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光掃描裝置的制作方法

文檔序號(hào):6748098閱讀:211來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:光掃描裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種用來(lái)光掃描信息面的裝置,這種裝置包括用來(lái)提供掃描光束的輻射源,用來(lái)將掃描光束聚焦成信息面上的掃描光斑的物鏡系統(tǒng),由具有放置于信息面輻射線的光程上的用來(lái)將所述輻射線的至少一部分分裂成子光束的內(nèi)含弧面(included arc)等于或小于120°的至少一個(gè)扇區(qū)組成的分離單元,以及由一個(gè)接收子光束的長(zhǎng)方形探測(cè)器組成的輻射敏感探測(cè)系統(tǒng)。
扇區(qū)是兩個(gè)半徑和一條連接半徑的端點(diǎn)的線之間包圍的區(qū)域。該線可以是任何形式,如一段被半徑或直線割開的弧,或一條成90°角的線。扇區(qū)的平分線是將扇區(qū)的兩條半徑間的夾角平分成相等部分的直線。一個(gè)圖形在垂直方向的尺寸不相等時(shí)被稱作長(zhǎng)方形。
這種類型的從原理上講適合于在光記錄載體上讀出和寫入信息的裝置,已知已發(fā)表在期刊Neuesausder Technik,number No.4,1990年12月20日,7頁(yè),493項(xiàng)中。已知裝置的分離單元形成的子光束入射到探測(cè)系統(tǒng)上。探測(cè)系統(tǒng)的探測(cè)信號(hào)被用來(lái)獲得徑向?qū)さ勒`差信號(hào)和聚焦誤差信號(hào)。其中從美國(guó)專利No.5,511,057可知,已知裝置的一個(gè)缺點(diǎn)是不適于掃描多層記錄載體。在這樣的多層信息記錄載體中信息面從記錄載體的一側(cè)被掃描,也就是說(shuō),一個(gè)信息面通過(guò)另外一個(gè)信息面被掃描。來(lái)自其它信息面的散射光線影響從探測(cè)系統(tǒng)中得到的信號(hào)。而且,從歐洲專利申請(qǐng)No.763 234可知,已知裝置也不適于掃描有著不同厚度的透明襯底層的不同類型的記錄載體。這些應(yīng)用中有象差(aberrated)的光線影響從探測(cè)系統(tǒng)中得到的信號(hào)。
本發(fā)明的一個(gè)目標(biāo)是參照前文提供一種對(duì)散射光線和有象差的光線比較不敏感的裝置。
從而根據(jù)本發(fā)明的裝置的特征在于,探測(cè)器的最長(zhǎng)尺寸方向基本垂直于分離單元的扇區(qū)的平分線。扇區(qū)形成的子光束在探測(cè)器上形成一個(gè)光斑。從幾何近似這個(gè)光斑的形狀和扇區(qū)一樣。被扇區(qū)偏斜的散射光線和有象差的光線形成從扇區(qū)中心徑向延伸在扇區(qū)對(duì)向角之內(nèi)的扇狀光。在平分線方向的探測(cè)器尺寸決定了探測(cè)器的空間濾波特性。依據(jù)本發(fā)明,當(dāng)探測(cè)系統(tǒng)的探測(cè)器在垂直于平分線方向上的尺寸最大時(shí),被探測(cè)器截獲的散射光線或有象差的光線的量將被減少。如果探測(cè)器的長(zhǎng)度至少是其寬度的兩倍則探測(cè)器被稱作長(zhǎng)方形。
在這一裝置的優(yōu)選實(shí)施例中,平分線與最長(zhǎng)尺寸方向之間的夾角在從75°到105°之間的范圍內(nèi),以充分減小散射光線和有象差的光線的影響。
當(dāng)輻射線的波長(zhǎng)變化時(shí),例如,由于輻射源的溫度變化或者輻射源的電控制變化,光斑的位置優(yōu)選地在探測(cè)器的最長(zhǎng)尺寸方向上變化。那么即使當(dāng)波長(zhǎng)變化時(shí)光斑也將被正確地探測(cè)到。
在掃描裝置的特殊實(shí)施例中,一個(gè)或更多的探測(cè)器包括兩個(gè)對(duì)稱地位于分割線的兩邊的兩個(gè)子探測(cè)器。分割線優(yōu)選被安置在基本平行于探測(cè)器的最長(zhǎng)尺寸方向上。波長(zhǎng)的變化將引起光斑沿分割線漂移,不影響光斑的密度分布重心與分割線之間的距離。
分離單元的扇區(qū)優(yōu)選地提供有光柵線,并且每一個(gè)扇區(qū)的光柵線的方向與扇區(qū)的平分線之間的夾角小于15°。光柵線的取向?qū)е绿綔y(cè)器上形成的光斑具有沿基本垂直于每一扇區(qū)的平分線的方向的波長(zhǎng)漂移,也就是說(shuō),沿每一探測(cè)器的最長(zhǎng)尺寸方向。具有曲線的光柵的光柵線的方向被理解為經(jīng)光柵平均的光柵線的方向。
在相關(guān)扇區(qū)的平分線的方向上探測(cè)器的寬度優(yōu)選在從4到8倍λ/NA的范圍內(nèi),這里λ是輻射線的波長(zhǎng),NA是入射到探測(cè)器上的光束的數(shù)值孔徑。較小的探測(cè)器影響從探測(cè)器輸出信號(hào)中得到的信號(hào)質(zhì)量,而較寬的探測(cè)器俘獲太多的散射光線和有象差的光線。
分離單元中扇區(qū)數(shù)目?jī)?yōu)選等于或大于二。更優(yōu)選的是扇區(qū)數(shù)等于四,其允許采用Foucault方法產(chǎn)生聚焦誤差信號(hào),這一點(diǎn)從美國(guó)專利No.4,665,310可知。分離單元可由例如一個(gè)180°扇區(qū)和兩個(gè)90°扇區(qū),四個(gè)90°扇區(qū),或三個(gè)120°扇區(qū)組成。
本發(fā)明的目的、特性和優(yōu)點(diǎn)從如下對(duì)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例更具體的描述中表現(xiàn)得更加明顯,正如附圖所示。


圖1A和B表示根據(jù)本發(fā)明的掃描裝置,圖2表示分離單元和探測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì),圖3A-C表示在掃描雙層記錄載體(A,B)和一具有偏離襯底厚度(C)的記錄載體時(shí)探測(cè)系統(tǒng)上的散射光線分布,圖4表示探測(cè)系統(tǒng)電路圖的實(shí)施例,
圖5,6,7和8表示分離單元和探測(cè)器的頂視圖。
圖1A表示掃描光記錄載體1的裝置。記錄載體包括透明層2和位于其一面的信息層3。信息層的遠(yuǎn)離透明層的另一邊由保護(hù)層4保護(hù)以免受環(huán)境影響。透明層2作為記錄載體的襯底來(lái)為信息層提供機(jī)械支撐。另一種情況是透明層也可以只起保護(hù)信息層的作用,而由信息層另一面上的層提供機(jī)械支撐,例如保護(hù)層4。信息以光可探測(cè)的標(biāo)記形式排列成基本平行的信跡存貯在記錄載體上,在圖中未標(biāo)明。標(biāo)記可是反射系數(shù)或磁化強(qiáng)度方向不同于周圍材料的坑,面等形式或這些形式的結(jié)合。
掃描裝置包括輻射源5,例如半導(dǎo)體激光器,發(fā)射出發(fā)散的輻射束6。具有光軸8的物鏡7將光束6轉(zhuǎn)變成會(huì)聚光束9,其在信息層3上形成聚焦光斑10。盡管在圖中物鏡表示成一個(gè)透鏡單元,物鏡也可能由準(zhǔn)直鏡和物鏡的組合,在透射或反射時(shí)操作的全息圖,或?qū)⒐饩€從傳送光束的波導(dǎo)中耦合出來(lái)的光柵組成。被信息層3反射的形成反射光束11的會(huì)聚光線9,沿向前的會(huì)聚光束9的光程返回。經(jīng)過(guò)物鏡7,反射光束通過(guò)分光鏡12,例如半透明平板,和分離單元13。分離單元可以是被分成四個(gè)扇區(qū)的衍射平面鏡。分離單元形成的一個(gè)零階光束14入射到象限探測(cè)器15。分離單元形成的四個(gè)高階光束16,在圖中表示成一個(gè)光束,入射到探測(cè)系統(tǒng)17。光束16優(yōu)選為一階光束。探測(cè)系統(tǒng)17產(chǎn)生聚焦和半徑尋址誤差信號(hào)18。誤差信號(hào)被用作伺服控制器19的輸入,其控制物鏡7的軸向和徑向位置,從而控制聚焦光斑10的軸向和徑向位置。聚焦誤差信號(hào)可以采用傅科(Foucault)或束尺寸(beam-size)方法形成。聚焦誤差信號(hào)的值代表聚焦光斑10與信息層3之間高度上的軸向偏差。徑向?qū)ぶ氛`差信號(hào)可以采用推拉或差分相位探測(cè)方法形成。用于產(chǎn)生誤差信號(hào)的探測(cè)系統(tǒng)的一部分被稱作誤差探測(cè)系統(tǒng)。定位物鏡的伺服系統(tǒng)由誤差探測(cè)系統(tǒng),伺服控制器和一個(gè)或多個(gè)用于移動(dòng)物鏡的致動(dòng)器組成。
象限探測(cè)器15的輸出信號(hào)總和可用于形成代表從信息面讀出的信息的信息信號(hào)20。信息信號(hào)被送入誤差修正電路20’,其修正信息的誤差。誤差修正電路的輸出是代表修正信息的信號(hào)。象限探測(cè)器15的四個(gè)輸出信號(hào)也可參照所謂的差分相位探測(cè)或差分時(shí)間探測(cè)方法用于形成徑向?qū)ぶ氛`差信號(hào),正如在美國(guó)專利No.4 785,441中所揭示的,其中決定了輸出信號(hào)高頻成分之間的相位或時(shí)間延遲。徑向?qū)ぶ氛`差信號(hào)的產(chǎn)生要求將象限探測(cè)器15被放置于一階光束94的遠(yuǎn)場(chǎng)中。結(jié)果,象限探測(cè)器可從焦點(diǎn)移開一小段距離。象限探測(cè)器15的最佳位置是朝著分離單元13移離光束14的焦點(diǎn)八倍焦深的距離。在校直掃描裝置的光學(xué)系統(tǒng)的組件時(shí)也可采用象限探測(cè)器15。
圖1B表示參照本發(fā)明的掃描裝置的一個(gè)不同的實(shí)施例。輻射源5被放置在光軸8上。分光鏡12的功能被分離單元13代替,因而不再需要分光鏡12。信息信號(hào)20’從探測(cè)系統(tǒng)17的子探測(cè)器的輸出信號(hào)的總和形成。
圖2表示在優(yōu)選的交互取向上的分離單元13,象限探測(cè)器15和探測(cè)系統(tǒng)17。盡管分離單元13和象限探測(cè)器15一個(gè)位于另一個(gè)之上,只是為了說(shuō)明而將它們分開地畫在一邊。分離單元有四個(gè)象限21至24,每個(gè)象限配有一個(gè)光柵。一個(gè)象限可理解成一個(gè)平面被位于面上的正交軸分開的四個(gè)部分的任何一個(gè)。象限中的光柵線沿象限的平分線方向取向。信息面上信跡的方向在圖2中是水平方向。探測(cè)系統(tǒng)17由四個(gè)分立探測(cè)器26至29組成。象限21沿垂直于光柵線的方向衍射入射到其上的光束11。被象限衍射的光束在探測(cè)器26上形成一個(gè)光斑30。如圖所示,光斑的形狀與象限21相同。同樣地,象限22,23和24分別在探測(cè)器28,27和29上形成光斑31,32和33。在一個(gè)象限內(nèi)任何散射光線和有象差的光線被聚集在象限平分線上。由于探測(cè)器沿這個(gè)方向的尺寸小,大部分散射光線和有象差的光線落在探測(cè)器的旁邊,減少了對(duì)探測(cè)器產(chǎn)生的電信號(hào)的影響。每個(gè)探測(cè)器26至29都是分立探測(cè)器,在分割線34至37兩邊分別有兩個(gè)子探測(cè)器26.1,26.2至29.1,29.2。激光5的波長(zhǎng)變化導(dǎo)致每一個(gè)光斑的位置沿分割線位置漂移。
探測(cè)器在平分線方向的寬度優(yōu)選為4和8倍λ/NA,λ是輻射線的波長(zhǎng),NA是入射到探測(cè)器的子光束的數(shù)值孔徑。探測(cè)器的長(zhǎng)度優(yōu)選為基本等于其寬度的5倍。在一個(gè)特定實(shí)施例中,波長(zhǎng)為780nm,數(shù)值孔徑為0.08,探測(cè)器寬度為60μm,長(zhǎng)度為300μm。子探測(cè)器的寬度為30μm。
圖3表示在探測(cè)系統(tǒng)17上散射光線和有象差的光線的密度分布。在每一個(gè)分立探測(cè)器上的象限形狀的光斑表明光斑由分離單元的扇區(qū)形成,然而陰影區(qū)的光斑表明散射光線和有象差的光線。圖3A表示掃描雙層記錄載體的一個(gè)信息面時(shí)的分布。圖3B表示掃描記錄載體的另一個(gè)信息面時(shí)的分布。注意探測(cè)器26與27之間的距離以及探測(cè)器28與29之間的距離必須足夠大以避免入射到一個(gè)探測(cè)器的子光束的有象差的光線落入相鄰的探測(cè)器。探測(cè)器最近鄰的邊的測(cè)量距離優(yōu)選為大于在相關(guān)扇區(qū)的平分線方向上測(cè)得的在一個(gè)探測(cè)器上的光斑的直徑的兩倍。直徑在焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的條件下測(cè)量,不考慮散射光線和有象差的光線。落入相鄰的探測(cè)器的散射光線和有象差的光線對(duì)聚焦誤差的影響通過(guò)如圖4所示的探測(cè)器輸出信號(hào)處理而減小。圖3C中輻射線分布是在掃描具有襯底2厚度不同于設(shè)計(jì)值的記錄載體時(shí)所得到的。例如,物鏡7可能被設(shè)計(jì)來(lái)補(bǔ)償輻射束穿過(guò)0.6mm厚的襯底時(shí)所引起的球差。在掃描襯底厚度為1.2的記錄載體時(shí),光束11邊緣的光線將表現(xiàn)出強(qiáng)烈的球差,導(dǎo)致如圖3C所示的分布。
圖4表示形成信息和誤差信號(hào)的探測(cè)系統(tǒng)17的電路的實(shí)施例。聚焦誤差信號(hào)SFE采用四重傅科方法形成。徑向?qū)ぶ氛`差信號(hào)SDPD采用差分相位探測(cè)方法形成。當(dāng)跟隨帶有信息的信跡時(shí)這種尋址誤差信號(hào)是有用的。另一個(gè)徑向?qū)ぶ氛`差信號(hào)SPP采用推拉方法形成。在跟隨還沒有記錄信息的信跡時(shí)優(yōu)選采用這種尋址誤差信號(hào)。信息信號(hào)SHF代表記錄在信跡上的信息。參照下式從探測(cè)器信號(hào)形成信息和誤差信號(hào),其中Sn是子探測(cè)器n的探測(cè)信號(hào)。
SFE=S26.1-S26.2-S27.1+S27.2+S28.1-S28.2-S29.1+S29.2SDPD=S26.1+S26.2+S27.1+S27.2-S28.1-S28.2-S29.1-S29.2SPP=S26.1+S26.2-S27.1-S27.2+S28.1+S28.2-S29.1-S29.2SHF=S26.1+S26.2+S27.1+S27.2+S28.1+S28.2+S29.1+S29.2如圖4所示,聚焦誤差信號(hào)SFE由減法器41,43,45,47,48和51以及加法器54形成。尋址誤差信號(hào)SDPD由加法器40,42,44,46,49和52以及減法器55形成。尋址誤差信號(hào)SPP由加法器40,42,44,46和56以及減法器50和53形成。信息信號(hào)SHF由加法器40,42,44,46,49,52和57形成。
圖5表示分離單元和探測(cè)器的實(shí)施例,其中一條子光束用于產(chǎn)生聚焦誤差信號(hào)。分離單元58配備有光柵結(jié)構(gòu)。單元59的三個(gè)象限具有一個(gè)第一光柵結(jié)構(gòu),象限60的光柵結(jié)構(gòu)帶有不同的光柵線的方向。分離單元58形成的零階光束入射到由四象限探測(cè)器61-64組成的探測(cè)器。來(lái)自象限58的一階子光束入射到由子探測(cè)器65和66組成的分立探測(cè)器。象限59形成的一階光束入射到探測(cè)器67。通過(guò)以合適的刻標(biāo)提供的光柵結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)子光束的光線主要朝向探測(cè)器方向擇優(yōu)衍射。由分離單元的象限在探測(cè)器上形成的光斑由陰影區(qū)中表示。為了清晰起見,分離單元58畫在探測(cè)器61-64的右邊而不是上邊。在信息層上被掃描的信跡的方向相應(yīng)于圖中的水平方向或垂直方向。子探測(cè)器65和66的輸出信號(hào)用于產(chǎn)生聚焦誤差信號(hào)SFE。探測(cè)器61-64的輸出信號(hào)用于通過(guò)差分相位檢測(cè)方法產(chǎn)生徑向誤差信號(hào)SRE。產(chǎn)生的信息信號(hào)SHE是探測(cè)器61-64的輸出信號(hào)的總和,還可選擇地加入探測(cè)器65-67的輸出信號(hào)。
SHF=S61+S62+S63+S64SFE=S65-S66SRE=Φ(S61+S63,S62+S64),其中Φ(a,b)表明信號(hào)a與b之間的相位差。
圖6表示分離單元和探測(cè)器的一種可選擇的安置方案,這種方案減小了徑向聚焦串?dāng)_。被掃描的信跡方向相應(yīng)于圖中的垂直方向。信號(hào)及其處理與圖5所示安置方案一樣。
圖7表示另一種減小徑向聚焦串?dāng)_的安置方案。被掃描的信跡方向相應(yīng)于圖中的垂直方向。聚焦誤差信號(hào)采用分離單元68的兩個(gè)象限69和70形成的分別入射到探測(cè)器85,86和87,88的子光束來(lái)產(chǎn)生。分離單元68的象限69和70形成的子光束入射到探測(cè)器89。則信息、聚焦誤差和徑向誤差信號(hào)為SHF=S81+S82+S83+S84SFE=S85-S86-S87+S88SRE=Φ(S81+S83,S82+S84),在圖7所示方案的一個(gè)可選實(shí)施例中,兩組探測(cè)器85,86和87,88可與四探測(cè)器組81-84一起被安置在同一直線上。假使那樣,扇區(qū)69和70中的光柵就有不同的光柵周期。
當(dāng)光線的波長(zhǎng)因溫度改變而變化時(shí),光斑沿探測(cè)器的拉長(zhǎng)方向移動(dòng)的情形下的探測(cè)器安置方案也可用于含有可發(fā)射兩種不同波長(zhǎng)的輻射源的掃描裝置。長(zhǎng)波長(zhǎng)輻射線可用于掃描信息密度相對(duì)低的記錄載體,而短波長(zhǎng)輻射線可用于掃描高密度記錄載體。輻射源可在圖1A中輻射源5的位置上由兩個(gè)相隔很近的半導(dǎo)體激光器組成。圖8表示位于圖1A中探測(cè)器15和17位置處的探測(cè)器構(gòu)形。分離單元的設(shè)計(jì)與圖2中分離單元13相同。長(zhǎng)波長(zhǎng)輻射線被分離單元衍射的角度比短波長(zhǎng)輻射線小。象限探測(cè)器90有四個(gè)探測(cè)器91-94,接收分離單元的零階子光束。四個(gè)含有子探測(cè)器95至102的分立探測(cè)器相應(yīng)于四個(gè)含有子探測(cè)器26.1至29.2的分立探測(cè)器26至29。圖8中子探測(cè)器的長(zhǎng)度比圖2中的子探測(cè)器長(zhǎng)度長(zhǎng)。在采用長(zhǎng)波長(zhǎng)輻射線時(shí)分離單元的象限在子探測(cè)器上形成的光斑表示為103至106。在采用短波長(zhǎng)光線時(shí)形成的光斑標(biāo)明為107至110。當(dāng)波長(zhǎng)改變時(shí)象限探測(cè)器90上的零階子光束的光斑不移位。子探測(cè)器長(zhǎng)度增加不影響掃描裝置的性能,這是因?yàn)橛捎谒l(fā)明的分離單元和探測(cè)器的取向,較長(zhǎng)的子探測(cè)器不會(huì)俘獲更多的散射光線和有象差的光線。探測(cè)器91-102的輸出信號(hào)可采用圖2中探測(cè)器的輸出信號(hào)同樣的方式處理。
在圖8所示探測(cè)器的的一個(gè)可選實(shí)施例中,探測(cè)器95-102中的每一個(gè)都可分成兩個(gè)分開的探測(cè)器,每一個(gè)對(duì)應(yīng)一個(gè)波長(zhǎng),給出八個(gè)分割探測(cè)器的總和。兩個(gè)輻射源可被安置在圖1B中輻射源5的位置。可選擇地,一個(gè)輻射源可安置在輻射源5的位置,一個(gè)可安置在圖1A中的探測(cè)器15的位置。探測(cè)器和/或輻射源可安裝在一個(gè)封裝中,分離單元優(yōu)選地安裝在該封裝中。很明顯,圖5,6和7所示的探測(cè)器構(gòu)形可類似地適用于兩波長(zhǎng)的應(yīng)用中。
掃描具有不同的襯底厚度的記錄載體的掃描裝置所用的探測(cè)器的輻射敏感表面優(yōu)選尺寸在歐洲專利申請(qǐng)no.763 236中給出。
權(quán)利要求
1.一種用于光掃描信息面的裝置,該裝置包括一個(gè)提供掃描光束的輻射源,一個(gè)將掃描光束聚焦成信息面上的掃描光斑的物鏡系統(tǒng),一個(gè)由具有放置于信息面輻射線的光程上的用來(lái)將所述輻射線的至少一部分分裂成子光束的內(nèi)含弧面(included arc)等于或小于120°的至少一個(gè)扇區(qū)組成的分離單元,和一個(gè)包括接收子光束的長(zhǎng)方形探測(cè)器的輻射敏感探測(cè)系統(tǒng),其特征在于探測(cè)器的最長(zhǎng)尺寸方向基本垂直于分離單元的扇區(qū)的平分線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置,其中平分線與最長(zhǎng)尺寸方向之間的夾角在75°至105°的范圍之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置,其中探測(cè)器由對(duì)稱位于分割線兩側(cè)的兩個(gè)子探測(cè)器組成,分割線基本平行于探測(cè)器的最長(zhǎng)尺寸方向。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的裝置,其中分離單元的扇區(qū)提供有光柵線,光柵線的方向與分割線基本垂直。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置,其中探測(cè)器在相關(guān)扇區(qū)平分線方向上的寬度在4至8倍λ/NA的范圍內(nèi),這里λ是輻射線的波長(zhǎng),NA是入射到探測(cè)器上的光束的數(shù)值孔徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置,其中分離單元由四個(gè)扇區(qū)組成,每一個(gè)扇區(qū)都內(nèi)含90°角,輻射敏感探測(cè)系統(tǒng)由四個(gè)各自接收相關(guān)扇區(qū)形成的子光束的長(zhǎng)方形探測(cè)器組成,每一個(gè)探測(cè)器的最長(zhǎng)尺寸方向基本垂直于相關(guān)扇區(qū)的平分線。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置,其由一個(gè)與探測(cè)系統(tǒng)相連的、提供代表存貯在信息面上的信息的信息信號(hào)的探測(cè)電路和一個(gè)修正信息信號(hào)中誤差的修正電路組成。
全文摘要
描述了一個(gè)可通過(guò)輻射光束(9)掃描記錄載體(1)的光掃描裝置。分離單元(13)把從記錄載體反射的光(11)引向探測(cè)系統(tǒng)(17)。探測(cè)系統(tǒng)至少由三個(gè)探測(cè)器(26-29)組成。分離單元至少有三個(gè)光柵(21-24),每一個(gè)形成指向一個(gè)探測(cè)器的子光束。每一個(gè)探測(cè)器的最長(zhǎng)尺寸基本垂直于相關(guān)扇區(qū)的平分線。
文檔編號(hào)G11B7/13GK1249841SQ98803043
公開日2000年4月5日 申請(qǐng)日期1998年10月29日 優(yōu)先權(quán)日1997年11月7日
發(fā)明者J·H·庫(kù)姆斯 申請(qǐng)人:皇家菲利浦電子有限公司
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