專(zhuān)利名稱(chēng)：引線回路，具有該引線回路的半導(dǎo)體器件以及引線接合方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于將第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)通過(guò)引線進(jìn)行連接的引線接合方法，具有特定形狀的引線回路以及具有其中結(jié)合有這種引線回路的半導(dǎo)體器件。
背景技術(shù)：
常規(guī)地，如圖9A或9B所示，在制造半導(dǎo)體器件的工藝中，已經(jīng)進(jìn)行了用于將附著到引線框架1的半導(dǎo)體芯片2的焊盤(pán)2a或者第一接合點(diǎn)A與引線框架1的引線1a或者第二接合點(diǎn)Z通過(guò)引線3進(jìn)行連接的引線接合。典型地，將第一和第二接合點(diǎn)A和Z連接的引線3的回路形狀包括分別圖9A和9B所示的梯形和三角形，例如在美國(guó)專(zhuān)利No.6,036,080或者日本專(zhuān)利申請(qǐng)公布No.2000-277558中分別公開(kāi)的。
具有圖9A所示的梯形形狀的引線回路通過(guò)圖10所示的一系列步驟形成。首先，在圖10的步驟(a)中，毛細(xì)管4降低并且球30接合到芯片2的焊盤(pán)2a或者第一接合點(diǎn)A上，其中引線3穿過(guò)毛細(xì)管4并且球30已經(jīng)形成在引線3的尖端上。然后，在圖10的步驟(b)中，毛細(xì)管4垂直提升到點(diǎn)B同時(shí)提供引線3。此后，在圖10的步驟(c)中，毛細(xì)管4在與第二接合點(diǎn)Z相對(duì)的方向上水平移動(dòng)到點(diǎn)C。
總的來(lái)說(shuō)，毛細(xì)管4在與第二接合點(diǎn)Z相對(duì)的方向上移動(dòng)的這種操作稱(chēng)作“反向操作”。結(jié)果是，引線3在點(diǎn)A和點(diǎn)C之間的部分形成為傾斜的，并且引線3在其傾斜部的上端部形成，同時(shí)彎曲3a在毛細(xì)管4的下端。由此提供的在點(diǎn)A和點(diǎn)C之間引線3的部分對(duì)應(yīng)于頸部H的高度(或者引線3在焊盤(pán)2a和彎曲3a之間的部分)，并且將構(gòu)成頸部H。
接著，在圖10的步驟(d)中，在提供引線3的同時(shí)毛細(xì)管4垂直提升到點(diǎn)D。然后，在圖10的步驟(e)中，再次進(jìn)行毛細(xì)管4的反向操作，即，毛細(xì)管4在與第二接合點(diǎn)Z相對(duì)的方向上水平移動(dòng)到點(diǎn)E。此次反向操作的結(jié)果是，引線3具有在點(diǎn)C和E之間延伸的另一傾斜部分，并且彎曲3b在引線3的該傾斜部分的上端形成。
由此提供的引線3的該傾斜部將構(gòu)成引線回路的上基座部分L(或者引線3在彎曲3a和3b之間的部分)，其具有圖9A所示的梯形。此后，在圖10的步驟(f)中，毛細(xì)管4被垂直提升到點(diǎn)F，這樣，引線3被提供以與圖9A所示的引線回路的長(zhǎng)傾斜部分S(或者引線3在彎曲3b和引線1a之間的部分)對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度。隨后，毛細(xì)管4經(jīng)過(guò)位置f1和f2被降低到第二接合點(diǎn)Z上，因此使得引線3接合到第二接合點(diǎn)Z或引線1a上。
具有圖9B所示的三角形形狀的引線回路通過(guò)圖11所示的一系列步驟形成。與上述的具有梯形形狀的引線回路不同，由于具有三角形形狀的引線回路沒(méi)有提供上基座部分(L)，因此，在形成三角形形狀的引線回路時(shí)，不執(zhí)行圖10的步驟(d)和(e)中的第二反向操作。因此，在這種情況下，與圖10的步驟(d)，(e)和(除f1和f2以外的f)對(duì)應(yīng)的步驟僅在圖11的步驟(d)中執(zhí)行。更具體的是，圖11的步驟(a)、(b)和(c)與圖10的步驟(a)，(b)和(c)相同，在圖11步驟(c)中的第一反向操作之后，在提供引線3的同時(shí)，在圖11的步驟(d)中毛細(xì)管4垂直提升到點(diǎn)F。接著，在圖11的步驟(e)中，毛細(xì)管4以與圖10的步驟(f)類(lèi)似的方式移動(dòng)經(jīng)過(guò)位置e1和e2，結(jié)果是引線3接合到第二接合點(diǎn)Z或者引線1a。
然而，在上述技術(shù)中，由于引線回路包括高度稍大的頸部H，因此，引線回路變高并且因此表現(xiàn)為不穩(wěn)定。此外，在其中不經(jīng)過(guò)任何毛細(xì)管的反向操作形成引線回路以便使其頸部H高度變小、且頸部H的高度減小到特定水平或者更低的情況下，頸部H容易在牽引或者在移動(dòng)引線3使其設(shè)置在合適位置的過(guò)程中由于引線3從第一接合點(diǎn)A垂直延伸而被損壞。
因此，為了解決上述問(wèn)題已經(jīng)提出了各種技術(shù)。例如，美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2004/0104477或者日本專(zhuān)利未審公開(kāi)No.2004-172477披露了一種通過(guò)引線將第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)進(jìn)行連接的引線回路，其中接合到第一接合點(diǎn)的球頂部與引線的一部分一起被壓碎。
具有這種形狀的引線回路可形成為低輪廓引線回路，其穩(wěn)定并且在形狀保持力方面很強(qiáng)。不僅引線距離短的引線回路，而且引線距離長(zhǎng)的引線回路都可作為低輪廓的穩(wěn)定引線回路而獲得。另外，由此形成的引線回路具有很強(qiáng)的形狀保持力，其能承受從外部施加到引線回路上的力或者壓力。因此，該引線回路可對(duì)震動(dòng)實(shí)現(xiàn)極好的減震功能，諸如是在將引線接合到第二接合點(diǎn)的過(guò)程中由毛細(xì)管的接觸或者超聲波的發(fā)射所導(dǎo)致的震動(dòng)，引線的震動(dòng)，在模鑄材料等注入過(guò)程中由模鑄材料的流動(dòng)所產(chǎn)生的外力，結(jié)果是，可有效防止引線的彎曲或傾斜以及引線回路頸部的斷裂。
然而，在美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2004/0104477公開(kāi)的技術(shù)中，壓碎部分由毛細(xì)管在第一接合點(diǎn)形成在引線以及接合球的頂部，因此存在第一接合點(diǎn)將被損壞的可能。另外，在第一接合點(diǎn)上已經(jīng)被壓碎的引線可導(dǎo)致在與第二接合點(diǎn)相對(duì)的方向上局部突起。在其中引線被細(xì)微地影響以及引線回路的方向相對(duì)半導(dǎo)體芯片的邊緣傾斜時(shí)，引線的突起部將與相鄰的第一接合點(diǎn)的引線接觸。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，形成本發(fā)明。
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種具有低輪廓線的引線回路，該引線回路穩(wěn)定，并且其頸部難于被損壞，同時(shí)不會(huì)由毛細(xì)管在引線以及接合到第一接合點(diǎn)上形成壓碎部分。
本發(fā)明的另一目的是提供一種組合有上述引線回路的半導(dǎo)體器件。
本發(fā)明的又一目的是提供一種能形成所述引線回路的引線接合方法。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種引線回路。該引線回路包括通過(guò)其連接第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)的引線；該引線包括接合到第一接合點(diǎn)的球，與該球相鄰的頸部以及從頸部延伸到第二接合點(diǎn)的主體部分；其中頸部包括提升部分，該提升部分從接合球一向著第二接合點(diǎn)的方向斜向上延伸，并且該提升部分由球的頂部形成，其在球接合的時(shí)候已經(jīng)進(jìn)入到毛細(xì)管的開(kāi)口并且已經(jīng)成型。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，引線包括至少一個(gè)形成在其頸部或主體部的彎曲標(biāo)記。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，引線包括位于頸部和主體部之間的彎曲；并且多個(gè)彎曲標(biāo)記形成在該彎曲上或者該彎曲附近。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種引線接合方法，用于在第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)之間采用提供的毛細(xì)管來(lái)接合引線。該引線接合方法包括將形成在引線尖端的球接合到第一接合點(diǎn)上；以及傾斜該引線的提升部分，該提升部分從接合球向第二接合點(diǎn)延伸，其由球的頂部形成，其在將球接合到第一接合點(diǎn)的時(shí)候已經(jīng)進(jìn)入到毛細(xì)管的開(kāi)口并且已經(jīng)成型。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，該引線接合方法進(jìn)一步還包括通過(guò)向上傾斜移動(dòng)毛細(xì)管或者向上然后水平地移動(dòng)毛細(xì)管，或者通過(guò)向上然后傾斜地向下移動(dòng)毛細(xì)管，從而在從提升部分延伸的引線部分上形成至少一個(gè)彎曲。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，提升部分的傾斜通過(guò)斜向上移動(dòng)毛細(xì)管而實(shí)現(xiàn)并且包括在引線的提升部分上形成彎曲。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種引線接合方法，用于在第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)之間采用毛細(xì)管來(lái)接合引線。該引線接合方法包括步驟(a)將形成在引線尖端上的球接合到第一接合點(diǎn)上；(b)以向著第二接合點(diǎn)的方向傾斜向上移動(dòng)毛細(xì)管，從而使得引線的第一部分以向著第二接合點(diǎn)的方向傾斜向上延伸，其中第一部分在將球接合到第一接合點(diǎn)的同時(shí)進(jìn)入到毛細(xì)管的開(kāi)口；(c)接著，在執(zhí)行回路控制的同時(shí)垂直并且水平移動(dòng)毛細(xì)管，從而在引線從其第一部分延伸的第二部分上形成至少一個(gè)彎曲；以及(d)隨后，在從毛細(xì)管供給引線并且執(zhí)行回路控制的同時(shí)水平并且垂直移動(dòng)毛細(xì)管到第二接合點(diǎn)，然后將引線接合到第二接合點(diǎn)。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，在步驟(b)中，在引線的第一部分上形成另一個(gè)彎曲。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，通過(guò)傾斜向上移動(dòng)毛細(xì)管或者通過(guò)向上移動(dòng)毛細(xì)管，并且接著水平或者通過(guò)向上移動(dòng)毛細(xì)管，并且然后傾斜向下而執(zhí)行步驟(c)。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，重復(fù)執(zhí)行步驟(c)從而在引線的第二部分上形成多個(gè)彎曲。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，在步驟(d)中，大尺寸的合成彎曲形成在引線的第一部分和第二部分之間，并且至少一個(gè)彎曲設(shè)置在引線上這樣的位置上該至少一個(gè)彎曲作為彎曲標(biāo)記位于合成彎曲上或者合成彎曲附近。
根據(jù)本發(fā)明的更進(jìn)一步方面，提供一種半導(dǎo)體器件。該半導(dǎo)體器件包括第一接合點(diǎn)；第二接合點(diǎn)；以及接合到第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)從而通過(guò)其連接第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)的引線，該引線包括接合到第一接合點(diǎn)的球，與球相鄰的頸部以及從頸部延伸到第二接合點(diǎn)的主體部；其中頸部包括提升部分，該提升部分從接合球以向著第二接合點(diǎn)的方向傾斜向上延伸，并且其由球頂部形成，其在球接合的時(shí)候已經(jīng)進(jìn)入毛細(xì)管的開(kāi)口并且已經(jīng)成型。
根據(jù)本發(fā)明，引線回路提供在其具有傾斜提升部分的頸部上，該提升部分由球頂部形成，其在球接合的時(shí)候已經(jīng)進(jìn)入毛細(xì)管的開(kāi)口并且已經(jīng)成型，這樣引線回路具有低輪廓，其是穩(wěn)定的并且其形成不會(huì)導(dǎo)致任何頸部損壞。在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，整個(gè)引線回路的引線可通過(guò)在引線的預(yù)定位置形成多個(gè)彎曲而穩(wěn)定彎曲，在形成多個(gè)彎曲的同時(shí)毛細(xì)管傾斜向上移動(dòng)或者毛細(xì)管向上然后水平移動(dòng)或者毛細(xì)管向上然后傾斜向下移動(dòng)。


當(dāng)結(jié)合附圖考慮時(shí)，本發(fā)明的這些和其它目的以及許多附屬優(yōu)點(diǎn)可參考下面的詳細(xì)描述更加容易領(lǐng)會(huì)并且更加容易理解；其中圖1A是示出根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體器件中引線回路實(shí)施例的形狀的正視圖；圖1B是示出圖1A中的兩點(diǎn)點(diǎn)劃線包圍部分的放大斷面圖；圖2是示出形成具有圖1A和1B所示形狀的引線回路的毛細(xì)管移動(dòng)路徑的示意正視圖；圖3是示出由球頂部形成的提升部分的示意圖，其中在球接合時(shí)球頂部進(jìn)入毛細(xì)管的開(kāi)口；圖4是以示例的方式示出根據(jù)本發(fā)明方法的與毛細(xì)管移動(dòng)相關(guān)的各個(gè)步驟的引線形狀的示意圖；圖5A是示出根據(jù)圖4所示方法變形的與毛細(xì)管移動(dòng)相關(guān)的各個(gè)步驟的引線形狀的示意圖；圖5B是示出根據(jù)圖5A的步驟形成引線回路的毛細(xì)管移動(dòng)路徑的示意正視圖；圖6A是示出根據(jù)圖4所示方法的另一變形的與毛細(xì)管移動(dòng)相關(guān)的各個(gè)步驟中的引線形狀的示意圖；圖6B是示出根據(jù)圖6A的步驟形成引線回路的毛細(xì)管移動(dòng)路徑的示意正視圖；圖7A是示出根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體器件中引線回路的另一實(shí)施例形狀的正視圖；圖7B是示出圖7A中兩點(diǎn)點(diǎn)劃線所包圍的部分的放大斷面圖；圖8是示出根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體器件中引線回路又一實(shí)施例形狀的正視圖；圖9A和9B是分別示出具有梯形形狀和三角形形狀的常規(guī)引線回路的正視圖；圖10是示出與形成圖9A所示梯形形狀的引線回路的毛細(xì)管移動(dòng)相關(guān)的各個(gè)步驟中引線形狀的示意圖；以及圖11是示出與形成圖9B所示三角形形狀的引線回路的毛細(xì)管移動(dòng)相關(guān)的各個(gè)步驟中引線形狀的示意圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在，根據(jù)本發(fā)明的引線回路、半導(dǎo)體器件以及引線接合方法將在下文中參考附圖進(jìn)行描述，其中幾幅附圖的每幅附圖中相同的部件由相同的附圖標(biāo)記或標(biāo)號(hào)表示。
首先參考圖1A和1B，示出根據(jù)本發(fā)明的引線回路以及其中結(jié)合有該引線回路的半導(dǎo)體器件10。在半導(dǎo)體器件10中，半導(dǎo)體芯片2附著在引線框架1上并且其上具有焊盤(pán)2a，該焊盤(pán)2a是第一接合點(diǎn)A。引線3的引線回路形成為總體上具有基本三角形形狀，并且包括頸部H以及主體部或者大體傾斜的部分S，其中頸部H具有接合到焊盤(pán)2a或者第一接合點(diǎn)A的球30，主體部或者大體傾斜的部分S具有接合到引線框架1的引線1a或者第二接合點(diǎn)Z的端部。頸部H和主體部L通過(guò)合成彎曲3A連接。所示實(shí)施例的這種構(gòu)造與常規(guī)半導(dǎo)體器件近似相同。然而，在所示實(shí)施例中，頸部H包括提升部分h，該提升部分h以向著第二接合點(diǎn)Z的方向從接合球30傾斜向上延伸，如圖1A和1B所示。頸部H的提升部分h由球30的頂部形成，其在球30接合到第一接合點(diǎn)A時(shí)已經(jīng)進(jìn)入到毛細(xì)管4的開(kāi)口并且已經(jīng)成型，如圖3所示。
由于引線回路設(shè)置在具有提升部分h的頸部H中因此向著第二接合點(diǎn)Z傾斜，與圖9B所示的三角形形狀的常規(guī)引線回路相比，頸部H可以形成為具有減小的高度，并且頸部H不被損壞。因此，引線回路可以形成為具有低輪廓，從而使得半導(dǎo)體器件10的厚度減小。
現(xiàn)在參考圖2和4，將描述根據(jù)本發(fā)明的引線接合方法的實(shí)施例，通過(guò)該方法得到了圖1A和1B所示的半導(dǎo)體器件10。圖2示出了毛細(xì)管4的移動(dòng)路徑P以及通過(guò)引線接合連接到第一和第二接合點(diǎn)A和Z的引線回路的完成狀態(tài)。
首先，在圖4的步驟(a)中，在打開(kāi)夾具(未示出)的同時(shí)降低毛細(xì)管4，該夾具用于夾住引線3并且釋放該引線，這樣形成在引線3尖端上的球30接合到第一接合點(diǎn)A。此時(shí)，球30的頂部進(jìn)入到毛細(xì)管4的開(kāi)口中，并且通過(guò)毛細(xì)管4的開(kāi)口變形。由此所得的球30的變形部分形成了引線回路的頸部H的提升部分h。然后，在圖4的步驟(b)中，毛細(xì)管4傾斜向上移動(dòng)到點(diǎn)B，同時(shí)提供引線3，這樣提升部分h向著第二接合點(diǎn)Z傾斜，并且彎曲31形成在提升部分h中。此后，在圖4的步驟(c)中，在提供引線3的同時(shí)，毛細(xì)管4垂直提升到可以按照需要選擇的點(diǎn)C。
接著，在圖4的步驟(d)中，毛細(xì)管4在向著第二接合點(diǎn)Z的方向水平地移動(dòng)到點(diǎn)C1。結(jié)果是，引線3在彎曲31和點(diǎn)C1之間的部分形成為傾斜的，并且彎曲32形成在引線3的該部分的頂部處。然后，在圖4的步驟(e)中，在進(jìn)一步提供引線3的同時(shí)，毛細(xì)管4垂直提升到可以按照需要選擇的點(diǎn)D。
此后，在圖4的步驟(f)中，毛細(xì)管4以向著第二接合點(diǎn)Z的方向水平移動(dòng)到點(diǎn)D1。結(jié)果是，引線3在彎曲32以及點(diǎn)D1之間的部分形成為傾斜的，并且彎曲33形成在引線3的該傾斜部分的頂部。然后，在圖4的步驟(g)中，在提供引線3的同時(shí)，毛細(xì)管4垂直提升到可以按照需要選擇的點(diǎn)E。
接著，在圖4的步驟(h)中，執(zhí)行毛細(xì)管4的反向操作，即，毛細(xì)管4在與第二接合點(diǎn)Z相對(duì)的方向基本上水平地移動(dòng)到點(diǎn)F。毛細(xì)管4從點(diǎn)E到點(diǎn)F的移動(dòng)形成了引線3中的彎曲3B。此后，在圖4的步驟(i)，在傳送引線3的同時(shí)，毛細(xì)管4垂直提升到可以按照需要選擇的點(diǎn)G。因此，具有與圖2所示的引線回路的傾斜主體部S相對(duì)應(yīng)長(zhǎng)度的引線3從毛細(xì)管4中提供。
接著，以與上述的常規(guī)方法相同的方式執(zhí)行圖4的步驟(j)，以便降低毛細(xì)管4從而位于第二接合點(diǎn)Z，使得引線3接合到第二接合點(diǎn)Z上。
在圖4的步驟(h)中，執(zhí)行毛細(xì)管4的反向操作以形成引線3中的彎曲3B?？商娲氖?，毛細(xì)管4可以?xún)A斜地降低到點(diǎn)F1，如圖5A中的步驟(h′)所示，從而形成引線3中的彎曲3B。然后，毛細(xì)管4以與圖4的步驟(i)和(j)相同的方式移動(dòng)，使得引線回路被提供。在這種情況下，毛細(xì)管4沿著圖5B所示的移動(dòng)路徑P移動(dòng)，從而形成引線回路。
在圖4的步驟(i)中，毛細(xì)管4垂直提升到如上所述的點(diǎn)G?？商娲氖?，在如圖6A所示的步驟(i′)中提供引線3的同時(shí)，毛細(xì)管可以?xún)A斜地提升到點(diǎn)G1，并且然后毛細(xì)管4降低到第二接合點(diǎn)Z，從而以與圖4的步驟(j)相同的方式將引線3接合到其上。在這種情況下，毛細(xì)管4沿著圖6B所示的移動(dòng)路徑P移動(dòng)，從而形成引線回路。
順便說(shuō)一句，優(yōu)選的是毛細(xì)管4構(gòu)造成在互連第一接合點(diǎn)A和第二接合點(diǎn)Z的連線基礎(chǔ)上定義的360度上的方向上和0到500微米的范圍內(nèi)可移動(dòng)。另外，通過(guò)傾斜向上移動(dòng)毛細(xì)管4或者通過(guò)向上然后水平移動(dòng)毛細(xì)管，或者通過(guò)向上然后傾斜向下移動(dòng)毛細(xì)管4，可形成每個(gè)彎曲31，32，33和3B。
如上所述，在圖4的步驟(b)中毛細(xì)管4傾斜向上的移動(dòng)使與接合球30頂部相鄰的提升部分h傾斜，因此可提供具有頸部H保持在減小高度的低輪廓的引線回路。另外，由于多個(gè)彎曲31，32和33形成在將頸部H和引線回路的主體部S連接的合成彎曲3A的位置上或者在合成彎曲3A附近，因此，可形成低輪廓的引線回路而不對(duì)提升部分h或頸部H造成任何的損壞，以及沒(méi)有通過(guò)毛細(xì)管4將壓碎標(biāo)記留在引線和/或第一接合點(diǎn)A上的接合球上。在所完成的引線回路中，彎曲31，32，33均作為減小尺寸的彎曲標(biāo)記留在引線3上。
實(shí)驗(yàn)已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，在圖9B所示的三角形形狀的常規(guī)引線回路中，防止頸部H損壞的頸部H的高度為120到130微米，而上述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的引線回路中頸部H的高度為65到70微米。順便說(shuō)一句，在根據(jù)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2004/0104477的技術(shù)中，在其中壓碎標(biāo)記或者部分由毛細(xì)管形成在引線或者第一接合點(diǎn)處的接合球上的引線回路中，可能將頸部高度提供為50微米或者更小。
在上述實(shí)施例中，分別在圖4的步驟(b)，步驟(c)到(d)，以及步驟(e)到(f)中執(zhí)行三次形成彎曲31，32和33的操作。這種形成操作可重復(fù)小于或者大于三次的多次，使得如期望的在引線的位置上形成多個(gè)彎曲。例如，如圖7A和7B所示，兩個(gè)彎曲31和32形成在連接頸部H以及主體部S的合成彎曲3A上的引線3中，或者合成彎曲3A附近。在這種情況下，圖4的步驟(c)和(d)中執(zhí)行的操作可省略。
以這種方式，引線在多個(gè)位置處穩(wěn)定地彎曲。結(jié)果是，引線回路的提升部分可以形成為具有比低輪廓的常規(guī)引線回路更大的強(qiáng)度，這樣可形成位置上穩(wěn)定并且具有很強(qiáng)的形狀保持力的引線回路。
形成在引線3的傾斜主體部S上的彎曲3B這樣進(jìn)行設(shè)置，從而防止在將引線3接合到第二接合點(diǎn)Z時(shí)主體部S向上延伸。在上述實(shí)施例中，引線3的主體部S設(shè)置在其中間位置，僅具有一個(gè)彎曲3B。然而，多個(gè)這樣的彎曲可設(shè)置在中間位置或者引線3的傾斜主體部S的位置上，和/或設(shè)置在第二接合點(diǎn)Z附近的位置上。在圖8所示的引線回路的實(shí)施例中，兩個(gè)這樣的彎曲3B1和3B2設(shè)置在引線3的傾斜主體部S上。
從前面的描述我們可以看見(jiàn)，在根據(jù)本發(fā)明的引線接合方法中，將第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)通過(guò)其連接的引線回路設(shè)置在具有傾斜提升部分的其頸部上，從而與低輪廓的常規(guī)引線回路相比，減小頸部高度并且提供具有增加強(qiáng)度的提升部分。這種構(gòu)造可提供具有低輪廓的引線回路，其是穩(wěn)定的并且其形成沒(méi)有對(duì)其頸部造成任何損壞。
盡管參考附圖在一定程度上描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但根據(jù)上述教導(dǎo)可進(jìn)行顯而易見(jiàn)的變形和改變。因此應(yīng)該理解的是，在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)，本發(fā)明可實(shí)施在除特定描述以外的其它方面。
權(quán)利要求
1.一種引線回路，包括引線，通過(guò)其連接第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)；所述引線包括接合到所述第一接合點(diǎn)的球，與所述球相鄰的頸部以及從所述頸部延伸到所述第二接合點(diǎn)的主體部；其中所述頸部包括提升部分，該提升部分在向著所述第二接合點(diǎn)的方向上從接合球傾斜向上延伸，并且所述提升部分由所述球的頂部形成，其在球接合的時(shí)候已經(jīng)進(jìn)入到毛細(xì)管的開(kāi)口并且已經(jīng)成型。
2.如權(quán)利要求1所述的引線回路，其中所述引線包括至少一個(gè)形成在其所述頸部或所述主體部上的彎曲標(biāo)記。
3.如權(quán)利要求2所述的引線回路，其中所述引線包括所述頸部和所述主體部之間的彎曲；并且多個(gè)彎曲標(biāo)記形成在所述彎曲上或者所述彎曲附近。
4.一種引線接合方法，用于采用毛細(xì)管接合第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)之間的引線，包括將形成在引線尖端上的球接合到所述第一接合點(diǎn)；以及傾斜引線的提升部分，其從接合球向所述第二接合點(diǎn)延伸，所述提升部分由球的頂部形成，其在將所述球接合到所述第一接合點(diǎn)的時(shí)候已經(jīng)進(jìn)入所述毛細(xì)管的開(kāi)口并且已經(jīng)成型。
5.如權(quán)利要求4所述的引線接合方法，還包括通過(guò)傾斜地向上移動(dòng)所述毛細(xì)管或者通過(guò)向上然后水平地移動(dòng)所述毛細(xì)管、或者通過(guò)向上然后傾斜地向下移動(dòng)所述毛細(xì)管，從而在從其所述提升部分延伸的引線的一部分上形成至少一個(gè)彎曲。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述提升部分的傾斜通過(guò)傾斜地向上移動(dòng)所述毛細(xì)管而進(jìn)行，并且包括在引線的所述提升部分上形成彎曲。
7.一種引線接合方法，用于采用毛細(xì)管接合第一接合點(diǎn)和第二接合點(diǎn)之間的引線，包括步驟(a)將形成在引線尖端上的球接合到所述第一接合點(diǎn)；(b)以向著所述第二接合點(diǎn)的方向傾斜地向上移動(dòng)所述毛細(xì)管，從而使在將所述球接合到所述第一接合點(diǎn)的時(shí)候已經(jīng)進(jìn)入所述毛細(xì)管的開(kāi)口處的引線的第一部分在向著所述第二接合點(diǎn)的方向上傾斜地向上延伸；(c)接著，在執(zhí)行回路控制的同時(shí)垂直地并且水平地移動(dòng)所述毛細(xì)管，從而在從其第一部分延伸的引線的第二部分上形成至少一個(gè)彎曲；以及(d)此后，在從所述毛細(xì)管提供引線和執(zhí)行回路控制的同時(shí)，水平地并且垂直地移動(dòng)所述毛細(xì)管到所述第二接合點(diǎn)上，并且然后將引線接合到所述第二接合點(diǎn)上。
8.如權(quán)利要求7所述的引線接合方法，其中在步驟(b)中，在引線的所述第一部分上形成另一彎曲。
9.如權(quán)利要求7所述的引線接合方法，其中通過(guò)傾斜地向上移動(dòng)所述毛細(xì)管或者通過(guò)向上然后水平地移動(dòng)所述毛細(xì)管、或者通過(guò)向上然后傾斜地向下移動(dòng)所述毛細(xì)管來(lái)執(zhí)行步驟(c)。
10.如權(quán)利要求9所述的引線接合方法，其中重復(fù)地執(zhí)行步驟(c)以在引線的所述第二部分上形成多個(gè)彎曲。
11.如權(quán)利要求9所述的引線接合方法，其中在步驟(d)中，大尺寸的合成彎曲形成在引線的所述第一部分和所述第二部分之間，所述至少一個(gè)彎曲設(shè)置在引線上這樣的位置上，使得所述至少一個(gè)彎曲作為彎曲標(biāo)記位于所述合成彎曲上或者所述合成彎曲附近。
12.一種半導(dǎo)體器件，包括第一接合點(diǎn)；第二接合點(diǎn)；以及接合到所述第一接合點(diǎn)和所述第二接合點(diǎn)的引線，從而通過(guò)其連接所述第一接合點(diǎn)和所述第二接合點(diǎn)，所述引線包括接合到所述第一接合點(diǎn)的球，與所述球相鄰的頸部以及從所述頸部延伸到所述第二接合點(diǎn)的主體部；其中所述頸部包括提升部分，其在向著所述第二接合點(diǎn)的方向上從接合球傾斜地向上延伸，并且所述提升部分由球的頂部形成，其在球接合的時(shí)候已經(jīng)進(jìn)入毛細(xì)管的開(kāi)口并且已經(jīng)成型。
13.如權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體器件，其中所述引線包括形成在其所述頸部或所述主體部上的至少一個(gè)彎曲標(biāo)記。
14.如權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體器件，其中所述引線包括在所述頸部和所述主體部之間的彎曲；并且多個(gè)彎曲標(biāo)記形成在所述彎曲上或者所述彎曲附近。
全文摘要
一種引線回路，包括通過(guò)其連接第一接合點(diǎn)(A)和第二接合點(diǎn)(Z)的引線(3)，其中引線(3)包括接合到第一接合點(diǎn)(A)的球(30)，與球(30)相鄰的頸部(H)以及從頸部(H)延伸到第二接合點(diǎn)(Z)上的主體部(S)。頸部(H)包括提升部分(h)，其在向著第二接合點(diǎn)(Z)的方向上從接合球(30)傾斜向上延伸，并且提升部分(h)由球(30)的頂部形成，其在球接合的時(shí)候已經(jīng)進(jìn)入毛細(xì)管(4)的開(kāi)口并且已經(jīng)成型。通過(guò)向著第二接合點(diǎn)(Z)傾斜向上移動(dòng)毛細(xì)管(4)，提升部分(h)通過(guò)傾斜球(30)的頂部而形成，其在球接合的同時(shí)進(jìn)入毛細(xì)管(4)的開(kāi)口。
文檔編號(hào)H01L21/60GK1815727SQ20061000400
公開(kāi)日2006年8月9日 申請(qǐng)日期2006年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月11日
發(fā)明者藤澤洋生, 石橋昌, 今井玲 申請(qǐng)人:株式會(huì)社海上