具有小的層厚的絕緣層12e設在壓力腔室40側(cè)上。在該情況中，如圖12所示，在壓電材料層12d中，與壓電材料層12b類似，第一和第二恒定電位電極22A、23A交替布置在一個表面(上表面)上，并且單獨電極21布置在另一個表面(下表面)上。因此，形成有分別與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分71、72、73a、74和分別與在其外周側(cè)上的部分對應的第二活性部分81、82、83、84。順便提及地，在圖13A、13B中顯示出在接通時有效并且在施加電壓期間有效的部分和在斷開時有效并且在沒有施加電壓期間有效的其它部分在極化方向之間的關系。如在第一實施方案中一樣，在沿著噴嘴排方向X在相同表面上交替形成第一和第二恒定電位電極22A、23時，不可能在這些電極之間采取較大的間隔，因此這些電極沿著噴嘴排方向的長度不會較長。但是，如在下面的第二實施方案中所示一樣，可以使用具有較小層厚的絕緣層來增大它們的長度。第二實施方案在該實施方案中，如圖14所示，壓電促動器具有這樣一種層疊結(jié)構(gòu)，其中其層厚比壓電材料層12a、12b小的絕緣層12f夾在壓電材料層12a和壓電材料層12b之間。要指出的是，這種絕緣層12f可以由與壓電材料層12a至12d相同的材料形成。只有第一恒定電位電極22B以恒定的間距形成在該絕緣層12f的一個表面(上表面)側(cè)上，并且只有第二恒定電位電極23以恒定的間距形成在其另一個表面(下表面)側(cè)上。因此，第一恒定電位電極22B和第二恒定電位電極23與絕緣層12f電絕緣，但是與第一實施方案的情況類似，它們形成在壓電材料層12a和壓電材料層12b之間。因此，形成有與壓力腔室40的中央部分分別對應的第一活性部分71a、72a、73以及分別與在其外周邊側(cè)上的部分對應的第二活性部分81c、82。這樣，由于第一恒定電位電極22B和第二恒定電位電極23通過將絕緣層12f夾在它們之間而被隔離，所以形成在壓電材料層12a和壓電材料層12b之間的第一恒定電位電極22B沿著噴嘴排方向的長度可以較長，由此實現(xiàn)了對于增加壓力腔室40的體積變化而言有利的電極布置。還有，在第二實施方案的情況中，如在表2中所示一樣，相鄰壓力腔室的橫截面積的變化比為11%。與第一實施方案的情況類似，該變化比與傳統(tǒng)示例的情況相比降低到幾乎一半，并且可以看出顯示出抑制串擾的效果。如果采用具有小的層厚度的這種絕緣層，它也可以是如在下面第三實施方案中所述的結(jié)構(gòu)。第三實施方案在該實施方案中，如圖15所示，刪除了在第二實施方案中最上面的壓電材料層12a，取而代之將與絕緣層12f類似具有較小層厚的另一個絕緣層12g布置在壓電材料層12c和頂板15之間。第二恒定電位電極23形成在該絕緣層12g的上表面?zhèn)壬?，并且第一恒定電位電極22B形成在其下表面?zhèn)壬?。在該情況中，第一和第二恒定電位電極22B、23對稱形成，從而將布置在壓電材料層12b的下表面?zhèn)壬系膯为氹姌O21夾在中間。因此，形成有與壓力腔室40的中央部分分別對應的第一活性部分72a、73a以及分別與在其外周側(cè)上的部分對應的第二活性部分82、83。另外，可以只存在一層作為上述壓電材料層，并且它也可以是如在下面第四實施方案中所述的結(jié)構(gòu)。第四實施方案在該實施例中，如圖16所示，單獨電極21形成在壓電材料層12a的一個表面(上表面)側(cè)上，并且第一和第二恒定電位電極22B、23沿著噴嘴排方向交替形成在另一個表面(下表面)側(cè)上。因此，形成有分別與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分71a以及分別與在其外周側(cè)上的部分的兩側(cè)對應的第二活性部分81、81。通過這種結(jié)構(gòu)，頂板15用作粘接板。雖然壓電材料層的數(shù)量少于在第一至第三實施方案中的數(shù)量并且變形量變得較小，但是即使通過使用一層壓電材料層12a進行的單晶片變形也能夠?qū)崿F(xiàn)優(yōu)秀的噴射效率。而且，在具有一個壓電材料層的這種情況中，如在下面第五實施方案中所述一樣，它也可以具有使用了具有較小層厚的絕緣層的結(jié)構(gòu)。第五實施方案在該實施方案中，如圖17所示，提供了一種將絕緣層12h夾在壓電材料層12a和頂板15之間的結(jié)構(gòu)。單獨電極21形成在壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬希⑶业诙愣娢浑姌O23形成在其下表面?zhèn)壬?。然后將第一恒定電位電極22B形成在絕緣層12h的下表面?zhèn)壬?。因此，形成有分別與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分71b和分別與在其外周側(cè)上的部分對應的第二活性部分81。而且，在該情況中，可以看出通過如圖18A、18B中所示一樣施加/不施加電壓從而表現(xiàn)出抑制串擾的效果。在第五實施方案的情況中，如在表2中所示一樣，相鄰壓力腔室的橫截面積變化比為2%，并且該變化比與傳統(tǒng)示例相比明顯降低?？梢钥闯鲆种拼當_的效果相當大。在不必如在上述實施方案中一樣在第一活性部分的兩側(cè)上設置第二活性部分，并且僅需只在各個第一活性部分的一側(cè)上表現(xiàn)抑制串擾的效果時，第二活性部分可以只是設在各個第一活性部分的一側(cè)上，如在第六實施方案中所述一樣。第六實施方案在該實施方案中，如圖19所示，單獨電極21A布置在與壓力腔室40對應的區(qū)域和與梁部分41對應的區(qū)域的部分中。然后將單獨電極21A形成在壓電材料層12a的一個表面(上表面)側(cè)上，并且第一和第二恒定電位電極22A、23A與單獨電極21A的側(cè)部分別對應地形成在其另一個表面(下表面)側(cè)上。另外，單獨電極21A形成在壓電材料層12c的上表面?zhèn)壬?，并且第一恒定電位電極22A形成在其下表面?zhèn)壬?。因此，形成有分別與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分71、72、73a和分別與其外周側(cè)的部分對應的第二活性部分81c、82c。通過這種結(jié)構(gòu)，可以只是在布置有第二活性部分81c、82c的側(cè)面上展示抑制串擾的效果。另外，如在下面的第七實施方案中一樣，還可以形成沿著噴嘴排方向延伸的第一恒定電位電極，并且讓它們?yōu)檠刂鴩娮炫欧较虺膳判纬傻膲毫η皇宜灿谩５谄邔嵤┓桨冈谠搶嵤├?，如圖20所示，設有四個壓電材料層12a至12d。單獨電極21形成在離壓力腔室40最遠的壓電材料層12a的一個表面(上表面)側(cè)上，并且第二恒定電位電極23形成在其另一個表面(下表面)側(cè)上。然后第一恒定電位電極22C形成在作為從壓電材料層12a朝著壓力腔室40數(shù)第三層的壓電材料層12c的一個表面?zhèn)壬?，并且單獨電極21B形成在其另一個表面?zhèn)壬稀Ｈ缓?，第一恒定電位電極22C形成在作為從壓電材料層12a朝著壓力腔室40數(shù)第四層的壓電材料層12d的壓力腔室40側(cè)上。因此，形成有分別與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分171、73、74和分別與在其外周側(cè)上的部分對應的第二活性部分181。然后各個壓電材料層12a至12d的電極21、22B、22C、23在平面圖中如在圖21中所示一樣布置。也就是說，在壓電材料層12a的上表面?zhèn)?第一層)和壓電材料層12c的下表面?zhèn)?第三層)上，單獨電極21、21B分別與壓力腔室40對應地沿著噴嘴排方向X以恒定的間距形成。然后，相鄰的單獨電極21、21B形成為沿著噴嘴排方向偏移半個間距。在這些排之間，單獨電極21、21B的連接端子26、26B以之字形圖案形成。然后柔性接線板13的連接端子(未示出)與單獨電極21的連接端子部分26連接。單獨電極21的這些連接端子部分26通過貫穿壓電材料層12a至12c的通孔24(里面填充有導電材料)并且通過形成在壓電材料層12a的下表面?zhèn)纫约皦弘姴牧蠈?2c的上表面?zhèn)壬系闹虚g電極25與相應單獨電極21B的連接端子部分26B電連接(參見圖22B)。要指出的是，在壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬系膯为氹姌O21形成為在沿著噴嘴排方向的長度方面比在壓電材料層12c的下表面?zhèn)壬系膯为氹姌O21B長。另外，在壓電材料層12a的下表面?zhèn)壬希诙愣娢浑姌O23與壓力腔室40對應地沿著噴嘴排方向以恒定的間距形成，并且其一個端部與沿著噴嘴排方向延伸的其中一個共同電極28連接。另外，在壓電材料層12C的上表面?zhèn)壬弦约霸趬弘姴牧蠈?2d的下表面?zhèn)壬?，第一恒定電位電極22C形成為與壓力腔室40分別對應地沿著噴嘴排方向延伸。因此，由于第一恒定電位電極22C沿著噴嘴排方向X形成并且沿著噴嘴排方向由壓力腔室40共享，所以電極21、21B、22C、23的布置變得簡單，這對于使得裝置緊湊而言是有利的。順便提及地，在圖22A、22B中顯示出在接通時有效并且在施加電壓期間有效的部分和在斷開時有效并且在沒有施加電壓期間有效的部分在極化方向之間的關系。在上述第一、第二、第四至第七實施方案中，由于到柔性接線板13的連接部分布置在離壓力腔室最遠的壓電材料層12a上，所以擔心在用焊料連接期間，會出現(xiàn)由于焊料的流入而導致變形特性的分散。因此，如在下面的第八實施方案中一樣，與第三實施方案的情況類似，可以通過將單獨電極布置在壓電材料層12a和位于更里面的壓電材料層12b之間來避免這個問題。第八實施方案在該實施方案中，在形成壓電促動器的多個壓電材料層中，用于連接的表面單獨電極形成在離壓力腔室最遠的壓電材料層(最遠層)的一個表面(最遠表面)側(cè)上，并且單獨電極形成在其另一個表面?zhèn)壬?。如圖23所示，單獨電極21和表面單獨電極29通過填充在貫穿壓電材料層12a的通孔24中的導電材料相互導通。然后第一恒定電位電極22D形成在位于離壓力腔室40最近的壓電材料層12c的壓力腔室40側(cè)上的表面上。另一方面，第二恒定電位電極23A形成在多層壓電材料層12a至12c中離壓力腔室40最遠的壓電材料層12a的最遠表面31上，該表面為在與壓力腔室40相對的側(cè)上的表面。單獨電極21形成在位于壓電材料層12a的壓力腔室40側(cè)上的表面上。也就是說，它們形成在壓電材料層12a至12c中的一個壓電材料層的一個表面上，該表面是與最遠表面31不同的表面并且為在壓電材料層12a(最遠層)的壓力腔室40側(cè)上的表面。然后作為通向單獨電極21的輸入端子的表面單獨電極29形成在最遠表面31的比壓力腔室40的外周邊緣更外面的區(qū)域(與梁部分41對應的區(qū)域)中。這些表面單獨電極29和單獨電極21通過填充在貫穿壓電材料層12a的通孔中的導電材料24相互導通。表面單獨電極29形成在最遠表面31的位于相鄰壓力腔室40之間的區(qū)域(與所謂的梁部分41對應的區(qū)域)中。因此，形成有分別與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分71、72和分別與在其外周側(cè)上的部分對應的第二活性部分182。因此，第二活性部分182形成在壓力腔室40側(cè)上的壓電材料層12b、12c中，這些層為除了多層壓電材料層12a至12c中的除了最遠層(壓電材料層12a)之外的層。另外，形成在壓電材料層12a至12c的表面上的電極21、22D、23A在平面圖中如在圖24中所示一樣布置。具體地說，在壓電材料層12a、12c(第一層、第三層)的上表面?zhèn)壬?，第二恒定電位電極23A分別與壓力腔室40對應地沿著噴嘴排方向以恒定的間距形成，并且相鄰的第二恒定電位電極23A形成為沿著噴嘴排方向偏移半個間距。然后，表面單獨電極29分別與沿著噴嘴排方向位于第二恒定電位電極23A之間的單獨電極21對應地形成在壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬?。表面單獨電極29的在與第二恒定電位電極23A相對的側(cè)面上的端部以之字形圖案形成為延伸至在相鄰的壓力腔室40之間的部分的連接端子部分26B以便與柔性接線板13的連接端子連接。在壓電材料層12a的下表面?zhèn)壬?，單獨電極21與壓力腔室40分別對應地沿著噴嘴排方向以恒定的間距形成，并且其連接端子部分26通過填充在貫穿壓電材料層12a的通孔24中的導電材料分別與表面單獨電極29的連接端子26B連接(參見圖25A)。在壓電材料層12c的下表面?zhèn)壬?，為相鄰兩排壓力腔?0所共用的第一恒定電位電極22D形成為沿著噴嘴排方向延伸。因此，由于柔性接線板13的連接端子與其連接的連接端子部分26B形成在與在驅(qū)動時不變形的梁部分41對應的區(qū)域中，所以在焊料在與柔性接線板13的連接端子連接期間流入的情況下不容易出現(xiàn)相應第一活性部分的變形特性的分散。順便提及地，在圖25A、25B中顯示出在接通時有效并且在施加電壓期間有效的部分(第一活性部分)和在斷開時有效并且在沒有施加電壓期間有效的部分(第二活性部分)在極化方向之間的關系。然后可以看出，通過如圖26A、26B中所示一樣施加/不施加電壓來顯示抑制串擾的效果。在第八實施方案的情況中，如在表2中所示一樣，相鄰壓力腔室的橫截面積變化比為12%,并且可以看出，與第一實施方案的情況類似，與傳統(tǒng)示例相比該變化比降低到幾乎一半，并且顯示出抑制串擾的效果。然后，在上述第一至第七實施方案中，如圖27A中所示一樣在向第一活性部分施加電壓時(即在向單獨電極施加第二電位時)出現(xiàn)了噴射，但是在將在下面說明的第九實施方案和第十實施方案的情況中，如圖27B所示，在停止向第一活性部分施加電壓時(即，在向單獨電極施加第一電位時)出現(xiàn)相反的噴射。另外，在使用與第八實施方案類似的表面單獨電極時，通過具有在下面第九實施方案中的結(jié)構(gòu)也可以如第一至第七實施方案類似地使得噴射在向第一活性部分施加電壓時出現(xiàn)(參見圖27A)。第九實施方案在該實施方案中，如圖28所示，將壓電促動器做成為兩層結(jié)構(gòu)，其中第二恒定電位電極23C形成在位于上側(cè)上的壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬?，并且單獨電極21形成在其下表面?zhèn)壬?。第一恒定電位電極22C形成在位于下側(cè)上的壓電材料層12b的下表面?zhèn)壬?。因此，形成有分別與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分72和分別與在其外周側(cè)上的部分對應的第二活性部分81。這樣，作為與柔性接線板13(C0P)連接的連接部分的單獨表面電極21c形成在與位于壓力腔室40之間的梁部分41對應的區(qū)域中，如圖29所示。另外，在第二恒定電位電極23C和單獨電極21之間施加電壓的時間較短，因此避免了由于遷移而導致的短路。另外，在壓電材料層12a、12b的上下表面上的電極在平面圖中如圖29所示一樣布置。也就是說，在壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬?，第二恒定電位電極23C與壓力腔室40分別對應地沿著噴嘴排方向以恒定的間距形成，并且其沿著與噴嘴排方向垂直的方向的兩個側(cè)面部分分別通過共同電極28A、28B連接。然后，相鄰的第二恒定電位電極23C形成為沿著噴嘴排方向偏移一半間距，并且要連接在柔性接線板13的連接端子上的表面單獨電極29A在與其上形成有第二恒定電位電極23C的側(cè)面相對的側(cè)面上形成在相鄰的共同電極28A、28B之間。在壓電材料層12a的下表面?zhèn)壬?，單獨電極21與壓力腔室40分別對應地沿著噴嘴排方向以恒定的間距形成。單獨電極21的部分形成為伸出成為連接端子部分26，并且通過里面填充有導電材料的通孔24與在壓電材料層12a的上表面上的表面單獨電極29A電連接。在壓電材料層12b的下表面?zhèn)壬?，第一恒定電位電極22C與壓力腔室40分別對應地沿著噴嘴排方向以恒定的間距形成，并且其端部通過連接部分27C與相鄰的第一恒定電位電極22C相互連接。順便提及地，在圖30A、30B中顯示出在接通時有效并且在施加電壓期間有效的部分(第一活性部分)和在斷開時有效并且在沒有施加電壓期間有效的部分(第二活性部分)在極化方向之間的關系。然后可以看出通過如圖31A、31B中所示一樣施加/不施加電壓顯示出抑制串擾的效果。另外，通過如在下面第十實施方案中一樣的結(jié)構(gòu)，可以與第九實施方案類似地防止由于遷移而導致的短路，并且與第八實施方案類似，可以使用表面單獨電極來使得噴射在停止向第一活性部分施加電壓時出現(xiàn)(參見圖27B)。第十實施方案在該實施例中，如圖32所示，第一恒定電位電極22D形成在壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬?，并且單獨電極21形成在其下表面?zhèn)壬?。另外，第二恒定電位電極23D形成在壓電材料層12c的上表面?zhèn)壬?，并且第一恒定電位電極22E形成在其下表面?zhèn)壬?。單獨電極21分別通過貫穿壓電材料層12a的通孔24(里面填充有導電材料)與表面單獨電極29A連接。因此，形成有分別與壓力腔室40的中央部分對應的第二活性部分82，和在分別位于其外周側(cè)上的部分上的第一活性部分71、172。在該情況中，順便提及地，在圖33A、33B中顯示出在接通時有效并且在施加電壓期間有效的部分(第一活性部分)和在斷開時有效并且在沒有施加電壓期間有效的部分(第二活性部分)在極化方向之間的關系。然后可以看出通過如圖34A、34B中所示一樣施加/不施加電壓顯示出抑制串擾的效果。而且，在該情況中，與第九實施方案類似，可以避免由于焊料流入而在連接期間出現(xiàn)變形特性的分散。另外，在第一恒定電位電極22D、22E和單獨電極21之間產(chǎn)生電位差的時間較短，因此避免了由于遷移而導致的短路。另外，通過如在下面示例11中一樣的結(jié)構(gòu)，可以具有更少數(shù)目的層疊件且不會采用表面單獨電極或通孔，并且與第八和第十實施方案(參見圖27B)類似使得噴射在停止向第一活性部分施加電壓時出現(xiàn)。第十一實施方案在該實施方案中，如圖35所示，單獨電極21形成在壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬?，并且第二恒定電位電極23E形成在其下表面?zhèn)壬?。第一恒定電位電極22F形成在壓電材料層12b的下表面?zhèn)壬?。因此，形成有分別與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分81和在位于其外周側(cè)上的部分上的第二活性部分171。要指出的是，與第八和第十實施方案相同的地方在于，在等待期間向單獨電極21施加接地電位。另外，在壓電材料層12a、12b的上下表面上的電極在平面圖中如圖36中一樣布置。也就是說，在壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬希瑔为氹姌O21分別與壓力腔室40對應地沿著噴嘴排方向以恒定的間距形成，并且單獨電極的部分在單獨電極21的列之間伸出。這些伸出部分按照之字形圖案形成以作為與柔性接線板13的連接端子連接的連接端子部分26。在壓電材料層12a的下表面?zhèn)壬?，第二恒定電位電極23E分別與壓力腔室40對應地沿著噴嘴排方向以恒定的間距形成，并且其一個端部與位于它們之間的其中一個共同電極23Ea電連接。另外，在壓電材料層12b的下表面惻上，形成有沿著噴嘴排方向延伸的第一恒定電位電極22E，以作為由沿著噴嘴排方向的壓力腔室40所共用的電極。順便提及地，在圖37A、37B中顯示出在接通時有效并且在施加電壓期間有效的部分(第一活性部分)和在斷開時有效并且在沒有施加電壓期間有效的部分(第二活性部分)在極化方向之間的關系。然后可以看出通過如圖38A、38B中所示一樣施加/不施加電壓顯示出抑制串擾的效果。在第十一實施方案的情況中，如在表2中所示一樣，相鄰壓力腔室的橫截面積變化比為3%，并且該變化比與傳統(tǒng)示例相比明顯降低?？梢钥闯鏊哂袃?yōu)秀的抑制串擾的效果。在這種結(jié)構(gòu)中，由于不存在任何經(jīng)過通孔的連接部分并且層疊件的數(shù)量較少，所以低成本的生產(chǎn)是可能的。還有，橫截面積的變化變得較大，但是仍然具有優(yōu)秀的抑制串擾效果。另外，通過如在下面第十二和第十三實施方案中一樣的結(jié)構(gòu)，不僅可以防止在沿著壓力腔室排方向相鄰的壓力腔室之間出現(xiàn)排間串擾，而且還可以抑制在屬于相鄰壓力腔室排并且沿著與壓力腔室排方向垂直的方向相鄰的壓力腔室之間出現(xiàn)排間串擾。第十二實施方案在該實施例中，如圖39所示，壓電促動器12在平面圖(即在沿著空腔單元11和壓電促動器12的層疊方向看時)中包括與壓力腔室40的中央部分對應的第一活性部分91(第一部分)、與沿著上述預定方向即壓力腔室排方向X相對于壓力腔室40的中央部分的兩個側(cè)面部分對應地設置的第二活性部分92(第二部分)、以及與沿著與壓力腔室排方向X垂直(相交)的方向Y相對于壓力腔室40的中央部分的一個側(cè)面部分對應地設置的第三活性部分93(第三部分)。這里，壓力腔室40的中央部分為沿著布置壓力腔室40的壓力腔室排方向X(也是布置噴嘴孔16a的噴嘴排方向)的中央部分。第二活性部分92不僅包括與作為分隔相鄰壓力腔室40的壁的梁部分41對應的區(qū)域，而且還包括與比壓力腔室40的外周邊緣40a更里面(中央部分側(cè))的部分對應的區(qū)域。另外，第三活性部分93包括比壓力腔室40的外周邊緣更外面的區(qū)域，即與作為屬于相鄰壓力腔室排并且分隔相鄰壓力腔室40的壁的梁部分41A對應的區(qū)域。第一活性部分91構(gòu)成為包括夾在分別為壓力腔室40和第二恒定電位電極23F設置的單獨電極21之間的壓電材料(壓電材料層12a)。第二活性部分92和第三活性部分93構(gòu)成為包括夾在單獨電極21和第一恒定電位電極23G之間的壓電材料(壓電材料層12a、12b)。然后在壓電促動器12中，選擇性地將正電位(第一電位)和接地電位(第二電位)作為驅(qū)動信號向單獨電極21施加以改變壓力腔室40的體積，從而從噴嘴孔16a中噴射出墨。為了更詳細地描述，如圖39和40所示，單獨電極21形成為在壓力腔室排方向X上比壓力腔室40長，在與壓力腔室排方向X垂直的方向上比壓力腔室40短，并且橫跨與第一活性部分91對應的第一區(qū)域、與第二活性部分92對應的第二區(qū)域以及與第三活性部分93對應的第三區(qū)域，以便一起覆蓋第一至第三區(qū)域。第二恒定電位電極23F形成為在壓力腔室排方向X上比壓力腔室40短，以便覆蓋與第一活性部分91對應的區(qū)域。位于壓力腔室40側(cè)上的第一恒定電位電極22G形成為在壓力腔室排方向X上比遠離壓力腔室40設置的第二恒定電位電極23F長。也就是說，單獨電極21為第一和第二恒定電位電極22G、23F共享(共同使用)。單獨電極21在沿著垂直方向Y的一側(cè)上具有形成為比第二恒定電位電極23F長的部分，并且第一恒定電位電極22G在單獨電極21形成為比第二恒定電位電極23F長的部分中具有在垂直方向Y上其長度等于或長于單獨電極21的部分。第一恒定電位電極22G形成為延伸至與第二活性部分92對應的區(qū)域，并且覆蓋了與在沿著壓力腔室排方向X相鄰的壓力腔室40之間的梁部分41對應的區(qū)域。也就是說，第一恒定電位電極22G延伸至與沿著壓力腔室排方向X的側(cè)面部分對應的區(qū)域，這些區(qū)域包括與梁部分41對應的區(qū)域，并且為沿著壓力腔室排方向X彼此相鄰的兩個壓力腔室40所共享。另外，第一恒定電位電極22G形成為延伸至與第三活性部分93對應的區(qū)域，并且覆蓋與在沿著與壓力腔室排方向X垂直的方向Y彼此相鄰的壓力腔室40之間的梁部分41A對應的區(qū)域。也就是說，第一恒定電位電極22G延伸至與沿著垂直方向Y的側(cè)面部分對應的區(qū)域，這些區(qū)域包括與梁部分41A對應的區(qū)域，并且在沿著垂直方向Y彼此相鄰的兩個壓力腔室40中共用。具體地說，通過在遠離壓力腔室40的上側(cè)上的壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬闲纬蓡为氹姌O21并且在其下表面?zhèn)壬闲纬傻诙愣娢浑姌O23F，從而形成第一活性部分91。另外，通過在壓力腔室側(cè)40側(cè)上的壓電材料層12b的下表面?zhèn)壬闲纬傻谝缓愣娢浑姌O22G來形成第二和第三活性部分92、93。另外，在平面圖中，壓電材料層12a、12b的電極21、23F、22G如圖40所示中一樣布置在各個層中。也就是說，在壓電材料層12a的上表面?zhèn)?第一層)上，單獨電極21與壓力腔室40分別對應地沿著壓力腔室排方向X以恒定的間距形成。然后沿著與壓力腔室排方向X垂直的方向Y彼此相鄰的單獨電極21形成為沿著壓力腔室排方向X偏移半個間距，并且在這些排之間，要連接到柔性接線板13的連接端子(未示出)上的單獨電極21的連接端子部分26按照之字形圖案形成。在壓電材料層12a的下表面?zhèn)?第二層)上，第二恒定電位電極23F與壓力腔室40分別對應地沿著壓力腔室排方向X以恒定的間距形成，相鄰第二恒定電位電極23F形成為沿著壓力腔室排方向X偏移半個間距，并且其一個端部與沿著壓力腔室排方向X延伸的其中一個連接電極35連接。另外，第一恒定電位電極22G形成為由用于彼此相對設置的兩排單獨電極21的連接端子部分26所共享。要指出的是，如圖41至43所示，第一活性部分91沿著與在向單獨電極21施加接地電位并且向第二恒定電位電極23F施加正電位時所施加的電壓方向相同的方向(極化方向)極化以便變形。另一方面，第二和第三活性部分92、93沿著與在向單獨電極21施加正電位并且向第一恒定電位電極22G施加接地電位時所施加的電壓方向相同的方向(極化方向)極化以便變形。也就是說，在噴墨操作期間，施加電壓的方向和極化方向相同。第二恒定電位電極23F總是處于正電位，并且第一恒定電位電極22G總是處于接地電位。向單獨電極21選擇性地施加正電位和接地電位以便改變壓力腔室40的體積。也就是說，雖然電壓的施加方向在極化期間和在驅(qū)動期間相同，但是第二恒定電位電極23F總是處于恒定的正電位，第一恒定電位電極22G總是處于接地電位，并且向單獨電極21施加正電位，或者停止施加以便使它們變成接地電位。因此，在單獨電極21處于接地電位時，向第一活性部分91施加電壓，但是沒有向第二和第三活性部分92、93施加電壓。另一方面，在向單獨電極21施加正電位時，沒有向第一活性部分91施加電壓，但是向第二和第三活性部分92、93施加電壓。這里，在驅(qū)動期間在電極之間施加的電壓小于在極化期間施加的電壓，由此抑制了由于在電極之間反復施加電壓而導致的弱化。因此，由于電極21、23F、22G如上所述一樣布置，所以在噴墨時，首先通過上述電壓施加機構(gòu)向單獨電極21施加接地電位。因此，第一活性部分91處于等待狀態(tài)。也就是說，第一活性部分91被沿著與極化方向相同的方向施加有電壓，沿著層疊方向Z(第一方向)朝著壓力腔室40擴展，并且通過壓電橫向作用沿著與層疊方向Z垂直的方向X、Y(第二方向)收縮，由此沿著朝著壓力腔室40的內(nèi)部的方向凸起并且變形。隨后，在向單獨電極21施加正電位(例如20V)時，第一活性部分91回到?jīng)]有沿著層疊方向Z和與之垂直的方向X擴展/收縮的非變形狀態(tài)。這時，第二和第三活性部分92、93變到電壓施加狀態(tài)，并且試圖沿著層疊方向Z(第一方向)朝著壓力腔室40擴展并且試圖沿著與層疊方向Z垂直的兩個方向X、Y(第二方向)收縮。因此，通過頂板15用作粘接板，從而位于壓力腔室排方向X的兩個側(cè)面部分處的第二活性部分92以及位于沿著與壓力腔室排方向X垂直的方向Y的一個側(cè)面部分處的第三活性部分93變形以沿著遠離壓力腔室40的方向彎曲。第二和第三活性部分92、93的這種變形有助于提高壓力腔室40的體積變化，并且有助于從歧管50將大量墨吸向壓力腔室40。然后，在再次向單獨電極21施加接地電位時，第一活性部分91沿著層疊方向Z朝著壓力腔室40擴展，沿著與層疊方向Z垂直的方向X、Y收縮，由此沿著朝著壓力腔室40內(nèi)部的方向凸起并變形。因此，壓力腔室40的體積減小，墨的壓力增大，并且從噴嘴孔16a中噴射出在向單獨電極21施加接地電位并且驅(qū)動第一活性部分91噴射墨時，單獨電極21和第一恒定電位電極22G兩者都處于接地電位，并且第二和第三活性部分92、93變?yōu)闆]有施加電壓的狀態(tài)。因此，第二和第三活性部分92、93返回到沿著任一方向Z、X、Y沒有擴展/收縮(非變形)的狀態(tài)。因此，在第一活性部分91沿著朝著壓力腔室40的方向(層疊方向)凸起并變形時，第二和第三活性部分92、93返回到?jīng)]有變形的狀態(tài)(這與沿著層疊方向Z收縮并且沿著與層疊方向Z垂直的兩個方向X、Y擴展等同)。因此，第一活性部分91的變形影響按照由第二和第三活性部分92(參見在圖4中的部分Pl、P2)的變形消除的方式受到抑制，并且難以沿著壓力腔室排方向X和與之垂直的方向Y到達與之相鄰的壓力腔室40，由此抑制的串擾。也就是說，切換向第二和第三活性部分92、93(第二和第三部分)的施加和不施加電壓以便抑制由于切換向第一活性部分91的施加/不施加電壓而導致的第一活性部分91(第一部分)的變形傳播到壓力腔室40沿著壓力腔室排方向X的兩側(cè)以及傳播到沿著與其方向X垂直的方向Y在一個側(cè)面上彼此相鄰的壓力腔室40。之后，在單獨電極21返回到與第二恒定電位電極23F相同的電位(正電位)時，如上所述，第一活性部分91變?yōu)闆]有變形的狀態(tài)，并且第二和第三活性部分92、93變形以沿著遠離壓力腔室40的方向彎曲，從而導致從歧管50將墨吸向壓力腔室40。通過第一至第三活性部分91至93的這種變形，反復進行墨的噴射操作，并且使得壓力腔室40的體積變化在每次噴射操作中較大，由此提高了噴射效率并且抑制了在三個方向上的串擾。在上述實施方案中，不可能抑制在與壓力腔室排方向X垂直的方向Y的另一側(cè)上向相鄰壓力腔室40的傳播(參見在圖39中的部分P3)。因此，可以使得單獨電極21不僅在垂直方向Y的一側(cè)上而且還在兩側(cè)上具有形成為比第二恒定電位電極23F長的部分，以便能夠抑制在垂直方向Y的任一側(cè)上向相鄰壓力腔室40的傳播。在該情況中，例如如圖44至47中所示一樣，壓電促動器112除了第一至第三活性部分91至93之外，還包括相對于壓力腔室40的中央部分與垂直方向Y的另一個側(cè)面部分對應的第四活性部分94。通過形成與在上述實施方案中的相比在方向Y上更靠近壓力腔室40的中央部分的用來連接第二恒定電位電極23F的連接電極35，單獨電極21不僅在方向Y的一側(cè)上而且還在其另一側(cè)上具有形成為比第二恒定電位電極23F長的部分(在圖44中的部分P12，P13)。與第二和第三活性部分類似，這些第四活性部分94(與圖44的部分P13對應)構(gòu)成為包括夾在單獨電極21和第一恒定電位電極22G之間的壓電材料(壓電材料層12a，12b)。另外，第一恒定電位電極22G形成在整個表面上。在向第一活性部分91施加電壓時，電壓沒有施加在第四活性部分94上。在沒有向第一活性部分91施加電壓時，將電壓施加在第四活性部分94上，其中在通過電壓施加機構(gòu)施加電壓時，與第二和第三活性部分92、93類似，它們轉(zhuǎn)到沿著層疊方向Z擴展并且沿著與之垂直的方向X、Y收縮的變形狀態(tài)。因此，與第二和第三活性部分92、93類似，通過第四活性部分94可以抑制排間串擾，即第一活性部分91的變形影響傳播到相鄰壓力腔室40。要指出的是，在由第四活性部分94所占據(jù)的區(qū)域在平面圖中在平均上小于由第三活性部分93所占據(jù)的區(qū)域時，通過第四活性部分94也表現(xiàn)出抑制排間串擾的效果，但是該效果比通過第三活性部分93所表現(xiàn)的效果稍差。另外，在該情況中，在壓力腔室排方向X上，用于沿著壓力腔室排方向X將第二恒定電位電極23F與相鄰第二恒定電位電極23F連接的兩個連接電極布置在相同側(cè)上。但是，如圖48至51所示，還可以將其一個連接電極35a布置在方向Y的一側(cè)上，并且將其另一個連接電極35b布置在方向Y的另一側(cè)上。這樣，用來消除壓力腔室40的變形影響的活性部分(與在圖47中的部分P21至P24對應)可以按照平衡良好的方式在平面圖中形成在壓力腔室40的圓周中，并且可以更加有效地形成用來抑制串擾的部分。要指出的是，設有連接電極35A、35B的那些部分P25、P26不能顯示出抑制效果。另外，在該實施方案的情況中，雖然通過第四活性部分94實現(xiàn)的抑制排間串擾的效果比通過第三活性部分93所實現(xiàn)的效果稍差，但是通過第四活性部分94也可以顯示抑制排間串擾的效果。在該實施例12中，第三活性部分相對于壓力腔室的中央部分與沿著與預定方向垂直的方向的一側(cè)對應地設置。但是，例如如圖52所示，在壓力腔室40設置成沿著與壓力腔室排方向X(預定方向)垂直的方向傾斜時，也可以將第三活性部分設置在沿著與傾斜方向?qū)南嘟环较騐的一側(cè)上，或者將第三和第四活性部分設置在兩側(cè)上。第十三實施方案在該實施例中，如圖53至55所示一樣，包括有一個層疊件，其中垂直層疊有至少兩個壓電材料層12a、12b，并且在平面圖中設有多個與壓力腔室40對應地設置的單獨電極21、與單獨電極21—起夾著壓電材料層12a、12b的第一共用恒定電位電極22H、以及具有多個開口37并且與單獨電極21—起夾著壓電材料層12a的第二共用恒定電位電極23G。然后，將第二共用恒定電位電極23G形成在構(gòu)成層疊件的兩層壓電材料層12a、12b之間。單獨電極21形成在層疊件(壓電材料層12a、12b)的一個表面上，即位于上側(cè)的壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬?，并且第一共用恒定電位電極22H形成在其另一個表面上，即位于下側(cè)的壓電材料層12b的下表面?zhèn)壬?。另外，通過在夾在單獨電極21和第一共用恒定電位電極22H之間的壓電材料(壓電材料層12a、12b)中形成分別與單獨電極21的中央部分對應的部分來形成多個第一活性部分101。另外，通過夾在單獨電極21和第二共用恒定電位電極23G之間的壓電材料(壓電材料層12a)來形成第二活性部分102。然后如圖55C所示，壓電促動器12在平面圖(從空腔單元11和壓電促動器12的層疊方向看)中包括與壓力腔室40對應地設置的第一活性部分101(第一部分)、和分別與比壓力腔室40的中央部分更外面的外周側(cè)對應的第二活性部分102(第二部分)。這里，壓力腔室40的中央部分為沿著布置壓力腔室40的壓力腔室排方向X以及沿著與之垂直的方向Y基本上位于中央的部分。也就是說，第二活性部分102形成在第一活性部分101的圓周中。另外，第二活性部分102在壓力腔室排方向X上以及在與之垂直的方向Y上不僅包括與比壓力腔室40的外周邊緣40a更里面的部分(中央部分側(cè))對應的區(qū)域，而且還包括與作為分隔相鄰壓力腔室40的壁的梁部分41、41A對應的區(qū)域。另外，單獨電極21在平面圖中具有用于通過電壓施加機構(gòu)施加電壓的連接端子部分26，該電壓施加機構(gòu)布置在與壓力腔室40對應的區(qū)域的外面。第二共用恒定電位電極23G在平面圖中也具有與單獨電極21的連接端子部分26重疊的部分，因此第二活性部分102的部分也是通過夾在重疊部分和連接端子部分26之間的壓電材料層12a形成。要指出的是，在相鄰壓力腔室排中，單獨電極21形成為沿著壓力腔室排方向X偏移半個間距，并且在其排之間，單獨電極21的要連接在柔性接線板13的連接端子(未示出)上的連接端子部分26按照之字形圖案形成。第二共用恒定電位電極23G的開口37在平面圖中每個都具有與壓力腔室40的形狀相同但是比壓力腔室40小的形狀，并且這些開口37也形成為在相鄰壓力腔室排中沿著壓力腔室排方向X偏移半個間距。另外，供應驅(qū)動信號的驅(qū)動器IC90通過柔性接線板13(信號線)與單獨電極21電連接。驅(qū)動器IC90和柔性接線板13形成電壓施加機構(gòu)，用于向壓電促動器12的第一和第二活性部分101、102施加驅(qū)動電壓。具體地說，為了改變壓力腔室40的體積，通過柔性接線板13向單獨電極21選擇性地施加接地電位(第一電位)和與之不同的正電位(第二電位例如20V)。另外，一直向第一共用恒定電位電極22H施加接地電位，并且一直向第二共用恒定電位電極23G施加正電位。因此，壓電促動器12具有分別與壓力腔室40對應的單獨電極21，并且構(gòu)成為通過向單獨電極21選擇性地施加接地電位和正電位作為驅(qū)動信號來改變壓力腔室40的體積，以便從噴嘴孔16a中噴射出墨。更詳細地說，在平面圖中，單獨電極21形成為在壓力腔室排方向X上以及在與之垂直的方向Y上比壓力腔室40長，并且橫跨與第一活性部分101對應的區(qū)域和與第二活性部分102對應的區(qū)域，從而覆蓋了這兩個區(qū)域。然后第一共用恒定電位電極22H形成為覆蓋與第一活性部分101對應的區(qū)域。第二共用恒定電位電極23G然后形成為在平面圖中覆蓋與第二活性部分102對應的區(qū)域和與在沿著壓力腔室排方向X以及與之垂直的方向Y彼此相鄰的壓力腔室40之間的梁部分41、41A對應的區(qū)域。也就是說，第二共用恒定電位電極23G延伸至與壓力腔室40沿著壓力腔室排方向的側(cè)面部分對應的區(qū)域，這些區(qū)域包括與梁部分41對應的區(qū)域，并且為壓力腔室40的沿著壓力腔室排方向X彼此相鄰的兩個壓力腔室40共享。要指出的是，如圖55A、55B所示，第一活性部分101沿著與在向單獨電極21施加正電位并且向第一共用恒定電位電極22H施加接地電位時所施加的電壓方向相同的方向(極化方向)極化以便變形。另一方面，第二活性部分102沿著與在向單獨電極21施加接地電位并且向第二共用恒定電位電極23G施加正電位時所施加的電壓方向相同的方向極化以便變形。也就是說，施加電壓的方向和極化方向是相同的。這里，在圖55A至55C中，"在接通時有效"的部分分別對應于在向單獨電極21施加正電位時其上施加有電壓(20V)的第一活性部分，并且"在斷開時有效"的部分分別對應于在向單獨電極21施加接地電位時其上施加有電壓(20V)的第二活性部分。第一共用恒定電位電極22H總是處于接地電位，并且第二恒定電位電極23G總是處于正電位。然后，向單獨電極21選擇性地施加接地電位和正電位以便改變壓力腔室40的體積。電壓的施加方向在極化期間以及在驅(qū)動期間是相同的。但是，第一共用恒定電位電極22H總是處于接地電位(OV)，第二共用恒定電位電極23G總是處于正電位(20V:恒定)，并且向單獨電極21施加該正電位(20V:恒定)或者停止該施加(參見圖56)。因此，在向單獨電極21施加正電位時，向第一活性部分101施加電壓，但是沒有向第二活性部分102施加電壓。另一方面，在沒有向單獨電極21施加正電位并且單獨電極21處于接地電位時，沒有向第一活性部分101施加電壓，而是向第二活性部分102施加電壓。這里，在驅(qū)動期間在電極之間施加的電壓小于在極化期間所施加的電壓，由此抑制了由于在電極之間反復施加電壓而導致的弱化。由于電極21、22H、23G如上所述一樣布置，所以在等待狀態(tài)中，在電壓施加機構(gòu)使得單獨電極21處于接地電位處時，沿著與極化方向相同的方向向第一活性部分101施加電壓。然后，通過壓電橫向作用，第一活性部分101沿著層疊方向Z朝著壓力腔室40擴展并且沿著與層疊方向Z垂直的方向X、Y收縮，由此試圖沿著朝著壓力腔室40的里面的方向突出和變形。另一方面，在頂板15因為受到電場影響而不會自動收縮時，在位于上側(cè)上的壓電材料層12b和位于下側(cè)上的頂板15之間在極化方向上以及在垂直方向上出現(xiàn)變形方面的差異。這與固定在空腔板14A上的頂板15—起使得壓電材料層12b和頂板15轉(zhuǎn)到變形狀態(tài)以便朝著壓力腔室40側(cè)凸起(單晶片變形)，如圖57B所示。在噴墨時，首先通過電壓施加機構(gòu)利用單獨電極21施加正電位，并且第一活性部分101在壓力腔室排方向上以及在與之垂直的方向X、Y上處于沒有擴展/收縮(非變形)狀態(tài)中。這時，第二活性部分102處于電壓施加狀態(tài)，并且試圖沿著層疊方向Z(第一方向)朝著壓力腔室40擴展并且沿著與層疊方向Z垂直的方向X、Y(第二方向)收縮。因此，通過頂板15用作粘接板，位于沿著壓力腔室排方向的側(cè)面部分處的第二活性部分102變形以沿著遠離壓力腔室40的方向彎曲。第二活性部分102的這個變形如圖57A中所示一樣有助于提高壓力腔室40的體積變化，并且有助于從歧管50將大量墨吸向壓力腔室40。然后，通過使得單獨電極21重新轉(zhuǎn)到接地電位，并且通過沿著與極化方向相同的方向向第一活性部分101施加電壓，與上述情況類似地，產(chǎn)生出朝著壓力腔室40內(nèi)部凸起并變形的狀態(tài)。因此，壓力腔室40的體積減小，墨壓力增大，并且從噴嘴孔16a中噴射出墨。在向第一活性部分101施加電壓的這個期間中，第二活性部分102轉(zhuǎn)到?jīng)]有施加電壓的狀態(tài)，因此返回到沿著層疊方向Z和與之垂直的方向X、Y沒有擴展/收縮(非變形)的狀態(tài)。因此，在第一活性部分101沿著朝著壓力腔室40的方向(層疊方向Z)凸起并變形時，第二活性部分102返回到?jīng)]有變形的狀態(tài)(這等同于沿著層疊方向Z收縮并且沿著與該層疊方向Z垂直的兩個方向X、Y擴展)。因此，如圖57A所示，第一活性部分101的變形影響按照由第二活性部分102的變形消除的方式受到抑制，并且難以到達與之相鄰地位于圓周中的壓力腔室40(即，沿著壓力腔室排方向X與之相鄰的壓力腔室40和沿著與壓力腔室排方向X垂直的方向與之相鄰的壓力腔室40),由此抑制了串擾。也就是說，切換向第二活性部分102的施加和不施加電壓以便抑制由于切換向第一活性部分101的施加和不施加電壓而導致的第一活性部分101的變形傳播到相鄰的壓力腔室40。之后，在重新噴射墨時，單獨電極21返回到與第一共用恒定電位電極22H相同的電位(接地電位)，第一活性部分101轉(zhuǎn)到如上所述沒有變形的狀態(tài)，第二活性部分102變形以沿著遠離壓力腔室40的方向彎曲，并且壓力腔室40的體積返回到原始體積。因此，從歧管14Da、14Ea將墨吸入到壓力腔室40中。因此，重復進行第一活性部分101和第二活性部分102的變形，并且使得壓力腔室40的體積變化在每次噴射操作中都較大。因此，提高了噴射效率，并且抑制了串擾。在這些實施例中，壓電材料層12a、12b和頂板15(粘接板)的厚度相同。因此，在包括頂板15在內(nèi)的壓電促動器12變形時，其中不會出現(xiàn)變形的中性面位于沿著在下側(cè)上的壓電材料層12b的厚度方向的中央部分中。因此，壓電促動器12的變形不能有效用于使得壓力腔室40變形以便能夠噴墨。因此，由于壓電促動器12經(jīng)過頂板15層疊在空腔單元11的上側(cè)上，所以在使得頂板(粘接板)的厚度和壓電促動器112(壓電材料層112a、112b)的厚度如圖58、59A和59B所示一樣相同時，壓電促動器U2(位于下側(cè)上的壓電材料層112b)的下表面變?yōu)樵诘谝缓偷诙钚圆糠?01、102變形時沒有變形的中性面(不會在平面內(nèi)擴展/收縮的中性面)。因此，能夠有效地利用壓電促動器112(第一和第二活性部分101、102)的變形。另外，不必如在上述實施方案中一樣將單獨電極設在位于上側(cè)上的壓電材料層的上表面?zhèn)壬希⑶也槐貙⒌诙灿煤愣娢浑姌O設在下表面?zhèn)壬?。如圖60、61以及62A至62C中所示一樣，還可以具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中第二共用恒定電位電極23G形成在位于上側(cè)上的壓電材料層112a的上表面?zhèn)壬?，并且單獨電極21形成在其下表面?zhèn)壬?。在該情況中，對于通向單獨電極21的接線而言填充有導電材料的通孔24必須相對于單獨電極21的連接端子部分26形成以將單獨電極21的連接端子部分26引導向位于上側(cè)上的壓電材料層112a的上表面?zhèn)?。另外，第一共用恒定電位電極22H與單獨電極21的中央部分對應地形成，并且與沿著壓力腔室排方向X延伸的連接電極部分27連接，并且連接電極部分27D為這些第一共用恒定電位電極22H的共同電極。在該實施例中，在平面圖中，壓力腔室40每個都具有橢圓形形狀，并且單獨電極21每個都具有矩形形狀，但是在本發(fā)明中，壓力腔室以及具有與之對應的形狀的單獨電極的形狀不限于這些形狀，并且可以如圖63A和63B所示一樣形成。在圖63A中所示的情況中，在平面圖中，可以使得壓力腔室140和單獨電極兩者具有橢圓形形狀。在圖63B中所示的情況中，壓力腔室140每個都形成為橢圓形形狀，但是單獨電極每個形成為沿著壓力腔室縱向方向較長的八邊形形狀。這些情況因此顯示出第一活性部分101和第二活性部分102的關系。在上述實施例中，由于第二恒定電位電極施加有正電位，所以可以通過如在下面第十四實施方案中所述一樣形成第二恒定電位電極來將其阻抗降低以抑制電壓降低，從而對于與任一個壓力腔室40連通的任一噴嘴而言可以獲得相同的噴射性能。第十四實施方案在該實施例的情況中，如圖64至67所示一樣，在平面圖中(即，在沿著空腔單元11和壓電促動器12的層疊方向看時)，設有分別與壓力腔室40對應的多個單獨電極21;對應于壓力腔室40的外周側(cè)部分形成的與單獨電極21—起夾著壓電材料層12a、12b的第一共用恒定電位電極22K;以及對應于單獨電極21的中央部分形成并且與單獨電極21—起夾著壓電材料層12a的第二共用恒定電位電極23K。也就是說，第二共用恒定電位電極23K形成在構(gòu)成層疊件的壓電材料層12a、12b之間，單獨電極21形成在層疊件(壓電材料層12a、12b)的上表面(一個表面)上以與第二共用恒定電位電極23K—起夾著壓電材料層12a，并且第一共用恒定電位電極22K形成在其下表面(另一個表面)上以與第二共用恒定電位電極23K—起夾著壓電材料層12b。這里，單獨電極21的中央部分為沿著布置壓力腔室40的壓力腔室排方向X(也是布置噴嘴孔16a的噴嘴排方向)的中央部分。單獨電極21具有布置在壓力腔室40外側(cè)的連接端子部分26，并且它布置成通過電壓施加機構(gòu)向這些連接端子部分26施加電壓。第二共用恒定電位電極23K具有在相鄰壓力腔室排之間沿著壓力腔室排方向延伸的多個第一部分36A，并且具有分別對應于壓力腔室40設置在相鄰兩個第一部分36A之間以將它們連接在一起的多個第二部分36B，并且這些第二部分36B沿著與壓力腔室排方向垂直(相交)的方向延伸。因此，第二共用恒定電位電極23K按照網(wǎng)狀圖案形成。它視圖降低阻抗。因此通過降低阻抗，抑制了電壓降，并且對于與任一個壓力腔室40連通的任意噴嘴能夠獲得相同的噴射性能。另外，第一共用恒定電位電極22K具有沿著壓力腔室排方向延伸以便與形成壓力腔室排的多個壓力腔室40重疊的多個第三部分36C，并且具有將多個第三部分36C的端部連接在一起的第四部分36D。要指出的是，第三部分36C設置成沒有與第二共用恒定電位電極23K的第一部分36A重疊。然后設有通過夾在單獨電極21和第二共用恒定電位電極23K(第二部分36B)之間的壓電材料層形成的多個第一活性部分103，以及通過夾在單獨電極21和第一共用恒定電位電極22K(第三部分36C)之間的壓電材料層形成的第二活性部分104。這里，部分形成第一活性部分103的第二共用恒定電位電極23K按照網(wǎng)狀圖案形成以便降低阻抗。因此，在第二共用恒定電位電極23K中抑制了電壓降，并且對于與任一個壓力腔室40連通的噴嘴而言能夠獲得相同的噴射性能。提供驅(qū)動信號的驅(qū)動器IC90通過柔性接線板13(信號線)與單獨電極21電連接。驅(qū)動器IC卯和柔性接線板13形成用于向壓電促動器12的第一和第二活性部分103、104施加驅(qū)動電壓的電壓施加機構(gòu)。然后，通過向單獨電極21選擇性地施加正電位(第一電位)和接地電位(第二電位)作為驅(qū)動信號，壓電促動器12改變壓力腔室40的體積以從噴嘴孔16a中噴射出墨。為了更詳細地描述，如圖65和66所示，單獨電極21在平面圖中為矩形并且形成為在壓力腔室排方向X上比壓力腔室40長，在與壓力腔室排方向X垂直的方向上比壓力腔室40短，并且橫跨與第一活性部分103對應的區(qū)域和與第二活性部分104對應的區(qū)域以便覆蓋這兩個區(qū)域。然后第二共用恒定電位電極23K形成為在壓力腔室排方向X上比壓力腔室40短以便覆蓋與第一活性部分103對應的區(qū)域。然后位于壓力腔室40側(cè)上的第一共用恒定電位電極22K形成為在壓力腔室排方向X上比第二共用恒定電位電極23K長。也就是說，單獨電極21為第—和第二共用恒定電位電極22K、23K所共享。第一共用恒定電位電極22K形成為覆蓋與第二活性部分104對應的區(qū)域和與沿著壓力腔室排方向X在彼此相鄰的壓力腔室40之間的梁部分41對應的區(qū)域。也就是說，第一共用恒定電位電極22K延伸至包括與梁部分41對應的區(qū)域在內(nèi)的對應于壓力腔室排方向X的側(cè)面部分的區(qū)域，并且為沿著壓力腔室排方向X彼此相鄰的壓力腔室40共享。具體地說，第一活性部分103是通過在位于上側(cè)上的壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬闲纬蓡为氹姌O21并且在其下表面?zhèn)壬闲纬傻诙灿煤愣娢浑姌O23K來形成的。另外，第二活性部分104是通過在位于下側(cè)上的壓電材料層12b的下表面?zhèn)壬闲纬傻谝还灿煤愣娢浑姌O22K來形成的。另外，壓電材料層12a、12b的電極21、22K、23K在平面圖中如圖66所示一樣布置在相應的層中。也就是說，在壓電材料層12a的上表面?zhèn)?第一層)上，單獨電極21分別與壓力腔室40對應地沿著壓力腔室排方向X以恒定的間距形成。然后相鄰單獨電極21形成為沿著壓力腔室排方向X偏移半個間距，并且在這些排之間，單獨電極21的將要與柔性接線板13的連接端子(未示出)連接的連接端子部分26按照之字形圖案形成。在壓電材料層12a的下表面?zhèn)?第二層)上，第二共用恒定電位電極23K的第二部分36B形成為與壓力腔室40分別對應地布置，并且第二部分36B的兩個端部分別連接到在相鄰壓力腔室排之間沿著壓力腔室排方向延伸的第一部分36A上。另外，第一共用恒定電位電極22K的第三部分36C在相鄰兩個第一部分36A之間沿著壓力腔室排方向延伸，并且因此不會與第二共用恒定電位電極23K的第一部分36A重疊。另外，如圖67所示，為了將接線連接在第一和第二共用恒定電位電極22K、23K上，連接端子38A形成在位于壓電材料層12a的上表面?zhèn)壬系拇賱悠鞯亩瞬康闹醒胩?，并且連接端子38B形成在端部的兩側(cè)上。連接端子38A通過填充有導電材料的通孔與第一共用恒定電位電極22K連接，并且連接端子38B通過填充有導電材料的通孔與第二共用恒定電位電極23K連接。要指出的是，如圖64所示，第一活性部分103沿著與在向單獨電極21施加第二電位(接地電位)并且向第二共用恒定電位電極23K施加第一電位(正電位)時所施加的電壓方向相同的方向(極化方向)極化以便變形。另一方面，第二活性部分104沿著與在向單獨電極21施加第一電位并且向第一共用恒定電位電極22K施加第二電位時所施加的電壓方向相同的方向極化以便變形。也就是說，在噴墨操作期間，施加電壓的方向和極化方向是相同的。第二共用恒定電位電極23K總是處于正電位，并且第一恒定電位電極22K總是處于接地電位。然后，向單獨電極21選擇性地施加正電位和接地電位以便改變壓力腔室40的體積。也就是說，電壓的施加方向在極化期間和在驅(qū)動期間是相同的。第二共用恒定電位電極23K總是處于正電位，并且第一共用恒定電位電極22K總是處于接地電位，并且向單獨電極21施加正電位或者停止該施加以改變?yōu)榻拥仉娢?。因此，在單獨電極21處于接地電位時，向第一活性部分l(B施加電壓，但是沒有向第二活性部分104施加電壓。另一方面，在向單獨電極21施加正電位時，沒有向第一活性部分103施加電壓，而是向第二活性部分104施加電壓。這里，在驅(qū)動期間施加在電極之間的電壓小于在極化期間施加的電壓，由此抑制了由于在電極之間反復施加電壓而導致的弱化。由于電極21、22K、23K如上所述一樣布置，所以當首先在噴墨時通過電壓施加機構(gòu)向單獨電極21施加接地電位時，第一活性部分103沿著與極化方向相同的方向施加有電壓。然后，通過壓電橫向作用，第一活性部分103沿著朝著壓力腔室40的層疊方向Z(第一方向)擴展并且沿著與其層疊方向Z垂直的方向X、Y(第二方向)收縮，由此轉(zhuǎn)到等待狀態(tài)以沿著朝著壓力腔室40內(nèi)部的方向(層疊方向Z)凸起并變形。隨后，在向單獨電極21施加第一電位(正電位20V)時，第一活性部分103處于沒有擴展/收縮的狀態(tài)，從而沿著層疊方向Z和與之垂直的方向X、Y變形。這時，第二活性部分104處于電壓施加狀態(tài)，并且試圖沿著朝著壓力腔室40的層疊方向Z(第一方向)擴展并且沿著與層疊方向Z垂直的兩個方向X、Y(第二方向)收縮。因此，通過作為粘接板的頂板15的操作，位于沿著壓力腔室排方向X的兩個側(cè)面部分處的第二活性部分104、104變形以沿著遠離壓力腔室40的方向彎曲。第二活性部分102的這個變形有助于增大壓力腔室40的體積變化，并且有助于從歧管50將大量墨吸向壓力腔室40。然后，在重新向單獨電極21施加接地電位時，第一活性部分103沿著朝著壓力腔室40的層疊方向Z擴展，沿著與層疊方向Z垂直的方向X、Y收縮，由此沿著朝著壓力腔室40內(nèi)部的方向(層疊方向Z)凸起并變形。因此，壓力腔室40的體積減小，墨的壓力增大，并且從噴嘴孔16a中噴射出墨。在向單獨電極21施加接地電位并且驅(qū)動第一活性部分103噴射墨時，單獨電極21和第一共用恒定電位電極22K兩者都處于第二電位，并且第二活性部分104轉(zhuǎn)到?jīng)]有施加電壓的狀態(tài)。因此，第二活性部分104返回到沿著方向Z、X、Y的任一方向沒有擴展/收縮(非變形)的狀態(tài)。因此，在第一活性部分103沿著朝著壓力腔室40的方向凸起并變形時，第二活性部分104返回到?jīng)]有變形的狀態(tài)(這等同于沿著層疊方向Z收縮并且沿著與層疊方向Z垂直的兩個方向X、Y擴展)。因此，第一活性部分103的變形影響按照由第二活性部分104的變形消除的方式受到抑制，并且難以到達沿著壓力腔室排方向X和與之垂直的方向Y與之相鄰的壓力腔室40,由此抑制了串擾。也就是說，切換向第二活性部分104(第二部分)施加和不施加電壓以便抑制由于切換向第一活性部分103施加/不施加電壓而導致的第一活性部分103(第一部分)的變形傳播到在沿著壓力腔室40的壓力腔室排方向X的兩個側(cè)面中彼此相鄰的壓力腔室40。之后，在單獨電極21返回到與第二共用恒定電位電極23K相同的電位(正電位)時，第一活性部分103轉(zhuǎn)到如上所述沒有變形的狀態(tài)，并且第二活性部分104變形以沿著遠離壓力腔室40的方向彎曲。因此，從歧管50將墨吸入到壓力腔室40中。通過第一和第二活性部分103、104的這種變形，重復進行墨的噴射操作，并且使得壓力腔室40的體積變化在每次噴射操作中都較大。因此，提高了噴射效率，并且抑制了在三個方向上的串擾。在該實施方案的情況中，在平面圖中看時，夾在布置在壓力腔室40外面(梁部分41)的單獨電極21的連接端子部分26和第二共用恒定電位電極23K之間的部分(壓電材料層12a)還用作第一活性部分，因此擔心這些部分在噴墨時沿著抑制所有第一活性部分的變形的方向運行。因此，如圖68所示，第二共用恒定電位電極23K可以如此構(gòu)成，從而在平面圖中，與單獨電極21的連接端子部分26重疊的部分為開口37A(空閑空間)。這些開口37A形成在第一部分36A中。另外，第二共用恒定電位電極23K的第二部分36B沿著與壓力腔室排方向X垂直的方向Y設置，但是具有與壓力腔室40重疊的部分將是足夠的。例如，第二部分可以沿著相對于壓力腔室排方向X傾斜的方向V設置。在它們設置成沿著與預定方向垂直的方向傾斜時，第三活性部分可以設在沿著對應于傾斜方向的相交方向V的一個側(cè)面上，或者第三和第四活性部分可以設在其兩側(cè)上。應該指出的是，雖然在上述實施方案中總是向恒定電位電極施加預定電壓，但是不必總是施加電壓。例如，在記錄設備正在進行打印操作時可以施加預定的恒定電壓，并且在其它時間它可以保持在接地電位處。在該情況中，由于沒有總是施加預定的恒定電位，所以可以降低液滴噴射裝置的能耗。上述實施方案是針對其中液滴噴射裝置為噴墨式記錄設備的情況進行說明的，但是本發(fā)明不限于此。它還可以應用于另一種液滴噴射裝置，其用于采用微液滴施加彩色液滴以便通過噴射導電液滴等形成布線圖案。另外，作為記錄介質(zhì)，不僅可以采用記錄紙張，而且還可以采用各種材料例如樹脂、布料等，并且作為待噴射的液體，不僅可以采用墨，而且可以采用各種液體例如著色液滴、功能液滴等。權(quán)利要求1.一種噴射液滴的液滴噴射裝置，包括液滴噴射頭，所述液滴噴射頭包括空腔單元和壓電促動器，在所述空腔單元中形成有規(guī)則布置的多個壓力腔室，所述壓電促動器接合到所述空腔單元上以覆蓋所述壓力腔室，并且所述壓力腔室選擇性地噴射所述壓力腔室中的液體，所述壓電促動器具有第一活性部分和第二活性部分，每個第一活性部分與所述壓力腔室中的一個壓力腔室的中央部分對應，每個第二活性部分與所述壓力腔室中的一個壓力腔室的把位于所述壓力腔室中的一個壓力腔室的所述中央部分的外側(cè)的部分覆蓋的外周部分對應；以及電壓施加機構(gòu)，所述電壓施加機構(gòu)對所述壓電促動器施加電壓；其中當所述電壓施加機構(gòu)對所述第一活性部分和所述第二活性部分施加所述電壓時，所述第一活性部分和所述第二活性部分在朝向所述壓力腔室的第一方向上擴展，且在與所述第一方向垂直的第二方向上收縮；并且當對所述第一活性部分施加第一電壓時，所述電壓施加機構(gòu)不對所述第二活性部分施加第二電壓，并且當不對所述第一活性部分施加所述第一電壓時，所述電壓施加機構(gòu)對所述第二活性部分施加所述第二電壓。2.如權(quán)利要求l所述的液滴噴射裝置，其中所述第二活性部分中的每個第二活性部分覆蓋位于所述壓力腔室中的一個壓力腔室的外周邊緣的內(nèi)側(cè)的內(nèi)側(cè)部分。3.如權(quán)利要求l所述的液滴噴射裝置，其中所述壓電促動器包括單獨電極、第一恒定電位電極、和第二恒定電位電極，所述單獨電極被選擇性地施加第一電位和與所述第一電位不同的第二電位，所述第一恒定電位電極被施加所述第一電位，所述第二恒定電位電極被施加所述第二電位；每個第一活性部分包括夾在一個第一電極和一個第一恒定電位電極之間的壓電材料；并且每個第二活性部分包括夾在一個單獨電極和一個第二恒定電位電極之間的壓電材料。4.如權(quán)利要求1所述的液滴噴射裝置，其中單獨電極形成為橫跨與第一活性部分對應的第一區(qū)域以及與所述壓電促動器的第二活性部分對應的第二區(qū)域，以便覆蓋所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域；第一恒定電位電極形成為覆蓋所述壓電促動器的所述第一區(qū)域；并且第二恒定電位電極形成為覆蓋所述壓電促動器的所述第二區(qū)域。5.如權(quán)利要求3所述的液滴噴射裝置，其中當對所述單獨電極施加所述第二電位并且對所述第一恒定電位電極施加所述第一電位時，所述第一活性部分在與施加電壓的方向相同的方向上極化；并且當對所述單獨電極施加所述第一電位并且對所述第二恒定電位電極施加所述第二電位時，所述第二活性部分在與施加電壓的方向相同的方向上極化。6.如權(quán)利要求3所述的液滴噴射裝置，其中所述第一電位為正電位，并且所述第二電位為接地電位。7.如權(quán)利要求3所述的液滴噴射裝置，其中所述第一電位為接地電位，并且所述第二電位為正電位。8.如權(quán)利要求7所述的液滴噴射裝置，其中每個第二恒定電位電極在所述壓力腔室中的兩個相鄰壓力腔室中共用。9.如權(quán)利要求7所述的液滴噴射裝置，其中所述壓電促動器具有壓電材料層；并且所述單獨電極形成在所述壓電材料層的一個表面?zhèn)壬?，并且所述第一恒定電位電極和所述第二恒定電位電極形成在所述壓電材料層的另一個表面?zhèn)壬?，而且所述第一活性部分和所述第二活性部分形成在同一壓電材料層上?0.如權(quán)利要求9所述的液滴噴射裝置，其中比所述壓電材料層薄的絕緣層設置成由形成在所述另一個表面?zhèn)壬系乃龅谝缓愣娢浑姌O和所述第二恒定電位電極夾著；并且所述第一恒定電位電極和所述第二恒定電位電極被所述絕緣層隔離。11.如權(quán)利要求IO所述的液滴噴射裝置，其中所述絕緣層由與所述壓電材料層相同的材料形成。12.如權(quán)利要求7所述的液滴噴射裝置，其中所述第一恒定電位電極形成為被夾在所述壓力腔室中的相鄰兩個壓力腔室之間以與所述兩個相鄰壓力腔室形成多排；并且所述第二恒定電位電極只形成在所述兩個壓力腔室的一側(cè)上。13.如權(quán)利要求3所述的液滴噴射裝置，其中所述壓電促動器具有多個壓電材料層；所述第一恒定電位電極或所述第二恒定電位電極形成在所述多個壓電材料層中的最遠層的不與所述壓力腔室面對的最遠表面上，所述最遠層離所述壓力腔室最遠；所述單獨電極形成在一個壓電材料層的表面上，所述表面與所述最遠層不同；在所述最遠表面的與所述外周部分重疊的區(qū)域中形成表面電極，所述表面電極分別作為所述單獨電極的輸入端子；并且所述單獨電極通過填充在穿過所述壓電材料層的通孔中的導電材料與所述表面電極導通。14.如權(quán)利要求B所述的液滴噴射裝置，其中所述第二活性部分形成在所述多個壓電材料層中除了所述最遠層之外的層上；并且每個表面電極形成在所述最遠表面上的與在所述相鄰壓力腔室之間的部分重疊的區(qū)域中。15.—種噴射液滴的液滴噴射裝置，包括液滴噴射頭，所述液滴噴射頭包括空腔單元和壓電促動器，在所述空腔單元中形成有規(guī)則布置的多個壓力腔室，所述壓電促動器接合到所述空腔單元上以覆蓋所述壓力腔室，并且所述壓力腔室選擇性地噴射所述壓力腔室中的液體，所述壓電促動器具有第一部分和第二部分，每個第一部分設置成與所述壓力腔室中的一個壓力腔室的中央部分對應，每個第二部分設置成與所述壓力腔室中的一個壓力腔室的把位于所述中央部分的外側(cè)的部分覆蓋的外周部分對應；以及電壓施加機構(gòu)，所述電壓施加機構(gòu)對所述壓電促動器施加電壓；其中所述電壓施加機構(gòu)切換對所述第一部分施加和不施加第一電壓，以便改變每個壓力腔室的體積，并且所述電壓施加機構(gòu)切換對所述第二部分施加和不施加第二電壓，以便抑制由于切換到對所述第一部分施加電壓而導致在所述壓力腔室中的一個壓力腔室中產(chǎn)生的所述第一部分的變形傳播到與所述壓力腔室相鄰的另一個壓力腔室。16.—種噴射液滴的液滴噴射頭，包括空腔單元，在所述空腔單元中形成有規(guī)則布置的多個壓力腔室；以及壓電促動器，所述壓電促動器接合到所述空腔單元上以覆蓋所述壓力腔室，并且所述壓力腔室選擇性地噴射所述壓力腔室中的液體，所述壓電促動器具有第一活性部分、第二活性部分、單獨電極、第一恒定電位電極、和第二恒定電位電極，每個第一活性部分與所述壓力腔室中的一個壓力腔室的中央部分對應，每個第二活性部分與所述壓力腔室中的一個壓力腔室的把位于所述壓力腔室中的一個壓力腔室的所述中央部分的外側(cè)的部分覆蓋的外周部分對應，所述單獨電極形成為橫跨與所述第一活性部分對應的第一區(qū)域以及與所述第二活性部分對應的第二區(qū)域，以便覆蓋所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域，所述第一恒定電位電極形成為覆蓋所述第一區(qū)域，所述第二恒定電位電極形成為覆蓋所述第二區(qū)域。全文摘要液滴噴射裝置和液滴噴射頭。液滴噴射裝置包括液滴噴射頭，它的壓電促動器接合到空腔單元上以覆蓋其中的多個壓力腔室，促動器的第一活性部分與壓力腔室的中央部分對應，第二活性部分與壓力腔室的外周部分對應；電壓施加機構(gòu)，當對第一和第二活性部分施加電壓時，活性部分在朝向壓力腔室的第一方向上擴展且在與第一方向垂直的第二方向上收縮；當對第一活性部分施加第一電壓時，電壓施加機構(gòu)不對第二活性部分施加第二電壓，當不對第一活性部分施加第一電壓時，電壓施加機構(gòu)對第二活性部分施加第二電壓。第一活性部分在被施加電壓時變形朝壓力腔室突出。第二活性部分不變形且第一活性部分的變形的影響不到達相鄰壓力腔室。因此抑制了串擾。文檔編號H01L41/08GK101396916SQ20081016106公開日2009年4月1日申請日期2008年9月26日優(yōu)先權(quán)日2007年9月29日發(fā)明者關口恭裕,小島正友,小野勝司申請人:兄弟工業(yè)株式會社