專利名稱：從半導(dǎo)體器件的金屬部分清除或減少泛溢樹脂的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于從半導(dǎo)體器件的金屬部分清除或減少泛溢樹脂(resin flush )的i殳備。
技術(shù)背景某些半導(dǎo)體器件具有由塑性樹脂部分和金屬部分構(gòu)成的外表 面。金屬部分的主要目的是形成熱導(dǎo)體，尤其是在功率器件中。在這些器件的制造過程中，除所提到的熱導(dǎo)體以外，還用樹脂 封裝金屬框架。由于模壓階段的缺陷，有些泛溢樹脂會(huì)無意中覆蓋 一部分金屬 導(dǎo)熱部分，因而大大增加了其熱阻。熱阻的增大又負(fù)面地影響了器 件的壽命。為了清除或減少金屬部分頂部上的泛溢樹脂，使用專門設(shè)計(jì)的 設(shè)備。去溢(deflushing)設(shè)備使用懸浮在水中的研磨材料。這種混合 物在壓力下"轟擊"半導(dǎo)體器件，從金屬部分清除任何塑性泛溢樹脂。 在去溢過程期間，不僅泛溢樹脂打碎了，而且研磨材料也打碎了。 因此，過濾混合物以便清除非常小的研磨材料顆粒，因?yàn)樗鼈兊难?磨性能實(shí)際上已丟去了。這意p木著懸浮在水中的研磨材料的量改變， 因而必須對其進(jìn)行監(jiān)控以便將其保持在工藝極限范圍內(nèi)。目前，為了監(jiān)控懸浮在水中的研磨材料的量，將單位體積的混 合物收集在量筒中。讓懸浮材料沉淀下來。此刻，可以讀出每單位 體積的研磨材料的值。如果該值不符合要求，則將研磨材料加入混合物中。這種測量方法具各種各樣的缺點(diǎn)，例如
1. 若水中的懸浮材料的量不均勻，則結(jié)果將是不正確的。2. 獲得的結(jié)果既不是瞬間的也不是連續(xù)的。發(fā)明內(nèi)容鑒于這里描述的先有技術(shù)，本發(fā)明的目的是要提供一種沒有上 述缺點(diǎn)的、用于從半導(dǎo)體器件的金屬部分的頂部清除或減少泛溢樹 脂的設(shè)備。按照本發(fā)明，通過一種用于從半導(dǎo)體器件的金屬部分的頂部清 除或減少泛溢樹脂的設(shè)備來達(dá)到所述目的，設(shè)備包括主儲(chǔ)器和噴嘴， 用于將其中懸浮有的研磨材料的溶液噴在放入主儲(chǔ)器中的半導(dǎo)體器件上，其特征在于它還包括；故置在所述主儲(chǔ)器底部的壓力傳感器； 與所述主儲(chǔ)器相關(guān)聯(lián)的液位傳感器；和用于根據(jù)所述傳感器產(chǎn)生的 壓力和液位向所述噴嘴輸送所述溶液的控制單元。所述設(shè)備允許快速、恒定和正確地測量主儲(chǔ)器底部溶液中研磨 材料的密度。這樣，噴在半導(dǎo)體器件上的溶液具有所述研磨材料的 恒定密度。


通過對本發(fā)明的實(shí)施例的以下的詳細(xì)描述，將明白本發(fā)明的特 征和優(yōu)點(diǎn)，附圖中以非限制性實(shí)例的形式圖解說明實(shí)施例，附圖中 圖1示出按照本發(fā)明的設(shè)備的示意表示。
具體實(shí)施方式
圖1中所示的設(shè)備包括容納由臂3支撐的半導(dǎo)體器件2的主儲(chǔ) 器1和充有溶液5的輔助儲(chǔ)器4。所述設(shè)備還包括泄放閥30;放置在主儲(chǔ)器1底部的壓力傳感 器6;和液位傳感器7，壓力傳感器6和液位傳感器7的測量由控制 單元8處理。所述控制單元8控制泵9和泵10，泵9是溶液循環(huán)回路20的一 部分，而泵10包括在具有過濾器14的溶液再循環(huán)回路13中。溶液循環(huán)回路20的噴嘴11和溶液再循環(huán)回路13的噴嘴12被固定在主儲(chǔ)器1內(nèi)。工作時(shí)，具有待清除或減少的泛溢樹脂的半導(dǎo)體器件2被放入圖1的位置。控制單元8控制泵10的啟動(dòng)，泵10使累積在儲(chǔ)器1底部的起 初具有正確研磨劑密度值的溶液5通過過濾器14再循環(huán)。噴嘴12在壓力下將溶液5噴在半導(dǎo)體器件2上，從其金屬部分 清除樹脂。在此工作期間，研磨材料顆粒減小了它們的尺寸，于是過濾器14 將它們從要進(jìn)行再循環(huán)的溶液5中清除。這意味著，懸浮在溶液中 的研磨材料的量減少了，于是設(shè)備的效率提高了。壓力傳感器6測量由控制單元8處理的不同值。已知-密度=壓力/ (重力x高度) -重力=常數(shù)-通過液位傳感器7來測量高度。如果新密度小于標(biāo)稱密度，則控制單元8停止泵10的工作并啟 動(dòng)泵9,泵9將具有正確密度的溶液5從輔助儲(chǔ)器4吸取到主儲(chǔ)器1。噴嘴11在壓力下將溶液5噴在半導(dǎo)體器件2上。當(dāng)傳感器6、 7測量到對應(yīng)于正確密度的值時(shí)，控制單元8停止 泵9的工作而重新啟動(dòng)泵10。在去溢過程結(jié)束時(shí)，用具有正確密度的新溶液代替在儲(chǔ)器1底 部的溶液5 (利用泄放閥30)，并將另外的溶液5加到儲(chǔ)器4中。借助于這種設(shè)備，去溢過程總是有效的，而不浪費(fèi)時(shí)間。
權(quán)利要求
1.一種用于從半導(dǎo)體器件的金屬部分的頂部清除或減少泛溢樹脂的設(shè)備，包括主儲(chǔ)器(1)和噴嘴(11-12)，用于將其中懸浮有研磨材料的溶液(5)噴在放入所述主儲(chǔ)器(1)中的半導(dǎo)體器件(2)上，其特征在于還包括放置在所述主儲(chǔ)器(1)底部的壓力傳感器(6)；與所述主儲(chǔ)器(1)相關(guān)聯(lián)的液位傳感器(7)；和控制單元(8)，用于根據(jù)所述傳感器(6，7)產(chǎn)生的壓力和液位將所述溶液輸送到所述噴嘴(11-12)。
2. 如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，還包括用于所述溶 液的輔助儲(chǔ)器(4)和泵(9)。
3. 如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，還包括用于累積在 所述主儲(chǔ)器(1 )底部的所述溶液(5 )的再循環(huán)回路(13 )。
4. 如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，所述再循環(huán)回路(13 ) 包括至少一個(gè)泵(10)。
5. 如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，所述再循環(huán)回路(13 ) 包括過濾器(14)。
全文摘要
描述一種用于從半導(dǎo)體器件的金屬部分的頂部清除或減少泛溢樹脂的設(shè)備，包括主儲(chǔ)器和噴嘴，用于將其中懸浮有研磨材料的溶液噴在放入所述主儲(chǔ)器內(nèi)的半導(dǎo)體器件上。所述設(shè)備還包括放置在所述主儲(chǔ)器底部的壓力傳感器；與所述主儲(chǔ)器相關(guān)聯(lián)的液位傳感器；和用于根據(jù)所述傳感器產(chǎn)生的壓力和液位向所述噴嘴輸送所述溶液的控制單元。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101164137SQ200680013117
公開日2008年4月16日 申請日期2006年2月17日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月24日
發(fā)明者A·維加, C·考奇 申請人:意法半導(dǎo)體股份有限公司