專利名稱：測試分選機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測試分選機(testhandler),更具體地講，涉及一種用于打 開測試托盤的插入件(insert)的插入件打開設(shè)備。
通常，測試分選機是這樣一種設(shè)備，其允許測試器測試通過特定的制造 工藝制造的半導(dǎo)體裝置，根據(jù)測試結(jié)果將半導(dǎo)體裝置分類，并將半導(dǎo)體裝置 裝載到用戶托盤上。已經(jīng)在很多出版物文獻(xiàn)中公開了測試分選機。
圖1是傳統(tǒng)測試分選機100的透視圖?，F(xiàn)在，將簡單地描述傳統(tǒng)測試分 選機100的主要元件。
如圖1所示，傳統(tǒng)測試分選機100包括裝載設(shè)備110、浸泡室120、測試 室130、解除浸泡室140、卸載設(shè)備150、兩個插入件打開設(shè)備160a和160b 以及兩個狀態(tài)改變設(shè)備170a和170b。以下，將更加詳細(xì)地描述測試分選機 100的每個元件。
裝載設(shè)備110將裝載在用戶托盤10a上的半導(dǎo)體裝置傳遞并裝載到位于 裝載位置的測試托盤lla上。
浸泡室120具有用于預(yù)加熱/預(yù)冷卻裝載在測試托盤上的半導(dǎo)體裝置的溫 度環(huán)境。浸泡室120接收通過裝載設(shè)備110完成半導(dǎo)體裝置的裝載的測試托 盤。當(dāng)測試托盤進入到浸泡室120中后，緊接著被傳遞到測試室130,保持 其豎直狀態(tài)。為了傳遞，裝載在測試托盤上的半導(dǎo)體裝置被充分地預(yù)加熱/預(yù) 冷卻。
測試室130被安裝在測試分選機中，其中，測試器(未顯示)測試從浸泡 室120傳遞來的裝載在兩個測試托盤llb和llc上的半導(dǎo)體裝置。為此，測 試室130具有用于測試半導(dǎo)體裝置的溫度環(huán)境。
解除浸泡室140(或者"恢復(fù)室")將已被加熱或者冷卻的半導(dǎo)體裝置恢復(fù)
到室溫。
卸載設(shè)備150將從解除浸泡室140出來的在測試托盤上的半導(dǎo)體裝置分
背景技術(shù)：
類，并將半導(dǎo)體裝置傳遞并卸載到用戶托盤10b上(卸載步驟)。
這里，裝載設(shè)備110或者卸載設(shè)備150包括至少一個拾取放置設(shè)備(未顯 示)，所述拾取放置設(shè)備用于拾取或者撤回裝載在用戶托盤或者測試托盤上的 半導(dǎo)體裝置，并用于將半導(dǎo)體裝置提供給用戶托盤或者測試托盤。例如，在 裝載操作中，拾取放置設(shè)備從用戶托盤拾取并撤回半導(dǎo)體裝置，然后將它們 提供給測試托盤。在卸載操作中，拾取放置設(shè)備從測試托盤拾取和撤回半導(dǎo) 體裝置，然后將它們提供給分揀臺(未顯示)，或者將它們從分揀臺提供到用戶 托盤。
兩個插入件打開設(shè)備160a和160b分別打開按照矩陣形式布置在對應(yīng)地 位于所述插入件打開設(shè)備160a和160b上側(cè)的上方的測試托盤lla和lib中
狀態(tài)改變設(shè)備170a將其上裝載有半導(dǎo)體裝置的水平狀態(tài)的測試托盤lla 改變?yōu)樨Q直狀態(tài)。狀態(tài)改變設(shè)備170a將從解除浸泡室140傳遞來的豎直狀態(tài) 的測試托盤改變?yōu)樗綘顟B(tài)。
下面將更加詳細(xì)地描述在測試分選4幾100中的測試-托盤的狀態(tài)改變。 首先，空的測試托盤位于裝載設(shè)備110的下側(cè)，例如測試托盤lla。在 將半導(dǎo)體裝置裝載到空的測試托盤上之后，測試托盤被傳遞到位于裝載設(shè)備
110的后側(cè)的狀態(tài)改變設(shè)備170a，然后進行狀態(tài)改變。隨后，測試托盤被傳 遞到浸泡室120。在這之后，測試托盤被傳遞到浸泡室120的后側(cè)，然后進 入到測試室130。在測試室130中，按照上下兩行(或者一行)水平地傳遞測試 托盤。這里，在測試托盤上的半導(dǎo)體裝置通過位于測試室130的中部的測試 器(未顯示)被測試。在通過解除浸泡室140向前傳遞后，豎直狀態(tài)的測試托盤 被供應(yīng)到位于卸載裝置150后側(cè)的狀態(tài)改變設(shè)備170b。狀態(tài)改變設(shè)備170b 將測試托盤的豎直狀態(tài)改變成水平狀態(tài)。被改變?yōu)樗綘顟B(tài)的測試托盤被傳 遞到卸載設(shè)備150,從而卸載半導(dǎo)體狀態(tài)。在裝載之后，測試托盤被傳遞到 裝載設(shè)備110下面。這樣，測試托盤連續(xù)地執(zhí)行上述過程以測試裝載在該測
試托盤上的半導(dǎo)體裝置。
在將半導(dǎo)體裝置裝載到按照矩陣形式排列的插入件上后，測試托盤被專
遞、改變狀態(tài)并被測試。為了完成這些操作，插入件必須具有穩(wěn)定地接收半 導(dǎo)體裝置的機械構(gòu)造。已經(jīng)在由本申請的申請人提交的第10-0486412號題為 "TEST TRAY INSERT OF TEST HANDLER (測試分選才幾的測試4乇盤插入
件)"的韓國專利(以下，稱為"引用申請，，)中公布了這種構(gòu)造。如引用申請
中所公開的，插入件被構(gòu)造成包括外殼，用于接納半導(dǎo)體裝置； 一對止動 件，用于當(dāng)止動件旋轉(zhuǎn)時打開插入件以釋放在外殼的兩端的插入件； 一對鎖 扣，被壓縮彈簧彈性地支撐，用于防止止動件旋轉(zhuǎn)和直線運動。因此，只要 鎖扣不克服壓縮彈簧的彈力并直線運動以釋放止動件，即，只要插入件沒有 被打開，則半導(dǎo)體裝置就不能被外殼接納和從外殼分離開。
但是，當(dāng)裝載設(shè)備110執(zhí)行這種裝載時，插入件必須被打開，以允許外 殼穩(wěn)定地接納半導(dǎo)體裝置。此外，當(dāng)卸載設(shè)備150執(zhí)行這種卸載時，插入件 必須被打開，以將半導(dǎo)體裝置從外殼分離。因此，為了打開插入件，兩個插 入件打開設(shè)備160a和160b(每個對應(yīng)地位于裝載設(shè)備110和卸載設(shè)備150的 下側(cè))需要操作鎖扣，以釋放止動件，其中，測試托盤lla位于插入件打開設(shè) 備160a和裝載設(shè)備110之間，測試托盤lld位于插入件打開設(shè)備160b和卸 載設(shè)備150之間。
圖2是示出傳統(tǒng)的插入件打開設(shè)備(160a或者160b)的示意性透視圖。 傳統(tǒng)的插入件打開設(shè)備(160a或者160b)包括底座161;底座汽缸162, 用于朝著測試托盤直線傳遞底座161;四個打開單元163a、163b、163c和163d, 這些打開單元在測試托盤的方向上按照2x2矩陣形式安裝在底座161上。四 個打開單元163a、 163b、 163c和163d對應(yīng)地包括:板打開件163a陽l、 163b-l、 163c-l和163d-l，每個板打開件占據(jù)測試托盤的所述四分之一并且按照2x8 矩陣形式排列多對打開銷163-1，所述板打開件163a-l、 163b-l、 163c-l和 163d-l —體地形成，其中，板打開件163a-l(例如)同時打開分配給其的四分 之一區(qū)域中的插入件；上升/下降汽缸163a-2和163c-2,用于朝著測試托盤直 線地傳遞板打開件163a-l、 163b-l、 163c-l和163d-l。這里，板打開件如引 用申請中的"位置確定單元"中所述。另一方面，圖2沒有顯示用于直線傳 遞板打開件163b-l和163d-l的上升/下降汽缸。
以下是對圖2中所示的傳統(tǒng)的插入件打開設(shè)備160a和160b的操作的描述。
首先，底座汽缸162將底座161傳遞為靠近測試托盤，以確保打開單元 163a、 163b、 163c和163d的打開操作需要的距離。在此之后，四個打開單元 163a、 163b、 163c和163d中的任意一個(例如，打開單元163a)操作以打開按 照對應(yīng)于打開單元163a的四分之一區(qū)域中排列的插入件。例如，當(dāng)上升/下
降汽缸163a-2朝著測試托盤傳遞板打開件163a-l時，板打開件163a-l的成 對的打開銷163-1推動安裝在每個插入件中的成對的鎖扣并直線地傳遞所述 成對的鎖扣，以使成對的止動件旋轉(zhuǎn)，從而打開插入件。
這樣，四個打開單元163a、 163b、 163c和163d的每個分別打開排列在 測試托盤的1/4區(qū)域中排列的16個插入件，從而可以打開排列在測試托盤的 全部區(qū)域中的所有插入件。更具體地講，四個打開單元163a、 163b、 163c和 163d按照如下順序操作例如，打開單元163a打開排列在被分配給它的測試 托盤的四分之一區(qū)域中的插入件，在半導(dǎo)體裝置被裝載在打開的插入件或者 與打開的插入件分離之后關(guān)閉插入件；然后，打開單元163b打開排列在被分 配給它的測試托盤的另 一四分之一 區(qū)域中的插入件等。
這樣，打開單元163a、 163b、 163c和163d順序4喿作，從而對測試托盤 不會施加相當(dāng)大的力(相當(dāng)大的力可能會引起測試托盤彎曲)。更具體地講，當(dāng) 四個打開單元同時操作時，會對測試托盤施加相當(dāng)大的力，當(dāng)長時間保持這
種大的力施加狀態(tài)時，測試托盤會彎曲。同時，為了快速處理和響應(yīng)速度， 包括裝載設(shè)備110和卸載設(shè)備150的拾取放置設(shè)備應(yīng)該被構(gòu)造得較輕。因此， 拾取放置設(shè)備通常被構(gòu)造成拾取并僅傳遞16個半導(dǎo)體裝置。因此，由于與拾 取放置設(shè)備的一次處理能力相呼應(yīng)的所述插入件被打開已足夠，所以僅與一 次處理能力對應(yīng)的一定數(shù)量的插入件被順序打開。因此，施加到測試托盤上 的力能夠被最小化，以防止測試托盤彎曲。
另 一方面，測試分選機趨向于發(fā)展成一次測試更多數(shù)量的半導(dǎo)體裝置。 目前，通常使用排列32或者64個插入件的測試托盤，但是，近來，已經(jīng)研 發(fā)出具有128或者160個插入件的大尺寸測試托盤，并且將在市場上銷售。
但是，由于結(jié)構(gòu)限制，拾取放置設(shè)備仍然僅具有最多測試16個插入件的 能力。因此，在當(dāng)使用大尺寸測試托盤時應(yīng)當(dāng)安裝8或者IO個打開單元的情 況下，測試分選;f幾的產(chǎn)品成本會增加。
此外，當(dāng)改變將要測試的半導(dǎo)體裝置的類型或者新類型的測試器被應(yīng)用 于測試分選機時，必須更換測試托盤。在這種情況下，需要做額外的工作， 例如調(diào)節(jié)一對打開銷之間的距離。因此，應(yīng)當(dāng)分別更換所有的打開單元等。 當(dāng)在大尺寸的測試托盤上安裝8個或者IO個打開單元時，這種更換工作需要 很長時間，并且增加了更換成本，從而導(dǎo)致資源浪費。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題
因此，鑒于上述問題，提出本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的在于提供這樣一
種測試分選機，其中，該測試分選機可按照以下方式操作打開排列在測試 托盤的一部分中的插入件，然后運動到測試托盤的另一部分，并打開排列在 那的插入件。 技術(shù)方案
根據(jù)本發(fā)明，上述目的可以通過提供一種測試分選機來實現(xiàn)，該測試分 選機包括測試托盤，多個插入件排列在所述測試托盤的一側(cè)上，這里，每 個插入件上能夠裝載有至少一個半導(dǎo)體裝置；至少一個打開單元，用于打開 測試托盤所述一側(cè)的一部分上的插入件；位置改變設(shè)備，用于使所述至少一 個打開單元按照所述至少一個打開單元可位于測試托盤所述一側(cè)的另一部分 的方式運動，從而所述至少一個打開單元打開在測試托盤所述一側(cè)的另一部 分上的插入件。
優(yōu)選地，所述測試分選機還可包括拾取放置設(shè)備，所述拾取放置設(shè)備用 于將半導(dǎo)體裝置裝載到測試托盤上，或者從測試托盤拾取半導(dǎo)體裝置。這里，
位置改變設(shè)備不取決于拾取放置設(shè)備來使所述至少 一個打開單元運動。
優(yōu)選地，半導(dǎo)體裝置被裝載到水平狀態(tài)的測試托盤上或者從水平狀態(tài)的
測試托盤上被拾取。此外，所述至少一個打開單元水平地運動。
優(yōu)選地，所述打開單元可包括打開件，用于接觸測試托盤所述一側(cè)的
所述一部分上的插入件并打開所述插入件；直線運動設(shè)備，用于使打開件朝
著所述插入件運動，以使得打開件可接觸所述插入件。 優(yōu)選地，所述直線運動設(shè)備是汽缸。
優(yōu)選地，位置改變設(shè)備可包括驅(qū)動源，用于產(chǎn)生使所述至少一個打開 單元運動所需要的驅(qū)動力；驅(qū)動力傳遞設(shè)備，用于將驅(qū)動力從驅(qū)動源傳遞到 所述打開單元。
優(yōu)選地，所述驅(qū)動源是電才幾。
優(yōu)選地，所述驅(qū)動力傳遞設(shè)備可包括絲杠，根據(jù)電機的操作正向或者 反向旋轉(zhuǎn)；內(nèi)置螺母，套在絲杠上，根據(jù)絲杠的旋轉(zhuǎn)沿著絲杠的軸線直線運 動，并被結(jié)合到打開單元上。
優(yōu)選地，所迷打開單元集成為可拆卸地結(jié)合到驅(qū)動力傳遞設(shè)備上的模塊。
優(yōu)選地，所述測試分選機還可包括底座，用于通過位置改變設(shè)備支撐 打開單元，其中，位置改變設(shè)備安裝在底座上；驅(qū)動器，用于使底座朝著測 試托盤直線運動，以選擇性地確保所述打開單元的打開操作所需要的距離。
優(yōu)選地，所述驅(qū)動器是汽缸。
有益效果
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的插入件打開設(shè)備按照以下方式被操作與排列 在測試托盤上的插入件的一部分對應(yīng)的至少一個打開單元順序地運動，測試 托盤的所有插入件通過所述打開單元被處理。因此，本發(fā)明可以減少安裝數(shù) 量，從而降低生產(chǎn)成本。此外，本發(fā)明可以降低由于替換工作而造成的維修 成本。另外，由于多個打開單元通過安裝板被集成為模塊，從而該模塊能夠 可拆卸地結(jié)合到導(dǎo)向塊和連接鎖，可以容易地執(zhí)行測試托盤的更換，從而縮 短更換的工作時間。而且，本發(fā)明可以方^i也應(yīng)用于各種類型的測試器。


將參照附圖進行詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述目的、特點和其它優(yōu)點將會更 容易理解，其中
圖1是傳統(tǒng)測試分選機的透視圖2是應(yīng)用于圖1的傳統(tǒng)測試分選機的插入件打開設(shè)備的透視圖； 圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例的插入件打開設(shè)備的透視圖； 圖4是圖3的插入件打開設(shè)備的俯視圖； 圖5是圖3的插入件打開設(shè)備的左視圖； 圖6是圖3的插入件打開設(shè)備的主視圖7至圖IO是描述圖3的插入件打開設(shè)備的操作狀態(tài)的透視圖。
附圖中標(biāo)號的簡單描述
300:插入件打開設(shè)備
31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f:打開單元
31a國l、 31b-l、 31c-l、 31d-l、 31e-l和31f-l:打開件
31a-2、 31b國2、 31c-2、 31d-2、 31e-2和31f-2:上升/下降汽缸
31-1: —對打開銷
32:位置改變設(shè)備
32a:電機
32b:絲杠 32c:旋轉(zhuǎn)皮帶 32d:內(nèi)置螺母 33:底座 34:底座汽缸 35:安裝板
36: 連接鎖(coupling block)
具體實施例方式
以下將參照附圖詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的測試分選才幾的插入件打開設(shè)備 (以下，稱為打開設(shè)備)的優(yōu)選實施例。
圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例的打開設(shè)備300的透視圖。圖4是圖3的打開 設(shè)備300的俯視圖。圖5是圖3的打開設(shè)備300的左視圖。圖6是圖3的打 開設(shè)備300的主視圖。
參照圖3,打開設(shè)備300被構(gòu)造為包括6個打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f、位置改變設(shè)備32、底座33、底座汽缸34、安裝板35和如圖5所 示的連接鎖36。
6個打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f用于分別打開排列在測試 托盤的區(qū)域的各部分上的插入件。6個打開單元包括打開件31a-l、 31b-l、 31c-l、 31d-l、 31e-l和31f-l和相應(yīng)的上升/下降汽缸31a-2、 31c-2和31e-2。
打開件31a-l、 31b-l、 31c-l、 31d-l、 31e-l和31f隱l朝著測試托盤直線 運動。打開件31a-l、 31b陽l、 31c-l、 31d-l、 31e-l和31f-l包括成對的打開銷 31-1，所述成對的打開銷31-1通過使在它們面對測試托盤的表面上的插入件 的成對的鎖扣直線地運動來打開插入件。這里，如圖3和圖4所示，打開件 31a-l、 31b-l、 31e-l和31f-l的每個包括用于打開16個插入件的16對打開 銷31-1。此外，打開銷31c-l和31d-l都包括用于打開8個插入件的8對打開 銷31-1。
上升/下降汽缸31a-2、 31c-2和31e-2安裝在安裝板35的上表面上，并 與安裝板35—起運動。上升/下降汽缸31a-2、 31c-2和31e-2能夠使對應(yīng)的打 開件31a-l、 31c-l和31e-l朝著測試托盤直線運動。這里，在圖3中沒有表 示能夠使各個打開件31b-l、 31d-l和31f-l朝著測試托盤直線運動的上升/下
降汽缸。
位置改變設(shè)備32被構(gòu)造成使6個打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和 31f沿著測試托盤的接觸表面(指的是圖3中箭頭AB的方向)運動，從而改變 它們的位置。位置改變設(shè)備32包括具有驅(qū)動皮帶輪32a-l的電機32a、具有 從動皮帶輪32b-l的絲杠32b、旋轉(zhuǎn)皮帶32c、如圖5所示的內(nèi)置螺母32d、 一對導(dǎo)軌32e和一對導(dǎo)向塊32f等。
如圖6所示，電機32a通過電機支架32a-2固定地安裝在底座33上。電 機32a用作提供驅(qū)動力的驅(qū)動源，以使得打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e 和31f可以沿著測試托盤的面對打開單元的表面(指的是圖3中箭頭AB的方 向)運動。因此，電機32a可以正向和反向旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選地，電機32a通過步進 電機或者伺服電機來實現(xiàn)，從而容易地控制打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f的位置。
絲杠32b通過電才幾32a旋轉(zhuǎn)。絲杠32b與6個打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f的運動方向平行地布置。絲杠32b通過位于其兩端的軸承座 32b-2和32b-3被可旋轉(zhuǎn)地固定到底座33上。
旋轉(zhuǎn)皮帶32c被構(gòu)造成將電機32a的旋轉(zhuǎn)力從驅(qū)動皮帶輪32a-l傳遞到 從動皮帶輪32b-l。
內(nèi)置螺母32d被套在絲杠32b上，并且同時通過連接鎖36被結(jié)合到安裝 板35上，從而當(dāng)絲杠32b旋轉(zhuǎn)時打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f 可以沿著測試托盤的面對打開單元的表面直線運動。也就是說，內(nèi)置螺母32d 起到將絲杠32b的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為直線運動的設(shè)備的作用。因此，絲杠32b、 旋轉(zhuǎn)皮帶32c和內(nèi)置螺母32d —起起到將電機32a的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為直線運 動并將其傳遞到打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f的驅(qū)動力傳遞設(shè)備 的作用。
所述一對導(dǎo)軌32e安裝在底座33的兩端的位置上，其安裝方式為，導(dǎo)軌 與打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f的運動方向平行。
所述一對導(dǎo)向塊32f分別在它們下部可滑動地結(jié)合到所述一對導(dǎo)軌32e。 此外，所述一對導(dǎo)向塊32f在它們上部結(jié)合到安裝板35。
這里，雖然根據(jù)本發(fā)明的位置改變設(shè)備32按照這種方式，即，電機利用 旋轉(zhuǎn)皮帶將其旋轉(zhuǎn)運動傳遞給絲杠以改變打開單元的位置，被實現(xiàn)，但是應(yīng) 該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以進行各種改變，從而電才幾可以直接使絲杠旋轉(zhuǎn)，
或者可以用汽缸代替不使用旋轉(zhuǎn)皮帶的電機和與此相關(guān)的其它部件作為驅(qū)動源等。
底座33用于支撐上述元件，并允許它們朝著測試托盤直線運動。特別是， 電機32a、絲杠32b和導(dǎo)軌32e等安裝在底座33上。底座33通過導(dǎo)向塊32f 和連接鎖36支撐安裝板35,從而支撐安裝在安裝板35上的打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f。
底座汽缸34用于使底座33上升或者下降，以選擇性地確保打開單元 31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f打開測試托盤的插入件所需要的操作距離。
此外，安裝板35形成為板狀，上升/下降汽缸31a-2、 31c-2和31e-2按 照2x3矩陣形式固定地安裝在安裝板35的上側(cè)，連接鎖36和導(dǎo)向塊32f可 拆卸地結(jié)合到安裝板35的下側(cè)。也就是說，由于打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f通過安裝板35集成為模塊，所以當(dāng)安裝板35從連接鎖36和 導(dǎo)向塊32f運動或者分離時，打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f也與 安裝板25 —起運動或者分離。
連接鎖36被構(gòu)造成將內(nèi)置螺母32d結(jié)合到安裝板35上。
因此，當(dāng)電機32a旋轉(zhuǎn)時，絲杠32b旋轉(zhuǎn)，這能使內(nèi)置螺母32d直線運 動。然后，通過連接鎖36結(jié)合到內(nèi)置螺母32d上的安裝板35也運動。因此， 在安裝板35上的6個打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f也運動。
以下，參照圖3、圖7、圖8、圖9和圖IO描述根據(jù)本發(fā)明的打開設(shè)備 的操作。
首先，測試托盤(未顯示)被傳遞并位于如圖3所示的打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f之上。然后，底座汽缸34將底座33提升到特定高度， 以確保打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f寺丸行打開沖乘作所需要的距離， 如圖7所示。這樣，如圖7所示，安裝在底座33上的位置改變設(shè)備32和安 裝板35也與底座33 —起被提升到所述特定高度，安裝在安裝板35上的打開 單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f也被提升到相同的高度。
之后，如圖8所示，打開單元31a按照以下方式被操作當(dāng)上升/下降汽 缸31a-2朝著測試托盤提升打開件31a-l時，打開件31a-l的16對打開銷提 升對應(yīng)的插入件對數(shù)的鎖扣，從而打開插入件。在這種狀態(tài)下，拾取放置設(shè) 備從而將被夾持的16個半導(dǎo)體裝置供應(yīng)到打開的16個插入件中，這叫做裝 載。(另一方面，拾取放置設(shè)備通過拾取裝載在插入件上的16個半導(dǎo)體裝置
來執(zhí)行卸載。)在完成裝載后，上升/下降汽缸31a-2降低打開件31a-l,從而 關(guān)閉插入件。
之后，與打開單元31a相關(guān)的操作一樣，打開單元31b按照如下方式操 作上升/下降汽缸31b-2(未顯示)提升打開件31b-l;打開件31b-l可打開插 入件。
同樣，其余的打開單元31c、 31d、 31e和31f"t喿作，以打開相應(yīng)的插入件。
在打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f完成操作之后，電機32a 操作以使絲杠32b旋轉(zhuǎn)。根據(jù)絲杠32b的旋轉(zhuǎn)，在測試托盤處于水平狀態(tài)的 情況下，安裝板35沿著圖3中所示的箭頭B的方向水平運動特定距離，處于 圖9所示的位置。
在圖9所示的狀態(tài)下，打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f按照 打開相應(yīng)的插入件然后關(guān)閉它們的方式順序操作，操作方式與先前描述的操 作操作相同。當(dāng)所有的打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f在圖9所示 的狀態(tài)完成它們的操作時，電機32a操作，使安裝板35位于圖10所示的位置。
在圖IO所示的狀態(tài)下，僅打開單元31b、 31d和31f相繼操作，執(zhí)行沒
有完成它們的操作的其余的插入件的操作。
因此，順序地執(zhí)行測試托盤上的所有插入件的打開操作。
當(dāng)完成圖10中所示狀態(tài)的所有操作時，電機32a反轉(zhuǎn)，底座汽缸34操
作使底座33降低先前被提升的高度，從而使插入件打開設(shè)備恢復(fù)到圖3所示
的狀態(tài)。
同時，當(dāng)因為將要測試的半導(dǎo)體裝置的尺寸與給定的半導(dǎo)體裝置的尺寸 不同而要將當(dāng)前的測試托盤用另 一個測試托盤替換時，根據(jù)本發(fā)明的插入件 打開設(shè)備按照以下方式使替換工作簡單化安裝板35與連接鎖36和導(dǎo)向塊 32f分離，然后將具有與替換托盤的打開單元對應(yīng)的另一個安裝板重新安裝到 連接鎖36和導(dǎo)向塊32f上。
人員將理解，在不脫離由權(quán)利要求公開的本發(fā)明的范圍和精神的情況下，可 以進行各種修改、添加和替換。 工業(yè)實用性
根據(jù)本發(fā)明的測試分選機可以被應(yīng)用于測試被制造的半導(dǎo)體裝置的系統(tǒng)。
權(quán)利要求
1、一種測試分選機，包括測試托盤，多個插入件排列在所述測試托盤的一側(cè)上，其中，在每個插入件上能夠裝載至少一個半導(dǎo)體裝置；至少一個打開單元，用于打開測試托盤所述一側(cè)的一部分上的插入件；位置改變設(shè)備，用于使所述至少一個打開單元按照所述至少一個打開單元能夠位于測試托盤所述一側(cè)的另一部分的方式運動，從而所述至少一個打開單元能夠打開在測試托盤所述一側(cè)的所述另一部分上的插入件。
2、 如權(quán)利要求1所述的測試分選機，還包括拾取放置設(shè)備，所述拾取放 置設(shè)備用于將半導(dǎo)體裝置裝載到測試托盤上，或者從測試托盤拾取半導(dǎo)體裝 置，其中，位置改變設(shè)備不取決于拾取放置設(shè)備來使所述至少一個打開單元運動。
3、 如權(quán)利要求1所述的測試分選機，其中半導(dǎo)體裝置被裝載到水平狀態(tài)的測試托盤上或者從水平狀態(tài)的測試托盤 上被拾??；所述至少 一個打開單元水平地運動。
4、 如權(quán)利要求1所述的測試分選機，其中，所述打開單元包括 打開件，用于接觸測試托盤所述一側(cè)的所述一部分上的插入件并打開所述插入件；直線運動設(shè)備，用于使打開件朝著所述插入件運動，以使得打開件能夠 接觸所述插入件。
5、 如權(quán)利要求4所述的測試分選機，其中，所述直線運動設(shè)備是汽缸。
6、 如權(quán)利要求1所述的測試分選機，其中，位置改變設(shè)備包括 驅(qū)動源，用于產(chǎn)生使所述至少一個打開單元運動所需要的驅(qū)動力； 驅(qū)動力傳遞設(shè)備，用于將驅(qū)動力從驅(qū)動源傳遞到所述打開單元。
7、 如權(quán)利要求6所述的測試分選機，其中，所述驅(qū)動源是電機。
8、 如權(quán)利要求7所述的測試分選機，其中，所述驅(qū)動力傳遞設(shè)備包括 絲杠，根據(jù)電機的操作正向或者反向旋轉(zhuǎn)；內(nèi)置螺母，套在絲杠上，根據(jù)絲杠的旋轉(zhuǎn)沿著絲杠的軸線直線運動，并 被結(jié)合到打開單元上。
9、 如權(quán)利要求6所述的測試分選機，其中，所述打開單元集成為可拆卸 地結(jié)合到驅(qū)動力傳遞設(shè)備上的模塊。
10、 如權(quán)利要求1所述的測試分選機，還包括底座，用于通過位置改變設(shè)備支撐打開單元，其中，位置改變設(shè)備安裝在底座上；驅(qū)動器，用于使底座朝著測試托盤直線運動，以選擇性地確保所述打開 單元的打開操作所需要的距離。
11、 如權(quán)利要求IO所述的測試分選機，其中，所述驅(qū)動器是汽缸。
全文摘要
公開了一種測試分選機，該測試分選機包括測試托盤、至少一個打開單元和位置改變設(shè)備。測試托盤在其一側(cè)排列多個插入件。在每個插入件上裝載至少一個半導(dǎo)體裝置。所述打開單元打開測試托盤所述一側(cè)的一部分上的插入件。位置改變設(shè)備使所述至少一個打開單元按照所述至少一個打開單元可以位于測試托盤所述一側(cè)的另一部分的方式運動，從而所述至少一個打開單元可以打開在測試托盤所述一側(cè)的另一部分的插入件。本發(fā)明可以根據(jù)半導(dǎo)體裝置尺寸的改變減少被替換部件的數(shù)量，降低生產(chǎn)成本和部件替換時間。此外，本發(fā)明可以被容易地應(yīng)用到各種類型的測試器上。
文檔編號H01L21/66GK101366109SQ200780002051
公開日2009年2月11日 申請日期2007年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月10日
發(fā)明者全寅九, 具泰興, 沈裁均, 羅閏成, 金東韓 申請人:泰克元有限公司