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電可編程熔絲單元、陣列以及存儲單元的制作方法

文檔序號:11098082閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了電可編程熔絲單元、陣列以及存儲單元。電可編程熔絲單元包括:電可編程熔絲、第一二極管和第二二極管。電可編程熔絲包括:第一端和第二端。第一二極管的負極連接電可編程熔絲的第一端,第一二極管的正極連接寫操作位線。第二二極管的負極連接電可編程熔絲的第一端,第二二極管的正極連接讀操作位線。其中,電可編程熔絲的第二端連接至共享NMOSFET的漏極,該共享NMOSFET的柵極連接字線,該共享NMOSFET的源極接地。也可以將第一二極管和第二二極管合并成一個PNP型晶體管。由于每一行的電可編程熔絲單元使用一個共享的NMOSFET,因此可以減小器件尺寸。

技術(shù)研發(fā)人員:楊家奇
受保護的技術(shù)使用者:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
文檔號碼:201510731242
技術(shù)研發(fā)日:2015.11.02
技術(shù)公布日:2017.05.10

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