專利名稱：：單頻內(nèi)腔倍頻激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及激光器，具體屬于一種單頻內(nèi)腔倍頻激光器。
背景技術(shù)：
：以激光器為核心的激光技術(shù)，對先進(jìn)制造業(yè)及相關(guān)產(chǎn)業(yè)、科學(xué)技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)和國防科技的進(jìn)步與發(fā)展起到越來越重要的作用。特別是實(shí)現(xiàn)單頻運(yùn)轉(zhuǎn)的激光器以及經(jīng)內(nèi)腔倍頻過程得到的可見光波段激光器更是以其優(yōu)良的輸出特性可廣泛應(yīng)用科學(xué)研究、國防建設(shè)、生物醫(yī)療、信息產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域。許多研究工作者在這個(gè)領(lǐng)域做了大量的研究工作?，F(xiàn)己有多種方法能使激光器實(shí)現(xiàn)單頻運(yùn)轉(zhuǎn)，例如用扭轉(zhuǎn)模諧振腔、短腔諧振、諧振腔中插入標(biāo)準(zhǔn)具或雙折射濾光片等方法。但在高功率激光運(yùn)轉(zhuǎn)、特別要實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定單頻運(yùn)轉(zhuǎn)情況下，最佳方案還是設(shè)計(jì)環(huán)形激光諧振腔，通過在諧振腔中插入光學(xué)單向器使激光器單向運(yùn)轉(zhuǎn)、消除空間燒孔效應(yīng)，來實(shí)現(xiàn)單頻激光器。在環(huán)形諧振腔單頻激光器中，一般在腔內(nèi)放置由起偏器、法拉第旋轉(zhuǎn)器和半波片組成的光學(xué)隔離器，使激光束只能以行波方式單向傳播。從而實(shí)現(xiàn)選模(見在論文K.I.Martin,W.A.Clarkson，andD.C.Hanna，"3Wofsingle-frequencyoutputat532nmbyintracavityfrequencydoublingofadiode-bar-pumpedNd:YAGringlaser,"OpticsLetters,Vol.21，No.12，875-877(1996))。但是，上述設(shè)計(jì)中起偏器的插入不僅引入插入損耗，而且也增加了激光器調(diào)節(jié)的難度。如果在激光器的設(shè)計(jì)中所用的激光晶體為各向異性單軸晶體，受激發(fā)射的激光為線偏振光，則無需在腔內(nèi)插入起偏器，僅僅用法拉第旋轉(zhuǎn)器和半波片就能實(shí)現(xiàn)有效選模，這種方法在中國專利("全固化單頻倍頻激光器"，專利號98125474.8)中已有敘述。但是，這種激光器只能工作在中小功率。當(dāng)泵浦功率較高時(shí)、激光增益較大時(shí)，僅用上述專利中所述的方法不足以使激光器穩(wěn)定單頻運(yùn)轉(zhuǎn)。在高功率環(huán)形內(nèi)腔倍頻激光器中，(YaohuiZheng,HuadongLu，F(xiàn)engqinLi，KuanshouZhang，KunchiPeng,"Fourwattlong-termstableintracavityfrequency-doublingNd:YV04laserofsingle-frequencyoperationpumpedbyafiber-coupledlaserdiode,"AppliedOptics,Vol.46,No.22,5336-5339(2007))，由于倍頻轉(zhuǎn)換損耗是激光器主要的損耗，當(dāng)倍頻晶體的光譜接受帶寬與增益介質(zhì)的受激發(fā)射帶寬的比值小于一定值時(shí)，激光器跳?，F(xiàn)象嚴(yán)重，并激發(fā)多縱模振蕩。可采用單向器和標(biāo)準(zhǔn)具復(fù)合選模的方法來選取縱模，獲得單頻激光輸出。如果在激光器的設(shè)計(jì)中所用的激光晶體為各向異性單軸晶體，所激發(fā)的為偏振激光光譜，其中一個(gè)偏振方向(如平行于光軸方向，t偏振)的受激發(fā)射截面較大，而與之垂直的偏振方向(如垂直于光軸方向，a偏振)的受激發(fā)射截面相對較小。如果設(shè)計(jì)的激光器需以7i偏振激光運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，則無需在諧振腔中插入起偏元件，僅靠增益競爭即可實(shí)現(xiàn)7T偏振激光運(yùn)轉(zhuǎn)；但如果設(shè)計(jì)的激光器需以a偏振激光運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，則需在諧振腔中插入起偏元件，通過損耗抑制7t偏振激光振蕩，從而實(shí)現(xiàn)a偏振激光運(yùn)轉(zhuǎn)。利用上述原理，當(dāng)激光器7i偏振激光振蕩、基頻單頻運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，無需在諧振腔中插入起偏器，激光器可長期單頻穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。但當(dāng)激光器在高功率內(nèi)腔倍頻運(yùn)轉(zhuǎn)下，由于存在大的倍頻非線性轉(zhuǎn)換損耗，(7偏振激光的凈增益將會大于7!偏振激光，CT偏振激光將起振，于是激光器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)發(fā)生變化。當(dāng)改變激光器的泵浦功率或激光諧振腔發(fā)生微小變化時(shí)，激光器的單向狀態(tài)容易發(fā)生改變導(dǎo)致激光器不能穩(wěn)定單頻運(yùn)轉(zhuǎn)。另外，倍頻損耗會使激光晶體在各個(gè)方向的凈增益大小相當(dāng)，不能通過增益競爭得到偏振度很好的線偏振光，結(jié)果也會影響激光器的單向狀態(tài)。要使激光器穩(wěn)定單頻倍頻運(yùn)轉(zhuǎn)，可在諧振中插入起偏器來實(shí)現(xiàn)。但起偏器的插入增加了內(nèi)腔元件，一方面導(dǎo)致內(nèi)腔損耗增大導(dǎo)致轉(zhuǎn)換效率降低，另一方面元件增多導(dǎo)致激光器調(diào)節(jié)難度加大。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種長時(shí)間單頻穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)、輸出激光偏振度高、激光轉(zhuǎn)化效率高、結(jié)構(gòu)緊湊，調(diào)節(jié)簡單的單頻內(nèi)腔倍頻激光器。本發(fā)明提供的一種單頻激內(nèi)腔倍頻光器，包括激光晶體2、由腔鏡組成的激光諧振腔、泵浦源l、內(nèi)腔倍頻晶體5、法拉第旋轉(zhuǎn)器3和二分之一波片4;所述的激光晶體2為各向異性的單軸晶體，該晶體的兩個(gè)通光面沿一定角度切割形成非平行的楔子狀。由于楔子狀激光晶體的雙折射效應(yīng)，激光器以偏振激光8穩(wěn)定振蕩運(yùn)轉(zhuǎn)，與之垂直的偏振激光9則因幾何光學(xué)損耗被抑制，無需在諧振腔內(nèi)插入起偏元件，僅靠幾何光學(xué)損耗就可達(dá)到選擇某一偏振方向激光振蕩的目的，同時(shí)可以在高功率內(nèi)腔倍頻運(yùn)轉(zhuǎn)情況下克服非線性倍頻轉(zhuǎn)換對激光器的影響下克服倍頻非線性轉(zhuǎn)換損耗的影響，使激光器長期穩(wěn)定單頻運(yùn)轉(zhuǎn)。本發(fā)明所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器還可以包括標(biāo)準(zhǔn)具6，所述的標(biāo)準(zhǔn)具6放置在有基頻光通過，無倍頻光通過的光路中。其具有兩個(gè)功能a.在小功率內(nèi)腔倍頻激光器中，標(biāo)準(zhǔn)具6能使輸出激光的線寬變窄，從而提供窄線寬的激光器。b.標(biāo)準(zhǔn)具6能壓窄激光晶體2的受激發(fā)射帶寬。在倍頻晶體5的光譜接受帶寬較小的高功率激光器中，標(biāo)準(zhǔn)具6既能壓窄輸出激光的線寬，也能用來和光學(xué)單向器復(fù)合選取縱模，從而獲得穩(wěn)定的高功率連續(xù)單頻倍頻激光輸出。本發(fā)明所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器還可以包括調(diào)Q元件7。所述的調(diào)Q元件7放置在有基頻光通過，無倍頻光通過的光路中。其作用可使所設(shè)計(jì)的激光器以脈沖方式運(yùn)轉(zhuǎn)，從而獲得脈沖單頻倍頻激光輸出。本發(fā)明所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器還可以包括標(biāo)準(zhǔn)具6和調(diào)Q元件7。所述的標(biāo)準(zhǔn)具6和調(diào)Q元件7均放置在有基頻光通過，無倍頻光通過的光路中。其作用可使所設(shè)計(jì)的激光器以高平均功率脈沖方式運(yùn)轉(zhuǎn)，從而獲得穩(wěn)定的高平均功率脈沖單頻倍頻激光輸出。本發(fā)明所述的楔子狀激光晶體2呈單面楔子狀或雙面楔子狀。單面楔子狀激光晶體2的切割方式如圖l所示，晶體的前表面與晶體光軸21平行、與光軸22垂直，而后表面與晶體光軸21成一定角度。當(dāng)受激發(fā)射、形成振蕩的激光光束沿晶體光軸22傳播，通過激光晶體2的后表面到空氣中時(shí)，光束發(fā)生雙折射、分解為兩個(gè)偏振分量(尋常光線24和非常光線23),尋常光線24和非常光線23的傳播方向不同。通過調(diào)節(jié)激光諧振腔，只能使其中某一個(gè)偏振的光束能在激光諧振腔內(nèi)振蕩。利用上述的原理，一方面僅靠幾何光學(xué)損耗而無需在諧振腔內(nèi)插入起偏元件就可達(dá)到選擇某一偏振方向激光振蕩的目的，即使是受激發(fā)射截面相對較小的偏振激光也可通過此方法首先起振；另一方面當(dāng)激光器在高功率內(nèi)腔倍頻運(yùn)轉(zhuǎn)下，即使存在大的倍頻非線性轉(zhuǎn)換損耗，基頻光的偏振方向也不會因倍頻而發(fā)生變化，有利于激光器穩(wěn)定單向單頻運(yùn)轉(zhuǎn)，提高激光的偏振度。激光晶體2也可以被切割成如圖2所示的雙面楔子狀，光線分別從雙楔狀晶體兩端到空氣的折射光線分布如圖所示。當(dāng)受激發(fā)射、形成振蕩的激光光束沿晶體光軸32傳播，通過激光晶體2的兩端到空氣中時(shí)光束發(fā)生雙折射、分解為尋常光線34和非常光線33，都偏離了雙楔狀晶體的軸線32。類似上述分析，通過調(diào)節(jié)諧振腔，只能有其中某一個(gè)偏振的光束能在激光諧振腔內(nèi)振蕩，而另一偏振光束不能在腔內(nèi)振蕩。所述的楔子狀晶體的楔角的角度是O.l度到晶體的內(nèi)全反射臨界角，優(yōu)選角度是0.5~5度。楔角的角度是與激光諧振腔長度和激光晶體的有效發(fā)射截面有關(guān)的量。但楔角的角度越大會給激光器的設(shè)計(jì)和調(diào)試越麻煩，因此，應(yīng)在不影響激光器正常工作的情況下，盡量減小楔角的角度。激光諧振腔長度越長，楔角角度可以越小；激光器的增益越大，楔角角度應(yīng)該越大。所述的激光諧振腔為裝載在基底上的光學(xué)鏡片組成的環(huán)形諧振腔，光學(xué)鏡片的數(shù)量可以是2個(gè)或2個(gè)以上。所述的泵浦源1是激光二極管或閃光燈。所述的泵浦源1的數(shù)量是1個(gè)或1個(gè)以上。泵浦源1的泵浦方式是端面泵浦或側(cè)面泵浦。本發(fā)明設(shè)計(jì)的單頻內(nèi)腔倍頻激光器與已報(bào)道的同類激光器相比具有以下優(yōu)點(diǎn)1.激光晶體被切割成楔子狀，一方面可通過幾何光學(xué)損耗直接達(dá)到選擇某一偏振方向激光振蕩的目的，另一方面當(dāng)激光器在高功率內(nèi)腔倍頻運(yùn)轉(zhuǎn)下，可以克服非線性倍頻轉(zhuǎn)換損耗對激光器的影響、有效抑制振蕩基頻光偏振方向的改變，保證基頻光偏振方向穩(wěn)定、使激光器長期穩(wěn)定單向單頻運(yùn)轉(zhuǎn)。2.這種設(shè)計(jì)不需要在腔內(nèi)插入起偏元件，不僅使激光器結(jié)構(gòu)緊湊、降低了激光器調(diào)試的難度，而且減少了內(nèi)腔損耗、提高激光轉(zhuǎn)換效率?？傊?，本發(fā)明所設(shè)計(jì)的單頻內(nèi)腔倍頻激光器具有可長時(shí)間單頻穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)、激光偏振度高、光光轉(zhuǎn)化效率高、結(jié)構(gòu)緊湊，調(diào)節(jié)簡單等優(yōu)點(diǎn)，在科學(xué)研究、國防建設(shè)、生物醫(yī)療、信息產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。圖1是本發(fā)明激光晶體(2)以單面楔子狀方式切割的示意圖圖2是本發(fā)明激光晶體(2)以雙面楔子狀方式切割的示意圖圖3是本發(fā)明實(shí)施方式一激光二極管端面泵浦的"8"字環(huán)形腔連續(xù)單頻內(nèi)腔倍頻激光器光路示意圖圖4是本發(fā)明實(shí)施方式二激光二極管側(cè)面泵浦的六鏡環(huán)行腔脈沖單頻內(nèi)腔倍頻激光器光路示意圖圖5是本發(fā)明實(shí)施方式三激光二極管端面泵浦的"8"字環(huán)形腔高平均功率脈沖單頻內(nèi)腔倍頻激光器光路示意圖具體實(shí)施例方式實(shí)施方式一圖3所示一種激光二極管端面泵浦的"8"字環(huán)形連續(xù)單頻內(nèi)腔倍頻激光器，包括激光晶體2、由腔鏡(10、U、12、13)組成的激光諧振腔、泵浦源l、倍頻晶體5、法拉第旋轉(zhuǎn)器3、二分之一波片4和標(biāo)準(zhǔn)具6。所述的激光晶體2采用a軸切割Nd:YV04晶體，Nd:YV04晶體的一個(gè)通光面與晶體c軸成2度角切割形成單面楔子狀，Nd:YV04晶體的兩個(gè)通光面鍍1.064pm和808nrn雙減反膜；泵浦源1發(fā)出的泵浦光經(jīng)整形聚焦系統(tǒng)入射到放置在"8"字環(huán)形諧振腔中的Nd:YV04晶體2上；泵浦源1采用德國Limo公司生產(chǎn)的光纖耦合輸出的激光二極管，最大輸出功率為32W，中心波長為808nm與Nd:YV04晶體2的吸收帶重合；激光諧振腔由固定在殷鋼板基底上的第一平面鏡12、第二平面鏡13、第一平凹鏡10和第二平凹鏡ll構(gòu)成，第一平面鏡12向著泵浦源1的表面鍍有對泵浦光的減反膜，第一平面鏡12向著激光晶體2的表面鍍對泵浦光高透、基頻光高反膜；第二平面鏡13向著激光晶體2的表面鍍對基頻光高反膜；第一平凹鏡10的凹面鍍對基頻光高反膜；第二平凹鏡ll的凹面鍍對基頻光高反、對倍頻光高透膜，平面鍍對倍頻光高透膜；激光諧振腔內(nèi)的法拉第旋轉(zhuǎn)器3和二分之一波片4構(gòu)成光學(xué)單向器使激光器單頻運(yùn)轉(zhuǎn)；標(biāo)準(zhǔn)具6采用兩個(gè)通光面拋光的熔融石英片，用來和光學(xué)單向器復(fù)合選模；倍頻晶體5選用I類非臨界位相匹配的LBO晶體，該晶體放置在標(biāo)準(zhǔn)具6和第二平凹鏡11之間的光路中。通過調(diào)節(jié)激光諧振腔，使中心波長為1.064jmi、激光發(fā)射截面較大的7t偏振激光在激光諧振腔內(nèi)振蕩，而a偏振激光由于幾何損耗在激光諧振腔內(nèi)形不成振蕩。因此即使存在大的倍頻非線性轉(zhuǎn)換損耗，基頻光的偏振方向也不會因倍頻損耗而發(fā)生變化，有利于激光器穩(wěn)定單向單頻運(yùn)轉(zhuǎn)，提高激光的偏振度。偏振方向固定和偏振度的提高有利于環(huán)形腔激光器的長時(shí)間可靠工作。該激光器可達(dá)到如下技術(shù)指標(biāo)連續(xù)單頻532nm綠光激光輸出功率為6.5W，光-光轉(zhuǎn)化效率為23.2%，輸出綠光的偏振度大于500:1，激光器可長期穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)4小時(shí)以上、功率穩(wěn)定性小于±0.3%。實(shí)施方式二圖4所示一種激光二極管側(cè)面泵浦的六鏡環(huán)行腔脈沖單頻內(nèi)腔倍頻激光器，包括激光晶體2、由腔鏡(41、42、43、44、45、46)組成的激光諧振腔、泵浦源l、倍頻晶體5、法拉第旋轉(zhuǎn)器3和二分之一波片4、調(diào)Q元件7。所述的激光晶體2為a軸切割Nd:YLF晶體，Nd:YLF晶體的2個(gè)通光面分別與晶體b軸成5度角切割形成雙面楔子狀，晶體的兩個(gè)端面分別鍍1.053^im減反膜，Nd:YLF晶體2放置在六鏡環(huán)行諧振腔中；泵浦源由2組激光二極管陣列組成；諧振腔由固定在殷鋼板基底上的第一平面鏡41、第二平面鏡42、第三平面鏡43、第四平面鏡44、第一凹面鏡45和第二凹面鏡45構(gòu)成；第一平面鏡41向著激光晶體2的表面鍍對1.053fim激光高反膜；第二平面鏡42向著激光晶體2的表面鍍對1.053fim激光高反膜；第三平面鏡43和第四平面鏡44向著諧振腔內(nèi)的表面鍍對1.053|nm激光高反膜；第一凹面鏡45的凹面鍍對1.053itim激光高反膜；第二凹面鏡46的凹面鍍對1.053pm激光高反膜、對倍頻光高透膜，另一表面鍍對倍頻光高透膜；激光諧振腔內(nèi)的法拉第旋轉(zhuǎn)器3和二分之一波片4構(gòu)成光學(xué)單向器使激光器單頻運(yùn)轉(zhuǎn)；倍頻晶體5選用I類準(zhǔn)相位匹配PPLN晶體，該晶體放置在第一凹面鏡45和第二凹面鏡46之間的光路中。通過調(diào)節(jié)激光諧振腔，使中心波長為1.053pm、激光發(fā)射截面較小的ci偏振激光在激光諧振腔內(nèi)振蕩，而激光發(fā)射截面較大、中心波長為1.047pm的7t偏振激光則由于幾何損耗在激光諧振腔內(nèi)形不成振蕩。而且即使存在大的倍頻非線性轉(zhuǎn)換損耗，基頻光的偏振方向也不會因倍頻損耗而發(fā)生變化，有利于激光器穩(wěn)定單向單頻運(yùn)轉(zhuǎn)，提高激光的偏振度。激光器在連續(xù)單頻運(yùn)轉(zhuǎn)的基礎(chǔ)上，通過插入諧振腔內(nèi)的調(diào)Q元件7實(shí)現(xiàn)高重復(fù)率、高平均功率脈沖單頻倍頻526.5nm激光運(yùn)轉(zhuǎn)。實(shí)施方式三圖5所示一種激光二極管端面泵浦的"8"字環(huán)形脈沖單頻內(nèi)腔倍頻激光器，在實(shí)施方式一的基礎(chǔ)上，把調(diào)Q元件7放置在標(biāo)準(zhǔn)具6和第一平凹鏡IO之間的光路中。該激光器可實(shí)現(xiàn)高重復(fù)率、高平均功率脈沖單頻倍頻532nm激光運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)然，本發(fā)明的核心是用楔子狀激光晶體作為內(nèi)腔倍頻激光器的激光晶體。這種楔子狀激光晶體適用于任何用各向異性單軸晶體作為激光晶體的環(huán)形腔激光器設(shè)計(jì)中。同時(shí)，也可適用于駐波腔激光器的設(shè)計(jì)。權(quán)利要求1、一種單頻內(nèi)腔倍頻激光器，包括激光晶體(2)、由腔鏡組成的激光諧振腔、泵浦源(1)、內(nèi)腔倍頻晶體(5)、法拉第旋轉(zhuǎn)器(3)和二分之一波片(4)；其特征在于所述的激光晶體(2)為各向異性的單軸晶體，該晶體的兩個(gè)通光面沿一定角度切割形成非平行的楔子狀。2、根據(jù)權(quán)利要求l所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器，其特征在于包括標(biāo)準(zhǔn)具(6)，所述的標(biāo)準(zhǔn)具(6)放置在有基頻光通過，無倍頻光通過的光路中。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器，其特征在于包括調(diào)Q元件(7)，所述的調(diào)Q元件(7)放置在有基頻光通過，無倍頻光通過的光路中。4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單頻倍頻激光器，其特征在于包括標(biāo)準(zhǔn)具(6)和調(diào)Q元件(7)，它們放置在有基頻光通過，無倍頻光通過的光路中。5、根據(jù)權(quán)利要求l、2、3或4所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器，其特征在于所述的楔子狀激光晶體呈單面楔子狀或雙面楔子狀。6、根據(jù)權(quán)利要求l、2、3或4所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器，其特征在于所述的楔子狀激光晶體的楔角的角度是O.l度到晶體的內(nèi)全反射臨界角。7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器，其特征在于所述的楔子狀激光晶體的楔角的角度是0.55度。8、根據(jù)權(quán)利要求l、2、3或4所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器，其特征在于所述的激光諧振腔為由2個(gè)或2個(gè)以上的裝載在基座上的光學(xué)鏡片組成的環(huán)形諧振腔。9、根據(jù)權(quán)利要求l、2、3或4所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器，其特征在于所述的泵浦源是激光二極管或閃光燈。10、根據(jù)權(quán)利要求l、2、3或4所述的單頻內(nèi)腔倍頻激光器，其特征在于所述的泵浦源的泵浦方式是端面泵浦或側(cè)面泵浦；所述的泵浦源的數(shù)量是1個(gè)或1個(gè)以上。全文摘要本發(fā)明提供了一種單頻內(nèi)腔倍頻激光器，包括激光晶體(2)、由腔鏡組成的激光諧振腔、泵浦源(1)、內(nèi)腔倍頻晶體(5)、法拉第旋轉(zhuǎn)器(3)和二分之一波片(4)，所述的激光晶體(2)為各向異性的單軸晶體，晶體的兩個(gè)通光面沿一定角度切割形成非平行的楔子狀。由于楔子狀激光晶體的雙折射效應(yīng)，激光器以偏振激光(8)穩(wěn)定振蕩運(yùn)轉(zhuǎn)，與之垂直的偏振激光(9)則因幾何光學(xué)損耗被抑制。所設(shè)計(jì)的激光器還可以包括光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)具(6)、調(diào)Q元件(7)。本發(fā)明所設(shè)計(jì)的單頻內(nèi)腔倍頻激光器具有可長時(shí)間單頻穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)、激光偏振度高、光光轉(zhuǎn)化效率高、結(jié)構(gòu)緊湊，調(diào)節(jié)簡單等優(yōu)點(diǎn)，在科學(xué)研究、國防建設(shè)、生物醫(yī)療、信息產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。文檔編號H01S3/16GK101355224SQ20081007920公開日2009年1月28日申請日期2008年8月12日優(yōu)先權(quán)日2008年8月12日發(fā)明者張寬收,彭堃墀,鄭耀輝申請人:山西大學(xué);太原山大宇光科技有限公司