專利名稱:一種具有斜面的多子結(jié)化合物光伏電池的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種具有斜面的多子結(jié)化合物光伏電池，具體為具有斜面的InAlAsP/InGaAs/Ge三子結(jié)化合物光伏電池；本三子結(jié)化合物光伏電池具有連續(xù)的二階凸起結(jié)構(gòu)，包括具有斜面的第一階凸起和包括斜面的第二階凸起，第一階凸起和第二階凸起的斜面傾角為45-60度，若采用正裝生長本電池，則第一階凸起的斜面傾角要大于第一階凸起的斜面傾角；若采用倒裝生長本電池，則第一階凸起的斜面傾角要小于第一階凸起的斜面傾角，本三子結(jié)Ⅲ-Ⅴ族化合物光伏電池對(duì)自然光線具有有效的限域作用并且能夠提高制備質(zhì)量。
【專利說明】一種具有斜面的多子結(jié)化合物光伏電池

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種化合物光伏電池，優(yōu)其涉及一種具有斜面的多子結(jié)化合物光伏電池。

【背景技術(shù)】
[0002]II1- V族化合物光伏電池最先使用于太空領(lǐng)域，但隨著技朮的進(jìn)步，II1- V族化合物光伏電池也越來越多的運(yùn)用到非太空領(lǐng)域。與硅光伏電池相比，II1-V族化合物光伏電池具有更大的能量轉(zhuǎn)換效率，通過先進(jìn)工藝制造出的II1- V族化合物光伏電池其光電轉(zhuǎn)換成效率可超過25%，而硅光伏電池不會(huì)超過20%。相比于硅光伏電池，II1- V族化合物光伏電池可通過使用多個(gè)具有不同帶隙能的子電池來實(shí)現(xiàn)多太陽輻射的最大化轉(zhuǎn)換。
[0003]對(duì)于II1- V族化合物光伏電池而言，GalnP/GaAs/Ge是一種最典型最成熟的II1- V族化合物光伏電池，其光電流密度已經(jīng)能夠達(dá)到25mA/cm2，然而現(xiàn)有的II1- V族化合物光伏電池對(duì)自然太陽光的光譜吸收還不充分，并且多是以垂直、多結(jié)的形成逐層外延到半導(dǎo)體襯底上的，往往不能像硅光伏電池那樣形成對(duì)光線具有限域作用的植絨表面，現(xiàn)有的II1- V族化合物光伏電池有待得到進(jìn)一步的提升。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]為了彌補(bǔ)現(xiàn)有II1- V族化合物光伏電池的不足，進(jìn)一步提高對(duì)光線的利用率，本實(shí)用新型提供一種InAlAsP/IGaAs/Ge三結(jié)化合物光伏電池，該InAlAsP/InGaAs/Ge三結(jié)結(jié)構(gòu)能夠有效地提高光伏電池的轉(zhuǎn)換效率，同時(shí)該InAlAsP/IGaAs/Ge三子結(jié)化合物光伏電池還具有對(duì)光線具有限域作用的二階凸起結(jié)構(gòu)，該二階的凸起結(jié)構(gòu)經(jīng)過優(yōu)化后的斜面能夠有效地提高光接觸面積，能夠?qū)饩€產(chǎn)生高效地限域作用并且提高制備質(zhì)量。
[0005]本實(shí)用新型提供的多子結(jié)II1- V族化合物光伏電池，包括Ge襯底；Ge子電池，位于Ge襯底上；InGaAs子電池，位于Ge子電池上；InAlAsP子電池，位于InGaAs子電池上；在所述Ge襯底與Ge子電池之間包括η++ Ge接觸層以及η++ Ge接觸層之上的背場(chǎng)層；在InAlAsP子電池上為窗口層，窗口層上為ρ++接觸層；Ge子電池與InGaAs子電池，InGaAs子電池與InAlAsP子電池之前具有晶格匹配的n++/p++遂穿二極管。
[0006]所述多子結(jié)化合物光伏電池具有傾斜的斜面；所述光伏電池上部光照面形狀為連續(xù)的二階凸起結(jié)構(gòu)，每一個(gè)二階凸起結(jié)構(gòu)具有第一階凸起和第二階凸起，其中第二階凸起從第一階凸起的上表面向上凸起；第一階凸起和第二階凸起具有傾斜的斜面為，并且該斜面的傾角為48-65度；Ge子電池在遠(yuǎn)離襯底的方向上依次包括η Ge基區(qū)，ρ+ Ge發(fā)射區(qū)，并具有0.66ev左右的帶隙；所述InGaAs子電池在遠(yuǎn)離襯底方向上依次包括n InGaAs基區(qū)，P+ InGaAs發(fā)射區(qū)，并具有1.40ev左右的帶隙；所訴InAlAsP子電池在遠(yuǎn)離襯底方向上依次包括n InAlAsP基區(qū)，p+ InAlAsP發(fā)射區(qū)，并具有1.90ev左右的帶隙。
[0007]進(jìn)一步地,從第二階凸起的頂面到Ge襯底的底面厚度為300?400um,第一階凸起的頂部到第一階凸起底面的厚度為50~80um ;并且第二階凸起的頂部到第一階凸起的頂部的厚度至少大于第一階凸起的頂部到第一階凸起底面的厚度的兩倍；每兩個(gè)二階凸起結(jié)構(gòu)之間的間隔小于第一階凸起的頂部到第一階凸起底面的厚度。
[0008]進(jìn)一步地，所述晶格匹配的n++/p++隧穿二極管為異質(zhì)結(jié)隧穿二極管。
[0009]進(jìn)一步地,所述晶格匹配的n++/p++隧穿二極管為n++ InGaP/p++ InGaAsP異質(zhì)結(jié)隧穿二極管；其總厚度為30-45納米。
[0010]進(jìn)一步地,所述晶格匹配的n++/p++隧穿二極管為n++ InGaP/p++ InGaAsP異質(zhì)結(jié)隧穿二極管；其總厚度為30-45納米。
[0011]進(jìn)一步地，若采用正裝生長本電池，則第一階凸起(b)的側(cè)面傾角要大于第一階凸起(b)的側(cè)面傾角；若采用倒裝生長本電池，則第一階凸起(b)的側(cè)面傾角要小于第一階凸起(b)的側(cè)面傾角。

【附圖說明】

[0012]圖1為根據(jù)本實(shí)用新型的三子結(jié)化合物光伏電池的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2為圖1中A區(qū)域的放大圖，即本實(shí)用新型光伏電池各子結(jié)材料層示意圖；
[0014]圖3為本實(shí)用新型光伏電池的比較例，具有垂直結(jié)構(gòu)的凸起。

【具體實(shí)施方式】
[0015]以下將結(jié)合最佳實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明，本實(shí)用新型的有益效果將在詳細(xì)地描述中變得清晰。
[0016]參見圖1-3，圖1為本實(shí)用新型三子結(jié)光伏電池的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為圖1中A區(qū)域的放大圖，其顯示了本實(shí)用新型光伏電池的細(xì)節(jié)；本實(shí)用新型的一個(gè)方面，參見圖2本實(shí)用新型的化合物光伏電池具有多子結(jié)的InAlAsP/InGaAs/Ge結(jié)構(gòu)，其中InAlAsP子電池(300)的帶隙在1.9ev左右，InGaAs子電池(200)的帶隙在1.40ev左右，Ge子電池(100)的帶隙為0.66ev左右，本實(shí)用新型的三結(jié)光伏電池具有的帶隙的優(yōu)化結(jié)構(gòu)能夠匹配自然太陽光譜的波長結(jié)構(gòu)，充分利用光伏的各波長段的光子能量，從整體上優(yōu)化對(duì)太陽光譜的吸收，提高電池效率。并且，參見圖1，本實(shí)用新型的化合物光伏電池上部光照面形狀為連續(xù)的二階凸起結(jié)構(gòu)(a, b),每一個(gè)二階凸起結(jié)構(gòu)(a, b)具有第一階凸起(b)和第二階凸起(a),其中第二階凸起(a)從第一階凸起(b)的上表面向上凸起。具體來說，本實(shí)用新型的化合物光伏電池包括具有連續(xù)的二階凸起結(jié)構(gòu)(a, b)的Ge襯底(001),其中每一個(gè)二階凸起結(jié)構(gòu)(a, b)包括第一階凸起(b)和第二階凸起(a)，其中第二階凸起(a)從第一階凸起(b)的上表面向上凸起。位于Ge襯底(001)上依次為Ge子電池(100)、InGaAs子電池(200)、InAlAsP子電池(300)以形成1.90ev/l.40ev/0.66ev能帶結(jié)構(gòu)的三結(jié)電池。其中各子電池的帶隙在遠(yuǎn)離襯底的方向上逐步增大，這十分有利于光電流密度的提高，其中Ge子電池(100)具有0.66ev左右的帶隙并在遠(yuǎn)離襯底的方向上依次為η Ge基區(qū)(101)、ρ+ Ge發(fā)射區(qū)(102)，ηGe基區(qū)(101)厚度優(yōu)選為2.5微米，ρ+ Ge發(fā)射區(qū)(102)厚度優(yōu)選為80-100納米；InGaAs子電池(200)具有1.40ev左右的帶隙，并在遠(yuǎn)離襯底的方向上依次為n InGaAs基區(qū)(201)、P+ InGaAs發(fā)射區(qū)(202)，n InGaAs基區(qū)(201)的厚度優(yōu)選為2.2微米，p+ InGaAs發(fā)射區(qū)(202)的厚度優(yōu)選為80-100納米；InAlAsP子電池(300)具有1.90ev左右的帶隙，并在遠(yuǎn)離襯底的方向上依次為n InAlAsP基區(qū)(301)、ρ+ InAlAsp發(fā)射區(qū)(302)，n InAlAsP基區(qū)(301)的厚度優(yōu)選為1.8-2.0微米，p+ InAlAsp發(fā)射區(qū)(302)的厚度優(yōu)選為80-100納米。在Ge襯底(001)與η Ge基區(qū)(101)之間還包括η++ Ge接觸層(002)和背場(chǎng)層(003);在InAlAsP子電池(300)上為窗口層(006)，窗口層(006)上為ρ++接觸層(007)，本實(shí)用新型中對(duì)于各子電池基區(qū)厚度的優(yōu)化為能隙大的靠近光照面的子電池小于能隙小的遠(yuǎn)離光照面的子電池；具體而言，就是n InAlAsP基區(qū)(301)的厚度小于n InGaAs基區(qū)(201)的厚度、n InGaAs基區(qū)(201)的厚度小于η Ge基區(qū)(101)的厚度，這樣有利于對(duì)自然光伏光譜的最大化利用。
[0017]在各子電池層之間具有晶格匹配的η++/ρ++隧穿二極管(004，005);在本InAlAsP/InGaAs/Ge能帶體系的多結(jié)光伏電池中，晶格匹配的n++/p++隧穿二極管需要選用異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)，這有利于提供高的結(jié)間勢(shì)壘，特別是InAlAsP與InGaAs子電池之間的隧穿二極管(005 )，在我們的實(shí)驗(yàn)中觀察到這對(duì)光線通過上層的InAlAsP子電池(300 )以及減少結(jié)間少子擴(kuò)散起到有利的作用，在實(shí)驗(yàn)中我們使用了 n++ InGaP/p++ InGaAsP異質(zhì)結(jié)隧穿二極管，這在最大程度上提高了電池的光電流效率，當(dāng)然至于外延生長的多結(jié)II1- V族光伏電池,隧穿二極管的厚度是十分重要和敏感的，當(dāng)選擇n++ InGaP/p++ InGaAsP異質(zhì)結(jié)隧穿二極管作為本體系多結(jié)光伏電池InAlAsP與InGaAs子電池之間的隧穿二極管(005)時(shí)，實(shí)驗(yàn)優(yōu)化的n++ InGaP/p++ InGaAsP異質(zhì)結(jié)隧穿二極管(005)的總厚度為30-45納米。
[0018]接下來將重點(diǎn)介紹本實(shí)用新型InAlAsP/InGaAs/Ge三結(jié)光伏電池的二階凸起結(jié)構(gòu)。首先本實(shí)用新型InAlAsP/InGaAs/Ge三結(jié)光伏電池的二階凸起結(jié)構(gòu)(a，b)是建立在二階凸起結(jié)構(gòu)的Ge襯底上的，各子電池及其他功能層依次覆蓋于該Ge襯底上。
[0019]特別要注意的是本實(shí)用新型的二階凸起結(jié)構(gòu)中的第一階凸起(b)以及第二階凸起Ca)的側(cè)面為斜面B，A ;這樣設(shè)置的目的是由于:
[0020]如圖3那樣的二階凸起結(jié)構(gòu)的第一階凸起(bl)以及第二階凸起(al)基本上是垂直的，這樣能夠最大化的對(duì)照射到電池表面的太陽光形成限域作用，例如入射光線以一定角度照射到光伏電池表面時(shí)，首先在第二階凸起結(jié)構(gòu)(al)的表面被電池吸收一部分，未被吸收的照射到第二凸起結(jié)構(gòu)(al)側(cè)面的一部分反射到第一階凸塊(bl)的表面并被第一階凸塊(bl)吸收，而未被第一階凸塊結(jié)構(gòu)(bl)表面吸收的光線一部分又會(huì)反射到二階凸塊結(jié)構(gòu)(al)之間的電池表面上。如此這般，使得原本只能對(duì)照射到電池上表面的光線進(jìn)行利用，通過二階凸起結(jié)構(gòu)不緊能能利用照射到上表面的光線，還能夠通過側(cè)面的反射多利用照射到側(cè)邊的光線，這部分光線就是增加的額外光線，某種程度上，該結(jié)構(gòu)把光線進(jìn)行了體系化的利用，因此對(duì)太陽入射光線能夠達(dá)到最大化的利用。更值得注意的是，從二階凸塊結(jié)構(gòu)之間的電池表面反射出來的光線又會(huì)射向第一階凸塊結(jié)構(gòu)的表面和/或第二階凸塊結(jié)構(gòu)的表面，如此光伏光線被最大化地限域在具有二階凸塊結(jié)構(gòu)的光伏電池的表面，電池對(duì)太陽光線的利用得到極大提高。
[0021]從上述的分析可知，具有垂直側(cè)面的凸起結(jié)構(gòu)對(duì)太陽光的利用是最優(yōu)化的，然而，在形成實(shí)用化的電池過程中，是通過外延技術(shù)形成的，外延技術(shù)對(duì)垂直側(cè)面的沉積往往是不理想的，例如對(duì)于外延各電池的活性層時(shí)，會(huì)在折角處C形成應(yīng)力集中，這會(huì)嚴(yán)重影響電池整體的性能；同時(shí)，在垂直側(cè)面的外延時(shí)經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)厚度不均，甚至局部未沉積的現(xiàn)象，這也是影響電池性能的制約因數(shù)，外延技術(shù)對(duì)平坦的表面具有良好的沉積質(zhì)量。
[0022]基于上述的考慮，設(shè)置本實(shí)用新型的二階凸起結(jié)構(gòu)中的第一階凸起(b)以及第二階凸起(a)的側(cè)面為斜面B，A;該斜面的傾角，即斜面與水平面之間的夾角為48-65度，如此的傾角設(shè)置是平衡光線利用率與外延沉積質(zhì)量之間的關(guān)系，使得有利因數(shù)與制約因數(shù)之間的平衡以取得最佳的效果；進(jìn)一步地，第一階凸起(b)的側(cè)面傾角與第二階凸起(b)的側(cè)面傾角可以不同，更具體的若采用正裝生長本電池，則第一階凸起(b)的側(cè)面傾角要大于第一階凸起(b)的側(cè)面傾角；若采用倒裝生長本電池，則第一階凸起(b)的側(cè)面傾角要小于第一階凸起(b)的側(cè)面傾角，這是由于外延沉積對(duì)距離越遠(yuǎn)的斜面沉積質(zhì)量會(huì)越低。
[0023]對(duì)于該二階凸起結(jié)構(gòu)的其他參數(shù)的設(shè)置如下:從第二階凸起(b)的頂面到Ge襯底的底面厚度dl約為300-400um，第一階凸起(b)的頂部到第一階凸起(b)的底面d2優(yōu)選為50~80um,即第一階凸起(b)的高度d2為50?80um ;第二階凸起(a)的頂部到第一階凸起Ca)的頂部之間的厚度d3至少大于第一階凸起(b)的高度d2的兩倍，優(yōu)選為150~200um，即第二階凸起(a)的高度d3優(yōu)選為150~200um ;每兩個(gè)二階凸起結(jié)構(gòu)之間的間隔小于第一階凸起(b)的高度；每個(gè)二階凸起結(jié)構(gòu)的寬度優(yōu)選為150~200um。通過上述參數(shù)能夠更優(yōu)化限領(lǐng)作用，如果第二階凸起的高度小于第一階凸起的高度或是二階凸起結(jié)構(gòu)之間的間隔太大都不會(huì)對(duì)太陽光線起到限域作用或是會(huì)極大消弱限域作用。
[0024]通過上述具體實(shí)施例的描述，已經(jīng)很全面地揭示了本實(shí)用新型的構(gòu)思，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)能夠了解本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)之處；對(duì)于本申請(qǐng)的理解不應(yīng)當(dāng)限制在上述實(shí)施例中，與本實(shí)用新型精神一致的明顯變形的實(shí)施方式也應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型的構(gòu)思。
【權(quán)利要求】
1.一種具有斜面的多子結(jié)化合物光伏電池，包括Ge子電池、InGaAs子電池、InAlAsP子電池，其特征在于所述多子結(jié)化合物光伏電池具有傾斜的斜面。2.如權(quán)利要求1所述的具有斜面的多子結(jié)化合物光伏電池，該多子結(jié)化合物光伏電池具體包括:Ge襯底；Ge子電池,位于Ge襯底上；InGaAs子電池,位于Ge子電池上；InAlAsP子電池，位于InGaAs子電池上；在所述Ge襯底與Ge子電池之間包括n++Ge接觸層以及n++Ge接觸層之上的背場(chǎng)層；在InAlAsP子電池上為窗口層，窗口層上為p++接觸層；Ge子電池與InGaAs子電池，InGaAs子電池與InAlAsP子電池之前具有晶格匹配的n++/p++遂穿二極管。3.如權(quán)利要求1或2任一項(xiàng)所述的具有斜面的多子結(jié)化合物光伏電池，所述光伏電池上部光照面形狀為連續(xù)的二階凸起結(jié)構(gòu)，每一個(gè)二階凸起結(jié)構(gòu)具有第一階凸起和第二階凸起，其中第二階凸起從第一階凸起的上表面向上凸起。4.如權(quán)利要求3所述的具有斜面的多子結(jié)化合物光伏電池，所述傾斜的斜面為第一階凸起和第二階凸起的斜面，并且該斜面的傾角為48-65度。5.如權(quán)利要求2或4任一項(xiàng)所述的具有斜面的多子結(jié)化合物光伏電池，所述Ge子電池在遠(yuǎn)離襯底的方向上依次包括η Ge基區(qū)，p+Ge發(fā)射區(qū)，并具有0.66ev左右的帶隙；所述InGaAs子電池在遠(yuǎn)離襯底方向上依次包括n InGaAs基區(qū),p+InGaAs發(fā)射區(qū)，并具有1.40ev左右的帶隙；所訴InAlAsP子電池在遠(yuǎn)離襯底方向上依次包括n InAlAsP基區(qū)，p+InAlAsP發(fā)射區(qū)，并具有1.90ev左右的帶隙。6.如權(quán)利要求4所述的光伏具有斜面的多子結(jié)化合物光伏電池，從第二階凸起的頂面到Ge襯底的底面厚度為300?400um，第一階凸起的頂部到第一階凸起底面的厚度為50?SOum ;并且第二階凸起的頂部到第一階凸起的頂部的厚度至少大于第一階凸起的頂部到第一階凸起底面的厚度的兩倍；每兩個(gè)二階凸起結(jié)構(gòu)之間的間隔小于第一階凸起的頂部到第一階凸起底面的厚度。7.如權(quán)利要求2所述的具有斜面的多子結(jié)化合物光伏光伏電池，所述晶格匹配的η++/P++隧穿二極管為異質(zhì)結(jié)隧穿二極管。8.如權(quán)利要求7所述的具有斜面的多子結(jié)化合物光伏光伏電池，所述晶格匹配的η++/P++隧穿二極管為n++InGaP/p++InGaAsP異質(zhì)結(jié)隧穿二極管；其總厚度為30-45納米。
【文檔編號(hào)】H01L31-0725GK204289475SQ201420586089
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