專利名稱：零件保持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及零件保持裝置，特別是涉及零件組裝時(shí)安裝在進(jìn)行輸送的零件輸送裝置上的零件保持裝置。
背景技術(shù)：
在專利文獻(xiàn)1中，公開(kāi)了一種零件保持裝置110，如圖5所示，該零件保持裝置110備有有沿上下方向驅(qū)動(dòng)的可動(dòng)載物臺(tái)111的單軸臺(tái)112；通過(guò)沒(méi)有驅(qū)動(dòng)源的單軸臺(tái)113，相對(duì)于可動(dòng)載物臺(tái)111能上下移動(dòng)地被支撐著的吸引嘴114；檢測(cè)該吸引嘴114保持的零件C上的壓力的測(cè)力傳感器(load cell)115；將吸引嘴114及支撐它的結(jié)構(gòu)拉到測(cè)力傳感器115一側(cè)，抵消吸引嘴114等的自重的影響的拉伸彈簧119；設(shè)置在吸引嘴114和測(cè)力傳感器115之間的壓縮彈簧116；根據(jù)測(cè)力傳感器115的輸出，檢測(cè)吸引嘴114上的壓力的檢測(cè)部117；以及根據(jù)檢測(cè)的壓力，控制單軸臺(tái)112的上下位置的控制器118。
特開(kāi)平8-330790號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)的已有的技術(shù)這樣構(gòu)成在可動(dòng)載物臺(tái)111上，利用單軸臺(tái)113，能使吸引嘴114上下移動(dòng)，由測(cè)力傳感器115進(jìn)行壓力檢測(cè)，所以能進(jìn)行實(shí)時(shí)地跟蹤壓力變化的壓力控制，可是可動(dòng)載物臺(tái)111的驅(qū)動(dòng)重量增大，例如，可動(dòng)載物臺(tái)的停止、迅速上升和下降的工作切換等變得困難了，存在響應(yīng)性下降的不良情況。因此，有可能超過(guò)成為目標(biāo)的壓力，存在難以設(shè)定高精度的壓力的不良情況。
本發(fā)明的目的在于提高壓力的設(shè)定精度。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明的第一方面?zhèn)溆杏们岸瞬课奖３至慵奈阶?12)；能上下移動(dòng)地被支撐著的移動(dòng)體(14)；沿上下方向驅(qū)動(dòng)移動(dòng)體的第一上下移動(dòng)單元(20)；被安裝在移動(dòng)體中，同時(shí)從該移動(dòng)體沿上下方向驅(qū)動(dòng)吸附嘴的第二上下移動(dòng)單元(30)；檢測(cè)吸附嘴的前端部的壓力的壓力檢測(cè)單元(15)；以及進(jìn)行第一及第二上下移動(dòng)單元的工作控制的工作控制單元(60)，工作控制單元采用有加壓修正控制部件的結(jié)構(gòu)，該加壓修正控制部件在第一上下移動(dòng)單元進(jìn)行移動(dòng)體的下降驅(qū)動(dòng)時(shí)，根據(jù)壓力檢測(cè)單元檢測(cè)的壓力，對(duì)第二上下移動(dòng)單元進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)。
在上述結(jié)構(gòu)中，由第一上下移動(dòng)單元進(jìn)行移動(dòng)體的下降驅(qū)動(dòng)，與其相伴隨的第二上下移動(dòng)單元及吸附嘴下降。然后，吸附嘴的前端部一旦與下方接觸，便由壓力檢測(cè)單元檢測(cè)壓力的上升。因此，第二上下移動(dòng)單元對(duì)吸附嘴進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)，抑制或避免壓力的增加。
發(fā)明的第二方面?zhèn)溆信c發(fā)明的第一方面同樣的結(jié)構(gòu)，同時(shí)采用這樣的結(jié)構(gòu)備有以沿上下方向的軸為中心，進(jìn)行吸附嘴的旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元(50)。
在上述結(jié)構(gòu)中，具有與發(fā)明的第一方面同樣的作用，同時(shí)在吸附嘴前端部上保持了零件的情況下，利用旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)吸附嘴，調(diào)節(jié)其方向。
發(fā)明的第三方面?zhèn)溆信c發(fā)明的第一方面同樣的結(jié)構(gòu)，同時(shí)采用這樣的結(jié)構(gòu)將能伸縮的彈性體(17)插在壓力檢測(cè)單元(15)和吸附嘴之間，并設(shè)置對(duì)壓力檢測(cè)單元的過(guò)負(fù)荷防止用止擋(13a)，用來(lái)在通過(guò)壓縮彈性體使吸附嘴移動(dòng)到壓力檢測(cè)單元一側(cè)的范圍內(nèi)，限制該吸附嘴的移動(dòng)。
在上述結(jié)構(gòu)中，具有與發(fā)明的第一或第二方面同樣的作用，同時(shí)在用吸附嘴前端部進(jìn)行加壓作業(yè)時(shí)，吸附嘴一邊壓縮彈性體，一邊向壓力檢測(cè)單元一側(cè)移動(dòng)，將與吸附嘴前端部上產(chǎn)生的壓力相等的彈性力加在壓力檢測(cè)單元上。
另一方面，通常，壓力檢測(cè)單元根據(jù)其負(fù)荷檢測(cè)精度，決定耐久測(cè)定范圍。
因此，在吸附嘴朝向壓力檢測(cè)單元接近移動(dòng)的范圍內(nèi)，在隨著該接近而增加的彈性力不超過(guò)上述耐久負(fù)荷的位置，設(shè)置限制吸附嘴的移動(dòng)的過(guò)負(fù)荷防止用止擋，謀求保護(hù)壓力檢測(cè)單元。
發(fā)明的第四方面?zhèn)溆信c發(fā)明的第一、第二或第三方面同樣的結(jié)構(gòu)，同時(shí)采用這樣的結(jié)構(gòu)工作控制單元(60)備有將吸附嘴非加壓時(shí)且非吸附時(shí)的壓力檢測(cè)單元的輸出作為基準(zhǔn)值存儲(chǔ)起來(lái)的基準(zhǔn)存儲(chǔ)部件，加壓修正控制部件根據(jù)基準(zhǔn)值的變化，對(duì)第二上下移動(dòng)單元進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)。
發(fā)明的第四方面具有與發(fā)明的第一、第二或第三方面同樣的作用，同時(shí)利用基準(zhǔn)存儲(chǔ)部件，存儲(chǔ)吸附嘴非加壓時(shí)、非吸附時(shí)的壓力檢測(cè)單元的輸出作為基準(zhǔn)值。所謂非加壓時(shí)、非吸附時(shí)，例如，裝置的主電源接通時(shí)，可以是作業(yè)開(kāi)始輸入后，也可以通過(guò)檢測(cè)加壓和吸引進(jìn)行判斷，還可以根據(jù)加壓和吸引的工作指令的有無(wú)進(jìn)行判斷。
而且，存儲(chǔ)后，從基于壓力檢測(cè)單元的輸出的檢測(cè)壓力減去了基于基準(zhǔn)值的壓力的壓力，作為在吸附嘴的前端部上產(chǎn)生的實(shí)際的壓力，進(jìn)行第二上下移動(dòng)單元的工作控制。
發(fā)明的第五方面?zhèn)溆信c發(fā)明的第一、第二、第三或第四方面同樣的結(jié)構(gòu)，同時(shí)采用這樣的結(jié)構(gòu)第二上下移動(dòng)單元有通過(guò)其上下某一方向的驅(qū)動(dòng)，進(jìn)行加壓接觸，限制進(jìn)行移動(dòng)的對(duì)象物的移動(dòng)的移動(dòng)限制單元，移動(dòng)限制單元的加壓修正控制部件在檢測(cè)壓力超過(guò)規(guī)定的下降時(shí)閾值的情況下，進(jìn)行第二上下移動(dòng)單元開(kāi)始上升驅(qū)動(dòng)的工作控制，工作控制單元有下降時(shí)噪聲保持控制部件，該下降時(shí)噪聲保持控制部件在從第一上下移動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)開(kāi)始到加壓修正控制部件進(jìn)行的工作控制開(kāi)始之間，進(jìn)行工作控制，該工作控制是限制通過(guò)移動(dòng)限制單元的加壓接觸進(jìn)行第二上下移動(dòng)單元的上下移動(dòng)的對(duì)象物的移動(dòng)。
上述所謂“該進(jìn)行上下移動(dòng)的對(duì)象物”，是指第二上下移動(dòng)單元上下驅(qū)動(dòng)的對(duì)象物、即吸附嘴而言。另外，第二上下移動(dòng)單元在通過(guò)保持吸附嘴用的單元進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的情況下，包括該保持單元。
另外，所謂下降時(shí)閾值，是指例如加壓目標(biāo)值而言。
在上述結(jié)構(gòu)中，具有與發(fā)明的第一、第二、第三或第四方面同樣的作用，同時(shí)在第一上下移動(dòng)單元開(kāi)始驅(qū)動(dòng)時(shí)，通過(guò)下降時(shí)噪聲保持控制部件的工作控制，第二上下移動(dòng)單元通過(guò)移動(dòng)限制單元的加壓接觸，使包括吸附嘴的該移動(dòng)對(duì)象物固定。
然后，使吸附嘴下降，前端部上產(chǎn)生的壓力超過(guò)下降時(shí)閾值時(shí)，通過(guò)加壓修正控制部件的工作控制，對(duì)包括吸附嘴的該移動(dòng)對(duì)象物進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)，謀求降低壓力。
發(fā)明的第六方面?zhèn)溆信c發(fā)明的第五方面同樣的結(jié)構(gòu)，同時(shí)采用這樣的結(jié)構(gòu)工作控制單元有上升時(shí)噪聲保持控制部件，該上升時(shí)噪聲保持控制部件在由第一上下移動(dòng)單元進(jìn)行的移動(dòng)體的上升驅(qū)動(dòng)時(shí)，在壓力檢測(cè)單元的檢測(cè)壓力達(dá)到規(guī)定的上升時(shí)閾值以下的情況下，通過(guò)移動(dòng)限制單元的加壓接觸，進(jìn)行限制第二上下移動(dòng)單元進(jìn)行上下移動(dòng)的對(duì)象物的移動(dòng)的工作控制。
上述所謂上升時(shí)閾值，例如是加壓目標(biāo)值、或比它低一些的值。
在上述結(jié)構(gòu)中，具有與發(fā)明的第五方面同樣的作用，同時(shí)由第一上下移動(dòng)單元使移動(dòng)體上升，吸附嘴的前端部從加壓狀態(tài)釋放，如果該檢測(cè)壓力下降到上升時(shí)閾值以下，則通過(guò)上升時(shí)嘴保持控制部件的工作控制，第二上下移動(dòng)單元將包括吸附嘴的該移動(dòng)對(duì)象物加壓固定在移動(dòng)限制單元一側(cè)。


圖1是表示發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的電子零件保持裝置的剖面圖。
圖2是表示圖1中公開(kāi)的電子零件保持裝置的控制系統(tǒng)的框圖。
圖3是表示電子零件保持裝置的吸附嘴的下降動(dòng)作的流程圖。
圖4是表示電子零件保持裝置的吸附嘴的下降動(dòng)作的流程圖。
圖5是現(xiàn)有例的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式
(實(shí)施形態(tài)的總體結(jié)構(gòu))根據(jù)圖1至圖4說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的電子零件保持裝置(零件保持裝置)10例如能用來(lái)保持半導(dǎo)體芯片這樣的小型的電子零件C，對(duì)規(guī)定的安裝對(duì)象物來(lái)說(shuō)，從上方對(duì)所保持的電子零件C以規(guī)定的壓力加壓。
如圖1所示，電子零件保持裝置10備有被支撐在X-Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖中未示出)上、能沿水平方向(XY方向)移動(dòng)的本體機(jī)架11；備有將電子零件C吸附保持在前端部上的吸附嘴12的嘴保持器13；能上下移動(dòng)地被支撐在本體機(jī)架11上的可動(dòng)托架(移動(dòng)體)14；沿上下方向驅(qū)動(dòng)可動(dòng)托架14的第一上下移動(dòng)單元20；設(shè)置在可動(dòng)托架14上、同時(shí)從該可動(dòng)托架14沿上下方向驅(qū)動(dòng)嘴保持器13的第二上下移動(dòng)單元30；使吸附嘴12的前端部吸氣的吸氣單元40；檢測(cè)吸附嘴12的前端部上的壓力的測(cè)力傳感器(壓力檢測(cè)單元)15；以沿上下方向的軸為中心進(jìn)行吸附嘴12的旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元50；防止從后面所述的空氣軸承36排放的空氣流向吸附嘴12的前端部一側(cè)的遮擋板16；以及進(jìn)行各結(jié)構(gòu)的工作控制的工作控制單元60。以下詳細(xì)說(shuō)明各部。
(本體機(jī)架)本體機(jī)架11如上所述裝載在X-Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，與電子零件保持裝置10的總體結(jié)構(gòu)(除去工作控制單元60及遮擋板16以外)一起沿著X-Y平面(水平面)、例如被輸送到電子零件C的接收位置或進(jìn)行組裝的位置。
(可動(dòng)托架)可動(dòng)托架14通過(guò)直線式導(dǎo)槽19能上下移動(dòng)地被支撐在本體機(jī)架11的下部。由設(shè)置在本體機(jī)架11上的第一上下移動(dòng)單元20沿上下方向驅(qū)動(dòng)該可動(dòng)托架14。
(第一上下移動(dòng)單元)第一上下移動(dòng)單元20有以輸出軸朝向下方的狀態(tài)配置在本體機(jī)架11的上部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)式的上下移動(dòng)電動(dòng)機(jī)21；檢測(cè)其旋轉(zhuǎn)角度的編碼器22；通過(guò)聯(lián)軸節(jié)連接在上下移動(dòng)電動(dòng)機(jī)21的輸出軸上，在沿上下方向的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)自如地被支撐在本體機(jī)架11上的螺桿轉(zhuǎn)軸23；固定在與該螺桿轉(zhuǎn)軸23相配合的可動(dòng)托架14上的螺母24；以及連接可動(dòng)托架14和本體機(jī)架11的下降防止用彈簧25。上述上下移動(dòng)電動(dòng)機(jī)21采用脈沖電動(dòng)機(jī)或伺服電動(dòng)機(jī)。
利用上述結(jié)構(gòu)，通過(guò)上下移動(dòng)電動(dòng)機(jī)21的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度，進(jìn)行可動(dòng)托架14沿上下方向的定位。另外，上述編碼器22將其檢測(cè)信號(hào)輸出給工作控制單元60，工作控制單元60根據(jù)該檢測(cè)信號(hào)，識(shí)別可動(dòng)托架14的現(xiàn)在位置，進(jìn)行上下移動(dòng)電動(dòng)機(jī)21的工作控制。
另外，下降防止用彈簧25經(jīng)常對(duì)可動(dòng)托架14施加朝向上方的張力，在不使用上下移動(dòng)電動(dòng)機(jī)21時(shí)或由停電等引起的意外的非通電時(shí)該輸出軸呈自由狀態(tài)的情況下，防止可動(dòng)托架14下降。
(吸附嘴及嘴保持器)吸附嘴12是一種前端部形成得呈細(xì)頭的管狀體，使該前端部以朝向電子零件C的狀態(tài)進(jìn)行吸附保持。吸附嘴12的基端部連接在嘴保持器13上。
嘴保持器13是在其一端部上安裝著吸附嘴12的筒狀體，在其另一端部上形成法蘭狀的凸緣部13a。嘴保持器13被保持在后面所述的能上下移動(dòng)的吸氣管41上，成為嘴保持器13與這樣的吸氣管41一起向上方移動(dòng)時(shí)，限制該凸緣部13a向上移動(dòng)到規(guī)定位置以上的過(guò)負(fù)載防止用止擋。因此，能防止過(guò)度的負(fù)載加在測(cè)力傳感器15上，謀求其保護(hù)。
(吸氣單元)吸氣單元40備有能利用第二上下移動(dòng)單元30上下移動(dòng)地支撐著，同時(shí)將嘴保持器13保持在其下端部的吸氣管41；連接在該吸氣管41的上端部上的可動(dòng)體42；以及通過(guò)該可動(dòng)體42與吸氣管41連接的吸氣管道43。
上述吸氣管41被沿著其長(zhǎng)度方向與上下方向平行地支撐在后面所述的第二上下移動(dòng)單元30的旋轉(zhuǎn)殼31上。另外，吸氣管41在其外部沿長(zhǎng)度方向形成花鍵槽，與設(shè)置在旋轉(zhuǎn)殼31上的花鍵螺母配合。另一方面，旋轉(zhuǎn)殼31沿著以上下方向的中心線為軸能旋轉(zhuǎn)地被支撐在可動(dòng)托架14上，吸氣管41能相對(duì)于旋轉(zhuǎn)殼31上下移動(dòng)，同時(shí)與旋轉(zhuǎn)殼31一起進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。
可動(dòng)體42在其內(nèi)部形成彎曲的吸氣路徑，從連接在可動(dòng)體42的側(cè)面上的吸氣管道43對(duì)連接在下端部的吸氣管41進(jìn)行吸氣。另外，在可動(dòng)體42的上表面上形成后面所述的壓縮彈簧(彈性體)17的下端部接觸的承受凹部。
吸氣管道43的一端部連接在可動(dòng)體42上，另一端部連接在作為吸氣源的吸氣泵或排出器等(圖中未示出)上。
(第二上下移動(dòng)單元)第二上下移動(dòng)單元30備有能以上下方向?yàn)橹行男D(zhuǎn)、而且能上下移動(dòng)地被支撐在可動(dòng)托架14的內(nèi)側(cè)下部上的旋轉(zhuǎn)殼31；沿著該旋轉(zhuǎn)殼31的中心線固定連接在旋轉(zhuǎn)殼31的上端部上的支軸33；通過(guò)該支軸33相對(duì)于可動(dòng)托架14沿上下方向驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)殼31的音圈電動(dòng)機(jī)34；以及設(shè)定旋轉(zhuǎn)殼31的上下移動(dòng)范圍的上下移動(dòng)范圍設(shè)定單元(移動(dòng)限制單元)35。
旋轉(zhuǎn)殼31形成為內(nèi)部呈中空、其下部外徑比上部外徑小的旋轉(zhuǎn)體形狀。這樣的旋轉(zhuǎn)殼31的下部利用設(shè)置在可動(dòng)托架14上的空氣軸承36，以上下方向?yàn)橹行哪苄D(zhuǎn)及上下移動(dòng)地被支撐著?？諝廨S承36是內(nèi)徑比旋轉(zhuǎn)殼31下部的外徑少大一些的套筒，將空氣供給與旋轉(zhuǎn)殼31之間的間隙中，能將旋轉(zhuǎn)殼31保持在其中心位置。這樣的空氣軸承36由于非接觸地支撐旋轉(zhuǎn)殼31，所以不發(fā)生摩擦，能使旋轉(zhuǎn)殼31圓滑地旋轉(zhuǎn)及上下移動(dòng)。
另外，旋轉(zhuǎn)殼31在其內(nèi)側(cè)上部形成存儲(chǔ)室，并形成從存儲(chǔ)室貫通到下端部的貫通孔。上述的花鍵螺母32設(shè)置在這樣的貫通孔中，能上下移動(dòng)地支撐著穿通了貫通孔的吸氣管41。另外，利用該花鍵螺母32，與旋轉(zhuǎn)殼31旋轉(zhuǎn)的同時(shí)能使吸氣管41旋轉(zhuǎn)。
作為壓力檢測(cè)單元的測(cè)力傳感器(load cell)15配置在旋轉(zhuǎn)殼31的存儲(chǔ)室的內(nèi)側(cè)上表面中央。測(cè)力傳感器15的壓敏部朝向下方，配置在上述可動(dòng)體42的上部上的作為彈性體的壓縮彈簧17的更上端部上設(shè)置的接觸構(gòu)件18的上部突起接觸在該壓敏部上。能使用這樣的壓縮彈簧17，即如圖所示，可動(dòng)體42即使位于最下側(cè)位置的情況下，接觸構(gòu)件18也能經(jīng)常接觸在測(cè)力傳感器15的壓敏部上而預(yù)先壓力這樣的自然長(zhǎng)度的壓縮彈簧。由于這樣構(gòu)成，所以如果在吸附嘴12的前端部上進(jìn)行加壓，則該壓力被傳給測(cè)力傳感器15，能進(jìn)行檢測(cè)。
另外，吸附嘴12、嘴保持器13、吸氣管41、旋轉(zhuǎn)殼31、支軸33及測(cè)力傳感器15全部配置在同一軸上，所以來(lái)自吸附嘴12的前端部的按壓力能沒(méi)有損失地直接傳遞給測(cè)力傳感器15，所以能以更高的精度檢測(cè)吸附嘴12的前端壓力。
支軸33的下端部連接在旋轉(zhuǎn)殼31上，同時(shí)貫通到可動(dòng)托架14的上方，其長(zhǎng)度方向平行于上下方向被支撐在可動(dòng)托架14的內(nèi)側(cè)上部配置的音圈電動(dòng)機(jī)34上。這樣的音圈電動(dòng)機(jī)34備有固定連接在支軸33上的線圈架34a；固定裝配在線圈架34a的上面的周緣部上的線圈34b；固定在可動(dòng)托架14上的罩34c；固定在罩34c上，同時(shí)松動(dòng)地插在線圈34b的內(nèi)側(cè)，而且支軸33嵌插在其中心孔中的筒狀軛鐵34d；以及固定在罩34c上，同時(shí)線圈34b松動(dòng)地插在其內(nèi)側(cè)的筒狀磁鐵34e。這樣的音圈電動(dòng)機(jī)34能根據(jù)工作控制單元60的工作控制，通過(guò)線圈34b及線圈架34a沿上下方向驅(qū)動(dòng)支軸33，用于吸附嘴12的壓力控制。另外，音圈電動(dòng)機(jī)34雖然沿上下方向驅(qū)動(dòng)支軸33，但不妨礙支軸33的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，能圓滑地進(jìn)行通過(guò)支軸33的吸附嘴12的旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)。
上下移動(dòng)范圍設(shè)定單元35備有具有作為旋轉(zhuǎn)殼31及吸附嘴12的移動(dòng)限制單元的功能，在音圈電動(dòng)機(jī)34的上方和下方與支軸33呈一體形成的上部法蘭35a及下部法蘭35b；以相對(duì)于上部法蘭35a的上表面的狀態(tài)設(shè)置在可動(dòng)托架14上的止推軸承35c；以及以相對(duì)于下部法蘭35b的下表面的狀態(tài)設(shè)置在可動(dòng)托架14上的止推軸承35d。
利用音圈電動(dòng)機(jī)34向上方驅(qū)動(dòng)支軸33，上述上部法蘭35a與止推軸承35c接觸時(shí)的位置是旋轉(zhuǎn)殼31的上限位置，向下方驅(qū)動(dòng)支軸33，下部法蘭35b與止推軸承35d接觸時(shí)的位置是旋轉(zhuǎn)殼31的下限位置。另外，利用各止推軸承35c、35d，即使在各法蘭部35a、35b呈接觸狀態(tài)時(shí)，也能圓滑地進(jìn)行支軸33的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。
(旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元)旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元50備有通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與支軸33同心地連接在第二上下移動(dòng)單元30的支軸33上端部上的花鍵軸51；通過(guò)設(shè)置在其下端部?jī)?nèi)側(cè)的花鍵螺母52，能上下移動(dòng)地支撐花鍵軸51的筒狀軸體53；輸出軸通過(guò)聯(lián)軸節(jié)連接在該筒狀軸體53的上端部上、而且配置在本體機(jī)架11的上部的角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)54；以及檢測(cè)該角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)54的旋轉(zhuǎn)角度的編碼器55。角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)54采用脈沖電動(dòng)機(jī)或伺服電動(dòng)機(jī)。
花鍵軸51、筒狀軸體53和角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)54的輸出軸完全同心，其結(jié)果，它們和支軸33、旋轉(zhuǎn)殼31、吸氣管41及吸附嘴12完全同心。
另一方面，編碼器55將角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)54的輸出軸的旋轉(zhuǎn)角度值輸出給工作控制單元60，工作控制單元60根據(jù)該值進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制，以便使角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)54進(jìn)行規(guī)定的角度值的旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果，從角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)4的輸出軸，通過(guò)筒狀軸體53、花鍵軸51、支軸33、旋轉(zhuǎn)殼31、吸氣管41及嘴保持器13，進(jìn)行吸附嘴12的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，能調(diào)節(jié)被吸附保持在吸附嘴12的前端部上的電子零件C的方向。
(遮擋板)遮擋板16被X-Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)支撐在本體機(jī)架11的下方，與本體機(jī)架11一起輸送。遮擋板16是在嘴保持器13的正下方位置設(shè)置了該嘴保持器13通過(guò)的貫通孔的板狀體。這樣的遮擋板16既能使吸附嘴12上下移動(dòng)，又能進(jìn)行遮擋，以便從空氣軸承36與旋轉(zhuǎn)殼31之間的間隙泄漏到下方的空氣不致到達(dá)吸附嘴12的前端。
(工作控制單元)如圖2所示，工作控制單元60備有寫(xiě)入執(zhí)行電子零件保持裝置10的后面所述的各種功能或各種工作的控制程序的ROM60a；根據(jù)控制程序，集中控制上下移動(dòng)電動(dòng)機(jī)21、音圈電動(dòng)機(jī)34、角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)54及吸氣單元40等各部的工作的CPU60b；以及將CPU60b的處理數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在工作區(qū)中的RAM60c。
另外，在工作控制單元60中同時(shí)設(shè)有進(jìn)行該工作控制中所必要的數(shù)據(jù)的輸入設(shè)定或工作開(kāi)始的指示輸入等的設(shè)定輸入單元64；根據(jù)來(lái)自工作控制單元60的控制信號(hào)，對(duì)各個(gè)電動(dòng)機(jī)21、34、54進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的各驅(qū)動(dòng)電路61、62、63；以及將編碼器22、25、測(cè)力傳感器15的輸出作為檢測(cè)信號(hào)輸入到工作控制單元60中的各輸入電路65、66、67。
上述工作控制單元60將吸附嘴12非加壓時(shí)、非吸附時(shí)的測(cè)力傳感器15的輸出作為基準(zhǔn)值，進(jìn)行作為初始負(fù)載存儲(chǔ)在RAM(基準(zhǔn)存儲(chǔ)部件)60c的存儲(chǔ)區(qū)中的控制。所謂吸附嘴12非加壓時(shí)、非吸附時(shí)，是指由設(shè)定輸入單元64輸入了電子零件C的保持工作開(kāi)始時(shí)而言。此外，也可以是裝置的主電源輸入時(shí)。
另外，上述初始負(fù)載主要是由壓縮彈簧17的自然長(zhǎng)度的撓曲量引起的預(yù)壓負(fù)載。
另外，工作控制單元60進(jìn)行作為加壓修正控制部件的控制，即，在可動(dòng)托架14被第一上下移動(dòng)單元20驅(qū)動(dòng)而下降到預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)位置時(shí)，在測(cè)力傳感器15的檢測(cè)壓力超過(guò)了上述的初始負(fù)載和下降時(shí)閾值的合計(jì)時(shí)或者好象要超過(guò)但還未超過(guò)時(shí)，利用第二上下移動(dòng)單元30的音圈電動(dòng)機(jī)34對(duì)旋轉(zhuǎn)殼31進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)。
下降時(shí)閾值這里作為加壓目標(biāo)值，被預(yù)先從設(shè)定輸入單元64輸入后，存儲(chǔ)在RAM60c的規(guī)定的存儲(chǔ)區(qū)中。另外同樣，預(yù)先從設(shè)定輸入單元64還輸入可動(dòng)托架14的下降目標(biāo)位置，存儲(chǔ)在RAM60c的規(guī)定的存儲(chǔ)區(qū)中。在進(jìn)行電子零件C的吸附的情況下，這樣的目標(biāo)位置是吸附嘴12的前端位置比電子零件C的上表面低的位置，在對(duì)使電子零件C成為目標(biāo)的安裝面進(jìn)行加壓的情況下，是被吸附保持的電子零件C的下表面比安裝面低的位置。
另外，工作控制單元60進(jìn)行作為下降時(shí)嘴保持控制部件的控制，即，在從第一上下移動(dòng)單元20進(jìn)行的可動(dòng)托架14的下降驅(qū)動(dòng)開(kāi)始到作為加壓修正控制部件的工作控制開(kāi)始之間，通過(guò)下部法蘭35b和止推軸承35d的加壓接觸，進(jìn)行限制旋轉(zhuǎn)殼31的移動(dòng)的工作控制。
另外，工作控制單元60進(jìn)行作為上升時(shí)嘴保持控制部件的控制，即，可動(dòng)托架14被第一上下移動(dòng)單元20進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)而到達(dá)上升目標(biāo)位置時(shí)，在測(cè)力傳感器15的檢測(cè)壓力小于或等于初始負(fù)載和規(guī)定的上升時(shí)閾值的合計(jì)值的情況下，通過(guò)上部法蘭35a和止推軸承35c的加壓接觸，進(jìn)行限制旋轉(zhuǎn)殼31的移動(dòng)的工作控制。
另外，這里上升時(shí)閾值是與加壓目標(biāo)值或比它低一些的值。這樣的上升時(shí)閾值預(yù)先從設(shè)定輸入單元64輸入后，存儲(chǔ)在RAM60c的規(guī)定的存儲(chǔ)區(qū)中。另外同樣，可動(dòng)托架14的上升目標(biāo)位置也預(yù)先從設(shè)定輸入單元64輸入后，存儲(chǔ)在RAM60c的規(guī)定的存儲(chǔ)區(qū)中。另外，例如在由X-Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)電子零件保持裝置10時(shí)，上升目標(biāo)位置是吸附嘴12不突出到周圍的高度。
(電子零件保持裝置的工作說(shuō)明)說(shuō)明由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的電子零件保持裝置10的工作。根據(jù)圖3中的流程，說(shuō)明電子零件保持裝置10工作時(shí)吸附嘴12的下降動(dòng)作，根據(jù)圖4中的流程，說(shuō)明吸附嘴12的上降動(dòng)作。
電子零件保持裝置10利用X-Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)而被定位在應(yīng)吸附保持的電子零件C的上方。
然后，如果從設(shè)定輸入單元64輸入了工作開(kāi)始指令，則首先，工作控制單元60檢測(cè)嘴12的前端在非吸附且非加壓狀態(tài)下，加在測(cè)力傳感器15上的預(yù)置壓力，將它作為初始負(fù)載，存儲(chǔ)在存儲(chǔ)區(qū)中(步驟S11作為基準(zhǔn)存儲(chǔ)部件的控制)。
其次，根據(jù)工作控制單元60的控制，由第一上下移動(dòng)單元20的上下移動(dòng)電動(dòng)機(jī)21對(duì)可動(dòng)托架14進(jìn)行朝向下降目標(biāo)位置的下降驅(qū)動(dòng)(步驟S12)。
另外，這時(shí)，根據(jù)工作控制單元60的控制，由第二上下移動(dòng)單元30的音圈電動(dòng)機(jī)34進(jìn)行下降驅(qū)動(dòng)，使下部法蘭35b加壓接觸在止推軸承35d上為止，防止旋轉(zhuǎn)殼31的上下振動(dòng)(步驟S13作為下降嘴保持控制部件的控制)。
在可動(dòng)托架14的下降動(dòng)作中，工作控制單元60根據(jù)測(cè)力傳感器15的輸出，判斷壓力的檢測(cè)值是否超過(guò)初始負(fù)載和下降時(shí)閾值的合計(jì)值(步驟S14)，在未超過(guò)的情況下，根據(jù)編碼器22的輸出，判斷是否到達(dá)下降目標(biāo)位置(步驟S15)。在未到達(dá)的情況下，工作控制單元60再返回步驟S14的處理。
另一方面，由于可動(dòng)托架14的下降，吸附嘴12的前端部一旦接觸在電子零件C上，測(cè)力傳感器15的檢測(cè)壓力便增加，達(dá)到、超過(guò)初始負(fù)載和下降時(shí)閾值的合計(jì)值。因此，工作控制單元60進(jìn)行使第二上下移動(dòng)單元30的音圈電動(dòng)機(jī)34進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)的工作控制(步驟S17作為加壓修正控制部件的控制)。再返回步驟S14，工作控制單元60將測(cè)力傳感器15的檢測(cè)壓力與初始負(fù)載和下降時(shí)閾值的合計(jì)值進(jìn)行比較，在檢測(cè)壓力上升的情況下，再進(jìn)行第二上下移動(dòng)單元30對(duì)旋轉(zhuǎn)殼31的上升驅(qū)動(dòng)控制(步驟S17)。
而且，在檢測(cè)壓力下降的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟S15，工作控制單元60進(jìn)行可動(dòng)托架14的現(xiàn)在位置確認(rèn)。
如果斷定可動(dòng)托架14到達(dá)了下降目標(biāo)位置，工作控制單元60便停止第一上下移動(dòng)單元20的驅(qū)動(dòng)(步驟S16)。因此，吸附嘴12的下降動(dòng)作控制結(jié)束。另外，這樣的下降動(dòng)作控制結(jié)束后，呈吸附嘴12的前端部用作為目標(biāo)的壓力接觸在電子零件C的狀態(tài)，工作控制單元60進(jìn)行使吸氣單元40開(kāi)始驅(qū)動(dòng)的工作控制，使吸附嘴12內(nèi)呈負(fù)壓，將電子零件C吸附在前端部上。
其次，進(jìn)行吸附嘴12的上升動(dòng)作。工作控制單元60利用第一上下移動(dòng)單元20的上下移動(dòng)電動(dòng)機(jī)21，對(duì)可動(dòng)托架14進(jìn)行朝向上升目標(biāo)位置的上升驅(qū)動(dòng)(步驟S21)。另外，在可動(dòng)托架14的上升動(dòng)作中，工作控制單元60根據(jù)測(cè)力傳感器15的輸出，判斷壓力的檢測(cè)值是否為初始負(fù)載和上升時(shí)閾值的合計(jì)值以下(步驟S22)，在未達(dá)到合計(jì)值以下的情況下，不斷地繼續(xù)判斷，直至通過(guò)可動(dòng)托架14的上升驅(qū)動(dòng)而達(dá)到合計(jì)值以下。
通過(guò)這樣的可動(dòng)托架14的上升驅(qū)動(dòng)，被保持在吸附嘴12上的電子零件C的下表面離開(kāi)裝載的場(chǎng)所。因此，測(cè)力傳感器15的檢測(cè)值變成初始負(fù)載和上升時(shí)閾值的合計(jì)值以下，工作控制單元60利用第二上下移動(dòng)單元30的音圈電動(dòng)機(jī)34進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)，直至上部法蘭35a加壓接觸在止推軸承35c上為止，防止旋轉(zhuǎn)殼31的上下振動(dòng)(步驟S23作為上升嘴保持控制部件的控制)。
另外，工作控制單元60根據(jù)編碼器22的輸出，判斷是否到達(dá)上升目標(biāo)位置(步驟S24)。在未到達(dá)的情況下，工作控制單元60一邊繼續(xù)進(jìn)行第一上下移動(dòng)單元20的驅(qū)動(dòng)，一邊繼續(xù)確認(rèn)編碼器22的輸出，直至到達(dá)為止。
然后，如果斷定可動(dòng)托架14到達(dá)了上升目標(biāo)位置，則工作控制單元60停止第一上下移動(dòng)單元20的驅(qū)動(dòng)(步驟S25)。因此，吸附嘴12的上升工作控制結(jié)束。
此后，在吸附嘴12的旋轉(zhuǎn)角度需要調(diào)節(jié)的情況下，工作控制單元60根據(jù)設(shè)定輸入單元64中預(yù)先設(shè)定的旋轉(zhuǎn)角度，驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元50的角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)54。這時(shí)，工作控制單元60根據(jù)編碼器55的輸出，對(duì)檢測(cè)角度和設(shè)定角度進(jìn)行比較，繼續(xù)進(jìn)行角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)54的驅(qū)動(dòng)，直至一致為止。
另外，將此后的電子零件C輸送到目標(biāo)組裝位置，與上述的情況同樣地進(jìn)行加壓工作。
(實(shí)施形態(tài)的效果)在上述電子零件保持裝置10中，不斷地實(shí)時(shí)地檢測(cè)吸附嘴12的前端部上的壓力，并反映到其工作控制中，由于這樣構(gòu)成，所以能謀求壓力控制的高精度化。
另外，在電子零件保持裝置10中，第一上下移動(dòng)單元20進(jìn)行下降驅(qū)動(dòng)，這時(shí)第二上下移動(dòng)單元30進(jìn)行壓力修正用的吸附嘴12的上升驅(qū)動(dòng)，所以不需要由單一的驅(qū)動(dòng)源進(jìn)行的正反方向的切換驅(qū)動(dòng)，所以降低了慣性力的影響，能實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)性。因此，能高精度地設(shè)定吸附嘴前端部的壓力。另外，由于用第二上下移動(dòng)單元30進(jìn)行修正控制，所以對(duì)第一上下移動(dòng)單元20的構(gòu)成并不要求高精度，例如，第一上下移動(dòng)單元20的驅(qū)動(dòng)源通過(guò)使用能高速驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源，還能謀求作業(yè)的更加高速化。
特別是在上述結(jié)構(gòu)中，壓力的調(diào)節(jié)與彈性彈簧等無(wú)關(guān)，而是通過(guò)音圈電動(dòng)機(jī)34的驅(qū)動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)，所以能謀求進(jìn)一步的高精度化。
另外，由于從旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元50的旋轉(zhuǎn)角度電動(dòng)機(jī)54的輸出軸、同心地通過(guò)支軸33、旋轉(zhuǎn)殼31、吸氣管41，一直連接到吸附嘴12，所以能高精度、高響應(yīng)地進(jìn)行角度調(diào)節(jié)。
(其他事項(xiàng))另外，在上述工作控制單元60進(jìn)行的工作控制中，雖然使吸附嘴12的前端部的壓力一定地進(jìn)行控制，但不特別限定于此，例如，也可以使壓力慢慢地增大而變化。
另外，組裝在上述電子零件保持裝置10中的測(cè)力傳感器15在實(shí)際上輸出的大小相對(duì)于施加的壓力的線性關(guān)系不充分的情況下，也可以預(yù)先利用線性高的測(cè)力傳感器測(cè)定被組裝的測(cè)力傳感器15的輸出特性，存儲(chǔ)在工作控制單元60中，同時(shí)根據(jù)測(cè)力傳感器15的輸出求壓力時(shí)進(jìn)行參照。
另外，工作控制單元60在進(jìn)行作為基準(zhǔn)存儲(chǔ)部件的控制的情況下，在上述工作中，雖然舉例給出了下降動(dòng)作開(kāi)始時(shí)只檢測(cè)初始負(fù)載并存儲(chǔ)的情況，但測(cè)力傳感器15隨著周圍溫度或使用頻度有可能變化的情況下，也可以用更高的頻度進(jìn)行初始負(fù)載的更新。
另外，在上述電子零件保持裝置10中，雖然用空氣軸承36支撐旋轉(zhuǎn)殼31，但也可以使用能支撐著進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和直線運(yùn)動(dòng)的滾珠軸承。
另外，上述音圈電動(dòng)機(jī)34雖然使用動(dòng)圈式的電動(dòng)機(jī)，但也可以使用動(dòng)磁式的電動(dòng)機(jī)。另外，也可以用其他同軸電動(dòng)機(jī)代替上述音圈電動(dòng)機(jī)34。
另外，可動(dòng)托架14的上下移動(dòng)也可以使用由同步皮帶和皮帶輪組成的機(jī)構(gòu)等之類的其他運(yùn)動(dòng)變換單元，代替上述螺桿機(jī)構(gòu)。
另外，旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元50的角度調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)54的輸出也可以通過(guò)減速齒輪組或諧波傳動(dòng)等的減速機(jī)構(gòu)傳遞給旋轉(zhuǎn)殼31。
另外，也可以使用進(jìn)行高度微細(xì)調(diào)整形成的調(diào)距墊片等，代替將壓力加在上述測(cè)力傳感器15上的壓縮彈簧17。在此情況下，利用音圈電動(dòng)機(jī)34進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制的系統(tǒng)剛性極高，能進(jìn)行高速響應(yīng)的壓力控制。但是，沒(méi)有由壓縮彈簧17對(duì)測(cè)力傳感器15的保護(hù)功能。
另外，在上述電子零件保持裝置10中，如果不需要，也可以省略旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元50的結(jié)構(gòu)，謀求簡(jiǎn)化。
另外，遮擋板16也可以使用氣幕式的來(lái)代替板狀體。另外，也可以使停電時(shí)能打開(kāi)的電磁閥，供給壓縮空氣，按壓可動(dòng)托架14的汽缸等，代替第一上下移動(dòng)單元20的下降防止用彈簧25。
在發(fā)明的第一方面中，吸附嘴的下降工作時(shí)，第一上下移動(dòng)單元進(jìn)行下降驅(qū)動(dòng)，這時(shí)第二上下移動(dòng)單元進(jìn)行加壓修正用的吸附嘴的上升驅(qū)動(dòng)，所以不需要由單一的驅(qū)動(dòng)源進(jìn)行的正反方向的切換驅(qū)動(dòng)，所以降低了慣性力的影響，能實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)性。因此，能高精度地設(shè)定吸附嘴前端部的壓力。
發(fā)明的第二方面，由于備有旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元，所以通過(guò)進(jìn)行保持在吸附嘴上的零件的旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)，能切換任意的方向，能適應(yīng)零件的輸送、組裝等各種作業(yè)。
發(fā)明的第三方面，由于設(shè)有過(guò)負(fù)荷防止用止擋，所以能防止吸附嘴過(guò)度地接近壓力檢測(cè)單元一側(cè)，避免壓力檢測(cè)單元被附加過(guò)度的壓力，能謀求保護(hù)壓力檢測(cè)單元。因此，能提高裝置總體的維修性。
發(fā)明的第四方面，由于預(yù)先將吸附嘴非加壓時(shí)、非吸附時(shí)的檢測(cè)壓力作為基準(zhǔn)值，進(jìn)行第二上下移動(dòng)單元的工作控制，所以能進(jìn)行所謂的零點(diǎn)修正，能排除每個(gè)壓力檢測(cè)單元的產(chǎn)品固有的離散的影響、壓力檢測(cè)單元的安裝結(jié)構(gòu)的影響、或使用時(shí)的氣溫、濕度等工作環(huán)境的影響等，能用更高的精度設(shè)定壓力。
發(fā)明的第五方面，由第一上下移動(dòng)單元進(jìn)行的移動(dòng)體的下降移動(dòng)時(shí)，由于包括作為第二上下移動(dòng)單元的移動(dòng)對(duì)象物的吸附嘴的結(jié)構(gòu)被固定在移動(dòng)體上而限制其移動(dòng)，所以能防止由于移動(dòng)體的移動(dòng)產(chǎn)生的慣性力引起的以外的振動(dòng)的發(fā)生，吸附嘴的前端位置被固定，能謀求壓力的穩(wěn)定化。另外，能有效地保護(hù)包括吸附嘴的結(jié)構(gòu)免受振動(dòng)或沖擊。
發(fā)明的第六方面，由第一上下移動(dòng)單元進(jìn)行的移動(dòng)體的上升移動(dòng)時(shí)，由于包括作為第二上下移動(dòng)單元的移動(dòng)對(duì)象物的吸附嘴的結(jié)構(gòu)被固定在移動(dòng)體上而限制其移動(dòng)，所以能防止由于移動(dòng)體的移動(dòng)產(chǎn)生的慣性力引起的以外的振動(dòng)的發(fā)生，吸附嘴的前端位置被固定，能有效地保護(hù)包括吸附嘴的結(jié)構(gòu)免受振動(dòng)或沖擊。
權(quán)利要求
1.一種零件保持裝置，其特征在于備有用前端部吸附保持零件的吸附嘴；能上下移動(dòng)地被支撐著的移動(dòng)體；沿上下方向驅(qū)動(dòng)上述移動(dòng)體的第一上下移動(dòng)單元；被配置在上述移動(dòng)體中，同時(shí)沿上下方向驅(qū)動(dòng)上述吸附嘴的第二上下移動(dòng)單元；檢測(cè)上述吸附嘴的前端部的壓力的壓力檢測(cè)單元；以及進(jìn)行上述第一及第二上下移動(dòng)單元的工作控制的工作控制單元，上述工作控制單元有加壓修正控制部件，該加壓修正控制部件在上述第一上下移動(dòng)單元進(jìn)行上述移動(dòng)體的下降驅(qū)動(dòng)時(shí)，根據(jù)上述壓力檢測(cè)單元檢測(cè)的壓力，對(duì)上述第二上下移動(dòng)單元進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的零件保持裝置，其特征在于備有以沿上下方向的軸為中心，進(jìn)行上升吸附嘴的旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的零件保持裝置，其特征在于將能伸縮的彈性體插在上述壓力檢測(cè)單元和上述吸附嘴之間，設(shè)置對(duì)上述壓力檢測(cè)單元的過(guò)負(fù)荷防止用止擋，用來(lái)在通過(guò)壓縮彈性體使上述吸附嘴移動(dòng)到上述壓力檢測(cè)單元一側(cè)的范圍內(nèi)，限制該吸附嘴的移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的零件保持裝置，其特征在于上述工作控制單元備有將上述吸附嘴非加壓時(shí)且非吸附時(shí)的壓力檢測(cè)單元的輸出作為基準(zhǔn)值存儲(chǔ)起來(lái)的基準(zhǔn)存儲(chǔ)部件，上述加壓修正控制部件根據(jù)基準(zhǔn)值的變化，對(duì)上述第二上下移動(dòng)單元進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的零件保持裝置，其特征在于上述第二上下移動(dòng)單元有通過(guò)其上下某一方向的驅(qū)動(dòng)，進(jìn)行加壓接觸，限制進(jìn)行移動(dòng)的對(duì)象物的移動(dòng)的移動(dòng)限制單元，上述移動(dòng)限制單元的加壓修正控制部件在上述檢測(cè)壓力超過(guò)規(guī)定的下降時(shí)閾值的情況下，進(jìn)行上述第二上下移動(dòng)單元開(kāi)始上升驅(qū)動(dòng)的工作控制，上述工作控制單元有下降時(shí)噪聲保持控制部件，該下降時(shí)噪聲保持控制部件在從上述第一上下移動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)開(kāi)始到上述加壓修正控制部件進(jìn)行的工作控制開(kāi)始之間，進(jìn)行工作控制，該工作控制是限制通過(guò)上述移動(dòng)限制單元的加壓接觸進(jìn)行上述第二上下移動(dòng)單元的上下移動(dòng)的對(duì)象物的移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的零件保持裝置，其特征在于上述工作控制單元有上升時(shí)噪聲保持控制部件，該上升時(shí)噪聲保持控制部件在由上述第一上下移動(dòng)單元進(jìn)行的上述移動(dòng)體的上升驅(qū)動(dòng)時(shí)，在上述壓力檢測(cè)單元的檢測(cè)壓力達(dá)到規(guī)定的上升時(shí)閾值以下的情況下，通過(guò)上述移動(dòng)限制單元的加壓接觸，進(jìn)行限制上述第二上下移動(dòng)單元進(jìn)行上下移動(dòng)的對(duì)象物的移動(dòng)的工作控制。
全文摘要
本發(fā)明涉及零件保持裝置。備有用前端部保持零件的吸附嘴(12)；能上下移動(dòng)地被支撐著的移動(dòng)體(14)；沿上下方向驅(qū)動(dòng)移動(dòng)體的第一上下移動(dòng)單元(20)；被配置在移動(dòng)體(14)中，同時(shí)從該移動(dòng)體沿上下方向驅(qū)動(dòng)吸附嘴(12)的第二上下移動(dòng)單元(30)；檢測(cè)吸附嘴(12)的前端部的壓力的壓力檢測(cè)單元(15)；以及進(jìn)行第一及第二上下移動(dòng)單元(20，30)的工作控制的工作控制單元(60)，工作控制單元(60)采取有加壓修正控制部件的結(jié)構(gòu)，該加壓修正控制部件在第一上下移動(dòng)單元(20)進(jìn)行移動(dòng)體(14)的下降驅(qū)動(dòng)時(shí)，根據(jù)壓力檢測(cè)單元(15)檢測(cè)的壓力，對(duì)第二上下移動(dòng)單元(30)進(jìn)行上升驅(qū)動(dòng)。
文檔編號(hào)H01L21/68GK1499572SQ20031011484
公開(kāi)日2004年5月26日 申請(qǐng)日期2003年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月8日
發(fā)明者齊藤勝, 安西洋, 八幡直幸, 幸 申請(qǐng)人:重機(jī)公司