專利名稱：：成膜用材料及成膜用材料的推定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及用成膜裝置成膜的成膜用材料，其推定方法和解析方法以及成膜方法。
背景技術(shù)：
：使規(guī)定材料的原料氣化后成膜規(guī)定材料層的方法，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料或平板顯示器裝置、其他的電子裝置中。作為這種電子裝置的一例，以下以有機(jī)EL顯示裝置為例進(jìn)行說明。具有充分亮度且壽命達(dá)到數(shù)萬小時(shí)以上的有機(jī)EL顯示裝置，采用的是自發(fā)光型元件，即有機(jī)EL元件，由于有機(jī)EL顯示裝置的背照燈等外部元件少，因此可以制成很薄，是理想的平面顯示裝置。構(gòu)成這種有機(jī)EL顯示裝置的有機(jī)EL元件，從作為顯示裝置的特性來看，要求其具有大型畫面的同時(shí)，元件的壽命長，畫面內(nèi)的發(fā)光亮度及元件壽命沒有不均，另外沒有黑斑等代表性缺陷。為了滿足上述要求，有機(jī)EL膜的成膜技術(shù)極其重要。例如，作為在20英寸左右的大型基板中，用于均勻成膜有機(jī)EL膜的成膜裝置，采用的是特許文獻(xiàn)l(特開2004-79904號公報(bào))中記載的裝置等。特許文獻(xiàn)l的成膜裝置，通過將設(shè)置在裝置內(nèi)的噴射器內(nèi)部的配管構(gòu)成優(yōu)化配置為樹狀，使原料氣體與載氣一起，同樣分散在基板上，從而達(dá)到確保大型基板中膜厚的均一性。近來，對這樣的有機(jī)EL裝置，也要求實(shí)現(xiàn)大型化，即達(dá)到20英寸以上。然而，為了滿足這樣的要求，必須克服發(fā)光效率差及壽命短等有機(jī)EL裝置特有的各種缺點(diǎn)。這里將構(gòu)成有機(jī)EL裝置的包含發(fā)光層的各種有機(jī)EL膜與形成在其他的顯示裝置上的膜進(jìn)行比較，因其厚度極薄，僅有數(shù)十nm，所以需要在分子單位進(jìn)行成膜的技術(shù)，并且高精度地迸行分子單位的成膜也極其重要。作為也可以適用于20英寸以上的大型化的成膜裝置，本發(fā)明的發(fā)明人員，在特愿2005-110760(先行申請l)中，提出了一種成膜裝置，其特征在于，能夠均勻且迅速地對形成有機(jī)EL裝置的各種有機(jī)EL原料進(jìn)行成膜。提出的成膜裝置具備使同一有機(jī)EL原料蒸發(fā)、氣化的2個(gè)原料容器；將該有機(jī)EL原料吹到基板上的吹出容器；連接這些原料容器和吹出容器的配管系統(tǒng)(即，流通路徑)。這種情況下，將有機(jī)EL原料從一側(cè)的原料容器供給到吹出容器時(shí)，在成膜開始前、成膜時(shí)以及成膜停止時(shí)切換包含多個(gè)閥門及孔口(Orifice)的配管系統(tǒng)，同時(shí)對配管系統(tǒng)的溫度進(jìn)行控制。在此構(gòu)成中，在進(jìn)行成膜以外的時(shí)間內(nèi)，在使殘留在配管系統(tǒng)內(nèi)的氣體迅速排出的同時(shí)，使氣體通入另一側(cè)的原料容器中。在先行申請1所示的成膜裝置中，不僅可以防止殘留在配管系統(tǒng)中的氣體造成的污染，而且能夠在成膜開始前、成膜時(shí)以及成膜停止時(shí)迅速地進(jìn)行狀態(tài)遷移。由于先行申請1涉及的成膜裝置能夠防止殘留在配管系統(tǒng)中的有機(jī)EL原料造成的污染，因此可以顯著改善有機(jī)EL裝置的亮度及壽命。然而，采用先行申請1所示的構(gòu)成時(shí)，需要進(jìn)一步改善形成有機(jī)EL裝置的有機(jī)EL材料的利用效率，且為了進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)有機(jī)EL裝置的大型化，不僅需要進(jìn)一步改善有機(jī)EL元件的亮度，還需要實(shí)現(xiàn)有機(jī)EL元件的長壽命化。另外，在先行申請1所示的成膜裝置中，成膜時(shí)氣化的有機(jī)EL材料被從一側(cè)的原料容器吹送到吹出容器中，但在成膜以外的時(shí)間內(nèi)，氣化的有機(jī)EL材料被從一側(cè)的原料容器排出到外部。如此可知，僅在成膜時(shí)有機(jī)EL材料才能夠得到有效利用，而在成膜以外的時(shí)間內(nèi)，有機(jī)EL材料并未得到有效利用，因此，該成膜裝置還存在有機(jī)EL材料的利用效率差的缺點(diǎn)。這里對作為目標(biāo)的有機(jī)EL裝置的特性及構(gòu)造進(jìn)行說明。首先，希望實(shí)現(xiàn)的有機(jī)EL裝置，不僅要具有一萬小時(shí)以上的使用壽命，還應(yīng)具有1001m/W以上的發(fā)光效率。另外，對本發(fā)明涉及的有機(jī)EL裝置進(jìn)行概略說明時(shí)，具有如下的構(gòu)造在玻璃基板上具備由透明導(dǎo)電膜形成的陽極和與該陽極對向設(shè)置的、由Li/Ag等形成的陰極；在陽極和陰極之間，配置有多個(gè)層，例如7層或5層的有機(jī)層。這里，有機(jī)層例如自陰極一側(cè)起，由電子注入層、電子輸送層、發(fā)光層、空穴輸送層以及空穴注入層形成；發(fā)光層例如由紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層及藍(lán)色發(fā)光層構(gòu)成。如此，通過將紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層及藍(lán)色發(fā)光層形成積層構(gòu)造，可以高效率地發(fā)出白光。另外，在上述的有機(jī)層中，特別是形成發(fā)光層的紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層及藍(lán)色發(fā)光層，均具有20nm左右的厚度，且電子輸送層及空穴輸送層也具有50nm左右的厚度。如此，與其他的半導(dǎo)體裝置的各種膜的厚度相比，有機(jī)EL裝置的有機(jī)層的厚度極薄，將來還有可能進(jìn)一步降低這些有機(jī)膜的厚度。這種情況下，因?yàn)闉榱诵纬捎袡C(jī)層，即使是分子單位的污染也是不允許的，所以要高精度地被覆、形成極薄的有機(jī)層，必須具備在分子單位形成有機(jī)層原料的超精細(xì)技術(shù)。特許文獻(xiàn)1:特開2004-79904號公報(bào)可是，在現(xiàn)在已經(jīng)實(shí)用化的有機(jī)EL裝置的制造中，采用的是在10E-4(10的負(fù)4次方)至10E-5(10的負(fù)5次方)Torr的壓力下，將有機(jī)EL材料加熱到20030(TC，使該材料蒸發(fā)，將飛散的材料堆積在基板上的蒸著法。用于這些有機(jī)EL裝置的有機(jī)EL材料的組成和特性等尚未充分公開，且對該有機(jī)EL材料進(jìn)行分析也是困難的，因此，僅依靠生產(chǎn)廠家的規(guī)格進(jìn)行實(shí)驗(yàn)或研究。然而，在不能特定成膜用的有機(jī)EL材料時(shí)，存在不能特定是否能夠進(jìn)行目標(biāo)成膜的情況，從而對實(shí)驗(yàn)及研究造成妨礙。另外，在先行申請1所示的用載氣輸送蒸發(fā)的有機(jī)EL材料，在基板上進(jìn)行成膜的成膜裝置中，也存在根本沒有對什么樣的材料適于該裝置進(jìn)行分析的情況。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供一種求出由實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)對成膜用材料的特性進(jìn)行規(guī)定的參數(shù)值的解析方法，和通過該參數(shù)對成膜用材料進(jìn)行推定的推定方法，以及利用該參數(shù)的成膜方法。本發(fā)明的另外的目的在于，提供一種由參數(shù)值決定的成膜用材料。根據(jù)本發(fā)明的第1方式，可以獲得一種成膜用材料，是蒸發(fā)量V(%)可以用下述公式表示的成膜用材料，V二(Ko/P)Xe搖(其中，Ko表示常數(shù)(。/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度)其特征在于，可以通過所述常數(shù)Ko的值和所述活性化能量Ea的值進(jìn)行特定。根據(jù)本發(fā)明的第2方式，可以獲得一種成膜用材料，其特征在于，在第1方式中，在將壓力P設(shè)為一定的狀態(tài)下，所述活性化能量Ea可以由表示使溫度T變化時(shí)的載氣中的材料濃度的特性獲得，且，所述常數(shù)Ko由特定溫度下的特定的材料濃度決定。根據(jù)本發(fā)明的第3方式，可以獲得一種成膜用材料，其特征在于，在第1或第2方式中，所述常數(shù)Ko位于5.700X1014(%'Torr)~6.220X1014(%*丁017)的范圍。根據(jù)本發(fā)明的第4方式，可以獲得一種成膜用材料，其特征在于，在第1或第2方式中，所述常數(shù)Ko位于2.600X10"(。/。'Torr)3.640X10"(%'Torr)的范圍。根據(jù)本發(fā)明的第5方式，可以獲得一種推定方法，是對未知的成膜用材料進(jìn)行推定的推定方法，其特征在于，由載氣中的材料濃度的測定結(jié)果，獲得表示該未知材料的蒸發(fā)量V(M)的下述公式中的活性化能量Ea，V二(Ko/P)Xe德(其中，Ko表示常數(shù)(M'Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度)，再者，從特定溫度下的特定的材料濃度，算出所述常數(shù)Ko，從算出的常數(shù)Ko的值，推定未知的成膜用材料。根據(jù)本發(fā)明的第6方式，可以獲得一種成膜用材料，其特征在于，將溫度設(shè)定為250°C~500°C;將氣氛中的材料濃度設(shè)為0.1%~10%;將壓力設(shè)為10的負(fù)3次方Torr以上，具有滿足用氣氛中的材料濃度V(。/。)表示蒸發(fā)量的下述公式的活性化能量Ea及常數(shù)Ko。V二(Ko/P)Xe德(其中，Ko表示常數(shù)(。/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度)在此，將溫度設(shè)為25(TC以上，是因?yàn)橐笤摐囟冗_(dá)到材料有效氣化所需溫度之上，將溫度設(shè)為50(TC以下，是因?yàn)椴淮嬖谀軌虺惺茉摐囟纫陨蠝囟鹊墓┙o、控制系統(tǒng)。另外，將濃度設(shè)為0.1%的原因在于，如果濃度在該濃度以下時(shí)，不能進(jìn)行經(jīng)濟(jì)性成膜。優(yōu)選將溫度設(shè)為30(TC45(rC。優(yōu)選將上述成膜用材料用于氣化后通過載氣進(jìn)行輸送的用途。根據(jù)本發(fā)明的第7方式，可以獲得一種成膜方法，其特征在于，使上述的成膜用材料在載氣中蒸發(fā)到0.1%~10%的濃度，將所述載氣輸送到基板附近，在所述基板上形成所述成膜用材料的膜。根據(jù)本發(fā)明的第8方式，可以獲得一種成膜用材料的解析方法，是在氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)將成膜用材料氣化后，用載氣將其輸送到基板附近，在基板上進(jìn)行成膜的成膜用材料的解析方法，其特征在于，測定將氣化成膜用材料的溫度設(shè)為一定時(shí)的氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力和載氣內(nèi)的成膜用材料的濃度的關(guān)系，進(jìn)行第1判定，即用x表示壓力的倒數(shù)，用y表示濃度時(shí)，x和y實(shí)質(zhì)上是否具有比例關(guān)系；將氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力設(shè)為一定，測定濃度和溫度的關(guān)系，將溫度的倒數(shù)設(shè)為x，將濃度的對數(shù)設(shè)為y時(shí)，進(jìn)行第2判定，即表示x-y平面內(nèi)的濃度和溫度之間的關(guān)系的曲線的斜率，是否不依存于壓力而實(shí)質(zhì)上保持一定，當(dāng)?shù)?判定及第2判定均為肯定時(shí)，成膜用材料在載氣內(nèi)的濃度可以用下述公式表示V二(Ko/P)Xe德(其中，Ko表示常數(shù)(。/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度)。根據(jù)本發(fā)明的第9方式，可以獲得一種成膜用材料的解析方法，是在氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)將成膜用材料氣化后，用載氣將其輸送到基板附近，在基板上進(jìn)行成膜的成膜用材料的解析方法，其特征在于，載氣內(nèi)的成膜用材料的濃度用下述公式表示V二(Ko/P)Xe碰(其中，Ko表示常數(shù)(。/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度)，通過將氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力設(shè)為一定時(shí)的對成膜用材料進(jìn)行氣化的溫度和濃度之間的關(guān)系，可以確定定上述公式的Ea,由Ea值和氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力和濃度算出Ko。根據(jù)本發(fā)明的第10方式，可以獲得一種成膜方法，是在氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)對成膜用材料進(jìn)行氣化，通過載氣將氣化后的成膜材料輸送到基板附近，在基板上進(jìn)行成膜的成膜方法，其特征在于，將氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力設(shè)為P,將氣化成膜用材料時(shí)的溫度設(shè)為T，將載氣內(nèi)的成膜用材料的濃度設(shè)為V時(shí)，P、T、V的任何l個(gè)值，可以由其他2個(gè)值和下述公式?jīng)Q定V二(Ko/P)Xe德(其中，Ko表示常數(shù)(。/。.Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度)。以下，對成膜有機(jī)EL膜的成膜裝置的一例進(jìn)行說明，但本發(fā)明并不限定于此，當(dāng)然可以適用于各種成膜裝置。在本發(fā)明中，可以提供一種適用于使用載氣進(jìn)行成膜的成膜用材料。另外，還可以提供由實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)求出對成膜用材料的特性進(jìn)行規(guī)定的參數(shù)值的解析方法，和通過該參數(shù)對成膜用材料進(jìn)行推定的推定方法，以及利用該參數(shù)的成膜方法。圖1是表示釆用本發(fā)明的材料成膜時(shí)的優(yōu)選成膜裝置的一例的概略構(gòu)成圖。圖2是表示釆用本發(fā)明的材料成膜時(shí)的優(yōu)選成膜裝置的其他例的概略構(gòu)成圖。圖3是表示對圖1及圖2所示的成膜裝置的配管系統(tǒng)、切換器以及成膜部進(jìn)行更具體說明的圖。圖4是表示釆用本發(fā)明的材料進(jìn)行成膜時(shí)的優(yōu)選成膜裝置的其他例的要部的立體圖。圖5是表示圖4的成膜裝置的成膜部的圖。圖6是表示圖4的成膜裝置中的切換時(shí)間等的時(shí)間圖。圖7是表示使用本發(fā)明的材料時(shí)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果的圖。圖8是表示本發(fā)明的有機(jī)EL原料(H材料)的蒸發(fā)活動的溫度依存性的圖，這里表示的是將壓力保持為一定的狀態(tài)下的溫度依存性。圖9是表示本發(fā)明的有機(jī)EL原料(H材料)的蒸發(fā)活動的壓力依存性的圖，這里表示的是將溫度保持為一定的狀態(tài)下的壓力依存性。圖10是表示使用本發(fā)明的材料時(shí)的特性，這里是表示載氣中的有機(jī)EL原料(H材料)濃度的壓力依存性和溫度的關(guān)聯(lián)圖。圖11與圖10同樣，表示使用本發(fā)明的材料時(shí)的特性，這里是表示載氣中的有機(jī)EL原料(H材料)濃度的溫度依存性和壓力的關(guān)聯(lián)圖。圖12是表示表示本發(fā)明的有機(jī)EL原料(C材料)的蒸發(fā)活動的壓力依存性的圖，這里表示的是將溫度保持為一定的狀態(tài)下的壓力依存性。圖13是表示表示本發(fā)明的材料的特性，這里是表示載氣中的有機(jī)EL原料(C材料)濃度的壓力依存性和溫度的關(guān)聯(lián)圖。圖14與圖13同樣，表示本發(fā)明的原料的特性，這里是表示載氣中的有機(jī)EL原料(C材料)濃度的溫度依存性和壓力的關(guān)聯(lián)圖。具體實(shí)施方式圖1所示為本發(fā)明的第1實(shí)施方式的成膜裝置的概圖。圖示的成膜裝置具備有機(jī)EL源部20，第1及第2成膜部26、27，以及切換部29(切換機(jī)構(gòu))，該有機(jī)EL源部20具備多個(gè)有機(jī)EL源，該切換部29用于將來自有機(jī)EL源部20的氣化了的有機(jī)EL材料選擇性地供給到第1或第2成膜部26、27。切換部29由配管、孔口、質(zhì)量流量控制器(流量控制系統(tǒng))以及多個(gè)閥門等構(gòu)成。切換部29以這種關(guān)系，受到控制裝置(未圖示)的控制，該控制裝置對配管、孔口、流量控制系統(tǒng)、閥門進(jìn)行控制。具體地說，圖示的有機(jī)EL源部20，具備對應(yīng)應(yīng)該堆積的有機(jī)EL膜的數(shù)量的、收納了有機(jī)EL原料的容器部(以下稱為"原料容器部")。例如，當(dāng)應(yīng)該堆積到玻璃基板上的有機(jī)EL原料為3種時(shí)，有機(jī)EL源部20包含分別收納有該3種有機(jī)EL原料的3個(gè)原料容器部。當(dāng)要堆積更多的有機(jī)EL原料時(shí)，可以設(shè)置對應(yīng)該原料的數(shù)量的收納有機(jī)EL原料的原料容器部。例如當(dāng)應(yīng)該堆積的有機(jī)EL膜由電子輸送層、紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層、藍(lán)色發(fā)光層、電子塊層以及空穴輸送層構(gòu)成時(shí)，可以在有機(jī)EL源部20上設(shè)置收納用于形成各層的原料的6個(gè)原料容器部。再者，在有機(jī)EL源部20的各個(gè)原料容器部201上，并非僅具備用于收納有機(jī)EL原料，使該有機(jī)EL原料蒸發(fā)的蒸發(fā)工具(即蒸發(fā)皿)，還具備對該蒸發(fā)工具內(nèi)的該有機(jī)EL原料進(jìn)行加熱的加熱器。另外，在各原料容器部201的蒸發(fā)工具中，經(jīng)閥門、流量控制系統(tǒng)以及配管系統(tǒng)，導(dǎo)入氬氣、氙氣、氪氣等載氣。此處，將載氣導(dǎo)入到各原料容器部201中，并通過加熱器進(jìn)行加熱，結(jié)果蒸發(fā)工具中的有機(jī)EL材料被氣化。因此，各原料容器部201具有將有機(jī)EL材料氣化的氣化機(jī)構(gòu)的功能。在圖中為了簡化說明，在有機(jī)EL源部20上僅表示單一的原料容器部201，但實(shí)際在有機(jī)EL源部20還具備與其他的有機(jī)EL材料對應(yīng)的原料容器部。如此，各原料容器部201作為對有機(jī)EL原料進(jìn)行氣化的氣化機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作。另一方面，對應(yīng)圖示的原料容器部201設(shè)置切換部29，其他的原料容器部也設(shè)有同樣的切換部。這里為了簡化而進(jìn)行省略。在切換部29上連接有載氣用配管系統(tǒng)31(配管、閥門、流量控制系統(tǒng)、孔口等)，該載氣用配管系統(tǒng)31將與氬氣、氙氣、氪氣等載氣同種的氣體供給到切換部29。對應(yīng)第1及第2成膜部26、27分別各自連接有該載氣用配管系統(tǒng)31。這些載氣用配管系統(tǒng)31，不經(jīng)氣化機(jī)構(gòu)，作為將載氣供給到氣體放出機(jī)構(gòu)的載氣供給機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作。在圖示的切換部29的內(nèi)部具備配管系統(tǒng)，該配管系統(tǒng)包含配管、閥門、孔口、流量控制系統(tǒng)等，將載氣及氣化了的有機(jī)EL原料選擇性地供給到第l及第2成膜部26、27。第1及第2成膜部26、27具有相互同一的構(gòu)成，且如后所述，經(jīng)具有具備相互同一的配管線路長的部分的配管系統(tǒng)331、332，和切換部29連接。圖示的第l及第2成膜部26、27，將其作為將在圖示的原料容器部201中被氣化的有機(jī)EL原料吹出、堆積的部分進(jìn)行說明。然而，在第1及第2成膜部26、27上分別堆積多個(gè)有機(jī)EL原料時(shí)，實(shí)際上有必要在多個(gè)原料容器部和第1及第2成膜部26、27之間設(shè)有多個(gè)切換器，并設(shè)置經(jīng)這些切換器，將多個(gè)原料容器部和第1及第2成膜部26、27連接到一起的配管系統(tǒng)(氣體流通路徑)。第1及第2成膜部26、27分別具備吹出容器和輸送裝置，進(jìn)行將氣化的包含有機(jī)EL原料的載氣從吹出容器放出到玻璃基板上而堆積有機(jī)EL膜的作業(yè)。該吹出容器具有將包含被氣化的有機(jī)EL原料的載氣均勻地吹出到玻璃基板上的構(gòu)成；該輸送裝置用于對將溫度保持為一定的臺座上的玻璃基板進(jìn)行輸送的輸送裝置。因此，吹出容器可以稱為氣體放出機(jī)構(gòu)。由此可知，在圖示的成膜裝置中，對應(yīng)l個(gè)氣化機(jī)構(gòu)，具備多個(gè)氣體放出機(jī)構(gòu)。此外，在吹出容器上還具有用于將來自配管系統(tǒng)331、332的有機(jī)EL材料均勻分散而設(shè)置的供給口和將來自該供給口的有機(jī)EL材料導(dǎo)引到玻璃基板等上的過濾器。另外，以可以用陶瓷或者金屬板上形成有微孔的噴淋板(ShowerPlate)置換過濾器。以下，對圖l所示的成膜裝置的動作進(jìn)行說明。首先，通過在原料容器部201進(jìn)行加熱，使有機(jī)EL原料(有機(jī)EL分子)氣化。在此狀態(tài)下，通過切換部29選擇第1成膜部26時(shí)，有機(jī)EL原料以氣化的狀態(tài)從原料容器部201通過切換部29的配管系統(tǒng)，與載氣一起經(jīng)配管系統(tǒng)331被供給到第1成膜部26。當(dāng)將有機(jī)EL原料供給到第1成膜部26的期間，連接在第2成膜部27上的配管系統(tǒng)32被關(guān)閉。當(dāng)在第1成膜部26內(nèi)進(jìn)行成膜時(shí)，玻璃基板被供給到第2成膜部27的入口處，第2成膜部27處于成膜待機(jī)狀態(tài)。在第1成膜部26內(nèi)，當(dāng)有機(jī)EL原料的堆積完成時(shí)，在切換器29的作用下，切換配管系統(tǒng)，來自原料容器部201的有機(jī)EL原料經(jīng)配管系統(tǒng)332被供給到第2成膜部27。當(dāng)在第2成膜部27內(nèi)進(jìn)行成膜時(shí)，在第1成膜部26內(nèi)成膜完成后的玻璃基板，通過輸送裝置被導(dǎo)引到為了成膜另外的有機(jī)EL原料而設(shè)在第1成膜部26內(nèi)的另外的吹出容器中，進(jìn)行另外的有機(jī)EL原料的成膜。換言之，即在不同的時(shí)間將各自不同的基板供給到對應(yīng)一個(gè)氣化機(jī)構(gòu)的多個(gè)氣體放出機(jī)構(gòu)。以下，采用同樣的方法，以切換器29規(guī)定的時(shí)間，相互切換、控制第1及第2成膜部26、27，通過依次切換堆積的有機(jī)EL原料，將有機(jī)EL裝置需要的有機(jī)EL膜堆積在平行流動的玻璃基板上。切換器29和第2成膜部27之間的配管系統(tǒng)332，具有與切換器29和第1成膜部26之間的配管系統(tǒng)331相同的長度，且為了在同一條件下進(jìn)行成膜，這些配管系統(tǒng)被構(gòu)成為樹狀。再者，配管系統(tǒng)331、332被控制為以相同的流量將有機(jī)EL原料供給到第1及第2成膜部26、27。結(jié)果，在第1及第2成膜部26、27中，可以在同一條件下選擇性地進(jìn)行同一有機(jī)EL原料的成膜。因此，根據(jù)該構(gòu)成可以在一方的成膜部26或27中的成膜完成時(shí)，在完全相同的條件下，在另一方的成膜部26或27中也可以進(jìn)行成膜。再者，在一方的成膜部26或27中成膜完成后的玻璃基板進(jìn)行移動時(shí)，切換到另一方的成膜部26或27，在與一方的成膜部相同的條件下，有機(jī)EL原料被供給到切換后的成膜部。因此，圖l所示的成膜裝置，可以同時(shí)、并列地在多個(gè)玻璃基板上依次形成有機(jī)EL材料膜，并且可以避免浪費(fèi)來自原料容器部201的有機(jī)EL原料，從而大幅改善有機(jī)EL原料的利用效率。圖2是表示本發(fā)明的第2方式的成膜裝置的概念圖，在圖示例中，來自有機(jī)EL源部的有機(jī)EL原料，經(jīng)切換器29分別供給到3個(gè)成膜部，即第1~第3成膜部2628，在這一點(diǎn)上，與僅供給到2個(gè)成膜部26、27的圖1的成膜裝置不同。在圖示例中，第3成膜部經(jīng)配管系統(tǒng)333連接在切換器29上，該配管系統(tǒng)333與其他的配管系統(tǒng)331、332同樣受到控制。不管怎樣，在圖2所示的成膜裝置中，來自各原料容器部201的氣化的有機(jī)EL原料經(jīng)切換器29被供給到第1第3成膜部26~28。圖3是表示圖1及圖2所示的成膜裝置的一部分，這里與成膜部26內(nèi)的一部分的構(gòu)成一起，表示有機(jī)EL源部20、切換器29以及單一的成膜部26之間的連接關(guān)系。圖3所示的成膜部26，具有將包含有機(jī)EL原料(分子)的載氣吹出到成膜部26內(nèi)的吹出容器261及支承玻璃基板30的臺座262，將該臺座262設(shè)為在搭載有玻璃基板30的狀態(tài)下，可以沿著與圖3的紙面垂直的方向移動。另外，在此例中，在吹出容器261內(nèi)設(shè)置6張氣體分散板263，并在與玻璃基板30對向的位置上，設(shè)置由金屬或陶瓷形成的過濾器(或噴淋板)264。與氣體分散板對應(yīng)設(shè)有供給口，兩者被配置為同一方向(在圖3中為紙面上下方向)的一列。另外，過濾器264具有在供給口和氣體分散板的配置方向上延伸的形狀。此外，圖示的成膜部26內(nèi)的壓力被保持為530mTorr，且臺座262的溫度被維持為室溫。優(yōu)選為過濾器264由多孔質(zhì)的陶瓷構(gòu)成。一般情況下，使用由多孔質(zhì)的陶瓷構(gòu)成的過濾器264時(shí)，可以以規(guī)定的角度將由氣體或液體組成的流體均勻地供給到大面積的基板上。另一方面，圖示的有機(jī)EL源部20的特征在于具有單一的原料容器部201，圖示的原料容器部201連接在上游側(cè)配管和下游側(cè)配管上，上游側(cè)配管是用于將載氣導(dǎo)入原料容器部201的配管，如圖所示，包含流量控制系統(tǒng)(FCS1)以及設(shè)在該流量控制系統(tǒng)(FCS1)前后的閥門V3、V4。下游側(cè)配管構(gòu)成切換器29的一部分。另外，原料容器部201被上下延伸的隔壁202劃分為上游側(cè)領(lǐng)域和下游側(cè)領(lǐng)域，在隔壁202的下部上設(shè)有填充了有機(jī)EL原料的蒸發(fā)部203。再者，如前所述，在原料容器部201上設(shè)有加熱器(未圖示)。在此構(gòu)成中，通過上游側(cè)配管被導(dǎo)入的載氣自原料容器部201的上游側(cè)領(lǐng)域被導(dǎo)入到蒸發(fā)部203內(nèi)，在加熱器的加熱作用下，在蒸發(fā)部203內(nèi)被氣化的有機(jī)EL原料(分子)和載氣一起，經(jīng)原料容器部201的下游側(cè)領(lǐng)域，被導(dǎo)出到下游側(cè)配管。與圖1及圖2同樣，在原料容器部201上連接有切換器29。圖3所示的切換器29，具有連接多個(gè)成膜部26、27等和有機(jī)EL源部(即原料容器部201)的配管系統(tǒng)及將載氣供給到成膜部26的配管系統(tǒng)。具體地說，就是連接原料容器部201和成膜部26的吹出容器261的切換器29的配管系統(tǒng)，包括第1配管系統(tǒng)和第2配管系統(tǒng)，該第1配管系統(tǒng)包含閥門V5、V6以及孔口PRF1，一直延伸到與設(shè)在吹出容器261上的4張氣體分散板263對應(yīng)的供給口為止；該第2配管系統(tǒng)將設(shè)在外部的氙氣、氬氣等的載氣源(未圖示)直接導(dǎo)引到吹出容器261的2張氣體分散板263上。其中，第2配管系統(tǒng)經(jīng)閥門V1、流量控制系統(tǒng)FCS2以及孔口0RF2，延伸到與吹出容器261的氣體分散板263對應(yīng)的供給口。再者，在第1配管系統(tǒng)的ORF1和閥門V6之間，連接有將與載氣同種的氣體從外部導(dǎo)入的第3配管系統(tǒng)，該第3配管系統(tǒng)包含閥門V2、流量控制系統(tǒng)FCS3以及閥門V7。另外，在第1配管系統(tǒng)的閥門V5和V6之間，連接有將氣化的有機(jī)EL原料供給到其他的成膜部(例如圖1的27)的第4配管系統(tǒng)，該4配管系統(tǒng)包含陶門V8。此外，圖示的孔口0RF1、2、3具備孔口和閥門，作為對氣體壓力進(jìn)行調(diào)整控制的氣體壓力調(diào)整部進(jìn)行工作。因此可知，圖示的成膜裝置具有在氣化機(jī)構(gòu)和吹出容器之間設(shè)有氣體壓力調(diào)整部的構(gòu)成，氣體壓力調(diào)整部和吹出容器的供給口被配管連接。在將包含有機(jī)EL原料(分子)的載氣供給到吹出容器261的第1配管系統(tǒng)中，如果將從孔口0RF1到吹出容器261的供給口之間的配管長度設(shè)為全部相同的話，可以使該有機(jī)EL原料(分子)均勻且同時(shí)到達(dá)玻璃基板30上。這種關(guān)系下，在圖示例中，將吹出容器261內(nèi)的有機(jī)EL分子氣體供給口的數(shù)量設(shè)為2"個(gè)，用分支為2"個(gè)的配管連接這些供給口和孔口ORFl(n為自然數(shù))。再者，通過將多個(gè)成膜部中的從孔口0RF1到吹出容器261的供給口之間的配管長度設(shè)為相等，可以在相同條件下，在多個(gè)成膜部上均勻地形成有機(jī)EL原料的膜。另外，僅有載氣被供給到設(shè)在圖3的上下兩端部上的氣體分散板263。再者，為了不使有機(jī)EL原料(分子)析出、附著在形成配管系統(tǒng)的管壁上，從原料容器部201到吹出容器261為止的第1配管系統(tǒng)的溫度，被設(shè)定為高于有機(jī)EL原料供給中的原料容器部201的溫度。在此，參考圖1及圖3，對成膜裝置的動作進(jìn)行說明。首先，圖示的成膜裝置的動作，與各成膜部26、27相關(guān)，可以分為成膜開始前、成膜時(shí)以及成膜停止后的動作。這里將成膜開始前、成膜時(shí)以及成膜停止后的動作分別作為模式1、模式2以及模式3進(jìn)行說明。在成膜部26相關(guān)的成膜開始前的模式1中，閥門V1、V2、V3、V4、V7處于開啟狀態(tài)，閥門V6處于關(guān)閉狀態(tài)，閥門V5、V8處于開啟狀態(tài)。因此，在模式1中，載氣被從閥門VI經(jīng)流量控制系統(tǒng)FCS1及孔口0RF2供給到吹出容器261，另一方面，載氣被從閥門V2經(jīng)流量控制系統(tǒng)FCS3、閥門V7以及孔口ORF1流入吹出容器261。這種狀態(tài)下，吹出容器261內(nèi)的壓力以及玻璃基板30上的壓力被控制到規(guī)定的壓力。此時(shí)例如可以將吹出容器261內(nèi)的壓力控制為10Torr，將玻璃基板上的壓力控制為lmTorr。再者，在模式l的狀態(tài)下，因?yàn)殚y門V3、V4處于開啟狀態(tài)，被導(dǎo)入到供給有機(jī)EL分子的原料容器部201中的載氣，以閥門V3、流量控制系統(tǒng)FCS1、閥門V4的路徑，被導(dǎo)入原料容器部201，由于閥門V6處于關(guān)閉狀態(tài)，有機(jī)EL原料不被供給到成膜部26，而是經(jīng)處于開啟狀態(tài)的閥門V5、V8被供給到其他的成膜部(例如27)。當(dāng)然，在成膜裝置整體的成膜開始前的模式中，閥門V5、V8也被設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)，有機(jī)EL原料也不能從原料容器部201供給到成膜部26、27，僅可以通過設(shè)在兩成膜部上的配管系統(tǒng)，向其供給與載氣同種的氣體。在圖3中，在成膜開始時(shí)，第1成膜部26的狀態(tài)由模式1過渡到成膜時(shí)的模式2。在成膜時(shí)的模式2中，閥門V2、V7及V8處于關(guān)閉狀態(tài)，閥門V1、V3、V4、V5、V6處于幵啟狀態(tài)。結(jié)果載氣經(jīng)閥門V1、流量控制系統(tǒng)FCS2以及孔口ORF2，被供給到吹出容器261的上下的供給口，并且在原料容器部201中氣化的有機(jī)EL分子氣體，通過以閥門V3、流量控制系統(tǒng)FCS1、閥門V4的路徑被導(dǎo)入的載氣，以閥門5、閥門6以及孔口0RF1的路徑，被供給到吹出容器261的4個(gè)供給口。在該模式2中，與經(jīng)閥門V2、流量控制系統(tǒng)FCS3、閥門V7以及孔口ORF1供給的載氣同種的氣體(流量f,)被停止。另一方面，為了將吹出容器261內(nèi)的壓力和腔內(nèi)壓力保持為一定，優(yōu)選使將有機(jī)EL分子供給到吹出容器261的來自原料容器部201的載氣流量，原則上與上述流量f,一致。即在模式1中，優(yōu)選為閥門V5、V6以及孔口0RF1的路徑中的輸送氣體流量，與和經(jīng)闊門V2、流量控制系統(tǒng)FCS3、閥門V7以及孔口0RF1的路徑供給的載氣同種的氣體流量f,相等。其次，參考圖3對第1成膜部26相關(guān)的成膜停止時(shí)的模式3進(jìn)行說明。從模式2的狀態(tài)轉(zhuǎn)換到模式3的狀態(tài)時(shí)，將閥門V6設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)，將閥門V5、V8設(shè)為開啟狀態(tài)，同時(shí)將閥門V2、V7設(shè)為開啟狀態(tài)。即在模式3中，閥門V1、V2、V3、V4、V5、V7、V8處于開啟狀態(tài)，另一方面閥門V6處于關(guān)閉狀態(tài)，來自原料容器部201的有機(jī)EL原料被供給到其他的成膜部(例如27)。如此，在模式3中，因?yàn)殚y門V5、V8處于開啟狀態(tài)，包含有機(jī)EL分子的載氣，以模式2中的流量f,被從原料容器部201—側(cè)通到其他的成膜部。另一方面，通過使閥門V2、V7處于開啟狀態(tài)，使與載氣同種的氣體，以模式1中的流量&經(jīng)孔口0RF1通到第1成膜部26的吹出容器261內(nèi)。在與載氣同種的氣體的作用下，從在模式2中處于關(guān)閉狀態(tài)的閥門6到吹出容器261為止的配管中的有機(jī)EL分子被吹出。因此，在成膜部26中，成膜停止時(shí)的有機(jī)EL分子的中斷極其迅速。圖4是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式的成膜裝置系統(tǒng)的要部的立體圖。在該實(shí)施例中，與圖l的實(shí)施例同樣，設(shè)置2臺成膜部，但各成膜部26、27分別具備6個(gè)吹出容器。在圖4中，對于和圖1及圖3的實(shí)施例對應(yīng)的部分標(biāo)注相同的參考數(shù)字。用圖5對成膜部進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖4所示，在第1成膜部陣列(腔CHM1)中，延伸6個(gè)吹出容器，該6個(gè)吹出容器分別具有與玻璃基板的寬度相等的長度，且在它們在長度方向上被整列配置為相互平行鄰接，玻璃基板30以規(guī)定的速度，在被配置在與上述長度方向相交的方向上的吹出容器群上方移動。第2成膜部排列(腔CHM2)也具有同樣的構(gòu)成，另外的玻璃基板30以與第1矩陣上不同的時(shí)間被供給到第2成膜部排列上，配置在兩個(gè)矩陣上的吹出容器形成一對，以不同的時(shí)間將包含原料的載氣從相同的原料供給部供給到吹出容器。當(dāng)包含原料的載氣被選擇性地供給到一對吹出容器中的一方時(shí)，其上存在玻璃基板，此時(shí)包含原料的載氣不被供給到一對吹出容器中的另一方，其上也不存在玻璃基板。使玻璃基板的供給、移動和向吹出容器對中的那一方供給包含原料的載氣，與選擇聯(lián)動進(jìn)行，經(jīng)常使包含原料的載氣供給到吹出容器對中的一方，且使其上存在基板，而決定時(shí)間。參考圖5，對圖4的實(shí)施方式的成膜裝置系統(tǒng)的單一的成膜部陣列(腔)進(jìn)行說明。圖5所示為在玻璃等的基板30上依次形成有機(jī)EL膜而制造有機(jī)EL裝置所用的單一成膜部陣列，這里在基板上依次形成6層膜。這種情況席，可以使用尺寸從730X920(mm)到3000X5000(mm)的基板。圖示的成膜部具備被隔壁17劃分而成的6個(gè)吹出容器26-1-26-6，以層疊的順序，分別將包含有機(jī)EL材料的載氣吹向上方的玻璃基板。這6個(gè)吹出容器26-1~26-6的內(nèi)部的過濾器或噴淋板的延伸方向，被整列為相對于玻璃基板的輸送方向相互平行。玻璃基板30-1、30-2以一定的間隔，從左向右通過6個(gè)吹出容器的上部，在各吹出容器26-1~26-6上，通過由各吹出部向圖的上方噴出的有機(jī)EL原料形成有機(jī)EL膜。此時(shí)，在基板30-1、30-2和隔壁之間，以及基板30-l、30-2和吹出容器26-1~26-6之間保持規(guī)定的距離，基板30-l、30-2和隔壁之間的距離小于基板30-1、30-2和吹出容器26-l26-6之間的距離。從各吹出部向上方噴出的氣體，經(jīng)由吹出容器的側(cè)壁和隔壁內(nèi)面之間的空隙，沿著箭頭所示的方向被排向下方。各吹出容器上連接有圖3、圖4所示的配管系統(tǒng)。因此，圖5所示的成膜部排列(腔)，通過各配管系統(tǒng)被與未圖示的其他的成膜部排列連接，通過各個(gè)切換器，分別對多個(gè)成膜部排列的各配管系統(tǒng)進(jìn)行控制，可以并列處理2列的玻璃基板。在圖5的實(shí)施例中，玻璃基板30-l、30-2的尺寸為2160mmX2540mm，沿著長度方向前進(jìn)。吹出容器在玻璃基板前進(jìn)方向上的吹出口的寬度為50mm，與其垂直方向上的吹出口的長度為2170mm，吹出容器的側(cè)壁的寬度(厚度)為15mm，吹出容器的側(cè)壁的表面和其兩側(cè)的隔壁的內(nèi)面之間的間隔為30mm，因此，相鄰隔壁的內(nèi)面間的間隔為140mm，隔壁的厚度為15mm，成膜部排列(腔)在基板前進(jìn)方向上的長度為945mm。將吹出容器頂面-基板間的距離設(shè)為20mm，將隔壁-基板間的距離設(shè)為2mm，將隔壁及吹出容器的溫度分別設(shè)為350~450°C。成膜氣氛壓力為30mTorr，從吹出部噴出的含有原料的載氣的吹出風(fēng)速為3m/sec，含有原料的載氣以0.1秒到達(dá)基板。從吹出部噴出的含有原料的載氣的吹出流量以室溫大氣壓換算為317cc/min，當(dāng)把基板的送給速度設(shè)為1.0cm/sec時(shí)，基板通過1個(gè)吹出容器的時(shí)間為264秒，基板通過6個(gè)吹出容器的時(shí)間為341.5秒，有機(jī)EL原料的使用效率達(dá)到90%。參考圖6可知，上方的圖表，是表示分別配置在兩個(gè)成膜部排列(腔)上的成對的吹出容器之間的切換循環(huán)的時(shí)間圖，各吹出容器每264秒進(jìn)行氣體供給的切換。下方的時(shí)間圖表示各個(gè)腔中的動作的循環(huán)，如上所述，在各腔中以341.5秒進(jìn)行6層成膜，以其后的186.5秒迸行將完成成膜的基板從該腔內(nèi)送出以及將新基板導(dǎo)入到該腔內(nèi)的動作。合計(jì)5"秒完成1個(gè)循環(huán)。即以l個(gè)循環(huán)528秒(8分48秒)完成2張基板的6層成膜。返回到圖3-5，將所有的吹出容器設(shè)為具有完全相同的構(gòu)造，并且將其與圖3所述的各自相同的配管系統(tǒng)連接，將流通的載氣流量也設(shè)為相同。這種情況下，也可以對應(yīng)有機(jī)EL分子的特性設(shè)定各吹出容器的溫度。另外，優(yōu)選通過原料容器部的溫度控制成膜速度、厚度。另外，優(yōu)選吹出容器由不銹鋼制成，將各吹出容器的吹出部作為不銹鋼過濾器，焊接到本體上。此外，優(yōu)選用Al203等的催化劑效果低的鈍態(tài)膜被覆吹出容器內(nèi)面的全部。另外，具備多個(gè)成膜部的、進(jìn)行參考圖3說明的控制的本發(fā)明的成膜裝置，無論是在成膜時(shí)及成膜停止時(shí)的任何一種模式中，因?yàn)橄蚋鞒赡げ客ㄈ肓髁客耆嗤妮d氣，所以Bl以將構(gòu)成各成膜部的各吹出容器內(nèi)的壓力保持為一定。這種情況意味著可以防止吹出容器間的交叉污染。將6層所有的吹出容器設(shè)為同一尺寸，將吹出的載氣流量也設(shè)為相同時(shí)，各層的期望膜厚度相同的情況下(在紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層、藍(lán)色發(fā)光層、電子塊層，膜厚各為2010nrn)，可以將載氣中的有機(jī)EL原料分子濃度設(shè)為相同，但對于膜的厚度大的層(在電子輸送層、空穴輸送層膜厚各為50nm)，需要與膜厚成比例，提高載氣中包含的有機(jī)原料分子的濃度。存在困難時(shí)，對于膜厚大的層，需要釆取將吹出容器設(shè)為多個(gè)，或者增大吹出容器的開口寬度，或者增加載氣的流量等對策。再者，如前所述，具備多個(gè)成膜部，并且通過時(shí)序性地切換該多個(gè)成膜部的模式，可以迅速地在有機(jī)EL裝置上形成需要的多個(gè)膜，可以大幅改善吞吐能力，并且可以改善有機(jī)EL原料的利用效率。例如，通過將6層的有機(jī)EL材料膜切換到3臺的成膜部進(jìn)行成膜，當(dāng)制造有機(jī)EL裝置時(shí)，每隔6分鐘左右就可以制成有機(jī)EL裝置，此時(shí)的有機(jī)EL原料的利用效率可以提高到82%。如圖4~圖6所示，使用2臺的成膜部排列進(jìn)行成膜時(shí)，可以每隔8分鐘左右進(jìn)行6層成膜，材料的利用效率達(dá)到90%。這里將來自原料容器部的氣化的有機(jī)EL原料在載氣中的濃度(concentmtkm)保持為一定，對于制造具有目標(biāo)特性的有機(jī)EL裝置是極其重要的。換言之，有機(jī)EL原料在載氣中的濃度在短時(shí)間內(nèi)發(fā)生變化時(shí)，以分子單位長時(shí)間地將有機(jī)EL材料堆積到玻璃基板等上是不可能的。有機(jī)EL原料在載氣中的濃度一定時(shí)，可以如下所述規(guī)定其必要濃度。首先，將6層的有機(jī)EL材料的分子量設(shè)為500時(shí)，各材料膜的單分子層的膜厚為0.7nm,其分子數(shù)為每平方厘米2.0X10E14(10的14次方)個(gè)。當(dāng)把紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層、藍(lán)色發(fā)光層、電子塊層的膜厚各設(shè)為20nm時(shí)，各層所需材料的分子數(shù)為每平方厘米大約6X10E15(10的15次方)個(gè)，因?yàn)樵陔娮虞斔蛯?、空穴輸送層中膜厚各?0nm，各層所需的分子數(shù)為每平方厘米1.4X10E16(10的16次方)。將吹到玻璃基板上的載氣流密度設(shè)為每平方厘米2.58X10E-3(10的負(fù)3次方)cc/sec時(shí)，吹到玻璃基板表面上的氣體數(shù)密度變?yōu)槊科椒嚼迕?.96X10E16(10的16次方)分子/sec。在上述例中，因?yàn)椴ＡЩ逡?.0cm/sec的速度從寬5cm的吹出口上方通過，所以向基板的各部分吹附氣體的時(shí)間變?yōu)?秒，包含有機(jī)EL分子的載氣流的5秒鐘的氣體分子數(shù)變?yōu)槊科椒嚼迕?.48X10E17(lt)的17次方)個(gè)。因?yàn)榧t色發(fā)光層、綠色發(fā)光層、藍(lán)色發(fā)光層、電子塊層中僅含有每平方厘米大約6X10E15(10的15次方)個(gè)該氣體流中必要的有機(jī)EL分子；電子輸送層、空穴輸送層中僅含有每平方厘米1.4X10E16(10的16次方)的該氣體流中必要的有機(jī)EL分子，因此，對于紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層、藍(lán)色發(fā)光層、電子塊層，需要使載氣中含有的有機(jī)EL原料分子的濃度達(dá)到大約1.7%，對于電子輸送層、空穴輸送層，需要使載氣中含有的有機(jī)EL原料分子的濃度達(dá)到大約4%。這些濃度是可以通過將各種材料在500'C以下的溫度下進(jìn)行加熱而能夠充分達(dá)到的濃度。各層所需的濃度，可以通過變化吹附到玻璃基板上的載氣流的流速、流量、密度、玻璃基板的移動速度、吹出部開口的寬度等設(shè)為不同的值。另外，載氣中的有機(jī)EL原料分子的濃度，可以通過使該原料蒸發(fā)的加熱溫度和蒸發(fā)部的壓力等進(jìn)行控制。其結(jié)果，根據(jù)本成膜裝置系統(tǒng)，可以極高精度且高速地對規(guī)定膜厚的成膜進(jìn)行控制。圖7所示為用Ar作為載氣，用已知的有機(jī)EL原料作為H材料時(shí)的濃度。在圖7中，曲線C1表示將200mg的H材料填充的蒸發(fā)皿中，在250。C的溫度下保持5分鐘后，加熱到47(TC(右刻度)使H材料氣化時(shí)的載氣中的H材料濃度變化(左刻度)。再者，實(shí)驗(yàn)是在保持到75Torr壓力下的原料容器部內(nèi)，設(shè)置蒸發(fā)皿，供給10sccm流量的載氣而進(jìn)行的。從該圖可知，可以將9000ppm以上的濃度維持100分鐘以上。如此可以在成膜裝置內(nèi)，長時(shí)間地均勻形成極薄的H材料膜。圖8是表示有機(jī)EL原料(此處為H材料)的蒸發(fā)活動的溫度依存性的圖，即在將原料容器部的壓力保持為一定的狀態(tài)(即30Torr)下，使H材料氣化的溫度在43(TC45(TC的范圍內(nèi)變化時(shí)的H材料的濃度變化。在本例中，表示的是向蒸發(fā)皿中填充200mg的H材料，以10sccm的流量供給載氣時(shí)的情況。圖8所示的曲線C3表示在保持為30Torr壓力的狀態(tài)下，蒸發(fā)皿被加熱到43(TC時(shí)的特性，可以長時(shí)間地保持5000ppm左右的濃度，即，直到填充的有機(jī)EL原料變無為止，幾乎可以保持一定的濃度。另外，曲線C4表示在保持在30Torr壓力的狀態(tài)下加熱到44(TC時(shí)的濃度變化，即使在這種情況下，也可以將9000ppm的濃度維持2小時(shí)以上的時(shí)間。再者，曲線C5表示在30Torr壓力的狀態(tài)下加熱到450'C時(shí)的濃度變化，可以達(dá)到13000ppm的濃度，可以將該濃度保持到實(shí)質(zhì)上填充的有機(jī)EL原料實(shí)質(zhì)上被蒸發(fā)皿全部氣化為止。圖9所示為有機(jī)EL原料即H材料的蒸發(fā)活動的壓力依存特性。在本例中，蒸發(fā)皿被保持在44(TC的溫度，以10sccm的流量向該蒸發(fā)皿供給作為載氣的Ar。此外，與圖7及圖8同樣，向蒸發(fā)皿中填充200mg的H材料。曲線C6、C7及C8分別表示將原料容器部(蒸發(fā)皿的氣氛)保持在75Torr、30Torr及20Torr的狀態(tài)時(shí)的H材料的蒸發(fā)特性。從這些曲線C6C8也可以明知，隨著壓力變小，載氣中的H材料的濃度變高，另外，無論在何種情況下，都可以將載氣中的H材料的濃度保持為一定。圖10所示為將蒸發(fā)皿的溫度設(shè)為一定的狀態(tài)下H材料的濃度和壓力的關(guān)系。此外，在圖10中用于參考，取上刻度為Torr，下刻度為1/P(l/Torr)。在圖10中，特性C9表示將H材料加熱到43(TC時(shí)的壓力和載氣中的H材料的濃度的關(guān)系，同樣，特性C10及C11分別表示將H材料加熱到440。C及460。C時(shí)的特性。這里，用y表示圖IO的縱軸的濃度，用x表示橫軸的下刻度的(1/P)時(shí)，特性C9可以用y二16.991x—0.0264的直線進(jìn)行近似，同樣，特性C10及Cll可以分別通過y=24.943x+0.1053的直線及y=59.833x+0.0314的直線進(jìn)行近似。對于任何的溫度，都可以認(rèn)為表示特性的直線中的y切片小，它們的直線表示x和y的比例關(guān)系。此處，相對于絕對溫度的倒數(shù)(1/T)(10、1/K)，將圖10的濃度y的對數(shù)Plot時(shí)，可以獲得圖11的特性C12、C13及C14。此處特性C12表示10Torr中的Plot結(jié)果，同樣，特性C13及C14分別表示MTorr及30Torr中的Plot結(jié)果。從圖11可知，在x-y面中，表示x和y的關(guān)系的曲線的斜率，與壓力無關(guān)幾乎保持一定。通過y二6E+13e-".船x、y二3E十13e.2,983x、y=2E+13e—21'953x進(jìn)行近似。此處x為可以用絕對溫度表示的1/T的值。由上述公式及特性C12-C14可知，特性C12C14的斜率分別表示在10Torr、20Torr及30Torr的一定的壓力狀態(tài)下的活性化能量Ea，其值分別為U93eV、1.894eV及1.892eV。另一方面，H材料的蒸發(fā)量，即H材料濃度可以用下述公式(1)表示。V二(Ko/P)Xe德(1)其中，Ko表示常數(shù)(。/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、k表示波耳茲曼常數(shù)(=8.617Xl(T5eV/K)、Ea表示活性化能量(eV)，用公式(l)表示的H材料濃度，應(yīng)該與由圖ll求得的公式，gPy=6E+13e-21965x、y=3E+13e-2L983x、y二2E+13e—21，相等，所以從公式(l)和由圖11獲得的公式，通過給出溫度及H材料濃度，可以求出常數(shù)Ko。相反，通過這些常數(shù)Ea、Ko，可以對H材料的蒸發(fā)特性進(jìn)行規(guī)定。表1、2及3分別表示10、20及30Torr壓力下，10cc/min中的H材料濃度及Ko的值。[表1]10Torr的壓力下，10cc/min中的H材料濃度<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>[表2]20Torr的壓力下，10cc/min中的H材料濃度<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>[表3]<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>在表13中，求出了H材料的常數(shù)Ko，但材料不明的情況下，可以獲得特定溫度下的濃度的測定值，再者，如果從圖ll所示的有機(jī)EL原料濃度的溫度依存性可以獲得活性化能量Ea的話，通過決定常數(shù)Ko的值，將該值與表1~3進(jìn)行比較，可以特定材料為H材料。同樣，對于作為C材料公知的有機(jī)EL原料，也進(jìn)行了與H材料相同的評估，其結(jié)果與H材料相同。艮口，圖12所示為在將所述的蒸發(fā)皿加熱到37(TC的狀態(tài)下，對載氣中的C材料濃度的時(shí)間性變化進(jìn)行測定的結(jié)果。從圖12也可以明知，將C材料加熱到370。C，使壓力變化時(shí)，隨著壓力變低，可以調(diào)高載氣中的C材料濃度，且C材料濃度實(shí)質(zhì)上為一定。即，在保持為370。C、75Torr的狀態(tài)下，可以長時(shí)間地保持8000ppm左右的濃度。以下，隨著使壓力降低到30Torr、20Torr、10Torr，載氣中的C材料濃度變高，且高濃度的時(shí)間縮短。這意味著通過使壓力降低，可以迅速地堆積C材料膜。同樣，在加熱到33CTC及35(TC的狀態(tài)下，即使變化壓力，也能夠獲得與圖12同樣的結(jié)果。再者，對于C材料，在將壓力保持為一定(例如30Torr)的狀態(tài)下，使溫度在43(TC45(TC之間變化時(shí)，也可以獲得與H材料相關(guān)的圖8同樣的結(jié)果?？紤]到這一點(diǎn)，對將C材料的溫度設(shè)為一定的狀態(tài)下的壓力和濃度的關(guān)系進(jìn)行了測定，如圖13所示，結(jié)果可以獲得表示330°C、35(TC及370"的各溫度下的濃度和壓力關(guān)系的特性Cml、Cm2、Cm3。各特性CmlCm3可以分別通過y=11.51x—0細(xì)9、y=19.575x+0,1238及y=51.568x+0.0113進(jìn)行近似。對于C材料，CmlCm3的所有的y切片小，可以認(rèn)為x和y具有比例關(guān)系。另外，與和H材料關(guān)聯(lián)的圖ll相同，對于C材料，也計(jì)算將壓力設(shè)為一定，各壓力為10Torr、20Torr、30Torr時(shí)的濃度和溫度(1/T)(10、1/K)的關(guān)系，可以獲得相對于10Torr、20Torr及30Torr的各壓力的圖14所示的特性Cm4、Cm5、Cm6。與H材料的情況相同，可以認(rèn)為x-y平面中的Cm4Cm6的斜率，不受壓力的影響而幾乎保持一致。由壓力10、20及30Torr中的特性Cm4、Cm5、Cm6，求出活性化能量Ea時(shí)，其值為1.253(eV)、1.250(eV)及1.249(eV)。另一方面，通過公式(l)，由壓力10Torr中的溫度、C材料濃度求出常數(shù)Ko時(shí)，結(jié)果如表4所示。另夕卜，20Torr及30Torr中的溫度及C材料濃度求出常數(shù)Ko時(shí)，結(jié)果如表5及表6所示。[表4]10Torr的壓力下，10cc/min中的C材料濃度<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>20Torr的壓力下，10cc/min中的C材料濃度<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>30Torr的壓力下，10cc/min中的C材料濃度<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>這種情況意味著當(dāng)溫度、濃度、壓力已知的情況下，求出決定蒸發(fā)量的公式(1)的常數(shù)K0，可以由KO值對材料進(jìn)行特定。換言之，為了進(jìn)行有效氣化及對氣體供給進(jìn)行控制，將溫度設(shè)為250~500°C，優(yōu)選設(shè)為300~450°C;為了能夠進(jìn)行有效成膜，將濃度設(shè)定為0.110%，將壓力設(shè)為10的負(fù)3次方Torr以上，如果是具有滿足決定蒸發(fā)量的公式(l)的Ea值及常數(shù)Ko的材料，意味著可以實(shí)際應(yīng)用于通過載氣輸送進(jìn)行的成膜。比較表1~表3和表4~表6可知，在Ko值中H材料和C材料存在很大的差異。即與H材料的Ko值為1014的量級相比，C材料的Ko值為1011的級別。另外，因?yàn)榭梢酝茰yKo值具有材料固有的值，所以通過各種材料的Ko值可以對材料進(jìn)行特定。艮P，如表1表3所示，從10Torr到30Torr范圍內(nèi)的H材料的Ko值，分布在5.710X10、。/Q.Torr)6.211X10"(。/。'Torr)的范圍。另一方面，如表4表6所示，從10Torr到30Torr范圍內(nèi)的C材料的Ko值，分布在2.670X10"(。/o.Torr)3.635X10"(o/o.Torr)的范圍。同樣，對于H材料及C材料以外的各種材料，也可以通過Ko值進(jìn)行特定。如此可知本發(fā)明的特征之一在于通過Ko值對材料進(jìn)行特定。再者，如果可以獲得有機(jī)EL原料的參數(shù)Ea和Ko，可以使用公式(l)決定制造條件。詳細(xì)地說，就是一般情況下，制造有機(jī)EL裝置時(shí)，成膜有機(jī)EL原料的成膜條件受到各種制約。例如，如果能夠確定單位時(shí)間的制造量，可以確定單個(gè)膜的成膜時(shí)間，結(jié)果可以確定載氣中的有機(jī)EL原料的濃度。另外，如果決定有機(jī)EL原料，需要不進(jìn)行分解而使其氣化，因此加熱溫度也受到制約。因?yàn)橹圃煅b置的能力，使能夠達(dá)到的真空度受到限制，因此也有受到氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力制約的情況。如此，當(dāng)受到成膜條件的制約時(shí)，將受到制約的成膜條件規(guī)定在制約內(nèi)，由規(guī)定的成膜條件和公式(l)，可以確定其他的條件。舉例進(jìn)行說明的話，濃度的下限由生產(chǎn)量決定，另外氣化溫度的上限由有機(jī)EL原料的特性決定，此時(shí)分別將濃度和溫度規(guī)定在制約內(nèi)，代入公式(l)求解，可以獲得需要的壓力值。產(chǎn)業(yè)上的應(yīng)用可能性根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種適用于用載氣進(jìn)行成膜的成膜用材料。另外，本發(fā)明可以由實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)求出對有機(jī)EL原料的特性進(jìn)行規(guī)定的參數(shù)，通過該參數(shù)推定出有機(jī)EL原料，因此對于有機(jī)EL原料的實(shí)驗(yàn)及研究，是極其有效的。再者，使用該參數(shù)，可以決定制造有機(jī)EL裝置時(shí)的條件。本發(fā)明并不局限于有機(jī)EL原料，還可以適用于其他的各種成膜用材料。權(quán)利要求1.一種成膜用材料，是蒸發(fā)量V(％)用下述公式表示的成膜用材料，V＝(Ko/P)×e-Ea/kT其中，Ko表示常數(shù)(％·Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度，該成膜用材料的特征在于，通過所述常數(shù)Ko的值和所述活性化能量Ea的值進(jìn)行特定。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜用材料，其特征在于，在將壓力P設(shè)為一定的狀態(tài)下，所述活性化能量Ea根據(jù)表示使溫度T變化時(shí)的載氣中的材料濃度的特性獲得，并且，所述常數(shù)Ko根據(jù)特定溫度的特定的材料濃度決定。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的成膜用材料，其特征在于，所述常數(shù)Ko在5.700X1014(%'Torr)~6.220X]0"(。/。'Torr)的范圍。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的成膜用材料，其特征在于，所述常數(shù)Ko在2.600XlO^o/o'TorrH^^X10"(o/。.Torr)的范圍。5.—種推定方法，是對未知的成膜用材料進(jìn)行推定的推定方法，其特征在于，根據(jù)載氣中的材料濃度的測定結(jié)果，獲得表示該未知材料的蒸發(fā)量V(。/。)的下述公式中的活性化能量Ea，V二(Ko/P)Xe德其中，Ko表示常數(shù)(。/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度，并且，根據(jù)特定溫度的特定的材料濃度算出所述常數(shù)Ko，根據(jù)算出的常數(shù)Ko的值推定未知的成膜用材料。6.—種成膜用材料，其特征在于，將溫度定為250'C50(TC，將氣氛中的濃度定為0.1%~10%，將壓力定為10的負(fù)3次方Torr以上，并且具有滿足用氣氛中的材料濃度V(。/。)表示蒸發(fā)量的下述公式的活性化能量Ea及常數(shù)Ko，V=(Ko/P)Xe-Ea/kT其中，Ko表示常數(shù)(。/crTorr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的成膜用材料，其特征在于，將溫度定為300。C450。C。8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的成膜用材料，其特征在于，氣化并通過載氣進(jìn)行輸送。9.一種成膜方法，其特征在于，使權(quán)利要求6或7所述的成膜用材料在載氣中蒸發(fā)到0.1%~10%的濃度，將所述載氣輸送到基板附近，在所述基板上形成所述成膜用材料的膜。10.—種成膜用材料的解析方法，是用于在氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)氣化并用載氣輸送到基板附近在所述基板上成膜的成膜用材料的解析方法，其特征在于，測定在將氣化所述成膜用材料的溫度定為一定時(shí)的所述氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力和所述載氣內(nèi)的所述成膜用材料的濃度的關(guān)系，進(jìn)行第1判定，即判定用x表示所述壓力的倒數(shù)，用y表示所述濃度時(shí)，x和y實(shí)質(zhì)上是否具有比例關(guān)系，將所述氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力定為一定，測定所述濃度和所述溫度的關(guān)系，在將所述溫度的倒數(shù)定為x，將所述濃度的對數(shù)定為y時(shí)，進(jìn)行第2判定，即判定表示x-y平面內(nèi)的所述濃度和所述溫度的關(guān)系的曲線的斜率，是否不依存于所述壓力而實(shí)質(zhì)上為一定，在所述第1判定及所述第2判定均為肯定時(shí)，所述成膜用材料在所述載氣內(nèi)的濃度可以用下述公式表示V二(Ko/P)Xe搖其中，Ko表示常數(shù)(。/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度。11.一種成膜用材料的解析方法，是用于在氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)氣化并用載氣輸送到基板附近在所述基板上成膜的成膜用材料的解析方法，在所述載氣內(nèi)的所述成膜用材料的濃度用下述公式表示時(shí)，V二(Ko/P)Xe搖其中，Ko表示常數(shù)(。/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度，根據(jù)將所述氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力定為一定時(shí)的氣化所述成膜用材料的系，確定所述式(l)的Ea，根據(jù)該Ea值和所述氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力和所述濃度算出Ko。12.—種成膜方法，是在氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)氣化成膜用材料，通過載氣將該氣化后的成膜材料輸送到基板附近，在該基板上進(jìn)行成膜的成膜方法，其特征在于，在將所述氣化機(jī)構(gòu)內(nèi)的壓力定為P，將氣化所述成膜用材料時(shí)的溫度定為T，將所述載氣內(nèi)的成膜用材料的濃度定為V時(shí)，P、T、V中的任1個(gè)值，根據(jù)其他2個(gè)值和下述公式?jīng)Q定，V二(Ko/P)Xe德其中，Ko表示常數(shù)(。/。.Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度。全文摘要在對有機(jī)EL原料等的成膜用材料進(jìn)行推定的方法中，通過所述常數(shù)Ko的值和所述活性化能量Ea的值，對蒸發(fā)量V(％)可以用下述公式V＝(Ko/P)×e^-Ea/kT表示(其中，Ko表示常數(shù)(％·Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度)的成膜用材料進(jìn)行特定。文檔編號H01L51/50GK101258260SQ20068003230公開日2008年9月3日申請日期2006年8月29日優(yōu)先權(quán)日2005年9月6日發(fā)明者中山尚三,伊藤日藝,大見忠弘申請人:國立大學(xué)法人東北大學(xué)