專利名稱：柔絲吸嘴的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中使用的一種工具，更具體地講涉及一種用于移動(dòng)微小半導(dǎo)體產(chǎn)品的柔絲吸嘴(vacuum tweezer，或稱真空鑷子)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造過程中，例如在磁頭制造過程中，有時(shí)需要將體積很小的半導(dǎo)體產(chǎn)品，比如磁頭或由若干磁頭結(jié)構(gòu)體構(gòu)成的長形條(row bar)，從一個(gè)位置移動(dòng)到另一個(gè)位置。由于這種半導(dǎo)體產(chǎn)品結(jié)構(gòu)非常脆弱，輕微的碰撞或擠壓就可能導(dǎo)致產(chǎn)品被損壞，因此對(duì)這類產(chǎn)品的移動(dòng)不能采用普通的機(jī)械式鑷子等工具來進(jìn)行，而應(yīng)使用柔絲吸嘴來移動(dòng)所述半導(dǎo)體產(chǎn)品。
圖1所示為使用現(xiàn)有柔絲吸嘴移動(dòng)由若干磁頭結(jié)構(gòu)體構(gòu)成的長形條的狀態(tài)圖，如圖所示，柔絲吸嘴100包括一個(gè)筆體12，該筆體12內(nèi)具有空腔(圖未示)，該筆體12的一端連接有與空腔連通的抽氣管14，另一端設(shè)置有與筆體12的空腔連通的頸部彎管16，所述抽氣管14與真空產(chǎn)生裝置如真空泵(圖未示)相連接。所述頸部彎管16的末端設(shè)置有吸頭18。該柔絲吸嘴100在其筆體12上還安裝有控制筆體12內(nèi)的空腔打開或關(guān)閉的按鈕15。使用時(shí)，將該吸頭18放置到長形條20上，按壓按鈕15，使得空腔與真空泵導(dǎo)通，通過利用真空泵將柔絲吸嘴100內(nèi)的空腔抽成真空，使得上述吸頭18與長形條20之間形成真空，從而依靠外界氣壓將長形條20緊緊壓到吸頭18上，進(jìn)而將其提起并移動(dòng)。當(dāng)將長形條20移動(dòng)到目的地時(shí)，松開按鈕15，使得筆體12內(nèi)的空腔與真空泵阻斷，使得長形條20脫離柔絲吸嘴100。
然而，由于傳統(tǒng)的柔絲吸嘴的吸頭18為圓錐體狀，該吸頭的底面為圓形，并且該圓形底面的外徑一般大于2.5mm，內(nèi)徑通常小于1.5mm，而在一般情況下，長性條20的長度為50-60mm，寬度為0.5-2mm，厚度通常小于0.5mm，這樣導(dǎo)致吸頭18與長形條20之間的有效接觸面積很小，而且接觸面積幾乎為圓形，這樣容易導(dǎo)致吸力不足而使長形條20在被吸起及移動(dòng)的過程中以接觸面為中心發(fā)生旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)使得長形條20的位置難以保持不變，進(jìn)而難以準(zhǔn)確地將長形條20放置到特定位置；其次，由于傳統(tǒng)的吸頭18與長形條20之間的接觸區(qū)域?yàn)槊娣e很小的圓形接觸區(qū)域，從而使得真空泵產(chǎn)生的吸力主要集中在圓形接觸區(qū)域，而在長形條的其它部分則沒有吸力，這樣不均勻的吸附力容易損壞長形條20表面(比如空氣支承面ABS)，例如在長形條20表面產(chǎn)生微紋或裂紋；另外，傳統(tǒng)的吸頭18與長形條20的接觸部非常粗糙，該粗糙的接觸部容易導(dǎo)致長形條20的表面產(chǎn)生刮痕，從而損傷長形條；而且，傳統(tǒng)的吸頭通常采用防靜電性能差的丁晴橡膠(Buna-N)或硅膠樹脂材料制造而成，因此容易在長形條20的表面產(chǎn)生靜電放電，進(jìn)而損壞長形條20。
因此有必要提供一種改良的用于移動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)品的柔絲吸嘴，以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種柔絲吸嘴，其吸頭上開設(shè)有狹長吸孔，使得吸頭與待移動(dòng)物體之間的有效接觸面積增大，吸附力增強(qiáng)，物體可以穩(wěn)定地被吸頭吸起并從一個(gè)位置移動(dòng)到另一個(gè)位置。
本實(shí)用新型的另一目的提供一種柔絲吸嘴，其吸頭的接觸面具有非常高的光潔度，因此可以避免或減少吸頭對(duì)物體的刮傷。
為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供的柔絲吸嘴，包括具有空腔的筆體、設(shè)置于該筆體一端且與該空腔連通的頸部彎管及設(shè)置于該頸部彎管末端且與該空腔連通的吸頭，該吸頭呈四棱錐體狀，其具有底部及與該底部連接的斜部，所述斜部頂端具有狹長的接觸面，所述接觸面上開設(shè)狹長的吸孔。在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述吸孔為狹長的矩形形狀。在本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例中，所述吸孔為狹長的橢圓形狀。
相對(duì)于傳統(tǒng)技術(shù)，由于本實(shí)用新型柔絲吸嘴的吸頭具有狹長的矩形或橢圓吸孔，所述吸孔對(duì)準(zhǔn)待移動(dòng)物體的長度方向，因此使得吸頭與待移動(dòng)物體之間的有效接觸面積增大，而有效接觸面積的增大又導(dǎo)致產(chǎn)生的吸力增大，因此在將待移動(dòng)物體提起或移動(dòng)的過程中，待移動(dòng)物體與吸頭之間不會(huì)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，這樣就可以將待移動(dòng)物體準(zhǔn)確放置到特定位置；其次，由于接觸面為狹長的矩形或橢圓形，而不是傳統(tǒng)技術(shù)那樣的圓點(diǎn)型，因此吸力可均勻地分布在待移動(dòng)物體上，從而減少或避免移動(dòng)待移動(dòng)物體過程中吸頭對(duì)待移動(dòng)物體表面的破壞，例如在待移動(dòng)物體上產(chǎn)生微紋或裂紋；另外，本實(shí)用新型柔絲吸嘴的吸頭與待移動(dòng)物體的接觸部分非常光滑，也避免或減少了的損傷待移動(dòng)物體的可能性。
通過以下的描述并結(jié)合附圖，本實(shí)用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本實(shí)用新型的實(shí)施例。


圖1為利用傳統(tǒng)柔絲吸嘴吸取長形條的狀態(tài)圖。
圖2為本實(shí)用新型柔絲吸嘴的平面結(jié)構(gòu)圖。
圖3a為本實(shí)用新型柔絲吸嘴的吸頭的立體結(jié)構(gòu)圖。
圖3b為利用本實(shí)用新型柔絲吸嘴吸取長形條的狀態(tài)圖。
圖4a為本實(shí)用新型另一個(gè)實(shí)施例所述的吸頭的立體圖。
圖4b為本實(shí)用新型又一個(gè)實(shí)施例所述的吸頭的立體圖。
圖4c為圖4b所述吸頭的結(jié)構(gòu)剖視圖。
圖5a為圖4b-4c所述吸頭的制造流程的一系列立體圖。
圖5b為圖5a中所示A部分的局部放大圖。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在描述本實(shí)用新型一種柔絲吸嘴的若干實(shí)施例。參考圖2及圖3a-3b，根據(jù)本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例，一種柔絲吸嘴200包括一個(gè)筆體22，該筆體22內(nèi)具有空腔(圖未示)，該筆體22的一端連接有與所述空腔連通的抽氣管24，另一端設(shè)有與筆體22的空腔連通的頸部彎管26，所述抽氣管24與真空產(chǎn)生裝置如真空泵(圖未示)連接。在本實(shí)用新型中，所述頸部彎管26的末端設(shè)置有吸頭28，所述柔絲吸嘴200在其筆體22上安裝有控制筆體22內(nèi)的空腔打開或關(guān)閉的按鈕25。參考圖3a，所述吸頭28為一體式結(jié)構(gòu)，呈四棱錐狀，其包括底部282及與該底部282相連接的斜部284。所述斜部284上形成兩個(gè)斜面285(圖中僅示一個(gè))。所述斜部284頂端具有狹長的接觸部286，該接觸部286呈矩形形狀，該接觸部286上開設(shè)有狹長的矩形吸孔288，該矩形吸孔288貫穿吸頭28的底部282及斜部284。該吸頭28還具有與所述底部282及斜部284連接的兩個(gè)側(cè)壁283(圖中僅示一個(gè))。當(dāng)該吸頭28被組裝到筆體22上時(shí)，該矩形吸孔288與頸部彎管26相連通。在本實(shí)用新型中，所述吸頭28采用防靜電性能良好的材料比如聚醚醚酮材料(PEEK CA30，含有30％的碳纖維)制造，其表面阻抗位于10-6-10-9歐姆/平方毫米之間。
在本實(shí)用新型中，所述柔絲吸嘴200可用于移動(dòng)小型的半導(dǎo)體產(chǎn)品，比如由復(fù)數(shù)磁頭結(jié)構(gòu)體構(gòu)成的長形條20。參考圖3b，所述長形條20通常長度為50-60mm，寬度為0.5-2mm，厚度通常小于0.5mm。使用時(shí)，將該吸頭28放置到長形條20上，按壓按鈕25，使得空腔與真空泵導(dǎo)通，然后利用真空泵將柔絲吸嘴200內(nèi)的空腔抽成真空，這樣所述吸頭28與所述長形條20之間就形成真空，從而外界氣壓就可將長形條20緊緊壓到吸頭28上，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)長形條20的移動(dòng)。當(dāng)將長形條20移動(dòng)到目的地時(shí)，松開按鈕25，使得筆體22內(nèi)的空腔與真空泵阻斷，從而使得長形條20脫離柔絲吸嘴200。
在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述矩形吸孔288的長度最好為長形條20長度的1/5，即10-12mm。在本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例中，所述兩側(cè)壁283之間的夾角為15-45度。在本實(shí)用新型的又一個(gè)實(shí)施例中，所述兩個(gè)斜面285的夾角為20-40度。實(shí)驗(yàn)證明，所述吸頭28依上述參數(shù)設(shè)計(jì)可保證移動(dòng)長形條20時(shí)更加穩(wěn)定。
參考圖4a，根據(jù)本實(shí)用新型柔絲吸嘴的吸頭的一個(gè)實(shí)施例，所述吸頭38呈四棱錐體狀，其具有底部382及與該底部382連接的斜部384。該斜部384上形成兩個(gè)斜面385(圖中僅示一個(gè))。所述斜部384頂端具有狹長的接觸面386，該接觸面386呈矩形形狀，該接觸面386上開設(shè)狹長的橢圓吸孔388，該橢圓吸孔388貫穿吸頭38的底部382及斜部384。該吸頭38還具有與所述底部382及斜部384連接的兩個(gè)側(cè)壁383(圖中僅示一個(gè))。同時(shí)該吸頭38采用防靜電性能良好的材料比如聚醚醚酮材料(PEEK CA30，含有30％的碳纖維)制造。參考圖4b-4c，根據(jù)本實(shí)用新型柔絲吸嘴的吸頭的另一個(gè)實(shí)施例，該吸頭48為兩段式結(jié)構(gòu)，其包括基體481及嵌入該基體481上的嵌入體487。所述基體481及嵌入體487共同形成狹長的矩形接觸部486，該接觸部486上開設(shè)狹長的矩形吸孔488，其貫穿吸頭48的基體481及嵌入體487。在本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例中，該吸孔也可以為狹長的橢圓吸孔。
圖5a-5b展示了所述兩段式吸頭的制造過程。如圖所述，首先通過銑削等機(jī)械加工方式加工矩形體坯材40，從而形成中間產(chǎn)品42，該中間產(chǎn)品42具有兩個(gè)側(cè)壁421及與該側(cè)壁421連接的斜面422，同時(shí)形成基面423及與該基面43垂直的內(nèi)壁面425，所述內(nèi)壁面425及基面423呈臺(tái)階狀。所述內(nèi)壁面425上形成矩形槽424，該矩形槽424與圓孔426連通；同時(shí)通過銑削等機(jī)械加工方式加工另一個(gè)矩形體原材料50，從而形成另一個(gè)中間產(chǎn)品52。該產(chǎn)品52具有兩個(gè)側(cè)壁523及與該側(cè)壁523連接的斜面522，該斜面522頂部具有狹長的矩形槽524(參考圖5b)；然后將中間產(chǎn)品52放置到所述中間產(chǎn)品42的內(nèi)壁面425及基面423上，并且通過螺紋連接或膠粘合等方式將兩者固定在一起而形成組合60，該組合60頂部具有狹長的接觸面62，其上設(shè)有狹長的開口64(由中間產(chǎn)品42的矩形槽424及中間產(chǎn)品52的矩形槽524互相組合而形成)；最后研磨該接觸面62，使得該接觸面62具有非常高的光潔度，并形成最終的吸頭48。
相對(duì)于傳統(tǒng)技術(shù)，由于本實(shí)用新型柔絲吸嘴的吸頭具有狹長的矩形吸孔，所述矩形吸孔對(duì)準(zhǔn)長形條的長度方向，因此使得吸頭與長形條之間的有效接觸面積增大，而有效接觸面積的增大又導(dǎo)致產(chǎn)生的吸力增大，因此在將長形條提起或移動(dòng)的過程中，長形條與吸頭之間不會(huì)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，這樣就可以將長形條準(zhǔn)確放置到特定位置；其次，由于接觸面為狹長的矩形或橢圓形，而不是傳統(tǒng)技術(shù)那樣的圓點(diǎn)型，因此吸力可均勻地分布在長形條上，從而避免或減少了損壞長形條的表面的可能性，例如在長形條上產(chǎn)生微紋或裂紋；另外，本實(shí)用新型柔絲吸嘴的吸頭與長形條的接觸部分非常光滑，因此減少或避免了吸頭對(duì)長形條表面的破壞；另外，本實(shí)用新型采用了防靜電性能良好的材料比如聚醚醚酮材料(PEEK CA30，含有30％的碳纖維)來制造吸頭，因此避免了靜電放電對(duì)長形條的破壞。
以上結(jié)合最佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了描述，但本實(shí)用新型不局限于以上揭示的實(shí)施例，應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本實(shí)用新型的本質(zhì)進(jìn)行的等效組合。
權(quán)利要求1.一種柔絲吸嘴，包括具有空腔的筆體、設(shè)置于該筆體一端且與該空腔連通的頸部彎管及設(shè)置于該頸部彎管末端且與該空腔連通的吸頭，其特征在于該吸頭呈四棱錐體狀，其具有底部及與該底部連接的斜部，所述斜部頂端開設(shè)有狹長吸孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔絲吸嘴，其特征在于所述吸孔為狹長矩形形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔絲吸嘴，其特征在于所述吸孔為狹長橢圓形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔絲吸嘴，其特征在于該斜部上形成兩個(gè)斜面，所述兩個(gè)斜面之間的夾角為20-40度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔絲吸嘴，其特征在于該吸頭還具有與所述底部及斜部連接的兩個(gè)側(cè)壁，該兩個(gè)側(cè)壁之間的夾角為15-45度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔絲吸嘴，其特征在于該狹長吸孔的長度為10-12mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔絲吸嘴，其特征在于該吸頭為一體式吸頭。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔絲吸嘴，其特征在于該吸頭為兩段式吸頭，其包括基體及嵌入到該基體的嵌入體。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的柔絲吸嘴，其特征在于所述基體上形成臺(tái)階，所述嵌入體設(shè)置在該臺(tái)階上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔絲吸嘴，其特征在于所述吸頭的表面阻抗在10-6-10-9歐姆/平方毫米之間。
專利摘要一種柔絲吸嘴，包括具有空腔的筆體、設(shè)置于該筆體一端且與該空腔連通的頸部彎管及設(shè)置于該頸部彎管末端且與該空腔連通的吸頭，該吸頭呈四棱錐體狀，其具有底部及與該底部連接的斜部，所述斜部頂端開設(shè)有狹長吸孔。本實(shí)用新型柔絲吸嘴可有效防止被移動(dòng)物體與其吸頭間發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，并可避免或減少吸頭對(duì)被移動(dòng)物體表面的破壞，例如在被移動(dòng)物體上產(chǎn)生微紋或裂紋。
文檔編號(hào)H01L21/67GK2886802SQ20052014417
公開日2007年4月4日 申請(qǐng)日期2005年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月23日
發(fā)明者劉成昌, 盧偉光 申請(qǐng)人:新科實(shí)業(yè)有限公司