專利名稱：收納容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種收納以半導(dǎo)體晶片、光掩模玻璃、鋁盤為代表的基 板等的收納容器。
背景技術(shù)：
由口徑300mm的半導(dǎo)體晶片構(gòu)成的精密基板收納在前開口箱式收納 容器中，這種收納容器具有整齊收納多張未圖示的精密基板的前開口箱 式的容器主體、可密封地關(guān)閉該容器主體的開口的正面的拆裝自如的蓋 體、嵌合在容器主體的正面上的對蓋體進(jìn)行加鎖/解鎖的加鎖機(jī)構(gòu)，根據(jù) SEMI規(guī)格的E47. 1而標(biāo)準(zhǔn)化地構(gòu)成，并通過具有標(biāo)準(zhǔn)化的機(jī)械接口的加 工裝置的蓋體開閉裝置而自動地開閉操作蓋體。加鎖機(jī)構(gòu)具有支承在蓋體上而借助加工裝置的蓋體開閉裝置被旋 轉(zhuǎn)操作的旋轉(zhuǎn)板、隨著該旋轉(zhuǎn)板的旋轉(zhuǎn)而在蓋體的周壁方向上直線地進(jìn) 退動作的一對進(jìn)退動作板、和設(shè)置在各進(jìn)退動作板的前端部且在蓋體加 鎖時從蓋體的周壁突出而嵌合卡止在容器主體的正面內(nèi)周的凹部中并在 蓋體解鎖時從容器主體的凹部回到蓋體內(nèi)的卡止體。在上述情況下，通過蓋體關(guān)閉容器主體的開口的正面時，加工裝置 的蓋體開閉裝置向容器主體的開口的正面強(qiáng)力推壓嵌合蓋體，之后蓋體 開閉裝置從外部旋轉(zhuǎn)操作加鎖機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)板而使各進(jìn)退動作板從蓋體內(nèi) 部向周壁方向前進(jìn)，隨著各進(jìn)退動作板的前進(jìn)，卡止體從蓋體的周壁突 出而嵌合卡止在容器主體的凹部中，由此，容器主體的正面^L蓋體封閉 為密封狀態(tài)。但是，在加鎖機(jī)構(gòu)的進(jìn)退動作板和其卡止體由一體的單一部件構(gòu)成 時，若進(jìn)退動作板只是直線運動，則進(jìn)退動作板或卡止體會與容器主體 的凹部摩擦而有可能產(chǎn)生顆粒(particulate )。為了排除這樣的問題， 以往，提出有在使進(jìn)退動作板前進(jìn)后使其前端部向蓋體的厚度方向(寬 度方向)以急角度較大傾斜的方案(參照專利文獻(xiàn)1)。此外，提出有由 多個部件構(gòu)成進(jìn)退動作板，并在進(jìn)退動作板的前端部可旋轉(zhuǎn)地支承金屬 制的分體的卡止軸的方案。(參照專利文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)l:日本特表平04 - 505234號公報 專利文獻(xiàn)2:日本特開2000 - 58633號公報現(xiàn)有的收納容器，通過上述技術(shù)解決了上述由于進(jìn)退動作板的筒單 的直線運動而產(chǎn)生顆粒的問題，但各方法都存在問題。首先，在進(jìn)退動 作板前進(jìn)后使其前端部以急角度較大地傾斜的情況下，又出現(xiàn)了為了向 進(jìn)退動作板的前端部傳遞足夠的卡止力，必須設(shè)計成即便施加大的力也 不會損壞的問題。此外，又產(chǎn)生了為了使進(jìn)退動作板的前端部以急角度較大地傾斜而 必須加大蓋體的空間或厚度的問題。進(jìn)而，加鎖機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)板上必須形 成多級特殊形狀的凸輪面，導(dǎo)致結(jié)構(gòu)復(fù)雜化。另一方面，在由多個部件構(gòu)成進(jìn)退動作板，并在各進(jìn)退動作板的前 端部上支承分體的卡止軸時，由于金屬制的卡止軸的接觸而導(dǎo)致精密基 板的污染的可能也不小。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述情況而提出的，目的在于提供一種收納容器，其 可抑制和防止由于進(jìn)退動作體的運動而產(chǎn)生灰塵，可減小蓋體的空間和 厚度并防止收納物品的污染。本發(fā)明中，為了解決上述課題，提供一種收納容器，具有收納物品 的容器主體、開閉該容器主體的開口部的蓋體、和對覆蓋容器主體的開口部的蓋體加鎖的加鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于，加鎖機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)體，能夠旋轉(zhuǎn)；第1進(jìn)退動作體，通過該旋轉(zhuǎn) 體的旋轉(zhuǎn)，在蓋體加鎖時從蓋體的基準(zhǔn)位置向蓋體的周緣部方向突出， 在蓋體解鎖時回到蓋體的基準(zhǔn)位置；第二進(jìn)退動作體，可旋轉(zhuǎn)地支承在 該第1進(jìn)退動作體上，在蓋體加鎖時從蓋體突出而被插入到容器主體的 開口部內(nèi)周的凹部中，在蓋體解鎖時從容器主體的凹部向蓋體方向返回； 以及引導(dǎo)體，使突出的第二進(jìn)退動作體向蓋體的厚度方向傾斜。另外，可以設(shè)計成，蓋體由嵌合在容器主體的開口部中的框體和覆 蓋該框體的罩形成，在該框體和罩之間夾設(shè)有加鎖機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體、第一 進(jìn)退動作體、以及第二進(jìn)退動作體，在框體和罩的對置面的至少某一方 上形成有加鎖機(jī)構(gòu)的f 1導(dǎo)體。另外，可以設(shè)計成，在加鎖機(jī)構(gòu)的第二進(jìn)退動作體的兩側(cè)部上，分 別形成有與引導(dǎo)體接觸的銷突起，引導(dǎo)體形成為截面大致多邊形，并且， 該引導(dǎo)體的與笫二進(jìn)退動作體的銷突起接觸的接觸面傾斜，而使突出的第二進(jìn)退動作體相對于第一進(jìn)退動作體在IO。
~45°的范圍內(nèi)傾斜。進(jìn)而，可以設(shè)計成，加鎖機(jī)構(gòu)的笫二進(jìn)退動作體形成為大致板狀， 該第二進(jìn)退動作體的前端部形成為減小與容器主體的凹部接觸的面積的 形狀。在此，在技術(shù)方案的物品中，至少包括以半導(dǎo)體晶片(200、 300、 450mm型等)、光掩模玻璃、液晶玻璃、鋁盤為代表的單個或多個的基板、 機(jī)械用品、電氣電子用品、建筑用品、家庭用品等。容器主體或收納容 器可為前開口箱式，也可為上開口箱式，可以為透明、不透明、半透明、 導(dǎo)電性、絕緣性、FOUP型、FOSB型等。容器主體的頂板或壁的一部分上 可選擇性地形成用于把握物品情況的透視窗。此外，加鎖機(jī)構(gòu)可為單個 或多個。加鎖機(jī)構(gòu)的第一進(jìn)退動作體可為向上下方向移動的類型，也可為向 前后方向或左右方向移動的類型。此外，第二進(jìn)退動作體可旋轉(zhuǎn)地支承 在第一進(jìn)退動作體上，這里所說的旋轉(zhuǎn)包括轉(zhuǎn)動或擺動。該第二進(jìn)退動 作體的前端部形成為減小與容器主體的凹部接觸的面積的形狀，具體而 言可形成為截面大致三角形、楔形、箭頭形等。進(jìn)而，銷突起可以是與 虧1導(dǎo)體直接接觸的類型也可是經(jīng)由圓筒型的輥而間接地接觸的類型。根據(jù)本發(fā)明，若在容器主體的開口部上嵌合蓋體并旋轉(zhuǎn)操作加鎖機(jī) 構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體，則隨著旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)，第一進(jìn)退動作體向蓋體的周緣部方 向突出，隨著該第一進(jìn)退動作體的突出，分體的第二進(jìn)退動作體一邊凈皮 引導(dǎo)體引導(dǎo)一邊從蓋體傾斜著突出，并且與容器主體的凹部傾斜地接觸， 通過該接觸而借助蓋體關(guān)閉容器主體。才艮據(jù)本發(fā)明，具有下述效果可抑制和防止由于進(jìn)退動作體的運動 而產(chǎn)生塵埃的情況，可減小蓋體的空間或厚度。此外，由于可減少或省 略金屬部件，所以具有可防止所收納的物品污染的效果。此外，若在蓋體的框體和罩之間夾設(shè)加鎖機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體、第一進(jìn)退 動作體、以及第二進(jìn)退動作體，則可借助罩的保護(hù)作用而防止向加鎖枳i 構(gòu)施加外力時造成損傷或變形。此外，若使引導(dǎo)體的第二進(jìn)退動作體的與銷突起接觸的接觸面傾斜 而使第二進(jìn)退動作體相對于笫二進(jìn)退動作體在10° ~45°的范圍內(nèi)傾 斜，則可抑制第二進(jìn)退動作體的前端部相對于容器主體的凹部滑動而妨 礙第二進(jìn)退動作體的動作的情況。進(jìn)而，若將加鎖機(jī)構(gòu)的第二進(jìn)退動作體形成為大致板形，并將該第 二進(jìn)退動作體的前端部形成為減小與容器主體的凹部接觸的面積的形 狀，則可防止第二進(jìn)退動作體與容器主體的凹部摩擦而產(chǎn)生顆粒或塵埃 等的情況。


圖l是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的整體立體圖。圖2是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的蓋體和解鎖狀態(tài)的加鎖 機(jī)構(gòu)的主視說明圖。圖3是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的蓋體和加鎖狀態(tài)的加鎖 機(jī)構(gòu)的主視說明圖。圖4是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的解鎖狀態(tài)的加鎖機(jī)構(gòu)的 剖視說明圖。圖5是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖狀態(tài)的加鎖機(jī)構(gòu)的 剖視說明圖。圖6是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖機(jī)構(gòu)的主視說明圖。圖7是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖機(jī)構(gòu)的分解側(cè)視說 明圖。圖8是示意性地表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖狀態(tài)的加 鎖機(jī)構(gòu)的剖視說明圖。圖9是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖機(jī)構(gòu)的第一進(jìn)退動 作板的立體說明圖。圖IO是從反面?zhèn)缺硎緢D9的笫一進(jìn)退動作板的立體說明圖。圖11是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖機(jī)構(gòu)的第二進(jìn)退 動作板的立體說明圖。圖12是從反面?zhèn)缺硎緢D11的第二進(jìn)退動作板的立體說明圖。附圖標(biāo)記i兌明 1容器主體 <formula>formula see original document page 7</formula>
圍緣部(開口部) 卡止凹部(凹部)蓋體 框體 罩引導(dǎo)件 貫通孔 加鎖機(jī)構(gòu) 旋轉(zhuǎn)板(旋轉(zhuǎn)體)第一進(jìn)退動作板(第一進(jìn)退動作體) 銷突起第二進(jìn)退動作板(第二進(jìn)退動作體) 卡止突部(前端部)銷突起引導(dǎo)肋(引導(dǎo)體)具體實施方式
以下，參照

本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，本實施方式的收納容 器如圖1至圖2所示是輸送用的精密基板收納容器，包括收納作為物品 的多張精密基板的容器主體1、開閉該容器主體1的開口的正面的蓋體 10、對覆蓋容器主體1的正面的蓋體10進(jìn)行加鎖/解鎖的左右一對的加 鎖機(jī)構(gòu)20，各加鎖機(jī)構(gòu)20包括旋轉(zhuǎn)板21、 一對第一進(jìn)退動作板26、 一 對第二進(jìn)退動作板32、以及多個引導(dǎo)肋37。精密基板未圖示，但由口徑300mm的薄圓板形的半導(dǎo)體晶片構(gòu)成， 正反兩面中的至少正面被進(jìn)行了鏡面加工，借助專用的機(jī)器人相對于容 器主體1放入取出25或26張。容器主體1，如圖1所示，使用既定的樹脂而成形為正面開口的透 明的前開口箱，起到將多張精密M沿上下方向排列而整齊收納的作用。 作為成形該容器主體1的既定的樹脂，不特別限定，可舉出例如聚碳酸 酯、聚醚酰亞胺、聚醚砜、聚醚醚酮、環(huán)烯烴等。其中聚碳酸酯剛性和 透明性優(yōu)異所以優(yōu)選。可根據(jù)必要而賦予這些樹脂導(dǎo)電性。
容器主體1，其正面的周緣部向外以截面大致L字形彎折而形成蓋 體嵌合用的圍緣部2，在該閨緣部2的內(nèi)周面的上下兩側(cè)，分別凹陷形 成加鎖機(jī)構(gòu)20用的卡止凹部3 (參照圖4、圖5、圖8)。此外，在容器 主體1的內(nèi)部后方，經(jīng)由保持槽而保持精密基板的后部周緣的左右一對 的后保持器4在上下方向上隔著間隔排列設(shè)置，在容器主體1的內(nèi)部兩 側(cè)，分別形成相互對置而將精密基板的兩側(cè)部周緣保持為大致水平的齒 5，該左右一對的齒5在上下方向上隔著間隔排列設(shè)置。各齒5具有形成為俯視大致〈字形或者大致半圓弧形而沿著精密 基板的側(cè)部周緣的平板、在該平板的前部內(nèi)側(cè)上部一體形成的平坦的前 部中等壁厚區(qū)域、在平板的前部外側(cè)上部一體形成且位于前部中等壁厚 區(qū)域的外側(cè)的平坦的前部厚壁區(qū)域、在平板的后部一體形成的后部中等 壁厚區(qū)域、在平板的后部形成且位于后部中等壁厚區(qū)域的前方并以很小 的面積位于靠容器主體l的側(cè)壁處的后部厚壁區(qū)域。在齒5的前部中等壁厚區(qū)域和前部厚壁區(qū)域之間，很小地形成與精 密基板的側(cè)部周緣接觸的垂直的階梯，前部厚壁區(qū)域起到下述作用在 取下蓋體10時，限制精密基板從容器主體l向前方掉出。此外，在前部 中等壁厚區(qū)域和后部中等壁厚區(qū)域之間，形成稍微凹陷的薄壁區(qū)域，該 薄壁區(qū)域與精密基板的側(cè)部周緣經(jīng)微小的間隙對置。這樣的齒5,在前 部中等壁厚區(qū)域和后部中等壁厚區(qū)域上維持高精度地水平支承精密基板 的側(cè)部周緣，防止由于精密基板在上下方向上傾斜而導(dǎo)致專用機(jī)器人進(jìn) 行的放入取出變得困難。在容器主體1的底面的前部兩側(cè)和后部中央，配設(shè);故定位并搭載在 加工裝置上的定位件，在容器主體1的底面后部，從后方拆裝自如地安 裝薄板且小型的底板，通過由加工裝置識別從下方拆裝自如地嵌入在該 底板中的識別體，而掌握收納容器的類型和精密基板的張數(shù)。在容器主體1的頂板中央部，拆裝自如地安裝由被稱為OHT的自動 搬送機(jī)保持的機(jī)器人凸緣6，在容器主體1的兩側(cè)壁外表面上，分別安 裝有厚壁的圓形板或U字形的搬送手柄，通過把持該一對搬送手柄而搬 送收納容器。另外，定位件、底板、機(jī)器人凸緣6、搬送手柄由聚碳酸酯、聚醚 酰亞胺、聚醚砜、聚醚醚酮、環(huán)狀烯烴樹脂等成形。這些材料中，可根 據(jù)必要而添加碳黑、乙炔黑、碳纖維、碳微管、金屬纖維、防帶電劑等。
蓋體10，如圖2至圖5所示，具有可密封地嵌合在容器主體1的圍 緣部2上的拆裝自如的框體11、和分別覆蓋該框體11的正面兩側(cè)的左 右一對的罩12,該框體11和左右一對的罩12之間，分別夾設(shè)加鎖機(jī)構(gòu) 20。該蓋體10由含有氟的聚碳酸酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚醚酰亞胺、 聚醚醚酮、環(huán)烯烴樹脂等成形，為四角部進(jìn)行了倒角的橫長的正面呈大 致矩形的形狀。根據(jù)必要可對該蓋體10的材料賦予導(dǎo)電性。在框體11和一對罩12的對置面上，分別形成多個相互對置的直線 軌道形的引導(dǎo)件13 (參照圖2以及圖5)，加鎖機(jī)構(gòu)20的第一、第二進(jìn) 退動作板26、 32在該多個引導(dǎo)件13的引導(dǎo)面的引導(dǎo)下運動?？蝮wll形 成為淺底的截面大致盤形，在反面的中央部，經(jīng)由夾持槽而夾持精密基 板的前部周緣的彈性的前保持器在上下方向上排列安裝。夾在容器主體1的圍緣部2和蓋體IO之間的環(huán)形的密封墊圏14可 壓縮變形地嵌合在框體11的周壁上，在周壁的上下兩側(cè)，分別穿設(shè)有與 圍緣部2的卡止凹部3對應(yīng)的貫通孔15 (參照圖4、圖5、圖8)。各加鎖機(jī)構(gòu)20如圖6至圖12所示，包括可轉(zhuǎn)動地支承在蓋體10 上的旋轉(zhuǎn)板21、通過該旋轉(zhuǎn)板21的旋轉(zhuǎn)而在蓋體10加鎖時從蓋體10 內(nèi)的基準(zhǔn)位置向蓋體10的周壁方向直線地突出并在蓋體10解鎖時從突 出位置直線地回到蓋體10內(nèi)的基準(zhǔn)位置的一對第一進(jìn)退動作板26、可 轉(zhuǎn)動地連結(jié)支承在各第一進(jìn)退動作板26的前端部上并在蓋體10加鎖時 從蓋體10的周壁突出而插入容器主體1的卡止凹部3中且在蓋體10解 鎖時從容器主體1的卡止凹部3退回到蓋體10內(nèi)的第二進(jìn)退動作板32、 形成在蓋體10上并在蓋體IO加鎖時使突出的第二進(jìn)退動作板32在蓋體 10的厚度方向上慢慢傾斜的一對引導(dǎo)肋37。各加鎖機(jī)構(gòu)20由聚碳酸酯、聚對苯二曱酸丁二醇酯、聚醚酰亞胺、 聚醚砜、聚醚醚酮、聚苯砜、聚縮醛樹脂等成形。這些材料中，根據(jù)必 要而添加碳黑、乙炔黑、碳纖維、碳微管、金屬纖維、防帶電劑、滑石 粉等。旋轉(zhuǎn)板21，在圓板22的中心部具有筒形的凈皮操作肋23，可旋轉(zhuǎn)地 軸支承在框體11的正面?zhèn)炔恐醒?，通過從外部在凈皮操作肋23上插入貫 通罩12的蓋體開閉裝置的操作鍵而旋轉(zhuǎn)。在該旋轉(zhuǎn)板21的圓板22上， 沿周向穿設(shè)有半圓弧形的一對槽孔24，各槽孔24的一端部朝向旋轉(zhuǎn)板21 的中心部較大地彎曲。
呈大致J字形的一對臂25分別從被操作肋23的外周面向?qū)挾确较?外側(cè)突出形成，各臂25與罩12的突部卡合而起到將旋轉(zhuǎn)板21鎖定在正 常位置的功能(參照圖6)。各第一進(jìn)退動作板26如圖9或圖10所示，基本上形成為長方形的 板，在正反面上分別并列地形成用以提高強(qiáng)度的凹凸27，經(jīng)由多個引導(dǎo) 件13而可直線運動地夾在框體11和罩12之間，位于旋轉(zhuǎn)板21的上下 方向上。該第一進(jìn)退動作板26，其前端部形成為頸部28,在該頸部28 上朝向?qū)挾确较虬惭b用于與第二進(jìn)退動作板32連結(jié)的連結(jié)銷29，在正 面的末端部中心，立設(shè)著嵌入到旋轉(zhuǎn)板21的槽孔24中的圓柱形的銷30。第一進(jìn)退動作板26的兩側(cè)部上，如圖2或圖3所示，分別突出地 形成可滑動地夾持在框體11和罩12的引導(dǎo)件13、 13之間的圓柱形的銷 突起31。各第二進(jìn)退動作板32,如圖11或圖12所示，形成為基板上為矩形 的凸凹的板，在正反面上分別并列形成用于提高強(qiáng)度的凹凸33，經(jīng)由多 個引導(dǎo)件13和引導(dǎo)肋37而夾在框體11和罩12之間。該第二進(jìn)退動作 板32，其前端部較細(xì)地形成為截面大致三角形的卡止突部34，該卡止突 部34貫通蓋體10的貫通孔15而傾斜地插入容器主體l的卡止凹部3中。在第二進(jìn)退動作板32的末端部，凹陷地形成拆裝自如地嵌合并支 承第一進(jìn)退動作板26的連結(jié)銷29的U字形的槽部35,在第二進(jìn)退動作 板32的兩側(cè)部，分別突出形成可滑動地夾持在框體11和罩12的引導(dǎo)件 13之間的圓柱形的銷突起36。多個引導(dǎo)肋37在框體11的正面?zhèn)炔扛糁g隔一對對地設(shè)置，位于 第二進(jìn)退動作板32的兩側(cè)部而與銷突起36接觸，并且在蓋體10的上下 方向上進(jìn)行引導(dǎo)。各引導(dǎo)肋37，例如形成為隨著從蓋體10的外方朝向 內(nèi)方而慢慢變細(xì)的直角三角形，與第二進(jìn)退動作板32的銷突起36接觸 的傾斜面起到下述作用使突出的第二進(jìn)退動作板32相對于第一進(jìn)退動 作板26或其移動方向以10° ~45° ，優(yōu)選15° ~25°的角度(6 )傾 斜(參照圖5)。第二進(jìn)退動作板32的傾斜角度在10。 ~45°的范圍內(nèi)是由于，在 傾斜角度不滿10°時，第二進(jìn)退動作板32的卡止突部34會相對于容器 主體1的卡止凹部3滑動，有產(chǎn)生顆粒的可能。相反，若傾斜角度超過 45° ，則第二進(jìn)退動作板32的動作所要求的負(fù)荷變大，會妨礙第二進(jìn)退
動作板32的動作。在上述方案中，在借助蓋體10關(guān)閉容器主體1的開口的正面時， 加工裝置的蓋體開閉裝置將蓋體10按壓嵌合在容器主體1的圍緣部2 上，之后，蓋體開閉裝置從外部對各加鎖機(jī)構(gòu)20的旋轉(zhuǎn)板21向順時針 方向旋轉(zhuǎn)操作。若旋轉(zhuǎn)板21向順時針方向旋轉(zhuǎn)，則各第一進(jìn)退動作板26被引導(dǎo)件 13引導(dǎo)并且在蓋體10的上下方向上直線地突出，隨著該第一進(jìn)退動作 板26的突出，各第二進(jìn)退動作板32被引導(dǎo)件13或引導(dǎo)肋37引導(dǎo)并從 蓋體10的貫通孔15向前方傾斜著突出，并且各第二進(jìn)退動作板32的卡 止突部34與容器主體1的卡止凹部3前表面傾斜地接觸，通過該傾斜的 接觸而通過蓋體10在牢固的密封狀態(tài)下關(guān)閉容器主體1的正面(參照圖 3、圖5、圖8)。此時，由于第二進(jìn)退動作板32的前端部形成為面積小的截面大致 三角形的卡止突部34而不是簡單的板形，所以能減小與卡止凹部3前表 面的接觸區(qū)域，可非常有效地減小顆粒產(chǎn)生的可能。與上述動作相反，在從容器主體1的正面取下蓋體10時，蓋體開 閉裝置從外部對各加鎖機(jī)構(gòu)20的旋轉(zhuǎn)板21向逆時針方向旋轉(zhuǎn)操作。若旋轉(zhuǎn)板21向逆時針方向旋轉(zhuǎn)，則各第一進(jìn)退動作板26被引導(dǎo)件 13引導(dǎo)且從突出位置直線地后退回原來的位置，并且隨著該第一進(jìn)退動 作板26的后退，傾斜的第二進(jìn)退動作板32從容器主體1的卡止凹部3 退回到蓋體10的貫通孔15內(nèi)，通過該后退而變?yōu)榭蓮娜萜髦黧w1的正 面取下蓋體10的狀態(tài)(參照圖2、圖4)。之后，通過蓋體開閉裝置從容 器主體1的正面吸附而取下蓋體10。根據(jù)上述方案，即便第一進(jìn)退動作板26直線運動，與其分體的第 二進(jìn)退動作板32也是傾斜著嵌合并卡止在容器主體1的卡止凹部3中， 所以容器主體1的卡止凹部3與第二進(jìn)退動作板32不會摩擦而產(chǎn)生顆 粒。此外，由于將進(jìn)退動作板分割為第一、第二進(jìn)退動作板26、 32，所 以即便使第二進(jìn)退動作板32以急角度向罩方向傾斜，也不會與蓋體10 的框體11及罩12發(fā)生任何干涉。此外，由于將進(jìn)退動作板分割為第一、笫二進(jìn)退動作板26、 32而 縮短第一、第二進(jìn)退動作板26、 32的長度方向上的長度，所以可提高長 度方向的撓曲強(qiáng)度。特別是，對于作用有卡止力的第二進(jìn)退動作板32， 可將長度方向的尺寸設(shè)定為寬度方向的尺寸的1~ 3倍，所以可顯著提高 長度方向的撓曲強(qiáng)度。因此，即便是例如較小的力(例如，40N以下的力)，卡止力也可充 分地傳遞到第二進(jìn)退動作板32而實現(xiàn)可靠的密封，無需通過牢固的支承 構(gòu)造支承第一、第二進(jìn)退動作板26、 32，而且可縮小蓋體10的空間并 減小厚度。此外，由于進(jìn)退動作板為分割成第一、第二進(jìn)退動作板26、 32的簡單的組裝構(gòu)造，所以可容易地只更換由于連續(xù)使用或沖擊等而磨 損的部件、損傷嚴(yán)重的部件。此外，由于進(jìn)退動作板由多個部件組裝而成，所以來自蓋體10的 反力不會直接傳遞到旋轉(zhuǎn)板21上，可非常有效地防止旋轉(zhuǎn)板21自由旋 轉(zhuǎn)或損傷，還可追求可靠的自動返回。此外，由于無需在加鎖機(jī)構(gòu)20的 旋轉(zhuǎn)板21上形成多級特殊形狀的凸輪面，所以可實現(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡化。此外，由于無需使用金屬制的卡止軸，所以不會由于金屬成分的析 出而導(dǎo)致容器主體1中收納的精密基板的污染。進(jìn)而，由于可通過比以 往小的力使加鎖機(jī)構(gòu)20動作，所以不會導(dǎo)致精密基板的取出錯誤或污 染。進(jìn)而，由于多個第二進(jìn)退動作板32的卡止突部34分別與容器主體 1的卡止凹部3前表面傾斜接觸而牢固地密封容器主體1，所以不易發(fā)生 蓋體10的變形或傾斜，而且可使密封墊圈14均勻地接觸圍緣部2而變 形，所以可大幅提高密封性。另外，在上述實施方式中，通過左右一對的罩12覆蓋框體11的正 面兩側(cè)，但不限定于此。例如，可通過單一的罩12覆蓋框體11的正面。 此外，引導(dǎo)件13、臂25、銷突起31、 36、連結(jié)銷29也可如圖1至圖12 所示那樣進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑鰷p變更。此外，加鎖機(jī)構(gòu)20的旋轉(zhuǎn)板21、 一對 第一進(jìn)退動作板26、 一對第二進(jìn)退動作板32以及多個引導(dǎo)肋37的材料 中可添加硅酮樹脂或氟樹脂而提高滑動性。此外，第一、第二進(jìn)退動作板26、 32可分別形成為桿形等形狀。 此外，第二進(jìn)退動作板32的卡止突部34或引導(dǎo)肋37只要可得到相同的 作用效果即可，可形成為截面三角形、梯形
權(quán)利要求
1.一種收納容器，具有收納物品的容器主體、開閉該容器主體的開口部的蓋體、和對覆蓋容器主體的開口部的蓋體加鎖的加鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于，加鎖機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)體，能夠旋轉(zhuǎn)；第1進(jìn)退動作體，通過該旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)，在蓋體加鎖時從蓋體的基準(zhǔn)位置向蓋體的周緣部方向突出，在蓋體解鎖時回到蓋體的基準(zhǔn)位置；第二進(jìn)退動作體，可旋轉(zhuǎn)地支承在該第1進(jìn)退動作體上，在蓋體加鎖時從蓋體突出而被插入到容器主體的開口部內(nèi)周的凹部中，在蓋體解鎖時從容器主體的凹部向蓋體方向返回；以及引導(dǎo)體，使突出的第二進(jìn)退動作體向蓋體的厚度方向傾斜。
2. 如權(quán)利要求1所述的收納容器，其特征在于，蓋體由嵌合在容 器主體的開口部中的框體和覆蓋該框體的罩形成，在該框體和罩之間夾設(shè)有加鎖機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體、第一進(jìn)退動作體、以及第二進(jìn)退動作體，在框 體和罩的對置面的至少某一方上形成有加鎖機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)體。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的收納容器，其特征在于，在加鎖機(jī)構(gòu) 的第二進(jìn)退動作體的兩側(cè)部上，分別形成有與引導(dǎo)體接觸的銷突起，引 導(dǎo)體形成為截面大致多邊形，并且，該引導(dǎo)體的與第二進(jìn)退動作體的銷 突起接觸的接觸面傾斜，而使突出的第二進(jìn)退動作體相對于第 一進(jìn)退動 作體在IO。
~45°的范圍內(nèi)傾斜。
4. 如權(quán)利要求1、 2或3所述的收納容器，其特征在于，加鎖機(jī)構(gòu) 的第二進(jìn)退動作體形成為大致板狀，該第二進(jìn)退動作體的前端部形成為 減小與容器主體的凹部接觸的面積的形狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種收納容器，可防止由于進(jìn)退動作體的運動而產(chǎn)生灰塵，可減小蓋體的空間和厚度并防止收納物品的污染。具有收納精密基板用的容器主體(1)、開閉該容器主體(1)的正面的蓋體(10)、對覆蓋容器主體(1)的蓋體(10)進(jìn)行加鎖/解鎖的加鎖機(jī)構(gòu)(20)。加鎖機(jī)構(gòu)(20)包括支承在蓋體(10)上的旋轉(zhuǎn)板(21)、通過旋轉(zhuǎn)板(21)的旋轉(zhuǎn)而在蓋體(10)加鎖時向蓋體(10)的周壁方向突出且在蓋體(10)解鎖時回到蓋體(10)的基準(zhǔn)位置的第1進(jìn)退動作板(26)、支承在第一進(jìn)退動作板(26)的前端部并在蓋體(10)加鎖時從蓋體(10)的周壁突出而插入到容器主體(1)的卡止凹部(3)中且在蓋體(10)解鎖時從容器主體(1)的卡止凹部(3)向蓋體方向返回的第二進(jìn)退動作板(32)、以及使突出的第二進(jìn)退動作板(32)向蓋體(10)的厚度方向傾斜的引導(dǎo)肋(37)。
文檔編號H01L21/673GK101164154SQ20068001300
公開日2008年4月16日 申請日期2006年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月18日
發(fā)明者三村博, 長谷川晃裕 申請人:信越聚合物株式會社