單元格N表示為第一相位Pl,有底紋的第二資 料單元格N表示為第二相位P2。
[0068] 圖3B中的第二數據單元格N也以類似矩陣之方法表示。舉例而言,于第二成像范 圍A2的第一列中,第二數據單元格N依序可以被表示為N n、N12、N13、N14、N15、N 16、N17、N18,其 中 Nn、N12、N14、N16、N18 為第一相位Pl (無底紋),而N 13、N15、N17為第二相位P2 (有底紋)。
[0069] 此外,同前所述,由于盤片106內會記錄有對應初始參考訊號點之信息,繞射光D 以及由繞射光D轉換而成之第一光束Ll與第二光束L2均具有對應初始參考訊號點的數據 點。
[0070] 舉例而言,于第一光束Ll在光學接收器108上的第一成像范圍Al中,第一數據單 元格M n、M12、M13、M14、M15、M 16、M17、M18可以是對應初始參考訊號點的數據點。為了方便說明, 第一數據單元格M n、M12、M13、M14、M15、M 16、M17、M18上標示有初始參考訊號點R。
[0071] 同樣地,于第二光束L2在光學接收器108上的第二成像范圍A2中,第二數據單元 格N n、N12、N13、N14、N15、N 16、N17、N18也會有對應初始參考訊號點的數據點。為了方便說明,第 二數據單元格N n、N12、N13、N14、N15、N 16、N17、N18上標示有初始參考訊號點R。
[0072] 換言之,第一成像范圍Al與第二成像范圍A2中,第一數據單元格Mn、M 12、M13、M14、 M15、M16、M17、M18與第二資料單元格N n、N12、N13、N14、N15、N 16、N17、N18的相位為已知,而其余的 第一資料單元格M與第二資料單元格N的相位為未知。
[0073] 圖4A與圖4B繪示圖1的全像裝置100進行讀取第一光束Ll與第二光束L2的示 意圖。圖4A與圖4B中,所繪示的第一成像范圍Al與第二成像范圍A2分別對應于圖3A與 圖3B之第一成像范圍Al與第二成像范圍A2。此外,為了不使圖式過于復雜,第二成像范圍 A2以虛線邊框表示。
[0074] 同前所述,繞射光D可以透過剪切干涉儀120 (請見圖1)轉換為第一光束Ll與第 二光束L2,并分別于光學接收器108 (請見圖1)上成像形成第一成像范圍Al與第二成像范 圍A2,如前述之第一步驟。圖4A與圖4B中,第一光束Ll與第二光束L2于光學接收器108 上形成的第一成像范圍Al與第二成像范圍A2為部分重迭。
[0075] 當光學接收器108上的第一成像范圍Al與第二成像范圍A2部分重迭時,于第一 成像范圍Al與第二成像范圍A2的重迭之區(qū)域內,第一成像范圍Al與第二成像范圍A2重 迭的每一第一數據單元格M會與每一第二資料單元格N完全重合。例如,第一成像范圍Al 之第二列的第一數據單元格M (對應至第3A圖之第一數據單元格M21、M22、M23、M24、M 25、M26、 M27、M2S)分別與第二成像范圍A2之第一列的第二數據單元格N(對應至第3B圖之第二數據 單元格 Nn、N12、N13、N14、N15、N 16、N17、N18)完全重合。
[0076] 接著,資料讀取方法是根據第一成像范圍Al與第二成像范圍A2重迭之區(qū)域內的 完全重合的第一資料單元格M與第二資料單元格N,將剪切干涉儀120所提供之第一光束 Ll與第二光束L2透過干涉自相位分布形式轉換為強度分布形式,并以強度訊號之形式記 錄,如前述之第二步驟。
[0077] 于將第一光束Ll與第二光束L2透過干涉自相位分布形式轉換為強度分布形式之 步驟中,轉換的步驟具有以下步驟。當每一組完全重合之第一數據單元格M及第二數據單 元格N皆為第一相位Pl或第二相位P2,定義此組完全重合之第一數據單元格M及第二數據 單元格N于光學接收器108之強度為第一強度。當每一組完全重合之第一數據單元格M及 第二數據單元格N分別為第一相位Pl與第二相位P2時,定義此組完全重合之第一數據單 元格M及第二數據單元格N于光學接收器108之強度為第二強度。
[0078] 換言之,第一光束Ll與第二光束L2透過干涉自相位分布形式轉換為強度分布形 式之步驟是透過完全重合的第一數據單元格M與第二數據單元格N之間的相位關系定義。 相位關系例如為第一數據單元格M與第二數據單元格N之間的建設性干涉或是相消性干 涉。舉例而言,當重合的第一數據單元格M與第二數據單元格N具有相同相位時,其相位關 系可以視為建設性干涉。反之,當重合的第一數據單元格M與第二數據單元格N具有相反 相位時,其相位關系可以視為相消性干涉。
[0079] 本實施方式中,轉換后的強度訊號是以二進制的形式記錄為例作說明,亦即轉換 而成的強度分布形式所具有的第一強度與第二強度分別可以視為1跟0。于將第一光束Ll 與第二光束L2透過干涉自相位分布形式轉換為強度分布形式之步驟的過程中,數據讀取 方法是將重合的第一數據單元格M與第二數據單元格N之相位作相減以定義每一個數據的 強度。舉例而言,當重合的一組資料單元格之相位為η與〇(或〇與時,此組數據單 元格之強度定義為1。當重合的一組資料單元格之相位皆為(η與JO或皆為〇(〇與0) 時,此組數據單元格之強度定義為0。
[0080] 當光學接收器108將第一光束Ll與第二光束L2透過干涉自相位分布形式轉換為 強度分布形式后,透過第一光束Ll與第二光束L2的強度分布形式與對應初始參考訊號點R 之數據點,即可推算第一成像范圍Al內的每一第一數據單元格M之相位,如前述之第三步 驟。
[0081] 請看到圖4A的箭頭所指之處(第一成像范圍Al的第二列與第二成像范圍A2的第 一列),于此處中,光學接收器108將因第一成像范圍Al之第二列的第一數據單元格M(對 應至第3六圖之第一數據單元格1 21、]\122、]\123、]\124、]\1 25、]\126、]\127、]\128)與第二成像范圍42之第一 列的第二數據單元格N (對應至第3B圖之第二數據單元格Nn、N12、N13、N14、N 15、N16、N17、N18) 分別完全地重合,而于不同位置的數據單元格接收到多個強度訊號。例如,光學接收器108 接到由M 21與N n迭加后之強度、M 22與N 12迭加后之強度、M 23與N 13迭加后之強度、M 24與N 14 迭加后之強度、M25與N 15迭加后之強度、M 26與N 16迭加后之強度、M 27與N 17迭加后之強度、M 28 與N18迭加后之強度分別為0、1、1、1、1、0、0、1。
[0082] 由于第二成像范圍A2的第一列內的第二資料單元格N之相位為已知(標記有初 始參考訊號點R),透過相位相減的運算規(guī)則,第一成像范圍Al的第二列內的第一數據單元 格M之相位可以被推算出來。
[0083] 例如,由于M21與N n迭加之處中,由于M 21與N n迭加后之強度為0,因此可以推得 M21與N n之相位相同。接著,由于N n之相位為已知且為0相位,因此M21之相位可以被推算 為〇相位。
[0084] 反之,由于M22與N12迭加后之強度為1,因此可以推得M 21與N11之相位不同。接 著,由于N11之相位為已知且為0相位,因此M 21之相位可以被推算為π相位。藉由此推算 規(guī)則,第一成像范圍Al的第二列內的第一數據單元格M之相位可以被推算出來。
[0085] 同樣地,當第一成像范圍Al的第二列內的第一資料單元格M之相位被推算出來 后,由于第一成像范圍Al與第二成像范圍A2的相位分布相同,因此可以得知第二成像范圍 A2的第二列內的第二資料單元格N之相位。
[0086] 接著,請看到圖4B的箭頭所指之處(第一成像范圍Al的第三列與第二成像范圍 A2的第二列),于此處中,第一成像范圍Al的第三列內的第一數據單元格M與第二成像范 圍A2的第二列內的第二資料單元格N分別完全地重合。
[0087] 光學接收器108接到由M31與N 21 (未標示,第3A圖之第一數據單元格M與與第3 圖之第二數據單元格N之標示方式如矩陣規(guī)則)迭加后之強度、M32與N22迭加后之強度、M 33 與N23迭加后之強度、M 34與N 24迭加后之強度、M 35與N 25迭加后之強度、M 36與N 26迭加后之強 度為7與心7迭加后之強度、138與^迭加后之強度分別為0、1、1、1、0、1、1、0。根據前述推 算規(guī)則,由于此處之強度分布以及第二成像范圍A2的第二列內的第二數據單元格N之相位 為已知,因此第一成像范圍Al的第三列內的第一數據單元格M之相位可以被推算出來。
[0088] 具體而言,本實施方式之中,推算第一成像范圍Al內的每一第一數據單元格M之 相位之步驟為以下步驟。自第一數據單元格M中對應初始參考訊號點R之數據點之一者開 始向其他的每一組完全重合之第一數據單元格M及第二數據單元格N進行推算。換言之, 由于本實施方式之第一成像范圍Al的第一列內的第一數據單元格M的相位為已知,因此推 算第一成像范圍Al內的其他第一數據單元格M之相位是自第一列依序推算至第二列、第三 列、第四列、第五列、第六列、第七列與第八列。
[0089] 綜上所述,本發(fā)明之數據讀取方法可以透過第一光束Ll與第二光束L2重迭后形 成重迭區(qū)域,其中光學接收器108接收到此重迭區(qū)域之形式為強度分布形式。接著,透過第 一光束Ll與第二光束L2于光學接收器108上的第一成像范圍Al與第二成像范圍A2中對 應初始參考訊號點R之數據點,第一成像范圍Al的第一數據單元格M之相位可以藉由已知 相位的數據點被推算出來。
[0090] 當第一成像范圍Al的第一數據單元格M之相位被推算出來后,全像裝置100即可 讀取出盤片106內所儲存的數據。透過本發(fā)明之數據讀取方法,光學接收器108對繞射光D 進行一次的讀取即可讀取出盤片106所儲存的相位信息,使得全像裝置100對盤片106的 讀取時間被縮短。再者,全像裝置100于縮短讀取時間的情況下仍可讀出高質量之數據,因 此全像裝置100的讀取效能與效率大幅提升。
[0091] 此外,由于第一光束Ll與第二光束L2于被剪切干涉儀120轉換前為同一束繞射 光D,藉由相位相減的推算規(guī)則,第一光束Ll與第二光束L2中因光學組件的像差或盤片的 偏移產生的噪聲于進行相消性干涉可以被消除,藉以提升全像裝置100的訊雜比。
[0092] 然而,應了解到,以上