專利名稱：非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明與非晶硅膜的成形技術(shù)有關(guān)，特別是指一種非晶硅膜的批次成 形系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
按，近來由于能源短缺以及油價高漲的問題，使得替代能源受到廣泛 注意，而替代能源技術(shù)中，利用太陽能來產(chǎn)生電能的太陽能電池，即因為 其具有高環(huán)保性的特質(zhì)，而引起廣泛的注意并吸引了龐大的研發(fā)資源。
目前主流的非晶硅薄膜太陽能電池，其制造過程中的非晶硅薄膜是為 關(guān)鍵，目前普遍的制造方式，是由等離子體輔助化學氣相沉積法
(Plasma-Enhance Chemical Vapor Deposition, PECVD)來制造成形的。而非 晶硅薄膜主要是由p-a-Si:H、 i-a-Si:H、以及n-a-Si:H(即p-i-n)三層物質(zhì)所
沉積而成。
現(xiàn)今的p-i-n薄膜，在成形技術(shù)上，主要是將待沉積物(例如玻璃板) 水平設(shè)置于一腔體內(nèi)，再于該腔體內(nèi)依序成形出p層、i層、及n層薄膜， 完成后再向外移出該待沉積物。而此種成形方式，由于三層都是在同一腔 體內(nèi)成形，因此在變換沉積層的過程中，必須將該腔體內(nèi)的原氣體抽出， 再注入對應(yīng)沉積層的氣體，并控制好濃度后，才能開始下一次的氣相沉積。 此種方式造成工藝上的等待，薄膜成形的時間拉長，不利于快速生產(chǎn)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其各型的非晶
4硅薄膜是分開進行，可以此提高生產(chǎn)速度，且可一次多片以批次方式成形。 為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，包含有 至少一 p層成形腔，用以在一片狀物料上沉積一層非晶硅p型薄膜，
該p層成形腔具有可開啟/關(guān)閉的一密封門；
至少一 i層成形腔，用以在一片狀物料上沉積一層非晶硅i型薄膜，
該i層成形腔具有可開啟/關(guān)閉的一密封門；
至少一 n層成形腔，用以在一片狀物料上沉積一層非晶硅n型薄膜， 該n層成形腔具有可開啟/關(guān)閉的一密封門；
一共享真空腔，與該p層成形腔、該i層成形腔、以及該n層成形腔 相連，通過該些密封門的開啟/關(guān)閉來使該些成形腔與該共享真空腔內(nèi)部隔 離/相通；
一運輸裝置，位于該共享真空腔內(nèi)，具有一承載面，該運輸裝置可運 動而使該承載面分別運動至各該成形腔的密封門前方；以及
一載料車，位于該運輸裝置的承載面上，載運復數(shù)的片狀物料，該載 料車可由該承載面通過各該密封門而進入前述的各該成形腔內(nèi)，或由各該 成形腔內(nèi)退出至該承載面上。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中具有一p層成形腔、二i層 成形腔、以及一n層成形腔。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該些成形腔是依p、 i、 i、 n 的順序排列。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該些成形腔是呈直線排列， 且各該成形腔的密封門朝向同一方向。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該些成形腔是呈環(huán)狀排列， 且各該成形腔的密封門朝向該些成形腔所圍合的圓心。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該運輸裝置為一旋轉(zhuǎn)臺。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該些成形腔是兩兩相對排列，
5且相對的成形腔的密封門相對。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該運輸裝置為一運動臺車， 該承載面設(shè)于該運輸裝置的頂部。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該載料車內(nèi)的片狀物料呈直 立狀態(tài)，且相隔預定距離。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中包含有 一物料進出門，該物 料進出門設(shè)于該共享真空腔、該p層成形腔、以及該n層成形腔三者其中 之一。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中包含有 一入料門以及一出料 門，該入料門設(shè)于該p層成形腔而與外界發(fā)生隔離/相通的關(guān)系，該出料門 設(shè)于該n層成形腔而與外界發(fā)生隔離/相通的關(guān)系。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中包含有 一入料腔以及一出料 腔，該入料腔連接于該p層成形腔，且該p層成形腔與該入料腔之間設(shè)有 一密封門，該入料腔具有一入料門而與外界發(fā)生隔離/相通的關(guān)系；該出料 腔連接于該n層成形腔，且該n層成形腔與該出料腔之間設(shè)有一密封門， 該出料腔具有一出料門而與外界發(fā)生隔離湘通的關(guān)系。
所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中包含有 一以上的暫存腔，連
接于該共享真空腔，且該暫存腔具有一密封門而與該共享真空腔發(fā)生隔離 /相通的關(guān)系。
由上可知，本發(fā)明所可達成的功效在于
一、 可提高生產(chǎn)速度由各型的非晶硅薄膜分開進行，可使一種成形 腔只處理一種非晶硅膜，由此，可避免公知技術(shù)需要等待更換氣體的問題， 而可提高生產(chǎn)速度。
二、 可一次多片以批次方式成形由該些片狀物料以直立方式設(shè)置于、.
該載料車，且彼此間相隔預定距離，可在各該成形腔內(nèi)一次多片的進行對 應(yīng)型態(tài)的非晶硅薄膜，而由該運輸裝置來運輸該載料車至各該成形腔，而
6可達到批次的方式來成形的效果。
圖1是本發(fā)明第一較佳實施例的示意圖。
圖2是本發(fā)明第一較佳實施例的第一動作圖。
圖3是本發(fā)明第一較佳實施例的第二動作圖。
圖4是本發(fā)明第二較佳實施例的示意圖。
圖5是本發(fā)明第三較佳實施例的示意圖。
圖6是本發(fā)明第四較佳實施例的示意圖。
圖7是本發(fā)明第五較佳實施例的示意圖。 附圖中主要組件符號說明
IO非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)
llp層成形腔
13i層成形腔
15n層成形腔
12,14,16密封門
17共享真空腔
18物料進出門
181入料門
182出料門
21運輸裝置
22承載面
25載料車
27入料腔
28出料腔
29暫存腔291密封門
40非晶硅膜的批次成形系統(tǒng) 50非晶硅膜的批次成形系統(tǒng) 60非晶硅膜的批次成形系統(tǒng) 70非晶硅膜的批次成形系統(tǒng) 99片狀物料
具體實施例方式
本發(fā)明所提供的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，包含有至少一p層成形 腔，用以在一片狀物料上沉積一層非晶硅p型薄膜，該p層成形腔具有可 開啟/關(guān)閉的一密封門；至少一i層成形腔，用以在一片狀物料上沉積一層 非晶硅i型薄膜，該i層成形腔具有可開啟/關(guān)閉的一密封門；至少一n層 成形腔，用以在一片狀物料上沉積一層非晶硅n型薄膜，該n層成形腔具 有可開啟/關(guān)閉的一密封門； 一共享真空腔，與該p層成形腔、該i層成形 腔、以及該n層成形腔相連，通過該些密封門的開啟/關(guān)閉來使該些成形腔 與該共享真空腔內(nèi)部隔離/相通； 一運輸裝置，位于該共享真空腔內(nèi)，具有
一承載面，該運輸裝置可運動而使該承載面分別運動至各該成形腔的密封 門前方；以及一載料車，位于該運輸裝置的承載面上，載運復數(shù)的片狀物 料，該載料車可由該承載面通過各該密封門而進入前述的各該成形腔內(nèi)， 或由各該成形腔內(nèi)退出至該承載面上?？捎纱颂岣呱a(chǎn)速度，并可一次多 片以批次方式成形。
為了詳細說明本發(fā)明的技術(shù)特點所在，舉以下五較佳實施例并配合附 圖說明如后，其中
如圖l所示，本發(fā)明第一較佳實施例所提供的一種非晶硅膜的批次成 形系統(tǒng)IO，主要由一p層成形腔ll、 二i層成形腔13、 一n層成形腔15、 一共享真空腔17、 一運輸裝置21、以及一載料車25所組成，其中該p層成形腔11，用以在一片狀物料99(例如玻璃基板)上沉積一非晶
硅p型薄膜，該p層成形腔ll具有可開啟/關(guān)閉的一密封門12。
該二 i層成形腔13，用以在一片狀物料99上沉積一非晶硅i型薄膜， 各該i層成形腔13具有可開啟/關(guān)閉的一密封門14。
該n層成形腔15，用以在一片狀物料99上沉積一非晶硅n型薄膜， 該n層成形腔15具有可開啟/關(guān)閉的一密封門16。
該些成形腔11,13,15是依p、 i、 i、 n的順序排列，且于本實施例中， 該些成形腔11,13,15是呈直線排列，且各該成形腔11,13,15的密封門 12，14,16朝向同一方向。
該共享真空腔17，與該p層成形腔ll、該二i層成形腔13、以及該n 層成形腔15相連，通過該些密封門12,14,16的開啟/關(guān)閉來使該些成形腔 11,13,15與該共享真空腔17內(nèi)部隔離/相通，該共享真空腔17具有一物料 進出門18而與外界隔離/相通，用以供該運輸裝置21或該載料車25進出 用。
該運輸裝置21，為一運動臺車，位于該共享真空腔17內(nèi)，頂部具有 一承載面22，該運輸裝置21可運動而使該承載面22分別運動至各該密封 門12，14，16前方。
該載料車25，載運復數(shù)的片狀物料99，位于該運輸裝置21的承載面 22上，該些片狀物料99呈直立狀態(tài)，且相隔預定距離，該載料車25可由 該承載面22通過各該密封門12,14,16而進入前述的各該成形腔11,13,15 內(nèi)，或由各該成形腔11,13,15內(nèi)退出至該承載面22上。
本發(fā)明的操作狀態(tài)說明如下
如圖1所示，先將載滿片狀物料99的一載料車25置于該運輸裝置21 的承載面22上，且該運輸裝置21己移動至該p層成形腔ll,前方，且該 密封門12己開啟。
再如圖2所示，使該載料車25進入該p層成形腔11內(nèi)，該p層成形
9腔11即可進行等離子體輔助化學氣相沉積的工藝，而在該些片狀物料99 上沉積出預定厚度的一層非晶硅P型薄膜。
再如圖3所示，完成非晶硅p型薄膜的工藝后，即可使該載料車25 由該p層成形腔11內(nèi)退出而回到該運輸裝置21上，該運輸裝置21即再 載運該載料車25移動至該i層成形腔13，并依上述的方式進入該i層成形 腔13內(nèi)，而沉積出一層非晶硅i型薄膜(圖中未示)。
重復上述的方式，而在不同的成形腔11,13,15內(nèi)成形出所需的薄膜層， 即可完成所需的p-i-n非晶硅膜。
上述的成形腔11,13,15， i層成形腔13的所以要設(shè)置二個，主要是因 為在p-i-n非晶硅膜工藝中，i層的所需厚度較厚，需要較長時間來完成， 因此，設(shè)置二個或二個以上的i層成形腔13，有助于減少其它片狀物料99 的等待時間。
請再參閱圖4，本發(fā)明第二較佳實施例所提供的一種非晶硅膜的批次 成形系統(tǒng)40，主要概同于前述第一實施例，不同之處在于
以六個成形腔11,13,15呈環(huán)狀排列，而呈p、 i、 i、 n、 i、 i的順序依 序排列，且各該成形腔11,13,15的密封門12,14,16朝向該些成形腔11,13,15 所圍合的圓心。該共享真空腔17大致上呈圓形。該物料進出門18設(shè)于該 p層成形腔ll。
該運輸裝置21為一旋轉(zhuǎn)臺，頂面則為該承載臺22。
第二實施例在操作時，載料車25是由該承載臺22旋轉(zhuǎn)至應(yīng)進入的成 形腔11,13,15前，再進入該成形腔11,13,15內(nèi)，退出時即直接又退回至該 運輸裝置21上，再依該運輸裝置21旋轉(zhuǎn)改變方向即可再面對另一成形腔 11,13,15。
在進出料時，則是通過該物料進出門18進出該p層成形腔1、1來進行。 此外，該物料進出門18亦可設(shè)于該n層成形腔15，因設(shè)置狀況類同于圖 4所顯示的p層成形腔11的狀態(tài)，因此不再以圖標顯示及贅述。又，該運輸裝置21亦可為一運動臺車，同樣可產(chǎn)生如同旋轉(zhuǎn)臺的旋 轉(zhuǎn)效果。而運動臺車的形態(tài)已顯示于前述圖1至圖3，故不再以圖示表示。
第二實施例的其余結(jié)構(gòu)及操作方式均概同于前述第一實施例，容不再 予贅述。
再如圖5所示，本發(fā)明第三較佳實施例所提供的一種非晶硅膜的批次
成形系統(tǒng)50，主要概同于前述第二較佳實施例，不同之處在于
于該p層成形腔11設(shè)有一入料門181，而使該p層成形腔11與外界 發(fā)生隔離/相通的關(guān)系；于該n層成形腔15設(shè)有一出料門182，而使該n 層成形腔15與外界發(fā)生隔離/相通的關(guān)系。
由此，在入料時可由該入料門181進入至該p層成形腔11，出料時則 由該n層成形腔15經(jīng)由該出料門182送出。
本第三實施例的其余結(jié)構(gòu)及操作狀態(tài)均概同于前述第二實施例，容不 贅述。
請再參閱圖6，本發(fā)明第四較佳實施例所提供的一種非晶硅膜的批次 成形系統(tǒng)60，主要概同于前述第二實施例，不同之處在于 還包含有 一入料腔27、 一出料腔28、以及一暫存腔29。 該入料腔27連接于該p層成形腔11，且該p層成形腔11與該入料腔 27之間設(shè)有一密封門12，該入料腔27具有一入料門181而與外界發(fā)生隔 離/相通的關(guān)系。該出料腔28連接于該n層成形腔15，且該n層成形腔15 與該出料腔28連接于該n層成形腔15,且該n層成形腔15與該出料腔 28之間設(shè)有一密封門16，該出料腔28具有一出料門182而與外界發(fā)生隔 離/相通的關(guān)系。
該暫存腔29連接于該共享真空腔17，且該暫存腔29具有一密封門 291而與該共享真空腔17發(fā)生隔離/相通的關(guān)系。 j
由此，在入料時即由該入料門181進入至該入料腔27，再進入該p 層成形腔ll;而出料時則由該n層成形腔15先進入至該出料腔28，再由
ii該出料門182送出。該暫存腔29則是用來暫存該載料車25，可做為各個 成形腔11,13,15之間物料運送上的緩沖調(diào)撥使用。
第四實施例的其余結(jié)構(gòu)與操作方式均概同于前述第二實施例，容不贅述。
請再參閱圖7，本發(fā)明第五較佳實施例所提供的一種非晶硅膜的批次 成形系統(tǒng)70，主要概同于前述第一實施例，不同之處在于
以五個成形腔11,13,15，以兩兩相對以及一位于側(cè)邊的方式排列，且 相對的成形腔11,13,15的密封門12,14,16相對。此外，相對的成形腔 11,13,15彼此間相隔預定距離而可供該運輸裝置21移動通過。
第五實施例的其余結(jié)構(gòu)及操作方式概同于前述第一實施例，容不再予 贅述。
而第五實施例可由相對排列的方式減少該運動裝置21的移動路徑， 達到省時的效果。
權(quán)利要求
1、一種非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，包含有至少一p層成形腔，用以在一片狀物料上沉積一層非晶硅p型薄膜，該p層成形腔具有可開啟/關(guān)閉的一密封門；至少一i層成形腔，用以在一片狀物料上沉積一層非晶硅i型薄膜，該i層成形腔具有可開啟/關(guān)閉的一密封門；至少一n層成形腔，用以在一片狀物料上沉積一層非晶硅n型薄膜，該n層成形腔具有可開啟/關(guān)閉的一密封門；一共享真空腔，與該p層成形腔、該i層成形腔、以及該n層成形腔相連，通過該些密封門的開啟/關(guān)閉來使該些成形腔與該共享真空腔內(nèi)部隔離/相通；一運輸裝置，位于該共享真空腔內(nèi)，具有一承載面，該運輸裝置可運動而使該承載面分別運動至各該成形腔的密封門前方；以及一載料車，位于該運輸裝置的承載面上，載運復數(shù)的片狀物料，該載料車可由該承載面通過各該密封門而進入前述的各該成形腔內(nèi)，或由各該成形腔內(nèi)退出至該承載面上。
2、 依據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中具有一 p層成形腔、二i層成形腔、以及一n層成形腔。
3、 依據(jù)權(quán)利要求2所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該些成 形腔是依p、 i、 i、 n的順序排列。
4、 依據(jù)權(quán)利要求2所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該些成 形腔是呈直線排列，且各該成形腔的密封門朝向同一方向。
5、 依據(jù)權(quán)利要求2所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該些成 形腔是呈環(huán)狀排列，且各該成形腔的密封門朝向該些成形腔所圍合的圓 心。
6、 依據(jù)權(quán)利要求5所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該運輸 裝置為一旋轉(zhuǎn)臺。
7、 依據(jù)權(quán)利要求2所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該些成 形腔是兩兩相對排列，且相對的成形腔的密封門相對。
8、 依據(jù)權(quán)利要求4或5或7所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該運輸裝置為一運動臺車，該承載面設(shè)于該運輸裝置的頂部。
9、 依據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中該載料 車內(nèi)的片狀物料呈直立狀態(tài)，且相隔預定距離。
10、 依據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中包含有 一物料進出門，該物料進出門設(shè)于該共享真空腔、該p層成形腔、以及該n層成形腔三者其中之一。
11、 依據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中包含有 一入料門以及一出料門，該入料門設(shè)于該p層成形腔而與外界發(fā)生隔離/相通的關(guān)系，該出料門設(shè)于該n層成形腔而與外界發(fā)生隔離/相通的關(guān)系。
12、 依據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中包含有一入料腔以及一出料腔，該入料腔連接于該p層成形腔，且該p層成形腔 與該入料腔之間設(shè)有一密封門，該入料腔具有一入料門而與外界發(fā)生隔離/相通的關(guān)系；該出料腔連接于該n層成形腔，且該n層成形腔與該出料腔 之間設(shè)有一密封門，該出料腔具有一出料門而與外界發(fā)生隔離/相通的關(guān) 系。
13、 依據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，其中包含有 一以上的暫存腔，連接于該共享真空腔，且該暫存腔具有一密封門而與該 共享真空腔發(fā)生隔離/相通的關(guān)系。
全文摘要
一種非晶硅膜的批次成形系統(tǒng)，包含有至少一p層成形腔，具有可開啟/關(guān)閉的一密封門；至少一i層成形腔，具有可開啟/關(guān)閉的一密封門；至少一n層成形腔，具有可開啟/關(guān)閉的一密封門；一共享真空腔，與該些成形腔相連；一運輸裝置，具有一承載面，該承載面可分別運動至各該密封門前方；以及一載料車，載運復數(shù)的片狀物料，該載料車可由該承載面通過各該密封門而進入前述的各該成形腔內(nèi)，或由各該成形腔內(nèi)退出至該承載面上，可由此提高生產(chǎn)速度，并可一次多片以批次方式成形。
文檔編號H01L21/00GK101488443SQ200810002658
公開日2009年7月22日 申請日期2008年1月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月14日
發(fā)明者葉公旭, 黃明鴻 申請人:東捷科技股份有限公司