專利名稱：用于缺陷檢測(cè)的方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及諸如半導(dǎo)體晶圓、印刷電路板和分劃板(reticle)(也稱 為掩模)的圖案化物體的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
現(xiàn)代微電子器件普遍使用光刻工藝制造。在該工藝中，首先在半導(dǎo)體晶圓 上涂覆一層光刻膠。隨后使用掩模將該光刻膠層暴露于照射光，并隨后顯影。 在顯影之后，去除未曝光的光刻膠，并且己曝光的光刻膠在晶圓上產(chǎn)生掩模的 圖像。此后，對(duì)晶圓的最上層進(jìn)行蝕刻。隨后，剝離殘留的光刻膠。對(duì)于多層 晶圓，則重復(fù)以上步驟以產(chǎn)生隨后的構(gòu)圖層。使用以上光刻膠工藝生產(chǎn)的微電子電路中元件數(shù)量的日益增加要求在光 刻膠曝光中使用非常高分辨率的圖像。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，為了生產(chǎn)可運(yùn)行的微電子電路，掩模必須盡 可能無(wú)缺陷，優(yōu)選為完全無(wú)缺陷。所以，需要掩模檢測(cè)工具以檢測(cè)掩模中可潛 在減少微電子電路產(chǎn)量的各種缺陷。特定類型的掩模缺陷(諸如附加圖案、遺漏圖案或顆粒)可通過(guò)各種檢測(cè) 方法來(lái)檢測(cè)。公知的缺陷檢測(cè)方法已知為模具與模具(die to die)的比較。模 具與模具的比較包括將一模具的圖像與另一模具的圖像進(jìn)行比較。模具與模具 的比較在單個(gè)模具掩?；蜓谀５姆悄＞邊^(qū)域中并不有效。因此，需要提供用于缺陷檢測(cè)并且特別是掩模的缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)和方法。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供了 一種用于缺陷檢測(cè)的方法、系統(tǒng)及計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。優(yōu)選地， 選擇一個(gè)或多個(gè)"測(cè)試"像素并且隨后找到一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)的"參考"像素。 為了找到可能的缺陷，將一個(gè)或多個(gè)"測(cè)試"像素與一個(gè)或多個(gè)"參考"像素 進(jìn)行比較。測(cè)試像素與"參考"像素的失配可表示存在缺陷。本發(fā)明提供了一種方法。該方法包括選擇目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素； 檢索與測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同 的獲得方法得到；搜索第二圖像的第三像素，從而使得第二像素的鄰域 (neighborhood)與第三像素的鄰域相類似；檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖 像的第四像素；以及將測(cè)試像素與第四像素進(jìn)行比較。本發(fā)明提供一種具有其中包含用于缺陷檢測(cè)的計(jì)算機(jī)可讀代碼的計(jì)算機(jī) 可讀介質(zhì)，該計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令選擇目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素； 檢索與測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同 的獲得方法得到；搜索第二圖像的第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三 像素的鄰域相類似；檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè) 試像素與第四像素進(jìn)行比較。本發(fā)明提供了一種用于缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，其適 于存儲(chǔ)表示目標(biāo)的第一圖像和目標(biāo)的第二圖像中像素的鄰域的信息；以及處理 器，其與存儲(chǔ)器單元連接，該處理器適于選擇目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素； 檢索與測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同 的獲得方法得到；搜索第二圖像的第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三 像素的鄰域相類似；檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè) 試像素與第四像素進(jìn)行比較。本發(fā)明提供了一種方法，該方法包括檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素 相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得 到；搜索目標(biāo)的多個(gè)圖像中的第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三像素 的鄰域相類似；檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè)試像 素與第四像素進(jìn)行比較。本發(fā)明提供了一種用于缺陷檢測(cè)的方法，該方法包括檢索與目標(biāo)的第一 圖像的第一特征相對(duì)應(yīng)的第二圖像的特征；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到搜索第二圖像的第三特征，從而使得第二特征的鄰域與第三特征 的鄰域相類似；檢索與第三特征相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四特征；以及將第一特 征與第四特征進(jìn)行比較。本發(fā)明提供了一種用于缺陷檢測(cè)的方法，該方法包括檢索與目標(biāo)的第一 圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同 的獲得方法得到；搜索第二黃金圖像的黃金匹配像素(golden matching pixel)， 從而使得第二黃金匹配像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；檢索與黃金匹配 像素相對(duì)應(yīng)的第一黃金圖像的相應(yīng)黃金像素；以及將測(cè)試像素與相應(yīng)的黃金像 素進(jìn)行比較。優(yōu)選地，該方法包括搜索具有與第二像素的鄰域匹配的鄰域的第二圖像的 多個(gè)像素。優(yōu)選地，該方法包括重復(fù)搜索多個(gè)測(cè)試像素并且生成表示搜索過(guò)程中所找 到的像素?cái)?shù)量的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。優(yōu)選地，該方法包括通過(guò)由參考像素替代測(cè)試像素生成合成圖像。優(yōu)選地，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像 素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得 到；搜索目標(biāo)的多個(gè)圖像中的第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三像素 的鄰域相類似；檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè)試像 素與第四像素進(jìn)行比較。優(yōu)選地，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令檢索與目標(biāo)的第一圖像的第一特 征相對(duì)應(yīng)的第二圖像的特征；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到； 搜索第二圖像的第三特征，從而使得第二特征的鄰域與第三特征的鄰域相類 似；檢索與第三特征相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四特征；以及將第一特征與第四特 征進(jìn)行比較。優(yōu)選地，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像 素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得 到；搜索第二黃金圖像的黃金匹配像素，從而使得第二黃金匹配像素的鄰域與 第三像素的鄰域相類似；檢索與黃金匹配像素相對(duì)應(yīng)的第一黃金圖像的相應(yīng)的 黃金像素；以及將測(cè)試像素與相應(yīng)的黃金像素進(jìn)行比較。優(yōu)選地，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令搜索具有與第二像素的鄰域匹配的鄰域的第二圖像的多個(gè)像素。優(yōu)選地，該計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令重復(fù)搜索多個(gè)測(cè)試像素并且生 成表示搜索過(guò)程中所找到的像素?cái)?shù)量的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。優(yōu)選地，該計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令通過(guò)由參考像素替代測(cè)試像素 生成合成圖像。本發(fā)明提供了一種用于缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，其適 于存儲(chǔ)表示目標(biāo)的第一圖像和目標(biāo)的第二圖像中像素的鄰域的信息；以及處理 器，其適于檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素； 其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索第二黃金圖像的黃金匹配 像素，從而使得黃金匹配像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；檢索與黃金匹 配像素相對(duì)應(yīng)的第一黃金圖像的相應(yīng)的黃金像素；以及將測(cè)試像素與相應(yīng)的黃 金像素進(jìn)行比較。優(yōu)選地，該處理器適于搜索具有與第二像素的鄰域匹配的鄰域的第二圖像 的多個(gè)像素。優(yōu)選地，該處理器適于重復(fù)搜索多個(gè)測(cè)試像素并且生成表示搜索過(guò)程中所 找到的像素?cái)?shù)量的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。優(yōu)選地，該處理器適于通過(guò)由參考像素替代測(cè)試像素生成合成圖像。 本發(fā)明提供了一種用于缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，其適 于存儲(chǔ)表示目標(biāo)的第一圖像中像素的鄰域的信息；以及處理器，其與存儲(chǔ)器單 元連接，該處理器適于檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像 的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索目標(biāo)的多個(gè) 圖像中的第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；檢索 與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè)試像素與第四像素進(jìn)行比 較。本發(fā)明提供了一種用于缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，其適 于存儲(chǔ)表示目標(biāo)的第一圖像中像素的鄰域的信息；以及處理器，其與存儲(chǔ)器單 元連接，該處理器適于檢索與目標(biāo)的第一圖像的第一特征相對(duì)應(yīng)的第二圖像 的特征；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索第二圖像的第三 特征，從而使得第二特征的鄰域與第三特征的鄰域相類似；檢索與第三特征相 對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四特征；以及將第一特征與第四特征進(jìn)行比較。


為了理解本發(fā)明并且明白如何實(shí)施本發(fā)明，現(xiàn)將通過(guò)參照附圖，以非限制 性的方式描述實(shí)施方式，其中圖1所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的兩個(gè)圖像、少量像素以及這些少量像素 的少量鄰域；圖2所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的像素的少量鄰域；圖3A所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式，用于生成第一和第二圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的 方法的流程圖；圖3B所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式，用于生成第一圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的方法的 流程圖；圖4所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式，用于缺陷檢測(cè)的方法的流程圖； 圖5和圖6所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式，用于缺陷檢測(cè)的方法的流程圖； 圖7所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的掩模的反射圖像、掩模的透射圖像以及 缺陷圖；圖8所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的用于檢測(cè)缺陷的系統(tǒng)；以及 圖9所示為根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的四個(gè)圖像、少量像素以及這些少量 像素的少量鄰域。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明提供了系統(tǒng)、方法以及計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。通過(guò)分析由不同的獲得方 法得到的相同目標(biāo)的兩個(gè)圖像，可找到缺陷。該兩個(gè)圖像可包括相同目標(biāo)的反 射圖像和透射圖像。該系統(tǒng)、方法以及計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可用于找到掩模的非模具區(qū)域上的軟缺陷。該系統(tǒng)、方法以及計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品利用以下假定在無(wú)缺陷的目標(biāo)上，在 一個(gè)圖像上類似的兩個(gè)位置在第二圖像中也類似。如果在一個(gè)圖像中出現(xiàn)缺 陷，則違背位置之間的相似性。為了解釋的簡(jiǎn)單，以下描述將涉及相同目標(biāo)的透射圖像和反射圖像的分 析。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將應(yīng)該理解，該方法、系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可作出必要修改地應(yīng)用于彼此不同的其它圖像獲得方法。圖l示出兩個(gè)圖像。各個(gè)圖像包括非常大量的像素，其中僅示出少量像素。 請(qǐng)注意，該圖以及其它圖均未按比例繪出。第一圖像I121包括多個(gè)像素，諸如但不限于，第四像素4、第六像素6以及第七像素7。第二圖像I2 22包括多個(gè)像素，諸如但不限于，第二像素2、第三像 素3、第五像素5以及第八像素8。第一到第八像素l 一8由多個(gè)相鄰像素包圍以形成多個(gè)鄰域l 1 —18。應(yīng)該理 解，雖然示出正方形的領(lǐng)域，但是也可使用其它形狀的鄰域。應(yīng)該理解，與像素結(jié)合使用的術(shù)語(yǔ)"第二"、"第三"、"第四"、"第 五"、"第六"、"第七"以及"第八"僅僅為了方便。這些術(shù)語(yǔ)并不表示諸 如優(yōu)先級(jí)別、位置相關(guān)信息等的元數(shù)據(jù)。圖2所示為根據(jù)本發(fā)明的各種實(shí)施方式的像素1的少量鄰域11、 IT以及11"。鄰域ir包括九個(gè)高分辨率的像素并且集中在測(cè)試像素i的周圍。鄰域ir 包括九個(gè)低分辨率的像素并且集中在測(cè)試像素i的周圍。鄰域ii為鄰域ir的九 個(gè)高分辨率的像素與鄰域ir的九個(gè)低分辨率的像素的組合。優(yōu)選地，鄰域ii和ir通過(guò)包括九個(gè)元素—每個(gè)像素一個(gè)元素一的向量表 示。鄰域11通過(guò)包括18個(gè)元素一每個(gè)像素一個(gè)元素一的向量表示。各個(gè)向量元素可以但非必要為單個(gè)像素的強(qiáng)度值。還應(yīng)該理解，鄰域ii和ir中像素的形 狀以及可選地或附加地，像素的數(shù)量可以彼此不同。使用高分辨率的像素相比與使用低分辨率像素提供了更小區(qū)域的更好的 描述。通過(guò)粗和細(xì)的像素表示鄰域可表示像素周圍更大的區(qū)域，而同時(shí)提供關(guān) 于該像素的最接近鄰域的更加詳細(xì)的信息。通過(guò)預(yù)定因數(shù)，高分辨率可不同于低分辨率?？梢缘潜匾剡x擇約兩個(gè) 到四個(gè)因數(shù)。還應(yīng)該理解，雖然圖2示出了九個(gè)或十八個(gè)像素的鄰域，但是也可選擇更大(或更小)的鄰域。應(yīng)該理解，第一和第二圖像可為包括通過(guò)應(yīng)用模具與模具或單元與單元分析不能分析的劃片線(scribe line)或其它區(qū)域的掩模的區(qū)域的圖像。還應(yīng)該 理解，掩模的其它位置可通過(guò)諸如模具與模具比較、單元與單元比較等其它缺陷檢測(cè)方法分析。還應(yīng)該理解，掩模的各種區(qū)域可通過(guò)應(yīng)用設(shè)計(jì)用于諸如清潔區(qū)、線、接觸 等的特定掩模區(qū)域的更加簡(jiǎn)單的檢測(cè)方法來(lái)分析。圖3A所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式，用于生成第一和第二圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的 方法400的流程圖。方法400由步驟410開(kāi)始，該歩驟為接收相同目標(biāo)的第一圖像和第二圖像，該圖像使用不同的圖像獲得方法獲得。例如，特定圖像可通過(guò)使用高NA的光學(xué)裝置獲得，而其它圖像可通過(guò)使 用低NA光學(xué)裝置獲得，特定圖像可通過(guò)使用亮視場(chǎng)照明獲得，而其它圖像可 通過(guò)使用暗視場(chǎng)照明獲得。第一和其它圖像可具有不同的像素尺寸，可通過(guò)不 同的分辨率特征化，特定圖像可獲得，而其它圖像可為黃金圖像(golden image)、所選圖像(從歷史中)、數(shù)據(jù)庫(kù)表示等。步驟410之后為步驟420，該步驟為在第一圖像和第二圖像中選擇所選像素?？蛇x擇所選像素，以便表示期望在第一圖像中出現(xiàn)的特征。該選擇可自動(dòng)、 手動(dòng)(響應(yīng)用戶特征定義或者用戶像素選擇)或者半自動(dòng)進(jìn)行。該選擇可響應(yīng) 諸如存儲(chǔ)器大小限制、處理器限制、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)檢索的速度、感興趣的特征的數(shù) 量和復(fù)雜性等的各種參數(shù)。應(yīng)該注意，也可選擇第二圖像的多個(gè)像素，并且它 們的鄰域(或者它們鄰域的更低尺寸的表示)可存儲(chǔ)在第二圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中。該選擇還可響應(yīng)應(yīng)該應(yīng)用于檢測(cè)各種缺陷的缺陷檢測(cè)方法。缺陷檢測(cè)方法 之間的選擇可基于該缺陷檢測(cè)方法的資源消耗水平和缺陷檢測(cè)方法的適用性。 例如，掩模的特定區(qū)域可通過(guò)使用設(shè)計(jì)用于諸如清潔區(qū)、線、接觸等的特定掩 模區(qū)域的更加簡(jiǎn)單的檢測(cè)方法來(lái)分析。在該情況下，屬于該區(qū)域(稱為"其它 像素")的像素使用另一檢測(cè)方法來(lái)分析，如步驟340所示。步驟420之后為步驟430，該步驟為生成所選像素的鄰域的表示。這可包括 應(yīng)用將表示鄰域的M個(gè)元素的向量轉(zhuǎn)換為N維表示的壓縮方法。N小于M。歩驟430之后為步驟440，該步驟為以第一圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)和第二圖像數(shù)據(jù)結(jié) 構(gòu)排列這些鄰域(或者這些鄰域的更低維的表示)。應(yīng)該理解，第一圖像數(shù)據(jù) 結(jié)構(gòu)和第二圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可通過(guò)快速檢索時(shí)間特征化。例如，這些數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可 為支持快速最近鄰搜索的多維KD—樹(shù)。圖3B所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式，用于生成第二圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的方法401 的流程圖。方法401與方法400僅在生成第二圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)上不同。方法401可在第一圖像的評(píng)價(jià)過(guò)程中應(yīng)用。方法401由步驟411開(kāi)始，該歩驟為接收目標(biāo)的第二圖像。優(yōu)選地，正在評(píng)價(jià)(特別是，第一圖像中的缺陷正在檢測(cè)和評(píng)價(jià))的第一圖像也出現(xiàn)。相同目標(biāo)的第一和第二圖像通過(guò)使用不同的圖像獲得方法得到。 步驟411之后為歩驟421，該步驟為在第二圖像中選擇所選像素。 步驟421之后為步驟431，該步驟為生成所選像素的鄰域的表示。 歩驟431之后為步驟441，該步驟為以第二圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)排列這些鄰域(或者這些鄰域的更低維的表示)。應(yīng)該理解，第二圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可通過(guò)快速檢索時(shí)間特征化。例如，這些數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可為支持快速最近鄰搜索的多維KD—樹(shù)。 圖4所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式，用于缺陷檢測(cè)的方法300的流程圖。圖5和圖6所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式，用于缺陷檢測(cè)的方法100和200的流程圖。圖5所示與第一圖像的測(cè)試像素相關(guān)應(yīng)用的步驟150到180。圖6所示與第二圖像的第五像素相關(guān)執(zhí)行的歩驟250到280。參照?qǐng)D4，方法300由步驟310和歩驟320中任一個(gè)開(kāi)始。歩驟310表示第一圖像和第二圖像數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的生成，而步驟320表示這些數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的接收。步驟310可包括應(yīng)用方法400的各種步驟。步驟320可包括接收通過(guò)應(yīng)用方法400的各種步驟生成的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。步驟310和步驟320完成之后，開(kāi)始分析。如步驟310和320之后的步驟330所示，該分析在像素到像素的基礎(chǔ)上完成。歩驟330包括選擇像素以評(píng)價(jià)一選擇"新"測(cè)試像素。步驟330之后為步驟340，該步驟為通過(guò)基于相似性的缺陷檢測(cè)方法分析該"新"測(cè)試像素。步驟340可包括應(yīng)用方法100的步驟(圖5)，并且附加或可選地，應(yīng)用方法200的步驟(圖6)。步驟340之后為步驟350，該步驟350為檢査是否更多像素應(yīng)該檢測(cè)一"通過(guò)基于相似性的缺陷檢測(cè)方法評(píng)價(jià)任何更多的像素？"。如果答案肯定，則步驟350之后為選擇新測(cè)試像素的步驟330。否則，步驟350之后為步驟360，該步驟為提供第一圖像可疑缺陷和第二圖像可疑缺陷的圖。應(yīng)該理解，方法300可應(yīng)用于來(lái)自第一和第二圖像的單個(gè)圖像中找到缺 陷，并且在該情況下，步驟360的結(jié)果為單個(gè)圖像可疑缺陷圖。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將可理解，基于相似性的缺陷檢測(cè)方法的結(jié)果可以其 它方式提供并且圖僅作為試樣提供。該圖可包括多個(gè)圖像素，各具有表示相同 圖像的像素之間的差別的值。圖5的方法100由檢索第二圖像中與第一圖像中的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第 二像素的歩驟150開(kāi)始。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，測(cè)試像素可由用戶、自動(dòng)化過(guò)程等選擇。測(cè)試 像素可考慮掩模的期望結(jié)構(gòu)、潛在的缺陷傾向區(qū)域來(lái)選擇。測(cè)試像素還可表示 第一圖像中任意的像素。如果，例如第一圖像中所有像素均己分析，則測(cè)試像 素可表示第一圖像中的任何像素。第一和第二像素應(yīng)該表示目標(biāo)中的相同位置。步驟150可通過(guò)第一和第 二圖像的寄存來(lái)進(jìn)行。步驟150之后為歩驟160，該步驟為搜索第二圖像的第三像素，從而第二 像素的鄰域類似于第三像素的鄰域。如果未找到該第三像素，方法100可結(jié)束 或者可選擇"新"測(cè)試像素，并且步驟160到180可對(duì)于該新像素重復(fù)進(jìn)行。 如果未找到該第三像素，則缺省的比較結(jié)果可產(chǎn)生并且存儲(chǔ)。參照?qǐng)Dl，假定 找到具有鄰域13的第三像素3。第三像素3的鄰域13可為測(cè)試像素1的鄰域 11的接近最相鄰的鄰域。步驟160優(yōu)選包括步驟162和164。步驟162包括第二像素的鄰域的N 維表示。歩驟164包括搜索對(duì)于第三像素的鄰域的N維的KD—樹(shù)，其為第二 像素的鄰域的接近最相鄰的鄰域。應(yīng)該理解，不同于N維KD—樹(shù)的其它數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)也可搜索并且可應(yīng)用接近 最近鄰的其它算法。如果找到該第三像素，則步驟160之后為檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一 圖像的第四像素的步驟170。第三和第四像素應(yīng)該表示目標(biāo)中的相同位置。步驟170之后為比較測(cè)試像素和第四像素的步驟180。如果這些像素彼此 類似，則假定不存在缺陷，否則(如果這些像素不類似)，則假定找到缺陷。 應(yīng)該理解，步驟180還包括測(cè)試像素與第四像素的鄰域之間的比較，這些鄰域 的某些像素之間的比較等。該比較可包括各個(gè)像素的強(qiáng)度，各個(gè)像素的能量等。應(yīng)該理解，通過(guò)比較理想地表現(xiàn)類似特征的多于兩個(gè)像素，可預(yù)示缺陷。 優(yōu)選地，該比較包括(或者通過(guò)以下進(jìn)行)第一和第四像素的鄰域之間的子像素的寄存，并且為了去除(或減少)噪音、可視偽像(visual artifact)等，該鄰域可進(jìn)一步處理。應(yīng)該理解，相同的處理可應(yīng)用于第二圖像的像素。還要理解，在許多情況下，第一和第二圖像的像素將進(jìn)行評(píng)價(jià)，但這并非絕對(duì)必要。圖6的方法200包括與方法100的步驟150到180類似的步驟250到280。 方法200由檢索與第一圖像的第五像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第六像素的歩驟250開(kāi)始。步驟250之后為步驟260，該步驟為搜索第一圖像的第七像素，從而第七 像素的鄰域類似于第六像素的鄰域。如果未找到第七像素，方法200可結(jié)束或 者可選擇"新"的第五像素，并且對(duì)于該新的第五像素重復(fù)歩驟260到280。 如果未找到該第七像素，缺省的比較結(jié)果可生成并存儲(chǔ)。如果找到該第七像素，則歩驟260之后為檢索與第七像素相對(duì)應(yīng)的第二 圖像的第八像素的步驟270。第七和第八像素應(yīng)該表示目標(biāo)中的相同位置。步驟270之后為比較第五像素和第八像素的鄰域的步驟280。如果這些鄰域 彼此類似，則假定不存在缺陷，否則(如果這些鄰域不類似)，則假定找到缺 陷。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，步驟250到280可在與圖4的方法300類似的缺 陷檢測(cè)方法的過(guò)程中應(yīng)用。在該情況下，不在第一圖像中尋找測(cè)試像素，而將 在第二圖像中搜索測(cè)試像素。圖7示出掩模的透射圖像410、反射圖像420，以及包圍可疑缺陷的區(qū)域， 以及在反射圖像420的基本上所有的像素上表示方法100的工具的圖430。圖8所示為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的系統(tǒng)60。系統(tǒng)60可獲得掩模66的透射和 反射圖像，并且可通過(guò)應(yīng)用諸如方法IOO、 200和300的基于相似性的檢測(cè)方法 處理圖像。應(yīng)該理解，并非該系統(tǒng)一部分的處理器在接收該掩模的反射和透射圖像之 后可應(yīng)用該基于相似性的檢測(cè)方法。系統(tǒng)60包括反射光源74、透射光源72、物鏡82、分束器84、光學(xué)裝置86、 檢測(cè)單元88、處理器90以及存儲(chǔ)器單元92。附加或可選地，可使用單個(gè)光源和多個(gè)檢測(cè)器(掩模60之上和之下)。來(lái)自反射光源74的光經(jīng)由分束器84向掩模60照射。來(lái)自透射光源72的光通 過(guò)掩模60。光(反射或透射一依賴于起動(dòng)的光源)通過(guò)物鏡82、分束器84和光 學(xué)裝置86，由檢測(cè)單元88檢測(cè)。檢測(cè)單元88可提供表示部分掩模60的幀。掩模 60或部分掩模60的圖像可由至少一部分幀形成。存儲(chǔ)器單元92可存儲(chǔ)圖像并且，附加或可選地，存儲(chǔ)表示目標(biāo)的第一圖像 和目標(biāo)的第二圖像中的像素的鄰域的信息。處理器90與存儲(chǔ)器單元92連接。處理器90適于(i)檢索與目標(biāo)的第一 圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同 的獲得方法得到；(ii)搜索第二圖像中的第三像素，從而使得第二像素的鄰 域與第三像素的鄰域相類似；(iii)檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四 像素；以及將測(cè)試像素與第四像素進(jìn)行比較。光學(xué)裝置86可包括孔徑、聚焦透鏡(諸如鏡筒透鏡)、變倍透鏡以及另一 分束器(如果，例如，檢測(cè)單元88包括多個(gè)間隔分開(kāi)的相機(jī)，如美國(guó)專利7133548 所示的，其全部?jī)?nèi)容合并在此作為參考)。各自以上提及方法的每一種可通過(guò)執(zhí)行存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)中的計(jì)算 機(jī)程序的計(jì)算機(jī)來(lái)執(zhí)行。上述提及的描述涉及測(cè)試像素的選擇和測(cè)試像素與參考像素的比較。應(yīng)該 理解，本發(fā)明可做出必要修改地應(yīng)用于其它特征。因此，可選擇測(cè)試特征，相應(yīng)地特征從目標(biāo)的另一圖像中獲得，在其它圖像中搜索類似特征并且一旦找 到，可獲得參考特征并與測(cè)試特征進(jìn)行比較。上述提及的描述涉及第一和第二圖像中像素的比較。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方 式，各個(gè)圖像表示一部分掩模，并且基于相似性的搜索不限于第二圖像，而可 以擴(kuò)展到在分劃板的不同部分的多個(gè)圖像中尋找具有相似鄰域的像素。因此， 可生成多個(gè)圖像的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。上述提及的描述涉及第一和第二圖像中像素的比較。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方 式，為了找到缺陷，使用數(shù)據(jù)庫(kù)或"黃金"圖像。第一 "黃金"圖像可表示在 用于獲得第一圖像的獲得方法過(guò)程中成像的無(wú)缺陷(理想)分劃板。第二"黃 金"圖像可表示在用于獲得第二圖像的獲得方法過(guò)程中成像的無(wú)缺陷(理想) 分劃板。作為在第二圖像中應(yīng)用基于相似性搜索的替代，基于相似性的搜索在第二 "黃金"圖像中搜索匹配像素(黃金匹配像素)，其具有與位于第二圖像 中的第二像素的鄰域相類似的鄰域。在黃金匹配像素找到之后，獲得相應(yīng)的黃 金像素(在第一"黃金"圖像中)。黃金匹配像素的位置與相應(yīng)的黃金像素的 位置相同。相應(yīng)的黃金像素隨后與測(cè)試像素進(jìn)行比較。如果這些像素彼此不相 同(可應(yīng)用基于閾值的判定)，則測(cè)試像素可表示缺陷。在該情況下，測(cè)試像素 為測(cè)試像素，并且相應(yīng)的黃金像素為參考像素。應(yīng)該理解，當(dāng)評(píng)價(jià)第二圖像的 像素時(shí)，可應(yīng)用類似的處理。圖9示出第一黃金圖像G1 21'、第二黃金圖像G2 22、第一和第二像素1和2 以及它們的鄰域11和12、黃金匹配像素3'及其鄰域13'、相應(yīng)的黃金像素4'及其 鄰域14'。選擇測(cè)試像素l作為測(cè)試像素。獲得正位于與第一圖像I121中的測(cè)試 像素l相同位置(第二圖像I2 22中)的第二像素2。在搜索具有與第二像素2的 鄰域類似鄰域的像素之后(在第二黃金圖像中)，獲得黃金匹配像素3'(第二 黃金圖像G2 22'中)。獲得相應(yīng)的黃金像素4'并且具有與黃金匹配像素3'的相 同位置(第一黃金圖像G121'中)。相應(yīng)的黃金像素4'為測(cè)試像素1的參考像素 并且為了檢測(cè)缺陷，與測(cè)試像素進(jìn)行比較。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，基于相似性的搜索可試圖對(duì)于每個(gè)目標(biāo)像素定位 多個(gè)類似像素。該處理可通過(guò)生成表示像素與類似(參考)像素的數(shù)量(或其 它屬性)之間關(guān)系的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)來(lái)繼續(xù)。根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，生成合成圖像。在該合成的圖像中，參考像 素代替目標(biāo)像素并且反之亦然。并不具有類似像素的目標(biāo)像素可泄漏。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將容易理解，在不偏離由所附權(quán)利要求書(shū)限定的范圍的 情況下，可以對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行各種修改和改變。
權(quán)利要求
1. 一種用于缺陷檢測(cè)的方法，該方法包括檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索第二圖像的第三像素，從而第二像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè)試像素與第四像素進(jìn)行比較。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括 檢索與第一圖像的第五像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第六像素； 搜索第一圖像的第七像素，從而第七像素的鄰域與第六像素的鄰域相類似；檢索與第七像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第八像素；以及 將第五像素的鄰域與第八像素的鄰域進(jìn)行比較。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，不同的獲得方法包括透射獲 得方法和反射獲得方法。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，尋找的步驟包括找到第三 像素，從而第三像素的鄰域?yàn)榕c第二像素的鄰域的接近最相鄰的鄰域。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，第二像素的鄰域包括M個(gè) 元素并且其中找到第三像素的步驟包括利用第二像素的鄰域的N維表示；其中M〉N。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，尋找的歩驟包括為了生成 第二像素的鄰域的N維表示，應(yīng)用主成分分析。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，尋找的步驟包括搜索N維 KD—樹(shù)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括響應(yīng)缺陷檢測(cè)方法 的資源消耗水平和缺陷檢測(cè)方法的適用性，選擇缺陷檢測(cè)方法。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，第二像素的鄰域包括多個(gè) 低分辨率像素和多個(gè)高分辨率像素；其中多個(gè)高分辨率像素表示鄰域的一部分。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括在比較第四與測(cè)試 像素之前，執(zhí)行子像素寄存。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，接收請(qǐng)求的步驟通過(guò)以下 步驟執(zhí)行在第一圖像和第二圖像中選擇像素；以及生成所選像素的鄰域的表 示。
12. —種用于缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，其適于存儲(chǔ)表 示目標(biāo)的第一圖像和目標(biāo)的第二圖像中像素的鄰域的信息；以及處理器，其與 存儲(chǔ)器單元連接，該處理器適于檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的 第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索第 二圖像的第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；檢索 與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè)試像素與第四像素進(jìn)行比 較。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，處理器適于 檢索與第一圖像的第五像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第六像素； 搜索第一圖像的第七像素，從而第七像素的鄰域與第六像素的鄰域相類似；檢索與第七像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第八像素；以及 將第五像素的鄰域與第八像素的鄰域進(jìn)行比較。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，不同的獲得方法包括透 射獲得方法和反射獲得方法。
15. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，處理器適于找到第三 像素，從而第三像素的鄰域?yàn)榕c第二像素的鄰域的接近最相鄰的鄰域。
16. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，第二像素的鄰域包括M 個(gè)元素并且其中處理器適于利用第二像素的鄰域的N維表示；其中M〉N。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其特征在于，處理器適于為了生成第 二像素的鄰域的N維表示，而應(yīng)用主成分分析。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其特征在于，處理器適于搜索N維 KD—樹(shù)。
19. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，處理器適于響應(yīng)缺陷檢測(cè)方法的資源消耗水平和缺陷檢測(cè)方法的適用性，選擇缺陷檢測(cè)方法。
20. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，第二像素的鄰域包括多 個(gè)低分辨率像素和多個(gè)高分辨率像素；其中多個(gè)高分辨率像素表示鄰域的一部分。
21. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，處理器適于在比較第四 與測(cè)試像素之前，執(zhí)行子像素寄存。
22. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，處理器適于在第一圖像 和第二圖像中選擇像素；以及生成所選像素的鄰域的表示。
23. —種具有其中包含用于缺陷檢測(cè)的計(jì)算機(jī)可讀代碼的計(jì)算機(jī)可讀介 質(zhì)，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng) 的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索 第二圖像的第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；檢 索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè)試像素與第四像素進(jìn)行 比較。
24. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，計(jì)算機(jī)可讀 代碼包括以下指令檢索與第一圖像的第五像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第六像素； 搜索第一圖像的第七像素，從而第七像素的鄰域與第六像素的鄰域相類、檢索與第七像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第八像素；以及 將第五像素的鄰域與第八像素的鄰域進(jìn)行比較。
25. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，計(jì)算機(jī)可讀 代碼包括以下指令找到第三像素，從而第三像素的鄰域?yàn)榕c第二像素的鄰域 的接近最相鄰的鄰域。
26. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，第二像素的 鄰域包括M個(gè)元素并且其中計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令利用第二像素的鄰域的N維表示；其中M〉N。
27. 根據(jù)權(quán)利要求26所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令為了生成第二像素的鄰域的N維表示，而應(yīng)用主成分分析。
28. 根據(jù)權(quán)利要求26所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，計(jì)算機(jī)可讀 代碼包括以下指令搜索N維KD—樹(shù)。
29. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令響應(yīng)缺陷檢測(cè)方法的資源消耗水平和缺陷檢測(cè)方法的適用性，選擇缺陷檢測(cè)方法。
30. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，第二像素的 鄰域包括多個(gè)低分辨率像素和多個(gè)高分辨率像素；其中多個(gè)高分辨率像素表示鄰域的一部分。
31. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，計(jì)算機(jī)可讀 代碼包括以下指令在比較第四與測(cè)試像素之前，執(zhí)行子像素寄存。
32. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，計(jì)算機(jī)可讀 代碼包括以下指令在第一圖像和第二圖像中選擇像素；以及生成所選像素的 鄰域的表示。
33. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，不同的獲得 方法包括透射獲得方法和反射獲得方法。
34. —種用于缺陷檢測(cè)的方法，該方法包括檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索目標(biāo)的多個(gè)圖像中的第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè)試像素與第四像素進(jìn)行比較。
35. —種用于缺陷檢測(cè)的方法，該方法包括檢索與目標(biāo)的第一圖像的第一特征相對(duì)應(yīng)的第二圖像的特征；其中第一和 第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索第二圖像的第三特征，從而使得第二特征的鄰域與第三特征的鄰域相 類似；檢索與第三特征相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四特征；以及將第一特征與第四特征進(jìn)行比較。
36. —種用于缺陷檢測(cè)的方法，該方法包括檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第 一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索第二黃金圖像的黃金匹配像素，從而使得黃金匹配像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；檢索與黃金匹配像素相對(duì)應(yīng)的第一黃金圖像的相應(yīng)的黃金像素；以及 將測(cè)試像素與相應(yīng)的黃金像素進(jìn)行比較。
37. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括搜索具有與第二像 素的鄰域匹配的鄰域的第二圖像的多個(gè)像素。
38. 根據(jù)權(quán)利要求37所述的方法，其特征在于，還包括重復(fù)搜索多個(gè)測(cè) 試像素并且生成表示搜索過(guò)程中所找到的像素?cái)?shù)量的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。
39. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括通過(guò)由參考像素替 代測(cè)試像素生成合成圖像。
40. —種具有其中包含用于缺陷檢測(cè)的計(jì)算機(jī)可讀代碼的計(jì)算機(jī)可讀介 質(zhì)，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第 一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索目標(biāo)的多個(gè)圖像中的第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三像素 的鄰域相類似；檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè)試像素與第四像素進(jìn)行比較。
41. 一種具有其中包含用于缺陷檢測(cè)的計(jì)算機(jī)可讀代碼的計(jì)算機(jī)可讀介 質(zhì)，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令-檢索與目標(biāo)的第一圖像的第一特征相對(duì)應(yīng)的第二圖像的特征；其中第一和 第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索第二圖像的第三特征，從而使得第二特征的鄰域與第三特征的鄰域相 類似；檢索與第三特征相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四特征； 以及將第一特征與第四特征進(jìn)行比較。
42. —種具有其中包含用于缺陷檢測(cè)的計(jì)算機(jī)可讀代碼的計(jì)算機(jī)可讀介 質(zhì)，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第 一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索第二黃金圖像的黃金匹配像素，從而使得黃金匹配像素的鄰域與第三 像素的鄰域相類似；檢索與黃金匹配像素相對(duì)應(yīng)的第一黃金圖像的相應(yīng)的黃金像素；以及將測(cè)試像素與相應(yīng)的黃金像素進(jìn)行比較。
43. 根據(jù)權(quán)利要求42所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，計(jì)算機(jī)可讀代碼包括以下指令搜索具有與第二像素的鄰域匹配的鄰域的第二圖像的多個(gè) 像素。
44. 根據(jù)權(quán)利要求43所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，該計(jì)算機(jī)可 讀代碼包括以下指令重復(fù)搜索多個(gè)測(cè)試像素并且生成表示搜索過(guò)程中所找到的像素?cái)?shù)量的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。
45. 根據(jù)權(quán)利要求42所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，該計(jì)算機(jī)可 讀代碼包括以下指令通過(guò)由參考像素替代測(cè)試像素生成合成圖像。
46. —種用于缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，其適于存儲(chǔ)表示目標(biāo)的第一圖像和目標(biāo)的第二圖像中像素的鄰域的信息；以及處理器，其適 于檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第 一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索第二黃金圖像的黃金匹配像素， 從而使得黃金匹配像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；檢索與黃金匹配像素 相對(duì)應(yīng)的第一黃金圖像的相應(yīng)的黃金像素；以及將測(cè)試像素與相應(yīng)的黃金像素 進(jìn)行比較。
47. 根據(jù)權(quán)利要求46所述的系統(tǒng)，其特征在于，該處理器適于搜索具有 與第二像素的鄰域匹配的鄰域的第二圖像的多個(gè)像素。
48. 根據(jù)權(quán)利要求47所述的系統(tǒng)，其特征在于，該處理器適于重復(fù)搜索 多個(gè)測(cè)試像素并且生成表示搜索過(guò)程中所找到的像素?cái)?shù)量的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。
49. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，該處理器適于通過(guò)由參 考像素替代測(cè)試像素生成合成圖像。
50. —種用于缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，其適于存儲(chǔ)表 示目標(biāo)的第一圖像中像素的鄰域的信息；以及處理器，其與存儲(chǔ)器單元連接， 該處理器適于檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；搜索目標(biāo)的多個(gè)圖像中的 第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；檢索與第三像 素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及將測(cè)試像素與第四像素進(jìn)行比較。
51. —種用于缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，其適于存儲(chǔ)表 示目標(biāo)的第一圖像中像素的鄰域的信息；以及處理器，其與存儲(chǔ)器單元連接， 該處理器適于檢索與目標(biāo)的第一圖像的第一特征相對(duì)應(yīng)的第二圖像的特征； 其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到.,搜索第二圖像的第三特征，從 而使得第二特征的鄰域與第三特征的鄰域相類似；檢索與第三特征相對(duì)應(yīng)的第 一圖像的第四特征；以及將第一特征與第四特征進(jìn)行比較。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)、方法和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，該方法包括(i)檢索與目標(biāo)的第一圖像的測(cè)試像素相對(duì)應(yīng)的第二圖像的第二像素；其中第一和第二圖像使用不同的獲得方法得到；(ii)搜索第二圖像的第三像素，從而使得第二像素的鄰域與第三像素的鄰域相類似；(iii)檢索與第三像素相對(duì)應(yīng)的第一圖像的第四像素；以及(iv)將測(cè)試像素與第四像素進(jìn)行比較。
文檔編號(hào)H01L21/027GK101236164SQ20071014287
公開(kāi)日2008年8月6日 申請(qǐng)日期2007年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月31日
發(fā)明者奧赫·格弗泰澤, 邁克爾·本-伊謝 申請(qǐng)人:以色列商·應(yīng)用材料以色列公司