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一種組合式電極及其三電平大功率模塊的制作方法

文檔序號(hào):61710閱讀:377來源:國知局
專利名稱:一種組合式電極及其三電平大功率模塊的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種組合式電極,包括負(fù)電極、第一中間電極、正電極和第二中間電極,其中負(fù)電極主體部與第一中間電極主體部、負(fù)電極連接部與第一中間電極連接部均平行正對(duì)設(shè)置,正電極主體部與第二中間電極主體部、正電極連接部與第二中間電極連接部也均平行正對(duì)設(shè)置,從而增大了負(fù)電極與第一中間電極之間、正電極與第二中間電極之間的正對(duì)面積,減小了負(fù)電極與第一中間電極之間、正電極與第二中間電極之間的電流回路面積,有效減小了組合式電極的雜散電感和損耗;本實(shí)用新型還公開了一種采用了該組合式電極的三電平大功率模塊,有效減小了功率模塊的雜散電感和損耗。
【專利說明】
一種組合式電極及其三電平大功率模塊
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及電力電子領(lǐng)域,特別是涉及一種組合式電極及其三電平大功率模塊。
【背景技術(shù)】
[0002]功率模塊是電力電子器件如金屬氧化物半導(dǎo)體(功率MOS管)、絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)晶體管(IGBT)、快恢復(fù)二極管(FRD)按一定的功能組合封裝成的電力開關(guān)模塊,其主要用于電動(dòng)汽車、光伏發(fā)電、風(fēng)力發(fā)電、工業(yè)變頻等各種場(chǎng)合下的功率轉(zhuǎn)換。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中的功率模塊的正電極主體部與中間電極主體部或者負(fù)電極主體部與中間電極主體部往往平行交替設(shè)置,正電極連接部與中間電極連接部或者負(fù)電極連接部與中間電極連接部也不是正對(duì)平行的,正電極與中間電極或者負(fù)電極與中間電極的正對(duì)面積較小,導(dǎo)致正電極與中間電極或者負(fù)電極與中間電極之間電流回路面積較大,從而功率模塊的雜散電感和損耗較大。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]實(shí)用新型目的:本實(shí)用新型的目的是提供一種電流回路面積小的組合式電極,以及一種應(yīng)用該組合式電極的雜散電感和損耗小的三電平大功率模塊。
[0005]技術(shù)方案:為達(dá)到此目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0006]本實(shí)用新型所述的組合式電極,包括負(fù)電極、第一中間電極、正電極和第二中間電極,負(fù)電極包括負(fù)電極主體部和負(fù)電極連接部,第一中間電極包括第一中間電極主體部和與負(fù)電極連接部平行正對(duì)的第一中間電極連接部,正電極包括正電極主體部和正電極連接部,第二中間電極包括第二中間電極主體部和與正電極連接部平行正對(duì)的第二中間電極連接部,負(fù)電極連接部側(cè)端呈角度延伸出負(fù)電極主體部,負(fù)電極連接部頂部彎折出負(fù)電極引出部;第一中間電極連接部側(cè)端呈角度延伸出與負(fù)電極主體部平行正對(duì)的第一中間電極主體部,第一中間電極連接部頂部彎折出第一中間電極引出部;正電極連接部側(cè)端呈角度延伸出正電極主體部,正電極連接部頂部彎折出正電極引出部;第二中間電極連接部側(cè)端呈角度延伸出與正電極主體部平行正對(duì)的第二中間電極主體部,第二中間電極連接部頂部彎折出第二中間電極引出部;負(fù)電極主體部與第一中間電極主體部之間、負(fù)電極連接部與第一中間電極連接部之間、正電極主體部與第二中間電極主體部之間,以及正電極連接部與第二中間電極連接部之間均設(shè)有絕緣層。
[0007]為了進(jìn)一步減小組合式電極的雜散電感,所述負(fù)電極引出部與第一中間電極引出部相背設(shè)置,正電極引出部與第二中間電極引出部相背設(shè)置。
[0008]進(jìn)一步,所述負(fù)電極引出部的彎折方向與負(fù)電極主體部的延伸方向一致。
[0009]進(jìn)一步,所述正電極主體部包括由正電極連接部兩側(cè)端向相反方向延伸的正電極第一主體部和正電極第二主體部,正電極引出部的彎折方向與正電極第一主體部的延伸方向一致。
[0010]進(jìn)一步,所述第二中間電極主體部包括由第二中間電極連接部兩側(cè)端向相反方向延伸的第二中間電極第一主體部和第二中間電極第二主體部,第二中間電極引出部的彎折方向與第二中間電極第一主體部的延伸方向相反。
[0011]進(jìn)一步,第二中間電極第一主體部與第一中間電極連接部側(cè)端相連。
[0012]本實(shí)用新型所述的三電平大功率模塊,采用上述任意一種組合式電極。
[0013]進(jìn)一步,所述三電平大功率模塊還包括絕緣基板,絕緣基板包括下半橋絕緣基板和上半橋絕緣基板,下半橋絕緣基板上設(shè)有負(fù)電極連接點(diǎn)和第一中間電極連接點(diǎn),負(fù)電極主體部連接負(fù)電極連接點(diǎn),第一中間電極主體部連接第一中間電極連接點(diǎn),上半橋絕緣基板上設(shè)有正電極連接點(diǎn)和第二中間電極連接點(diǎn),正電極主體部連接正電極連接點(diǎn),第二中間電極主體部連接第二中間電極連接點(diǎn)。
[0014]進(jìn)一步,所有負(fù)電極連接點(diǎn)、第一中間電極連接點(diǎn)、正電極連接點(diǎn)和第二中間電極連接點(diǎn)呈矩陣排列。
[0015]為了防止絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí),任意兩個(gè)電極導(dǎo)通而導(dǎo)致電極拉弧和功率模塊燃燒等危險(xiǎn)狀況,所述負(fù)電極、第一中間電極、正電極和第二中間電極中的任意一種電極或多種電極與絕緣基板之間設(shè)有絕緣隔板,從而有效地將爆炸產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與電極隔開,提高了功率模塊使用的安全性。
[0016]進(jìn)一步,所述負(fù)電極主體部連有位于下半橋絕緣基板上方的負(fù)電極大臂,負(fù)電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出負(fù)電極小臂,負(fù)電極小臂連接負(fù)電極連接點(diǎn)。這樣能夠通過調(diào)節(jié)負(fù)電極大臂的寬度從而均衡負(fù)電極與第一中間電極形成的回路的電阻以及雜散電感,提高了功率模塊的動(dòng)靜態(tài)均流性能。
[0017]為了將絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí)產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與負(fù)電極大臂隔開,提高功率模塊使用的安全性,所述負(fù)電極大臂與絕緣基板之間設(shè)有絕緣隔板,絕緣隔板上設(shè)有供負(fù)電極小臂穿過的孔。
[0018]進(jìn)一步,所述負(fù)電極小臂包括由負(fù)電極大臂共面引出的負(fù)電極小臂第一部以及由負(fù)電極小臂第一部彎折引出的負(fù)電極小臂第二部,負(fù)電極小臂第二部連接負(fù)電極連接點(diǎn),為了進(jìn)一步將絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí)產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與負(fù)電極小臂隔開,提高功率模塊使用的安全性,所述絕緣隔板上的孔朝絕緣基板方向延伸出包圍負(fù)電極小臂第二部的框。
[0019]進(jìn)一步,所述第一中間電極主體部連有位于下半橋絕緣基板上方的第一中間電極大臂,第一中間電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出第一中間電極小臂,第一中間電極小臂連接第一中間電極連接點(diǎn)。這樣能夠通過調(diào)節(jié)第一中間電極大臂的寬度從而均衡負(fù)電極與第一中間電極形成的回路的電阻以及雜散電感,提高了功率模塊的動(dòng)靜態(tài)均流性能。
[0020]為了將絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí)產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與第一中間電極大臂隔開,提高功率模塊使用的安全性,所述第一中間電極大臂與絕緣基板之間設(shè)有絕緣隔板,絕緣隔板上設(shè)有供第一中間電極小臂穿過的孔。
[0021]進(jìn)一步,所述第一中間電極小臂包括由第一中間電極大臂共面引出的第一中間電極小臂第一部以及由第一中間電極小臂第一部彎折引出的第一中間電極小臂第二部,第一中間電極小臂第二部連接第一中間電極連接點(diǎn),為了進(jìn)一步將絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí)產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與第一中間電極小臂隔開,提高功率模塊使用的安全性,所述絕緣隔板上的孔朝絕緣基板方向延伸出包圍第一中間電極小臂第二部的框。
[0022]進(jìn)一步,所述負(fù)電極主體部連有位于下半橋絕緣基板上方的負(fù)電極大臂,負(fù)電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出負(fù)電極小臂,負(fù)電極小臂連接負(fù)電極連接點(diǎn);第一中間電極主體部連有位于下半橋絕緣基板上方的第一中間電極大臂,第一中間電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出第一中間電極小臂,第一中間電極小臂連接第一中間電極連接點(diǎn);負(fù)電極大臂與第一中間電極大臂平行且正對(duì),兩者之間設(shè)有絕緣層。這樣有效增加了負(fù)電極大臂與第一中間電極大臂的正對(duì)面積,減小了負(fù)電極與第一中間電極之間的電流回路面積,減小了功率模塊的雜散電感和損耗。
[0023]進(jìn)一步,所述正電極主體部連有位于上半橋絕緣基板上方的正電極大臂,正電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出正電極小臂,正電極小臂連接正電極連接點(diǎn)。這樣能夠通過調(diào)節(jié)正電極大臂的寬度從而均衡正電極與第二中間電極形成的回路的電阻以及雜散電感,提高了功率模塊的動(dòng)靜態(tài)均流性能。
[0024]為了將絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí)產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與正電極大臂隔開,提高功率模塊使用的安全性,所述正電極大臂與絕緣基板之間設(shè)有絕緣隔板,絕緣隔板上設(shè)有供正電極小臂穿過的孔。
[0025]進(jìn)一步,所述正電極小臂包括由正電極大臂共面引出的正電極小臂第一部以及由正電極小臂第一部彎折引出的正電極小臂第二部,正電極小臂第二部連接正電極連接點(diǎn),為了進(jìn)一步將絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí)產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與正電極小臂隔開,提高功率模塊使用的安全性,所述絕緣隔板上的孔朝絕緣基板方向延伸出包圍正電極小臂第二部的框。
[0026]進(jìn)一步,所述第二中間電極主體部連有位于上半橋絕緣基板上方的第二中間電極大臂,第二中間電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出第二中間電極小臂,第二中間電極小臂連接第二中間電極連接點(diǎn)。這樣能夠通過調(diào)節(jié)第二中間電極電極大臂的寬度從而均衡正電極與第二中間電極形成的回路的電阻以及雜散電感,提高了功率模塊的動(dòng)靜態(tài)均流性能。
[0027]為了將絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí)產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與第二中間電極大臂隔開,提高功率模塊使用的安全性,所述第二中間電極大臂與絕緣基板之間設(shè)有絕緣隔板,絕緣隔板上設(shè)有供第二中間電極小臂穿過的孔。
[0028]進(jìn)一步,所述第二中間電極小臂包括由第二中間電極大臂共面引出的第二中間電極小臂第一部以及由第二中間電極小臂第一部彎折引出的第二中間電極小臂第二部,第二中間電極小臂第二部連接第二中間電極連接點(diǎn),為了進(jìn)一步將絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí)產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與第二中間電極小臂隔開,提高功率模塊使用的安全性,所述絕緣隔板上的孔朝絕緣基板方向延伸出包圍第二中間電極小臂第二部的框。
[0029]進(jìn)一步,所述正電極主體部連有位于上半橋絕緣基板上方的正電極大臂,正電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出正電極小臂,正電極小臂連接正電極連接點(diǎn);第二中間電極主體部連有位于上半橋絕緣基板上方的第二中間電極大臂,第二中間電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出第二中間電極小臂,第二中間電極小臂連接第二中間電極連接點(diǎn);正電極大臂與第二中間電極大臂平行且正對(duì),兩者之間設(shè)有絕緣層。這樣有效增加了正電極大臂與第二中間電極大臂的正對(duì)面積,減小了正電極與第二中間電極之間的電流回路面積,減小了功率模塊的雜散電感和損耗。
[0030]有益效果:
[0031](I)本實(shí)用新型公開了一種組合式電極,其中負(fù)電極主體部與第一中間電極主體部、負(fù)電極連接部與第一中間電極連接部均平行正對(duì)設(shè)置,正電極主體部與第二中間電極主體部、正電極連接部與第二中間電極連接部也均平行正對(duì)設(shè)置,從而增大了負(fù)電極與第一中間電極之間、正電極與第二中間電極之間的正對(duì)面積,減小了負(fù)電極與第一中間電極之間、正電極與第二中間電極之間的電流回路面積,有效減小了組合式電極的雜散電感和損耗;
[0032](2)本實(shí)用新型還公開了一種采用了該組合式電極的三電平大功率模塊,有效減小了功率模塊的雜散電感和損耗。
【附圖說明】
一種組合式電極及其三電平大功率模塊的制作方法附圖
[0033]圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例1中組合式電極的立體圖;
[0034]圖2為圖1的后方視圖;
[0035]圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例3中功率模塊的立體圖;
[0036]圖4為本實(shí)用新型的實(shí)施例3中功率模塊去掉組合式電極后的俯視圖;
[0037]圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例4中功率模塊的立體圖及局部放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的闡述。
[0039]本實(shí)用新型公開了一種組合式電極,下面以兩個(gè)實(shí)施例為例,對(duì)組合式電極的結(jié)構(gòu)加以介紹。
[0040]實(shí)施例1:
[0041]如圖1、圖2所示,該組合式電極包括負(fù)電極、第一中間電極、正電極和第二中間電極。負(fù)電極包括負(fù)電極連接部72,負(fù)電極連接部72側(cè)端呈90°向左延伸出負(fù)電極主體部71,負(fù)電極連接部72頂部向左彎折出負(fù)電極引出部73。第一中間電極包括第一中間電極連接部82,第一中間電極連接部82的一個(gè)側(cè)端呈90°向左延伸出第一中間電極主體部81,第一中間電極連接部82頂部向右彎折出第一中間電極引出部83。正電極包括正電極連接部93,正電極連接部93的一個(gè)側(cè)端呈90°向左延伸出正電極第一主體部91,正電極連接部93的另一個(gè)側(cè)端呈90°向右延伸出正電極第二主體部92,正電極連接部93頂部向左彎折出正電極引出部94。第二中間電極包括第二中間電極連接部103,第二中間電極連接部103的一個(gè)側(cè)端呈90°向左延伸出第二中間電極第一主體部101,第二中間電極連接部103的另一個(gè)側(cè)端呈90°向右延伸出第二中間電極第二主體部102,第二中間電極連接部103頂部向右彎折出第二中間電極引出部104。其中,第二中間電極第一主體部101與第一中間電極連接部82的另一個(gè)側(cè)端相連。負(fù)電極連接部72與第一中間電極連接部82之間間隙、負(fù)電極主體部71與第一中間電極主體部81之間間隙、正電極連接部93與第二中間電極連接部103之間間隙、正電極第一主體部91與第二中間電極第一主體部101之間間隙,以及正電極第二主體部92與第二中間電極第二主體部102之間間隙均為0.1?2mm。
[0042]可見,負(fù)電極連接部72與第一中間電極連接部82、負(fù)電極主體部71與第一中間電極主體部81均平行正對(duì)設(shè)置,正電極連接部93與第二中間電極連接部103、正電極第一主體部91與第二中間電極第一主體部101、正電極第二主體部92與第二中間電極第二主體部102也均平行正對(duì)設(shè)置,且負(fù)電極引出部73與第一中間電極引出部83、正電極引出部94與第二中間電極引出部104均相背設(shè)置。由此帶來的好處是,負(fù)電極與第一中間電極之間、正電極與第二中間電極之間的正對(duì)面積較大,使得負(fù)電極與第一中間電極之間、正電極與第二中間電極之間的電流回路面積較小,從而使得組合式電極的雜散電感和損耗較小。
[0043]此外,負(fù)電極連接部72與負(fù)電極主體部71之間的夾角、第一中間電極連接部82與第一中間電極主體部81之間的夾角、正電極連接部93與正電極第一主體部91之間的夾角,正電極連接部93與正電極第二主體部92之間的夾角、第二中間電極連接部103與第二中間電極第一主體部101之間的夾角以及第二中間電極連接部103與第二中間電極第二主體部102之間的夾角均可以為(0°,180°)這個(gè)開區(qū)間內(nèi)的任意值。
[0044]實(shí)施例2:
[0045]如圖1、圖2所示,該組合式電極包括負(fù)電極、第一中間電極、正電極和第二中間電極。負(fù)電極包括負(fù)電極連接部72,負(fù)電極連接部72側(cè)端呈90°向左延伸出負(fù)電極主體部71,負(fù)電極連接部72頂部向左彎折出負(fù)電極引出部73。第一中間電極包括第一中間電極連接部82,第一中間電極連接部82側(cè)端呈90°向左延伸出第一中間電極主體部81,第一中間電極連接部82頂部向右彎折出第一中間電極引出部83。正電極包括正電極連接部93,正電極連接部93的一個(gè)側(cè)端呈90°向左延伸出正電極第一主體部91,正電極連接部93的另一個(gè)側(cè)端呈90°向右延伸出正電極第二主體部92,正電極連接部93頂部向左彎折出正電極引出部94。第二中間電極包括第二中間電極連接部103,第二中間電極連接部103的一個(gè)側(cè)端呈90°向左延伸出第二中間電極第一主體部101,第二中間電極連接部103的另一個(gè)側(cè)端呈90°向右延伸出第二中間電極第二主體部102,第二中間電極連接部103頂部向右彎折出第二中間電極引出部104。其中,第二中間電極第一主體部101與第一中間電極連接部82之間斷開(圖1和圖2中未示出)。負(fù)電極連接部72與第一中間電極連接部82之間間隙、負(fù)電極主體部71與第一中間電極主體部81之間間隙、正電極連接部93與第二中間電極連接部103之間間隙、正電極第一主體部91與第二中間電極第一主體部101之間間隙,以及正電極第二主體部92與第二中間電極第二主體部102之間間隙均為0.1?2mm。
[0046]可見,負(fù)電極連接部72與第一中間電極連接部82、負(fù)電極主體部71與第一中間電極主體部81均平行正對(duì)設(shè)置,正電極連接部93與第二中間電極連接部103、正電極第一主體部91與第二中間電極第一主體部101、正電極第二主體部92與第二中間電極第二主體部102也均平行正對(duì)設(shè)置,且負(fù)電極引出部73與第一中間電極引出部83、正電極引出部94與第二中間電極引出部104均相背設(shè)置。由此帶來的好處是,負(fù)電極與第一中間電極之間、正電極與第二中間電極之間的正對(duì)面積較大,使得負(fù)電極與第一中間電極之間、正電極與第二中間電極之間的電流回路面積較小,從而使得組合式電極的雜散電感和損耗較小。
[0047]此外,負(fù)電極連接部72與負(fù)電極主體部71之間的夾角、第一中間電極連接部82與第一中間電極主體部81之間的夾角、正電極連接部93與正電極第一主體部91之間的夾角,正電極連接部93與正電極第二主體部92之間的夾角、第二中間電極連接部103與第二中間電極第一主體部101之間的夾角以及第二中間電極連接部103與第二中間電極第二主體部102之間的夾角均可以為(0°,180°)這個(gè)開區(qū)間內(nèi)的任意值。
[0048]本實(shí)用新型還公開了一種三電平大功率模塊,下面以兩個(gè)實(shí)施例為例,對(duì)功率模塊的結(jié)構(gòu)加以介紹。
[0049]實(shí)施例3:
[0050]如圖3所示,功率模塊包括排列成一行的六個(gè)絕緣基板,其中左邊三個(gè)絕緣基板為下半橋絕緣基板,分別為第一下半橋絕緣基板1、第二下半橋絕緣基板2和第三下半橋絕緣基板3,右邊三個(gè)絕緣基板為上半橋絕緣基板,分別為第一上半橋絕緣基板4、第二上半橋絕緣基板5和第三上半橋絕緣基板6。
[0051]如圖4所示,第一下半橋絕緣基板1、第二下半橋絕緣基板2、第三下半橋絕緣基板
3、第一上半橋絕緣基板4、第二上半橋絕緣基板5和第三上半橋絕緣基板6的右半?yún)^(qū)域內(nèi)分別設(shè)有成列布置的第一負(fù)電極連接點(diǎn)15和第一下半橋中間電極連接點(diǎn)16、第二負(fù)電極連接點(diǎn)25和第二下半橋中間電極連接點(diǎn)26、第三負(fù)電極連接點(diǎn)35和第三下半橋中間電極連接點(diǎn)36、第一正電極連接點(diǎn)45和第一上半橋中間電極連接點(diǎn)46、第二正電極連接點(diǎn)55和第二上半橋中間電極連接點(diǎn)56,以及第三正電極連接點(diǎn)65和第三上半橋中間電極連接點(diǎn)66。其中,第一負(fù)電極連接點(diǎn)15、第二負(fù)電極連接點(diǎn)25和第三負(fù)電極連接點(diǎn)35統(tǒng)稱為負(fù)電極連接點(diǎn),第一下半橋中間電極連接點(diǎn)16、第二下半橋中間電極連接點(diǎn)26和第三下半橋中間電極連接點(diǎn)36統(tǒng)稱為第一中間電極連接點(diǎn),第一正電極連接點(diǎn)45、第二正電極連接點(diǎn)55和第三正電極連接點(diǎn)65統(tǒng)稱為正電極連接點(diǎn),第一上半橋中間電極連接點(diǎn)46、第二上半橋中間電極連接點(diǎn)56和第三上半橋中間電極連接點(diǎn)66統(tǒng)稱為第二中間電極連接點(diǎn)。所有負(fù)電極連接點(diǎn)、第一中間電極連接點(diǎn)、正電極連接點(diǎn)和第二中間電極連接點(diǎn)呈矩陣排列。
[0052]功率模塊采用了實(shí)施例1所述的組合式電極,如圖3所示。負(fù)電極連接部72和第一中間電極連接部82均設(shè)置在第一上半橋絕緣基板4上,負(fù)電極主體部71和第一中間電極主體部81均自第一上半橋絕緣基板4延伸至第二下半橋絕緣基板2。正電極連接部93和第二中間電極連接部103均設(shè)置在第三上半橋絕緣基板6上,正電極第一主體部91自第三上半橋絕緣基板6延伸至第二上半橋絕緣基板5,正電極第二主體部92設(shè)置在第三上半橋絕緣基板6上,第二中間電極第一主體部101自第三上半橋絕緣基板6延伸至第一上半橋絕緣基板4并與第一中間電極連接部82的另一側(cè)端相連,第二中間電極第二主體部102設(shè)置在第三上半橋絕緣基板6上。
[0053]如圖1和圖3所示,負(fù)電極主體部71的側(cè)面垂直延伸出位于第二下半橋絕緣基板2上方的第一大臂21,第一大臂21左側(cè)延伸出第一小臂23,第一小臂23連接第一負(fù)電極連接點(diǎn)15;如圖2和圖3所示,第一中間電極主體部81的側(cè)面垂直延伸出位于第二下半橋絕緣基板2上方的第二大臂22,第二大臂22左側(cè)延伸出第二小臂24,第二小臂24連接第一下半橋中間電極連接點(diǎn)16;如圖2和圖3所示,第一大臂21與第二大臂22平行正對(duì)設(shè)置于第二下半橋絕緣基板2上方,且第一大臂21位于第二大臂22上方。如圖2和圖3所示,負(fù)電極主體部71的側(cè)面還垂直延伸出位于第三下半橋絕緣基板3上方的第三大臂31,第三大臂31左、右側(cè)均延伸出第三小臂33,左邊的第三小臂33連接第二負(fù)電極連接點(diǎn)25,右邊的第三小臂33連接第三負(fù)電極連接點(diǎn)35;如圖2和圖3所示,第一中間電極主體部81的側(cè)面還垂直延伸出位于第三下半橋絕緣基板3上方的第四大臂32,第四大臂32左、右側(cè)均延伸出第四小臂34,左邊的第四小臂34連接第二下半橋中間電極連接點(diǎn)26,右邊的第四小臂34連接第三下半橋中間電極連接點(diǎn)36;如圖2和圖3所示,第三大臂31和第四大臂32平行正對(duì)設(shè)置于第三下半橋絕緣基板3上方,且第三大臂31位于第四大臂32上方。如圖1和圖3所示,正電極第一主體部91的側(cè)面垂直延伸出位于第二上半橋絕緣基板5上方的第五大臂51,第五大臂51左、右側(cè)均延伸出第五小臂53,左邊的第五小臂53連接第一正電極連接點(diǎn)45,右邊的第五小臂53連接第二正電極連接點(diǎn)55;如圖1和圖3所示,第二中間電極第一主體部101的側(cè)面垂直延伸出位于第二上半橋絕緣基板5上方的第六大臂52,第六大臂52左、右側(cè)均延伸出第六小臂54,左邊的第六小臂54連接第一上半橋中間電極連接點(diǎn)46,右邊的第六小臂54連接第二上半橋中間電極連接點(diǎn)56;如圖1和圖3所示,第五大臂51和第六大臂52平行正對(duì)設(shè)置于第二上半橋絕緣基板5上方,且第五大臂51位于第六大臂61上方。如圖1、圖2和圖3所示,正電極第二主體部92的側(cè)面垂直延伸出位于第三上半橋絕緣基板6上方的第七大臂61,第七大臂61右側(cè)延伸出第七小臂63,第七小臂63連接第三正電極連接點(diǎn)65;如圖1、圖2和圖3所示,第二中間電極第二主體部102的側(cè)面垂直延伸出位于第三上半橋絕緣基板6上方的第八大臂62,第八大臂62右側(cè)延伸出第八小臂64,第八小臂64連接第三上半橋中間電極連接點(diǎn)66;如圖2和圖3所示,第七大臂61和第八大臂62平行正對(duì)設(shè)置于第三上半橋絕緣基板6上方,且第七大臂61位于第八大臂62上方。其中,第一大臂21和第三大臂31統(tǒng)稱為負(fù)電極大臂,第一小臂23和第三小臂33統(tǒng)稱為負(fù)電極小臂,第二大臂22和第四大臂32統(tǒng)稱為第一中間電極大臂,第二小臂24和第四小臂34統(tǒng)稱為第一中間電極小臂,第五大臂51和第六大臂61統(tǒng)稱為正電極大臂,第五小臂53和第六小臂63統(tǒng)稱為正電極小臂,第六大臂52和第八大臂62統(tǒng)稱為第二中間電極大臂,第六小臂54和第八小臂64統(tǒng)稱為第二中間電極小臂。
[0054]第一大臂21、第三大臂31、第二大臂22和第四大臂32的引入帶來的好處是,能夠通過調(diào)節(jié)其中一個(gè)或多個(gè)大臂的寬度從而均衡負(fù)電極與第一中間電極形成的回路的電阻以及雜散電感,提高了功率模塊的動(dòng)靜態(tài)均流性能。并且,由于第一大臂21與第二大臂22、第三大臂31與第四大臂32均平行正對(duì)設(shè)置,這樣有效增加了第一大臂21與第二大臂22、第三大臂31與第四大臂32之間的正對(duì)面積,減小了負(fù)電極與第一中間電極之間的電流回路面積,減小了功率模塊的雜散電感和損耗。第五大臂51、第七大臂61、第六大臂52和第八大臂62的引入帶來的好處是,能夠通過調(diào)節(jié)其中一個(gè)或多個(gè)大臂的寬度從而均衡正電極與第二中間電極形成的回路的電阻以及雜散電感,提高了功率模塊的動(dòng)靜態(tài)均流性能。并且,由于第五大臂51與第六大臂52、第七大臂61與第八大臂62均平行正對(duì)設(shè)置,這樣有效增加了第五大臂51與第六大臂52、第七大臂61與第八大臂62之間的正對(duì)面積,減小了正電極與第二中間電極之間的電流回路面積,減小了功率模塊的雜散電感和損耗。
[0055]此外,下半橋絕緣基板上設(shè)有下半橋單元和下半橋續(xù)流單元,下半橋單元的發(fā)射極或源極連接負(fù)電極連接點(diǎn),下半橋單元導(dǎo)通時(shí),電流通過下半橋單元進(jìn)行流通,下半橋單元關(guān)斷時(shí),電流通過下半橋續(xù)流單元進(jìn)行流通;上半橋絕緣基板上設(shè)有上半橋單元和上半橋續(xù)流單元,上半橋單元的集電極或漏極連接正電極連接點(diǎn),上半橋單元導(dǎo)通時(shí),電流通過上半橋單元進(jìn)行流通,上半橋單元關(guān)斷時(shí),電流通過上半橋續(xù)流單元進(jìn)行流通。圖4中標(biāo)出了第一下半橋絕緣基板I上的下半橋單元和下半橋續(xù)流單元,也即第一下半橋單元17和第一下半橋續(xù)流單元18;還標(biāo)出了第一上半橋絕緣基板4上的上半橋單元和上半橋續(xù)流單元,也即第一上半橋單元47和第一上半橋續(xù)流單元48。
[0056]如圖4所示,所有下半橋單元共用一塊下半橋門極絕緣基板213,用于連接所有下半橋單元的門極;所有下半橋續(xù)流單元共用一塊下半橋續(xù)流門極絕緣基板321,用于連接所有下半橋續(xù)流單元的門極;每個(gè)下半橋絕緣基板上,下半橋中間電極連接點(diǎn)與下半橋續(xù)流門極絕緣基板321之間的距離小于負(fù)電極連接點(diǎn)與下半橋續(xù)流門極絕緣基板321之間的距離,負(fù)電極連接點(diǎn)與下半橋門極絕緣基板213之間的距離小于下半橋中間電極連接點(diǎn)與下半橋門極絕緣基板之間的距離。從而有效縮短了下半橋門極引線的長度,縮小了門極回路的面積,提高了功率模塊工作的可靠性。
[0057]如圖4所示,所有上半橋單元共用一塊上半橋門極絕緣基板546,用于連接所有上半橋單元的門極;所有上半橋續(xù)流單元共用一塊上半橋續(xù)流門極絕緣基板654,用于連接所有上半橋續(xù)流單元的門極;每個(gè)上半橋絕緣基板上,上半橋中間電極連接點(diǎn)與上半橋續(xù)流門極絕緣基板654之間的距離小于正電極連接點(diǎn)與上半橋續(xù)流門極絕緣基板654之間的距離,正電極連接點(diǎn)與上半橋門極絕緣基板546之間的距離小于上半橋中間電極連接點(diǎn)與上半橋門極絕緣基板546之間的距離。從而有效縮短了上半橋門極引線的長度,縮小了門極回路的面積,提高了功率模塊工作的可靠性。
[0058]此外,功率模塊中還可以不設(shè)任何大臂和小臂,也可以設(shè)置第一大臂21和第一小臂23、第二大臂22和第二小臂24、第三大臂31和第三小臂33、第四大臂32和第四小臂34、第五大臂51和第五小臂53、第六大臂52和第六小臂54、第七大臂61和第七小臂63,以及第八大臂62和第八小臂64這些組合大臂-小臂組合中的一種或者多種。
[0059]實(shí)施例4:
[0060]實(shí)施例4是在實(shí)施例3的基礎(chǔ)上引入絕緣隔板構(gòu)成的功率模塊,與實(shí)施例3相同的部分就不再贅述,這里僅介紹在實(shí)施例3的基礎(chǔ)上增加的部分。
[0061]為了防止絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí),任意兩個(gè)電極導(dǎo)通而導(dǎo)致電極拉弧和功率模塊燃燒等危險(xiǎn)狀況,在第二大臂22、第四大臂32、第六大臂52和第八大臂62下方設(shè)有一塊絕緣隔板11,如圖5所示,絕緣隔板11位于絕緣基板上方,由第一下半橋絕緣基板I延伸至第三上半橋絕緣基板6。第一大臂21、第二大臂22和絕緣隔板11上分別設(shè)有第一固定孔211、第二固定孔(圖5中未示出)和絕緣隔板第一固定孔(圖5中未示出),第一固定柱212由第二下半橋絕緣基板2向上延伸并順次從絕緣隔板第一固定孔、第一固定孔211和第二固定孔中穿過,將絕緣隔板11與第一大臂21以及第二大臂22固定在一起,提高了功率模塊的機(jī)械穩(wěn)定性。第三大臂31、第四大臂32和絕緣隔板11上分別設(shè)有第三固定孔311、第四固定孔(圖5中未示出)和絕緣隔板第二固定孔(圖5中未示出),第二固定柱312由第三下半橋絕緣基板3向上延伸并順次從絕緣隔板第二固定孔、第三固定孔311和第四固定孔中穿過,將絕緣隔板11與第三大臂31以及第四大臂32固定在一起,提高了功率模塊的機(jī)械穩(wěn)定性。第五大臂51、第六大臂52和絕緣隔板11上分別設(shè)有第五固定孔(圖5中未示出)、第六固定孔(圖5中未示出)和絕緣隔板第三固定孔(圖5中未示出),第三固定柱(圖5中未示出)由第一上半橋絕緣基板4向上延伸并順次從絕緣隔板第三固定孔、第五固定孔和第六固定孔中穿過,將絕緣隔板11與第五大臂51以及第六大臂52固定在一起,提高了功率模塊的機(jī)械穩(wěn)定性。第七大臂61、第八大臂62和絕緣隔板11上分別設(shè)有第七固定孔611、第八固定孔(圖5中未示出)和絕緣隔板第四固定孔(圖5中未示出),第四固定柱612由第二上半橋絕緣基板5向上延伸并順次從絕緣隔板第四固定孔、第七固定孔611和第八固定孔中穿過,將絕緣隔板11與第七大臂61以及第八大臂62固定在一起,提高了功率模塊的機(jī)械穩(wěn)定性。此外,絕緣隔板11上還設(shè)有供第一小臂23和第二小臂24穿過的第一孔111、供第三小臂33和第四小臂34穿過的第二孔113、供第五小臂53和第六小臂54穿過的第三孔(圖5中未示出)以及供第七小臂63和第八小臂64穿過的第四孔(圖5中未示出)。絕緣隔板11的設(shè)置能夠有效地將爆炸產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與所有電極隔開,提高了功率模塊使用的安全性。
[0062]此外,絕緣隔板11上還可以不設(shè)有固定孔,第一固定柱212、第二固定柱312、第三固定柱和第四固定柱612均固定在絕緣隔板11上。
[0063]如圖5所示,第一小臂23包括由第一大臂21共面引出的第一小臂第一部231以及由第一小臂第一部231朝絕緣基板方向彎折引出的第一小臂第二部232;如圖5所示,第二小臂24包括由第二大臂22共面引出的第二小臂第一部221以及由第二小臂第一部221朝絕緣基板方向彎折引出的第二小臂第二部222;第三小臂33包括由第三大臂31共面引出的第三小臂第一部(圖5中未示出)以及由第三小臂第一部朝絕緣基板方向彎折引出的第三小臂第二部(圖5中未示出);第四小臂34包括由第四大臂32共面引出的第四小臂第一部(圖5中未示出)以及由第四小臂第一部朝絕緣基板方向彎折出的第四小臂第二部(圖5中未示出);第五小臂53包括由第五大臂51共面引出的第五小臂第一部(圖5中未示出)以及由第五小臂第一部朝絕緣基板方向彎折引出的第五小臂第二部(圖5中未示出);第六小臂54包括由第六大臂52共面引出的第六小臂第一部(圖5中未示出)以及由第六小臂第一部朝絕緣基板方向彎折引出的第六小臂第二部(圖5中未示出);第七小臂63包括由第七大臂61共面引出的第七小臂第一部(圖5中未示出)以及由第七小臂第一部朝絕緣基板方向彎折引出的第七小臂第二部(圖5中未示出);第八小臂64包括由第八大臂62共面引出的第八小臂第一部(圖5中未示出)以及由第八小臂第一部朝絕緣基板方向彎折引出的第八小臂第二部(圖5中未示出)。
[0064]為了進(jìn)一步將絕緣基板上的芯片發(fā)生爆炸時(shí)產(chǎn)生的導(dǎo)電性氣體與各個(gè)小臂隔開,提高功率模塊使用的安全性,第一孔111朝絕緣基板方向延伸出包圍第一小臂第二部232和第二小臂第二部222的第一框112,如圖5中的局部放大圖所示;第二孔113朝絕緣基板方向延伸出包圍第三小臂第二部和第四小臂第二部的第二框(圖5中未示出);第三孔朝絕緣基板方向延伸出包圍第五小臂第二部和第六小臂第二部的第三框(圖5中未示出);第四孔朝絕緣基板方向延伸出包圍第七小臂第二部和第八小臂第二部的第四框(圖5中未示出)。
[0065]此外,絕緣隔板11的設(shè)置還可以有以下幾種情況:第一種是,絕緣隔板11單獨(dú)設(shè)置在某一個(gè)大臂與絕緣基板之間;第二種是,絕緣隔板11分別設(shè)置在某幾個(gè)大臂與絕緣基板之間;第三種是,絕緣隔板11分別設(shè)置在負(fù)電極與絕緣基板之間、第一中間電極與絕緣基板之間、正電極與絕緣基板之間和第二中間電極與絕緣基板之間;第四種是,絕緣隔板11設(shè)置在負(fù)電極與絕緣基板之間、第一中間電極與絕緣基板之間、正電極與絕緣基板之間以及第二中間電極與絕緣基板之間中的一個(gè)位置處;第五種是,絕緣隔板11設(shè)置在負(fù)電極與絕緣基板之間、第一中間電極與絕緣基板之間、正電極與絕緣基板之間以及第二中間電極與絕緣基板之間中的多個(gè)位置處。
[0066]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出:對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種組合式電極,包括負(fù)電極、第一中間電極、正電極和第二中間電極,負(fù)電極包括負(fù)電極主體部(71)和負(fù)電極連接部(72),第一中間電極包括第一中間電極主體部(81)和與負(fù)電極連接部(72)平行正對(duì)的第一中間電極連接部(82),正電極包括正電極主體部和正電極連接部(93),第二中間電極包括第二中間電極主體部和與正電極連接部(93)平行正對(duì)的第二中間電極連接部(103),其特征在于:負(fù)電極連接部(72)側(cè)端呈角度延伸出負(fù)電極主體部(71),負(fù)電極連接部(72)頂部彎折出負(fù)電極引出部(73);第一中間電極連接部(82)側(cè)端呈角度延伸出與負(fù)電極主體部(71)平行正對(duì)的第一中間電極主體部(81),第一中間電極連接部(82)頂部彎折出第一中間電極引出部(83);正電極連接部(93)側(cè)端呈角度延伸出正電極主體部,正電極連接部(93)頂部彎折出正電極引出部(94);第二中間電極連接部(103)側(cè)端呈角度延伸出與正電極主體部平行正對(duì)的第二中間電極主體部,第二中間電極連接部(103)頂部彎折出第二中間電極引出部(104);負(fù)電極主體部(71)與第一中間電極主體部(81)之間、負(fù)電極連接部(72)與第一中間電極連接部(82)之間、正電極主體部與第二中間電極主體部之間,以及正電極連接部(93)與第二中間電極連接部(103)之間均設(shè)有絕緣層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合式電極,其特征在于:所述負(fù)電極引出部(73)與第一中間電極引出部(83)相背設(shè)置,正電極引出部(94)與第二中間電極引出部(104)相背設(shè)置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的組合式電極,其特征在于:所述負(fù)電極引出部(73)的彎折方向與負(fù)電極主體部(71)的延伸方向一致。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的組合式電極,其特征在于:所述正電極主體部包括由正電極連接部(93)兩側(cè)端向相反方向延伸的正電極第一主體部(91)和正電極第二主體部(92),正電極引出部(94)的彎折方向與正電極第一主體部(91)的延伸方向一致。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的組合式電極,其特征在于:所述第二中間電極主體部包括由第二中間電極連接部(103)兩側(cè)端向相反方向延伸的第二中間電極第一主體部(101)和第二中間電極第二主體部(102 ),第二中間電極引出部(104)的彎折方向與第二中間電極第一主體部(101)的延伸方向相反。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的組合式電極,其特征在于:第二中間電極第一主體部(101)與第一中間電極連接部(82)側(cè)端相連。7.—種三電平大功率模塊,其特征在于:采用如權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的組合式電極。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三電平大功率模塊,其特征在于:還包括絕緣基板,絕緣基板包括下半橋絕緣基板和上半橋絕緣基板,下半橋絕緣基板上設(shè)有負(fù)電極連接點(diǎn)和第一中間電極連接點(diǎn),負(fù)電極主體部(71)連接負(fù)電極連接點(diǎn),第一中間電極主體部(81)連接第一中間電極連接點(diǎn),上半橋絕緣基板上設(shè)有正電極連接點(diǎn)和第二中間電極連接點(diǎn),正電極主體部連接正電極連接點(diǎn),第二中間電極主體部連接第二中間電極連接點(diǎn)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所有負(fù)電極連接點(diǎn)、第一中間電極連接點(diǎn)、正電極連接點(diǎn)和第二中間電極連接點(diǎn)呈矩陣排列。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述負(fù)電極、第一中間電極、正電極和第二中間電極中的任意一種電極或多種電極與絕緣基板之間設(shè)有絕緣隔板。11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述負(fù)電極主體部(71)連有位于下半橋絕緣基板上方的負(fù)電極大臂,負(fù)電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出負(fù)電極小臂,負(fù)電極小臂連接負(fù)電極連接點(diǎn)。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述負(fù)電極大臂與絕緣基板之間設(shè)有絕緣隔板,絕緣隔板上設(shè)有供負(fù)電極小臂穿過的孔。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述負(fù)電極小臂包括由負(fù)電極大臂共面引出的負(fù)電極小臂第一部以及由負(fù)電極小臂第一部彎折引出的負(fù)電極小臂第二部,負(fù)電極小臂第二部連接負(fù)電極連接點(diǎn),所述絕緣隔板上的孔朝絕緣基板方向延伸出包圍負(fù)電極小臂第二部的框。14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述第一中間電極主體部(81)連有位于下半橋絕緣基板上方的第一中間電極大臂,第一中間電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出第一中間電極小臂,第一中間電極小臂連接第一中間電極連接點(diǎn)。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述第一中間電極大臂與絕緣基板之間設(shè)有絕緣隔板,絕緣隔板上設(shè)有供第一中間電極小臂穿過的孔。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述第一中間電極小臂包括由第一中間電極大臂共面引出的第一中間電極小臂第一部以及由第一中間電極小臂第一部彎折引出的第一中間電極小臂第二部,第一中間電極小臂第二部連接第一中間電極連接點(diǎn),所述絕緣隔板上的孔朝絕緣基板方向延伸出包圍第一中間電極小臂第二部的框。17.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述負(fù)電極主體部(71)連有位于下半橋絕緣基板上方的負(fù)電極大臂,負(fù)電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出負(fù)電極小臂,負(fù)電極小臂連接負(fù)電極連接點(diǎn);第一中間電極主體部(81)連有位于下半橋絕緣基板上方的第一中間電極大臂,第一中間電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出第一中間電極小臂,第一中間電極小臂連接第一中間電極連接點(diǎn);負(fù)電極大臂與第一中間電極大臂平行且正對(duì),兩者之間設(shè)有絕緣層。18.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述正電極主體部連有位于上半橋絕緣基板上方的正電極大臂,正電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出正電極小臂,正電極小臂連接正電極連接點(diǎn)。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述正電極大臂與絕緣基板之間設(shè)有絕緣隔板,絕緣隔板上設(shè)有供正電極小臂穿過的孔。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述正電極小臂包括由正電極大臂共面引出的正電極小臂第一部以及由正電極小臂第一部彎折引出的正電極小臂第二部,正電極小臂第二部連接正電極連接點(diǎn),所述絕緣隔板上的孔朝絕緣基板方向延伸出包圍正電極小臂第二部的框。21.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述第二中間電極主體部連有位于上半橋絕緣基板上方的第二中間電極大臂,第二中間電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出第二中間電極小臂,第二中間電極小臂連接第二中間電極連接點(diǎn)。22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述第二中間電極大臂與絕緣基板之間設(shè)有絕緣隔板,絕緣隔板上設(shè)有供第二中間電極小臂穿過的孔。23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的三電平大功率模塊,其特征在于:所述第二中間電極小臂包括由第二中間電極大臂共面引出的第二中間電極小臂第一部以及由第二中間電極小臂第一部彎折引出的第二中間電極小臂第二部,第二中間電極小臂第二部連接第二中間電極連接點(diǎn),所述絕緣隔板上的孔朝絕緣基板方向延伸出包圍第二中間電極小臂第二部的框。24.根據(jù)權(quán)利要求8所述的組合式電極的三電平大功率模塊,其特征在于:所述正電極主體部連有位于上半橋絕緣基板上方的正電極大臂,正電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出正電極小臂,正電極小臂連接正電極連接點(diǎn);第二中間電極主體部連有位于上半橋絕緣基板上方的第二中間電極大臂,第二中間電極大臂左側(cè)和/或右側(cè)引出第二中間電極小臂,第二中間電極小臂連接第二中間電極連接點(diǎn);正電極大臂與第二中間電極大臂平行且正對(duì),兩者之間設(shè)有絕緣層。
【文檔編號(hào)】H01L23/48GK205723513SQ201620387816
【公開日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年5月3日
【發(fā)明人】徐文輝, 王玉林, 滕鶴松
【申請(qǐng)人】揚(yáng)州國揚(yáng)電子有限公司
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