專利名稱：材料去除方法、基體材料再生方法及顯示器件制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及材料的去除方法、基體材料的再生方法、顯示器件的制造方法以及具有用該制造方法制造的顯示器件的電子裝置，特別是涉及適合于作為剝離去除掉在基體材料上構(gòu)成的濾色片及EL發(fā)光圖形，以便再次使用基體材料的方法的制造技術(shù)。
背景技術(shù)：
一般說來，在各種顯示器件中，為了能夠進(jìn)行彩色顯示而設(shè)置了濾色片。濾色片例如可以是在由玻璃、塑料等構(gòu)成的基板上，以所謂的條形排列、三角形排列、鑲嵌形排列等規(guī)定排列圖形，將R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))各色的點(diǎn)狀濾色元進(jìn)行排列的結(jié)構(gòu)。
另外，作為顯示器件，存在以液晶器件及EL(電致發(fā)光)器件等電光器件為典型例子的，在由玻璃或塑料等構(gòu)成的基板上，使可以獨(dú)立控制其光學(xué)狀態(tài)的顯示點(diǎn)排列的器件。作為該顯示點(diǎn)的排列狀態(tài)，例如一般排列成縱橫的網(wǎng)格(矩陣)狀。
在可進(jìn)行彩色顯示的顯示器件中，通常是例如形成與上述R、G、B的各色對(duì)應(yīng)的顯示點(diǎn)，由對(duì)應(yīng)于全部顏色的例如3個(gè)顯示點(diǎn)構(gòu)成一個(gè)像素(pixel)。而且，對(duì)一個(gè)像素內(nèi)包含的多個(gè)顯示點(diǎn)的灰度分別進(jìn)行控制，由此可以進(jìn)行彩色顯示。
在上述顯示器件的制造工序中，往往例如在基板上涂敷感光樹脂，對(duì)該感光樹脂進(jìn)行曝光處理和顯影處理，形成網(wǎng)格狀間壁(圍堤)后，在被該間壁劃分的區(qū)域內(nèi)，例如噴射由噴頭之類噴出的液滴，并使其干燥，構(gòu)成顯示要素(即上述的濾色片的濾色元及顯示點(diǎn)等)。用此方法，無需利用光刻法對(duì)每一種顏色構(gòu)制顯示要素的圖形，因而能夠有效地制造用于移動(dòng)電話及便攜式信息終端之類的便攜式電子裝置的小型顯示器件，另外，此方法還具有能夠容易地制造用于投影儀等的高精細(xì)的顯示器件的優(yōu)點(diǎn)。
但是，在上述制造工序中，由于必須形成在基板上排列了多個(gè)顯示要素的作為顯示材料的基體材料(濾色片基板、液晶面板、EL面板等)，因而往往有顯示要素脫落或塵埃等異物混入顯示要素內(nèi)等類缺陷發(fā)生。以往，這樣有缺陷的作為顯示材料的基體材料原封不動(dòng)地被廢棄了，但在廢棄物增多的當(dāng)今，恐怕會(huì)難以處理并引起環(huán)境污染。
于是，如上所述，在作為顯示材料的基體材料中有缺陷發(fā)生時(shí)，考慮了如下的作為顯示材料的基體材料的剝離再生方法對(duì)基板上的間壁和顯示要素或用酸溶解，或用等離子體灰化法等進(jìn)行分解，將基板上的構(gòu)成要素完全去除掉，將基板清洗后再次導(dǎo)入上述的間壁形成工序中。采用該方法，可以對(duì)基板進(jìn)行再利用。
然而，在該剝離再生方法中，由于將基板上的所有構(gòu)成要素分解清除，所以必須用再生過的基板從制造工序的開始起重新制造，因而存在不能提高制造效率，只是再利用了基板之類的再生優(yōu)越性發(fā)揮得少的問題。
于是，本發(fā)明就是解決上述問題的，其課題在于提供能夠有效地再利用在被間壁劃分的區(qū)域中導(dǎo)入了顯示要素的作為顯示材料的基體材料的方法，以及采用該方法的顯示器件的制造方法。
為解決上述課題，本發(fā)明的材料去除方法是去除掉在被形成于基體材料上的間壁劃分的區(qū)域中配置的材料的材料去除方法，其特征在于，上述間壁被留在上述基體材料上，而上述顯示要素被去除掉。
按照本發(fā)明，由于在有材料脫落或不完整性的場合，或者在異物混入了材料中的場合，可以借助于將材料去除掉，而留下間壁，在被留在基體材料上的間壁劃分的區(qū)域中只有材料被再次配置，所以無需在基體材料上重新制作新的間壁，從而與現(xiàn)有的技術(shù)相比，可以提高生產(chǎn)效率，另外，還能夠減少白白浪費(fèi)的廢棄物。
在本發(fā)明中，上述間壁可以通過對(duì)放射線感應(yīng)性材料進(jìn)行放射線輻射處理(曝光)和顯影處理而形成，上述材料最好被可用于上述顯影處理的顯影物質(zhì)剝離或溶解。
按照本發(fā)明，由于借助于將可用于間壁形成工序中的顯影處理的顯影物質(zhì)施用于基體材料上的材料(例如將材料浸漬在顯影液中)進(jìn)行剝離，間壁幾乎不受該顯影物質(zhì)損傷，所以可以將間壁原樣地留下，只剝離或溶解材料。
這里，所謂放射線感應(yīng)性材料系指以如下方式構(gòu)成的材料在放射線輻射處理中，因輻射可見光、紫外線、X射線、電子射線等各種放射線而性能發(fā)生變化，通過后面的顯影處理，去除掉被輻射的部分或未被輻射的部分。另外，可用于顯影處理的顯影物質(zhì)系指通過將其應(yīng)用于進(jìn)行過放射線輻射處理的放射線感應(yīng)性材料能夠形成上述間壁的物質(zhì)，例如顯影液。因此，不限定于在間壁形成工序中實(shí)際使用的顯影物質(zhì)。
在本發(fā)明中，在剝離或溶解上述材料時(shí)，最好對(duì)上述材料施加振動(dòng)或應(yīng)力。
按照本發(fā)明，借助于對(duì)材料施加振動(dòng)或應(yīng)力使得材料容易剝離或溶解。更具體地說，進(jìn)行如下的處理用另外的構(gòu)件摩擦材料，或者經(jīng)顯影物質(zhì)(顯影液)施加超聲波，或者以噴淋方式或高壓方式噴涂顯影液。這時(shí)，可以在施用顯影物質(zhì)(使之浸漬在顯影液中)前施加振動(dòng)或應(yīng)力，但最好是至少在對(duì)材料施用顯影物質(zhì)(顯影液附著于材料上)的狀態(tài)下施加振動(dòng)或應(yīng)力。
在本發(fā)明中，上述材料可以是通過將液態(tài)材料導(dǎo)入被上述間壁劃分的區(qū)域而形成的材料。
按照本發(fā)明，在借助于將液態(tài)材料導(dǎo)入被間壁劃分的區(qū)域而將材料配置在該區(qū)域內(nèi)的場合，比較容易留下間壁而只去除掉材料。這時(shí)，例如借助于以液滴狀態(tài)從液滴噴頭中噴出液態(tài)材料，將其噴射在上述區(qū)域內(nèi)，能夠容易地配置材料。作為液滴噴頭，可以使用噴嘴噴頭。
在本發(fā)明中，上述材料最好在固化前的狀態(tài)下被去除掉。
按照本發(fā)明，如上所述，在將液態(tài)材料導(dǎo)入?yún)^(qū)域內(nèi)時(shí)，需要將液態(tài)材料或干燥，或硬化以進(jìn)行固化，但是，由于在本發(fā)明中液態(tài)材料在固化前的狀態(tài)下被去除掉，所以可以減少對(duì)間壁的損傷程度，或更容易地去除掉顯示要素。這里，所謂材料固化前的狀態(tài)系指液態(tài)材料保持原來的液體狀態(tài)的場合，或者雖然進(jìn)行了預(yù)干燥或預(yù)烘烤(預(yù)焙燒)處理，但尚未完全固化，其后還需要進(jìn)行自然干燥或烘烤處理(正式焙燒)的狀態(tài)而言。
在本發(fā)明中，上述材料最好是構(gòu)成濾色片的濾色元。
上述材料的濾色元雖然存在因區(qū)域內(nèi)的材料脫落、材料過少、異物混入等而出現(xiàn)缺陷的可能性，但按照本發(fā)明，由于可以只去除掉濾色元，再次構(gòu)成濾色片，所以可以提高濾色片或具有該濾色片的各種產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，而且還能夠提高濾色片的品質(zhì)。
在本發(fā)明中，上述材料可以是EL發(fā)光體。
按照本發(fā)明，因材料是EL發(fā)光體，所以可以只去除掉EL發(fā)光體而再次構(gòu)成EL發(fā)光器件，因此，可以提高EL發(fā)光器件或具有該EL發(fā)光器件的各種產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，而且還能夠提高EL發(fā)光器件的顯示品質(zhì)。這里，在EL發(fā)光體由空穴注入層和EL發(fā)光層這兩層構(gòu)成的場合，或者由空穴注入層、EL發(fā)光層和電子注入層這3層構(gòu)成的場合，可以將這兩層或3層全部去除掉，或者也可以只去除掉它們中的上層。
其次，本發(fā)明的基體材料的再生方法是在去除掉形成于基體材料上的材料后，在該基體材料上再次形成材料的基體材料再生方法，其特征在于在除掉上述材料的工序中，采用上述任何一種材料去除方法。
按照本發(fā)明，由于借助于在留下間壁只去除掉材料后再次形成材料，無需在基體材料上重新形成間壁，所以能夠減少工序數(shù)目，作為整體，可以求得制造成本的降低。
再次，本發(fā)明的顯示器件制造方法的特征在于，包括在基體材料上形成間壁的工序；對(duì)被上述間壁劃分的區(qū)域?qū)腼@示要素，形成基體材料的工序；檢查上述基體材料的工序；當(dāng)在上述顯示要素中發(fā)現(xiàn)缺陷時(shí)，將上述間壁留在上述基體材料上，而去除掉上述顯示要素的工序；以及在去除掉上述顯示要素后，再次向被上述間壁劃分的區(qū)域?qū)腼@示要素，形成上述基體材料的工序。
按照本發(fā)明，由于當(dāng)在顯示器件制造過程中在基體材料的顯示要素中有缺陷發(fā)生時(shí)，借助于留下間壁而去除掉顯示要素，只是在被留在基體材料上的間壁劃分的區(qū)域中再次導(dǎo)入顯示要素，無需新形成間壁，就可以形成基體材料，所以能夠提高生產(chǎn)效率。
在本發(fā)明中，在形成上述間壁的工序中，可以通過對(duì)放射線感應(yīng)性材料進(jìn)行放射線輻射處理和顯影處理形成上述間壁，在去除掉上述顯示要素的工序中，上述顯示要素最好借助于可用于上述顯影處理的顯影物質(zhì)而被剝離或溶解。
按照本發(fā)明，由于借助于將可用于間壁形成工序中的顯影處理的顯影物質(zhì)施用于基體材料的顯示要素(將顯示要素浸漬在顯影液中)進(jìn)行剝離或溶解，間壁幾乎不受該顯影物質(zhì)損傷，所以可以原樣地留下間壁而只剝離或溶解顯示要素。
在本發(fā)明中，在剝離或溶解上述顯示要素時(shí)，最好對(duì)上述顯示要素施加振動(dòng)或應(yīng)力。
按照本發(fā)明，借助于對(duì)顯示要素施加振動(dòng)或應(yīng)力使得顯示要素易于剝離或溶解。更具體地說，進(jìn)行如下的處理用另外的構(gòu)件摩擦顯示要素，或者經(jīng)顯影物質(zhì)(顯影液)施加超聲波，或者以噴淋方式或高壓方式噴除顯影液。這時(shí)，雖然可以在施用顯影物質(zhì)(使之浸漬在顯影液中)前施加振動(dòng)或應(yīng)力，但最好是至少在使顯影物質(zhì)作用于顯示要素(顯影液附著于材料上)的狀態(tài)下施加振動(dòng)或應(yīng)力。
在本發(fā)明中，在導(dǎo)入上述顯示要素，形成基體材料的工序中，最好是作為上述顯示要素的液態(tài)材料被導(dǎo)入被上述間壁劃分的區(qū)域。
按照本發(fā)明，在借助于將液態(tài)材料導(dǎo)入被間壁劃分的區(qū)域而將顯示要素配置在該區(qū)域內(nèi)的場合，比較容易留下間壁而只去除掉顯示要素。這時(shí)，例如借助于以液滴狀從液滴噴頭中噴出液態(tài)材料，將其噴射到上述區(qū)域內(nèi)，能夠容易地配置顯示要素。作為液滴噴頭，可以使用噴嘴噴頭。
在本發(fā)明中，最好包含在上述顯示要素中未發(fā)現(xiàn)缺陷時(shí)，上述顯示要素完全被固化的工序，在去除掉上述顯示要素的工序中，上述顯示要素最好在完全固化前的狀態(tài)下被去除掉。
按照本發(fā)明，借助于在顯示要素中未發(fā)現(xiàn)缺陷時(shí)，將上述顯示要素完全固化，無需對(duì)在顯示要素中有缺陷的基體材料進(jìn)行無謂的處理，同時(shí)由于在去除掉顯示要素的工序中，顯示要素為完全固化前的狀態(tài)，所以能夠容易地除掉顯示要素，從而不易使間壁受損傷。
在本發(fā)明中，上述顯示要素最好是構(gòu)成濾色片的濾色元。
上述顯示要素的濾色元雖然存在因區(qū)域內(nèi)的材料脫落、材料過少、異物混入等而發(fā)生缺陷的可能性，但按照本發(fā)明，由于可以只去除掉濾色元而再次構(gòu)成濾色片，所以能夠提高濾色片或具有該濾色片的各種產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，而且還能夠提高濾色片的品質(zhì)。這時(shí)，作為顯示器件，只要是具有濾色片的顯示器件都可以，未作任何限定，例如往往是液晶器件及EL器件等電光器件。
在本發(fā)明中，上述顯示要素最好是EL發(fā)光體。
按照本發(fā)明，因顯示要素是EL發(fā)光體，所以可以只去除掉EL發(fā)光體而再次構(gòu)成EL發(fā)光器件，因此，可以提高EL發(fā)光器件或具有該EL發(fā)光器件的各種產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，并且還能夠提高EL發(fā)光器件的顯示品質(zhì)。這里，在EL發(fā)光體由空穴注入層和EL發(fā)光層這兩層構(gòu)成的場合，或者由空穴注入層、EL發(fā)光層和電子注入層這3層構(gòu)成的場合，可以將這兩層或3層全部去除掉，或者也可以只去除掉它們中的上層。
再次，本發(fā)明的電子裝置是安裝了顯示器件的電子裝置，其特征在于，包含利用上述任何一種制造方法制造的顯示器件。


圖1是示出作為本發(fā)明的材料去除方法、基體材料再生方法和顯示器件制造方法的實(shí)施例的濾色片基板的制造工序的概略工序剖面圖(a)～(g)。
圖2是示出該實(shí)施例中的本體再生工序的概略工序剖面圖(a)～(e)。
圖3是示出該實(shí)施例中的濾色片基板的制造工序的順序的概略流程圖。
圖4是示出該實(shí)施例中的本體再生工序的順序的概略流程圖。
圖5是示出作為本發(fā)明的材料去除方法、基體材料再生方法和顯示器件制造方法的實(shí)施例的EL發(fā)光面板的制造工序的概略工序剖面圖(a)～(g)。
圖6是示出該實(shí)施例中的本體再生工序的概略工序剖面圖(a)～(e)。
圖7是示出該實(shí)施例中的EL發(fā)光面板的制造工序的順序的概略流程圖。
圖8是示出該實(shí)施例的本體再生工序的順序的概略流程圖。
圖9是示出本發(fā)明的液滴噴射裝置，或作為顯示器件的制造裝置(濾色片的制造裝置、液晶器件的制造裝置和EL器件的制造裝置的各制造裝置)的主要部分的液滴噴射裝置的一個(gè)實(shí)施例的斜視圖。
圖10是放大示出圖9的裝置的主要部分的斜視圖。
圖11是放大示出作為圖10的裝置的主要部分的噴頭的斜視圖。
圖12是示出噴頭內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖，(a)示出了局部剖斷斜視圖，(b)示出了沿(a)的J-J線的剖面結(jié)構(gòu)。
圖13是示出在液滴噴射裝置中使用的電氣控制系統(tǒng)的方框圖。
圖14是示出由圖13的控制系統(tǒng)執(zhí)行的控制流程的流程圖。
圖15是示出本發(fā)明的顯示器件(液晶器件)制造方法的一個(gè)實(shí)施例的工序圖。
圖16是在分解狀態(tài)下示出用本發(fā)明的顯示器件(液晶器件)制造方法制造的顯示器件之一例的斜視圖。
圖17是示出沿圖16中的IX-IX線的液晶器件的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖18是示出作為具有顯示器件的電氣裝置的個(gè)人計(jì)算機(jī)的斜視圖。
圖19是示出作為具有顯示器件的電氣裝置的移動(dòng)電話的斜視圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的作為顯示材料的基體材料的再生方法和顯示器件制造方法的實(shí)施例。本發(fā)明的作為顯示材料的基體材料，基本上是在基體材料上形成間壁，在被該間壁劃分的區(qū)域中配置顯示要素。這里，作為基體材料，可以只是基板，或者也可以是在基板上形成了電極或其他層的部件。另外，作為顯示要素，可以是濾色片的濾色元，也可以是構(gòu)成在顯示器件上排列的顯示點(diǎn)的全部或一部分。下面依次對(duì)作為顯示材料的基體材料是濾色片基板的實(shí)施例、作為顯示材料的基體材料或顯示器件是EL發(fā)光面板的實(shí)施例以及具有作為基體材料的濾色片的顯示器件(電光器件)的實(shí)施例等進(jìn)行說明。
首先，對(duì)本發(fā)明的作為顯示材料的基體材料的再生方法的實(shí)施例進(jìn)行說明。圖1是示出本發(fā)明的作為顯示材料的濾色片基板的制造工序的工序剖面圖(a)～(g)。另外，圖3是示出上述制造工序的概略順序的概略流程圖。下面參照該圖1和圖3對(duì)濾色片基板的制造工序進(jìn)行說明。
首先，如圖1(a)所示，用旋轉(zhuǎn)涂敷、流延涂敷、滾筒涂敷等各種方法在由具有透光性的玻璃或塑料等構(gòu)成的基板12的表面上涂敷放射線感應(yīng)性材料6A(圖3所示步驟S31)。作為放射線感應(yīng)性材料6A，最好是樹脂組成物。涂敷后的上述材料6A的厚度通常為0.1～10μm，最好是0.5～3.0μm。
上述樹脂組成物例如可以用(i)含有粘合劑樹脂、多功能單體、光聚合引發(fā)劑等的因放射線的輻射而硬化的放射線感應(yīng)性樹脂組成物；(ii)合有粘合劑樹脂、因放射線的輻射而產(chǎn)生酸的化合物、因通過放射線的輻射產(chǎn)生的酸的作用而得以交聯(lián)的交聯(lián)化合物等的因放射線輻射而硬化的放射線感應(yīng)性樹脂組成物等。這些樹脂組成物在使用時(shí)通常與溶劑混合，被制成液態(tài)組成物，該溶劑可以是高沸點(diǎn)的溶劑，也可以是低沸點(diǎn)的溶劑。作為本發(fā)明的材料6A可以是特開平10-86456號(hào)公報(bào)記述的(a)六氟丙烯、不飽和羧酸(酐)和其他可共聚的乙烯型不飽和單體的共聚體，(b)因放射線的輻射而產(chǎn)生酸的化合物，(c)因通過放射線的輻射產(chǎn)生的酸的作用而得以交聯(lián)的交聯(lián)化合物，(d)上述(a)成分以外的含氟有機(jī)化合物，以及(e)含可以溶解上述(a)～(d)的成分的溶劑的組成物。
接著，通過規(guī)定的圖形掩模對(duì)上述材料6A輻射放射線(曝光)(圖3的步驟S32)。在本說明書中，當(dāng)述及放射線時(shí)，包含可見光、紫外線、X射線、電子射線等，但最好是波長在190～450nm范圍內(nèi)的放射線(光)。
其后，通過對(duì)上述材料6A進(jìn)行顯影(圖3的步驟S33)形成圖1(b)所示的間壁(圍堤)6B。該間壁6B以與上述圖形掩模對(duì)應(yīng)的形狀(負(fù)圖形或正圖形)構(gòu)成。作為間壁6B的形狀，例如最好是以能夠在平面上縱橫排列方形濾色元形成區(qū)7的方式劃分的網(wǎng)格狀。作為用于對(duì)材料6A進(jìn)行顯影的顯影液，使用了堿顯影液。作為該堿顯影液，例如最好是碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀、硅酸鈉、偏硅酸鈉、氨水、乙胺、正丙胺、二乙胺、二正丙胺、三乙胺、甲基二乙胺、二甲基乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、膽堿、吡咯、哌啶、1，8-二氮雜雙環(huán)[5，4，0]-7-十一碳烯、1，5-二氮雜雙環(huán)[4，3，0]-5-壬烯等的水溶液。也可以在該堿性顯影液中適量添加例如甲醇、乙醇等水溶性有機(jī)溶劑及界面活性劑等。另外，在用堿性顯影液顯影后通常用水清洗。
其后，如圖1(c)所示，對(duì)上述間壁6B在例如約200℃下烘烤(焙燒)，形成間壁6C(圖3的步驟S34)。根據(jù)上述材料6A適當(dāng)調(diào)整焙燒溫度。另外，也可根據(jù)材料6A而存在不需要烘烤處理的情形。還有，在本實(shí)施例中，間壁6C由于由遮光性材料構(gòu)成，因而兼具作為劃分各區(qū)域7的字面上的間壁的功能和對(duì)區(qū)域7以外的部分進(jìn)行遮光的遮光層的功能。不過，也可以以只具有作為間壁的功能的方式構(gòu)成。這時(shí)，可以獨(dú)立于間壁而另外形成由金屬等構(gòu)成的遮光層。
接著，在被用上述方法形成的間壁6C劃分的各區(qū)域7中，導(dǎo)入濾色元材料13(圖示例中的13R(紅色著色材料)、13G(綠色著色材料)、13B(藍(lán)色著色材料))。作為將濾色元材料13導(dǎo)入各區(qū)域7的方法，可以采用合適的方法(例如采用放射線感應(yīng)性著色材料的光刻法及氣相生長法等)，而特別是最好借助于與溶劑等混合，使濾色元材料13形成液體狀材料，將該液態(tài)材料導(dǎo)入上述區(qū)域7。更具體地說，在本實(shí)施例中，借助于使用后面將述及的液滴噴頭(噴頭)的液滴噴射，以液滴8的形態(tài)將液態(tài)材料噴射到區(qū)域7內(nèi)，以此進(jìn)行材料的導(dǎo)入。
作為濾色元材料13，可以采用對(duì)丙烯酸樹脂等基質(zhì)材料(最好是樹脂材料)散布顏料、染料或其他著色材料的材料。另外，為了構(gòu)成液態(tài)材料，除上述基質(zhì)材料和著色材料外，最好與合適的溶劑，例如有機(jī)溶劑混合。
上述濾色元材料13作為液態(tài)材料被導(dǎo)入后，借助于進(jìn)行干燥或在低溫(例如60℃)下焙燒的預(yù)烘烤(pre-baking)，使其暫時(shí)固化或暫時(shí)硬化。例如，進(jìn)行濾色元材料13R的導(dǎo)入(圖1(d)和圖3的步驟S35)，其后進(jìn)行濾色元材料13R的預(yù)烘烤，形成濾色元3R(圖3的步驟S36)，接著，進(jìn)行濾色元材料13G的導(dǎo)入(圖1(e)和圖3的步驟S37)，進(jìn)行濾色元材料13G的預(yù)烘烤，形成濾色元3G(圖3的步驟S38)，進(jìn)而進(jìn)行濾色元材料13B的導(dǎo)入(圖1(f)和圖3的步驟S39)，然后進(jìn)行濾色元材料13B的預(yù)烘烤，形成濾色元3B(圖3的步驟S40)。通過這樣做，所有顏色的濾色元材料被導(dǎo)入各區(qū)域7，借助于形成作為暫時(shí)固化或暫時(shí)硬化的顯示要素的濾色元3(3R、3G、3B)，形成了顯示材料(濾色片基板)。
接著，檢查用如上方法構(gòu)成的作為顯示材料的濾色片基板(圖3的步驟S41)。該檢查例如用肉眼或顯微鏡等觀察上述間壁6C和作為顯示要素的濾色元3。這時(shí)，也可以對(duì)濾色片基板進(jìn)行攝影，根據(jù)該攝影圖像自動(dòng)進(jìn)行檢查。通過該檢查，在作為顯示要素的濾色元3中發(fā)現(xiàn)了缺陷時(shí)，將該濾色片基板轉(zhuǎn)移至下面將述及的本體再生工序中。
這里，所謂濾色元3的缺陷指的是濾色元3空缺的場合(所謂空點(diǎn))；雖形成濾色元3，但在區(qū)域7內(nèi)配置的材料量(體積)過多或過少而不合適的場合；雖形成濾色元3，但有塵埃等異物混入或附著的場合。
在上述檢查中，當(dāng)在作為顯示材料的基體材料中未發(fā)現(xiàn)缺陷時(shí)，在例如200℃左右的溫度下進(jìn)行烘烤(焙燒)處理，使作為顯示材料的基體材料的濾色元3(3R、3G、3B)完全固化或硬化(圖3的步驟S42)。該烘烤處理的溫度可根據(jù)濾色元材料13的組成適當(dāng)?shù)貨Q定。另外，特別是可以不加熱至高溫，只是在與通常不同的氣氛(氮?dú)庵谢蚋稍锟諝庵械?中使其干燥或老化。另外，這里所說的“完全”，意味著完全達(dá)到最后可以作為顯示材料使用的狀態(tài)，并不一定意味來自濾色元3的流動(dòng)性完全消失，或者液體成分完全消失。最后，如圖1(g)所示，在上述濾色元3上形成透明保護(hù)層14。
另外，在上述工藝中，在所有的濾色元3(3R、3G、3B)被導(dǎo)入的時(shí)刻進(jìn)行顯示材料(濾色片基板)的檢查，但并不一定限于這種實(shí)施方式。例如，可以在僅將濾色元材料13R導(dǎo)入?yún)^(qū)域7之后，只對(duì)濾色元3R進(jìn)行檢查等，也可以在只進(jìn)行了部分濾色元3的形成，或一部分暫時(shí)固化或暫時(shí)硬化前的濾色元材料13的導(dǎo)入的狀態(tài)下，對(duì)該形成或?qū)脒M(jìn)行檢查。這時(shí)，進(jìn)行部分檢查，在檢查中發(fā)現(xiàn)缺陷時(shí)可以立即轉(zhuǎn)移至后面將述及的本體再生工序，或者也可以在進(jìn)行了全部檢查后轉(zhuǎn)移至本體再生工序。
下面參照圖2和圖4對(duì)在檢查上述顯示材料時(shí)發(fā)現(xiàn)作為顯示要素的濾色元3有缺陷的場合進(jìn)行的本體再生工序進(jìn)行說明。圖2是本體再生工序的工序剖面圖(a)～(e)，圖4是示出本體再生工序的概略順序的概略流程圖。
在此本體再生工序中，首先，如圖2(b)所示，將圖2(a)所示的濾色片基板浸漬在顯影液E中，(圖4所示的步驟S51)。作為該顯影液E，使用可在為形成上述間壁6的顯影處理中使用的上述顯影液，特別是上述堿性溶液。該顯影液E可以使用用于形成上述間壁6B的顯影液本身，但也可以不是該顯影液本身。例如，在形成上述間壁6B的工序中使用碳酸鈉水溶液，但在此本體再生工序中使用的顯影液E也可以用氫氧化鉀水溶液。
在向該顯影液E中浸漬的工序中，最好借助于利用超聲波清洗槽對(duì)作為顯示要素的濾色元3施加超聲波振動(dòng)，或者用布或海綿等輕輕摩擦，或以噴淋方式噴涂顯影液E，或用高壓噴涂顯影液E，施加物理上的振動(dòng)或應(yīng)力。這時(shí)，最好在顯影液E與作為顯示要素的濾色元3接觸的狀態(tài)(浸漬狀態(tài))下施加上述振動(dòng)或應(yīng)力，但作為具體實(shí)施方式
，可以將作為顯示材料的濾色片基板一度從顯影液E中取出，施加振動(dòng)或應(yīng)力，然后再浸漬到顯影液E中。不過，也可以完全不進(jìn)行這些工序，只是簡單地將顯示材料浸漬在顯影液E中。
如上所述，將作為顯示材料的濾色片基板浸漬在顯影液E中，根據(jù)需要施加振動(dòng)或應(yīng)力，從而如圖2(c)和圖4的步驟S52所示，剝離作為顯示要素的濾色元3(3R、3G、3B)。這時(shí)，由于濾色元3的一部分溶解入顯影液E中，所以濾色元3易于從基板12及間壁6C剝離下來。另一方面，因顯影液E是構(gòu)制間壁6C本身的圖形時(shí)可以使用的顯影液，所以在基板12上形成的該間壁6C幾乎不受損傷地、原樣不變地保留了下來。特別是在本實(shí)施例的場合，間壁6C因在其形成工序中被顯影后在圖3的步驟S34中進(jìn)行焙燒，所以通常完全不受顯影液E的影響。
然后，如圖2(d)所示，進(jìn)行水洗(圖4的步驟S53)，其后，借助于進(jìn)行干燥(圖4的步驟S54)，如圖2(e)所示，使在基板12上只留了下間壁6C的本體再生。再后，通過目視或用顯微鏡觀察這樣構(gòu)成的本體，進(jìn)行本體檢查(圖4的步驟S55)。這里，對(duì)該本體來說，當(dāng)存在基板或間壁6C的損傷(短缺、剝離、瑕疵)等缺陷時(shí)，對(duì)該本體進(jìn)行廢棄處理(圖4的步驟S56)，當(dāng)未發(fā)現(xiàn)這些缺陷時(shí)，將該本體返回到圖3所示的步驟S35，即濾色片的描繪工序。
對(duì)這樣再生的上述本體，直接進(jìn)行圖3所示的步驟S35以后的各項(xiàng)處理，與上面的說明相同，形成顯示材料(濾色片基板)。
由于在以上說明的實(shí)施例中的本體再生工序中，在留下在基板12上形成的間壁6C的狀態(tài)下，只除掉濾色元3，所以在本體再生后無需重新進(jìn)行關(guān)于間壁形成工序的處理，可以將再生的本體立即導(dǎo)入濾色元的形成工序，因此可以提高生產(chǎn)效率，能夠?qū)χ圃斐杀镜慕档徒o予大的貢獻(xiàn)。
另外，在本實(shí)施例的濾色片基板的制造方法中，由于利用后面將述及的液滴噴射裝置，通過材料噴射，形成R、G、B各色濾色元3R、3G、3B，所以無需經(jīng)過采用光刻法的方法這樣的復(fù)雜工序，另外，也不浪費(fèi)材料。

下面參照圖5至圖8對(duì)本發(fā)明的作為顯示材料的基體材料的再生方法和顯示器件的制造方法的實(shí)施例進(jìn)行說明。在圖5中，給出了示出作為顯示器件的EL發(fā)光面板的制造方法的工序剖面圖(a)～(g)。在圖6中，給出了示出作為顯示材料的EL發(fā)光面板的本體的再生方法的工序剖面圖(a)～(e)。另外，圖7是示出作為顯示器件的EL發(fā)光面板的制造順序梗概的概略流程圖。圖8是示出作為顯示材料的EL發(fā)光面板的本體的再生處理順序梗概的概略流程圖。
在制造該EL發(fā)光面板的場合，在由透光玻璃或塑料等構(gòu)成的基板12上形成例如圖5(a)所示的第1電極201。當(dāng)EL發(fā)光面板為無源矩陣型時(shí)，第1電極201被形成為帶狀；而當(dāng)其為在基板12上形成未圖示的TFD元件或TFT元件這樣的有源元件而成的有源矩陣型時(shí)，第1電極201對(duì)每個(gè)顯示點(diǎn)獨(dú)立地形成。作為這些結(jié)構(gòu)的形成方法，例如可以采用光刻法、真空淀積法、濺射法、熔溶膠法等。作為第1電極201的材料可以使用ITO(氧化銦錫)、氧化錫、氧化銦和氧化鋅的復(fù)合氧化物等。
接著，在上述第1電極201上，與上述濾色片基板的場合一樣，用同樣的方法涂敷放射線感應(yīng)性材料6A(圖7所示的步驟S61)。然后，用與上述相同的方法進(jìn)行放射線輻射(曝光)處理(圖7的步驟S62)和顯影處理(圖7的步驟S63)，如圖5(b)所示，形成間壁(圍堤)6B。
該圍堤6B被形成為網(wǎng)格狀，以隔開在各顯示點(diǎn)上形成的各第1電極201的方式，即以構(gòu)成與顯示點(diǎn)對(duì)應(yīng)的EL發(fā)光部形成區(qū)7的方式形成。另外，與上述濾色片基板的場合一樣，它最好還有遮光功能。在這種情況下，可以提高對(duì)比度，防止發(fā)光材料的混色，以及防止光從像素與像素之間漏泄。作為間壁6B的材料，基本上可以使用對(duì)上述濾色片基板的間壁所采用的各種材料。但是，這時(shí)特別希望是對(duì)后面將述及的EL發(fā)光材料的溶劑具有抗性的材料，并且最好是能夠借助于碳氟化合物氣體等離子體處理轉(zhuǎn)變成四氟乙烯的例如丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、感光性聚酰亞胺等有機(jī)材料。
接著，在涂敷作為功能性液體的用作空穴注入層的材料之前，對(duì)基板12進(jìn)行氧氣和碳氟化合物氣體等離子體的連續(xù)等離子體處理。借此，可以使聚酰亞胺表面具有疏水性、使ITO表面具有親水性、控制用于精細(xì)地構(gòu)制液滴圖形的基板側(cè)的浸潤性。作為產(chǎn)生等離子體的裝置，在真空中產(chǎn)生等離子體的裝置也好，在大氣中產(chǎn)生等離子體的裝置也好，同樣可以應(yīng)用。另外，在該工序之外，或者取代該工序，對(duì)上述間壁6B在200℃左右進(jìn)行烘烤(焙燒)處理(圖7的步驟S64)。由此形成間壁6C。
接著，如圖5(c)所示，以液滴8的形態(tài)噴出空穴注入層用材料202A，將其噴射至區(qū)域7(圖7的步驟S65)。該空穴注入層用材料202A是利用溶劑等使作為空穴注入層的材料成為液態(tài)的材料。
然后，作為預(yù)烘烤處理，在真空(1torr)中、室溫下放置20分鐘等的條件下去除掉溶劑，如圖5(d)所示，形成空穴注入層202(圖7的步驟S66)。在上述條件下，空穴注入層202的膜厚為40nm。
接著，如圖5(d)所示，與上面所述相同，在各區(qū)域7內(nèi)的空穴注入層202上以液滴狀導(dǎo)入作為功能性液體的EL發(fā)光材料的R發(fā)光層用材料(圖7步驟S67)。然后，在涂敷該發(fā)光層用材料后，作為預(yù)烘烤處理，在真空(1torr)中、室溫下放置20分鐘等的條件下去除掉溶劑(圖7的步驟S68)。依上述條件形成的R發(fā)光層203R的膜厚為50nm。
進(jìn)而，與上面所述相同，在區(qū)域7內(nèi)的空穴注入層202上作為液滴8導(dǎo)入作為功能性液體的EL發(fā)光材料的G發(fā)光層用材料(圖7的步驟S69)。然后，在涂敷該發(fā)光層用材料后，作為預(yù)烘烤處理，在真空(1torr)中、室溫下放置20分鐘等的條件下去除掉溶劑(圖7的步驟S70)。依上述條件形成的G發(fā)光層203G的膜厚為50nm。
接著，如圖5(e)所示，與上面所述相同，將作為功能性液體的EL發(fā)光材料的B色發(fā)光層203B以液滴8的狀態(tài)導(dǎo)入?yún)^(qū)域7。在圖示的例子中，只在未形成上述R色發(fā)光層和未形成上述G色發(fā)光層的B色點(diǎn)的區(qū)域7形成B色發(fā)光層203B(圖7的步驟S71)。并且，在其后，作為預(yù)烘烤處理，在真空(1torr)中、室溫下放置20分鐘等的條件下去除掉溶劑(圖7的步驟S72)。
作為上述R色發(fā)光層203R、G色發(fā)光層203G和B色發(fā)光層203B的排列狀態(tài)，可以根據(jù)所需的顯示性能適當(dāng)?shù)夭捎脳l形排列、三角形排列、鑲嵌形排列等熟知圖形。
另外，與上述圖示例不同，在上述步驟S71中，也可以在B色點(diǎn)以外，對(duì)于已經(jīng)形成R色發(fā)光層203R、G色發(fā)光層203G的顯示點(diǎn)，重疊在上述R色發(fā)光層203R或G色發(fā)光層203G之上形成B色發(fā)光層203B。由此，不僅形成了R、G、B三原色，還可以掩埋R色發(fā)光層203R和G色發(fā)光層203G與間壁6C的臺(tái)階，實(shí)現(xiàn)平坦化。由此，可以可靠地防止上下電極間的短路。這時(shí)，通過調(diào)整B色發(fā)光層203B的膜厚，使B色發(fā)光層203B在與R色發(fā)光層203R和G色發(fā)光層203G的疊層結(jié)構(gòu)中起電子輸運(yùn)層的作用，而不發(fā)B色光。作為以上這樣的B色發(fā)光層203B的形成方法，例如可以采用作為濕法的一般的旋轉(zhuǎn)涂敷法，或者也可以采用與R色發(fā)光層203R和G色發(fā)光層203G的形成方法相同的方法。
另外，在形成上述各發(fā)光層前，也可以對(duì)空穴注入層220進(jìn)行氧氣和碳氟化合物氣體等離子體的連續(xù)等離子體處理。由此，可以在空穴注入層220上形成氟化物層，借助于增高電離勢來提高空穴注入效率，從而提供發(fā)光效率高的有機(jī)EL器件。
接著，如上所述，對(duì)在個(gè)顯示點(diǎn)形成了空穴注入層202和R色發(fā)光層203R、G色發(fā)光層203G或B色發(fā)光層203B的EL發(fā)光面板，通過目視或用顯微鏡等觀察，或者圖像處理等進(jìn)行檢查(圖7的步驟S73)。然后，根據(jù)該檢查，在各顯示點(diǎn)內(nèi)的EL發(fā)光部(由空穴注入層202與R色發(fā)光層203R、G色發(fā)光層203G或B色發(fā)光層203B的疊層體構(gòu)成)發(fā)現(xiàn)缺陷(空點(diǎn)、疊層結(jié)構(gòu)不良、發(fā)光部的材料過多、塵埃之類的異物混入等)時(shí)，轉(zhuǎn)移至后面敘述的本體再生工序。另外，當(dāng)在該檢查中未發(fā)現(xiàn)不良時(shí)，例如可以借助于在氮?dú)夥罩小?50℃下進(jìn)行4個(gè)小時(shí)的熱處理，使各發(fā)光層共軛化。
其后，如圖5(f)所示，通過形成對(duì)置電極213，制造所期望的EL面板。對(duì)置電極213當(dāng)為面電極時(shí)，可以以例如Mg、Ag、Al、Li等為材料、用蒸發(fā)法、濺射法等成膜方法形成。另一方面，當(dāng)對(duì)置電極213為條形電極時(shí)，可以用光刻法等圖形構(gòu)制方法形成膜狀電極層。最后，如圖5(g)所示，用適當(dāng)?shù)牟牧?樹脂模塑材料、無機(jī)絕緣膜等)在對(duì)置電極213上形成保護(hù)層214。
另外，對(duì)在上述圖7的步驟S73中進(jìn)行的檢查中，發(fā)現(xiàn)作為顯示要素的EL發(fā)光部有缺陷時(shí)所進(jìn)行的、圖6和圖8所示的本體再生工序進(jìn)行說明。圖6(a)所示的EL發(fā)光面板是在圖7的步驟S73中進(jìn)行的檢查中，對(duì)在區(qū)域7內(nèi)配置的EL發(fā)光部發(fā)現(xiàn)了缺陷的EL發(fā)光面板，將該EL發(fā)光面板如圖6(b)所示浸漬在顯影液E中(圖8的步驟S81)。該顯影液E與前面的實(shí)施例的一樣，是可用于在圖7的步驟S63中進(jìn)行的顯影處理的顯影液。因此，可以使用在前面的實(shí)施例中所述的各種顯影液。另外，不限于在圖7的步驟S63中使用的顯影液本身的這一點(diǎn)也與前面的實(shí)施例相同。
另外，在該工序中，與前面的實(shí)施例一樣，對(duì)EL發(fā)光部施加振動(dòng)或應(yīng)力。施加振動(dòng)或應(yīng)力的實(shí)施方式也與前面的實(shí)施例完全相同。
在進(jìn)行上述工序后，則如圖(c)所示，EL發(fā)光部，即空穴注入層202和EL發(fā)光層203R、203G、203B被顯影液E從區(qū)域7剝離(圖8的步驟S82)。其后，對(duì)只剩基板12和間壁6C的本體，如圖6(d)所示進(jìn)行水洗(圖8的步驟S82)，如圖6(e)所示進(jìn)行干燥(圖8的步驟S84)。
其后，通過目視、用顯微鏡觀察或圖像處理等對(duì)上述本體進(jìn)行檢查(圖8的步驟S85)。再后，當(dāng)在基板12或間壁6C上發(fā)現(xiàn)有損傷時(shí)廢棄本體(圖8的步驟S86)，當(dāng)未發(fā)現(xiàn)損傷時(shí)將本體導(dǎo)入上述的圖7所示步驟S65。
按照以上說明的EL面板的制造方法，由于在本體再生工序中，在留下在基板12上形成的間壁6C的狀態(tài)下，只去除掉EL發(fā)光部(空穴注入層202和EL發(fā)光層203R、203G、203B)，所以在本體再生后無需從間壁形成工序開始重新進(jìn)行處理，可以將再生的本體立即導(dǎo)入EL發(fā)光部的形成工序，因而可以提高生產(chǎn)效率，能夠?qū)χ圃斐杀镜慕档徒o予大的貢獻(xiàn)。
另外，在本實(shí)施例的EL面板的制造方法中，由于利用后面將述及的液滴噴射裝置，借助于材料噴射，形成R、G、B各色的EL發(fā)光部，所以也無需經(jīng)過采用光刻法的方法這樣的復(fù)雜工序，另外，也不浪費(fèi)材料。
下面對(duì)可在上述各實(shí)施例中使用的液滴噴射裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖9是示出液滴噴射裝置的整體結(jié)構(gòu)的概略斜視圖，圖10是部分地示出液滴噴射裝置的主要部分的局部斜視圖。
如圖9所示，液滴噴射裝置16包括作為液滴噴頭之一例的、具有在印刷機(jī)等上使用的噴頭22的噴頭單元26；控制噴頭22的位置的噴頭位置控制裝置17；控制基板12的位置的基板位置控制裝置18；作為使噴頭22對(duì)基板12在掃描方向X進(jìn)行掃描移動(dòng)的掃描驅(qū)動(dòng)設(shè)備的掃描驅(qū)動(dòng)裝置19；使噴頭22對(duì)基板12在與掃描方向交叉(正交)的進(jìn)料方向Y移動(dòng)的進(jìn)料驅(qū)動(dòng)裝置21；將基板12供給到液滴噴射裝置16內(nèi)的規(guī)定的作業(yè)位置的基板供給裝置23；以及進(jìn)行該液滴噴射裝置16的全面控制的控制裝置24。
上述噴頭位置控制裝置17、基板位置控制裝置18、掃描驅(qū)動(dòng)裝置19以及進(jìn)料驅(qū)動(dòng)裝置21的各裝置被設(shè)置在底座9上。另外，這些各種裝置可以根據(jù)需要用蓋子14覆蓋。
噴頭22例如具有排列了多個(gè)噴嘴27而成的噴嘴列28，如圖11所示。噴嘴27的數(shù)目例如是180個(gè)，噴嘴2 7的孔徑例如為28μm，噴嘴27的間距t例如為141μm。圖11所示的基準(zhǔn)方向S表示噴頭22的標(biāo)準(zhǔn)掃描方向，排列方向T表示噴嘴列28中的噴嘴27的排列方向。
噴頭22例如具有由不銹鋼等制成的噴嘴板29、與其相向的振動(dòng)板31以及將它們相互焊接的多個(gè)間壁構(gòu)件32，如圖12(a)和(b)所示。在噴嘴板29與振動(dòng)板31之間，借助于間壁構(gòu)件32形成多個(gè)材料室33和貯液器34。這些材料室33與貯液器34經(jīng)通路38相互連通。
在振動(dòng)板31的適當(dāng)部位形成材料供給孔36。材料供給裝置37與該材料供給孔36連接。材料供給裝置37向材料供給孔36供給由R、G、B中的一種顏色，例如R色的濾色元材料等構(gòu)成的材料M。這樣供給的材料M充滿貯液器34，進(jìn)而通過通路38充滿材料室33。
在噴嘴板29上設(shè)置了用于將來自材料室33的材料M以射流狀噴出的噴嘴27。另外，在振動(dòng)板31的面向材料室33的面的背面，與該材料室33對(duì)應(yīng)地安裝了材料加壓體39。如圖12(b)所示，該材料加壓體39具有壓電元件41和夾持它的一對(duì)電極42a、42b。壓電元件41借助于向電極42a和42b通電而發(fā)生彎曲變形，向箭頭C所示的外側(cè)突出，由此，材料室33的容積增大。這樣一來，相當(dāng)于容積的增大量的材料M就從貯液器34經(jīng)通路38流入材料室33。
其后，在取消對(duì)壓電元件41的通電時(shí)，由于該壓電元件41和振動(dòng)板31都恢復(fù)至原來的形狀，因此，材料室33也恢復(fù)到原來的容積，所以處于材料室33內(nèi)部的材料M的壓力上升，材料M形成液滴8從噴嘴27噴出。另外，為防止液滴8彎曲飛行或噴嘴27的孔堵塞等，在噴嘴27的周邊部設(shè)置了例如由Ni-四氟乙烯共析鍍層形成的疏材料層43。
下面，參照圖10，對(duì)在上述噴頭22的周圍配置的噴頭位置控制裝置17、基板位置控制裝置18、掃描驅(qū)動(dòng)裝置19、進(jìn)料驅(qū)動(dòng)裝置21以及其他裝置進(jìn)行說明。噴頭位置控制裝置17具有使安裝在噴頭單元26上的噴頭22在平面(水平面)內(nèi)旋轉(zhuǎn)的α電動(dòng)機(jī)44；使噴頭22圍繞平行于進(jìn)料方向Y的軸線而擺動(dòng)旋轉(zhuǎn)的β電動(dòng)機(jī)46；使噴頭22圍繞平行于掃描方向X的軸線而擺動(dòng)旋轉(zhuǎn)的γ電動(dòng)機(jī)47；以及使噴頭22在上下方向平移的Z電動(dòng)機(jī)78。
另外，基板位置控制裝置18包括裝載基板12的平臺(tái)49和使該平臺(tái)49在平面(水平面)內(nèi)旋轉(zhuǎn)的θ電動(dòng)機(jī)51。另外，掃描驅(qū)動(dòng)裝置19包括在掃描方向X延伸的X導(dǎo)軌52和例如內(nèi)置脈沖驅(qū)動(dòng)的直線電動(dòng)機(jī)的X滑塊53。該X滑塊53借助于例如內(nèi)置的直線電動(dòng)機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)，沿X導(dǎo)軌52在掃描方向X平移。
另外，進(jìn)料驅(qū)動(dòng)裝置19包括在進(jìn)料方向Y延伸的Y導(dǎo)軌54和例如內(nèi)置脈沖驅(qū)動(dòng)的直線電動(dòng)機(jī)的Y滑塊56。Y滑塊56借助于例如內(nèi)置的直線電動(dòng)機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)，沿Y導(dǎo)軌54在進(jìn)料方向Y平移。
在X滑塊53或Y滑塊56內(nèi)的脈沖驅(qū)動(dòng)的直線電動(dòng)機(jī)能夠按照向該電動(dòng)機(jī)供給的脈沖信號(hào)精密地進(jìn)行輸出軸的旋轉(zhuǎn)角度控制，因此，能夠高精度地控制由X滑塊53支撐的噴頭22在掃描方向X上的位置或平臺(tái)49在進(jìn)料方向Y上的位置等。另外，噴頭22或平臺(tái)49的位置控制不限于使用脈沖電動(dòng)機(jī)的位置控制，也可以借助于使用伺服電動(dòng)機(jī)的反饋控制，或者其他任意的控制方法來實(shí)現(xiàn)。
在上述平臺(tái)49上設(shè)置了限定基板12的平面位置的定位銷50a、50b?；?2借助于下面將述及的基板供應(yīng)裝置23，在其掃描方向X側(cè)和進(jìn)料方向Y側(cè)的端面與定位銷50a、50b接觸的狀態(tài)下保持定位。在平臺(tái)49上最好設(shè)置用于固定在這樣的定位狀態(tài)下保持的基板12的、例如空氣抽吸(真空吸附)等熟知的固定裝置。
在本實(shí)施例的液滴噴射裝置16中，如圖10所示，在平臺(tái)49的上方配置了多組(在圖示例中為2組)攝像裝置91R、91L和92R、92L。這里，在圖10中對(duì)攝像裝置91R、91L和92R、92L只示出了鏡筒，而省略了其他部分及其支撐結(jié)構(gòu)。
作為這些觀察裝置的攝像裝置可以使用CCD攝像機(jī)等。另外，在圖9中，對(duì)這些攝像裝置省略了圖示。
圖9所示的基板供應(yīng)裝置23包括收容基板12的基板收容部57和運(yùn)送基板12的機(jī)械手等基板運(yùn)送裝置58?；暹\(yùn)送裝置58包括基座59；相對(duì)于基座59升降移動(dòng)的升降軸61；以升降軸61為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的第1臂62；對(duì)第1臂62進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的第2臂63；以及在第2臂63的前端下表面設(shè)置的吸附墊64。
該吸附墊64以能夠借助于空氣抽吸(真空吸附)等對(duì)基板12進(jìn)行吸附保持的方式構(gòu)成。
另外，如圖9所示，在上述噴頭22的掃描軌跡下，在進(jìn)料驅(qū)動(dòng)裝置21的一側(cè)的位置上設(shè)置了壓蓋裝置76和清洗裝置77。另外，在進(jìn)料驅(qū)動(dòng)裝置21的另一側(cè)的位置上設(shè)置了電子天平78。這里，壓蓋裝置76是在噴頭22處于待機(jī)狀態(tài)時(shí)防止噴嘴27(參照圖11)干燥的裝置。清洗裝置77是用于清洗噴頭22的裝置。電子天平78是對(duì)每一個(gè)噴嘴測定從噴頭22內(nèi)的各個(gè)噴嘴27噴出的墨滴8的重量的裝置。另外，在噴頭22的附近還安裝了與噴頭22一體移動(dòng)的噴頭用攝像機(jī)81。
圖9所示的控制裝置24包括容納了處理器的計(jì)算機(jī)主機(jī)部66、鍵盤等輸入裝置97和CRT等顯示裝置98。在計(jì)算機(jī)主機(jī)部66中，包括圖13所示的CPU(中央處理裝置)69和作為存儲(chǔ)各種信息的存儲(chǔ)器的信息記錄介質(zhì)71。
上述的噴頭位置控制裝置17、基板位置控制裝置18、掃描驅(qū)動(dòng)裝置19、進(jìn)料驅(qū)動(dòng)裝置21以及驅(qū)動(dòng)噴頭22內(nèi)的壓電元件41(參照圖12(b))的噴頭驅(qū)動(dòng)電路72等各種裝置如圖13所示經(jīng)輸入、輸出接口73和總線74與CPU69連接。另外，基板供應(yīng)裝置23、輸入裝置67、顯示裝置68、壓蓋裝置76、清洗裝置77和電子天平78也與上述裝置一樣，經(jīng)輸入、輸出接口73和總線74與CPU69連接。
作為信息記錄介質(zhì)71的存儲(chǔ)器是包含RAM(隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)、ROM(只讀存儲(chǔ)器)等半導(dǎo)體存儲(chǔ)器以及硬盤，CD-ROM讀取裝置，盤式記錄介質(zhì)之類的外部存儲(chǔ)裝置等的概念，就功能而言，設(shè)定有存儲(chǔ)記述了液滴噴射裝置16的動(dòng)作控制順序的程序軟件的存儲(chǔ)區(qū)；用于存儲(chǔ)由噴頭22在基板12上噴射材料的噴射位置作為坐標(biāo)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)區(qū)；用于存儲(chǔ)基板12在圖10所示的進(jìn)料方向Y的進(jìn)料移動(dòng)量的存儲(chǔ)區(qū)；具有作為CPU69的工作區(qū)和臨時(shí)文件等的功能的區(qū)域；以及其他各種存儲(chǔ)區(qū)。
CPU69是根據(jù)在作為信息記錄介質(zhì)71的存儲(chǔ)器內(nèi)存儲(chǔ)的程序軟件進(jìn)行向基板12表面上的規(guī)定位置噴射材料的控制的部件。作為其具體的功能實(shí)現(xiàn)部，如圖13所示，包括為實(shí)現(xiàn)清洗處理而進(jìn)行運(yùn)算的清洗運(yùn)算部；為實(shí)現(xiàn)覆蓋處理的覆蓋運(yùn)算部；為實(shí)現(xiàn)利用電子天平78的重量測定而進(jìn)行運(yùn)算的重量測定運(yùn)算部；以及為借助于液滴噴射將材料噴射到基板12的表面上、描繪成規(guī)定圖形的描繪運(yùn)算部。
在上述描繪運(yùn)算部中，還具有用于將噴頭22置于描繪的初始位置的描繪開始位置運(yùn)算部；對(duì)使噴頭22在掃描方向X以規(guī)定的速度進(jìn)行掃描移動(dòng)的控制進(jìn)行運(yùn)算的掃描控制運(yùn)算部；對(duì)使基板12在進(jìn)料方向Y移動(dòng)一個(gè)規(guī)定的進(jìn)料移動(dòng)量的控制進(jìn)行運(yùn)算的進(jìn)料控制運(yùn)算部；以及用于控制使噴頭22內(nèi)的多個(gè)噴嘴27中的哪一個(gè)進(jìn)行動(dòng)作以噴射材料而進(jìn)行運(yùn)算的噴嘴噴射控制運(yùn)算部等各種功能運(yùn)算部。
另外，在上述實(shí)施例中，借助于利用CPU69的程序軟件實(shí)行了上述各種功能，但是在能夠借助于不使用CPU的電子電路而實(shí)現(xiàn)上述各功能時(shí)，也可以采用那種電子電路。
下面根據(jù)圖14所示的流程圖對(duì)由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的液滴噴射裝置16的動(dòng)作進(jìn)行說明。當(dāng)由操作人員接通電源，使液滴噴射裝置16工作時(shí)，首先在步驟S1中實(shí)現(xiàn)初始設(shè)定。具體而言，建立對(duì)噴頭單元26、基板供應(yīng)裝置23及控制裝置24等預(yù)先確定的初始狀態(tài)。
接著，在重量測定時(shí)刻到來(步驟S2)時(shí)，由掃描驅(qū)動(dòng)裝置19將圖10所示的噴頭單元26移動(dòng)到圖9所示的電子天平78處(步驟S3)。然后，用電子天平78測定從噴嘴27噴出的材料的量(步驟S4)。進(jìn)而與如此測定的噴嘴27的材料噴射特性相一致地調(diào)節(jié)施加至各噴嘴27上的壓電元件41的電壓(步驟S5)。
其后，當(dāng)清洗時(shí)刻到來(步驟S6)時(shí)，掃描驅(qū)動(dòng)裝置19將噴頭單元26移動(dòng)到清洗裝置77處(步驟S7)，由該清洗裝置77清洗噴頭22(步驟S8)。
在重量測定時(shí)刻及清洗時(shí)刻未到來時(shí)，或者重量測定及清洗完成時(shí)，在步驟S9中，使圖9所示的基板供應(yīng)裝置23工作，將基板12向平臺(tái)49供給。具體地說，由吸附墊64對(duì)基板收容部57內(nèi)的基板12進(jìn)行吸附和保持，移動(dòng)升降軸61、第1臂62和第2臂63，將基板12傳送至平臺(tái)49，進(jìn)而壓到在平臺(tái)49的適當(dāng)部位預(yù)先設(shè)置的定位銷50a、50b(參照圖10)上。還有，為防止平臺(tái)49上的基板12的位置偏離，最好用空氣抽吸(真空吸附)等裝置將基板12固定在平臺(tái)49上。
接著，一邊用圖10所示的攝像裝置91R、91L觀察基板12，一邊通過以微小的角度單位使θ電動(dòng)機(jī)51的輸出軸旋轉(zhuǎn)，在平面(水平面)內(nèi)使平臺(tái)49旋轉(zhuǎn)，對(duì)基板12進(jìn)行定位(步驟S10)。再具體地說，用圖10所示的上述一對(duì)攝像裝置91R、91L，或92R、92L分別對(duì)在基板12的左右兩端分別形成的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝，根據(jù)這些對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的攝像位置，推算并求出基板12的平面姿態(tài)，根據(jù)該平面姿態(tài)使平臺(tái)49旋轉(zhuǎn)，調(diào)整角度θ。
其后，一邊用圖9所示的噴頭用攝像機(jī)81觀察基板12，一邊通過運(yùn)算來確定噴頭22開始進(jìn)行描繪的位置(步驟S11)。然后，適當(dāng)?shù)夭僮鲯呙栩?qū)動(dòng)裝置19和進(jìn)料驅(qū)動(dòng)裝置21，使噴頭22移動(dòng)至描繪開始位置(步驟S12)。
這時(shí)，噴頭22可以呈圖11所示的基準(zhǔn)方向S與掃描方向X相一致的姿態(tài)，或者也可以以呈基準(zhǔn)方向S對(duì)掃描方向以規(guī)定角度傾斜的姿態(tài)的方式構(gòu)成。噴嘴27的間距與基板12表面上的應(yīng)噴射材料的位置的間距往往不同，該規(guī)定角度是為了在掃描方向X使噴頭22移動(dòng)時(shí)，在排列方向T所排列的噴嘴27的間距在進(jìn)料方向Y的尺寸分量在幾何學(xué)上與基板12在進(jìn)料方向Y的噴射位置的間距相等所采取的措施。
當(dāng)在圖14所示的步驟S12中將噴頭22放置到描繪開始位置后，在步驟S13中，噴頭22在掃描方向X以恒定的速度沿直線進(jìn)行掃描移動(dòng)。在該掃描中，來自噴頭22的噴嘴27的材料的液滴連續(xù)地向基板12的表面噴射。
另外，這時(shí)材料的液滴的噴射量可被設(shè)定為通過一次掃描，在噴頭22所能覆蓋的噴射范圍內(nèi)噴射出全部量，但也可以構(gòu)成為例如通過一次掃描，噴射出本應(yīng)噴射量的幾分之一(例如1/4)的材料，在將噴頭進(jìn)行多次掃描的場合，設(shè)定為其掃描范圍在進(jìn)料方向Y部分地相互重疊，構(gòu)成為在全部區(qū)域進(jìn)行多次(例如4次)材料噴射。
噴頭22當(dāng)對(duì)基板12完成1行部分的掃描(步驟S14)后，反向移動(dòng)返回到初始位置(步驟S15)，在進(jìn)料方向Y移動(dòng)規(guī)定的量(為設(shè)定的進(jìn)料移動(dòng)量)(步驟S16)。然后，再按步驟S13進(jìn)行掃描，噴出材料，此后反復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作，橫過多行進(jìn)行掃描。這里，也可以以如下方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)在1行部分掃描完成后，直接在進(jìn)料方向Y移動(dòng)規(guī)定量，反轉(zhuǎn)，向反方向進(jìn)行掃描，交替地使掃描方向反轉(zhuǎn)。
這里，對(duì)后面將述及的在基板12內(nèi)形成多個(gè)濾色片的場合進(jìn)行說明，在對(duì)基板12內(nèi)的一列部分的濾色片區(qū)域全部完成了噴墨(步驟S17)后，噴頭22在進(jìn)料方向Y移動(dòng)規(guī)定量，再次與上面所述相同地進(jìn)行步驟S13至S16的動(dòng)作。然后，當(dāng)最終對(duì)基板12上的所有列的濾色片區(qū)域完成材料噴射(步驟S18)后，在步驟S20中由基板供應(yīng)裝置23或其他運(yùn)送裝置將處理后的基板12排出到外部。其后，只要沒有來自操作人員的作業(yè)結(jié)束的指令，反復(fù)進(jìn)行如上所述的基板12的供應(yīng)和材料噴射作業(yè)。
當(dāng)出現(xiàn)來自操作人員的作業(yè)結(jié)束的指令(步驟S21)時(shí)，CPU69將圖9中的噴頭22運(yùn)送至壓蓋裝置76處，由該壓蓋裝置76對(duì)噴頭22進(jìn)行覆蓋處理(步驟S22)。
下面對(duì)本發(fā)明的顯示器件(電光器件)的制造方法的實(shí)施例進(jìn)行說明。圖15示出了作為本發(fā)明的顯示器件(電光器件)的制造方法之一例的液晶器件制造方法的實(shí)施例。另外，圖16示出了作為利用該制造方法制造的顯示器件(電光器件)之一例的液晶器件的實(shí)施例。還有，圖17示出了沿圖16中的IX-IX線的液晶器件的剖面結(jié)構(gòu)。首先，參照圖16和圖17對(duì)液晶器件之一例的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，該液晶器件之一例是以簡單矩陣方式進(jìn)行全色顯示的半透射反射型液晶器件。
如圖16所示，液晶器件101是在液晶面板102上安裝由半導(dǎo)體芯片等構(gòu)成的液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a和液晶驅(qū)動(dòng)用IC103b，并使作為布線連接要素的FPC(柔性印刷電路)104與液晶面板102連接的液晶器件。液晶器件101通過在液晶面板102的背面?zhèn)仍O(shè)置照明裝置106作為背光源而構(gòu)成。
液晶面板102借助于用密封材料108將第1基板107a與第2基板107b貼合而形成。密封材料108例如借助于用絲網(wǎng)印刷等將環(huán)氧類樹脂以環(huán)狀(環(huán)繞狀)附著在第1基板107a或第2基板107b的內(nèi)側(cè)表面而形成。另外，在密封材料108的內(nèi)部，如圖17所示，以分散狀態(tài)含有由導(dǎo)電材料形成為球狀或圓柱狀的導(dǎo)通材料109。
如圖17所示，第1基板107a包括由透明玻璃、透明塑料等形成的板狀基體材料111a。在該基體材料111a的內(nèi)側(cè)表面(圖17的上側(cè)表面)形成反射膜112。另外，在其上層疊了絕緣膜113，在又其上形成從箭頭D方向看呈條形(參照圖16)的第1電極114a。進(jìn)而，在其上形成取向膜116a。另外，在基體材料111a的外側(cè)表面(圖17的下側(cè)表面)通過貼附等安裝了偏振片117a。
在圖16中，為了易于分辨第1電極114a的排列，以大大寬于實(shí)際的尺寸畫出了它們的間隔。因此，實(shí)際上在基體材料111上形成了比圖面上畫出的第1電極114a的條數(shù)要多的第1電極114a。
如圖17所示，第2基板107b包括由透明玻璃、透明塑料等形成的板狀基體材料111b。在該基體材料111b的內(nèi)側(cè)表面(圖17的下側(cè)表面)形成濾色片118，在其上形成從箭頭D方向看在與上述第1電極114a正交的方向呈條形(參照圖16)的第2電極114b。進(jìn)而，在其上形成取向膜116b。另外，在基體材料111b的外側(cè)表面(圖17的上側(cè)表面)通過貼附等安裝了偏振片117b。
在圖16中，為了易于分辨第2電極114b的排列，與第1電極的情況一樣，以大大寬于實(shí)際的尺寸畫出了它們的間隔。因此，實(shí)際上在基體材料111上形成了比圖面上畫出的第2電極114b的條數(shù)要多的第2電極114b。
如圖17所示，在被第1基板107a、第2基板107b和密封材料108圍成的間隙，即所謂的盒隙內(nèi)封入液晶L，例如STN(超扭曲向列)液晶。在第1基板107a或第2基板107b的內(nèi)側(cè)表面散布了許多微小的球形襯墊119，由于這些襯墊119在盒隙內(nèi)存在，該盒隙保持了均勻性。
第1電極114a和第2電極114b被設(shè)置成在相互正交的方向延伸。它們在平面上交叉的部分從圖17的箭頭D方向看被排列成點(diǎn)陣狀。于是，該點(diǎn)陣狀的各交叉點(diǎn)構(gòu)成一個(gè)顯示點(diǎn)。濾色片118，通過以從箭頭D方向看呈規(guī)定圖形，例如條形排列、三角形排列、鑲嵌形排列等圖形的方式排列R(紅)G(綠)B(藍(lán))的各色要素(濾色元)構(gòu)成。上述的一個(gè)顯示點(diǎn)對(duì)應(yīng)R、G、B的各一個(gè)。而且，一個(gè)像素(pixel)由R、G、B的3色顯示點(diǎn)構(gòu)成。
通過有選擇地使排列成矩陣狀的顯示點(diǎn)成為導(dǎo)通狀態(tài)，可以在液晶面板102的第2基板107b的外側(cè)顯示文字、數(shù)字等圖像。這樣一來，顯示圖像的區(qū)域?yàn)橛行э@示區(qū)，在圖16和圖17中用箭頭V示出。
如圖17所示，反射膜112由APC合金、鋁等反光材料形成。另外，在該反射膜112上，在與作為第1電極114a與第2電極114b的交點(diǎn)的各顯示點(diǎn)對(duì)應(yīng)的位置處形成開口121。因此，開口121從圖17的箭頭D的方向看，與顯示點(diǎn)一樣，被排列成矩陣狀。
第1電極114a和第2電極114b例如由透明導(dǎo)電材料ITO(氧化銦錫)形成。另外，取向膜116a、116b通過將聚酰亞胺類樹脂附著成厚度均勻的膜而形成。借助于這些取向膜116a、116b受到摩擦處理，決定第1基板107a和第2基板107b的表面上的液晶分子的初始取向。
如圖16所示，第1基板107a以比第2基板107b大的面積形成，在用密封材料108貼合這些基板時(shí)，第1基板107a具有向第2基板107b的外側(cè)伸出的基板伸出部107c。然后，在該基板伸出部107c上以規(guī)定的圖形形成如下的各種布線從第1電極114a延伸出來的引出布線114c；經(jīng)在密封材料108的內(nèi)部存在的導(dǎo)通材料109(參照圖17)與第2基板107b上的第2電極114b導(dǎo)通的引出布線114d；與液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a的輸入用凸點(diǎn)，即輸入用端子連接的金屬布線114e；以及與液晶驅(qū)動(dòng)用IC103b的輸入用凸點(diǎn)連接的金屬布線114f等。
這時(shí)，從第1電極114a延伸的引出布線114c和與第2電極114b導(dǎo)通的引出布線114d由與這些電極相同的材料ITO形成。另外，作為液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a、103b的輸入側(cè)的布線的金屬布線114e、114f由電阻值低的金屬材料，例如APC合金形成。該APC合金是主要包含Ag，在其中添加了Pd和Cu的合金，例如具有Ag98重量％，Pd1重量％，Cu1重量％的組分的合金。
液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a、103b借助于用ACF(各向異性導(dǎo)電膜)122將其粘結(jié)到基板伸出部107c的表面而進(jìn)行安裝。即，在本實(shí)施例中，形成了半導(dǎo)體芯片被直接安裝到基板上的結(jié)構(gòu)，所謂的COG(芯片被鍵合在玻璃上)方式的液晶面板。在該COG方式的安裝結(jié)構(gòu)中，借助于在ACF122內(nèi)部包含的導(dǎo)電粒子，液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a、103b的輸入側(cè)凸點(diǎn)與金屬布線114e、114f被電連接，液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a、103b的輸出側(cè)凸點(diǎn)與引出布線114c、114d被電連接。
在圖16中，F(xiàn)PC104包括柔性樹脂膜123、由包含芯片部件124而構(gòu)成的電路126和金屬布線端子127。電路126借助于錫焊或其他導(dǎo)電連接方法直接安裝在樹脂膜123的表面上。另外，金屬布線端子127由APC合金、Cr、Cu或其他導(dǎo)電材料形成。FPC104中的形成金屬布線端子127的部分通過ACF122與第1基板107a中的形成金屬布線114e、114f的部分相連接。這樣，通過在ACF122內(nèi)部包含的導(dǎo)電粒子，基板側(cè)的金屬布線114e、114f與FPC側(cè)的金屬布線端子127導(dǎo)通。
外部連接端子131在FPC104的相反一側(cè)的邊沿部形成，該外部連接端子131與未圖示的外部電路連接。而且，液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a、103b按照從該外部電路傳送來的信號(hào)被驅(qū)動(dòng)，對(duì)第1電極114a和第2電極114b的一方提供掃描信號(hào)，對(duì)另一方提供數(shù)據(jù)信號(hào)。據(jù)此，在有效顯示區(qū)V內(nèi)排列的顯示點(diǎn)可獨(dú)立進(jìn)行電壓控制，其結(jié)果是液晶L的取向可被獨(dú)立地控制。
如圖17所示，圖16所示的照明裝置106包括由丙烯酸樹脂等構(gòu)成的導(dǎo)光體132、在該導(dǎo)光體132的光出射面132b上設(shè)置的漫射片133、在導(dǎo)光體132的光出射面132b的相反一側(cè)設(shè)置的反射片134以及作為發(fā)光源的LED(發(fā)光二極管)136。
LED136被LED基座137支撐，該LED基座137例如被安裝在與導(dǎo)光體132一體化形成的支撐部(未圖示)上。通過將LED基座137安裝在支撐部的規(guī)定位置，LED136被放置在與導(dǎo)光體132的側(cè)邊端面，即光進(jìn)入面132a相向的位置。另外，符號(hào)138表示用于緩沖對(duì)液晶面板102施加的沖擊的緩沖構(gòu)件。
當(dāng)LED136發(fā)光時(shí)，該光從光進(jìn)入面132a進(jìn)入，被引向?qū)Ч怏w132的內(nèi)部，一邊被反射片134、導(dǎo)光體132的壁面反射，一邊在傳播中從光出射面132b通過漫射片133作為平面光射出到外部。
以上說明的液晶器件101在太陽光、室內(nèi)光這類外部光充分明亮的場合，在圖17中，來自第2基板107b側(cè)的外部光進(jìn)入液晶面板102的內(nèi)部，該光通過液晶L后被反射膜112反射，再次提供給液晶L。液晶L通過夾持它的電極114a、114b，對(duì)每個(gè)R、G、B的顯示點(diǎn)進(jìn)行取向控制。因此，提供給液晶的光被各個(gè)顯示點(diǎn)調(diào)制，借助于由該調(diào)制得到的通過偏振片117b的光和不能通過它的光，在液晶面板102的外部顯示文字、數(shù)字等圖像，進(jìn)行反射型顯示。
另一方面，在外部光的光量不充分的場合，LED136發(fā)光，平面光從導(dǎo)光體132的光出射面132b射出，該光通過在反射膜112上形成的開口121，提供給液晶L。這時(shí)，與反射型顯示一樣，提供的光借助于被取向控制的液晶L，在每個(gè)顯示點(diǎn)被調(diào)制。據(jù)此，向外部顯示圖像，進(jìn)行透射型顯示。
上述結(jié)構(gòu)的液晶器件101例如可以用圖15所示的制造方法制造。在該制造方法中，工序P1～P6的一組工序是形成第1基板107a的工序，工序P11～工序P14的一組工序是形成第2基板107b的工序。第1基板形成工序和第2基板形成工序通常各自獨(dú)立地進(jìn)行。
首先，在第1基板形成工序中，用光刻法等在由透光玻璃、透光塑料等形成的大面積的母基板的表面形成多個(gè)液晶面板102部分的反射膜112。然后用熟知的成膜方法在其上形成絕緣膜113(工序P1)。接著，用光刻法等形成第1電極114a、引出布線114c、114d和金屬布線114e、114f(工序P2)。
其后，用涂敷、印刷等方法在第1電極114a上形成取向膜116a(工序P3)，進(jìn)而通過對(duì)該取向膜116a進(jìn)行摩擦處理，以決定液晶的初始取向(工序P4)。接著，例如用絲網(wǎng)印刷等將密封材料1 08形成為環(huán)形(工序P5)，再在其上散布球狀的襯墊119(工序P6)。由以上工序，形成在液晶面板102的第1基板107a上具有多個(gè)面板圖形部分的大面積第1母基板。
與以上的第1基板形成工序獨(dú)立地進(jìn)行第2基板形成工序(圖15的工序P11～工序P14)。首先，準(zhǔn)備由透光玻璃、透光塑料等形成的大面積的母基體材料，在其表面上形成多個(gè)液晶面板102部分的濾色片118(工序P11)。該濾色片118的形成工序可以用圖1和圖3示出的制造方法進(jìn)行，該制造方法中的R、G、B的各色濾色元的形成，可以借助于用圖9的液滴噴射裝置16從噴頭22的噴嘴27中噴射作為濾色元材料的液滴來進(jìn)行。由于這些濾色片的制造方法和噴頭22的控制方法與已說明的內(nèi)容相同，所以省略它們的說明。
在母基板12，即母基體材料上形成濾色片118后，接著用光刻法形成第2電極114b(工序P12)。再用涂敷、印刷等方法形成取向膜116b(工序P13)，接著，對(duì)該取向膜116b進(jìn)行摩擦處理，以決定液晶的初始取向(工序P14)。由以上工序，形成在液晶面板102的第2基板107b上具有多個(gè)面板圖形部分的大面積第2母基板。
用以上方法形成大面積的第1母基板和第2母基板后，將密封材料108夾在其間，在進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，即位置調(diào)整的基礎(chǔ)上將這些母基板相互貼合在～起(工序P21)。由此，形成含有多個(gè)液晶面板部分、尚未封入液晶的狀態(tài)的空的面板結(jié)構(gòu)體。
接著，在制成的空的面板結(jié)構(gòu)體的規(guī)定位置形成刻劃溝槽，即切斷用溝槽，進(jìn)而通過以該刻劃溝槽為基準(zhǔn)，利用對(duì)面板結(jié)構(gòu)體施加應(yīng)力或熱，或者照射光等方法使基板斷裂(斷開)來進(jìn)行分割(工序P22)。據(jù)此，形成各液晶面板部分的密封材料108的液晶注入用開口110(參照圖16)暴露到外部的狀態(tài)的、所謂長條狀的空面板結(jié)構(gòu)體。
其后，通過暴露的液晶注入用開口110向各液晶面板部分的內(nèi)部注入液晶L，再用樹脂等密封各液晶注入用開口110(工序P23)。通常的液晶注入處理是通過對(duì)液晶面板部分的內(nèi)部減壓，借助于內(nèi)外壓力差注入液晶來進(jìn)行的。例如，將液晶存儲(chǔ)在存儲(chǔ)容器中，再將存儲(chǔ)該液晶的存儲(chǔ)容器和長條狀的空面板放入真空室等內(nèi)，在使該真空室等成為真空狀態(tài)后，在該真空室內(nèi)部將長條狀的空面板浸入液晶中。然后將真空室打開使其處于大氣壓下，空面板的內(nèi)部為真空狀態(tài)，被大氣壓加壓了的液晶通過液晶注入用開口進(jìn)入面板內(nèi)部。其后，由于液晶注入后的液晶面板結(jié)構(gòu)體的周圍附著有液晶，所以在工序P24中對(duì)液晶注入處理后的長條狀面板進(jìn)行清洗處理。
其后，對(duì)完成液晶注入和清洗后的長條狀面板再度在規(guī)定位置形成刻劃溝槽。進(jìn)而以該刻劃溝槽為基準(zhǔn)分割長條狀面板。據(jù)此，逐一地切出多個(gè)液晶面板102(工序P25)。如圖16所示，通過對(duì)這樣制作的各個(gè)液晶面板102安裝液晶驅(qū)動(dòng)用IC103a、103b，安裝照明裝置106作為背光源，再連接上FPC104，就完成了所期望的液晶器件101(工序P26)。
還有，各個(gè)濾色元3也可以不是由噴頭22的一次掃描形成，而是借助于利用多次掃描、N次(例如4次)重疊接受材料噴射來形成規(guī)定的膜厚。這時(shí)，即使在多個(gè)噴嘴27之間材料噴出量存在分散性，也能夠防止在多個(gè)濾色元3之間產(chǎn)生膜厚分散性，并且還能減少上述的條紋狀的色彩不均勻，因此，能夠使濾色片的光透射特性在平面上均勻。
另外，在本實(shí)施例的液晶器件及其制造方法中，由于使用圖9示出的液滴噴射裝置16，借助于利用噴頭22的材料噴射形成濾色元3，所以無需經(jīng)過如采用光刻法的方法那樣復(fù)雜的工序，也不浪費(fèi)材料。
還有，在上述實(shí)施例中，作為顯示器件，對(duì)具有液晶面板的液晶器件進(jìn)行了說明，但本發(fā)明也可應(yīng)用在作為具有與上述相同的濾色片的顯示器件的液晶器件以外的其他電光器件，例如EL器件、等離子體顯示面板等中設(shè)置了濾色片的電光器件。即，例如在EL器件的場合，借助于在平面上重疊包含與具有EL發(fā)光功能的多個(gè)顯示點(diǎn)對(duì)應(yīng)的濾色元的濾色片，可以得到與上述實(shí)施例相同的效果。
另外，不言而喻，本發(fā)明的材料去除方法、基體材料再生方法、顯示器件制造方法以及具有用該方法制造的顯示器件的電子裝置不只限于上述的圖示例，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可作種種變更。例如，作為本發(fā)明的基體材料，不限于上述濾色片基板及EL發(fā)光面板，它可以是構(gòu)成液晶面板、熒光面板、等離子體顯示面板等各種顯示器件的一部分或主要部分的基體材料。另外，作為本發(fā)明的顯示器件，理所當(dāng)然地可以是上述液晶器件及EL器件以外的各種電光器件，甚至也可以是CRT或其他各種顯示器件。
還有，作為組裝了上述各實(shí)施例的顯示器件(電光器件)的電子裝置，不限于例如圖18所示的個(gè)人計(jì)算機(jī)490，還可以列舉出圖19所示的移動(dòng)電話491和PHS(個(gè)人手持電話系統(tǒng))等移動(dòng)型電話機(jī)、電子記事本、尋呼機(jī)、POS(銷售點(diǎn))終端、IC卡、小型磁盤播放機(jī)、液晶投影儀、工程工作站(EWS)、文字處理器、電視機(jī)、取景器型或監(jiān)測器直視型錄像機(jī)、計(jì)算器、車輛導(dǎo)行裝置、具有觸摸屏的裝置、手表、游戲機(jī)等各種電子裝置。
另外，在本說明書中，只是就顯示器件舉出了實(shí)施例，但本發(fā)明的材料去除方法、材料再生方法也可以應(yīng)用于顯示器件以外。例如，在下述各種工序中也能夠利用為在基體材料上形成電學(xué)布線而噴射液體狀金屬、導(dǎo)電材料以形成金屬布線的制造工序；形成細(xì)小微透鏡的制造工序；只在必要的部分在基板上涂敷的抗蝕劑的工序；在透明基板等上形成使光散射的凸部或微小的空白圖形等的制造工序；對(duì)在DNA(脫氧核糖核酸)芯片上排列成矩陣的尖點(diǎn)噴射RNA(核糖核酸)，制作熒光標(biāo)識(shí)探針的制造工序；以及對(duì)在基板上劃分的點(diǎn)狀位置噴射試樣、抗體、DNA(脫氧核糖核酸)等，形成生物芯片的制造工序。
如以上所述，根據(jù)本發(fā)明，由于當(dāng)在材料(顯示要素)上出現(xiàn)缺陷時(shí)，可以借助于去除掉材料(顯示要素)而將間壁留下，在被留在基體材料上的間壁劃分的區(qū)域中再次配置材料(顯示要素)，所以無需在基體材料上重新制作新的間壁，從而與現(xiàn)有的技術(shù)相比，可以提高生產(chǎn)效率，另外，還能夠減少白白浪費(fèi)的廢棄物。
權(quán)利要求
1.一種材料去除方法，它是去除掉在由被形成于基體材料上的間壁所劃分的區(qū)域中配置的材料的材料去除方法，其特征在于上述間壁被留在上述基體材料上，而上述材料被去除掉。
2.如權(quán)利要求1所述的材料去除方法，其特征在于通過對(duì)放射線感應(yīng)性材料進(jìn)行放射線輻射處理和顯影處理形成上述間壁，上述材料被可用于上述顯影處理的顯影物質(zhì)剝離或溶解。
3.如權(quán)利要求2所述的材料去除方法，其特征在于在剝離或溶解上述材料時(shí)，對(duì)上述材料施加振動(dòng)或應(yīng)力。
4.如權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的材料去除方法，其特征在于通過將液體材料引入由上述間壁劃分的區(qū)域而形成上述材料。
5.如權(quán)利要求4所述的材料去除方法，其特征在于上述材料在固化前的狀態(tài)下被去除掉。
6.如權(quán)利要求1至5中的任意一項(xiàng)所述的材料去除方法，其特征在于上述材料是構(gòu)成濾色片的濾色元。
7.如權(quán)利要求1至5中的任意一項(xiàng)所述的材料去除方法，其特征在于上述材料是EL發(fā)光體。
8.一種基體材料再生方法，它是在去除掉在基體材料上形成的材料后，在該基體材料上再次形成材料的基體材料再生方法，其特征在于在去除掉上述材料的工序中，采用權(quán)利要求1至7中的任意一項(xiàng)所述的材料去除方法。
9.一種顯示器件制造方法，其特征在于，包括在基體材料上形成間壁的工序；對(duì)由上述間壁劃分的區(qū)域引入顯示要素，形成基體材料的工序；檢查上述基體材料的工序；當(dāng)在上述顯示要素中發(fā)現(xiàn)有缺陷時(shí)，將上述間壁留在上述基體材料上，而去除掉上述顯示要素的工序；以及在去除掉上述顯示要素后，在由上述間壁劃分的區(qū)域中再次配置顯示要素的工序。
10.如權(quán)利要求9所述的顯示器件制造方法，其特征在于在形成上述間壁的工序中，通過對(duì)放射線感應(yīng)性材料進(jìn)行放射線輻射處理和顯影處理形成上述間壁，在去除掉上述顯示要素的工序中，上述顯示要素被可用于上述顯影處理的顯影物質(zhì)剝離或溶解。
11.如權(quán)利要求10所述的顯示器件制造方法，其特征在于在剝離或溶解上述顯示要素時(shí)，對(duì)上述顯示要素施加振動(dòng)或應(yīng)力。
12.如權(quán)利要求9至11中的任意一項(xiàng)所述的顯示器件制造方法，其特征在于在引入上述顯示要素，形成基體材料的工序中，作為上述顯示要素的液態(tài)材料被引入由上述間壁劃分的區(qū)域。
13.如權(quán)利要求12所述的顯示器件制造方法，其特征在于在上述顯示要素中未發(fā)現(xiàn)缺陷時(shí)，具有上述顯示要素被固化的工序，在去除掉上述顯示要素的工序中，上述顯示要素在固化前的狀態(tài)下被去除掉。
14.如權(quán)利要求9至13中的任意一項(xiàng)所述的顯示器件制造方法，其特征在于上述顯示要素是構(gòu)成濾色片的濾色元。
15.如權(quán)利要求9至13中的任意一項(xiàng)所述的顯示器件制造方法，其特征在于上述顯示要素是EL發(fā)光體。
16.一種電子裝置，它是裝載了顯示器件的電子裝置，其特征在于包含利用在權(quán)利要求9至15中的任意一項(xiàng)所述的制造方法制造的顯示器件。
全文摘要
本發(fā)明的課題是，提供能夠有效地再利用在被間壁劃分的區(qū)域中導(dǎo)入顯示要素的顯示材料的方法，以及采用該方法的顯示器件制造方法。在本體再生工序中，如圖2(b)所示，將圖2(a)所示的濾色片基板浸漬在顯影液E中。作為該顯影液E，使用可在形成上述間壁6的顯影處理中使用的上述顯影液，特別是上述堿性溶液。該顯影液E也可以不是用于形成上述間壁的顯影液本身。在向該顯影液E中浸漬的工序中，借助于利用超聲波清洗槽對(duì)作為顯示要素的濾色元3施加振動(dòng)或應(yīng)力，如圖2(c)所示，剝離作為顯示要素的濾色元3。其后，如圖2(d)所示，進(jìn)行水洗，如圖2(e)所示，進(jìn)行干燥，返回到濾色片基板的形成工序。
文檔編號(hào)H01L27/32GK1444102SQ0312012
公開日2003年9月24日 申請日期2003年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月8日
發(fā)明者川瀨智己, 伊藤達(dá)也, 片上悟 申請人:精工愛普生株式會(huì)社