信息記錄介質(zhì)用玻璃基板及磁盤裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及信息記錄介質(zhì)用玻璃基板及磁盤裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在計算機(jī)等中使用的信息記錄介質(zhì)(磁盤記錄介質(zhì))從以往就采用鋁基板或者玻璃基板。在這些基板上形成有磁薄膜層，通過利用磁頭將磁薄膜層磁化，在磁薄膜層上記錄?目息。
[0003]近年來，關(guān)于搭載于計算機(jī)等的硬盤(HDD)裝置等的磁盤裝置，研發(fā)出了在一片2.5英寸的記錄介質(zhì)中具有記錄容量為500GB (單面250GB)、面記錄密度為630G比特/平方英寸以上的記錄密度的裝置。
[0004]隨著這樣的記錄密度的高密度化，信息記錄介質(zhì)與在信息記錄介質(zhì)上懸浮著進(jìn)行記錄的讀寫的磁頭的間隙(懸浮高度)縮小。
[0005]在懸浮高度縮小的情況下，由于在玻璃基板的主表面上形成的細(xì)微的凹凸，磁頭和信息記錄介質(zhì)容易相互接觸(也稱為磁頭壓損)。為了抑制磁頭壓損，對玻璃基板的主表面的平滑度和平坦度的要求日益提高。
[0006]關(guān)于公開了能夠通過提高玻璃基板的主表面的平坦度而抑制磁頭壓損的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的文獻(xiàn)，例如可以舉出日本特開2008 - 234823號公報(專利文獻(xiàn)1)。
[0007]專利文獻(xiàn)1公開的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板包括偏離部，該偏離部由于在主表面內(nèi)的周緣部相對于以該主表面內(nèi)的周緣部以外的平坦面為基準(zhǔn)的基準(zhǔn)平面隆起或者沉降，而偏離該基準(zhǔn)平面，在主表面的一側(cè)，該偏離部形成為其偏離該基準(zhǔn)平面的尺寸(偏移量)沿著玻璃基板的全周大致均勻。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)
[0010]專利文獻(xiàn)1:日本特開2008 - 234823號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]發(fā)明要解決的問題
[0012]為了使HDD的記錄密度增大至630G比特/平方英寸以上，采用用于調(diào)整磁頭和信息記錄介質(zhì)的間隙的DFH(Dynamic Flying Height:動態(tài)飛行高度)機(jī)構(gòu)。在采用該DFH機(jī)構(gòu)的情況下，能夠?qū)腋「叨瓤s小至3nm以下。
[0013]通常，當(dāng)信息記錄介質(zhì)在磁盤裝置內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)的情況下，在信息記錄介質(zhì)的外周端部圓周速度特別快，因而磁頭容易受到在該外周端部附近產(chǎn)生的空氣的流動(風(fēng)力)的影響而浮起來。
[0014]在懸浮高度達(dá)到3nm以下的情況下，磁頭在外周端部附近明顯容易受到風(fēng)力的影響，具有磁頭的懸浮特性不穩(wěn)定的傾向。磁頭不僅配置在信息記錄介質(zhì)的一面?zhèn)?，有時也配置于兩面?zhèn)?。在這種情況下，由于信息記錄介質(zhì)的兩面的表面形狀的差異，在正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)犬a(chǎn)生的風(fēng)力產(chǎn)生偏差，磁頭的懸浮特性更加容易不穩(wěn)定。
[0015]在專利文獻(xiàn)1公開的玻璃基板中，沒有充分考慮在玻璃基板的兩側(cè)的主表面形成有磁薄膜層、在該玻璃基板的兩側(cè)配置有磁頭時的磁頭的懸浮特性。
[0016]本發(fā)明的目的在于，提供一種信息記錄介質(zhì)用玻璃基板及具有該玻璃基板的磁盤裝置，能夠抑制因信息記錄介質(zhì)的外周端部附近區(qū)域的形狀而引起的空氣的流動紊亂，使磁頭的懸浮特性穩(wěn)定。
[0017]用于解決問題的手段
[0018]本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板是被用于信息記錄介質(zhì)中且具有旋轉(zhuǎn)中心的玻璃基板，在該信息記錄介質(zhì)形成有具有630G比特/平方英寸以上的記錄密度的磁記錄層，該玻璃基板具有:主表面，其分別位于所述信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)?；以及外周端面，其位于所述信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的外周端部。在設(shè)從所述旋轉(zhuǎn)中心到所述外周端面的所述信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的半徑為R，在正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)入p方，將沿著徑向從所述旋轉(zhuǎn)中心離開0.71R的所述主表面上的點作為第1基準(zhǔn)點，將沿著所述徑向從所述旋轉(zhuǎn)中心離開0.83R的所述主表面上的點作為第2基準(zhǔn)點，將連接所述第1基準(zhǔn)點和所述第2基準(zhǔn)點的直線作為基準(zhǔn)線，將從所述旋轉(zhuǎn)中心離開0.99R的所述基準(zhǔn)線上的點作為基準(zhǔn)位置，將沿著通過所述旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)軸的延伸方向觀察時從與所述基準(zhǔn)位置重合的所述主表面上的點到所述基準(zhǔn)位置的距離作為偏移量的情況下，在正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)入p方，從所述旋轉(zhuǎn)中心離開0.99R的半徑位置處的所述偏移量在周向上的分布的最大值與最小值之差為40nm以下，正面?zhèn)鹊乃銎屏吭谥芟蛏系姆植嫉钠骄蹬c背面?zhèn)鹊乃銎屏吭谥芟蛏系姆植嫉钠骄抵顬?0nm以下。
[0019]優(yōu)選的是，在基于上述本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板中，在正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)入p方，所述偏移量在周向上的分布的平均值為150nm以下。
[0020]優(yōu)選的是，在基于上述本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板中，所述信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的厚度為0.65nm以下。
[0021]基于本發(fā)明的磁盤裝置在某一方面，以使所述旋轉(zhuǎn)軸成為同一軸的方式搭載多片的所述信息記錄介質(zhì)用玻璃基板。
[0022]基于本發(fā)明的磁盤裝置在另一方面，使一片或者多片的所述信息記錄介質(zhì)用玻璃基板以7200rpm以上的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。
[0023]發(fā)明效果
[0024]根據(jù)本發(fā)明能夠提供一種信息記錄介質(zhì)用玻璃基板及具有該玻璃基板的磁盤裝置，能夠抑制因信息記錄介質(zhì)的外周端部附近區(qū)域的形狀而引起的空氣的流動紊亂，使磁頭的懸浮特性穩(wěn)定。
【附圖說明】
[0025]圖1是示出搭載了本發(fā)明的實施方式的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的磁盤裝置的概略立體圖。
[0026]圖2是示出圖1所示的磁盤裝置的變形例的剖視圖。
[0027]圖3是示出具有本發(fā)明的實施方式的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的信息記錄介質(zhì)的概略圖。
[0028]圖4是示出本發(fā)明的實施方式的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的概略圖。
[0029]圖5是沿著圖4所示的V-V線的剖視圖。
[0030]圖6是不出圖5所不的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的背面?zhèn)鹊钠屏吭谥芟蛏系姆植嫉膱D。
[0031]圖7是不出圖5所不的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的正面?zhèn)燃氨趁鎮(zhèn)鹊钠屏吭谥芟蛏系姆植嫉膱D。
[0032]圖8是示出圖4所示的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法的流程圖。
[0033]圖9是示出在圖8所示的第2拋光工序中使用的雙面研磨裝置的側(cè)視圖。
[0034]圖10是沿著圖9所示的X-X線觀察的剖視圖。
[0035]圖11是示出圖9所示的雙面研磨裝置正在進(jìn)行研磨加工的狀態(tài)的剖視圖。
[0036]圖12是示出圖4所示的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的使用例的圖。
[0037]圖13是示出在制造比較方式的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板時，在第2拋光工序中雙面研磨裝置正在進(jìn)行精密研磨加工的狀態(tài)的剖視圖。
[0038]圖14是示出圖13所示的XIV線包圍的區(qū)域的圖。
[0039]圖15是示出圖13所示的XV線包圍的區(qū)域的圖。
[0040]圖16是不出比較例1的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊钠屏吭谥芟蛏系姆植嫉膱D。
[0041]圖17是不出比較例2的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊钠屏吭谥芟蛏系姆植嫉膱D。
[0042]圖18是不出比較例3的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊钠屏吭谥芟蛏系姆植嫉膱D。
[0043]圖19是示出為驗證本發(fā)明的效果而進(jìn)行的第1實驗的條件及結(jié)果的圖。
[0044]圖20是示出為驗證本發(fā)明的效果而進(jìn)行的第2實驗的條件及結(jié)果的圖。
【具體實施方式】
[0045]下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實施方式。另外，在以下示出的實施方式中，對于相同或者共同的部分，在附圖中標(biāo)注相同的標(biāo)號，不重復(fù)說明。
[0046](實施方式)
[0047]圖1是示出搭載了本實施方式的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的磁盤裝置的概略立體圖。參照圖1，對搭載了本實施方式的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板1G的磁盤裝置100進(jìn)行說明。
[0048]如圖1所示，磁盤裝置100具有信息記錄介質(zhì)10、致動器20、殼體30、卡緊部件27、及固定螺釘28。
[0049]致動器20具有磁頭滑塊21、懸架22、臂23、垂直軸24、音圈25、及音圈電機(jī)26。在殼體30的上表面上設(shè)置有主軸電機(jī)(未圖示)。
[0050]在信息記錄介質(zhì)用玻璃基板1G(以下也稱為玻璃基板1G)上涂覆磁性體而形成的磁盤等信息記錄介質(zhì)10，通過卡緊部件27和固定螺釘28被固定于上述的主軸電機(jī)且能夠旋轉(zhuǎn)。信息記錄介質(zhì)10是通過在玻璃基板1G形成磁薄膜層(磁記錄層)而制造的。信息記錄介質(zhì)10由上述的主軸電機(jī)驅(qū)動著以例如數(shù)千rpm的轉(zhuǎn)速、以在玻璃基板1G的旋轉(zhuǎn)中心CP (參照圖4)通過的旋轉(zhuǎn)軸L1為中心沿DR1方向旋轉(zhuǎn)。
[0051]臂23以能夠圍繞垂直軸24擺動的方式被安裝。在臂23的末端安裝有形成為板簧(單支撐梁)狀的懸架22。在懸