專利名稱：液體輸入輸出控制裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種液體輸入輸出控制裝置及方法，該裝置是一種設(shè)計成透明、可拆除的液體輸入輸出控制裝置，具有易于觀察化學液體殘留與方便清洗的作用。
在半導體的制程中，我們常需要提供一些我們所需要濃度的液體來進行反應。為有效控制濃度標準，我們會在一預置槽內(nèi)，首先加入由廠商所提供的原液，其濃度一般較高，接著在加入添加液(如去離子水(DIwater)來降低濃度。上述控制原液與添加液的部分，一般裝載于預置槽上面，統(tǒng)稱為液體輸入輸出控制裝置。
如

圖1繪示習知EBARA公司的SSU/CSU瓶子的H管結(jié)構(gòu)圖形。在圖中包括有一預置槽10(即SSU/CSU瓶子)、以及由基座12與H管22所構(gòu)成的液體輸入輸出控制裝置。
其中基座12上包括一底部結(jié)合處14，用以與預置槽10上面開口結(jié)合，以及復數(shù)個孔洞20、21、23，其中孔洞21、23用以提供H管22插入，至于另一孔洞23則預留給攪拌器30。
而H管22包括有一短管24、一長管26以及一橫向連接桿28。橫向接桿28連接在短管24與長管26之間，長管26與短管24分別具有兩端，且其一端共同固定連接到基座12的孔洞21、23，而兩者另一端則位于預置槽10內(nèi)，由于長管26長度較長，幾乎接觸到預置槽10底部，加上預置槽10底部設(shè)計成外凹中凸結(jié)構(gòu)19，所以長管26可以將內(nèi)部液體，完全的輸出到使用的制程機臺，而不會有過多殘留現(xiàn)象。而另一短管24則設(shè)計長度較短，用以輸入添加劑(如去離子水)，使得原液的濃度降低到所需標準，并配合使用攪拌器30來調(diào)勻液體濃度。此外，基座12的孔洞21、23，不一定要設(shè)計在正上方，亦可設(shè)計在側(cè)邊任何一方，只要以第一管路16與第二管路18連接，作為添加劑輸入與液體輸出即可。
由于H管部分本身材質(zhì)聚氯乙烯(PVC)為不透明材料，所以對于管內(nèi)液體傳送更無法有較掌握，使得具有高黏稠液體，在管內(nèi)輸送發(fā)生黏滯現(xiàn)象時，往往無法發(fā)現(xiàn)，必須要到整個管路受到完全阻塞無法供應，造成機臺發(fā)生問題時才能察覺。
此外，基座部分與H管部分是為一體成型，無法進行拆除，所以在進行清洗時，只能將基座部分與H管部分一起拔出，對H管由底部以清洗液將管內(nèi)黏滯液體排出，但黏滯的液體往往會卡在H管與基座的孔洞的接合處，而無法完全排出，因此在清洗時，又需要以人工將上述孔洞所黏滯的液體挖除，不但浪費時間而且浪費人力。
有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種液體輸入輸出控制裝置，將原先H管改為透明材質(zhì)，如此在操作時，便可以隨時監(jiān)控內(nèi)部管壁上液體殘留的狀況，然后進一步作隨時清洗的動作。
此外，本發(fā)明的另一目的在于提出一種液體輸入輸出控制裝置，將原先基座部分與H管部分作成分離結(jié)構(gòu)，然后設(shè)計易于拆除與結(jié)合的管接頭，先與H管部分的長管、短管結(jié)合后，再插到基座部分，如此在進行清洗時，便可以拆開來，作更徹底的清洗。
本發(fā)明提供一種液體輸入輸出控制裝置，與一預置槽結(jié)合，此用于化學機械研磨法的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，包括一基座，其上具有至少一孔洞；一管接頭，具有一第一端口與一第二端口，該管接頭的該第一端口，氣密連結(jié)至該基座上的該孔洞，而得與該基座結(jié)合；以及一透明長管，供一液體通過，該透明長管具有一第一管口與一第二管口，該第一管口氣密連接至該管接頭的第二端口，而第二管口設(shè)置于該預置槽內(nèi)部，而得以將一原液輸出。
在上述本發(fā)明的裝置中，進一步還包括另一管接頭，該另管接頭具有一第一端口與一第二端口，該另管接頭的該第一端口，氣密連結(jié)至該基座上的該孔洞，而得與該基座結(jié)合。
在上述本發(fā)明的裝置中，進一步還包括一透明短管，供該原液通過，該透明短管具有一第一管口與一第二管口，該第一管口氣密連接至該另一管接頭的該第二端口，而該第二管口設(shè)置于該預置槽內(nèi)部，而得以將該原液輸入。
另外，在上述的裝置中，該透明長管與該透明短管可以是由鐵氟隆構(gòu)成；該兩管接頭可以是由鐵氟隆構(gòu)成；該添加液可以為去離子水；該基座可以是由聚氯乙烯構(gòu)成。
還有，在上述本發(fā)明的裝置中，進一步還包括一攪拌器，一端連接該基座的孔洞，另一端位于該預置槽內(nèi)部，用以調(diào)勻該液體與該添加液。
還有，在上述本發(fā)明的裝置中，進一步還包括一控制裝置，用以控制該透明短管輸入一清潔液，以進行該預置槽清洗后，再控制該透明長管將該預置槽內(nèi)的該清潔液與該液體排出。
還有，在上述本發(fā)明的裝置中，進一步還包括一第一導引管，經(jīng)由一第一管接頭，連接到該透明長管所連接孔洞的另一側(cè)；以及一第二導引管，經(jīng)由一第二管接頭，連接到該透明短管所連接孔洞的另一側(cè)。
并且，上述該第一導引管、第一管接頭、第二導引管以及第二管接頭可以是由鐵氟隆構(gòu)成。
本發(fā)明一種液體輸入輸出控制裝置的另一方案是，與一預置槽結(jié)合，該用于化學機械研磨法的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，包括一基座，其上具有至少一個孔洞；一第一管接頭，連接到該孔洞的一端，用以與該基座結(jié)合后易于拆卸；一透明管路，具有兩管口，一管口插入到第一管接頭結(jié)構(gòu)內(nèi)，另一管口位于該該預置槽內(nèi)；一第二管接頭，連接到該孔洞的另一端，用以與該基座結(jié)合后易于拆卸；以及一分叉管，具有至少三個管口，一第一管口插入到該第二管接頭，一第二管口，用以將一液體輸出，一第三管口，用以將一添加液輸入。
另外，在上述的裝置中，該分叉管可以是為Y型的結(jié)構(gòu)，或T型的結(jié)構(gòu)。
另外，在上述的裝置中還包括一攪拌器，一端連接另一孔洞，另一端位于該預置槽內(nèi)部，用以調(diào)勻該液體與該添加液。
另外，在上述的裝置中該透明管路可以是由鐵氟隆構(gòu)成；該第一管銜、第二管銜可以是由鐵氟隆構(gòu)成；該添加液可以為去離子水；該基座可以是由聚氯乙烯構(gòu)成。
另外，在上述的裝置中還包括一控制裝置，用以控制先輸入一清潔液，清洗該預置槽后，再控制將該預置槽內(nèi)的該清潔液與該液體排出。
在上述的裝置中該分叉管可以是由鐵氟隆構(gòu)成。
在上述的裝置中該分叉管還包括一控制門，用以控制切換添加液輸入與液體輸出在不同時間的動作。
本發(fā)明一種液體輸入輸出控制方法，其特征在于，包括下述步驟于一預置槽內(nèi)裝設(shè)一原液；設(shè)一透明長管，該透明長管具有一第一管口與一第二管口，該第二管口設(shè)置于該預置槽內(nèi)部，得以抽取該原液；設(shè)一第一管接頭，該第一管接頭設(shè)有一第一端口與一第二端口，使該第二端口，氣密連結(jié)至該第一管口，使該原液經(jīng)由該第一管口，傳至該第一管接頭；以及設(shè)一基座，具有至少一孔洞，使該第一端口與該孔洞氣密結(jié)合，而得使該原液由該第一管接頭，經(jīng)由該孔洞向外輸出。
其步驟還包括設(shè)一第二管接頭，該第二管接頭設(shè)有一第三端口與一第四端口，使該第三端口與該孔洞氣密結(jié)合，而得使一添加液由該孔洞，傳至該第二管接頭；設(shè)一透明短管，該透明短管具有一第三管口與一第四管口，使該第三管口，氣密連結(jié)至該第四端口，使該添加液經(jīng)由第四端口，傳至該透明短管；以及該第四管口設(shè)置于該預置槽內(nèi)部，得以輸入該添加液。
本發(fā)明一種液體輸入輸出控制方法的另一方案是，包括下述步驟于一預置槽內(nèi)裝設(shè)一原液；設(shè)一透明短管，該透明短管具有一第一管口與一第二管口，該透明短管的該第二管口設(shè)置于該預置槽內(nèi)部，得以抽取該原液及輸入一添加液；設(shè)一第一管接頭，該第一管接頭設(shè)有一第一端口與一第二端口，使該第一管接頭的該第二端口，氣密連結(jié)至該透明短管的該第一管口，使該原液經(jīng)由該透明短管的該第一管口，傳至該第一管接頭，及使該添加液經(jīng)由該第一管接頭，傳至該透明短管的該第一管口；設(shè)一有至少一孔洞的基座，使該第一管接頭的該第一端口與該基座的該孔洞的一端氣密結(jié)合，而得使該原液由該第一管接頭，經(jīng)由該基座的該孔洞的一端向外輸出，及得使該添加液由該基座的該孔洞的一端，經(jīng)由該第一管接頭向內(nèi)輸入；設(shè)一第二管接頭，該第二管接頭設(shè)有一第一端口與一第二端口，使該第二管接頭的該第二端口，氣密連結(jié)至該孔洞的另一端，而得使該原液由該基座的該孔洞的另一端，經(jīng)該第二管接頭向外輸出，及得使該添加液由該第二管接頭，經(jīng)由該基座的該孔洞的另一端向內(nèi)輸入；以及設(shè)一分叉管，該分叉管的第一管口，氣密連結(jié)至該第二管接頭的該第一端口，而得使該原液由該基座的該孔洞的另一端，經(jīng)由該第二管接頭的第二端口向外輸出，及得使該添加液由該第二管接頭的第三端口，經(jīng)由該基座的該孔洞的另一端向內(nèi)輸入。
為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下圖式的簡單說明圖1是習知EBARA公司的SSU/CSU瓶子的H管結(jié)構(gòu)圖形；圖2是本發(fā)明的液體輸入輸出控制裝置圖形；以及圖3A～3D是本發(fā)明單管構(gòu)造的液體輸入輸出控制裝置的四種不同型態(tài)圖形。
實施例為強調(diào)本發(fā)明與習知的相異處，在此將液體輸入輸出控制裝置倒過來。如圖2所示為依照本發(fā)明一較佳實施例的一種液體輸入輸出控制裝置圖形。
本發(fā)明的液體輸入輸出控制裝置，包括與習知相同的基座40部分，相異于習知的兩管接頭48、50以及與原先管路不同材質(zhì)、不同連接方式的透明長管54、透明短管52。
其中，基座40由聚氯乙烯所構(gòu)成，其上具有復數(shù)個孔洞42、44、46，以及底部結(jié)合處41。其中底部結(jié)合處41是用以與一預置槽結(jié)合(圖未顯示，請參考圖1所示)。
兩管接頭48、50連接于孔洞42、44上，其構(gòu)造設(shè)計例如可以螺旋方式固定鎖入到基座40的孔洞42、44，使得當要進行拆卸清洗時，可以很容易以反方向拔出。而兩管接頭材料48、50例如由鐵氟隆所構(gòu)成。
而原先習知中基座與H管為一體成型無法拔離，且具有相同的聚氯乙烯材料部分，改為如鐵氟隆材料的透明長管54與透明短管52所構(gòu)成。透明長管54具有兩個管口，其中一個管口56插入一管接頭50內(nèi)，另一管口58位于預置槽內(nèi)部(圖未顯示)，透明短管52亦具有兩個管口，其中一個管口60插入一管接頭48內(nèi)，另一管口62位于預置槽內(nèi)部(圖未顯示)。其中，上述透明長管54是用以將一液體輸出，而透明短管52用以將如去離子水的添加液輸入，以調(diào)降內(nèi)部液體濃度。
此外，本發(fā)明的液體輸入輸出控制裝置，更可包括一攪拌器64，用以調(diào)勻液體與添加液。其一端插入到基座40的孔洞46，另一端位于預置槽內(nèi)部(圖未顯示)。
另外，為清洗方便，可再加裝一控制裝置(圖未顯示)，在運作時先控制透明短管52輸入一清潔液，以進行預置槽清洗后，再控制透明長管54將預置槽內(nèi)的清潔液與該液體排出。
而基座40的孔洞44、46的另一側(cè)，可分別經(jīng)由第一管接頭66、第二管接頭70，連接到第一導引管68、第二導引管72，而第一導引管68控制輸入一添加液，第二導引管72輸出液體到制程機臺使用。其中第一導引管68、第一管接頭66、第二導引管72以及第二管接頭70以可用鐵氟隆構(gòu)成。且在聚氯乙烯所構(gòu)成的基座40的孔洞44、46內(nèi)側(cè)亦可以控制使用鐵氟隆來形成一內(nèi)壁。
此外，為更節(jié)省材料成本，本發(fā)明的液體輸入輸出控制裝置可設(shè)計成單管方式，如圖3A～3D所示本發(fā)明單管構(gòu)造的液體輸入輸出控制裝置的四種不同型態(tài)圖形。
在圖3A中，液體輸入輸出控制裝置包括基座82、一第一管接頭86、透明管路80、第二管接頭90以及分叉管92。
其中基座82由聚氯乙烯構(gòu)成，并具有至少一個孔洞88以及一底部結(jié)合處84，底部結(jié)合處84用以跟預置槽(圖未顯示)結(jié)合，孔洞88一端與第一管接頭86連接，具有與基座結(jié)合后易于拆卸的特性。
至于透明管路80具有兩管口，一管口插入到第一管接頭結(jié)構(gòu)86內(nèi)，另一端位于預置槽內(nèi)，用以輸入添加液或輸出液體。第二管接頭90連接到孔洞88的另一端，具有與基座結(jié)合后易于拆卸的特性。上述透明管路80、第一管接頭86、第二管接頭90例如可由鐵氟隆構(gòu)成。
分叉管92具有至少三個管口，第一管口插入第二管接頭90內(nèi)，第二管口96設(shè)計成將一液體輸出，第三管口94設(shè)計成將如去離子水的添加液輸入，只要控制門100適當控制切換，就可以有不同時間上進行添加液輸入與液體輸出作用。如圖3A將分叉管設(shè)計成Y型的結(jié)構(gòu)，且將孔洞位置設(shè)計于中央，稱為中央型貫穿結(jié)構(gòu)。若更包括一攪拌器(圖未顯示)時，則如圖3B所示將原先圖3A結(jié)構(gòu)偏移，使攪拌器位于中央孔洞，來進行液體與添加液的調(diào)勻，而不影響原先圖3A的作用。
此外，為方便隨時清洗，而不用每次都要拆卸才能進行，我們可以設(shè)計一控制裝置(圖未顯示)，用以控制先輸入一清潔液，清洗該預置槽后，再控制將該預置槽內(nèi)的該清潔液與該液體排出。
此外，我們亦可將圖3A與圖3B的分叉管，改成如圖3C與圖3D的T型的結(jié)構(gòu)。對圖3C與圖3D的差異乃在于因多增加一攪拌器，而有中央型貫穿結(jié)構(gòu)與非中央貫穿結(jié)構(gòu)的差別。
本發(fā)明將原先輸送液體的管路改成透明材質(zhì)，使得在操作上，可以隨時監(jiān)控內(nèi)部管壁上液體殘留的狀況，然后進一步作清洗的動作。此外為設(shè)計易于拆除與結(jié)合的管接頭，在進行清洗時能更徹底的清洗。另為本發(fā)明亦可將雙管改成單管方式，只要使用一控制門作為添加液輸入與液體輸出的切換，即可控制在不同時間的動作。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當可作各種的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍當視后附的申請專利范圍所界定者為準。
權(quán)利要求
1.一種液體輸入輸出控制裝置，與一預置槽結(jié)合，此用于化學機械研磨法的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，包括一基座，其上具有至少一孔洞；一管銜結(jié)構(gòu)，具有一第一端口與一第二端口，該管銜結(jié)構(gòu)的該第一端口，氣密連結(jié)至該基座上的該孔洞，而得與該基座結(jié)合；以及一透明長管，供一液體通過，該透明長管具有一第一管口與一第二管口，該第一管口氣密連接至該管銜結(jié)構(gòu)的第二端口，而第二管口設(shè)置于該預置槽內(nèi)部，而得以將一原液輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中還包括另一管銜結(jié)構(gòu)，該另管銜結(jié)構(gòu)具有一第一端口與一第二端口，該另管銜結(jié)構(gòu)的該第一端口，氣密連結(jié)至該基座上的該孔洞，而得與該基座結(jié)合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中還包括一透明短管，供該原液通過，該透明短管具有一第一管口與一第二管口，該第一管口氣密連接至該另一管銜結(jié)構(gòu)的該第二端口，而該第二管口設(shè)置于該預置槽內(nèi)部，而得以將該原液輸入。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該透明長管與該透明短管是由鐵氟隆構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該兩管銜結(jié)構(gòu)是由鐵氟隆構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該添加液為去離子水。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該基座是由聚氯乙烯構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中還包括一攪拌器，一端連接該基座的孔洞，另一端位于該預置槽內(nèi)部，用以調(diào)勻該液體與該添加液。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中還包括一控制裝置，用以控制該透明短管輸入一清潔液，以進行該預置槽清洗后，再控制該透明長管將該預置槽內(nèi)的該清潔液與該液體排出。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中還包括一第一導引管，經(jīng)由一第一管銜裝置，連接到該透明長管所連接孔洞的另一側(cè)；以及一第二導引管，經(jīng)由一第二管銜裝置，連接到該透明短管所連接孔洞的另一側(cè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該第一導引管、第一管銜裝置、第二導引管以及第二管銜裝置是由鐵氟隆構(gòu)成。
12.一種液體輸入輸出控制裝置，與一預置槽結(jié)合，該用于化學機械研磨法的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，包括一基座，其上具有至少一個孔洞；一第一管銜結(jié)構(gòu)，連接到該孔洞的一端，用以與該基座結(jié)合后易于拆卸；一透明管路，具有兩管口，一管口插入到第一管銜結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)內(nèi)，另一管口位于該該預置槽內(nèi)；一第二管銜結(jié)構(gòu)，連接到該孔洞的另一端，用以與該基座結(jié)合后易于拆卸；以及一分叉管，具有至少三個管口，一第一管口插入到該第二管銜結(jié)構(gòu)，一第二管口，用以將一液體輸出，一第三管口，用以將一添加液輸入。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該分叉管是為Y型的結(jié)構(gòu)。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該分叉管是為T型的結(jié)構(gòu)。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中還包括一攪拌器，一端連接另一孔洞，另一端位于該預置槽內(nèi)部，用以調(diào)勻該液體與該添加液。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該透明管路是由鐵氟隆構(gòu)成。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該第一管銜、第二管銜是由鐵氟隆構(gòu)成。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該添加液為去離子水。
19.根據(jù)權(quán)利要求12所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該基座是由聚氯乙烯構(gòu)成。
20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中還包括一控制裝置，用以控制先輸入一清潔液，清洗該預置槽后，再控制將該預置槽內(nèi)的該清潔液與該液體排出。
21.根據(jù)權(quán)利要求12所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該分叉管是由鐵氟隆構(gòu)成。
22.根據(jù)權(quán)利要求12所述的液體輸入輸出控制裝置，其特征在于，其中該分叉管還包括一控制門，用以控制切換添加液輸入與液體輸出在不同時間的動作。
23.一種液體輸入輸出控制方法，其特征在于，包括下述步驟于一預置槽內(nèi)裝設(shè)一原液；設(shè)一透明長管，該透明長管具有一第一管口與一第二管口，該第二管口設(shè)置于該預置槽內(nèi)部，得以抽取該原液；設(shè)一第一管銜結(jié)構(gòu)，該第一管銜結(jié)構(gòu)設(shè)有一第一端口與一第二端口，使該第二端口，氣密連結(jié)至該第一管口，使該原液經(jīng)由該第一管口，傳至該第一管銜結(jié)構(gòu)；以及設(shè)一基座，具有至少一孔洞，使該第一端口與該孔洞氣密結(jié)合，而得使該原液由該第一管銜結(jié)構(gòu)，經(jīng)由該孔洞向外輸出。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的液體輸入輸出控制方法，其特征在于，其步驟還包括設(shè)一第二管銜結(jié)構(gòu)，該第二管銜結(jié)構(gòu)設(shè)有一第三端口與一第四端口，使該第三端口與該孔洞氣密結(jié)合，而得使一添加液由該孔洞，傳至該第二管銜結(jié)構(gòu)；設(shè)一透明短管，該透明短管具有一第三管口與一第四管口，使該第三管口，氣密連結(jié)至該第四端口，使該添加液經(jīng)由第四端口，傳至該透明短管；以及該第四管口設(shè)置于該預置槽內(nèi)部，得以輸入該添加液。
25.一種液體輸入輸出控制方法，其特征在于，包括下述步驟于一預置槽內(nèi)裝設(shè)一原液；設(shè)一透明短管，該透明短管具有一第一管口與一第二管口，該透明短管的該第二管口設(shè)置于該預置槽內(nèi)部，得以抽取該原液及輸入一添加液；設(shè)一第一管銜結(jié)構(gòu)，該第一管銜結(jié)構(gòu)設(shè)有一第一端口與一第二端口，使該第一管銜結(jié)構(gòu)的該第二端口，氣密連結(jié)至該透明短管的該第一管口，使該原液經(jīng)由該透明短管的該第一管口，傳至該第一管銜結(jié)構(gòu)，及使該添加液經(jīng)由該第一管銜結(jié)構(gòu)，傳至該透明短管的該第一管口；設(shè)一有至少一孔洞的基座，使該第一管銜結(jié)構(gòu)的該第一端口與該基座的該孔洞的一端氣密結(jié)合，而得使該原液由該第一管銜結(jié)構(gòu)，經(jīng)由該基座的該孔洞的一端向外輸出，及得使該添加液由該基座的該孔洞的一端，經(jīng)由該第一管銜結(jié)構(gòu)向內(nèi)輸入；設(shè)一第二管銜結(jié)構(gòu)，該第二管銜結(jié)構(gòu)設(shè)有一第一端口與一第二端口，使該第二管銜結(jié)構(gòu)的該第二端口，氣密連結(jié)至該孔洞的另一端，而得使該原液由該基座的該孔洞的另一端，經(jīng)該第二管銜結(jié)構(gòu)向外輸出，及得使該添加液由該第二管銜結(jié)構(gòu)，經(jīng)由該基座的該孔洞的另一端向內(nèi)輸入；以及設(shè)一分叉管，該分叉管的第一管口，氣密連結(jié)至該第二管銜結(jié)構(gòu)的該第一端口，而得使該原液由該基座的該孔洞的另一端，經(jīng)由該第二管銜結(jié)構(gòu)的第二端口向外輸出，及得使該添加液由該第二管銜結(jié)構(gòu)的第三端口，經(jīng)由該基座的該孔洞的另一端向內(nèi)輸入。
全文摘要
一種液體輸入輸出控制裝置及方法,該裝置由基座、兩管銜結(jié)構(gòu)、一透明長管以及一透明短管所構(gòu)成;基座上具有復數(shù)個孔洞,經(jīng)由兩管銜結(jié)構(gòu),再分別連接到一透明長管以及一透明短管;該液體輸入輸出控制裝置與預置槽結(jié)合,使得透明長管與透明短管位于預置槽內(nèi)部,分別用以將一液體輸出和一添加液輸入;由于本發(fā)明以透明材質(zhì)的管路,所以可以隨時監(jiān)控內(nèi)部管壁上液體殘留的狀況,以便隨時清洗保持暢通。
文檔編號H01L21/00GK1378236SQ0111023
公開日2002年11月6日 申請日期2001年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月3日
發(fā)明者陳廷國, 俞篤豪, 郭文進 申請人:華邦電子股份有限公司