專利名稱：耐大功率射頻脈沖峰值功率的高壓陶瓷引線桿的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種射頻板條C(V激光器，尤其是涉及一種用于射頻板條 C02激光器的高壓陶瓷引線桿。屬激光技術(shù)領(lǐng)域。
技術(shù)背景射頻板條C02激光器是利用射頻功率注入激光器內(nèi)，建立輝光放電。一般是通過同軸電纜將射頻源與激光器的陶瓷引線桿相連。普通的陶瓷引線桿是用一根鍍銀的銅桿與Al20:,陶瓷件圓盤相封接而成，如圖l。陶瓷件圓 盤的外緣與激光器的殼體形成真空連接，引線桿的上端與同軸電纜相連， 下端與激光器的放電電極相連。這種高壓陶瓷引線桿在大功率射頻連續(xù)波 的激勵(lì)情況下可以很可靠的工作，但是在輸入同一頻率、相同平均功率的 射頻脈沖激勵(lì)時(shí)，在不同的占空比，射頻脈沖峰值功率將是其平均功率的 幾倍，激光器內(nèi)部引線桿表面就要放電打火形成短路，射頻脈沖能量就不 再能加到激光器放電電極上，從而激光器無法正常運(yùn)行。為了抑制引線桿 表面放電打火，通常的做法是從以下的幾個(gè)途徑進(jìn)行1、增加陶瓷件圓盤的直徑，使引線桿與陶瓷件圓盤外緣之間的距離大 大增加，由于陶瓷件圓盤外緣與激光器殼體相連，是地電位，從而可以防止引線桿射頻脈沖打火的發(fā)生。這個(gè)方法的代價(jià)是高壓陶瓷盤的尺寸要成倍增大，對于激光器的體積和成本的降低，是不可取的。2、在引線桿外套上一個(gè)聚四氟圓筒以增加引線桿的絕緣性。實(shí)驗(yàn)證明， 這種方法不能完全根除引線桿表面打火的發(fā)生，這個(gè)方法不是有效的。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種耐大功率射頻脈沖峰值功 率的高壓陶瓷引線桿，該高壓陶瓷引線桿在保證激光器殼體原有外形尺寸 不變的條件下，在射頻脈沖激勵(lì)時(shí)能防止引線桿表面發(fā)生打火。本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種耐大功率射頻脈沖峰值功率的高壓 陶瓷引線桿，包括陶瓷件和引線桿，所述引線桿是一根鍍銀的銅桿，其特 點(diǎn)是所述陶瓷件呈"T"型結(jié)構(gòu)，由一個(gè)帶中心孔的陶瓷圓盤以及一個(gè)自陶瓷圓盤下表面向下延伸的陶瓷圓筒構(gòu)成一體結(jié)構(gòu)； 所述引線桿穿過陶瓷件的內(nèi)孔和中心孔；所述陶瓷圓筒下端的內(nèi)孔孔壁有一層金屬層，陶瓷圓筒通過該金屬層 與引線桿下部銀銅焊接；所述陶瓷圓盤的中心孔孔壁與引線桿外緣之間設(shè)置有間隙，陶瓷圓筒 的內(nèi)孔孔壁與引線桿外緣之間也設(shè)置有間隙。激光器內(nèi)激光氣體的壓力一般在100par多一點(diǎn)，從氣體放電巴邢定律 知各種氣體放電的著火電壓不同，而同一種氣體放電的著火電壓決定于 氣體壓力與放電距離之間乘積。低壓氣體較高壓力下更易放電起輝。本發(fā)明將引線桿從激光器內(nèi)部移到激光器外部，使包圍引線桿的低壓激光氣體變成1000par的大氣。本發(fā)明裝入激光器后，陶瓷圓盤的外緣與激光器形成密封連接，陶瓷 圓盤的下表面以及陶瓷圓筒的外表面均處在低氣壓的激光氣體中，而引線 桿的大部分均暴露在1000par的大氣中，這大大提高了引線桿周圍大氣放 電的電壓閥值，達(dá)到絕緣的目的。本發(fā)明著眼于改變引線桿周圍的介質(zhì)和壓強(qiáng)，增加引線桿周圍介質(zhì)的 壓強(qiáng)，不增大陶瓷件的外徑，而解決引線桿的打火問題。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是 在保證激光器殼體原有外形尺寸不變的條件下，在射頻脈沖激勵(lì)時(shí)，雖然 脈沖的峰值功率較其連續(xù)波的平均功率提高了幾倍，仍然能防止引線桿表 面放電打火的發(fā)生。


圖1為以往高壓陶瓷引線桿總體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明耐大功率射頻脈沖峰值功率的高壓陶瓷引線桿總體結(jié)構(gòu) 示意圖。圖中陶瓷件l、引線桿2、金屬層3、陶瓷圓筒4、內(nèi)孔5、陶瓷圓 盤6、中心孔7。
具體實(shí)施方式
如圖2，本發(fā)明涉及一種耐大功率射頻脈沖峰值功率的高壓陶瓷引線 桿，由陶瓷件1和引線桿2兩部分組成。所述陶瓷件1呈"T"型結(jié)構(gòu)，由一個(gè)帶中心孔7的陶瓷圓盤6以及一 個(gè)自陶瓷圓盤6下端面向下延伸的陶瓷圓筒4構(gòu)成一體結(jié)構(gòu)。所述引線桿2是一根鍍銀的銅桿。所述引線桿2穿過陶瓷件1的內(nèi)孔5和中心孔7，弓l線桿2的兩端伸 出陶瓷件1外。所述陶瓷圓筒下端的內(nèi)孔5孔壁進(jìn)行金屬化形成一層金屬層3，陶瓷 圓筒4通過該金屬層3與引線桿2下部進(jìn)行銀銅焊接，而陶瓷圓盤6的中 心孔7孔壁不再進(jìn)行金屬化，該中心孔7孔壁與引線桿2外緣之間有一個(gè) 0. 5mm左右的間隙，陶瓷圓筒4的內(nèi)孔5孔壁與引線桿2外緣之間有一個(gè) 3mm左右的間隙。
權(quán)利要求
1、一種耐大功率射頻脈沖峰值功率的高壓陶瓷引線桿，包括陶瓷件(1)和引線桿(2)，所述引線桿(2)是一根鍍銀的銅桿，其特征在于所述陶瓷件(1)呈“T”型結(jié)構(gòu)，由一個(gè)帶中心孔(7)的陶瓷圓盤(6)以及一個(gè)自陶瓷圓盤(6)下表面向下延伸的陶瓷圓筒(4)構(gòu)成一體結(jié)構(gòu)；所述引線桿(2)穿過陶瓷件(1)的內(nèi)孔(5)和中心孔(7)；所述陶瓷圓筒(4)下端的內(nèi)孔(5)孔壁有一層金屬層(3)，陶瓷圓筒(4)通過該金屬層(3)與引線桿(2)下部焊接；所述陶瓷圓盤(6)的中心孔(7)孔壁與引線桿(2)外緣之間設(shè)置有間隙，陶瓷圓筒(4)的內(nèi)孔(5)孔壁與引線桿(2)外緣之間也設(shè)置有間隙。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于射頻板條CO₂激光器的耐大功率射頻脈沖峰值功率的高壓陶瓷引線桿，包括陶瓷件(1)和引線桿(2)，所述陶瓷件(1)呈“T”型結(jié)構(gòu)，由一個(gè)帶中心孔(7)的陶瓷圓盤(6)以及一個(gè)自陶瓷圓盤(6)下表面向下延伸的陶瓷圓筒(4)構(gòu)成一體結(jié)構(gòu)；所述引線桿(2)穿過陶瓷件(1)的內(nèi)孔(5)和中心孔(7)；所述陶瓷圓筒(4)下端的內(nèi)孔(5)孔壁有一層金屬層(3)，陶瓷圓筒(4)通過該金屬層(3)與引線桿(2)下部焊接，所述陶瓷圓盤(6)的中心孔(7)孔壁與引線桿(2)外緣之間設(shè)置有間隙，陶瓷圓筒(4)的內(nèi)孔(5)孔壁與引線桿(2)外緣之間也設(shè)置有間隙。本發(fā)明在保證激光器殼體原有外形尺寸不變的條件下，在輸入相同平均功率、相同頻率，脈沖峰值功率增大幾倍的射頻脈沖能量時(shí)能防止引線桿表面發(fā)生打火。
文檔編號H01S3/02GK101222107SQ20071019129
公開日2008年7月16日 申請日期2007年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月13日
發(fā)明者丁義國, 張龍華, 朱永祥, 浩 胡, 顧鴻璋, 高允貴 申請人:江蘇新潮科技集團(tuán)有限公司