專利名稱：自動(dòng)導(dǎo)航車，半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)以及半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)管理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種自動(dòng)導(dǎo)航車(縮寫成AGV，Auto GuidedVehicle)，該自動(dòng)導(dǎo)航車在無塵室內(nèi)搬運(yùn)用來形成半導(dǎo)體器件的襯底。并且，本發(fā)明涉及利用該AGV來管理半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線的半導(dǎo)體器件生產(chǎn)系統(tǒng)以及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)管理方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)線中，無塵室所要求的凈化程度因產(chǎn)品的集成度而異。一般說來，具有相當(dāng)于設(shè)計(jì)規(guī)定的十分之一或更大粒徑的灰塵被認(rèn)為會(huì)對(duì)產(chǎn)品的特性產(chǎn)生影響，產(chǎn)品的集成度越高，就對(duì)無塵室的高凈化要求越高。
為了實(shí)現(xiàn)無塵室的高凈化，在無塵室內(nèi)利用在制造設(shè)備之間自動(dòng)搬運(yùn)襯底的AGV。通過AGV的自動(dòng)搬運(yùn)，可以使灰塵的最大來源的人體遠(yuǎn)離無塵室，所以可以維持高凈化，從而可以提高產(chǎn)品的成品率。被搬運(yùn)的襯底在各個(gè)制造設(shè)備中被實(shí)施預(yù)定目的的處理。
特別是，工廠內(nèi)將同類制造設(shè)備歸結(jié)安排構(gòu)成設(shè)備群，在上述設(shè)備群之間使被處理物的襯底往返而進(jìn)行生產(chǎn)的被稱為單件小批生產(chǎn)方式(Job Shop System)的生產(chǎn)系統(tǒng)中，利用AGV的自動(dòng)搬運(yùn)非常有用。當(dāng)工廠的規(guī)模龐大時(shí)，不但提高了無塵室的凈化度，而且有節(jié)省因人等設(shè)備而產(chǎn)生的時(shí)間損失的效果。
一般來說，AGV在收容單個(gè)或多個(gè)容納有襯底的載體的狀態(tài)下進(jìn)行搬運(yùn)。而且，AGV中的收容載體的空間內(nèi)(收容部分)引進(jìn)有經(jīng)提供在AGV的過濾器過濾過的空氣，據(jù)此，確保了收容部分的內(nèi)部?jī)艋?比如，專利參考文件1)。
專利參考文件1JP Hei No.11-322068(第二頁，第二圖)但是，提供在半導(dǎo)體器件中的激活元件之一的薄膜晶體管需要經(jīng)過各種各樣的制造工序才能完成。典型的包括，比如為防止襯底內(nèi)的雜質(zhì)入侵到半導(dǎo)體膜的基底膜的形成，半導(dǎo)體膜的形成，以及晶化，半導(dǎo)體膜的圖案形成，柵絕緣膜的形成，源/漏區(qū)的形成，柵電極的形成等主要工序。
上述工藝步驟中，源/漏區(qū)的形成通過摻雜賦予導(dǎo)電性的雜質(zhì)到半導(dǎo)體膜而被進(jìn)行。摻雜法包括等離子注入法和熱擴(kuò)散法等。當(dāng)要賦予n型導(dǎo)電性時(shí)，摻雜作為施主起作用的P、As、Sb等V族元素和S、Te、Se等VI族元素的摻雜物，當(dāng)要賦予p型導(dǎo)電性時(shí)，摻雜作為受主起作用的B、Al、Ga、In等III族元素和Zn等II族元素的摻雜物。
然而，上述摻雜物，或在摻雜時(shí)附著在襯底上的反應(yīng)性生物，從摻雜過的襯底向大氣釋放，上述雜質(zhì)對(duì)于源/漏區(qū)的形成是必要元素，但對(duì)于其它制造工序中處于處理過程的襯底來說，又是成為化學(xué)污染原因的污染物質(zhì)，襯底如因該元素受到污染，就會(huì)對(duì)半導(dǎo)體器件的特性帶來負(fù)面影響。
比如，使以TFT為典型的半導(dǎo)體元件的特性發(fā)生變化，又比如，用CVD法形成膜時(shí)因形成的膜的表面的污染，使膜的成長(zhǎng)速度產(chǎn)生不均勻。
隨后，用AGV搬運(yùn)摻雜過的襯底到下一個(gè)工序的制造設(shè)備，這里的AGV如果是上述專利對(duì)比參考文件1中描述的AGV類型，即一旦引入無塵室的空氣，然后排出以便保持內(nèi)部襯底凈化的AGV，這樣在搬運(yùn)的途中就有雜質(zhì)污染大氣的風(fēng)險(xiǎn)。
而且，上述雜質(zhì)在無塵室內(nèi)的擴(kuò)散還有對(duì)在無塵室內(nèi)操作的工作人員的身體產(chǎn)生負(fù)面影響的擔(dān)憂。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)以上問題，本發(fā)明提供一種AGV以及利用該AGV的半導(dǎo)體器件生產(chǎn)系統(tǒng)以及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)管理方法，根據(jù)本發(fā)明，可以防止附著有在制造工藝步驟中產(chǎn)生的污染物質(zhì)的襯底污染到其他的襯底和制造設(shè)備。
在本發(fā)明中，引入經(jīng)過濾器過濾過的空氣到AGV的收容部分的內(nèi)部，并且，排出用過濾器過濾后的收容載體的AGV的收容部分的內(nèi)部空氣。排出側(cè)的過濾器使用能夠過濾亞微粒水準(zhǔn)雜質(zhì)的過濾器。
通過上述結(jié)構(gòu)，包含在排氣中的雜質(zhì)數(shù)量可以得以減少，搬運(yùn)途中的雜質(zhì)擴(kuò)散可以得以防止。
另外，需要對(duì)剛剛摻雜過的襯底的雜質(zhì)擴(kuò)散予以注意。此外，可以認(rèn)為在摻雜后清洗襯底，或在襯底上形成膜能夠抑制雜質(zhì)向大氣的擴(kuò)散。所以，本發(fā)明在①在摻雜工藝結(jié)束后，在實(shí)施抑制雜質(zhì)擴(kuò)散到大氣的工藝前，②在實(shí)施摻雜工藝以前，以及③在抑制雜質(zhì)擴(kuò)散到大氣的工藝結(jié)束后，分別使用不同的AGV。
根據(jù)以上結(jié)構(gòu)，可以防止在①的階段中附著到AGV的收容部分的雜質(zhì)，在②或③的階段中污染其他襯底。其結(jié)果，可以防止摻雜設(shè)備以外的制造設(shè)備因雜質(zhì)而被污染。
而且，本發(fā)明在①的階段，②或③的階段中使用不同的容納襯底的載體。另外，本發(fā)明按摻雜雜質(zhì)的種類分別使用不同的載體。
根據(jù)以上結(jié)構(gòu)，可以防止載體內(nèi)部的雜質(zhì)污染。
另外，本發(fā)明采用以共同數(shù)據(jù)庫為根據(jù)的集成計(jì)劃，設(shè)計(jì)，制造為一體的系統(tǒng)，即所謂的CIM(計(jì)算機(jī)集成制造ComputerIntegrated Manufacturing)系統(tǒng)。通過使用該CIM系統(tǒng)，在各個(gè)工藝步驟中用于搬運(yùn)的AGV以及載體的管理可以由計(jì)算機(jī)一覽地完成。
本發(fā)明通過使用CIM系統(tǒng)，可以確保AGV和載體的管理。并且，可以防止雜質(zhì)污染到其他襯底和制造設(shè)備，所以，由于化學(xué)污染而引起的半導(dǎo)體器件的特性退化和成品率降低可以得到抑制，而且不用擔(dān)憂雜質(zhì)對(duì)人體的負(fù)面影響。


圖1A和1B是表示本發(fā)明的AGV結(jié)構(gòu)的示意圖；圖2是表示本發(fā)明的生產(chǎn)系統(tǒng)概念示意圖；圖3A和3B分別是表示信號(hào)的傳遞和流程的示意圖；圖4A和4B分別是表示信號(hào)的傳遞和流程的示意圖；圖5A和5B分別是表示信號(hào)的傳遞和流程的示意圖；圖6A和6C分別是表示信號(hào)的傳遞和流程的示意圖；圖7是表示制作n溝道型TFT和p溝道型TFT工藝的流程圖以及與該流程圖對(duì)應(yīng)的襯底剖面結(jié)構(gòu)的示意圖；
圖8是表示制作n溝道型TFT和p溝道型TFT工藝的流程圖以及與該流程圖對(duì)應(yīng)的襯底剖面結(jié)構(gòu)的示意圖；圖9是表示半導(dǎo)體器件的具體制作工藝的工藝步驟表；具體實(shí)施方式
下文中將用圖1A和圖1B就本發(fā)明的生產(chǎn)系統(tǒng)所使用的AGV的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖1A是AGV的剖面圖，圖1B是AGV的外觀圖。本發(fā)明的AGV的車體101上提供有能夠收容載體102的收容部分103。關(guān)閉閘門104可以將收容部分103的內(nèi)部與外界隔離從而使收容部分103的內(nèi)部不被暴露于大氣。
收容襯底107的載體102在閘門104打開時(shí)可以從收容部分103被拿進(jìn)拿出。另外，設(shè)計(jì)者可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)定可能收容的載體102的數(shù)量。
圖中數(shù)字105代表吸氣用的過濾器，是為過濾并引入外部空氣到收容部分103而配備的。圖中數(shù)字106代表排氣用的過濾器，當(dāng)向AGV的外部排出收容部分103內(nèi)部的空氣時(shí)，該過濾器是為過濾并清除雜質(zhì)而配備的。圖中數(shù)字109代表泵，該泵可以控制收容部分103內(nèi)部空氣的流向以便使經(jīng)吸氣用過濾器105過濾后引入的空氣穿過收容部分103的內(nèi)部然后經(jīng)排氣用過濾器106再次過濾最后排出。
雖然在圖1A中示出在排氣用泵109中內(nèi)藏排氣用過濾器106的結(jié)構(gòu)，排氣用泵109和排氣用過濾器106也可以被設(shè)計(jì)成相互分開的狀態(tài)。
另外，提供吸氣用過濾器105，使其在吸氣的同時(shí)將被認(rèn)為存在在無塵室內(nèi)的微小灰塵吸入到灰塵收容部分103，這樣，就避免了灰塵附著到襯底107的事態(tài)。所以，吸氣用過濾器105優(yōu)選是這樣一種過濾器，該過濾器至少能夠清除被認(rèn)為對(duì)半導(dǎo)體器件的特性帶來負(fù)面影響尺寸的灰塵。
吸氣用過濾器105比如可以采用ULPA過濾器或HEPA過濾器等。
提供排氣用過濾器106以便防止從襯底107釋放出的雜質(zhì)釋放到無塵室內(nèi)。所以，排氣用過濾器106優(yōu)選是至少能夠過濾從襯底釋放出來的雜質(zhì)的過濾器。
排氣用過濾器106比如可以采用包含以離子交換纖維作為過濾材料的陽離子交換纖維的過濾器，ULPA過濾器或HEPA過濾器等。
另外，圖1所示的AGV提供有天線110以便與AGV外部進(jìn)行非接觸性的數(shù)據(jù)傳遞。另外，數(shù)據(jù)傳遞不一定必須是非接觸性的，比如可以在AGV上配備與其他的外圍設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)交換的端口。
另外，也可以在AGV上配備讀出載體和襯底上附有的ID號(hào)碼的裝置。ID號(hào)碼可以是文字也可以是符號(hào)，或者是條形碼。另外，還可以給載體內(nèi)的各個(gè)槽分配地址，組合該地址和載體的ID號(hào)碼來辨別各個(gè)襯底。
圖1A和圖1B示出的AGV中，吸氣用過濾器105跟排氣口108相比，提供在上方位置，然而本發(fā)明并不限于上述結(jié)構(gòu)，吸氣用過濾器105可以提供在比排氣口108更下方的位置。但是，從維持無塵室和收容部分內(nèi)部的凈化度的角度考慮，最好是根據(jù)優(yōu)先從無塵室內(nèi)部中被認(rèn)為空氣凈化度高的方位引入空氣，并向與該方位不同的方位排氣來決定吸氣用過濾器105和排氣口108的位置。比如，在垂直層流空調(diào)式無塵室的情形中，可以認(rèn)為上方空氣的層比下方凈化度高，所以最好吸氣用過濾器105提供在比排氣口108更上方的位置。
在AGV中，可以伴隨搬運(yùn)的開始自動(dòng)使泵開始驅(qū)動(dòng)，也可以在收容載體期間自動(dòng)使泵開始驅(qū)動(dòng)，還可以當(dāng)收到外部指令時(shí)自動(dòng)使泵開始驅(qū)動(dòng)。
在圖1A和圖1B中使用泵控制收容部分103內(nèi)部的空氣流向，也可以設(shè)置送風(fēng)機(jī)控制收容部分103內(nèi)部的空氣流向來代替泵?；蛘呖梢员煤退惋L(fēng)機(jī)兩者都配置。
下文中將描述使用本發(fā)明的AGV的生產(chǎn)系統(tǒng)。
圖2簡(jiǎn)單地表示出本發(fā)明的生產(chǎn)系統(tǒng)的概念。為了將展示在圖1A和1B中的本發(fā)明的AGV區(qū)別于沒有配備排氣用過濾器的常規(guī)的AGV，將前者稱為污染AGV(Contamination AGV)，將后者稱為常規(guī)AGV。
圖2中參考數(shù)字201表示摻雜設(shè)備，202表示灰化設(shè)備，203表示抗蝕劑剝離設(shè)備。在此，將就以下情形進(jìn)行說明，即在摻雜設(shè)備201中，用抗蝕劑作為掩膜對(duì)半導(dǎo)體膜實(shí)施摻雜后，在灰化設(shè)備202中對(duì)抗蝕劑實(shí)施灰化處理，然后在抗蝕劑剝離設(shè)備203中清除灰化過的抗蝕劑。
上述工藝流程中，令人擔(dān)憂從襯底釋放出的雜質(zhì)擴(kuò)散到大氣的途徑有兩個(gè)，一個(gè)是從摻雜設(shè)備201到灰化設(shè)備202的搬運(yùn)途徑204，另一個(gè)是從灰化設(shè)備202到抗蝕劑剝離設(shè)備203的搬運(yùn)途徑205。本發(fā)明的生產(chǎn)系統(tǒng)中，至少在上述搬運(yùn)途徑204，205中使用污染AGV206搬運(yùn)襯底。
另外，上述搬運(yùn)途徑204，205以外的搬運(yùn)途徑，比如，從上一個(gè)工藝的制造設(shè)備到摻雜設(shè)備201的襯底搬運(yùn)途徑207，以及從抗蝕劑剝離設(shè)備203到下一個(gè)工藝的制造設(shè)備的搬運(yùn)途徑208中，斷定此間沒有從襯底向大氣擴(kuò)散雜質(zhì)的問題。這種情形中，搬運(yùn)途徑207和搬運(yùn)途徑208中使用常規(guī)AGV209來搬運(yùn)襯底就足以。但是即使斷定此間沒有從襯底向大氣擴(kuò)散雜質(zhì)的問題，并不意味著一定要使用常規(guī)AGV，污染AGV當(dāng)然也可以被使用。但這里需要注意的是，搬運(yùn)途徑204，205和搬運(yùn)途徑207，208不能共用同一污染AGV。
另外，各個(gè)制造設(shè)備中，附屬配備有能夠暫時(shí)收容載體的載體站210，211，212以便實(shí)施載體的交接。由AGV搬運(yùn)來的載體先收容在載體站210，211，212，然后運(yùn)送到各個(gè)制造設(shè)備。這時(shí)，可以將襯底連同載體一起運(yùn)送到各個(gè)制造設(shè)備，也可以只運(yùn)送容納在載體中的襯底。
在制造設(shè)備中，對(duì)接收到的襯底進(jìn)行預(yù)定目的的處理。處理完畢后，處理過的襯底在容納于載體中的狀態(tài)下，再次收容到載體站210，211，212。
在本發(fā)明中，處理前的襯底和處理后的襯底分別被容納到不同的載體中。所以，載體站210，211，212中可以同時(shí)收容容納處理前的襯底的載體220和容納處理后的襯底的載體221。
另外，在沒有必要區(qū)分處理前和處理后的載體，比如，在摻雜的雜質(zhì)濃度特別低，不至于發(fā)生雜質(zhì)擴(kuò)散的問題時(shí)，使用不同于上述兩個(gè)載體220，221的載體222，可以將該載體也放置到載體站210，211，212并使其起收容作用。
另外，本發(fā)明中，雖然在圖2中沒有表示出，作為摻雜物使用的雜質(zhì)按種類分別被容納到不同的載體中。比如，可以按賦予n型的雜質(zhì)和賦予p型的雜質(zhì)將載體分類，也可以將相同極性的雜質(zhì)按元素種類分類。
上述載體的分類方法不一定對(duì)所有制造設(shè)備是必需的。比如，如圖2中的灰化設(shè)備202，不管是從制造設(shè)備搬運(yùn)來的襯底，或從制造設(shè)備搬運(yùn)走的襯底，都有雜質(zhì)擴(kuò)散的擔(dān)憂時(shí)，載體可以被公用。相反地，不管是從制造設(shè)備搬運(yùn)來的襯底，或從制造設(shè)備搬運(yùn)走的襯底，都沒有雜質(zhì)擴(kuò)散的擔(dān)憂時(shí)，同樣載體可以被公用。
圖2中，搬車的AGV被管理生產(chǎn)線的主計(jì)算機(jī)225所控制。
圖2的情形中，主計(jì)算機(jī)225配備有存儲(chǔ)器230，該存儲(chǔ)器將在多個(gè)制造設(shè)備之間載體的全部搬運(yùn)途徑中使用污染AGV的區(qū)間204，205以及處理前和處理后更換載體的特定制造設(shè)備201，203作為數(shù)據(jù)保存。另外，主計(jì)算機(jī)225還配備有CPU231，該CPU向污染AGV生成在該區(qū)間的搬運(yùn)的指令信號(hào)，或者向特定的制造設(shè)備201，203生成更換載體的指令信號(hào)。
如圖2所示，可以由主計(jì)算機(jī)225來控制使用AGV的載體搬運(yùn)，但本發(fā)明并不限于此，也可以由各個(gè)制造設(shè)備來控制使用AGV的載體搬運(yùn)，或者，提供能夠和主計(jì)算機(jī)交換信息的副計(jì)算機(jī)(sub-computer)，由該副計(jì)算機(jī)來控制使用AGV的載體搬運(yùn)。
下面用圖3A和3B簡(jiǎn)單地說明本發(fā)明的生產(chǎn)系統(tǒng)中的信號(hào)傳遞。圖3A簡(jiǎn)單地展示出在主計(jì)算機(jī)225，制造設(shè)備226和AGV227之間的信號(hào)傳遞。圖3B用流程圖示出圖3A中的信號(hào)傳遞。圖3A～圖6C中表示的制造設(shè)備226包括圖2中表示的摻雜設(shè)備201，灰化設(shè)備202，抗蝕劑剝離設(shè)備203以及其他的制造設(shè)備。另外，AGV227包括污染AGV206和常規(guī)AGV209。
圖3A-3B中，制造設(shè)備226一完成預(yù)定目的的處理就向主計(jì)算機(jī)225通知處理完畢事項(xiàng)。這時(shí)，能夠辨別哪一個(gè)制造設(shè)備哪一個(gè)載體處理完畢的信息，比如，制造設(shè)備的ID號(hào)碼和載體的ID號(hào)碼等也可以和處理完畢的通知一起向主計(jì)算機(jī)225傳遞過去。
主計(jì)算機(jī)225接收到處理完畢的通知后，參照工藝步驟表，確定該載體的下一個(gè)搬運(yùn)目的地。與此同時(shí)，主計(jì)算機(jī)225參照工藝步驟表，選擇用于搬運(yùn)的AGV227是污染AGV206還是常規(guī)AGV209。
隨后，主計(jì)算機(jī)225向被選中的AGV227發(fā)出搬車到特定的下一個(gè)搬運(yùn)目的地的指令。收到搬運(yùn)指令的AGV227搬車到指定的搬運(yùn)目的地。載體站內(nèi)收容有多個(gè)待搬運(yùn)的載體時(shí)，主計(jì)算機(jī)225向AGV227傳送能夠確定應(yīng)該被搬車的信息。
另外，從某制造設(shè)備搬運(yùn)出的載體總是被搬運(yùn)到規(guī)定好的相同目的地時(shí)，就不必指定搬運(yùn)目的地，這時(shí)，只需向AGV227發(fā)出搬運(yùn)時(shí)間的通知即可。
下面用圖4A和4B簡(jiǎn)單說明本發(fā)明的生產(chǎn)系統(tǒng)中的信號(hào)傳遞的其他例子。圖4A簡(jiǎn)單地展示出在主計(jì)算機(jī)225，制造設(shè)備226和AGV227之間的信號(hào)傳遞。圖4B用流程圖示出圖4A中的信號(hào)傳遞。
圖4A～4B中，制造設(shè)備226一完成預(yù)定目的的處理就向主計(jì)算機(jī)225通知處理完畢事項(xiàng)。這時(shí)，能夠辨別哪一個(gè)制造設(shè)備哪一個(gè)載體處理完畢的信息，比如，制造設(shè)備的ID號(hào)碼和載體的ID號(hào)碼等也可以和處理完畢的通知一起向主計(jì)算機(jī)225傳遞過去。
主計(jì)算機(jī)225接收到處理完畢的通知后，參照工藝步驟表，確定該載體的下一個(gè)搬運(yùn)目的地。與此同時(shí)，主計(jì)算機(jī)225向制造設(shè)備226通知該載體的下一個(gè)搬運(yùn)目的地。
隨后，制造設(shè)備226向AGV227發(fā)出搬車到特定的目的地的指令。用于搬運(yùn)的AGV227是污染AGV206還是常規(guī)AGV209的選擇由主計(jì)算機(jī)225參照工藝步驟表進(jìn)行，然后主計(jì)算機(jī)將選擇結(jié)果通知制造設(shè)備226，但這個(gè)選擇也可以由制造設(shè)備226直接進(jìn)行。如果是制造設(shè)備226選擇AGV，比如可以預(yù)先決定用特定的AGV搬車站內(nèi)的特定區(qū)域中收容的載體。
收到搬運(yùn)指令的AGV227搬車到指定的搬運(yùn)目的地。載體站內(nèi)收容有多個(gè)待搬運(yùn)的載體時(shí)，也可以向AGV227傳送能夠確定應(yīng)該被搬運(yùn)的載體的信息。
另外，從某制造設(shè)備搬運(yùn)出的載體總是被搬運(yùn)到規(guī)定的相同目的地時(shí)，就不必指定搬運(yùn)目的地，所以主計(jì)算機(jī)沒有必要一個(gè)一個(gè)地特定搬運(yùn)目的地。這時(shí)，如圖4A～4B所示，從制造設(shè)備226直接向AGV227發(fā)出搬運(yùn)的指令即簡(jiǎn)便又可以節(jié)省時(shí)間。另外，制造設(shè)備和主計(jì)算機(jī)之間的數(shù)據(jù)交換的信息量可以盡量得到減少，這樣就減輕了主計(jì)算機(jī)的負(fù)擔(dān)，從而可以回避數(shù)據(jù)交接傳遞中發(fā)生的誤差。
下面用圖5A和5B簡(jiǎn)單說明本發(fā)明的生產(chǎn)系統(tǒng)中的信號(hào)傳遞的其他例子。圖5A簡(jiǎn)單地展示出在主計(jì)算機(jī)225，制造設(shè)備226，AGV227以及載體228之間的信號(hào)傳遞。載體228包括在圖2中示出的載體220～222。圖5B用流程圖示出圖5A中的信號(hào)傳遞。
雖然可以由主計(jì)算機(jī)在載體被搬運(yùn)時(shí)向制造設(shè)備通知能夠辨別載體的信息，圖5A中制造設(shè)備226直接從載體228讀出該信息。圖5A中的載體保存有能夠辨別該載體的信息，并且該信息在能夠被讀出的狀態(tài)被保存著。隨后，制造設(shè)備226讀出該信息以便進(jìn)行載體228的辨別。
然后，制造設(shè)備226一完成預(yù)定目的的處理就向主計(jì)算機(jī)225通知處理完畢事項(xiàng)。這時(shí)，能夠辨別哪一個(gè)制造設(shè)備哪一個(gè)載體處理完畢的信息，比如，制造設(shè)備的ID號(hào)碼和載體的ID號(hào)碼等也可以和處理完畢的通知一起向主計(jì)算機(jī)225傳遞過去。
制造設(shè)備226中保存著有關(guān)工藝步驟表的數(shù)據(jù)。制造設(shè)備226對(duì)照該工藝步驟表和載體的ID號(hào)碼后，確定該載體的下一個(gè)搬運(yùn)目的地，然后制造設(shè)備226向AGV227發(fā)出搬車到特定的搬運(yùn)目的地的指令。用于搬運(yùn)的AGV227是污染AGV206還是常規(guī)AGV209的選擇可以由制造設(shè)備226參照工藝步驟表進(jìn)行。另外，即使不參照工藝步驟表，也可以完成AGV的選擇，比如可以預(yù)先決定用特定的AGV搬車站內(nèi)的特定區(qū)域中收容的載體。
收到搬運(yùn)指令的AGV227搬車到指定的搬運(yùn)目的地。載體站內(nèi)收容有多個(gè)待搬運(yùn)的載體時(shí)，也可以向AGV227傳送能夠確定應(yīng)該被搬運(yùn)的載體的信息。
如圖5A～5B所示，通過從制造設(shè)備226直接向AGV227發(fā)出搬運(yùn)的指令，制造設(shè)備和主計(jì)算機(jī)之間的數(shù)據(jù)交換的信息量可以盡量得到減少，這樣就減輕了主計(jì)算機(jī)的負(fù)擔(dān)，從而可以避免數(shù)據(jù)交接傳遞中發(fā)生的誤差。
另外，雖然圖5A～5B中，由制造設(shè)備226讀出用于辨別載體228的信息，但本發(fā)明并不限于此。例如可以由AGV227讀出用于辨別載體228的信息，然后將該信息傳送給制造設(shè)備226。
下面用圖6A～6C簡(jiǎn)單說明本發(fā)明的生產(chǎn)系統(tǒng)中的信號(hào)傳遞的其他例子。圖6A簡(jiǎn)單地展示出在主計(jì)算機(jī)225，制造設(shè)備226，AGV227以及副計(jì)算機(jī)229之間的信號(hào)傳遞。載體228包括在圖2中示出的載體220～222。圖6B用流程圖示出圖6A中的信號(hào)傳遞。
圖6A～6C中，制造設(shè)備226一完成預(yù)定目的的處理就向主計(jì)算機(jī)225通知處理完畢事項(xiàng)。
圖6A～6C中通知處理完畢事項(xiàng)中介副計(jì)算機(jī)進(jìn)行，制造設(shè)備226也可以直接向主計(jì)算機(jī)225通知。這時(shí)，能夠辨別哪一個(gè)制造設(shè)備哪一個(gè)載體處理完畢的信息，比如，制造設(shè)備的ID號(hào)碼和載體的ID號(hào)碼等也可以和處理完畢的通知一起向主計(jì)算機(jī)225傳遞過去。
主計(jì)算機(jī)225接收到處理完畢的通知后，參照工藝步驟表，確定該載體的下一個(gè)搬運(yùn)目的地。與此同時(shí)，主計(jì)算機(jī)225參照工藝步驟表選擇用于搬運(yùn)的AGV227是污染AGV還是常規(guī)AGV。
然后，主計(jì)算機(jī)225將確定的目的地和選中的AGV227通知副計(jì)算機(jī)229。隨后，副計(jì)算機(jī)229向選中的AGV227發(fā)出搬車到特定的目的地的指令。收到搬運(yùn)指令的AGV227搬車到指定的搬運(yùn)目的地。載體站內(nèi)收容有多個(gè)待搬運(yùn)的載體時(shí)，也可以向AGV227傳送能夠確定應(yīng)該被搬車的信息。
另外，從某制造設(shè)備搬運(yùn)出的載體總是被搬運(yùn)到規(guī)定的相同目的地時(shí)，就不必指定搬運(yùn)目的地，這時(shí)，只需向AGV227發(fā)出搬運(yùn)時(shí)間的通知即可。
用于搬運(yùn)的AGV227是污染AGV206還是常規(guī)AGV209的選擇也可以直接由副計(jì)算機(jī)229進(jìn)行，如果是副計(jì)算機(jī)229直接選擇AGV，比如可以預(yù)先決定用特定的AGV搬車站內(nèi)的特定區(qū)域中收容的載體。
圖6A～6B中，搬運(yùn)目的地和AGV227的選擇由主計(jì)算機(jī)225決定，但是也可以如圖5A和5B那樣，在副計(jì)算機(jī)229中保存有關(guān)工藝步驟表的數(shù)據(jù)，副計(jì)算機(jī)229參照該工藝步驟表進(jìn)行選擇和決定。圖6C簡(jiǎn)單地展示出在這種情況下的在主計(jì)算機(jī)225，制造設(shè)備226，AGV227以及副計(jì)算機(jī)229之間的信號(hào)傳遞的流程。這種情況下，主計(jì)算機(jī)和副計(jì)算機(jī)之間的數(shù)據(jù)交換的信息量可以盡量得到減少，這樣就減輕了主計(jì)算機(jī)的負(fù)擔(dān)，從而可以避免數(shù)據(jù)接受傳遞中發(fā)生的誤差。
注意，在圖3A～6C中任一種情況下，AGV可以在搬運(yùn)完畢后向發(fā)出搬運(yùn)指令的制造設(shè)備，或主計(jì)算機(jī)和副計(jì)算機(jī)通知搬運(yùn)完畢的事項(xiàng)。而且，在下一個(gè)指令到來之前，在原地待命，或進(jìn)入用充電器充電的作業(yè)?；蛘?，自動(dòng)返回搬運(yùn)來的位置。
另外，雖然圖3A～6C中，主計(jì)算機(jī)，副計(jì)算機(jī)或AGV以載體為單位管理襯底，但也可以給每一個(gè)襯底賦予ID號(hào)碼，以襯底為單位進(jìn)行管理。
還有，實(shí)際的工藝步驟表不止一個(gè)，需要根據(jù)相應(yīng)的生產(chǎn)批量從多個(gè)工藝步驟表中選出所需工藝步驟表。該選擇操作可以由制造設(shè)備，主計(jì)算機(jī)或副計(jì)算機(jī)來進(jìn)行。
出現(xiàn)批量外的襯底的情況時(shí)，可以從生產(chǎn)線搬出容納該襯底的載體。
接下來，以制作n溝道型TFT和p溝道型TFT為例，詳細(xì)說明分開使用載體的情況。
圖7和圖8示出制作n溝道型TFT和p溝道型TFT的流程圖以及與該流程圖對(duì)應(yīng)的襯底剖面結(jié)構(gòu)。圖7和圖8中說明了通過將半導(dǎo)體膜形成圖案從而形成n溝道型TFT用的激活層301和p溝道型TFT用激活層302，形成覆蓋該激活層301，302的柵絕緣膜303，然后在該柵絕緣膜303上形成柵電極304，305，形成P的摻雜用掩膜306之后的工藝，具體地說，是說明從實(shí)施P的摻雜后，到剝離在B的摻雜時(shí)作為掩膜使用的抗蝕劑的一系列的工藝。
首先，如圖7所示，將襯底容納到載體A，用常規(guī)AGV搬運(yùn)該載體A到P用的摻雜設(shè)備。
隨后，P用摻雜設(shè)備的載體站收容了該載體A，然后實(shí)施P的摻雜。激活層302被掩膜306覆蓋，通過P的摻雜在激活層301中形成源/漏區(qū)307，308。
摻雜后的襯底有雜質(zhì)擴(kuò)散的擔(dān)憂，所以被轉(zhuǎn)移到載體B，然后用污染AGV搬運(yùn)襯底到蝕刻設(shè)備。
在蝕刻設(shè)備中，對(duì)柵電極304實(shí)施各向異性蝕刻。通過該各向異性蝕刻?hào)烹姌O304變小了一圈。在此，為了區(qū)別蝕刻前和蝕刻后的柵電極，蝕刻后的柵電極用數(shù)字309表示。
蝕刻后的襯底，和蝕刻前同樣有雜質(zhì)擴(kuò)散的擔(dān)憂，所以被轉(zhuǎn)移到載體B，然后用污染AGV再次搬運(yùn)襯底到P用摻雜設(shè)備。
在P用摻雜設(shè)備中，對(duì)激活層301摻雜雜質(zhì)并使摻雜的雜質(zhì)濃度低于上一次的摻雜。通過該工藝在激活層301中形成LDD區(qū)。
摻雜后的襯底有雜質(zhì)擴(kuò)散的擔(dān)憂，所以被轉(zhuǎn)移到載體B，然后用污染AGV搬運(yùn)襯底到灰化設(shè)備。
在灰化設(shè)備中，對(duì)搬運(yùn)來的襯底實(shí)施灰化處理。該灰化處理是為了清除因摻雜而變質(zhì)的掩膜306的表面。
經(jīng)灰化處理后的襯底，和灰化處理前的襯底同樣有雜質(zhì)擴(kuò)散的擔(dān)憂，所以被轉(zhuǎn)移到載體B，然后用污染AGV搬運(yùn)襯底到抗蝕劑剝離設(shè)備。
在抗蝕劑剝離設(shè)備中完全清除掉通過灰化處理去除過表面的掩膜。剝離由濕式蝕刻方式進(jìn)行。另外，通過用灰化處理清除變質(zhì)的表面后再用濕式蝕刻處理，可以防止遺留掩膜殘?jiān)⑶?，可以防止掩膜以外的表面，比如柵絕緣膜因灰化處理而被削掉。完成濕式蝕刻后，用作為剝離設(shè)備附屬設(shè)備的清洗設(shè)備清洗襯底。
清洗并被干燥后的襯底，被認(rèn)為沒有雜質(zhì)擴(kuò)散的問題，所以被轉(zhuǎn)移到載體A，然后用常規(guī)AGV搬運(yùn)襯底到形成抗蝕劑的成膜設(shè)備。
在被搬運(yùn)到成膜設(shè)備的襯底上形成B的摻雜用的掩膜。然而，在實(shí)際上形成掩膜之前，需要進(jìn)行抗蝕劑的成膜，通過曝光的顯影，烘烤等，在此假設(shè)附屬配備有全部設(shè)備并且B用掩膜310是已完成上述全部處理的成品。掩膜310被激活層301覆蓋。
形成掩膜310后的襯底，被認(rèn)為沒有雜質(zhì)擴(kuò)散的問題，所以被轉(zhuǎn)移到載體A，然后用常規(guī)AGV搬運(yùn)襯底到摻雜設(shè)備。
B用摻雜設(shè)備中摻雜B后，B摻雜到激活層302中形成了p溝道型TFT的源/漏區(qū)311，312。
摻雜B后的襯底，有雜質(zhì)擴(kuò)散的擔(dān)憂，而且該雜質(zhì)和前摻雜工藝中的摻雜物的種類不同，所以襯底被轉(zhuǎn)移到載體C，然后用污染AGV搬運(yùn)其到灰化設(shè)備。注意，最好不要共享用于搬運(yùn)摻雜B后襯底的污染AGV和用于搬運(yùn)摻雜P后襯底的污染AGV。在此為了將用于搬運(yùn)摻雜B后襯底的污染AGV區(qū)別于用于搬運(yùn)摻雜P后襯底的污染AGV，將用于搬運(yùn)摻雜B后襯底的污染AGV稱為B用污染AGV。
隨后，在灰化處理設(shè)備中，對(duì)搬運(yùn)來的襯底實(shí)施灰化處理。該灰化處理是為清除因摻雜而變質(zhì)的掩膜310的表面而進(jìn)行的。
經(jīng)灰化處理后的襯底，和灰化處理前的襯底同樣有雜質(zhì)擴(kuò)散的擔(dān)憂，所以被轉(zhuǎn)移到載體C，然后用B用污染AGV搬運(yùn)襯底到抗蝕劑剝離設(shè)備。
在抗蝕劑剝離設(shè)備中完全清除掉通過灰化處理除去過表面的掩膜。進(jìn)行濕式蝕刻后，用作為剝離設(shè)備附屬設(shè)備的清洗設(shè)備清洗襯底。
清洗并被干燥后的襯底，被認(rèn)為沒有雜質(zhì)擴(kuò)散的問題，所以被轉(zhuǎn)移到載體A，然后用常規(guī)AGV搬運(yùn)襯底到下一個(gè)工藝的制造設(shè)備。
雖然在圖7和圖8中，在用灰化處理設(shè)備處理后然后在抗蝕劑剝離設(shè)備實(shí)施清除抗蝕劑，但本發(fā)明并不限于此。僅用灰化處理設(shè)備或僅用抗蝕劑剝離設(shè)備來清除抗蝕劑也是可能的。此外，在用抗蝕劑剝離設(shè)備處理后然后用灰化處理設(shè)備實(shí)施清除抗蝕劑也是可能的。不管哪一種情況，只有在用抗蝕劑剝離設(shè)備進(jìn)行處理后，才可以認(rèn)為沒有雜質(zhì)擴(kuò)散的問題。所以，從摻雜的工藝以后一直到完成抗蝕劑剝離設(shè)備中的處理，用污染AGV搬運(yùn)襯底。
圖7和圖8中展示的一系列工藝，只是本發(fā)明生產(chǎn)系統(tǒng)中制作半導(dǎo)體器件工藝的一個(gè)例子而已，本發(fā)明并不限于此例。
本發(fā)明通過引入用過濾器過濾過的空氣到AGV的收容部分內(nèi)部，并且，排出經(jīng)過濾器過濾后的收容載體的AGV的收容部分內(nèi)部空氣，可以減少排氣中雜質(zhì)的含有量，從而防止了搬運(yùn)途徑中的雜質(zhì)擴(kuò)散。
在①在摻雜工藝結(jié)束后，在實(shí)施能夠抑制雜質(zhì)擴(kuò)散到大氣的工藝前，②在實(shí)施摻雜工藝以前，以及③在能夠抑制雜質(zhì)擴(kuò)散到大氣的工藝結(jié)束后，通過分別使用不同的AGV，可以防止在①階段中附著到AGV收容部分的雜質(zhì)污染到②以及③階段中的其他襯底。其結(jié)果是可以防止摻雜設(shè)備以外的制造設(shè)備不被雜質(zhì)污染。
而且，本發(fā)明通過在①階段，②以及③階段分開使用不同的容納襯底的載體，防止了載體內(nèi)部的雜質(zhì)污染。
本發(fā)明通過使用CIM系統(tǒng)，可以確保AGV和載體的管理。并且，可以防止雜質(zhì)污染其他襯底和制造設(shè)備，所以，由于化學(xué)污染而引起的半導(dǎo)體器件的特性退化和成品率降低等可以得到抑制，而且不用擔(dān)憂雜質(zhì)對(duì)人體的負(fù)面影響。
在本實(shí)施方案模式中描述了防止摻雜時(shí)所用雜質(zhì)的擴(kuò)散，本發(fā)明并不限于此。摻雜以外的制作工藝中，在處理完畢時(shí)如有污染物質(zhì)從襯底向大氣擴(kuò)散，可以適用本發(fā)明的生產(chǎn)系統(tǒng)以及生產(chǎn)管理方法從而達(dá)到抑制該污染物質(zhì)擴(kuò)散的目的。
上述本發(fā)明的自動(dòng)導(dǎo)航車，半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)以及生產(chǎn)管理方法可以應(yīng)用于集成電路和半導(dǎo)體顯示器件的生產(chǎn)線。特別適用于，實(shí)行單張薄片處理(single wafer processing)并以批量(lot)管理多個(gè)襯底的類似液晶顯示器件；各個(gè)像素具有以有機(jī)發(fā)光元件為典型的發(fā)光元件的發(fā)光器件；數(shù)據(jù)微鏡裝置(縮寫成DMD，Digital Micromirror Device)；等離子顯示器(縮寫成PDP，Plasma Display Panel)；場(chǎng)發(fā)射平面顯示(縮寫成FED，F(xiàn)ieldEmission Display)的生產(chǎn)線或生產(chǎn)線的管理。
實(shí)施例下面將對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明。
本實(shí)施例將對(duì)圖2示出的生產(chǎn)系統(tǒng)中的工藝步驟表的內(nèi)容進(jìn)行說明，該工藝步驟表作為數(shù)據(jù)保存在包含于主計(jì)算機(jī)225中的存儲(chǔ)器230中。
如圖2所示，搬車的AGV被主計(jì)算機(jī)225所控制的情形中，存儲(chǔ)器230中保存著作為數(shù)據(jù)的以下信息，該信息包括在多個(gè)制造設(shè)備之間，載體的全部搬運(yùn)途徑中使用污染AGV的區(qū)間，以及處理前和處理后更換載體的特定制造設(shè)備或工藝。
圖9示出制作半導(dǎo)體器件工藝的工藝步驟表，該半導(dǎo)體器件具有n溝道型TFT和p溝道型TFT。根據(jù)圖9示出的工藝步驟表，在和工藝號(hào)8，9，20，23，24，25，28對(duì)應(yīng)的制造設(shè)備中更換載體。另外，在和工藝號(hào)1至8，9至20，23至24，28至30對(duì)應(yīng)的制造設(shè)備之間的搬運(yùn)途徑中使用常規(guī)AGV。在和工藝號(hào)8至9對(duì)應(yīng)的制造設(shè)備之間的搬運(yùn)途徑中使用B摻雜用污染AGV。在和工藝號(hào)20至23，24至25對(duì)應(yīng)的制造設(shè)備之間的搬運(yùn)途徑中使用P摻雜用污染AGV。在和工藝號(hào)25至28對(duì)應(yīng)的制造設(shè)備之間的搬運(yùn)途徑中使用P摻雜和B摻雜混合時(shí)用污染AGV。
通過使用上述數(shù)據(jù)，可以進(jìn)行AGV的選擇，搬運(yùn)途徑的控制以及載體的選擇。注意，雖然本實(shí)施例描述了在主計(jì)算機(jī)中保存上述工藝步驟表的情況，但本發(fā)明并不限于這種結(jié)構(gòu)。上述工藝步驟表的數(shù)據(jù)也可以保存在制造設(shè)備或副計(jì)算機(jī)中。
此外，在上述工藝步驟表中，更換載體的數(shù)據(jù)加上從哪一個(gè)載體轉(zhuǎn)移到哪一個(gè)載體的信息，這樣，就可以進(jìn)行載體的選擇。
還有，實(shí)際的工藝步驟表不止一個(gè)，需要根據(jù)相應(yīng)的生產(chǎn)批量從多個(gè)工藝步驟表中選出所需工藝步驟表。該選擇操作可以由制造設(shè)備，主計(jì)算機(jī)或副計(jì)算機(jī)來進(jìn)行。
圖9所示的工藝步驟表中有用激光器在襯底上寫入ID號(hào)碼的步驟。借助于該襯底擁有的ID號(hào)碼可以實(shí)現(xiàn)以襯底為單位的批量管理。但是，不在襯底上寫入ID號(hào)碼的情形中，比如形成多晶半導(dǎo)體膜的圖案時(shí)，利用該多晶半導(dǎo)體膜在襯底上寫入ID號(hào)碼時(shí)，可以用在此之前的工藝步驟中組合載體的ID號(hào)碼和槽的地址來辨別各個(gè)襯底。
本發(fā)明通過引入用過濾器過濾過的空氣到AGV的收容部分內(nèi)部，并且通過排出經(jīng)過濾器過濾后的收容載體的AGV的收容部分內(nèi)部的空氣，可以減少排氣中雜質(zhì)的含有量，從而防止了搬運(yùn)途徑中的雜質(zhì)擴(kuò)散。
在①在摻雜工藝結(jié)束后，在實(shí)施能夠抑制雜質(zhì)擴(kuò)散到大氣的工藝前，②在實(shí)施摻雜工藝以前，以及③在能夠抑制雜質(zhì)擴(kuò)散到大氣的工藝結(jié)束后，通過分別使用不同的AGV，可以防止在①階段中附著到AGV收容部的雜質(zhì)污染到②以及③階段中的其他襯底。其結(jié)果是可以防止摻雜設(shè)備以外的制造設(shè)備被雜質(zhì)污染。
而且，本發(fā)明通過在①階段，②以及③階段分開使用不同的容納襯底的載體，防止了載體內(nèi)部的雜質(zhì)污染。
本發(fā)明通過使用CIM系統(tǒng)，可以確保AGV和載體的管理。并且，可以防止雜質(zhì)污染其他襯底和制造設(shè)備，所以，由于化學(xué)污染而引起的半導(dǎo)體器件的特性退化和成品率降低等可以得到抑制，而且不用擔(dān)憂雜質(zhì)對(duì)人體的負(fù)面影響。
權(quán)利要求
1.一種自動(dòng)導(dǎo)航車，包括具有收容載體的空間的車體，其中所述載體收容襯底；第一和第二過濾器；閘門；以及吸入經(jīng)所述第一過濾器過濾過的空氣到所述空間，并從所述空間排出經(jīng)所述第二過濾器過濾后的該空間的空氣的泵，其中，關(guān)閉所述閘門使所述空間和外界隔開。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的自動(dòng)導(dǎo)航車，其中所述第一或第二過濾器是ULPA過濾器或HEPA過濾器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的自動(dòng)導(dǎo)航車，其中所述第二過濾器包括用離子交換纖維作為過濾材料的陽離子交換纖維。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的自動(dòng)導(dǎo)航車，其中所述第一過濾器提供在所述第二過濾器的上方。
5.一種半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，包括主計(jì)算機(jī)；至少第一和第二制造設(shè)備；至少第一和第二載體；以及至少一個(gè)自動(dòng)導(dǎo)航車，其中，所述自動(dòng)導(dǎo)航車包括具有收容所述第二載體的空間的車體；第一和第二過濾器；關(guān)閉其即可使所述空間和外界隔開的閘門；吸入經(jīng)所述第一過濾器過濾過的空氣到所述空間，并從所述空間排出經(jīng)所述第二過濾器過濾后的該空間的空氣的泵，而且其中，所述主計(jì)算機(jī)包括將以下兩個(gè)程序作為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的存儲(chǔ)裝置，所述程序包括第一程序，即至少在所述第一和第二制造設(shè)備間的搬運(yùn)襯底的搬運(yùn)途徑中使用所述自動(dòng)導(dǎo)航車，以及第二程序，即在所述第一制造設(shè)備中，至少從處理前使用的所述第一載體轉(zhuǎn)移襯底到處理后使用的所述第二載體；生成至少第一信號(hào)的裝置，其中所述第一信號(hào)指示所述自動(dòng)導(dǎo)航車沿所述第一和第二制造設(shè)備之間的搬運(yùn)途徑搬運(yùn)所述襯底；生成至少第二信號(hào)的裝置，其中所述第二信號(hào)指示所述第一制造設(shè)備從所述第一載體轉(zhuǎn)移所述襯底到所述第二載體。
6.一種半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，包括主計(jì)算機(jī)；至少第一，第二，以及第三制造設(shè)備；至少第一和第二載體；以及至少第一和第二自動(dòng)導(dǎo)航車，其中，所述第一自動(dòng)導(dǎo)航車包括具有收容所述第一載體的第一空間的第一車體，并且其中，所述第二自動(dòng)導(dǎo)航車包括具有收容所述第二載體的第二空間的第二車體；第一和第二過濾器；關(guān)閉其即可使所述空間和外界隔開的閘門；吸入經(jīng)所述第一過濾器過濾過的空氣到所述空間，并從所述空間排出經(jīng)所述第二過濾器過濾后的該空間的空氣的泵，并且其中，所述主計(jì)算機(jī)包括將以下四個(gè)程序作為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的存儲(chǔ)裝置，所述程序包括第一程序，即在所述第一制造設(shè)備和第二制造設(shè)備之間搬運(yùn)襯底的第一搬運(yùn)途徑中，使用所述第二自動(dòng)導(dǎo)航車；第二程序，即在所述第二制造設(shè)備和第三制造設(shè)備之間搬運(yùn)襯底的第二搬運(yùn)途徑中，使用所述第一自動(dòng)導(dǎo)航車；第三程序，即在所述第一制造設(shè)備中，從第一處理前使用的所述第一載體轉(zhuǎn)移所述襯底到第一處理后使用的所述第二載體；第四程序，即在所述第二制造設(shè)備中，從第二處理前使用的所述第二載體轉(zhuǎn)移所述襯底到第二處理后使用的所述第一載體；生成第一信號(hào)和第二信號(hào)的裝置，其中所述第一信號(hào)指示所述第二自動(dòng)導(dǎo)航車沿所述第一和第二制造設(shè)備之間的第一搬運(yùn)途徑搬運(yùn)襯底，并且其中所述第二信號(hào)指示所述第一自動(dòng)導(dǎo)航車沿所述第二和第三制造設(shè)備之間的第二搬運(yùn)途徑中搬運(yùn)所述襯底；生成第三信號(hào)和第四信號(hào)的裝置，其中所述第三信號(hào)指示所述第一制造設(shè)備從所述第一載體轉(zhuǎn)移所述襯底到所述第二載體，并且其中所述第四信號(hào)指示所述第二制造設(shè)備從所述第二載體轉(zhuǎn)移所述襯底到所述第一載體。
7.根據(jù)權(quán)利要求5的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，其中所述第一制造設(shè)備是摻雜設(shè)備。
8.根據(jù)權(quán)利要求6的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，其中所述第一制造設(shè)備是摻雜設(shè)備。
9.根據(jù)權(quán)利要求5的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，其中所述第二制造設(shè)備是抗蝕劑剝離設(shè)備。
10.根據(jù)權(quán)利要求6的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，其中所述第二制造設(shè)備是抗蝕劑剝離設(shè)備。
11.根據(jù)權(quán)利要求5的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，其中所述第一或第二過濾器是ULPA過濾器或HEPA過濾器。
12.根據(jù)權(quán)利要求6的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，其中所述第一或第二過濾器是ULPA過濾器或HEPA過濾器。
13.根據(jù)權(quán)利要求5的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，其中所述第二過濾器包括用離子交換纖維作為過濾材料的陽離子交換纖維。
14.根據(jù)權(quán)利要求6的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，其中所述第二過濾器包括用離子交換纖維作為過濾材料的陽離子交換纖維。
15.根據(jù)權(quán)利要求5的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，其中所述第一過濾器提供在所述第二過濾器的上方。
16.根據(jù)權(quán)利要求6的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)，其中所述第一過濾器提供在所述第二過濾器的上方。
17.一種半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)管理方法，它包括以下步驟用主計(jì)算機(jī)控制第一制造設(shè)備使其將第一處理前使用的第一載體更換為第一處理后使用的第二載體；用所述主計(jì)算機(jī)控制自動(dòng)導(dǎo)航車使其沿第一和第二制造設(shè)備間的搬運(yùn)途徑搬運(yùn)所述第二載體；其中，所述自動(dòng)導(dǎo)航車包括第一，第二過濾器以及具有收容所述第二載體的空間的車體，并且其中，吸入經(jīng)所述第一過濾器過濾過的空氣到所述空間；并且從所述空間排出經(jīng)第二過濾器過濾后的該空間中的空氣。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)管理方法，其中所述生產(chǎn)管理方法進(jìn)一步包括以下步驟，即用所述主計(jì)算機(jī)控制所述第二制造設(shè)備使其將第二處理前使用的所述第二載體更換為第二處理后使用的所述第一載體。
19.根據(jù)權(quán)利要求17的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)管理方法，其中所述第一制造設(shè)備是摻雜設(shè)備。
20.根據(jù)權(quán)利要求17的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)管理方法，其中所述第二制造設(shè)備是抗蝕劑剝離設(shè)備。
21.根據(jù)權(quán)利要求17的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)管理方法，其中所述第一或第二過濾器是ULPA過濾器或HEPA過濾器。
22.根據(jù)權(quán)利要求17的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)管理方法，其中所述第二過濾器包括用離子交換纖維作為過濾材料的陽離子交換纖維。
23.根據(jù)權(quán)利要求17的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)管理方法，其中所述第一過濾器提供在所述第二過濾器的上方。
全文摘要
本發(fā)明提供一種AGV和利用該AGV的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)系統(tǒng)以及半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)管理方法，根據(jù)本發(fā)明，可以防止附著有制造工藝中產(chǎn)生的污染物質(zhì)的襯底污染其他襯底和制造設(shè)備。在本發(fā)明中，引入經(jīng)過濾器過濾過的空氣到AGV的收容部分內(nèi)部，并且，排出用過濾器過濾后的收容載體的AGV的收容部分內(nèi)部的空氣。排出側(cè)的過濾器使用能夠過濾亞微粒水準(zhǔn)雜質(zhì)的過濾器。在摻雜工藝的前后分別使用不同的容納襯底的載體。此外，AGV的驅(qū)動(dòng)，載體的選擇等由CIM系統(tǒng)控制。
文檔編號(hào)H01L21/02GK1498789SQ200310114358
公開日2004年5月26日 申請(qǐng)日期2003年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月11日
發(fā)明者大谷久, 辻英一郎, 郎 申請(qǐng)人:株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所