專(zhuān)利名稱(chēng)：電解電容器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電解電容器及其制造方法。所述電容器中的介電層通過(guò)陽(yáng)極氧化陽(yáng)極而在陽(yáng)極表面上形成。具體而言，本發(fā)明涉及的電解電容器的特征在于，通過(guò)陽(yáng)極氧化鈦或鈦合金的陽(yáng)極，容易進(jìn)行陽(yáng)極氧化，在陽(yáng)極表面上形成介電層。
背景技術(shù)：
近來(lái)，電子設(shè)備的最小化已帶來(lái)對(duì)大容量的小型電容器的需求。一直在研究通過(guò)陽(yáng)極氧化在陽(yáng)極表面上的陽(yáng)極來(lái)形成介電層的電解電容器作為這樣的電容器。
已知使用鉭或鈮作為陽(yáng)極的電容器是這樣的電容器。然而，這樣的電容器存在的問(wèn)題是鉭或鈮價(jià)格高導(dǎo)致的高成本。對(duì)獲得大容量的小型電容器還存在限制，因?yàn)橥ㄟ^(guò)陽(yáng)極氧化鉭或鈮的陽(yáng)極形成的介電層的介電常數(shù)并不總是較高。
所以，近年來(lái)，如在JP-A-5-1212757揭示的，提出一種使用鈦?zhàn)鳛殛?yáng)極并通過(guò)陽(yáng)極氧化陽(yáng)極形成氧化鈦介電層的電解電容器。
與通過(guò)陽(yáng)極化使用鉭或鈮的陽(yáng)極所形成的介電層相比，通過(guò)陽(yáng)極氧化使用鈦的陽(yáng)極而形成的氧化鈦介電層的介電常數(shù)明顯高。結(jié)果，可能獲得大容量的小型電容器。
然而，當(dāng)所述使用鈦的陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化時(shí)，需要很長(zhǎng)時(shí)間來(lái)形成氧化鈦介電層。原因是陽(yáng)極氧化過(guò)程中氧化鈦結(jié)晶且電絕緣性下降，使陽(yáng)極氧化速度下降。
發(fā)明概述本發(fā)明的目的是提供一種包括鈦或鈦合金的陽(yáng)極以及通過(guò)陽(yáng)極氧化陽(yáng)極在陽(yáng)極表面上形成的高介電常數(shù)的介電層的電解電容器。所述電容器中，由于抑制了介電層在陽(yáng)極氧化時(shí)結(jié)晶引起的電絕緣性下降，能在短時(shí)間內(nèi)容易地進(jìn)行陽(yáng)極氧化。結(jié)果，容易地提供大容量電容器成為可能。
根據(jù)本發(fā)明，電解電容器包括摻雜氮的鈦或鈦合金的陽(yáng)極以及通過(guò)陽(yáng)極氧化陽(yáng)極在陽(yáng)極表面上所形成的介電層。
根據(jù)本發(fā)明，制造所述電解電容器的方法是首先，氮摻雜在鈦或鈦合金的陽(yáng)極中，然后，陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化，在該陽(yáng)極表面形成介電層。
當(dāng)按照上述，氮摻雜在鈦或鈦合金的陽(yáng)極中，然后該陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化時(shí)，由于摻雜的氮?dú)庖种屏私殡妼釉陉?yáng)極氧化時(shí)的結(jié)晶，從而防止了電絕緣性下降。結(jié)果，由于很快進(jìn)行上述的陽(yáng)極的陽(yáng)極氧化并在短時(shí)間內(nèi)形成高介電常數(shù)的介電層，因此能容易地提供大容量的小尺寸電容器。
對(duì)用作陽(yáng)極的所述鈦合金的種類(lèi)沒(méi)有限制，但是，當(dāng)使用鈦與至少一種選自鎢、釩、鋅、鋁、鉬、鉿、鋯和鈮的添加金屬進(jìn)行合金形成的鈦合金時(shí)，能更有效地抑制介電層在陽(yáng)極氧化中的結(jié)晶，結(jié)果，能在更短的時(shí)間形成介電層。
添加金屬量太高時(shí)，難以充分抑制介電層在陽(yáng)極氧化時(shí)的結(jié)晶。因此，鈦合金的添加金屬量宜小于等于5重量％。尤其是添加金屬含量在0.05-2.5重量％范圍時(shí)，能適當(dāng)抑制介電層的結(jié)晶，能在比以往更短時(shí)間內(nèi)形成介電層。
如上所述，在鈦或鈦合金的陽(yáng)極中摻雜氮，摻雜的氮量太低或太高時(shí)，都難以充分抑制介電層在陽(yáng)極氧化中的結(jié)晶。因此，相對(duì)于鈦或鈦合金與氮的總量，氮摻雜量宜在0.01-5重量％范圍。氮摻雜量在0.02-1重量％范圍更好。
而且，當(dāng)使用含氟離子的水溶液作為陽(yáng)極氧化中的水溶液時(shí)，能更有效地抑制介電層的結(jié)晶，容易在短時(shí)間形成介電層。順便，這種情況下氟摻雜在介電層。含氟離子水溶液宜選自氟化銨、氟化鉀、氟化鈉和氟酸。
根據(jù)電解電容器的制造方法，通過(guò)在氮?dú)夥罩袩崽幚礅伝蜮伜辖痍?yáng)極，將氮摻雜在鈦或鈦合金的陽(yáng)極中。
鈦含鈦合金陽(yáng)極在氮?dú)夥罩羞M(jìn)行熱處理時(shí)，當(dāng)熱處理溫度低于300℃時(shí)，氮不能充分摻雜在陽(yáng)極中。另一方面，當(dāng)熱處理溫度高于1500℃，氮過(guò)量摻雜在陽(yáng)極中。這兩種情況下，都難以充分抑制介電層在陽(yáng)極氧化時(shí)在鈦或鈦合金陽(yáng)極中結(jié)晶。因此，在鈦或鈦合金陽(yáng)極的氮摻雜時(shí)，熱處理溫度宜在300-1500℃范圍。更好的，在500-900℃。
由下面說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施方案的描述并結(jié)合附圖，能更好地理解本發(fā)明的照相和其它目的，優(yōu)點(diǎn)和特征。
附圖簡(jiǎn)述

圖1是電解電容器的示意圖，顯示實(shí)施例和比較例中陽(yáng)極在陽(yáng)極氧化中在陽(yáng)極表面形成介電層的狀態(tài)。
較好實(shí)施方式的描述下面，具體描述根據(jù)本發(fā)明較好實(shí)施方案的電解電容器，同時(shí)列舉比較例來(lái)證明在本發(fā)明電解電容器的實(shí)施例中，當(dāng)對(duì)鈦或鈦合金陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化，在陽(yáng)極表面形成介電層時(shí)，能在短時(shí)間內(nèi)形成介電層，結(jié)果，抑制了介電層的結(jié)晶并能很快進(jìn)行陽(yáng)極氧化。應(yīng)注意到，本發(fā)明的電解電容器及其制造方法不限于下面的實(shí)施例，在本發(fā)明范圍可以對(duì)其進(jìn)行適當(dāng)?shù)男薷暮妥儎?dòng)。
實(shí)施例1實(shí)施例1中，在真空環(huán)境下，于1500℃對(duì)100克鈦(Ti)粉末加壓，直到得到100微米厚度。然后，將其切割成1cm×5cm，制成鈦箔陽(yáng)極。
之后，在700℃、氮?dú)夥障聼崽幚礅伈?yáng)極5小時(shí)，在陽(yáng)極中摻雜氮。按照氮含量測(cè)定方法(JIS G 1228)，對(duì)陽(yáng)極中摻雜的氮量的定量分析，陽(yáng)極中摻雜氮量為0.1重量％。
實(shí)施例2實(shí)施例2中，在99克鈦粉中加入1克鎢(W)粉作為添加金屬，然后，旋轉(zhuǎn)搖動(dòng)混合器操作20分鐘混合這些粉末。在真空環(huán)境下，于1500℃對(duì)上述混合粉末加壓，直到得到100微米厚度。然后，將其切割成1cm×5cm，制成鈦-鎢合金(Ti-W)箔陽(yáng)極，是通過(guò)鎢在鈦中擴(kuò)散進(jìn)行合金。
之后，按照和實(shí)施例1相同的步驟，在陽(yáng)極中摻雜氮。該陽(yáng)極中，摻雜的氮量為0.1重量％。
實(shí)施例3實(shí)施例3中，在99克鈦粉中加入1克釩(V)粉作為添加金屬，然后，旋轉(zhuǎn)搖動(dòng)混合器操作20分鐘混合這些粉末。在真空環(huán)境下，于1500℃對(duì)上述混合粉末加壓，直到得到100微米厚度。然后，將其切割成1cm×5cm，制成鈦-釩合金(Ti-V)箔陽(yáng)極，是通過(guò)釩在鈦中擴(kuò)散進(jìn)行合金。
之后，按照和實(shí)施例1相同的步驟，在陽(yáng)極中摻雜氮。該陽(yáng)極中，摻雜的氮量為0.1重量％。
實(shí)施例4實(shí)施例4中，在99克鈦粉中加入1克鋅(Zn)粉作為添加金屬，然后，旋轉(zhuǎn)搖動(dòng)混合器操作20分鐘混合這些粉末。在真空環(huán)境下，于1500℃對(duì)上述混合粉末加壓，直到得到100微米厚度。然后，將其切割成1cm×5cm，制成鈦-鎢合金(Ti-Zn)箔陽(yáng)極，是通過(guò)鋅在鈦中擴(kuò)散進(jìn)行合金。
之后，按照和實(shí)施例1相同的步驟，在陽(yáng)極中摻雜氮。該陽(yáng)極中，摻雜的氮量為0.1重量％。
實(shí)施例5實(shí)施例5中，在99克鈦粉中加入1克鋁(Al)粉作為添加金屬，然后，旋轉(zhuǎn)搖動(dòng)混合器操作20分鐘混合這些粉末。在真空環(huán)境下，于1500℃對(duì)上述混合粉末加壓，直到得到100微米厚度。然后，將其切割成1cm×5cm，制成鈦-鋁合金(Ti-Al)箔陽(yáng)極，是通過(guò)鋁在鈦中擴(kuò)散進(jìn)行合金。
之后，按照和實(shí)施例1相同的步驟，在陽(yáng)極中摻雜氮。該陽(yáng)極中，摻雜的氮量為0.1重量％。
實(shí)施例6實(shí)施例6中，在99克鈦粉中加入1克鉬(Mo)粉作為添加金屬，然后，旋轉(zhuǎn)搖動(dòng)混合器操作20分鐘混合這些粉末。在真空環(huán)境下，于1500℃對(duì)上述混合粉末加壓，直到得到100微米厚度。然后，將其切割成1cm×5cm，制成鈦-鉬合金(Ti-Mo)箔陽(yáng)極，是通過(guò)鉬在鈦中擴(kuò)散進(jìn)行合金。
之后，按照和實(shí)施例1相同的步驟，在陽(yáng)極中摻雜氮。該陽(yáng)極中，摻雜的氮量為0.1重量％。
實(shí)施例7實(shí)施例7中，在99克鈦粉中加入1克鉿(Hf)粉作為添加金屬，然后，旋轉(zhuǎn)搖動(dòng)混合器操作20分鐘混合這些粉末。在真空環(huán)境下，于1500℃對(duì)上述混合粉末加壓，直到得到100微米厚度。然后，將其切割成1cm×5cm，制成鈦-鉿合金(Ti-Hf)箔陽(yáng)極，是通過(guò)鉿在鈦中擴(kuò)散進(jìn)行合金。
之后，按照和實(shí)施例1相同的步驟，在陽(yáng)極中摻雜氮。該陽(yáng)極中，摻雜的氮量為0.1重量％。
實(shí)施例8實(shí)施例8中，在99克鈦粉中加入1克鋯(Zr)粉作為添加金屬，然后，旋轉(zhuǎn)搖動(dòng)混合器操作20分鐘混合這些粉末。在真空環(huán)境下，于1500℃對(duì)上述混合粉末加壓，直到得到100微米厚度。然后，將其切割成1cm×5cm，制成鈦-鋯合金(Ti-Zr)箔陽(yáng)極，是通過(guò)鋯在鈦中擴(kuò)散進(jìn)行合金。
之后，按照和實(shí)施例1相同的步驟，在陽(yáng)極中摻雜氮。該陽(yáng)極中，摻雜的氮量為0.1重量％。
實(shí)施例9實(shí)施例9中，在99克鈦粉中加入1克鈮(Nb)粉作為添加金屬，然后，旋轉(zhuǎn)搖動(dòng)混合器操作20分鐘混合這些粉末。在真空環(huán)境下，于1500℃對(duì)上述混合粉末加壓，直到得到100微米厚度。然后，將其切割成1cm×5cm，制成鈦-鈮合金(Ti-Nb)箔陽(yáng)極，是通過(guò)鈮在鈦中擴(kuò)散進(jìn)行合金。
之后，按照和實(shí)施例1相同的步驟，在陽(yáng)極中摻雜氮。該陽(yáng)極中，摻雜的氮量為0.1重量％。
實(shí)施例10實(shí)施例10中，在99克鈦粉中加入0.5克鋅(Zn)粉和0.5克鋁(Al)作為添加金屬，然后，旋轉(zhuǎn)搖動(dòng)混合器操作20分鐘混合這些粉末。在真空環(huán)境下，于1500℃對(duì)上述混合粉末加壓，直到得到100微米厚度。然后，將其切割成1cm×5cm，制成鈦-鋅-鋁合金(Ti-Zn-Al)箔陽(yáng)極，是通過(guò)鋅和鋁在鈦中擴(kuò)散進(jìn)行合金。
之后，按照和實(shí)施例1相同的步驟，在陽(yáng)極中摻雜氮。該陽(yáng)極中，摻雜的氮量為0.1重量％。
比較例1比較例1中，按照與實(shí)施例1相同的步驟制造比較例1的鈦箔陽(yáng)極，不同之處是，比較例1的陽(yáng)極中不摻雜氮。
之后，在實(shí)施例1-10和比較例1的各陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化形成介電層中，測(cè)定各陽(yáng)極的陽(yáng)極氧化時(shí)間，進(jìn)行比較。
各陽(yáng)極的陽(yáng)極氧化中，如圖1所示，陽(yáng)極10浸在含0.6體積％磷酸的水溶液2中，該溶液保持在60℃，置于不銹鋼容器1中。從電源3外加25V的均勻電壓，陽(yáng)極氧化陽(yáng)極10。
當(dāng)各陽(yáng)極10進(jìn)行陽(yáng)極氧化時(shí)，由電表4測(cè)定泄漏電流。測(cè)定各陽(yáng)極10在陽(yáng)極氧化中泄漏電流達(dá)到500μA所需時(shí)間。
按照將實(shí)施例1陽(yáng)極達(dá)到500μA泄漏電流的時(shí)間長(zhǎng)度定義為100計(jì)，測(cè)定各陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化的時(shí)間長(zhǎng)度的指數(shù)。結(jié)果列于下表1。以括號(hào)方式，實(shí)施例1陽(yáng)極在陽(yáng)極氧化中泄漏電流達(dá)到500μA的時(shí)間約為2分鐘。
表1

由表1可以清楚地知道，與未摻雜氮的比較例1的陽(yáng)極相比，實(shí)施例1-10中使用鈦或鈦合金且摻雜了氮的陽(yáng)極能在明顯短的時(shí)間能進(jìn)行陽(yáng)極氧化。
比較實(shí)施例1-10的陽(yáng)極，實(shí)施例2-10的陽(yáng)極使用了通過(guò)鈦與一種選自鎢、釩、鋅、鋁、鉬、鉿、鋯和鈮的金屬進(jìn)行合金形成的鈦合金陽(yáng)極，它們的陽(yáng)極氧化時(shí)間較實(shí)施例1使用鈦的陽(yáng)極短。尤其是實(shí)施例3、5、7和9的陽(yáng)極使用了通過(guò)鈦與選自釩、鋁、鉿和鈮的添加金屬的合金形成的鈦合金，它們的陽(yáng)極氧化時(shí)間更短。
實(shí)施例5.1-5.6實(shí)施例5.1-5.6中，如實(shí)施例5，鋁粉作為添加金屬加入到鈦粉中。
按照與實(shí)施例5相同的步驟制造實(shí)施例5.1-5.6的各陽(yáng)極，不同之處是，在混合鈦粉與鋁粉時(shí)改變鈦-鋁的重量比。
混合鈦粉與鋁粉中鈦與鋁的重量比分別設(shè)定如下實(shí)施例5.1中為99.95∶0.05；實(shí)施例5.2中為99.9∶0.1；實(shí)施例5.3中為99.5∶0.5；實(shí)施例5.4中為97.5∶2.5；實(shí)施例5.5中為95∶5；實(shí)施例5.6中為92.5∶7.5。各陽(yáng)極中鋁(Al)含量列于下表2。
按照與實(shí)施例5相同的步驟，對(duì)實(shí)施例5.1-5.6的陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化。測(cè)定在陽(yáng)極氧化中各陽(yáng)極泄漏電流達(dá)到500μA的時(shí)間。按照將實(shí)施例5陽(yáng)極達(dá)到500μA泄漏電流的時(shí)間長(zhǎng)度定義為100計(jì)，測(cè)定各陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化的時(shí)間長(zhǎng)度的指數(shù)。結(jié)果列于下表2。而且，實(shí)施例5.1-5.6的各陽(yáng)極中摻雜氮量也都為0.1重量％。
表2

由表2可知道，實(shí)施例5和實(shí)施例5.1-5.5中，各鈦-鋁合金陽(yáng)極的鋁含量為小于或等于5重量％，與實(shí)施例5.6的鋁含量為7.5重量％(超過(guò)5重量％)的陽(yáng)極相比，它們的陽(yáng)極氧化時(shí)間明顯短。尤其，實(shí)施例5和實(shí)施例5.1-5.3的各陽(yáng)極的鋁含量在0.1-2.5重量％范圍，它們的陽(yáng)極氧化時(shí)間更短。
一種模式中，上述實(shí)施例僅顯示使用通過(guò)鈦與鋁進(jìn)行合金形成的鈦-鋁合金的陽(yáng)極情況，但是，通過(guò)鈦與選自鎢、釩、鋅、鉬、鋯和鈮的添加金屬代替鋁進(jìn)行合金也能獲得類(lèi)似的效果。
實(shí)施例1.1-1.9使用如實(shí)施例1的鈦箔作為實(shí)施例1.1-1.9的陽(yáng)極。按照與實(shí)施例1相同的步驟制造各陽(yáng)極，不同之處是，改變各陽(yáng)極在氮?dú)夥罩羞M(jìn)行熱處理?yè)诫s氮的溫度，使得改變各陽(yáng)極中摻雜氮量。
鈦陽(yáng)極在氮?dú)夥罩袩崽幚淼臏囟确謩e設(shè)定如下實(shí)施例1.1為200℃；實(shí)施例1.2為300℃；實(shí)施例1.3為500℃；實(shí)施例1.4為900℃；實(shí)施例1.5為950℃；實(shí)施例1.6為1000℃；實(shí)施例1.7為1250℃；實(shí)施例1.8為1500℃；實(shí)施例1.9為1600℃；列于下表3。
如實(shí)施例1，按照氮含量測(cè)定方法(JIS G 1228)，對(duì)陽(yáng)極中摻雜的氮量的定量分析，各陽(yáng)極中摻雜氮量如下實(shí)施例1.1的陽(yáng)極為0.005重量％；實(shí)施例1.2的陽(yáng)極為0.01重量％；實(shí)施例1.3的陽(yáng)極為0.02重量％；實(shí)施例1.4的陽(yáng)極為1重量％；實(shí)施例1.5的陽(yáng)極為1.5重量％；實(shí)施例1.6的陽(yáng)極為3重量％；實(shí)施例1.7的陽(yáng)極為4重量％；實(shí)施例1.8的陽(yáng)極為5重量％；實(shí)施例1.9的陽(yáng)極為6重量％；列于下表3。
按照與實(shí)施例1相同的步驟，對(duì)實(shí)施例1.1-1.9的陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化。測(cè)定在陽(yáng)極氧化中各陽(yáng)極泄漏電流達(dá)到500μA的時(shí)間。按照將實(shí)施例1陽(yáng)極達(dá)到500μA泄漏電流的時(shí)間長(zhǎng)度定義為100計(jì)，測(cè)定各陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化的時(shí)間長(zhǎng)度的指數(shù)。結(jié)果列于下表3。結(jié)果列于下表3。
表3

由表3可以知道，與實(shí)施例1.1和實(shí)施例1.9的陽(yáng)極相比，實(shí)施例1和實(shí)施例1.2-1.8的陽(yáng)極氧化時(shí)間明顯短，實(shí)施例1和實(shí)施例1.2-1.8的陽(yáng)極其鈦箔進(jìn)行熱處理的溫度在300-1500℃范圍，各陽(yáng)極的氮摻雜量在0.01-5重量％范圍；實(shí)施例1.1的陽(yáng)極其熱處理溫度為200℃，低于300℃，陽(yáng)極的摻雜氮量為0.005重量％，小于0.1重量％；實(shí)施例1.9的陽(yáng)極其熱處理為1600℃，高于1500℃，陽(yáng)極摻雜氮量為6重量％，超過(guò)5重量％。尤其是實(shí)施例1和實(shí)施例1.3和1.4，其熱處理溫度在500-900℃范圍，其陽(yáng)極氧化時(shí)間甚至更短。
實(shí)施例1.10-1.13如實(shí)施例1通過(guò)在氮?dú)夥罩袩崽幚礅伈姌O，在實(shí)施例1.10-1.13的陽(yáng)極中摻雜1重量％的氮。
除了水溶液的種類(lèi)，按照與實(shí)施例1相同的步驟，對(duì)實(shí)施例1.10-1.13的各陽(yáng)極進(jìn)行陽(yáng)極氧化。各陽(yáng)極的陽(yáng)極氧化中使用的水溶液，由實(shí)施例1中保持在60℃的0.6體積％磷酸水溶液改變?yōu)槿缦滤芤簩?shí)施例1.10中為保持在60℃的含0.5體積％氟化銨水溶液；實(shí)施例1.11中為保持在60℃的含0.5體積％氟化鉀水溶液；實(shí)施例1.12中為保持在60℃的含0.5體積％氟化鈉水溶液；實(shí)施例1.13中為保持在60℃的含0.5體積％氟酸水溶液。由電表4測(cè)定各進(jìn)行陽(yáng)極氧化的陽(yáng)極的泄漏電流。測(cè)定各陽(yáng)極在陽(yáng)極氧化中泄漏電流達(dá)到500μA的時(shí)間。
以實(shí)施例1中陽(yáng)極在陽(yáng)極氧化中泄漏電流達(dá)到500μA的時(shí)間長(zhǎng)度定義為100計(jì)，測(cè)定各陽(yáng)極的陽(yáng)極氧化的時(shí)間長(zhǎng)度指數(shù)。結(jié)果列于下表4。
在一種模式中，對(duì)按上述通過(guò)陽(yáng)極氧化形成的各介電層中，由化學(xué)分析的電子能譜(ESCA)的分析結(jié)果，確定實(shí)施例1.10-1.13的各介電層中氟摻雜量。
表4

由表可以知道，實(shí)施例1.10-1.13中，在陽(yáng)極氧化中使用含氟水溶液，在介電層中摻雜氟，與實(shí)施例1相比，這些實(shí)施例進(jìn)行陽(yáng)極氧化的時(shí)間更短。
在一種模式中，上述各實(shí)施例僅表明使用鈦箔陽(yáng)極的情況，但在使用通過(guò)由鈦與選擇鎢、釩、鋅、鋁、鉬、鉿、鋯和鈮的合金形成的鈦合金陽(yáng)極情況，可獲得類(lèi)似的效果。
盡管以實(shí)施例方式描述了本發(fā)明，但對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以有各種變動(dòng)和修改。
所以，除非這些變動(dòng)和修改偏離了本發(fā)明范圍，它們應(yīng)包含在本發(fā)明范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.電解電容器，包括摻雜氮的鈦或鈦合金的陽(yáng)極；通過(guò)陽(yáng)極氧化所述陽(yáng)極，在陽(yáng)極表面形成的介電層。
2.如權(quán)利要求1所述的電解電容器，其特征在于所述鈦合金通過(guò)鈦與選自鎢、釩、鋅、鋁、鉬、鉿、鋯和鈮的至少一種添加金屬進(jìn)行合金形成。
3.如權(quán)利要求2所述的電解電容器，其特征在于所述鈦合金的添加金屬含量為小于或等于5重量％。
4.如權(quán)利要求3所述的電解電容器，其特征在于所述鈦合金的添加金屬含量為在0.05-2.5重量％范圍。
5.如權(quán)利要求1所述的電解電容器，其特征在于氮以0.01-5重量％摻雜在鈦或鈦合金中。
6.如權(quán)利要求5所述的電解電容器，其特征在于氮以0.02-1重量％摻雜在鈦或鈦合金中。
7.如權(quán)利要求1所述的電解電容器，其特征在于在所述介電層中摻雜氟。
8.一種制造電解電容器的方法，該方法包括在鈦或鈦合金中摻雜氮；通過(guò)陽(yáng)極氧化摻雜氮的陽(yáng)極，在陽(yáng)極表面形成介電層。
9.如權(quán)利要求8所述的制造電解電容器的方法，其特征在于，通過(guò)在氮?dú)夥罩袩崽幚礅伝蜮伜辖痍?yáng)極，在鈦或鈦合金陽(yáng)極中摻雜氮。
10.如權(quán)利要求9所述的制造電解電容器的方法，其特征在于在氮?dú)夥罩袩崽幚礅伝蜮伜辖饻囟仍?00-1500℃范圍。
11.如權(quán)利要求10所述的制造電解電容器的方法，其特征在于在氮?dú)夥罩袩崽幚礅伝蜮伜辖饻囟仍?00-900℃范圍。
12.如權(quán)利要求8所述的制造電解電容器的方法，其特征在于通過(guò)鈦與選自鎢、釩、鋅、鋁、鉬、鉿、鋯和鈮的至少一種添加金屬進(jìn)行合金形成所述的鈦合金。
13.如權(quán)利要求12所述的制造電解電容器的方法，其特征在于所述鈦合金的添加金屬含量為小于或等于5重量％。
14.如權(quán)利要求12所述的制造電解電容器的方法，其特征在于所述鈦合金的添加金屬含量在0.05-2.5重量％范圍。
15.如權(quán)利要求8所述的制造電解電容器的方法，其特征在于所以含氟離子水溶液作為鈦或鈦合金陽(yáng)極的陽(yáng)極氧化中的溶液。
16.如權(quán)利要求15所述的制造電解電容器的方法，其特征在于所述含氟離子水溶液是選自氟化銨、氟化鉀、氟化鈉和氟酸的一種水溶液。
全文摘要
本發(fā)明的電解電容器包括摻雜氮的鈦或鈦合金的陽(yáng)極以及通過(guò)陽(yáng)極氧化所述陽(yáng)極，在陽(yáng)極表面上形成的介電層。
文檔編號(hào)H01G9/00GK1497629SQ0312721
公開(kāi)日2004年5月19日 申請(qǐng)日期2003年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月3日
發(fā)明者矢野睦, 高谷和宏, 木本衛(wèi), 宏 申請(qǐng)人:三洋電機(jī)株式會(huì)社