專利名稱：優(yōu)化氣體透光度的化學(xué)過濾方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本揭示內(nèi)容一般涉及應(yīng)用過濾器的方法和應(yīng)用過濾器的系統(tǒng)。具體而言，本揭示內(nèi)容描述實(shí)現(xiàn)以規(guī)定波長(zhǎng)或波長(zhǎng)范圍通過氣體與透光區(qū)的最佳光透射的方法和系統(tǒng)。
背景在半導(dǎo)體行業(yè)中，半導(dǎo)體器件是應(yīng)用透鏡與其它光學(xué)設(shè)備相組合而制造的。在許多場(chǎng)合中，為在規(guī)定波長(zhǎng)或波長(zhǎng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)優(yōu)質(zhì)圖像，使透鏡、光學(xué)設(shè)備和光傳輸保持透明很重要。
揭示內(nèi)容本揭示內(nèi)容指一種實(shí)現(xiàn)最佳光透射通過氣體與透光區(qū)的方法。該方法可以包括通過氣體與透光區(qū)引導(dǎo)最佳光透射的方法；該方法包括(a)按期望的光透射波長(zhǎng)選擇媒體；(b)引導(dǎo)氣體通過該媒體，至少部分地除去其氣態(tài)雜質(zhì)，得到凈化氣體；(c)將凈化氣體導(dǎo)入透光區(qū)；和(e)使光透射通過透光區(qū)與凈化氣體。
揭示內(nèi)容的另一個(gè)方面涉及一種實(shí)現(xiàn)最佳光透射通過氣體與透光區(qū)的系統(tǒng)。一種這樣的系統(tǒng)可包括一種過濾結(jié)構(gòu)，用于除去氣體的雜質(zhì)。過濾結(jié)構(gòu)包括一外殼，該外殼有一個(gè)可按至氣源的進(jìn)氣口和一個(gè)排放從氣源接收的氣體的出氣口。過濾結(jié)構(gòu)還包括媒體，該媒體是按期望的工作光波長(zhǎng)選擇的。系統(tǒng)還包括一使光透射通過透光區(qū)與凈化氣體的照射系統(tǒng)。透光區(qū)與過濾器出氣口保持氣體流通。
本發(fā)明涉及應(yīng)用專用活性碳基材料保護(hù)成像透鏡以實(shí)現(xiàn)特定波長(zhǎng)的最佳光透射。具體而言，通過使用特定類型的碳來提高/保持特定波長(zhǎng)或波長(zhǎng)范圍的光透射。此外，為了提高/保持寬波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光透射，還使用了活性碳類混合物。
附圖簡(jiǎn)介

圖1示意表示用過濾組件從高純度氣體中除去氣態(tài)雜質(zhì)的系統(tǒng)。
圖2是圖1所示過濾組件一實(shí)施例的側(cè)面正面圖。
圖3是圖2所示過濾組件沿直線3-3截取的剖視圖。
圖4是圖2所示過濾組件的端視圖。
圖5是過濾組件另一實(shí)施例的剖視圖，類似于圖3的視圖。
詳細(xì)描述A.現(xiàn)有系統(tǒng)的某些問題制造半導(dǎo)體器件時(shí)，通常應(yīng)用一種稱為光刻的工藝。在這一加工中，首先在基片上涂一層稱為光致抗蝕劑的光敏層，光通過光掩膜導(dǎo)入，對(duì)基片上必須除去某個(gè)金屬電阻器的區(qū)域中的光致抗蝕劑曝光。在這些曝光區(qū)中，在光致抗蝕劑中發(fā)生光化反應(yīng)，使光致抗蝕劑容易溶解于顯影液。顯影之后，光致抗蝕劑只保留在要求有電阻器的區(qū)域。然后，將基片浸入酸中，蝕去曝光的金屬層，但不明顯破壞光致抗蝕劑。蝕刻完成后，基片從酸浴中取出沖洗，并用化學(xué)或等離子體技術(shù)除去光致抗蝕劑。
在該曝光處理期間，光致抗蝕劑放出氣體，如在曝光時(shí)放出酸性氣體，這類氣體會(huì)淀積在透鏡零件或溶解這些零件。為解決這一問題，在有些系統(tǒng)中，在透鏡和透鏡與曝光襯底之間的透光區(qū)經(jīng)常將某種高純度氣體，如壓縮的氮?dú)?、氬氣、空氣、氦氣或氫氣等?dǎo)入噴射器，噴射的高純度氣體把光致抗蝕劑產(chǎn)生的酸性氣體吹離透鏡區(qū)，防止這些氣體腐蝕透鏡。
如果用于清潔成像透鏡的壓縮氣體不夠純，氣體中殘留的碳?xì)浠衔锶缯喝?、正十二烷與甲苯等會(huì)匯集在透鏡上形成薄膜，對(duì)系統(tǒng)的成像特性造成不利影響。而且，透鏡與襯底之間透光區(qū)中的碳?xì)浠衔镆矊?duì)系統(tǒng)的成像特性產(chǎn)生不利影響。在有些場(chǎng)合中，發(fā)現(xiàn)在壓縮氮?dú)夤艿乐行枰眠^濾器來消除殘余的碳?xì)浠衔?。為了有效地消除殘余碳?xì)浠衔?，希望改進(jìn)這類系統(tǒng)的過濾作用。
B.圖1-5參照?qǐng)D1，光刻加工部分標(biāo)為10，光刻加工包括透鏡12和基片或襯底14，襯底14還包括涂在其上的光致抗蝕劑，光通過透鏡12照射到襯底14上。由于襯底14上發(fā)生光化反應(yīng)，酸被釋放到大氣中，諸如氮、氬、空氣、氦或氫等高純氣體噴流16防止這些酸腐蝕透鏡12。高純氣體源圖示為箱18的形式，高純氣體經(jīng)壓縮通過管道20推進(jìn)。為除去氣體中殘余的碳?xì)浠衔?，氣體要通過凈氣器或過濾系統(tǒng)(25)。
在一般操作中，氣體壓力為90～110psi，以30升/分鐘～200升/分鐘的速率通過過濾結(jié)構(gòu)25。
參照?qǐng)D2，以側(cè)面正面圖示出了過濾系統(tǒng)25。過濾系統(tǒng)25一般被構(gòu)造和安排成直線通過氣體，與其取向無關(guān)。在圖2實(shí)施例中，過濾系統(tǒng)25包括過濾器外殼30，進(jìn)氣結(jié)構(gòu)32與出氣結(jié)構(gòu)34。由圖2可見，本例中，進(jìn)氣結(jié)構(gòu)32與出氣結(jié)構(gòu)34位于外殼30的相對(duì)兩端，使空氣直線或筆直流過。如圖2所示，第一端帽36位于外殼30的進(jìn)氣端，第二端帽38位于外殼30的出氣端。
參照?qǐng)D3，它示出了過濾系統(tǒng)25沿圖2的直線3-3截取的剖面。從圖3可見，進(jìn)氣結(jié)構(gòu)32限定的中心孔40讓空氣從中通過，較佳地，進(jìn)氣結(jié)構(gòu)可以有選擇地與第一端帽36附接和折卸，如進(jìn)氣結(jié)構(gòu)32可以包括有螺紋的柄部分42，可與端帽36作螺紋連接。進(jìn)氣結(jié)構(gòu)32還包括肩部凸緣44，緊靠第一端帽36的外端面46。
第一端帽36通常包括肩部或凸緣48，用于接合或鄰接外殼30壁的端部50。從圖4可見，第一端帽26的凸緣48一般為非圓形，本例中為矩形或方形。
再參照?qǐng)D3，第一端帽36包括從凸緣48伸出的壁52，即壁52連續(xù)圍繞端帽36的中心孔43。從圖3可見，壁52的直徑小于凸緣48的直徑，使它可容納在外殼30里。
第一端帽36被構(gòu)造和安排成有一密封件，在外殼30中的端帽36與管狀結(jié)構(gòu)之間形成密封。具體而言，壁52限定了密封座54，它最好是壁52中直徑減小的區(qū)域，以形成保持填密片或圓環(huán)56的托架。圓環(huán)56壓住內(nèi)管狀結(jié)構(gòu)60，以在其間形成密封62。
再參照?qǐng)D3，管狀結(jié)構(gòu)60最好是一根空心管，其連續(xù)的壁用于保持和包含內(nèi)濾波器元件。管狀結(jié)構(gòu)60最好適宜地抵住外殼30的壁，且最好在第一端帽36與第二端帽38之間接合延伸。
第二端帽38的結(jié)構(gòu)最好與第一端帽36相同，這樣，它包括凸緣68、壁72和密封座74。圓環(huán)76與管狀結(jié)構(gòu)60一同在其間形成密封82。
出氣結(jié)構(gòu)34最好與進(jìn)氣結(jié)構(gòu)32相同，這樣它具有中心孔90、有效柄部分92和肩部凸緣94。
從圖3可見，在管狀結(jié)構(gòu)60和第一端帽36的壁52內(nèi)，進(jìn)氣孔40與進(jìn)氣通道96處于氣體流通。同樣地；管狀結(jié)構(gòu)60內(nèi)有一出氣通道98，它包含在第二端帽38的壁72內(nèi)，并與出氣孔90保持氣體流通或空氣流通。
在優(yōu)化的光刻加工10中，有一用于除去通過過濾器25氣體內(nèi)雜質(zhì)的媒體區(qū)。較佳地，該媒體包括管狀結(jié)構(gòu)60內(nèi)的媒體填充物100，它至少能部分除去流過其間的空氣或氮等氣體中的雜質(zhì)，如殘余碳?xì)浠锏?。較佳地，媒體填充物100包括顆粒狀媒體，如珠狀媒體或粒狀媒體。更佳地，顆粒狀媒體包括球形的珠狀媒體101。具體而言，一類珠狀媒體最好是球形碳珠，其作用是讓氣體流過并吸收高純氣體中諸如殘余碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)。
過濾器25通常包括其中的加壓系統(tǒng)，用于對(duì)媒體填充物100加力。加壓系統(tǒng)將媒體填充物100在各珠間保持緊密填充狀態(tài)以防漏泄。加壓系統(tǒng)從各方向?qū)γ襟w填充物100加壓，使過濾系統(tǒng)25以任何取向使用。從各方向?qū)γ襟w填充物100加壓，可防止其沉淀。若允許顆粒狀媒體101沉淀，則會(huì)在進(jìn)氣結(jié)構(gòu)32與出氣結(jié)構(gòu)34之間形成氣流通路，無須運(yùn)行通過任何媒體101。
具體而言，在較佳系統(tǒng)中，加壓系統(tǒng)對(duì)媒體填充物100的上下游都加力。氣體或空氣可滲透的加壓系統(tǒng)也較佳，即加壓系統(tǒng)最好讓氣體或空氣自由流通。較佳地，加壓系統(tǒng)的力最好從兩個(gè)方向和從管狀結(jié)構(gòu)60的四壁施加，以對(duì)特定媒體施加恒力而防止沉淀。在有些實(shí)施例中，加壓系統(tǒng)至少包括單個(gè)加壓件。在圖3實(shí)施例中，加壓系統(tǒng)包括第一與第二加壓件102、104，第一加壓件102位于媒體填充物100的上游，第二加壓件104位于填充物100的下游。盡管可以設(shè)想出各種實(shí)施方法，但是在圖3實(shí)施例中，第一加壓件102包括在第一端帽36與媒體填充物100之間擠壓的可壓縮墊108。較佳地，可壓縮墊108可滲透氣體或空氣。更佳地，可壓縮墊108是一種圓開口單元聚氨酯墊，每英寸至少有30個(gè)細(xì)孔，較佳為每英寸有40～100個(gè)細(xì)孔，如每英寸有50個(gè)細(xì)孔。圖示的過濾系統(tǒng)25內(nèi)，加壓的加壓墊108將施加足以壓縮媒體填充物100的力，例如，有些可用的加壓墊108將至少施加10N力，最好對(duì)媒體填充物100施加10-35N的力。
如圖3所示，第二加壓件104也包括加壓墊110，它最好與加壓墊108相同，位于媒體填充物100的下游，在第二端帽38與媒體填充物100之間受壓。
圖3還示出，多孔滲水濾網(wǎng)112在第一端帽36與墊108之間受壓。同樣地，濾網(wǎng)114壓抵加壓墊110。濾網(wǎng)112、114幫助支持墊108、110，并且通過防止大顆粒通過，還具有一定過濾作用。較佳地，濾網(wǎng)112、114包括一種多孔金屬網(wǎng)。
過濾器25還包括第一和第二媒體區(qū)，如位于媒體填充物100上下游的深度媒體116、118。在圖示實(shí)施例中，第一深度媒體116區(qū)在媒體盤120內(nèi)。媒體盤120的外周外殼122限定了深度媒體116。在管狀結(jié)構(gòu)60內(nèi)，深度媒體116幫助將顆粒媒體(即珠或粒子)保持在媒體填充物100中，即深度媒體116幫助保持或俘獲或防止顆粒媒體101通過并滲入進(jìn)氣通道96。深度媒體116的細(xì)孔足以讓氣體流通而不強(qiáng)加不當(dāng)?shù)南拗屏俊?br> 深度媒體118的第二區(qū)最好位于媒體盤124內(nèi)，媒體盤124的結(jié)構(gòu)與盤120相似，因而包括外周外殼126。深度媒體118有助于防止顆粒媒體101運(yùn)行且埋入下游元件中。
過濾器25還包括一系統(tǒng)，用于收集任何在被允許通過出氣通道98與孔徑90之前的顆粒。在圖3實(shí)施例中，有一過濾盤130，較佳地，過濾盤130起到篩的作用，收集可能通過過濾器25上游元件的顆粒。在有些較佳系統(tǒng)中，過濾盤130包括一打褶的金屬網(wǎng)，收集至少大于7微米以上的顆粒。較佳地，有8～14個(gè)褶，褶深最好在0.08～09.12英寸之間。
再參照?qǐng)D4，可以看出，端帽36以及還有端帽38通過螺絲134等緊固件可卸地附接于外殼30。
現(xiàn)在參照?qǐng)D5，圖中以150示出另一實(shí)施例過濾器，除了加壓系統(tǒng)外，還包括類似于過濾器25的零件。在圖5實(shí)施例中，加壓系統(tǒng)包括第一與第二加壓件152和154，前者最好是加壓墊156，類似于圖3的加壓墊108和110。
該實(shí)施例的第二加壓件154最好是彈簧158，在剖視圖中可把該彈簧158視作線圈彈簧，施加的力足以壓縮媒體填充物160，例如至少為10N的力，較佳地，約為10～35N是有用的。
彈簧158在工藝中是有利的，因?yàn)樗灰着艢饣虺闅??！俺闅狻笔窃诎雽?dǎo)體制造過程中由設(shè)施、設(shè)備、器具等釋放的氣態(tài)污染物。
操作時(shí)，上述系統(tǒng)從高純氣體中除去氣態(tài)雜質(zhì)。如“高純氣體”指5級(jí)氮或氣體，“氣態(tài)雜質(zhì)”指殘余碳?xì)浠衔?。將高純氣體導(dǎo)入過濾結(jié)構(gòu)，如上述具有媒體區(qū)的過濾結(jié)構(gòu)，在媒體區(qū)的上下游對(duì)媒體加壓，這樣可以任何取向使用該過濾結(jié)構(gòu)，不大會(huì)讓媒體沉淀形成氣體通路而不屬于媒體。引導(dǎo)高純氣體通過媒體區(qū)，從中至少部分除去氣態(tài)雜質(zhì)。在引導(dǎo)高純氣體通過媒體區(qū)的步驟之后，將高純氣體引出過濾結(jié)構(gòu)，凈化氣體被引入透鏡12與襯底14之間的透光區(qū)。
具體而言，參照?qǐng)D3，氮?dú)獾雀呒儦怏w通過進(jìn)氣孔40進(jìn)入進(jìn)氣通道96，并在此通過篩網(wǎng)112、加壓墊10、深度媒體116而進(jìn)入媒體填充物100。氣體流過媒體填充物100的碳粒，遭受到碳吸收的碳?xì)浠衔锖推渌s質(zhì)。然后，凈化氣體通過第二深度媒體118區(qū)，除去任何其它通過的顆粒，接著再通過第二加壓件104、篩網(wǎng)114和過濾盤130，過濾盤130則從氣體中除去任何大于一定尺寸(如7微米)的其它粒子。接著，凈化氣體流過出氣通道98并從出氣孔90流出。此后，就可把它噴射到透鏡12上并噴入透鏡12上并噴入透鏡12與襯底14之間的區(qū)域。
C.光透射系統(tǒng)圖1中，部分光刻工藝加工標(biāo)為10，參照?qǐng)D1能更好地理解本發(fā)明的系統(tǒng)與方法。
發(fā)明的系統(tǒng)包括氣源18，過濾器25，照明系統(tǒng)和透光區(qū)。過濾結(jié)構(gòu)25除去氣體中的雜質(zhì)，它包括外殼30，其進(jìn)氣口32與氣源18保持氣體流通，排放氣體的出氣口34，填充在外殼30內(nèi)進(jìn)氣口32下游的填充媒體區(qū)100。媒體100和過濾結(jié)構(gòu)25至少除去氣體中的某些雜質(zhì)，導(dǎo)致凈化氣體退出過濾結(jié)構(gòu)。本發(fā)明系統(tǒng)還包括照明系統(tǒng)的電源。
照明系統(tǒng)由透射光的裝置組成，該裝置光耦至至少一個(gè)透鏡。照明系統(tǒng)通過透鏡12將光透射到襯底14上。透光區(qū)是透鏡12與加工固定件之間的區(qū)域，加工固定件通常是襯底固定件，在加工時(shí)保持襯底14就位。凈化氣體導(dǎo)入透光區(qū)，可防止加工的污染氣體匯聚在透鏡上。透光區(qū)一般在真空腔內(nèi)，真空腔與至少一臺(tái)真空泵保持氣體流通。
壓縮氣體會(huì)含有多種吸附于表面的揮發(fā)性有機(jī)雜質(zhì)，這類雜質(zhì)可包括某一極性范圍，從諸如己熔、辛烷與癸烷等非極化碳?xì)浠衔锏街T如甲醇、丙酮與甲苯等的極化溶劑，淀積在表面上的這些雜質(zhì)會(huì)在許多儀器和/或應(yīng)用中造成問題。
一例會(huì)出現(xiàn)這種問題的應(yīng)用是成像技術(shù)，它配有光學(xué)透鏡，因此要優(yōu)化控制特定波長(zhǎng)和/或一系列波長(zhǎng)的光透射。壓縮氣體中出現(xiàn)的一般非極化與極化揮發(fā)性有機(jī)雜質(zhì)，會(huì)對(duì)成像應(yīng)用產(chǎn)生透射比問題，這類吸收問題出現(xiàn)在特定的波長(zhǎng)，在其紫外吸收譜中很明顯。
在小于215nm的光波長(zhǎng)上，諸如戊烷、己烷、辛烷、癸烷與環(huán)己烷等非極化碳?xì)浠衔镫s質(zhì)會(huì)造成光透射比問題。在這些波長(zhǎng)上，更多的極化雜質(zhì)，如甲醇、丙酮、 甲苯、異丙醇、乙酸乙酯、四氯化碳、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺、二甲基亞砜和N-甲基吡咯烷酮等，也有強(qiáng)吸收作用；然而，它們還吸收更高波長(zhǎng)的光，對(duì)215nm以上波長(zhǎng)的最佳透射造成問題。
減少氣體中雜質(zhì)程度的主要方法是氣-固吸收法。范圍廣泛的吸收材料一直被用來除去壓縮氣體中的特定雜質(zhì)和各種雜質(zhì)。在這些材料中，活性碳材料是迄今為止最常用的，該材料可用天然的和/或合成的原材料制備。
若希望在大于215nm的波長(zhǎng)有最佳光透射，極化碳?xì)浠衔锶コ襟w本身可以很好地工作。較佳地，它是一種碳基媒體。較佳地，這種極化碳?xì)浠衔锶コ蓟牧鲜且环N合成聚合碳。
若希望在小于215nm的波長(zhǎng)有最佳光透射，則組合的碳基材料(即極化與非極化碳?xì)浠衔锶コ襟w)可提供最佳的過濾范圍，因而能最大程度地防止光透射隨時(shí)間而劣化。較佳地，這種極化碳?xì)浠衔锶コ襟w是一種碳基媒體，較佳地，這種極化碳?xì)浠衔锶コ蓟牧鲜且环N合成聚合碳。較佳地，非極化碳?xì)浜衔锶コ襟w是一種碳基媒體，通常為基于天然的碳。
當(dāng)使用組合的極化與非極化碳?xì)浠衔锶コ襟w時(shí)，各過濾系統(tǒng)要使用的材料量取決于被清潔氣流中雜質(zhì)的程度與類型。一般而言，這些因素是未知因素，因此最好最初使用一種由等量的天然和合成碳基材料構(gòu)成的過濾器。在大略知道氣體處理中雜質(zhì)的類型與量的場(chǎng)合中，可能希望相應(yīng)地稱出碳基材料的量，如在有大量極化有機(jī)物和/或溶劑的場(chǎng)合中，最好使用一種重量足以傾向合成碳等極化表面碳的組合過濾器，使用時(shí)讓氣流通過碳材料。這些材料可以分層或混合地填入管、床中，或涂到表面上。這些材料可以是粒狀、珠狀或纖維狀及其組合。
D.較佳材料本節(jié)提出列舉材料的規(guī)格，其它材料當(dāng)然也可使用。
較佳地，珠狀媒體101包括球形碳珠，各碳珠的直徑為0.5～0.7mm，當(dāng)按ASTM D2854測(cè)試時(shí)，其干燥的視在體密度為0.55～0.61g/ml，當(dāng)按ASTMD2867測(cè)試時(shí)，含水量最好為最大3％重量。
較佳地，極化碳?xì)浠衔锶コ牧鲜且环N合成聚合碳。專用合成聚合碳的例子包括碳化/活化聚苯乙烯二乙烯基苯(Ambersorb碳)、Kureha珠、碳化/活化人造纖維、聚丙烯腈、酚醛塑料(樹脂)和其它聚合物。極化碳?xì)浠衔镂仗伎蓮腞ohm與Haas購買，商標(biāo)為Ambersorb。其它合適的極化碳?xì)浠衔锇↘utrha珠、Kynol活性碳布、高度氧化/活性碳結(jié)構(gòu)、在胺、硫化氫、二氧化硫等氣體中呈活性的碳；和化學(xué)處理的碳，如與化學(xué)物浸漬后可除去特定的蒸氣/氣體。
較佳地，非極化碳?xì)浠衔镂教际且环N合成聚合碳。專用非極化碳?xì)浠衔镂教嫉睦影˙arnebey Suteliffe出售的碳，商標(biāo)為207C、208C、209C、MI、978，還有Calgon出售的商標(biāo)為PCB和BPL的碳。專用天然碳的例子包括cocnat shell.peach pits煤、木、炭等。
較佳地，每種加壓墊108、110、156都包括一種開口單元聚酯尿烷，全網(wǎng)狀，每英寸至少有30個(gè)細(xì)孔，最好有50個(gè)細(xì)孔。
過濾盤130最好包括0.16英寸鋁粘帶，325×2300目篩網(wǎng)，至少7微米和約8微米絕對(duì)值，篩網(wǎng)褶深約0.10英寸，篩網(wǎng)材料最好包括不銹鋼304。
各媒體盤120、124分別包括深度媒體區(qū)116、118，深度媒體最好包括混合纖維，最佳為50％聚丙烯與50％中度丙烯酸，這種纖維混合物呈現(xiàn)出永久電位。在每分鐘氣流為10.5英尺下用0.3～0.4微米粒子測(cè)試，fomblin效率最好為平均76～94％，在低于71或高于99時(shí)不應(yīng)有單值。滲透率最好為每分鐘283～476英尺(每分鐘86～145米)，0.5psi下的厚度最好為0.035～0.061英寸(0.91～1.55mm)，基礎(chǔ)重量最好為48～75磅/3000英尺2(78～122g/m2)。較佳地，各篩網(wǎng)112、114包括繩股厚度為0.028英寸(0.71mm)、開孔面積百分比為72％的多孔金屬網(wǎng)。
較佳地，外殼30為鋁結(jié)構(gòu)；較佳地，管狀結(jié)構(gòu)60為304不銹鋼管結(jié)構(gòu)，無縫，冷光潔，退火，且經(jīng)酸洗。材料具有20規(guī)壁(0.035英寸)。
較佳地，圓環(huán)56、57包括二氟乙烯-六氟丙烯等合成橡膠，硬度為60～75 Shore A，如VITON，杜邦公司的注冊(cè)商標(biāo)，或FLUOREL，3M公司的注冊(cè)商標(biāo)。這些材料較佳，因?yàn)樗鼈兙哂械偷膹U氣潛力。
較佳地，第一與第二相對(duì)端帽36、38包括不銹鋼。
E.較佳結(jié)構(gòu)例應(yīng)當(dāng)理解，應(yīng)用這里描述的技術(shù)和原理，可實(shí)施各種專用結(jié)構(gòu)和應(yīng)用。本節(jié)將描述一具體的過濾組件。
過濾系統(tǒng)25在進(jìn)氣口32頂端與出氣口34頂端之間的全長(zhǎng)至少為2.79英寸(7.09cm)，例如2.79～13.04英寸(7.09～13.22cm)，較佳為6.52英寸(16.6cm)。
過濾系統(tǒng)25在端帽36端部與端帽38端部之間的長(zhǎng)度至少為2.0英寸(5.08cm)，例如2.0～12.5英寸(5.08～31.75cm)，較佳為4.64英寸(約11.8cm)。
各端帽36和38的尺寸為1×1英寸(2.54×2.54cm)～6×6英寸(15.24×15.24cm)，較佳為2×2英寸(約5.1×5.1cm)。
各加壓墊108、110、156的直徑至少為0.5英寸(1.27cm)，例如0.5～5.5英寸(1.27～13.97cm)，較佳為1.52英寸(約3.86cm)。各加壓墊的厚度至少為0.25英寸(0.64cm)，例如0.25～0.5英寸(0.64～1.27cm)，較佳為0.375英寸(約0.95cm)。
過濾盤130的外徑至少為0.8英寸(2.03cm)，如0.8～5.25英寸(2.03～13.34cm)，較佳為1.365英寸(約3.47cm)。過濾盤的厚度至少為0.05英寸，如0.052～0.25英寸，較佳為0.163英寸(約0.0414cm).
各媒體盤120、124的直徑至少約0.5英寸(1.27cm)，如0.5～5.5英寸(1.27～13.97cm)，較佳為1.555英寸(約3.95cm)。
各篩網(wǎng)112、114的直徑至少為0.5英寸(1.27cm)，如0.5～5.5英寸(1.27～13.97cm)，較佳為1.52英寸(約3.86cm)。
管狀結(jié)構(gòu)60的長(zhǎng)度至少為1.2英寸(3.05cm)，如1.2～8.2英寸(3.05～20.83cm)，較佳為4.10英寸(約10.4cm)。內(nèi)徑至少為0.5英寸(1.27cm)，如0.5～5.5英寸(1.27～13.97cm)，較佳為1.555英寸(約3.95cm)。外徑至少為0.55英寸(1.40cm)，如0.55～5.65英寸(1.40～14.35cm)，較佳為1.625英寸(約4.13cm)各圓環(huán)56.76的內(nèi)徑至少為0.6英寸(1.52cm)，如0.6～5.25英寸(1.52～13.34cm)，較佳為1.239英寸(約3.15cm)。其外徑為如0.67～5.32英寸(1.70～13.51cm)，較佳為1.379英寸(約3.50cm)各進(jìn)氣口和出氣口32.34的長(zhǎng)度至少為0.25英寸(0.64cm)，如0.25～3.0英寸(0.64～7.62cm)，較佳為1.33英寸(約3.38cm)。各孔徑至少為0.08英寸(0.20cm)，如0.08～0.5英寸(0.20～1.27cm)，較佳為0.19英寸(約0.48cm)。
權(quán)利要求
1. 一種光透射通過氣體與透光區(qū)的方法，其特征在于該方法包括(a)根據(jù)期望的光透射波長(zhǎng)選擇某一媒體；(b)將氣體引導(dǎo)通過所述媒體，以從中至少部分地除去氣態(tài)雜質(zhì)，得到凈化氣體；(c)將所述凈化氣體引入透光區(qū)；和(d)使光透過所述透光區(qū)與凈化氣體。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中選擇步驟包括選擇一種媒體，其中所述期望的光波長(zhǎng)大于215nm。
3.如權(quán)利要求1和2中任一權(quán)項(xiàng)所述的方法，其中選擇步驟包括選擇包含極化碳?xì)浠衔镂教嫉拿襟w。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中選擇步驟包括選擇包含合成聚合碳的極化碳?xì)浠衔镂教肌?br> 5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中選擇步驟包括選擇一種媒體，其中所述期望的光波長(zhǎng)小于215nm。
6.如權(quán)利要求1和5之一所述的方法，其中選擇步驟包括從非極化碳?xì)浠衔锶コ襟w、極化碳?xì)浠衔锶コ襟w及其混合物中選擇媒體。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中選擇步驟包括選擇包含合成聚合碳的極化碳?xì)浠衔锶コ襟w；以及選擇步驟還包括選擇包含天然碳的非極化碳?xì)浠衔锶コ襟w。
8.如權(quán)利要求5所述的方法，其中選擇步驟包括選擇包含非極化碳?xì)浠衔锶コ襟w和極化碳?xì)浠衔锶コ襟w的媒體。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中選擇步驟包括選擇包含合成聚合碳的極化碳?xì)浠衔锶コ襟w；以及選擇步驟還包括選擇包含天然碳的非極化碳?xì)浠衔锶コ襟w。
10.一種光透射通過氣體和透光區(qū)的系統(tǒng)，其特征在于所述系統(tǒng)包括(a)除去氣體中雜質(zhì)的過濾結(jié)構(gòu)，所述過濾結(jié)構(gòu)包括(i)外殼，具有可接至氣體供源的進(jìn)氣口和排放從所述氣體供源接收的氣體的出氣口；(ii)位于所述外殼所述進(jìn)氣口下游、按期望的工作光波長(zhǎng)選擇的媒體；所述媒體從氣體中除去至少某些雜質(zhì)，得到凈化氣體；(c)使光透射通過透光區(qū)和凈化氣體的照明系統(tǒng)，其中透光區(qū)與所述過濾器出氣口保持氣體流通。
11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于還包括電源。
12.如權(quán)利要求10和11中任一權(quán)項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中透光區(qū)是一真空腔，所述真空腔與至少一臺(tái)真空泵保持氣體流通。
13.如權(quán)利要求10～12中任一權(quán)項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中將照明系統(tǒng)構(gòu)造和安排成透射波長(zhǎng)大于215nm的光。
14.如權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中所述媒體包括極化碳?xì)浠衔锶コ襟w。
15.如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中極化碳?xì)浠衔锶コ襟w包括合成聚合碳。
16.如權(quán)利要求10～12中任一權(quán)項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中將照明系統(tǒng)構(gòu)造和安排成透射波長(zhǎng)小于215nm的光。
17.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中媒體選自非極化碳?xì)浠衔镂矫襟w、極化碳?xì)浠衔镂矫襟w及其混合物。
18.如權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，其中極化碳?xì)浠衔镂矫襟w包括合成聚合碳，而非極化碳?xì)浠衔镂矫襟w包括天然碳。
19.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中媒體包括非極化碳?xì)浠衔锶コ襟w和極化碳?xì)浠衔锶コ襟w。
20.如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中極化碳?xì)浠衔锶コ襟w包括合成聚合碳，而非極化碳?xì)浠衔锶コ襟w包括天然碳。
全文摘要
實(shí)現(xiàn)光最佳透射通過氣體(16)和透光區(qū)的系統(tǒng)與方法。本發(fā)明涉及應(yīng)用專用活性碳基材料保護(hù)成像透鏡(12),旨在優(yōu)化特定波長(zhǎng)的透射。具體而言,利用特定類型的碳來提高/保持特定波長(zhǎng)或一系列波長(zhǎng)的透射。此外,還使用活性碳類混合物來提高/保持寬范圍波長(zhǎng)的透射。
文檔編號(hào)H01L21/027GK1337014SQ00802807
公開日2002年2月20日 申請(qǐng)日期2000年1月5日 優(yōu)先權(quán)日1999年1月15日
發(fā)明者A·J·達(dá)拉斯 申請(qǐng)人:唐納森公司