專利名稱：疊層型濾波器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種疊層型濾波器，更詳細地說，涉及一種可變電阻部和電感部疊層形成的疊層型濾波器。
背景技術：
近年來，電子設備中，用于高速動作的傳送信號的高頻率化和用于節(jié)省電力的低電壓化不斷發(fā)展。在這種狀況下，在電子設備中，從確保優(yōu)異的可靠性的觀點出發(fā)，除去噪聲或電涌(surge)等的技術越來越重要。因此，作為可以用一個片(chip)除去噪聲和電涌兩者的元件，可變電阻(varistor)部和電感(inductor)部疊層形成的疊層型濾波器引人注目。
作為這樣的疊層型濾波器，已知有將半導體瓷器和磁性材料瓷器接合，將其整體燒制得到的復合功能元件(例如，參照日本專利特開平7-220906號公報)。
但是，在上述以往的疊層型濾波器中，由于在可變電阻部和電感部中，構成素體的材料不同，燒結時兩者的體積變化程度大不相同，因此，將其一體燒結時，在兩者的邊界有容易產生應力的趨勢。由于這個原因，存在可變電阻部和電感部容易剝離的問題。

發(fā)明內容
因此，本發(fā)明是鑒于上述事實而做出的，其目的是提供一種可變電阻部和電感部難以產生剝離的疊層型濾波器。
首先，本發(fā)明人，為了減少疊層型濾波器中的可變電阻部和電感部的剝離，嘗試利用與構成可變電阻部的素體相同的材料形成電感部。結果發(fā)現，即使在進行整體燒結的情況下，可變電阻部和電感部也極難產生剝離。
然而，通常構成可變電阻部的素體的材料，因為具電阻極低的特性，所以不合適作為電感的材料。因此，這種疊層型濾波器難以應用于高頻用途。
本發(fā)明人根據這樣的認識進一步進行研究，結果發(fā)現，由與可變電阻部的構成材料相同的素體構成電感部，并且使兩構成材料的添加物不同，由此，可以實現電感部的素體的高電阻化，從而完成本發(fā)明。
即，本發(fā)明的疊層型濾波器由具有導體層和可變電阻層的可變電阻部、和具有導體層和電感層的電感部疊層形成，其特征在于可變電阻層以ZnO作為主成分，含有選自Pr和Bi的至少一種元素、Co和Al作為添加物，電感層以ZnO作為主成分，實質上不含Co和Al。
這樣，本發(fā)明的疊層型濾波器中，可變電阻層和電感層的素體以相同的材料(ZnO)作為主成分。因此，即使將它們整體燒結時，兩層之間難以產生由于燒結時的素體的體積變化率的不同而導致的應力等。其結果，可變電阻部和電感部的剝離大幅減少。
另外，構成電感層的材料，即含有ZnO作為主成分、實質不含Co和Al的材料，與ZnO單體或上述可變電阻層的構成材料(在ZnO中添加Pr或Bi、Co和Al的材料)比較，具有電阻率極高、介電常數低的特性。因此，含有這種材料的電感層具有優(yōu)異的電感特性。
另外，本發(fā)明的疊層型濾波器更優(yōu)選還含有從表面向內部擴散的Li。由此，疊層型濾波器的電感部的電感特性更加優(yōu)異。其結果，疊層型濾波器吸收噪聲或電涌的特性將變得更優(yōu)異。


圖1為表示實施方式的疊層型濾波器的立體圖。
圖2為表示疊層型濾波器的素體部分的分解立體圖。
圖3為用于說明實施方式的疊層型濾波器的等價電路的圖。
圖4為用于說明制造實施方式的疊層型濾波器的工序的流程圖。
圖5為表示第二實施方式的疊層型濾波器的電路結構的圖。
圖6為表示將圖5的電路結構等價變換得到的電路結構的圖。
圖7為示意性地表示第二實施方式的疊層型濾波器的素體部分的分解立體圖。
圖8為表示第二實施方式的疊層型濾波器的外形的立體圖。
圖9為示意性地表示在電感部中設置有內部電極的狀態(tài)的素體的截面結構的圖。
具體實施例方式
以下，參照附圖，詳細說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。在全部圖中，相同的要素用相同的符號表示，省略重復說明。另外，說明中的上下左右等位置關系，都是基于圖面的位置關系。
首先，參照圖1～3說明第一實施方式的疊層型濾波器10的結構。
圖1為表示第一實施方式的疊層型濾波器的立體圖。疊層型濾波器10具有在素體3的長度方向的兩端部形成的一對輸入輸出電極5、7，和同樣地在素體3的側面形成的一對接地電極9、11。此外，將疊層型濾波器10安裝在外部基板(未圖示)上時，素體3的底面為與該外部基板相對的面。
圖2為表示疊層型濾波器的素體部分的分解立體圖。如圖所示，疊層型濾波器10的素體3具有由電感部20和可變電阻部30構成的疊層結構被夾在一對保護層41、42之間的結構。
電感部20是分別設置有導體圖案21a、22a、23a、24a(導體層)的電感層21、22、23、24疊層的結構。各層的導體圖案21a、22a、23a、24a構成螺旋狀的線圈圖案的一部分。它們通過貫通電極21b、22b、23b依次連接，構成線圈圖案。這樣，電感部20具有包含線圈L(參照圖3)的結構。
導體圖案21a的端部在電感層21的端部引出，該端部成為線圈圖案的一個端部。線圈圖案的該端部(導體圖案21a)在素體3的邊緣引出，與一個輸入輸出電極7電連接。
另外，導體圖案24a的端部在電感層24的端部引出，該端部成為線圈圖案的另一個端部。線圈圖案的該端部(導體圖案24a)在素體3的與上述一個端部相對的一側的邊緣引出，與另一個輸入輸出電極5電連接。
導體圖案21a～24a由作為電感的線圈圖案的構成材料使用的金屬材料等構成。另外，構成電感部20的各電感層21、22、23、24由以ZnO為主成分的陶瓷材料構成。
構成電感層21～24的陶瓷材料，除了ZnO以外，可以含有Pr、K、Na、Cs、Rb等金屬元素作為添加物。其中，特別優(yōu)選添加Pr。通過添加Pr，可以容易地減小電感層21～24與后述的可變電阻層31、32的體積變化率之差。另外，為了提高與后述的可變電阻部30的接合性，電感層21～24中還可以含有Cr、Ca或Si。電感層21～24中含有的這些金屬元素，可以以金屬單質或氧化物等各種形式存在。電感層21～24中含有的添加物的適宜含量，優(yōu)選在該電感層中含有的ZnO的總量中為0.02mol％以上2mol％以下。這些金屬元素的含量可以使用例如感應耦合高頻等離子體發(fā)光分析裝置(ICP)進行測定。
另外，具有上述構成的電感層21～24實質上不含有在后述的可變電阻層31、32中含有的Co和Al。在此，所謂“實質上不含有”的狀態(tài)，是指在形成電感層21～24時，不有意地含有這些元素作為原料時的狀態(tài)。例如，通過從可變電阻部30向電感部20的擴散等并非有意地含有這些元素的情況，符合“實質上不含有”的狀態(tài)。此外，電感層21～24只要滿足上述條件，為了進一步提高特性等目的，還可以含有其它的金屬元素等。
可變電阻部30是分別設有內部電極31a、32a(導體層)的可變電阻層31、32疊層形成的結構。內部電極31a、32a分別在可變電阻層31、32上形成為大致矩形形狀。這些內部電極被配置成在疊層方向上、大致全部表面重合。在此，內部電極31a的一部分，在構成素體3的側面的可變電阻層31的邊緣引出，由此與輸入輸出電極5電連接。
另外，內部電極32a在與引出內部電極31a的邊緣垂直的邊緣的兩側引出，在該引出部，分別與接地電極9、11電連接。這樣，在可變電阻部30中，由內部電極31a、32a和配置在它們之間的可變電阻層31構成可變電阻V(參照圖3).
內部電極31a、32a可以使用由通常用于可變電阻的內部電極的Pd或Ag-Pd合金等構成的電極。
可變電阻層31、32由以ZnO為主成分的陶瓷材料構成。該陶瓷材料中還含有選自Pr和Bi的至少一種元素、Co和Al作為添加物。在此，可變電阻層31、32，因為除了Pr以外含有Co，所以除了具優(yōu)異的電壓非直線特性、即可變電阻特性以外，還具有高介電常數(ε)。另外，因為還含有Al，所以電阻低。反過來說，上述電感層21～24，因為不含Co和Al，所以沒有可變電阻特性，而且由于介電常數小并且電阻率高，所以作為電感部的構成材料具有適宜的特性。
這些添加物的金屬元素，在可變電阻層31、32中，可以以金屬單質或氧化物等形式存在。此外，為了進一步提高特性，可變電阻層31、32還可以含有上述以外的金屬元素等(例如Cr、Ca、Si、K等)作為添加物。
上述電感部20的電感層21～24的內部還含有Li。但是，該Li不是作為原料被添加到這些層中，在后述的制造方法中，在形成具有電感部20和可變電阻部30的疊層體后，使含有Li的原料附著在該疊層體的表面上，通過其擴散而被添加到層中。在可變電阻部30中，可變電阻層31的被內部電極31a和內部電極32a夾住的區(qū)域表現出可變電阻特性，希望該區(qū)域盡可能不含Li。在本實施方式中，因為如上所述使Li從疊層體的表面擴散，所以擴散至可變電阻層31的上述區(qū)域的Li極少，該區(qū)域成為實質上不含Li的狀態(tài)。此外，疊層型濾波器10中，可以不必使Li擴散。
保護層41、42均為由陶瓷材料構成的層，通過從疊層方向的兩側夾住由電感部20和可變電阻部30構成的疊層結構，保護各部分20、30。該保護層41、42的構成材料沒有特別限制，可以使用各種陶瓷材料等。從減少與上述疊層結構的剝離的觀點來看，優(yōu)選含有ZnO作為主成分的材料。
圖3為用于說明實施方式的疊層型濾波器的等價電路的圖。具有上述結構的疊層型濾波器10，構成圖3所示的等價電路。即，疊層型濾波器10，由電感L和可變電阻V構成L型的電路。
接下來，參照圖4，說明制造本實施方式的疊層型濾波器的方法。
圖4為用于說明制造實施方式的疊層型濾波器的工序的流程圖。在疊層型濾波器10的制造過程中，首先，制造含有作為電感層21～24和可變電阻層31、32的原料的陶瓷材料的膏(步驟S11)。具體地說，可變電阻層形成用的膏(paste)可以通過以燒制后成為期望的含量的方式在作為主成分的ZnO中加入選自Pr和Bi的至少一種元素、Co和Al、以及根據需要添加的Cr、Ca、Si、K等作為添加物，在其中添加粘合劑等并混合而制備。這種情況下的金屬元素可以作為氧化物添加。
另外，電感層形成用的膏可通過在作為主成分的ZnO中，根據需要加入Pr、Bi等金屬元素作為添加物，再在其中添加粘合劑等并混合而制備。此外，與可變電阻層形成用的膏不同，在電感層形成用的膏中，不添加Co和Al。在此，上述金屬元素能夠以例如氧化物、草酸鹽、碳酸鹽等化合物的形式添加。另外，調整這些物質的添加量，使得在進行后述的燒制后的素體3中，金屬元素成為上述期望的含量。
利用刮勻涂裝法(doctor blade method)等將這些膏涂布在塑料薄膜等上后，使其干燥，形成由陶瓷材料構成的生片(green sheet)(步驟S12)。由此，分別得到所需片數的電感層21～24形成用的生片(以下稱為“電感片”)和可變電阻層31、32形成用的生片(以下稱為“可變電阻片”)。接著，在得到的電感片上，利用激光或沖孔(punching)等，在期望的位置形成通孔。此外，在形成上述生片時，塑料薄膜等可以在涂布·干燥后立即從各片上剝離，也可以在后述的疊層之前剝離。另外，在該生片的形成工序中，利用與上述同樣的方法，與這些片一起，形成含有ZnO的保護層41、42形成用的生片。
接下來，在電感片或可變電阻片上，利用絲網印刷將用于形成導體圖案21a～24a(電感部20)或內部電極31a、32a(可變電阻部30)的導體膏印刷在每個片上，以形成期望的圖案(步驟S13)。由此，得到設置有具有期望的圖案的導體膏層的各個片。例如，作為導體圖案形成用的導體膏，可舉出含有Pd或Ag-Pd合金作為主成分的導體膏，作為內部電極形成用的膏，可舉出含有Pd或Ag-Pd合金作為主成分的導體膏。
接著，將設置有分別與內部電極31a和32a對應的導體膏層的可變電阻片依次疊層在保護層形成用的生片上(步驟S14)。接著，將設置有分別與導體圖案24a、23a、22a和21a對應的導體膏層的電感片依次疊層在其上(步驟S15)。再將保護層形成用的生片重疊在這些片的疊層結構上，通過將它們壓接，得到作為素體3的前體的疊層體。
然后，將得到的疊層體以期望的尺寸切斷成片(chip)單元后，在規(guī)定溫度(例如1000～1400℃)下燒制該片，得到素體3(步驟S16)。接著，使Li從得到的素體3的表面擴散至其內部。在此，使Li化合物附著在得到的素體3的表面上后，進行熱處理等。Li化合物的附著，可以使用密閉旋轉罐(pot)。作為Li化合物，沒有特別限定，是通過熱處理、Li可以從素體3的表面擴散至導體圖案21a～24a或內部電極31a、32a的附近的化合物。例如，可舉出Li的氧化物、氫氧化物、氯化物、硝酸鹽、硼酸鹽、碳酸鹽和草酸鹽等。此外，在疊層型濾波器10的制造中，該Li擴散工序并不是必須的。
將以銀作為主成分的膏轉印到進行了該Li擴散的素體3的側面上后，燒接后，再通過實施鍍層，分別形成輸入輸出電極5、7和接地電極9、11，得到疊層型濾波器10(步驟S17)。鍍層可以通過電鍍進行。作為原料可以使用例如Cu和Ni和Sn，Ni和Sn，Ni和Au，Ni和Pd和Au，Ni和Pd和Ag，或Ni和Ag等。
在具有上述構成的疊層型濾波器10中，如上所述，分別構成電感部20和可變電阻部30的電感層21～24和可變電阻層31、32，都由以ZnO作為主成分的陶瓷材料形成。因此，電感部20和可變電阻部30在燒制時產生的體積變化之差極小。所以，即使將它們同時燒制，兩者之間也難以產生變形或應力等。結果，得到的疊層型濾波器10與電感部和可變電阻部由不同材料形成的以往的疊層型濾波器比較，兩者的剝離極難產生。
另外，如上所述，電感層21～24由以ZnO作為成分、實質上不含Co和Al作為添加物的陶瓷材料構成。這種材料作為電感部的構成材料，具有足夠高的電阻率。具體地說，容易具有作為電感部材料優(yōu)選的超過1MΩ的電阻率。因此，雖然電感部20含有單獨在電阻率方面特性不充分的ZnO作為主成分，但是可發(fā)揮優(yōu)異的電感特性。
接下來，參照圖5～圖8，說明第二實施方式的疊層型濾波器。
圖5為表示第二實施方式的疊層型濾波器的電路結構的圖。如圖5所示，本實施方式的疊層型濾波器具有包括進行與外部的連接的輸入端子51、輸出端子52、共同端子53，由線圈L51和線圈L52構成的互感元件54，電容器57以及可變電阻部V的電路結構。
在該電路中，輸入端子51、輸出端子52和共同端子53用于與外部的連接。電容器57與輸入端子51和輸出端子52連接。另外，在互感元件54中，線圈L51(一次)側的一個端子與輸入端子51連接，線圈L52(二次)側的被反向感應的一個端子與輸出端子52連接。另外，線圈L51和線圈L52的另一個端子彼此在連接端子55上連接。可變電阻V的一個端子與互感元件54的線圈L51和線圈L52的連接點(連接端子55)連接，另一端子與共同端子53連接。
在這樣的電路結構中，輸入端子51和輸出端子52可以調換。另外，共同端子53優(yōu)選被接地。此外，互感元件54可以由例如共模扼流圈或變壓器構成。
在此，圖5所示的電路結構可以等價地變換為圖6所示的電路結構。圖6為表示將圖5的電路結構等價變換得到的電路結構的圖。該電路結構由輸入端子61、輸出端子62、共同端子63、線圈L61、線圈L62、線圈L63和可變電阻部V構成。
在該電路中，輸入端子61、輸出端子62和共同端子63用于與外部的連接。線圈L61和線圈L62在輸入端子61和輸出端子62之間串聯連接。另外，線圈L63和可變電阻V在連接端子65上串聯連接。線圈L63的與連接端子65相反側的端子，與線圈L61和線圈L62的連接點連接，可變電阻V的與連接端子65反對側的端子，與共同端子63連接。
具有上述電路結構的第二實施方式的疊層型濾波器具有如圖7和圖8所示的結構。圖7為表示第二實施方式的疊層型濾波器的素體部分的分解立體圖。另外，圖8為表示第二實施方式的疊層型濾波器的外形的立體圖。如圖7所示，疊層型濾波器200的素體部分(素體113)具有可變電阻部120、電感部110和保護層91從下方依次疊層的結構。另外，如圖8所示，疊層型濾波器200具有在素體113的長度方向的兩端部形成的一對輸入輸出電極105、106，和相同地在素體113的側面上相互相對地形成的共同電極107a和端子電極107b。共同電極107a為被接地的接地電極(上述電路結構中的共同端子53或共同端子63)。
電感部110為分別設有導體圖案96、97(導體層)的電感層93a、93b疊層形成的結構。在上述的電路結構中，導體圖案96和導體圖案97分別構成一次側的線圈L51(線圈L61)和二次側的線圈L52(線圈L62)。作為該電感部110的導體圖案96、97或電感層93a、93b的構成材料，可列舉與上述的第一實施方式的導體圖案21a～24a或電感層21～24的構成材料同樣的材料。
導體圖案96的一個端部98在電感層93a的一個邊上引出，與輸入電極105連接。導體圖案97的一個端部99在電感層93b的一邊上引出，與輸出電極106連接。另外，導體圖案96、97的另一個端部100、101彼此與在素體113的側面形成的端子電極107b連接。這樣，由導體圖案96和導體圖案97構成互感元件54。另外，導體圖案96和導體圖案97在互相相對的區(qū)域進行電容耦合，構成上述電路結構的電容器57。此外，導體圖案96和97，可以不通過上述的端子電極，而通過通孔等連接。
可變電阻部120為分別設有內部電極102、103的可變電阻層94、95疊層形成的結構。內部電極102具有直線型的圖案，沿著可變電阻層94的短邊方向設置。該內部電極102的一個端部102a在可變電阻層94的邊緣引出，與在素體113的側面形成的端子電極107b連接。由此，內部電極102分別與導體圖案96、97的端部100、101連接(上述電路結構中的連接端子55或連接端子65)。
另外，內部電極103具有直線型的圖案，沿著可變電阻層95的短邊方向，與內部電極102大致平行地設置。它的一個端部104在可變電阻層95的邊緣引出，與在素體113的側面形成的共同電極107a連接。
在可變電阻部120中，可變電阻V由內部電極102、103和設在它們之間的可變電阻層94構成。作為該可變電阻部120的內部電極102、103或可變電阻層94、95的構成材料，可以列舉與上述的第一實施方式的內部電極31a、32a或可變電阻層31、32同樣的構成材料。
具有這樣的結構的本實施方式的疊層型濾波器，因為具有由與第一實施方式同樣的構成材料構成的電感層和可變電阻層，所以，電感部110和可變電阻部120難以產生剝離。另外，雖然電感層含有ZnO作為主成分，但是電阻高、可發(fā)揮優(yōu)異的電感特性。
另外，本實施方式的疊層型濾波器，因為具有圖5或圖6所示的電路結構，所以輸入阻抗相對于特性阻抗容易匹配。因此，該疊層型濾波器可以保護不受例如高壓的靜電等影響，即使對于高速信號，阻抗匹配也優(yōu)異。
以上，對本發(fā)明的疊層型濾波器及其制造方法的優(yōu)選實施方式進行了說明，但本發(fā)明并不限于上述的實施方式，在不偏離其精神的范圍內可以作各種變更。
例如，在上述實施方式中，作為電感部，例示了由能夠形成線圈狀圖案的導體圖案疊層形成的電感部，但不限于此，電感部也可以由例如直線型的導體圖案形成的電感層構成。具體地說，準備設有連接兩端部的直線狀的導體圖案的電感層，可以將由該單獨層或多層構成的結構作為電感部。在這種情況下，直線狀的導體圖案設置在連接疊層型濾波器的一對輸入輸出電極的方向上。即使是具有這種結構的電感部，也具有充分優(yōu)異的電感特性。
另外，本發(fā)明的疊層型濾波器如果可以構成上述等價電路或與它具有同等功能的結構，則可以任意改變其疊層結構和電極等的形成位置。即，在上述實施方式中，例示了在可變電阻部上設置電感部的結構，但也可以做成電感部被夾在一對可變電阻部之間的結構。另外，輸入輸出電極的位置關系也可以任意改變。即使在具有這些結構的情況下，也可得到上述的效果優(yōu)異的疊層型濾波器。
另外，電感部和可變電阻部的疊層數，不必限于上述的實施方式，即，例如，可以通過反復疊層具有導體圖案的電感層，進一步增加線圈圖案的匝數。另外，還可以反復疊層設有內部電極的可變電阻層。它們的疊層數可以適當調整，以使其與期望的疊層型濾波器的特性一致。
但是，在疊層型濾波器的電感部上疊層導體圖案時，在構成電感層的材料具有高介電常數的情況下，在疊層方向上相鄰的導體圖案結合，在該導體圖案間產生寄生電容。因此，在將導體圖案疊層在電感部上的結構中，尤其存在難以適用于高頻用途的趨勢。從這個觀點來看，優(yōu)選電感層的介電常數低，具體地說，優(yōu)選相對介電常數為50以下。
以下，通過實施例詳細地說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不限于這些實施例。

(疊層型濾波器的制造)首先，按照在上述實施方式中參照圖4說明的方法，制造疊層型濾波器的各試樣。即，首先，準備在ZnO中添加Pr6O11、CoO、Cr2O3、CaCo3、SiO2、K2CO3和Al2O3的可變電阻層形成用的膏，同時準備在ZnO中添加Pr6O11、Cr2O3、CaCO3、SiO2和K2CO3的電感層形成用的膏。
接著，使用這些膏制造可變電阻片(varistor sheet)和電感片(inductor sheet)。另外，與此同時，得到只含有ZnO的保護層形成用的生片。然后，利用絲網印刷法在各個片上涂布內部電極(可變電阻部)或導體圖案(電感部)形成用的導體膏，使得分別成為圖2所示的圖案。其中，作為內部電極形成用的膏，使用含有Pd作為主成分的膏，作為導體圖案形成用的膏，同樣使用含有Pd作為主成分的膏。
接著，將涂布有導體膏的各個片(可變電阻片和電感片)按照圖2所示的順序疊層，再用一對保護層形成用的生片從上下方向夾住這些片后，進行壓接，得到作為素體的前體的疊層體。通過燒制這樣得到的疊層體，形成素體。然后，通過將Ag膏燒接在該素體上，形成輸入輸出電極和接地電極，得到具有圖1和圖2所示的結構的疊層型濾波器的試樣。
此外，在該實施例中，為了進行后述的電感部的特性評價，在各試樣的疊層型濾波器的電感部中，設置在疊層方向上平行地配置的一對內部電極。圖9為示意性地表示在電感部中設置有內部電極的狀態(tài)的素體的截面結構的圖。如圖所示，各內部電極50的各自的一個端部設置成在素體的相對的不同端面上分別露出，它們的另一個端部設置成從疊層方向看互相重合。另外，這些內部電極都設置成不與構成線圈的導體圖案連接。
(電感部和可變電阻部間的剝離的評價)觀察利用上述方法得到的疊層型濾波器時，電感部和可變電阻部之間都沒有發(fā)現剝離。
(電感部的相對介電常數和電阻率的測定)使用得到的疊層型濾波器，測定各試樣的電感部的相對介電常數(ε’)和電阻率(106Ωcm)。此外，相對介電常數和電阻率的測定如下所示進行。
即相對介電常數(ε’)通過使用阻抗分析儀(4284A、惠普公司生產)測定各試樣在1MHz、輸入信號電平(測定電壓)為1Vrms的條件下的靜電容量(C)，將得到的結果代入式ε’＝Cd/ε0S中而計算出。另外，根據向各試樣施加1V的直流電壓時流過的電流值求出電阻(R)，將得到的結果代入式ρ＝RS/d中計算出電阻率(ρ)。其中，各式中，ε0表示真空的介電常數，d表示圖9所示的內部電極50間的距離，S表示內部電極50的重疊面積。
上述的測定的結果，電感部的相對介電常數為20～30，電阻率為1×106Ωcm。
如以上所述，確認在具有以ZnO作為主成分、含有Pr、Co和Al作為添加物的可變電阻層，和以ZnO作為主成分、實質上不含Co和Al的電感層的疊層型濾波器中，可變電阻部和電感部極難發(fā)生剝離。另外，確認因為該疊層型濾波器的電感部的相對介電常數低于50，而且電阻率超過1MΩ，所以，作為電感足夠實用。
如以上說明，根據本發(fā)明可提供一種可變電阻部和電感部難以剝離、而且可變電阻特性和電感特性極好的疊層型濾波器。
權利要求
1.一種疊層型濾波器，其由具有導體層和可變電阻層的可變電阻部、和具有導體層和電感層的電感部疊層形成，其特征在于所述可變電阻層以ZnO作為主成分，含有選自Pr和Bi的至少一種元素、Co和Al作為添加物，所述電感層以ZnO作為主成分，實質上不含Co和Al。
2.如權利要求1所述的疊層型濾波器，其特征在于還含有從表面向內部擴散的Li。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種可變電阻部和電感部難以產生剝離的疊層型濾波器。優(yōu)選的實施方式的疊層型濾波器(10)具有可變電阻部(30)和電感部(20)疊層的結構?？勺冸娮璨?30)由具有內部電極(31a、32a)的可變電阻層(31、32)疊層形成，該可變電阻層以ZnO作為主成分，含有選自Pr和Bi的至少一種元素、Co和Al作為添加物。另外，電感部(20)由具有導體圖案(21a～24a)的電感層(21～24)疊層形成，該電感層以ZnO作為主成分，實質上不含Co和Al。
文檔編號H01F1/34GK1858995SQ20061007654
公開日2006年11月8日 申請日期2006年4月30日 優(yōu)先權日2005年5月2日
發(fā)明者森合克成, 松岡大, 佐藤高弘 申請人:Tdk株式會社