專利名稱：改進(jìn)的晶圓干燥機(jī)的頂移裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型系指一種晶圓干燥機(jī)的頂移裝置，系可在干燥過程中藉該頂高裝置連動各晶圓定速上下定位位移以增進(jìn)干燥效果。
目前習(xí)用的晶圓干燥機(jī)的晶圓頂移裝置，另配合參考附

圖1～圖6所示，其中晶圓架系設(shè)在固定座97的兩對定位塊972、973上方，主要是將晶圓架3(參考圖8)上方的晶圓6頂移至適當(dāng)高度以利于干燥作業(yè)。此種頂移裝置9包括有傳動桿94、架板95、連動片96、固定座97、頂移座98、樞接塊99等構(gòu)件，其中固定座97的上方并設(shè)有一對定位塊972、973以供嵌設(shè)晶圓架3，當(dāng)干燥槽8的槽蓋81蓋合時(shí)即可由槽蓋81底面向下頂靠傳動桿94的上端940使其向下位移，進(jìn)而可由傳動桿94的連動片96傳動頂移座98的樞接塊99，相對使該頂移座98可樞轉(zhuǎn)，并恰可由其上方頂移錐部982向上頂起晶圓架3所設(shè)晶圓6(參考圖4、圖5)以利于晶圓6的干燥作業(yè)，當(dāng)干燥作業(yè)完成時(shí)，槽蓋81向上掀起時(shí)可藉由晶圓6的重量恢復(fù)原位(參考圖6)；但經(jīng)查前述晶圓干燥機(jī)的晶圓頂高裝置乃存在有如下缺失1、晶圓架3的各晶圓6被頂移座98向上頂起后是固定不動，因此各晶圓6與其各定位槽31以固定的角度接觸被干燥，因此難免有小部分的死角未能完全干燥。
2、晶圓架3的各定位槽31內(nèi)的各晶圓6有時(shí)候會因殘留有些許清潔液體導(dǎo)致相鄰的兩片晶圓6的一側(cè)61會相對附粘(參考圖8)而造成干燥死角。
3、構(gòu)件較復(fù)雜，相對組合裝配亦較麻煩。
4、頂靠各晶圓6向上位移是由槽蓋81底面、傳動桿94、樞接塊99、頂移座98等多構(gòu)件的連動，因此使用一段時(shí)間之后比較容易因其中之一構(gòu)件損壞的影響而造成故障。
本實(shí)用新型的目的是提供一種可克服上述缺失的改進(jìn)的晶圓干燥機(jī)的頂移裝置，其結(jié)構(gòu)簡單、組裝方便，并可確保晶圓良好、完全的干燥效果。
為現(xiàn)實(shí)上述目的，本實(shí)用新型提供一種改進(jìn)的晶圓干燥機(jī)的頂移裝置，系設(shè)于干燥機(jī)的干燥槽內(nèi)，可將晶圓架上方的晶圓頂移以配合干燥槽內(nèi)的干燥作業(yè)；包括有一傳動桿、頂移座以及設(shè)有若干定位塊可供架設(shè)晶圓架的固定座等；其特征點(diǎn)是該傳動桿的上端直接與頂移座的底部預(yù)設(shè)的嵌槽嵌套連接，而其下方則穿套入一軸套內(nèi)，且該傳動桿的下方并具有內(nèi)螺牙孔可直接與一汽缸的軸心的外螺牙部旋鎖連結(jié)，并另藉螺絲將該汽缸與前述軸套鎖固連結(jié)，另外所述固定座預(yù)設(shè)有一貫穿槽孔，對應(yīng)位于頂移座的下方。
現(xiàn)配合圖式詳加說明如后圖1是習(xí)用晶圓干燥機(jī)的外觀立體示意圖。
圖2是習(xí)用晶圓干燥機(jī)的側(cè)面示意圖。
圖3是習(xí)用晶圓干燥機(jī)的正面示意圖。
圖4是習(xí)用晶圓干燥機(jī)其中頂移裝置的立體示意圖(傳動桿已下移)。
圖5是習(xí)用晶圓干燥機(jī)其中頂移裝置的平面示意圖(傳動桿已下移且連動晶圓向上頂起)。
圖6是習(xí)用晶圓干燥機(jī)其中頂移裝置的平面示意圖(晶圓已恢復(fù)原位)。
圖7是一般晶圓架的立體示意圖。
圖8是晶圓架的晶圓被頂移裝置向上頂起的立體示意圖。
圖9是本實(shí)用新型實(shí)施例的晶圓干燥機(jī)的外觀立體示意圖。
圖10是本實(shí)用新型實(shí)施例的晶圓干燥機(jī)的側(cè)面示意圖。
圖11是本實(shí)用新型實(shí)施例的晶圓干燥機(jī)的正面示意圖。
圖12是本實(shí)用新型實(shí)施例其中頂移裝置的立體示意圖(傳動桿已上移)。
圖13是本實(shí)用新型實(shí)施例其中頂移裝置的平面示意圖(傳動桿已下移且連動晶圓向上頂起)。
圖14是本實(shí)用新型實(shí)施例其中頂移裝置的平面示意圖(晶圓已恢復(fù)原位)。
圖15是本實(shí)用新型實(shí)施例其中頂移裝置的部分構(gòu)件立體分解圖。
如圖9～圖15所示，本實(shí)用新型晶圓干燥機(jī)的頂移裝置，其中該頂移裝置1是設(shè)在干燥機(jī)2的干燥槽20內(nèi)的預(yù)定部位，可提供將晶圓架3上方的晶圓6頂移以配合干燥槽20內(nèi)的干燥作業(yè)，包括有一傳動桿19、頂移座17以及設(shè)有若干定位塊182、183可供架設(shè)晶圓架3的固定座18等構(gòu)件；請參閱圖12、圖13、圖14、圖15所示，該傳動桿19是上方194直接與頂移座17的底部預(yù)設(shè)有嵌槽173嵌套連接，而其下方195則穿套入一軸套91內(nèi)，且該傳動桿19的下方195并具有內(nèi)螺牙孔193可直接與一汽缸92的軸心921的外螺牙部9211旋鎖連結(jié)，并另藉螺絲93將該汽缸92與前述軸套91鎖固連結(jié)，另外前述固定座18并預(yù)設(shè)有一貫穿槽孔184大致對應(yīng)位于頂移座17的下方，藉由前述構(gòu)件的組成，當(dāng)汽缸92作動時(shí)，其軸心921經(jīng)控制而連同其鎖固連結(jié)的傳動桿19直接向上或向下連動頂移座17以預(yù)定的速度位移；藉由前述特征，當(dāng)干燥槽20的槽蓋21蓋合時(shí)，可控制汽缸92的軸心921向上作動，相對使傳動桿19可直接帶動頂移座17以適當(dāng)?shù)乃俣认蛏享斊鹁A架3的各定位槽31所設(shè)有的各晶圓6；而在干燥槽20進(jìn)行干燥作業(yè)時(shí)亦可控制汽缸92作動，使其軸心921可連同其鎖固連結(jié)的傳動桿19連動頂移座17以適當(dāng)?shù)乃俣壬舷逻B動晶圓架3內(nèi)的各晶圓6做定速上下位移；又當(dāng)槽蓋21向上掀起時(shí)亦可經(jīng)控制而使汽缸92的軸心向下作動，相對連動各晶圓6恢復(fù)原位。
綜上所述，本實(shí)用新型可歸納具有下列增進(jìn)功效1、在干燥作業(yè)時(shí)，頂移裝置1的頂移座17可連動各晶圓6作上下定速位移，進(jìn)而使上下位移中的各晶圓6會在各晶圓架3的各定位槽31內(nèi)產(chǎn)生些微的擺動而改變與各定位槽31的槽壁面的接觸角度，使各晶圓6不會在固定角度下完成干燥以具有較佳的干燥效果。
2、若因有些許水份導(dǎo)致相鄰接的兩片晶圓6的一側(cè)粘附在一起的情形產(chǎn)生時(shí)也會因前述晶圓6被上下定位連動所產(chǎn)生的些微擺動而分開，以確保較完全的干燥效果。
3、構(gòu)件簡單組裝方便，且汽缸92的軸心921直接鎖固傳動桿19并帶動頂移座17以定速連動各晶圓6，相對降低故障率。
權(quán)利要求一種改進(jìn)的晶圓干燥機(jī)的頂移裝置，該頂移裝置設(shè)在干燥機(jī)的干燥槽內(nèi)，可將晶圓架上方的晶圓頂移以配合干燥槽內(nèi)的干燥作業(yè)，包括有一傳動桿、頂移座以及設(shè)有若干定位塊可供架設(shè)晶圓架的固定座等；其特征在于該傳動桿是上方直接與頂移座的底部預(yù)設(shè)的嵌槽嵌套連接，而其下方則穿套入一軸套內(nèi)，且該傳動桿的下方并具有內(nèi)螺牙孔可直接與一汽缸的軸心的外螺牙部旋鎖連結(jié)，并另藉螺絲將該汽缸與所述軸套鎖固連結(jié)，另外所述固定座預(yù)設(shè)有一貫穿槽孔，對應(yīng)位于頂移座的下方。
專利摘要一種改進(jìn)的晶圓干燥機(jī)的頂移裝置,該頂移裝置設(shè)在干燥機(jī)的干燥槽內(nèi),可將晶圓架上方的晶圓頂移以配合干燥槽內(nèi)的干燥作業(yè);其中,該傳動桿上方直接與頂移座底部預(yù)設(shè)的嵌槽嵌套連接,而其下方則穿套入一軸套內(nèi),且該傳動桿下方具有內(nèi)螺牙孔可直接與一汽缸的軸心的外螺牙部鎖結(jié),前述固定座預(yù)設(shè)有一貫穿槽孔大致對應(yīng)位于頂移座的下方;其構(gòu)件簡單組裝方便,并可確保晶圓的干燥效果。
文檔編號H01L21/67GK2465322SQ0120306
公開日2001年12月12日 申請日期2001年2月2日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月2日
發(fā)明者劉國炳, 賀貴虎 申請人:集賢實(shí)業(yè)有限公司