專利名稱：：固體電解電容器的制作方法固體電解電容器與相關(guān)申請的關(guān)系本申請，是對按照美國法典第35巻第lll條(b)項的規(guī)定，在2005年5月4日提交的美國臨時申請第60/677407號及在2005年5月5日提交的美國臨時申請第60/677806號，根據(jù)該巻第119條(e)項(1)要求優(yōu)先權(quán)的基于該巻第lll條(a)項的規(guī)定的申請。
技術(shù)領(lǐng)域：
其制造方法。
背景技術(shù)：
：固體電解電容器的基本元件，如圖2所示那樣，在由一般被腐蝕處理的比表面積大的金屬箔構(gòu)成的陽極基體(1)上形成電介質(zhì)的氧化皮膜層(2)，作為與其外側(cè)面對的電極，形成固體的半導(dǎo)體層(以下，稱為固體電解質(zhì))(4)，然后，優(yōu)選進(jìn)一步形成導(dǎo)電骨等的導(dǎo)電體層(5)從而制成。接著，將這樣的元件單獨地或進(jìn)行層疊后接合引線(6，7)，將整體用環(huán)氧樹脂等密封樹脂(8)進(jìn)行完全密封，作為固體電解電容器(9)部件廣泛用于電氣制品中。近年來，伴隨電氣設(shè)備的數(shù)字化、個人電腦的高速化，需求小型、大電容的電容器、在高頻域為低阻抗的電容器。最近，提出了使用具有電子傳導(dǎo)性的導(dǎo)電性聚合物作為固體電解質(zhì)的方案。一般地，作為在電介質(zhì)氧化皮膜上形成導(dǎo)電性聚合物的方法，已知電解氧化聚合法及化學(xué)氧化聚合法?；瘜W(xué)氧化聚合法，其反應(yīng)的控制或聚合膜形態(tài)的控制困難，但固體電解質(zhì)的形成容易，且能夠在短時間內(nèi)大量生產(chǎn)，因此提出了各種方法。例如，曾經(jīng)公開通過交替地進(jìn)行將陽^體浸漬在含有單體的溶液中的工序、和將其浸漬在含有氧化劑的溶液中的工序，來形成具有層狀結(jié)構(gòu)的固體電解質(zhì)的方法(專利文獻(xiàn)1:日本專利第3187380號公報；W09928932)。根據(jù)該方法，通過形成膜厚0.01~5|am的層狀結(jié)構(gòu)的固體電解質(zhì)層，能夠制造高電容、低阻抗、且耐熱性優(yōu)異的固體電解電容器，但為了體現(xiàn)這些特性，為了完全覆蓋電容器元件的細(xì)孔內(nèi)和外表面，需要形成較厚的固體電解質(zhì)膜，為了作為將多片電容器元件層疊而成的疊層型電容器用的元件使用，要求固體電解質(zhì)層整體更加薄膜化。為了在電容器元件的細(xì)孔內(nèi)及外表面均勻地形成固體電解質(zhì)，曾經(jīng)公開了各種技術(shù)。例如，曾經(jīng)公開了在形成導(dǎo)電性聚合物的過程中，通過控制附著在陽極體上的氧化劑的、在陽極體的外表面上的附著量的分布狀態(tài)，來控制導(dǎo)電性聚合物的厚度的方法(專利文獻(xiàn)2:特開2003-188052號公^L)。另外，還曾公開了下述內(nèi)容在外周面、特別是角部上形成聚合膜是重要的(專利文獻(xiàn)3:特開2001-143968號公報)。另一方面，曾經(jīng)公開了通過去除電極箔的飛邊，可減低固體電解電容器的短路不良率(專利文獻(xiàn)4:特開平1-251605號公才^IA專利文獻(xiàn)5:特開2004-296611號公報)。專利文獻(xiàn)4中所說的飛邊，是指切斷時發(fā)生的出現(xiàn)在電極箔的外側(cè)的部分，曾經(jīng)公開了通過壓制，使電極箔的切斷端部成為楔形、凸形、大致的半橢圓、大致的圓弧形、斜面之中的任意組合的方法。壓制成形，會破壞存在于電極箔上的多孔質(zhì)層，從而可靠性降低。另外，關(guān)于壓制后的飛邊狀態(tài)和電極箔側(cè)面的微細(xì)結(jié)構(gòu)、飛邊在電極箔上發(fā)生的由來等尚無明確記栽。另一方面，在專利文獻(xiàn)5中，將預(yù)先開有切槽的閥金屬箔進(jìn)行化學(xué)轉(zhuǎn)化處理后，通過物理地切斷，來防止閥金屬箔產(chǎn)生飛邊。該方法對防止飛邊發(fā)生有效，但在切斷后的切槽上產(chǎn)生新的金屬表面。因此，該閥金屬箔不能原樣地直接作為電容器的電極使用，需要再次重復(fù)繁雜的化學(xué)轉(zhuǎn)化處理，不是經(jīng)濟的方法。專利文獻(xiàn)1:日本專利第3187380號公報專利文獻(xiàn)2:特開2003-188052號>^才艮專利文獻(xiàn)3:特開2001-143968號7>才艮專利文獻(xiàn)4:特開平1-251605號7>才艮專利文獻(xiàn)5:特開2004-296611號7>才艮
發(fā)明內(nèi)容為了制成規(guī)定電容的固體電解電容器，通常將多片電容器元件進(jìn)行層疊，在陽極端子上連接陽極引線，在含有導(dǎo)電性聚合物的導(dǎo)電體層上連接陰極引線，而且將整體用環(huán)氧樹脂等的絕緣性樹脂密封而進(jìn)行制作，但固體電解電容器，需要在電容器元件的陰極部分控制導(dǎo)電性聚合物的聚合條件，加厚導(dǎo)電性聚合物。如果不嚴(yán)密地控制電容器元件的陰極部分的導(dǎo)電性聚合物的聚合條件，則導(dǎo)電性聚合物的厚度變得不均勻，產(chǎn)生導(dǎo)電性聚合物薄的部分，膏等容易與電介質(zhì)氧化皮膜層直接接觸，導(dǎo)致漏電流上升。另外，可層疊在規(guī)定大小的固體電解電容器芯片上的電容器元件的個數(shù)被元件厚度限制，因此不能加大固體電解電容器芯片的電容。尤其是在電容器元件中、表面積小的側(cè)面部以及端面的棱邊(邊緣)部，導(dǎo)電性聚合物的附著厚度容易不均勻，在導(dǎo)電性聚合物薄的部分層疊的電容器元件和電容器元件容易直接接觸，引起漏電流上升，存在上述這樣的問題。因此，本發(fā)明的課題在于，解決上述的問題，穩(wěn)定地制作不會增加短路不良、元件形狀的偏差小、且薄的電容器元件，提供通過增加固體電解電容器芯片內(nèi)的電容器元件的層疊個數(shù)而可進(jìn)行高電容化，而且等效串聯(lián)電阻的偏差小的疊層型固體電解電容器元件及其制造方法。本發(fā)明者門鑒于上述課題而經(jīng)過潛心研討的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，斜向切斷具有微細(xì)孔的陽極基體的方法是有效的。另外查明，在斜向切斷陽極基體的場合，陽極基體的不具有微細(xì)孔的閥金屬被拉伸，發(fā)生了突起物。已經(jīng)知道角部的聚合膜難以形成，此外發(fā)現(xiàn)，在其角部形成的突起物妨礙聚合膜的形成，電容器元件與電容器元件容易直接接觸，引起漏電流上升。尤其是已確認(rèn)，陽極基體的不具有微細(xì)孔的閥金屬，保持附著在該表面上的溶液的能力比有微細(xì)孔的多孔質(zhì)層低，因此更加妨礙聚合膜的形成。另外發(fā)現(xiàn)，通過形成為具有相對于，陽極基體的不具有微細(xì)孔的閥金構(gòu)，有助于向沒有保持溶液的能力的、上述沒有微細(xì)孔的閥金屬表面吸液，具有容易且均勻地形成聚合膜的效果。本發(fā)明者們還發(fā)現(xiàn)，通過使用將棱邊的至少一部分倒棱的陽極基體，在接續(xù)的電介質(zhì)皮膜上利用氧化劑使單體聚合而形成固體電解質(zhì)的過程中，可在起閥作用的金屬的角部及側(cè)面部上均勻地進(jìn)行聚合膜形成。即發(fā)現(xiàn)，通過使陽極基體的角部的角度超過90。，可在該角部分上均勻地進(jìn)行聚合膜形成，從而完成了本發(fā)明。此外發(fā)現(xiàn)，通過形成為相對于，實施了倒棱的陽極基體的不具有微細(xì)含有溝的結(jié)構(gòu)，有助于向沒有保持溶液能力的、該部分表面吸液，具有容易且均勻地形成聚合膜的效果。于是，本發(fā)明者們制造使用了，將具有微細(xì)孔的陽極基體斜向切斷、外周的切斷箔的、固體電解電容器，并且已經(jīng)確認(rèn)，這樣得到的固體電解電容器，在電介質(zhì)皮膜上形成的固體電解質(zhì)的粘附性提高，且為高電容，介電損耗(tan5)、漏電流、不良率均減小。而且已確認(rèn)，通過將上述各項特性優(yōu)異的固體電解電容器元件層疊多片，可實現(xiàn)電容器的小型化和高電容化。即，本發(fā)明涉及以下所示的固體電解電容器用陽極基體、含有該陽極基體的固體電解電容器、該固體電解電容器的制造方法、用該制造方法制造的固體電解電容器、含有將棱邊的至少一部分倒棱的上述陽極基體的固體電解電容器、在該固體電解電容器中使用的實施了倒棱的固體電解電容器用陽極基體、在該固體電解電容器用陽極基體上設(shè)置電介質(zhì)皮膜和固體電解質(zhì)層或者在預(yù)先設(shè)有電介質(zhì)皮膜的固體電解電容器用陽極基體上設(shè)置固體電解質(zhì)層的電解電容器的制造方法、用該制造方法制造的固體電解電容器。1.一種固體電解電容器用陽極基體，其特征在于，是將包含具有微細(xì)孔的閥金屬層和不具有微細(xì)孔的閥金屬層的金屬J4l斜向切斷而成的陽極2.根據(jù)上述l所述的固體電解電容器用陽極基體，其特征在于，是將包含具有微細(xì)孔的閥金屬層和不具有微細(xì)孔的閥金屬層的金屬a斜向切斷而成的陽極基體，不具有微細(xì)孔的閥金屬層追隨切刀而被拉伸，覆蓋具有微細(xì)孔的閥金屬層端面，由此產(chǎn)生的閥金屬拉伸層滿足下述的條件式0<y/z<1(式中，y表示上述閥金屬拉伸層的在14l厚度方向上的厚度，z表示與上3.根據(jù)上述2所述的固體電解電容器用陽極基體，其特征在于，陽極基體為平板狀或箔狀，是通過以切斷開始側(cè)的陽極基體表面與切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過90°且在135。以下的范圍內(nèi)的角度進(jìn)行切斷而獲得的。4.根據(jù)上述2所述的固體電解電容器用陽極基體，其中，陽極基體為平板狀或箔狀，是對閥金屬拉伸層比陽極基體表面突出的部分進(jìn)行切斷去除而獲得的。5.根據(jù)上述2所述的固體電解電容器用陽極基體，其中，陽極基體為平板狀或箔狀，是對包含閥金屬拉伸層比陽極基體表面突出的部分的棱邊進(jìn)行倒棱而獲得的。6.根據(jù)上述2所述的固體電解電容器用陽極基體，其特征在于，陽極基體為平板狀或箔狀，是通過將整形構(gòu)件壓靠在包含閥金屬拉伸層比陽極基體表面突出的部分的棱邊上來消除突出而獲得的。7.根據(jù)上述2所述的固體電解電容器用陽極基體，是將包含具有微細(xì)表面的短軸方向傾斜或平行的溝。8.根據(jù)上述7所述的固體電解電容器用陽tt體，傾斜或平行的溝的寬度為0.1~1000jum。9.根據(jù)上述7所述的固體電解電容器用陽極基體，傾斜或平行的溝的間另巨為0.1~100|im。10.根據(jù)上述7所述的固體電解電容器用陽極基體，傾斜或平行的溝的^果度為0.1~10jam。11.根據(jù)上述1~10中的任一項所述的固體電解電容器用陽極基體，陽極基體為鋁。12.根據(jù)上述ll所述的固體電解電容器用陽極基體，陽極基體是采用切斷機將具有微細(xì)孔的鋁化成箔(即鋁化學(xué)轉(zhuǎn)化箔)切斷成長方形而制造的。13.—種固體電解電容器，其特征在于，含有上述1~12中的任一項所述的固體電解電容器用陽極基體。14.一種上述13所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于，是體聚合、從而設(shè)置了含有導(dǎo)電性聚合物組合物的固體電解質(zhì)層的固體電解電容器的制造方法，其中，使用上述1~12中的任一項所述的固體電解電容器用陽極基體，采用包括在含有單體的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序(工序l)、在含有氧化劑的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序(工序2)的方法，在具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬上設(shè)置固體電解質(zhì)層。15.根據(jù)上述14所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于，采的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序1、在含有氧化劑的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序2的方法，在具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬上設(shè)置固體電解質(zhì)層。16.根據(jù)上述14或15所述的固體電解電容器的制造方法，氧化劑為過石克酸鹽。17.根據(jù)上述14~16中的任一項所述的固體電解電容器的制造方法，含有氧化劑的溶液是含有有機微粒子的懸浮液。18.根據(jù)上述17所述的固體電解電容器的制造方法，有機微粒子的平均粒徑(D5o)為l-20pm的范圍。19.根據(jù)上述18所述的固體電解電容器的制造方法，有機微粒子是選自脂肪族磺酸化合物、芳香族磺酸化合物、脂肪族羧酸化合物、芳香族羧酸化合物、它們的鹽、及縮氨酸化合物之中的至少l種。20.—種采用上述14~19中的任一項所述的制造方法制造的固體電解電容器。21.—種固體電解電容器，其特征在于，其包含將棱邊的至少一部分倒棱的上述1所述的陽極基體。22.根據(jù)上述21所述的固體電解電容器，其中，陽極基體為平板狀或箔狀，對于至少設(shè)置固體電解質(zhì)層的區(qū)域，陽極基體的上面和/或下面、與側(cè)面和/或端面之間的棱邊被測棱。23.根據(jù)上述22所述的固體電解電容器，倒棱部位的陽極基體的上面和/或下面、與側(cè)面和/或端面之間的角部的角度超過90°、小于180°。24.根據(jù)上述23所述的固體電解電容器，陽極基體的側(cè)面和/或端面的在厚度方向的斷面形狀，是尖端的角度為90°以上、小于180。的楔形。25.根據(jù)上述21~24中的任一項所述的固體電解電容器，倒棱后的陽極基體的上面和下面的寬度和/或長度不同。26.根據(jù)上述21~25中的任一項所述的固體電解電容器，倒棱后的陽極基體的側(cè)面和/或端面的在厚度方向的斷面形狀是三邊以上的凸多邊形，構(gòu)成上述斷面形狀的角部的各內(nèi)角超過90°、小于180°。27.根據(jù)上述21所述的固體電解電容器，其中，陽極基體是含有溝的陽極基體，所述溝是相對于在實施了倒棱處理的陽極基體中所含有的不具平行的溝。28.根據(jù)上述27所述的固體電解電容器，陽極基體含有的傾斜或平行的溝的寬度為0.1~100|am。1429.根據(jù)上述27所述的固體電解電容器，陽極基體含有的傾斜或平行的溝的間if巨為0.1~100jam。30.根據(jù)上述27所述的固體電解電容器，陽極基體含有的傾斜或平行的溝的深度為0.1~10pm。31.根據(jù)上述21~30中的任一項所述的固體電解電容器，陽極基體為起閥作用的金屬。32.—種固體電解電容器用陽極基體，其特征在于，是在上述21~31中的任一項所述的固體電解電容器中使用的、棱邊的至少一部分實施了倒棱的陽極基體。33.根據(jù)上述32所述的固體電解電容器用陽極基體，是將切割機斜向壓靠陽極基體的棱邊上實施倒棱而形成的。34.根據(jù)上述32所述的固體電解電容器用陽極基體，通過使圓盤式縱剪斜向壓靠在陽極基體的原板上，形成上面與切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過卯。的陽極基體的中間制品，接著，使切割機斜向壓靠在該中間制品的下面?zhèn)鹊睦膺吷线M(jìn)行切斷，并使得與上述圓盤式縱剪切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過90。，從而形成為上下兩棱邊實施了倒棱的形狀。35.根據(jù)上述32所述的固體電解電容器用陽極基體，通過使圓盤式縱剪斜向壓靠在陽極基體的原板上，形成下面與切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過90。的陽極基體的中間制品，接著，使切割機斜向壓靠在該中間制品的上面?zhèn)鹊睦膺呥M(jìn)行切斷，并使得與上述圓盤式縱剪切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過卯。，從而形成為對上下兩棱邊實施了倒棱的形狀。36.根據(jù)上述32所述的固體電解電容器用陽極基體，其中，使用通過隔開微小的間隙、相互不同地配設(shè)多個圓盤狀刀片單元，其中所述圓盤狀刀片單元是將厚刃刀片和薄刃刀片這2片刀片組合而成，而可在1個圓盤狀刀片單元的厚刃刀片與另一個圓盤狀刀片單元的薄刃刀片之間進(jìn)行切斷的圓盤式縱剪，調(diào)節(jié)上述間隙進(jìn)行切斷，并使得陽極基體的原板在上勤目互不同地配設(shè)的圓盤狀刀片單元之間通過，并沿相對于刀片的切斷方向傾斜1~15度的方向凈皮朝,出。37.根據(jù)上述32所述的固體電解電容器用陽極基體，通過將被切斷的陽極基體的側(cè)面表面壓靠在旋轉(zhuǎn)的具有彈力性的支撐基體的表面上存在的研磨材料的表面上而進(jìn)行了倒棱。38.—種固體電解電容器的制造方法，其特征在于，在上述28~37中的任一項所述的固體電解電容器用陽極基體上，設(shè)置電介質(zhì)皮膜和固體電解質(zhì)層。39.—種固體電解電容器的制造方法，其特征在于，在上述28~37中的任一項所述的預(yù)先設(shè)置了電介質(zhì)皮膜的固體電解電容器用陽極基體上，設(shè)置固體電解質(zhì)層。40.根據(jù)上述38或39所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于，采用包括在含有單體的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序(工序1)、在含有氧化劑的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序(工序2)的方法，在具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬上設(shè)置固體電解質(zhì)層。41.根據(jù)上述40所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于，采用多次重復(fù)進(jìn)行將具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬在含有單體化合物的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序1、在含有氧化劑的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序2的方法，在具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬上設(shè)置固體電解質(zhì)層。42.根據(jù)上述40或41所述的固體電解電容器的制造方法，氧化劑是過石危酸鹽。43.根據(jù)上述40或41所述的固體電解電容器的制造方法，含有氧化劑的溶液是含有有機微粒子的懸浮液。44.根據(jù)上述43所述的固體電解電容器的制造方法，有機孩史粒子的平均粒徑(D5o)為0.120lim的范圍。45.根據(jù)上述43或44所述的固體電解電容器的制造方法，有機孩^立子是選自脂肪族磺酸化合物、芳香族磺酸化合物、脂肪族羧酸化合物、芳香族羧酸化合物、它們的鹽、及縮氨酸化合物之中的至少l種。46.—種采用上述38~45中的任一項所述的制造方法制造的固體電解電容器。圖l是陽極基體的剖面圖。圖2是表示使用電容器元件的固體電解電容器的一例的剖面圖。圖3是表示層疊電容器元件而得到的固體電解電容器的一例的剖面圖。圖4是在實施例1中使用的鋁化成箔的側(cè)面斷面照片(200倍)。圖5是在實施例2中使用的鋁化成箔的側(cè)面斷面照片(500倍)。圖6是在實施例3中使用的鋁化成箔的側(cè)面斷面照片(200倍)。圖7是在實施例4中使用的鋁化成箔的側(cè)面斷面照片(500倍)。圖8是在比較例1中使用的鋁化成箔的側(cè)面斷面照片(500倍)。圖9是在比較例2中使用的鋁化成箔的側(cè)面斷面照片(200倍)。圖IO是在實施例1中使用的鋁化成箔的側(cè)面表面照片(500倍)。圖ll是與以往例(虛線)對比地表示本發(fā)明的一實施形態(tài)的固體電解電容器用陽極基體的結(jié)構(gòu)(實線)的局部剖面圖。圖12是與以往例(虛線)對比地表示本發(fā)明的另一實施形態(tài)的固體電解電容器用陽極基體的結(jié)構(gòu)(實線)的局部剖面圖。圖13是表示本發(fā)明的一實施形態(tài)的固體電解電容器用陽極基體的結(jié)構(gòu)的局部剖面圖。圖14是表示本發(fā)明的另一實施形態(tài)的固體電解電容器用陽極基體的結(jié)構(gòu)的局部剖面圖。圖15是表示本發(fā)明的另一實施形態(tài)的固體電解電容器用陽極基體的結(jié)構(gòu)的局部剖面圖。圖16是在實施例6中使用的鋁化成箔(陽極基體)的厚度方向的斷面照片(500倍，圖中亮色部分是鋁箔的未化成部分，暗色部分是已化成部分)。圖17是在實施例7中使用的鋁化成箔(陽極基體)的厚度方向的斷面照片(500倍，圖中亮色部分是鋁箔的未化成部分，暗色部分是已化成部分)。圖18是在比較例3中使用的鋁化成箔(陽tt體)的厚度方向的斷面照片(500倍，圖中亮色部分是鋁箔的未化成部分，暗色部分是已化成部分)。圖19是在實施例8中使用的鋁化成箔(陽極基體)的厚度方向的斷面照片(500倍，圖中亮色部分是不具有多孔質(zhì)的閥金屬層，暗色部分是多孔質(zhì)層部分)。圖20是在實施例9中使用的鋁化成箔(陽極基體)的厚度方向的斷面照片(500倍，圖中亮色部分是不具有多孑L質(zhì)的閥金屬層，暗色部分是多孔質(zhì)層部分)。圖21是在實施例6中使用的鋁化成箔(陽極基體)的切斷表面照片(500倍，圖中亮色部分是不具有多孔質(zhì)的閥金屬層，暗色部分是多孔質(zhì)層部分)。圖22是在實施例9中使用的鋁化成箔(陽極基體)的切斷表面照片(500倍，圖中亮色部分是不具有多孔質(zhì)的閥金屬層，暗色部分是多孔質(zhì)層部分)。符號說明1陽極基體2電介質(zhì)(氧化皮膜)層3掩模4半導(dǎo)體(固體電解質(zhì))層5導(dǎo)電體層6，7引線8密封樹脂9固體電解電容器具體實施方式以下，參照本發(fā)明。本發(fā)明的陽極基體，是將含有具有微細(xì)孔的閥金屬層和不具有微細(xì)孔的閥金屬層的金屬基敗斜向切斷而形成的陽極基體，是具備不具有微細(xì)孔的閥金屬層追隨切刀被拉伸而形成的切斷表面的陽極基體，典型的，是中心含有不具有微細(xì)孔的閥金屬層、外周含有具有微細(xì)孔的閥金屬層的金屬基體，優(yōu)選為平板狀或箔狀的陽極基體。即，典型例中的其厚度方向的斷面形狀為圖1所示的形狀。在圖1中，Ai及A2為具有微細(xì)孔的閥金屬層(以下也稱為微細(xì)孔層)，B為不具有^:細(xì)孔的閥金屬層，e為具有上述B層追隨切刀被拉伸而形成的切斷表面的閥金屬拉伸層(以下稱為閥金屬拉伸層)。另外，x為不具有微細(xì)孔的閥金屬層(上述B層)的原來的(即，未延伸部分的)的厚度，y為上述拉伸層e的在皿厚度方向的厚度，z為具有微細(xì)孔的閥金屬層(與上述拉伸層接觸的一側(cè)，即A2)的在基板厚度方向的厚度。圖1中，沿箭頭方向切斷陽極基體的場合，產(chǎn)生具有較軟的B層的端面被切刀拖拽、追隨著被拉伸，如圖1所示那樣地形成的切斷表面的閥金屬拉伸層e。此外，本發(fā)明中的閥金屬拉伸層(或飛邊)，實質(zhì)上不含有具有微細(xì)孔的閥金屬層，是具備上述不具有微細(xì)孔的閥金屬層追隨切刀被拉伸而形成的切斷表面的閥金屬拉伸層。本發(fā)明中，該閥金屬拉伸層e需要滿足下述的條件式0<y/z<l。優(yōu)選為0《y/z〈1,更優(yōu)選為0<y/z<0.95，進(jìn)一步優(yōu)選為0<y/z<0.90。一般地，具有微細(xì)孔的多孔質(zhì)體，通過采用對其表面浸漬和噴霧等的方法，使其表面上存在的孔附著單體溶液及氧化劑溶液或?qū)ι鲜鋈芤哼M(jìn)行吸液，并維持該狀態(tài)，從而引起化學(xué)氧化聚合，形成聚合膜。但是發(fā)現(xiàn)，不具有微細(xì)孔的閥金屬層，采用浸漬和噴霧等方法使其表面附著的單體溶液及氧化劑溶液，由于其表面光滑(滑溜)，因此局部地凝聚，凝聚的溶液成為液滴而流淌，因此不能保持，不能進(jìn)行高效的化學(xué)氧化聚合。還發(fā)現(xiàn)，本發(fā)明中所形成的切斷表面的溝，由于通過將不具有微細(xì)孔的閥金屬層的光滑的表面粗面化，可使單體溶液及氧化劑溶液在該表面上的溶液保持能力提高，因而對高效率地進(jìn)行以往難以做到的、在不具有微細(xì)孔的閥金屬表面和角部分上的聚合膜形成是有效的。另外，本發(fā)明中所形成的切斷表面，包括具有該切斷表面的不具有微細(xì)孔的閥金屬拉伸層的切斷表面。即，本發(fā)明的將包含具有微細(xì)孔的閥金屬層和不具有微細(xì)孔的閥金屬層，在切斷時被切刀拖拽、追隨切刀被拉伸而形成切斷表面，優(yōu)選在該切斷表面含有溝，更優(yōu)選含有相對于切斷表面的短軸方向傾斜或平行的溝。更具體地講，是相對于切斷表面的短軸方向，優(yōu)選以0度以上~80度以下，更步優(yōu)選以0度以上45度以下，特別優(yōu)選以0度以上~30度以下的范圍傾斜或平行的溝。該傾斜或平行的溝，相對于切斷表面的短軸方向超過80度的場合，保持溶液的能力已經(jīng)降低，因此不優(yōu)選。本發(fā)明中所形成的切斷表面的溝的寬度，優(yōu)選為0.1~1000nm，更優(yōu)選為0.1~100jum，特別優(yōu)選為0.1~10jum。溝的寬度超過1000|am時，寬度過寬，已經(jīng)不能期待獲得保持溶液的能力，因此不優(yōu)選。本發(fā)明中所形成的切斷表面的溝的間距，優(yōu)選為0.1~1000inm，更優(yōu)選為0.1~100jim，特別優(yōu)選為0.1~10jum。溝的間距超過1000nm時，溝與溝的間隔過寬，不能期待得到隨著溝數(shù)增加而增大的保持溶液的協(xié)同效果，因此不優(yōu)選。在溝的間距小于0.1pm時，表面變得與光滑的表面實質(zhì)上同等，因而不優(yōu)選。本發(fā)明中所形成的切斷表面的溝的深度，根據(jù)陽極基體的厚度不同而不同，因此不能一概地規(guī)定，優(yōu)選為0.1~100jam,更優(yōu)選為0.1~10jum的范圍。再者，該溝的深度優(yōu)選為陽極基體的厚度的1~10%的范圍。本發(fā)明中所形成的切斷表面的溝，可通過在圓盤狀刀片單元的刀片表面切斷使用的圓盤狀刀片單元上形成所要求的微小的溝來形成。此外，通過使圓盤狀刀片單元的刀片表面附著微細(xì)的粉體，也能夠使其形成。在本發(fā)明的陽極基體的制造中使用的刀片的溝，優(yōu)選使其在外周部表面或者外周部表面與圓盤平面構(gòu)成的棱邊部分上形成。在本發(fā)明的陽板基體的制造中使用的刀片的溝的寬度優(yōu)選為0.1~100jam,進(jìn)一步優(yōu)選為0.1~10jim。在本發(fā)明的陽極基體的制造中使用的刀片的溝的間距優(yōu)選為0.1~100進(jìn)一步優(yōu)選為0.1~10jim。在本發(fā)明的陽M體的制造中使用的刀片的溝的深度優(yōu)選為0.01~10ium，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1~ljam的范圍。再有，溝的深度優(yōu)選為陽極基體的厚度的0.01~5%的范圍。此外，陽極基體的切斷表面的溝，通過使圓盤狀刀片單元的刀片表面附著微細(xì)粉體也能夠形成。圖IO是存在通過附著粉體進(jìn)行切斷，而在鋁化成箔的切斷表面上形成的溝的結(jié)構(gòu)的切斷表面的放大照片。作為本發(fā)明中使用的粉體，更具體地講，優(yōu)選為與構(gòu)成陽極基體的材料相同的材料，進(jìn)一步優(yōu)選為該材料的氧化物或氮化物。在以鋁作為基材的場合，作為例子，可以列舉氧化鋁(三氧化二鋁)或者表面上具有氧化皮膜的鋁粉末。在鉭和鈮等的場合，作為例子，可以列舉氧化鉭、氧化鈮等。此外，在使微細(xì)的粉末附著在圓盤狀刀片單元的刀片表面、進(jìn)行切斷的場合，由于粉末聚集，形成二次粒子，因此有時局部地溝的尺寸比使用的粉末的粒徑大，但在本發(fā)明中可無特別問題地使用。在本發(fā)明中使用的粉末，其二次粒子的尺寸或一次粒子的尺寸，優(yōu)選為0.0110lim的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為O.Ol-liam的范圍。本發(fā)明可使用的具有閥作用的金屬，為鋁、鉭、鈮、鈦、鋯、鎂、硅等金屬單質(zhì)、或它們的合金，但特別優(yōu)選鋁。另外，關(guān)于多孔質(zhì)的形態(tài)，如果是軋制箔的腐蝕物、微粉燒結(jié)體等的多孔質(zhì)成形體的形態(tài)，則哪種形態(tài)都可以。作為陽極基體，可以使用這些金屬的多孔質(zhì)燒結(jié)體、通過腐蝕等進(jìn)行了表面處理的板(包括帶、箔等)、線等，但優(yōu)選為平板狀、箔狀的陽極基體，更優(yōu)選是將具有微細(xì)孔的鋁化成箔用切斷機切成長方形而制造的陽極基體。起閥作用的金屬箔(陽極基體)的厚度(H)，根據(jù)使用目的的不同而不同，通常使用厚度為約40~300ym的箔。為了制作成薄型的固體電解電容器，使用采用鋁箔時，使用80~250jam的鋁箔，優(yōu)選使設(shè)置了固體電解電容器的元件的最大高度為250jam以下。金屬箔的大小和形狀也根據(jù)用途的不同而不同，作為平板狀元件單元，優(yōu)選寬度為約l~50mm、長度為約1~50mm的矩形的，更優(yōu)選是寬度為約2~15mm、長度為約2~25mm。對于這樣的陽極基體，為了實現(xiàn)上述條件，可以列舉例如以下的方法，但并不限于這些方法。(1)以切斷開始側(cè)的陽極基體表面與切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度(即，圖1中用角ot表示的切斷角的補角)超過90。且在135。以下的范圍內(nèi)的角度進(jìn)行切斷。(2)在產(chǎn)生閥金屬拉伸層比陽極基體表面突出的部分的場合，進(jìn)行該突出部分的切斷。(3)在產(chǎn)生閥金屬拉伸層比陽極基體表面突出的部分的場合，對包含該突出部分的棱邊進(jìn)行倒棱。(4)在產(chǎn)生閥金屬拉伸層比陽極基體表面突出的部分的場合，通過將整形構(gòu)件壓靠在包含該突出部分的棱邊上來消除突出部分。(1)~(3)，例如可通過使用將2片刀片重疊的切斷機來實施。尤其是(l)，可以通過使用，通過隔開微小的間隙、相互不同地配設(shè)多個將厚刃刀片和薄刃刀片這2片刀片組合而成的圓盤狀刀片單元，而可在1個圓盤狀刀片單元的厚刃刀片與另一個圓盤狀刀片單元的薄刃刀片之間進(jìn)行切斷的圓盤式縱剪，按照將陽極基體的原板在上勤目互不同地配設(shè)的圓盤狀刀片單元之間通過，使其沿相對于刀片的切斷方向傾斜1~15度的方向被排出的方式，調(diào)節(jié)上述間隙進(jìn)行切斷，從而實現(xiàn)。對于包含包括在(3)中進(jìn)行的包含突出部分的棱邊的倒棱在內(nèi)的、將棱邊的至少一部分進(jìn)行了倒棱的陽極基體的固體電解電容器，敘述如下。在本發(fā)明中，固體電解電容器所使用的陽極基體是在其厚度方向的斷面形狀上，不具有卯。以下的角部分，或者減少了卯。以下的角部區(qū)域的。即，如圖11中虛線所示，以往的固體電解電容器用陽極基體，其厚度方向的斷面形狀的角部實質(zhì)上是直角，但本發(fā)明如圖11中實線所示那樣，成為沿棱邊進(jìn)行了倒棱的形狀。其結(jié)果，陽極基體的角部分a或b的角度超過90°而小于180°。此外，在本說明書及其所附帶的權(quán)利要求書中，"倒棱了的陽極基體"，具有進(jìn)行"倒棱"操作而獲得的形狀即可，實際上不只包括進(jìn)行"倒棱"操作而得到的"陽極基體"，也包括采用一些成形方法實現(xiàn)了這樣的"倒棱"后的形狀的陽極基體。倒棱可以對陽極基體的全部棱邊進(jìn)行，但也可以只對上面與側(cè)面(端面)之間的角部分(圖ll之Al)進(jìn)行，還可以只對下面與側(cè)面(端面)之間的角部分(圖11之A2)進(jìn)行。另外，既可以只對陽極基體的上下面與側(cè)面之間的角部分進(jìn)行，也可以只對陽極基體的上下面與端面之間的角部分進(jìn)行。另外，還可以只對這些部分中的一部分進(jìn)行。在此，所謂"側(cè)面"，是沿著陽極基體的長邊(在后述的固體電解電容器的制造工藝中，為與液面垂直的邊)的面，所謂"端面"，是沿著陽極基體的短邊(在后述的固體電解電容器的制造工藝中，為浸漬時與液面水平地被浸漬的一側(cè)的邊)的面。優(yōu)選遍及形成固體電解質(zhì)層的全部區(qū)域進(jìn)行棱邊的倒棱。本發(fā)明中通過倒棱而實現(xiàn)的斷面形狀各種各樣。典型地包括下述陽極楔形形狀的3處角部中的1處角部的角度為90。以上而小于180。、這以外的2處角部的角度超過90。而小于180°。另外，例如如圖ll所示那樣，可以進(jìn)行倒棱以使厚度方向的斷面形狀為三角形abc，但如圖12所示那樣，也可以進(jìn)行倒棱以使厚度方向的斷面形狀為梯形abP(pl，p2)。在這種場合，面P既可以是殘留的倒棱前的側(cè)面(或端面)，也可以是在一次地如圖11那樣形成為三角形abc之后，將其尖端部c進(jìn)一步進(jìn)行倒棱而得到的面。另外，在為三角形abc形狀(圖13;圖11中去除了斜線部分后的形狀)的場合，其尖端部c的角度c，優(yōu)選為卯。以上小于180。，更優(yōu)選為超過卯。而小于180。。另外，在圖12和13中，角度a、b既可以不同也可以相同。構(gòu)成該楔形形狀的角部的角度a、和角度b,優(yōu)選分別為超過卯。而小于180°。進(jìn)而優(yōu)選構(gòu)成楔形形狀的角部的角度a、角度b分別為超過90。而小于180。，角度c為90。以上而小于180。。在圖11~13中，從上面的角部a的頂點相對于下面垂直的下垂線可以與下面的角部b相交，但從上面的角部a的頂點相對于下面垂直的下垂線不會與下面的角部d相交的情形(圖14中x>0)也包括在本發(fā)明中。另外，從上面的角部a的頂點相對于下面垂直的下垂線不與角部f相交、y>O的情形(圖15)也包括在本發(fā)明中。這樣形成的斷面形狀包括三角形以上的凸多邊形，構(gòu)成上述斷面形狀的角部的各角度，優(yōu)選為90。以上而小于180。(其中，凸多邊形為四邊形、且角部的角度全部為卯。的情況除外)。再者，圖14的場合，圖示的實施了倒棱處理的切斷表面部分，在上述意義下為"側(cè)面"的場合，陽極基體的下面的寬度比上面的寬度，單側(cè)只長x(也可以對沒有圖示的另一側(cè)面進(jìn)行同樣的倒棱，在這種場合，下面的寬度比上面的寬度，合計只長2x)。圖14所示的上述部分，在上述意義下為"端面"的場合，陽極基體的下面的長度比上面的長度只長x。另外，圖14的場合，優(yōu)選構(gòu)成楔形形狀的角部的角度a、角度e分別為超過90。而小于180。，角度d為90°以上而小于180°、x>0。圖15的場合，圖示的部分，在上述意義下為"側(cè)面"的場合，陽極基體的下面的寬度比上面的寬度，單側(cè)只短y(也可以對沒有圖示的另一側(cè)面進(jìn)行同樣的倒棱，此時下面的寬度比上面的寬度合計只短2y)。另外，圖15所示的部分，在上述意義下為"端面"的場合，陽板基體的下面的長度比上面的長度只短y。另外，圖15的場合，優(yōu)選構(gòu)成楔形形狀的角部的角度a、角度f分別為超過卯。而小于180。、角度g為卯。以上而小于180°、y>0。另外，象在圖12中將圖11的角c進(jìn)一步倒棱那樣，可以將角a、b、c、d、e、f、g中的任意角進(jìn)一步進(jìn)行倒棱，還可以將由這樣的倒棱而產(chǎn)生的角進(jìn)一步倒棱。但是，通常，陽極基體為數(shù)十?dāng)?shù)百ium左右的厚度，因此圖11~15的形狀是現(xiàn)實的。另外，倒棱的形態(tài)，對于各棱邊而言，既可以不同也可以相同。上述那樣的陽極基體，可通過例如將切割機切斜向壓靠在陽極基體的棱邊上實施倒棱來制造。也可以從陽極基體的上下同時壓靠切割機，對上下的各棱邊同時進(jìn)行倒棱。另夕卜，對于側(cè)面，也可以將圓盤式縱剪斜向壓靠在陽極基體的原板上，形成上面與切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過90。的中間制品，接著，將切割機斜向壓靠在該中間制品的下面?zhèn)鹊睦膺吷?，進(jìn)行切斷并使得上述與圓盤式縱剪切斷面之間的棱邊內(nèi)部角度超過卯。，來實現(xiàn)倒棱形狀，也可以與^f目反(從下面?zhèn)扔脠A盤式縱剪進(jìn)行切斷后，進(jìn)行上側(cè)面的倒棱處理)。另外，也可以通過使用，通過隔開微小的間隙、相互不同地配設(shè)多個將厚刃刀片和薄刃刀片這2片刀片組合而成的圓盤狀刀片單元，而可在1個圓盤狀刀片單元的厚刃刀片與另一個圓盤狀刀片單元的薄刃刀片之間進(jìn)行切斷的圓盤式縱剪，按照將陽極基體的原板在上勤目互不同地配設(shè)的圓盤狀刀片單元之間通過，使其沿相對于刀片的切斷方向傾斜1~15度的方向被排出的方式，調(diào)節(jié)上述間隙進(jìn)行切斷。另一方面，本發(fā)明的具有楔形形狀的陽極基體，可將先被切斷的側(cè)面，以條狀或定量巻取的環(huán)帶(hoop)狀對該側(cè)面進(jìn)行研磨而制造。更詳細(xì)地講，可通過將被切斷的化成箔的側(cè)面表面壓靠在具有彈力性的支撐基體的表面上存在的研磨材料上進(jìn)行倒棱而制造。發(fā)現(xiàn)，具有由多孔質(zhì)的具有微細(xì)孔的閥金屬層夾入的不具有微細(xì)孔的閥金屬層的陽極基體，由于具有微細(xì)孔的閥金屬層比不具有微細(xì)孔的閥金屬層脆、且其強度低，因此壓靠在研磨材料上時，具有微細(xì)孔的閥金屬層選擇性地被研磨，能夠形成本發(fā)明的楔形形狀的側(cè)面。倒棱時更優(yōu)選^f吏用具有彈力性的支撐14aL的表面上存在的研磨材料。即，在使用具有彈力性的支撐基板的場合，通過以強度更高的不具有^t細(xì)孔的閥金屬層作為頂點，支撐基板撓曲，在其兩面存在的具有微細(xì)孔的閥金屬層優(yōu)先被研磨。如果將被切斷的化成箔的側(cè)面表面壓靠在沒有彈力性的支撐基體的表面上存在的研磨材料上，則不具有微細(xì)孔的閥金屬層被拉伸，因此不理想。其中，在研磨被巻取成環(huán)帶狀的陽極基體的場合，所使用的研磨材料，優(yōu)選為120號~2400號，進(jìn)一步優(yōu)選為320號~500號。研磨可通過^f吏用單動和雙動的研磨機(grinder)等的旋轉(zhuǎn)的基體上存在的研磨材料的研磨來制造，更優(yōu)選雙動的研磨。雙動研磨可以消除環(huán)帶材料的出現(xiàn)巻取偏移的部分，因此即使將整體磨削，不具有微細(xì)孔的閥金屬層也不被拉伸，并可均勻地研磨，因此特別優(yōu)選。在不具有微細(xì)孔的閥金屬層的表面上的溝的形成，與側(cè)面部分的研磨同時地實施的方法是高效的，因此優(yōu)選。但是，在通過側(cè)面部分的研磨不能形成所要求的溝的場合，也可以另行實施用于溝加工的研磨。特別是為了縮短研磨所需要的時間，與在研磨表面上的溝加工區(qū)分地實施有時效率高。更具體地講，在環(huán)帶材的偏移大，需要大量的磨削加工的場合，優(yōu)選選擇另行進(jìn)行用于溝加工的研磨的方法。本發(fā)明還提供包括上述陽極基體的固體電解電容器。典型的結(jié)構(gòu)示于形成陽極基板(1)表面的電介質(zhì)皮膜(2)、再形成固體電解質(zhì)(4)(陰極部分)的結(jié)構(gòu)。在金屬多孔體的表面形成電介質(zhì)氧化皮膜的方法，可以使用眾所周知的方法。例如在使用鋁箔的場合，在含有硼酸、磷酸、己二酸、或者它們的鈉鹽、銨鹽等的水溶液中進(jìn)行陽極氧化，可以形成氧化皮膜。另外，在使用鉭粉末的燒結(jié)體的場合，在磷酸水溶液中進(jìn)行陽極氧化，可在燒結(jié)體上形成氧化皮膜?；伤褂玫幕梢?、化成電壓等的化成條件，才艮據(jù)所制造的固體電解電容器所需要的電容、耐電壓等，預(yù)先通過試驗確認(rèn)，設(shè)定成適當(dāng)?shù)闹?。另外，在化成處理時，為了防止化成液滲入固體電解電容器的作為陽極的部分，且與在后面工序中形成的固體電解質(zhì)(4)(陰極部分)的絕緣變得可靠，通常設(shè)置有掩模(3)。作為掩模材料，可使用一般的耐熱性樹脂、優(yōu)選使用對溶劑可溶或者可溶脹(膨潤)的耐熱性樹脂或者其前體、無機質(zhì)^:粉和纖維素系樹脂所形成的組合物等，但對材料沒有限制。作為具體例，可以列舉聚笨諷(PPS)、聚醚砜(PES)、氰酸酯樹脂、氟樹脂(聚四氟乙烯、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物等)、低分子量聚酰亞胺以及它們的衍生物及其前體等，特別優(yōu)選低分子量聚酰亞胺、聚醚砜、氟樹脂及它們的前體本發(fā)明的基本事項是包括將起閥作用的金屬多孔體基板浸漬在氧化劑溶液中后進(jìn)行干燥、在基板上緩慢地提高氧化劑溶液濃度的工序的有機聚合物單體的化學(xué)氧化聚合。采用本發(fā)明的化學(xué)氧化聚合法時，使單體附著在陽極基體的具有微細(xì)孔的電介質(zhì)皮膜上，在能夠成為導(dǎo)電性聚合物的摻雜劑的化合物存在下，使其發(fā)生氧化聚合，使產(chǎn)生的聚合物組合物作為該固體電解質(zhì)形成于電介質(zhì)表面上。根據(jù)本發(fā)明的方法形成的導(dǎo)電性聚合物的固體電解質(zhì)層，形成原纖維結(jié)構(gòu)或?qū)訝?薄的層狀)結(jié)構(gòu)，這樣的結(jié)構(gòu)中，存在遍及寬范圍的聚合物鏈間的重疊。在本發(fā)明中發(fā)現(xiàn)，通過將固體電解質(zhì)層的全體的厚度確定在約10~約100|im的范圍、將聚合物的層狀結(jié)構(gòu)的空間確定為0.01~5um、優(yōu)選為0.05~3nm、進(jìn)一步優(yōu)選為0.12jam的范圍、將在聚合膜全體中占據(jù)的固體電解質(zhì)的各層間的空間占有率確定為0.1~20%的范圍，聚合物鏈間的電子跳躍變得容易，電導(dǎo)率提高、低阻抗等的特性提高。以下，對于本發(fā)明中在具有微細(xì)孔的起閥作用的金屬表面上形成的電介質(zhì)皮膜上形成固體電解質(zhì)層的方法按順序進(jìn)行說明。本發(fā)明中的在含有單體的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序1，是為了向電介質(zhì)表面上以及聚合物組合物上供給單體而實施的。此外，為了使單體均勻地附著在電介質(zhì)表面上以及聚合物組合物上，浸滲含有單體的溶液后，在空氣中放置一定時間，使溶劑氣化。該條件隨溶劑種類而改變，但大約在O'C以上到溶劑的沸點的溫度下進(jìn)行。放置時間隨溶劑種類而改變，但大致為5秒~15分鐘，例如在為醇系溶劑時，可以為5分鐘以內(nèi)。通過i殳置該放置時間，單體在電介質(zhì)表面上均勻附著，而且，可以減少下道工序的在含有氧化劑的溶液中浸漬時的污染。單體的供給，可根據(jù)含單體的溶液中所使用的溶劑的種類、含單體的溶液的濃度、溶液溫度、浸漬時間等來進(jìn)行控制。27工序1所適用的浸漬時間，確定為對含單體的溶液中的單體成分附著在金屬箔基板的電介質(zhì)表面上足夠的時間以上但小于15分鐘的時間，優(yōu)選為0.1秒~10分鐘，進(jìn)一步優(yōu)選為1秒~7分鐘。另外，浸漬溫度，優(yōu)選為-io。c~6or;，特別優(yōu)選為o4ox:。在小于-IOX:時，溶劑的揮發(fā)花費時間，反應(yīng)時間加長，因此并不理想；在超過60。c時，不能忽略溶劑以及單體的揮發(fā)，濃度管理變得困難。含單體的溶液的濃度沒有特別限制，可以使用任意濃度的，但優(yōu)選為向起閥作用的金屬的微細(xì)孔內(nèi)的浸滲性優(yōu)異的3~70質(zhì)量％,進(jìn)一步優(yōu)選在25~45質(zhì)量％下使用。作為工序1所使用的溶液的溶劑，可以使用，例如四氫吹喃(THF)、二嗯烷、二乙基醚等的醚類；丙酮、甲乙酮等的酮類；二甲基甲酰胺、乙腈、爺腈、N-曱基吡咯烷酮(N-^于^匕?？贛>)(NMP)、二甲基亞砜(DMSO)等的非質(zhì)子性極性溶劑；乙酸乙酯、乙酸丁酯等的酯類；氯仿、二氯甲烷等的非芳香族性的氯系溶液；硝基甲烷、硝基乙烷、硝基苯等的硝基化合4汆甲醇、乙醇、丙醇等的醇類或水或者它們的混合溶劑。優(yōu)選為醇類或酮類或者它們的混合系。對于本發(fā)明，單體通過在含氧化劑的溶液中浸漬以及在一定的溫度范圍下在空氣中保持規(guī)定時間的工序2來被氧化聚合，但為了使聚合膜的形態(tài)更加致密，優(yōu)選以在空氣中保持的氧化聚合為主的方法。在空氣中保持的溫度隨單體的種類而不同，例如在為吡咯時，可以為5"C以下，在為噻吩系時，需要為約3060。C。聚合時間取決于浸漬時的單體的附著量。附著量根據(jù)單體以及含氧化劑的溶液的濃度和粘度等而變化，因此不能一概規(guī)定，但是一般地若減少一次的附著量，則可以縮短聚合時間；而增多一次的附著量時，需要更長的聚合時間。采用本發(fā)明的方法時，一次的聚合時間為10秒~30分鐘，優(yōu)選為3~15分鐘。作為工序2所適用的浸漬時間，確定為對氧化劑成分附著在金屬箔基板的電介質(zhì)表面上足夠的時間以上但小于15分鐘的時間，優(yōu)選為0.1秒~IO分鐘，更優(yōu)選為1~7分鐘。作為工序2中采用的氧化劑，可以列舉水溶液系的氧化劑和有機溶劑系的氧化劑。作為在本發(fā)明中可優(yōu)選使用的水溶液系氧化劑，可以列舉過氧二硫酸及其Na鹽、K鹽、NH4鹽、硝酸鈰(IV)、硝酸鈰(IV)銨、硫酸鐵(III)、硝酸鐵(III)、氯化鐵(III)等。另外，作為有機溶劑系的氧化劑，可以列舉有機磺酸的鐵(III)鹽，例如十二烷基^t酸4失(III)、對甲M酸鐵(III)等。作為本發(fā)明的工序2中使用的溶液的溶劑，能夠使用例如四氫呋喃(THF)、二"惡烷、二乙基醚等的醚類；丙酮、甲乙酮等的酮類；二甲基曱酰胺、乙腈、爺腈、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、二甲亞砜(DMSO)等的非質(zhì)子性極性溶劑；甲醇、乙醇、丙醇等的醇類或水或者它們的混合溶劑。優(yōu)選為水、醇類或酮類或者它們的混合系。此外，氧化劑溶液的濃度優(yōu)選為5~50質(zhì)量％，另外氧化劑溶液的溫度優(yōu)選為-15'C~60°C。在工序2中，更優(yōu)選使用含有有機微粒子的懸浮液。有機微粒子通過殘存在電介質(zhì)表面上或聚合物組合物上，對幫助向由聚合膜填充了細(xì)孔內(nèi)的平滑的聚合膜表面上供給氧化劑以及單體有效的。尤其是通過使用可溶性的有機孩吏粒子形成固體電解質(zhì)層后，能夠去除可溶性的有枳^史粒子，可以提高電容器元件的可靠性。作為在溶解去除有機微粒子的過程中使用的溶劑，可以使用例如水；甲醇、乙醇、丙醇等的醇類；丙酮、甲乙酮等的酮類；二甲基甲酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基亞砜等的非質(zhì)子性極性溶劑，但優(yōu)選為水或醇類、或者它們的混合溶劑，如果是也使氧化劑溶解的溶劑，則可以在去除氧化劑的同時進(jìn)行實施，因此是更優(yōu)選的。另外，通過使用強酸而可去除的可溶性的無機微粒子，由于會造成使起閥作用的金屬表面的電介質(zhì)皮膜也溶解、或腐蝕等的損傷，因此不優(yōu)選。作為可溶性的有機微粒子，優(yōu)選其平均粒徑(D5fl)為0.120jam的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5~15ym。可溶性的有機樣i粒子的平均粒徑(D50)，超過20pm時，在聚合膜上形成的間隙增大，因此不優(yōu)選，在小于0.1jam時，喪失附著液的增量效果，變得與水同等。作為可溶性的有機微粒子的具體例，可以舉出脂肪族磺酸化合物、芳香族磺酸化合物、脂肪族羧酸化合物、芳香族羧酸化合物、縮氨酸化合物、和/或其鹽等，可以優(yōu)選使用芳香族磺酸化合物、芳香族羧酸化合物、縮氨酸化合物。作為芳香族磺酸化合物，更具體地可以列舉苯磺酸、甲苯磺酸、^酸、蒽磺酸、蒽醌磺酸和/或其鹽；作為芳香族羧酸化合物，更具體地可以列舉苯甲酸、甲苯羧酸、萘羧酸、蒽羧酸、蒽醌羧酸和/或其鹽；作為縮氨酸化合物，更具體地可以列舉枯草菌脂肽(surfactin)、伊枯草菌素(iturin)、芬枯草菌素(plipastatin)、賽拉埃奇(七，々工、:/于>)等。本發(fā)明的方法中，為了使所形成的導(dǎo)電性聚合物組合物達(dá)到對濕度、熱及應(yīng)力等具有耐性的厚度，需要控制浸漬次數(shù)。根據(jù)本發(fā)明的固體電解質(zhì)的優(yōu)選的形成工序之一，是將工序1和工序2的工序作為1個循環(huán)反復(fù)進(jìn)行的方法。上述循環(huán)通過對1個陽極基體重復(fù)進(jìn)行3次以上、優(yōu)選重復(fù)進(jìn)行8~30次，能夠形成所要求的固體電解質(zhì)層。另外，工序1和工序2按相反順序進(jìn)行也可以。根據(jù)本發(fā)明，如后述的實施例所述那樣，通過將具有電介質(zhì)氧化皮膜的鋁箔浸漬在例如3，4-亞乙二氧基噻吩(EDT)的異丙醇(IPA)溶液中，然后將其風(fēng)干，基本去除IPA后，浸漬在約20質(zhì)量％的氧化劑(過石克酸銨)水溶液中，然后在40X:左右加熱10分鐘，另外通過將該工序反復(fù)實施，可以得到聚(3，4-亞乙二氧基瘞吩)的聚合物。形成本發(fā)明中使用的固體電解質(zhì)的導(dǎo)電性聚合物，是具有71電子共扼結(jié)構(gòu)的有機聚合物單體的聚合物，聚合度為2以上2000以下，更優(yōu)選為3以上1000以下，進(jìn)一步優(yōu)選為5以上200以下。作為具體例，可以列舉具有噻吩骨架的化合物、具有多環(huán)狀硫醚骨架的化合物、具有吡咯骨架的化合物、具有呋喃骨架的化合物、具有苯胺骨架的化合物等所顯示的結(jié)構(gòu)作為重復(fù)單元而含有的導(dǎo)電性聚合物。作為具有噻吩骨架的單體，可以列舉3-曱基蓉吩、3-乙基嚷吩、3-丙基瘞吩、3-丁基瘞吩、3-戊基瘞吩、3-己基瘞吩、3-庚基漆吩、3-辛基瘞吩、3-壬基瘞吩、3-癸基瘞吩、3-氟瘞吩、3-氯瘞吩、3-溴壤吩、3-^瘞吩、3，4-二曱基瘞吩、3，4-二乙基瘞吩、3，4-亞丁基瘞吩、3，4-亞甲二氧基瘞吩、3,4-亞乙二氧基噢吩等的衍生物。這些化合物是一般市售的化合物或可采用乂>知的方法(例如，SyntheticMetals志，1986年，15巻，169頁)準(zhǔn)備。作為具有多環(huán)狀硫醚骨架的單體的具體例，可以使用具有1，3-二氫多環(huán)狀硫醚(別名，1，3-二氫苯并[c]噻吩)骨架的化合物、具有l(wèi)，3-二氫萘并[2，3-c]噻吩骨架的化合物。此外，可以列舉具有1,3-二氫蒽[2，3-c]噻吩骨架的化合物、具有1，3-二氫并四苯Uaphthaceno)[2，3-c]噻吩骨架的化合物。它們可以用7>知的方法，例如特開平8-3156號7>才艮所述的方法準(zhǔn)備。另夕卜，具有1，3-二氫萘并[l，2-c]蓉吩骨架的化合物也可以使用1，3-二氫菲[2,3-c]噻吩衍生物，具有1，3-二氫三苯[2，3-c]噻吩骨架的化合物也可以使用1,3-二氫苯并[a]蒽[7，8-c]噻吩衍生物等。也可以使用縮合環(huán)中任意地含有氮或N-氧的化合物，可以列舉例如1,3二氫噻吩并[3，4-W喹喔啉、1，3二氫噻吩并[3，4-bl喹喔啉-4-氧化物、1,3二氫噻吩并[3，4-b喹喔啉-4-9-二氧化物等。作為具有吡咯骨架的單體，可以列舉例如3-甲基吡咯、3-乙基吡咯、3-丙基吡咯、3-丁基吡咯、3-戊基吡咯、3-己基吡咯、3-庚基吡咯、3-辛基吡咯、3-壬基吡咯、3-癸基吡咯、3-氟代吡咯、3-氯代吡咯、3-溴代吡咯、3-氰基吡咯、3，4-二曱基p比咯、3，4-二乙基吡咯、3，4-丁基吡咯、3，4-亞甲二氧基吡咯、3，4-亞乙二氧基吡咯等的衍生物。這些化合物可以用市售品或采用7>知的方法準(zhǔn)備。作為具有呋喃骨架的單體，可以列舉3-曱基呋喃、3-乙基呋喃、3-丙基呋喃、3-丁基呋喃、3-戊基呋喃、3-己基呋喃、3-庚基呋喃、3-辛基呋喃、3-壬基呋喃、3-癸基呋喃、3-氟代呋喃、3-氯代呋喃、3-溴代呋喃、呋喃、3，4-二甲基呋喃、3，4-二乙基呋喃、3，4-二丁基呋喃、3，4-亞甲二氧基呋喃、3，4-亞乙二氧基呋喃等的衍生物。這些化合物可以用市售品或采用公知的方法準(zhǔn)備。作為具有苯胺骨架的單體，可以列舉2-曱基苯胺、2-乙基苯胺、2-丙基苯胺、2-丁基苯胺、2-戊基苯胺、2-己基苯胺、2-庚基苯胺、2-辛基苯胺、2-壬基苯胺、2-癸基苯胺、2-氟代苯胺、2-氯代苯胺、2-溴代苯胺、苯胺、2，5-二甲基苯胺、2,5-二乙基苯胺、2，3-亞丁基苯胺、2，3-亞曱二氧基苯胺、2，3-亞乙二氧基苯胺等的衍生物。這些化合物可以用市售品或采用公知的方法準(zhǔn)備。其中，優(yōu)選具有噻吩骨架或者多環(huán)狀石克醚骨架的化合物，特別優(yōu)選3，4-亞乙二氧基瘞吩(EDT)、1，3-二氫異硫茚。從上述化合物群中選擇的化合物的聚合條件等沒有特別限制，可通過簡單的實驗，預(yù)先確認(rèn)優(yōu)選的條件，從而能夠容易地實施。另外，并用從上述單體群中選擇的化合物，作為共聚物形成固體電解質(zhì)也可以。此時的聚合性單體的組成比等依賴于聚合條件等，優(yōu)選的組成比、聚合條件可通過簡單的試驗來確認(rèn)。例如可以使用，將EDT單體以及氧化劑，優(yōu)選在溶液的形態(tài)下，先后分別地、或者一起地涂布在金屬箔的氧化皮膜層上而形成的方法等(曰本專利第3040113號公報、美國專利第6229689號公報)。在本發(fā)明中可優(yōu)選使用的3，4-亞乙二氧基瘞吩(EDT)，可很好地溶解于上述的一元醇中，但與水的親合性不好，因此與高濃度的氧化劑水溶液接觸時，EDT在其界面可良好地進(jìn)行聚合，形成原纖維結(jié)構(gòu)或?qū)訝?薄的層狀)結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性聚合物固體電解質(zhì)層。對于本發(fā)明的制造方法，作為固體電解質(zhì)形成后的洗滌用溶劑，能夠使用例如四氫呋喃(THF)和二嗎烷、二乙基醚等的醚類；丙酮、甲基-乙基丙酮等的酮類；二甲基磺胺、乙腈、爺腈、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、二甲亞砜(DMSO)等的非質(zhì)子性極性溶劑；乙酸乙酯、乙酸丁酯等的酯類；氯仿、二氯甲烷等的非芳香族性的氯系溶劑；硝基甲烷、硝基乙烷、硝基苯等的硝基化合物；曱醇、乙醇、丙醇等的醇類；甲酸、乙酸、丙酸等的有機酸；該有機酸的酸酐(例如乙酸酐等)或水或者它們的混合溶劑。優(yōu)選為水、醇類或酮類或者它們的混合系。這樣制造的固體電解質(zhì)的電導(dǎo)率，為約0.1~約200S/cm的范圍，優(yōu)選為約1~約150S/cm,進(jìn)一步優(yōu)選為約10~約100S/cm的范圍。在這樣形成的導(dǎo)電性聚合物組合物層上，為了使之與陰極引線端子的電接觸良好，優(yōu)選設(shè)置導(dǎo)電體層。導(dǎo)電體層例如通過導(dǎo)電膏、鍍覆和蒸鍍、導(dǎo)電樹脂膜的貼附等來形成。在本發(fā)明中，形成導(dǎo)電體層后也可以進(jìn)行壓縮。例如在含有彈性體的導(dǎo)電體層的場合，由壓縮進(jìn)行塑性變形，可進(jìn)一步使其變薄，且也具有Y吏導(dǎo)電體層表面平滑化的效果。如此得到的固體電解電容器元件，如圖3所示那樣，通常將多個該元件層疊，在陽極端子上連接陽極引線(6)，在固體電解質(zhì)層(4)上的導(dǎo)電體層(未圖示)上連接陰極引線(7)，此外通過對整體實施采用例如樹脂塑模(8)、樹脂外殼、金屬制的外包裝殼、樹脂浸漬等進(jìn)行的外包裝，就制作成各種用途的固體電解電容器(9)制品。實施例以下對于本發(fā)明，表示出代表的例子進(jìn)一步具體地說明。另外，這些例子是用于說明的例示，本發(fā)明并不限于這些例子。實施例1使用圖1中的x為30|im、y/z=0.3、切斷角a的補角(參照圖l)為110°、整體的厚度(H)為110nm的鋁化成箔。斷面形狀的放大照片示于圖4。另外，切斷表面的放大照片示于圖10。將該鋁化成箔切成短軸方向3mmx長軸方向10mm，在兩面上以環(huán)繞狀涂布寬度lmm的聚酰亞胺溶液,并使得將長軸方向劃分成4mm和5mm的部分，使其干燥，作成掩模。將該化成箔的3mmx4mm的部分在10質(zhì)量％的己二酸銨水溶液中外加4V的電壓，對切口部分進(jìn)行化成，形成電介質(zhì)氧化皮膜。然后，將該鋁箔的3mmx4mm的部分在溶解有3，4-亞乙二氧基噢吩的2.0mol/L的異丙醇(IPA)溶液中進(jìn)行5秒鐘浸漬，并將其在室溫下進(jìn)行5分鐘干燥，在調(diào)整成2-蒽醌磺酸鈉(D50=llpm;采用、乂7少、;/夕7(林)制的主分^f幾(77夕一廿^f一；mastersizer)測定)為0.07質(zhì)量％的1.5mol/L的過硫酸銨水溶液中浸漬5秒鐘。接著，將該鋁箔在40X:的大氣中放置10分鐘，進(jìn)行氧化聚合。此外，使該浸漬工序及聚合工序按整體達(dá)到22次，從而在鋁箔的外表面形成了導(dǎo)電性聚合物的固體電解質(zhì)層。將最終生成的聚(3，4-亞乙二氧基噢吩)在50'C溫水中進(jìn)行洗滌，然后在IOOX:進(jìn)行30分鐘干燥，形成了固體電解質(zhì)層。通過斷面形狀的顯微鏡觀察得到的角部分(棱邊內(nèi)部角度為110°的切斷部分)的膜厚為22jim。其次，將形成了固體電解質(zhì)層的3mmx4mm的部分浸漬在15質(zhì)量％己二酸銨溶液中，在沒有形成固體電解質(zhì)層的部分的起閥作用的金屬箔上設(shè)置陽極接點，外加3.8V的電壓，進(jìn)行再次化成。其次，如圖3所示那樣，在上述鋁箔的形成了導(dǎo)電性聚合物組合物層的部分上，粘附碳膏和銀膏，將4片上述鋁箔層疊，連接陰極引線端子。另外，在沒有形成導(dǎo)電性聚合物組合物層的部分上，通過焊接來連接陽極引線端子。此外，將該疊層元件用環(huán)氧樹脂密封后，在125。C外加額定電壓(2V)進(jìn)行2小時老化，完成合計30個的電容器。對于這30個疊層電容器元件，作為初始特性，測定120Hz下的電容和損耗系數(shù)(tan5xioo(%))、等效串聯(lián)電阻(ESR)、以及漏電流。另外，漏電流是在外加電壓、經(jīng)l分鐘后測定。表l表示出這些測定值的平均值、及將0.002CV以上的漏電流作為不合格品時的不良率。在此，漏電流的平均值是除掉不良品而計算的值。實施例2使用圖1中x為30jam、y/z=0.5、切斷角ot的補角(參照圖1)110°、整體的厚度(H)為llOnim的鋁化成箔。斷面形狀的放大照片示于圖5。除了使用該鋁化成箔以外，與實施例1同樣地形成了固體電解質(zhì)。與實施例1同樣測定的角部分(棱邊內(nèi)部角度為110°的切斷部分)的膜厚為19jim。接著，與實施例1同樣地進(jìn)行再化成、碳骨和4艮膏的涂布、層疊、陰極引線端子的連接、采用環(huán)氧樹脂的密封、老化操作，完成合計30個電容器。對于得到的疊層電容器元件，與實施例1同樣地進(jìn)4亍的特性評價的結(jié)果示于表l。實施例3使用圖l中x為30pm、y/z=0.8、切斷角oc的補角(參照圖1)110°、整體的厚度(H)為110jLim的鋁化成箔。斷面形狀的放大照片示于圖6。除了使用該鋁化成箔以外，與實施例1同樣地形成了固體電解質(zhì)。與實施例1同樣測定的角部分(棱邊內(nèi)部角度為110。的切斷部分)的膜厚為17pm。其次，與實施例1同樣地進(jìn)行再化成、碳骨和銀青的涂布、層疊、陰極引線端子的連接、采用環(huán)氧樹脂的密封、老化操作，完成合計30個電容器。對于得到的疊層電容器元件，與實施例1同樣地進(jìn)行的特性評價的結(jié)果示于表l。實施例4使用圖1中x為30jum、y/z=1.0、切斷角oc的補角(參照圖1)110°、整體的厚度(H)為110ym的鋁化成箔。斷面形狀的放大照片示于圖7。除了使用該鋁化成箔以外，與實施例1同樣地形成了固體電解質(zhì)。再者，該鋁化成箔是通過，將切成矩形、巻取在旋轉(zhuǎn)軸上的鋁化成箔使切斷面向下按壓在平板上，將突起部分折曲、去除而制造的。與實施例1同樣測定的角部分(棱邊內(nèi)部角度為110。的切斷部分)的膜厚為15|im。其次，與實施例1同樣地進(jìn)行再化成、碳膏和4艮膏的涂布、層疊、陰極引線端子的連接、采用環(huán)氧樹脂的密封、老化操作，完成合計30個電容器。對于得到的疊層電容器元件，與實施例1同樣地進(jìn)行的特性評價的結(jié)果示于表l。實施例5使用圖1中x為30ym、y/z=0.5、切斷角a的補角(參照圖1)100°、整體的厚度(H)為110jam的鋁化成箔。除了使用該鋁化成箔以外，與實施例1同樣地形成固體電解質(zhì)。與實施例1同樣測定的角部分(棱邊內(nèi)部角度為100°的切斷部分)的膜厚為21ym。其次，與實施例1同樣地進(jìn)行再化成、碳骨和銀膏的涂布、層疊、陰極引線端子的連接、采用環(huán)氧樹脂的密封、老化操作，完成合計30個電容器。對于得到的疊層電容器元件，與實施例1同樣地進(jìn)行的特性評價的結(jié)果示于表l。比較例1使用圖l中x為30pm、y/z=1.2、切斷角a的補角(參照圖1)110°、整體的厚度(H)為110jam的鋁化成箔。斷面形狀的放大照片示于圖8。除了使用該鋁化成箔以外，與實施例1同樣地形成固體電解質(zhì)。與實施例1同樣測定的角部分(棱邊內(nèi)部角度為110°的切斷部分)的膜厚為3jam。其次，與實施例1同樣地進(jìn)行再化成、碳骨和銀骨的涂布、層疊、陰極引線端子的連接、采用環(huán)氧樹脂的密封、老化操作，完成合計30個電容器。對于得到的疊層電容器元件，與實施例1同樣地進(jìn)行的特性評價的結(jié)果示于表l。比較例2使用圖1中x為30jam、y/z=1.5、切斷角a的補角(參照圖1)110°、整體的厚度(H)為110lum的鋁化成箔。斷面形狀的放大照片示于圖9。除了使用該鋁化成箔以外，與實施例l同樣地形成固體電解質(zhì)。與實施例1同樣測定的角部分(棱邊內(nèi)部角度為110°的切斷部分)的膜厚為1|im。其次，與實施例1同樣地進(jìn)行再化成、碳青和銀骨的涂布、層疊、陰極引線端子的連接、采用環(huán)氧樹脂的密封、老化操作，完成合計30個電容器。對于得到的疊層電容器元件，與實施例1同樣地進(jìn)行的特性評價的結(jié)果示于表l。表l實施例初始特性電容損耗系數(shù)%ESR漏電流不良率實施例11081.00.0120.210/30實施例21071.10.0110.190/30實施例31061.20.0100.200/30實施例41081.10.0080.211/30實施例51071.0O扁0.190/30比較例11072.20.0170.312/30比較例21062.60.0200.4520/30以下實驗所使用的鋁化成箔，使用通過隔開微小的間隙、相互不同地配設(shè)多個將厚刃刀片和薄刃刀片這2片刀片組合而成的圓盤狀刀片單元，而可在1個圓盤狀刀片單元的厚刃刀片與另一個圓盤狀刀片單元的薄刃刀片之間進(jìn)行切斷的圓盤式縱剪，按照將陽極基體的原板在上W目互不同地配設(shè)的圓盤狀刀片單元之間通過，使其沿相對于刀片的切斷方向傾斜1~15度的方向被排出的方式，調(diào)節(jié)上述間隙進(jìn)行切斷，實施例6使用具有以圖13為標(biāo)準(zhǔn)的楔形形狀、厚度方向的斷面形狀中的3處角部的角度a為165度、角度b為120度、角度c為90度的鋁化成箔(厚度100um)。再者，該化成箔是通過調(diào)整上述間隙并使得在上述圓盤式縱剪中排出角度為5度來制作。斷面形狀的^L大照片示于圖16。另外，切斷表面的方丈大照片示于圖21。將該鋁化成箔切成短軸方向3mmx長軸方向10mm，在兩面上以環(huán)繞狀涂布寬度lmm的聚酰亞胺溶液，并使得將長軸方向劃分成4mm和5mm的部分，使其干燥，作成掩^莫。將該化成箔的3mmx4mm的部分在10質(zhì)量％的己二酸銨水溶液中外加4V的電壓，對切口部分進(jìn)行化成，形成電介質(zhì)氧化皮膜。然后，將該鋁箔的3mmx4mm的部分在溶解有3，4-亞乙二氧基噢吩的2.0mol/L的異丙醇(IPA)溶液中進(jìn)行5秒鐘浸漬，并將其在室溫下進(jìn)行5分鐘干燥，在調(diào)整成2-蒽醌磺酸鈉(D50=llum;釆用、>7少y夕7(林)制的主分^U/L(7只夕一寸^f'一；mastersizer)測定)為0.07質(zhì)量％的1.5mol/L的過石充酸銨水'溶'液中浸漬5秒鐘。接著，將該鋁箔在40。C的大氣中放置IO分鐘，進(jìn)行氧化聚合。此外，使該浸漬工序及聚合工序按整體達(dá)到22次，從而在鋁箔的外表面形成了導(dǎo)電性聚合物的固體電解質(zhì)層。將最終生成的聚(3，4-亞乙二氧基噻吩)在50。C溫水中進(jìn)行洗滌，然后在100。C進(jìn)行30分鐘干燥，形成了固體電解質(zhì)層。通過斷面形狀的顯孩i鏡觀察得到的角部分的固體電解質(zhì)層的膜厚，角a部分為17jam、角b部分為15iam、角c部分為15pm，是均勻的。接著，將形成了固體電解質(zhì)層的3mmx4mm的部分浸漬在15質(zhì)量％己二酸銨溶液中，在沒有形成固體電解質(zhì)層的部分的起閥作用的金屬箔上設(shè)置陽極接點，外加3.8V的電壓，進(jìn)行再次化成。然后，如圖3所示那樣，在上述鋁箔的形成了導(dǎo)電性聚合物組合物層的部分上，粘附碳骨和銀膏，將4片上述鋁箔層疊，連接陰極引線端子。另外，在沒有形成導(dǎo)電性聚合物組合物層的部分上，通過焊接來連接陽極引線端子。此外，將該疊層元件用環(huán)氧樹脂密封后，在125。C外加額定電壓(2V)進(jìn)行2小時老化，完成合計30個的電容器。對于這30個疊層電容器元件，作為初始特性，測定120Hz下的電容和損耗系數(shù)(tan5xioo(%))、等效串聯(lián)電阻(ESR)、以及漏電流。另外，漏電流是在外加電壓、經(jīng)l分鐘后測定。表2表示出這些測定值的平均值、及將0.002CV以上的漏電流作為不合格品時的不良率。在此，漏電流的平均值是除掉不良品而計算的值。實施例7使用楔形的厚度方向的斷面形狀中的3處角部的角度a為175°、角度b為120°、角度c為卯。的鋁化成箔(厚度100pm)。斷面形狀的放大照片示于圖17。再者，該化成箔是通過調(diào)整上述間隙并4吏得在上述圓盤式縱剪中排出角度為7度來制作。除了使用該鋁化成箔以外，與實施例6同樣地形成了固體電解質(zhì)。通過斷面形狀的顯微鏡觀察得到的角部分的固體電解質(zhì)層的膜厚，角a部分為15jum、角b部分為12jnm、角c部分為12jam，是均勻的。其次，與實施例6同樣地進(jìn)行再化成、碳膏和銀骨的涂布、層疊、陰極引線端子的連接、采用環(huán)氧樹脂的密封、老化操作，完成合計30個電容器。對于得到的疊層電容器元件，與實施例6同樣地進(jìn)行的特性評價的結(jié)果示于表2。實施例8使用楔形的厚度方向的斷面形狀中的3處角部的角度a為105°、角度b為135度、角度c為105度的鋁化成箔(厚度100jam)。斷面形狀的放大照片示于圖19。再者，該鋁化成箔是通過采用在聚氨酯樹脂支撐體表面上貼附500號的研磨材料的雙動型的研磨機進(jìn)行15分鐘研磨而制造的。除了使用該鋁化成箔以外，與實施例6同樣地形成固體電解質(zhì)。通過斷面形狀的顯微鏡觀察得到的角部分的固體電解質(zhì)層的膜厚，角a部分為16nm、角b部分為14pm、角c部分為16nm，是均勻的。其次，與實施例6同樣地進(jìn)行再化成、碳青和銀膏的涂布、層疊、陰極引線端子的連接、采用環(huán)氧樹脂的密封、老化操作，完成合計30個電容器。對于得到的疊層電容器元件，與實施例6同樣地進(jìn)^f亍的特性評價的結(jié)果示于表2。實施例9使用具有以圖12為標(biāo)準(zhǔn)的楔形形狀，厚度方向的斷面形狀中的4處角部的角度a為105。、角度b為105度、角度pl為165度、角度p2為165度的鋁化成箔(厚度100jim)。斷面形狀的放大照片示于圖20。另外，切斷表面的放大照片示于圖22。該鋁化成箔，是通過采用在聚氨酯樹脂支撐體表面上貼附320號的研磨材料的雙動型的研磨機進(jìn)行15分鐘研磨后，采用500號的耐水性研磨紙在相對于短軸方向傾斜45°的方向研磨2分鐘而制造的。除了使用該鋁化成箔以外，與實施例6同樣地形成固體電解質(zhì)。通過斷面形狀的顯微鏡觀察得到的角部分的固體電解質(zhì)層的膜厚，角39a部分為15jim、角b部分為14pm、角pl部分為15pm、角p2部分為16ym,是均勻的。其次，與實施例6同樣地進(jìn)行再化成、碳骨和銀骨的涂布、層疊、陰極引線端子的連接、采用環(huán)氧樹脂的密封、老化操作，完成合計30個電容器。對于得到的疊層電容器元件，與實施例6同樣地進(jìn)行的特性評價的結(jié)果示于表2。比較例3使用刀形的厚度方向的斷面形狀中的2處角部的角度分別為70度、110度的鋁化成箔(厚度100jLim)。斷面形狀的放大照片示于圖18。除了使用該鋁化成箔以外，與實施例6同樣地形成固體電解質(zhì)。通過斷面形狀的顯微鏡觀察得到的角部分的固體電解質(zhì)層的膜厚為3[im和15ym，銳角的角部(角度為70。的角部)的聚合膜較薄。其次，與實施例6同樣地完成30個電容器。對于得到的疊層電容器元件，與實施例6同樣地進(jìn)行的特性評價的結(jié)果示于表2。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage40</column></row><table>產(chǎn)業(yè)上的利用可能性根據(jù)本發(fā)明，能夠穩(wěn)定地制造短路不良減少的、元件形狀的偏差少的薄的電容器元件，可以提供適用于可增加固體電解電容器內(nèi)的電容器元件的疊層片數(shù)從而高電容化、等效串聯(lián)電阻的偏差小的疊層型固體電解電容器的固體電解電容器元件。本發(fā)明中表示數(shù)值范圍的"以上"和"以下"包括本數(shù)。權(quán)利要求1.一種固體電解電容器用陽極基體，其特征在于，是將包含具有微細(xì)孔的閥金屬層和不具有微細(xì)孔的閥金屬層的金屬基板斜向切斷而成的陽極基體，具備不具有微細(xì)孔的閥金屬層追隨切刀被拉伸而形成的切斷表面。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的固體電解電容器用陽極基體，其特征在于，向切斷而成的陽極基體，不具有微細(xì)孔的閥金屬層追隨切刀而被拉伸，覆蓋具有微細(xì)孔的閥金屬層端面，由此產(chǎn)生的閥金屬拉伸層滿足下述的*式<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>式中，y表示所述閥金屬拉伸層的在a厚度方向上的厚度，z表示與所述拉伸層接觸的具有微細(xì)孔的閥金屬層的在基板厚度方向上的厚度。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體電解電容器用陽極基體，其特征在于，陽極基體為平板狀或箔狀，是通過以切斷開始側(cè)的陽極基體表面與切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過90。且在135。以下的范圍內(nèi)的角度進(jìn)行切斷而獲得的。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體電解電容器用陽極基體，其中，陽極基體為平板狀或箔狀，是對閥金屬拉伸層比陽極基體表面突出的部分進(jìn)行切斷去除而獲得的。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體電解電容器用陽極基體，其中，陽極基體為平板狀或箔狀，是對包含閥金屬拉伸層比陽極基體表面突出的部分的棱邊進(jìn)行倒棱而獲得的。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體電解電容器用陽tt體，其特征在于，陽極基體為平板狀或箔狀，是通過將整形構(gòu)件壓靠在包含閥金屬拉伸層比陽極基體表面突出的部分的棱邊上來消除突出而獲得的。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體電解電容器用陽極基體，是將包含具有微細(xì)孔的閥金屬層和不具有微細(xì)孔的閥金屬層的金屬J4l斜向切斷而成的陽極基體，并且含有溝，所述溝是相對于，不具有微細(xì)孔的閥金屬層追隨切刀被拉伸而形成的切斷表面的短軸方向傾斜或平行的溝。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的固體電解電容器用陽極基體，傾斜或平行的溝的寬度為0.1~100nm。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的固體電解電容器用陽極基體，傾斜或平行的溝的間if巨為0.1~100|Lim。10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的固體電解電容器用陽極基體，傾斜或平行的溝的深度為0.1~10jam。11.根據(jù)權(quán)利要求1~10中的任一項所述的固體電解電容器用陽極基體，陽極基體為鋁。12.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的固體電解電容器用陽極基體，陽極基體是采用切斷機將具有微細(xì)孔的鋁化成箔切斷成矩形而制造的。13.—種固體電解電容器，其特征在于，含有權(quán)利要求1~12中的任一項所述的固體電解電容器用陽極基體。14.一種權(quán)利要求13所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于，使單體聚合，從而設(shè)置了含有導(dǎo)電性聚合物組合物的固體電解質(zhì)層的固體電解電容器的制造方法，其中，使用權(quán)利要求1~12中的任一項所述的固體電解電容器用陽極基體，采用包括在含有單體的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序(工序1)、在含有氧化劑的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序(工序2)的方法，在具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬上設(shè)置固體電解質(zhì)層。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于，采用多次重復(fù)進(jìn)行將具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬在含有單體化合物的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序1、在含有氧化劑的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序2的方法，在具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬上設(shè)置固體電解質(zhì)層。16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的固體電解電容器的制造方法，氧化劑為過硫酸鹽。17.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的固體電解電容器的制造方法，含有氧化劑的溶液是含有有機微粒子的懸浮液。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的固體電解電容器的制造方法，有機微粒子的平均粒徑(Dso)為120jam的范圍。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的固體電解電容器的制造方法，有機微粒子是選自脂肪族磺酸化合物、芳香族磺酸化合物、脂肪族羧酸化合物、芳香族羧酸化合物、它們的鹽、及縮氨酸化合物之中的至少l種。20.—種固體電解電容器，其是采用權(quán)利要求14~19中的任一項所述的制造方法制造的。21.—種固體電解電容器，其特征在于，其包含將棱邊的至少一部分倒棱的權(quán)利要求1所述的陽極基體。22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的固體電解電容器，其中，陽極基體為平板狀或箔狀，對于至少設(shè)置固體電解質(zhì)層的區(qū)域，陽極基體的上面和/或下面、與側(cè)面和/或端面之間的棱邊被倒棱。23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的固體電解電容器，倒棱部位的陽極基體的上面和/或下面、與側(cè)面和/或端面之間的角部的角度超過卯°、小于180°。24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的固體電解電容器，陽極基體的側(cè)面和/或端面的在厚度方向的斷面形狀，是尖端的角度為90°以上、小于180°的楔形。25.根據(jù)權(quán)利要求2124中的任一項所述的固體電解電容器，倒棱后的陽極基體的上面和下面的寬度和/或長度不同。26.根據(jù)權(quán)利要求2124中的任一項所述的固體電解電容器，倒棱后的陽極基體的側(cè)面和/或端面的在厚度方向的斷面形狀是三邊以上的凸多邊形，構(gòu)成所述斷面形狀的角部的各內(nèi)角超過90°、小于180°。27.根據(jù)權(quán)利要求21所述的固體電解電容器，其中，陽極基體是含有溝的陽極基體，所述溝是相對于，在實施了倒棱處理的陽極基體中所含有傾斜或平行的溝。28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的固體電解電容器，陽極基體含有的傾斜或平4亍的溝的寬度為0.1~100ym。29.根據(jù)權(quán)利要求27所述的固體電解電容器，陽體含有的傾斜或平行的溝的間距為0.1~100jim。30.根據(jù)權(quán)利要求27所述的固體電解電容器，陽極基體含有的傾斜或平4亍的溝的深度為0.1~10ym。31.根據(jù)權(quán)利要求21-30中的任一項所述的固體電解電容器，陽極基體為起閥作用的金屬。32.—種固體電解電容器用陽極基體，其特征在于，是在權(quán)利要求21~31中的任一項所述的固體電解電容器中使用的、棱邊的至少一部分實施了倒棱的陽極基體。33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的固體電解電容器用陽極基體，是將切割機斜向壓靠在陽極基體的棱邊上實施倒棱而形成的。34.根據(jù)權(quán)利要求32所述的固體電解電容器用陽極基體，其中，通過使圓盤式縱剪斜向壓靠在陽極基體的原板上，形成上面與切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過卯。的陽極基體的中間制品，接著，使切割機斜向壓靠在該中間制品的下面?zhèn)鹊睦膺吷线M(jìn)行切斷，并4吏得與所述圓盤式縱剪切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過90°，從而形成為對上下兩棱邊實施了倒棱的形狀。35.根據(jù)權(quán)利要求32所述的固體電解電容器用陽極基體，其中，通過使圓盤式縱剪斜向壓靠在陽極基體的原板上，形成下面與切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過90。的陽極基體的中間制品，接著，使切割機斜向壓靠在該中間制品的上面?zhèn)鹊睦膺吷线M(jìn)行切斷，并使得與所述圓盤式縱剪切斷面之間的棱邊內(nèi)部的角度超過卯。，從而形成為對上下兩棱邊實施了倒棱的形狀。36.根據(jù)權(quán)利要求32所述的固體電解電容器用陽極基體，其中，使用通過隔開微小的間隙、相互不同地配設(shè)多個圓盤狀刀片單元，其中所述圓盤狀刀片單元是將厚刃刀片和薄刃刀片這2片刀片組合而成，而可在1個圓盤狀刀片單元的厚刃刀片與另一個圓盤狀刀片單元的薄刃刀片之間進(jìn)行切斷的圓盤式縱剪，調(diào)節(jié)上述間隙進(jìn)行切斷，并使得陽極基體的原板在上勤目互不同地配設(shè)的圓盤狀刀片單元之間通過，并沿相對于刀片的切斷方向傾斜1~15度的方向4皮排出。37.根據(jù)權(quán)利要求32所述的固體電解電容器用陽極基體，其中，通過將被切斷的陽M體的側(cè)面表面壓靠在旋轉(zhuǎn)的具有彈力性的支撐基體的表面上存在的研磨材料的表面上而進(jìn)行了倒棱。38.—種固體電解電容器的制造方法，其特征在于，在權(quán)利要求28~37中的任一項所述的固體電解電容器用陽極基體上，設(shè)置電介質(zhì)皮膜和固體電解質(zhì)層。39.—種固體電解電容器的制造方法，其特征在于，在權(quán)利要求28~37中的任一項所述的預(yù)先設(shè)置了電介質(zhì)皮膜的固體電解電容器用陽極基體上，設(shè)置固體電解質(zhì)層。40.根據(jù)權(quán)利要求38或39所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于，采用包括在含有單體的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序(工序l)、在含有氧化劑的溶液中浸漬后進(jìn)行千燥的工序(工序2)的方法，在具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬上設(shè)置固體電解質(zhì)層。41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于，采用多次重復(fù)進(jìn)行將具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬在含有單體化合物的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序1、在含有氧化劑的溶液中浸漬后進(jìn)行干燥的工序2的方法，在具有電介質(zhì)皮膜層的起閥作用的金屬上設(shè)置固體電解質(zhì)層。42.根據(jù)權(quán)利要求40所述的固體電解電容器的制造方法，氧化劑是過硫酸鹽。43.根據(jù)權(quán)利要求40所述的固體電解電容器的制造方法，含有氧化劑的溶液是含有有機微粒子的懸浮液。44.根據(jù)權(quán)利要求43所述的固體電解電容器的制造方法，有機孩M立子的平均粒徑(D5o)為0.120lim的范圍。45.根據(jù)權(quán)利要求43或44所述的固體電解電容器的制造方法，有機微粒子是選自脂肪族磺酸化合物、芳香族磺酸化合物、脂肪族羧酸化合物、芳香族羧酸化合物、它們的鹽、及縮氨酸化合物之中的至少l種。46.—種固體電解電容器，其是采用權(quán)利要求38~45中的任一項所述的制造方法制造的。全文摘要本發(fā)明提供一種固體電解電容器用陽極基體、及含有將棱邊的至少一部分倒棱的結(jié)構(gòu)的所述陽極基體的固體電解電容器。本發(fā)明的固體電解電容器用陽極基體，其特征在于，是將包含具有微細(xì)孔的閥金屬層和不具有微細(xì)孔的閥金屬層的金屬基板斜向切斷而成的陽極體，在斜向切斷所述金屬基板時，不具有微細(xì)孔的閥金屬層追隨切刀而被拉伸，覆蓋具有微細(xì)孔的閥金屬層端面，由此產(chǎn)生的閥金屬拉伸層滿足下述的條件式0≤y/z≤1，其中，y表示所述閥金屬拉伸層的在基板厚度方向上的厚度，z表示不具有微細(xì)孔的閥金屬層的本來的厚度與端面被所述拉伸層覆蓋的具有微細(xì)孔的閥金屬層的在基板厚度方向上的厚度的合計量。文檔編號H01G9/04GK101167148SQ200680014228公開日2008年4月23日申請日期2006年4月26日優(yōu)先權(quán)日2005年4月27日發(fā)明者大簱英樹,淺井佳文,齊田義弘申請人:昭和電工株式會社