專(zhuān)利名稱(chēng)：具有加熱器的角腔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
此處描述的實(shí)施例涉及磁盤(pán)處理系統(tǒng)的領(lǐng)域，具體地涉及磁盤(pán)處理系統(tǒng)的具有加熱器的角腔(comer chamber)。
背景技術(shù)：
在磁記錄盤(pán)的制造中使用各種處理系統(tǒng)。一個(gè)這種處理系統(tǒng)是可從日本的Canon ANELVA公司得到的ANELVA C-3050磁盤(pán)濺射系統(tǒng)。ANELVA C-3050磁盤(pán)濺射系統(tǒng)具有濺射臺(tái)、加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、加載和卸載臺(tái)和角臺(tái)。角臺(tái)連接彼此處于不同取向(例如直角)的線(xiàn)狀排列的臺(tái)的兩個(gè)部分。ANELVA C-3050系統(tǒng)上的角臺(tái)包括安裝在腔體的頂棚中的烘烤加熱器。烘烤加熱器在系統(tǒng)維護(hù)期間使用以從腔體中的機(jī)械部件祛除潮濕從而獲得系統(tǒng)的真空中提高的基底壓力。烘烤加熱器在介質(zhì)處理期間在生產(chǎn)操作中不被利用。ANELVAC-3050系統(tǒng)利用專(zhuān)用加熱臺(tái)來(lái)加熱磁盤(pán)。專(zhuān)用加熱臺(tái)占據(jù)與其它臺(tái)(例如濺射臺(tái))相同的空間，使用專(zhuān)用加熱臺(tái)增加磁盤(pán)濺射系統(tǒng)的整體占位面積，并且由此增加濺射系統(tǒng)的成本。

發(fā)明內(nèi)容


本發(fā)明在附圖中通過(guò)示例方式圖示說(shuō)明而不限制，其中圖1圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的具有含有加熱器組件的角腔的磁盤(pán)處
理系統(tǒng)。圖2A是圖示說(shuō)明具有加熱器組件的角腔的一個(gè)實(shí)施例的剖開(kāi)立體圖；圖2B是根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的磁盤(pán)載體的一部分的平面圖；圖3A是立體圖且圖:3B是截面圖，圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的加熱器組件；圖4是圖示說(shuō)明具有加熱器組件的角腔的替換實(shí)施例的剖開(kāi)立體圖；圖5A是立體圖且圖5B是截面圖，圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的替換實(shí)施例的加熱器組件。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖在此描述方法的實(shí)施例。然而，具體實(shí)施例可以不用一個(gè)或者更多個(gè)這些具體細(xì)節(jié)實(shí)施，或者與其它已知方法、材料和設(shè)備組合實(shí)施。在以下描述中，闡述多個(gè)具體細(xì)節(jié)(諸如具體材料、尺寸和處理參數(shù)等)以提供充分理解。在其它示例中，沒(méi)有特別詳細(xì)描述已知的制造處理和設(shè)備以避免混淆要求保護(hù)的主題。在本說(shuō)明書(shū)中“實(shí)施例” 意味著結(jié)合實(shí)施例描述的具體部件、結(jié)構(gòu)、材料或者特征被包括在本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中。由此，術(shù)語(yǔ)“在一個(gè)實(shí)施例中”在本說(shuō)明書(shū)各個(gè)部分出現(xiàn)不一定指代相同實(shí)施例。此外，具體部件、結(jié)構(gòu)、材料或者特征可以在一個(gè)或者更多個(gè)實(shí)施例中以任何合適方式組合。具有含有加熱器組件的角腔的磁盤(pán)處理系統(tǒng)的實(shí)施例，該加熱器組件用于在生產(chǎn)期間加熱經(jīng)過(guò)角腔的磁盤(pán)。在一個(gè)實(shí)施例中，角腔中的加熱器組件與載體旋轉(zhuǎn)組件耦合以繞著載體旋轉(zhuǎn)組件的旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)加熱器組件同時(shí)固定磁盤(pán)的載體被旋轉(zhuǎn)組件轉(zhuǎn)動(dòng)。先進(jìn)介質(zhì)的開(kāi)發(fā)通常要求在常規(guī)介質(zhì)的膜堆中添加層。這種額外層的沉積可以要求在磁盤(pán)處理系統(tǒng)中額外的臺(tái)。傳統(tǒng)的磁盤(pán)處理系統(tǒng)可以在線(xiàn)性臺(tái)中的一個(gè)中進(jìn)行加熱操作。通過(guò)利用本發(fā)明的實(shí)施例在角臺(tái)中進(jìn)行磁盤(pán)加熱，先前用于加熱操作的線(xiàn)性臺(tái)可以不再被占用以用作濺射臺(tái)或者其它類(lèi)型的操作。應(yīng)注意盡管本發(fā)明的實(shí)施例可以在此涉及介質(zhì)或者磁記錄盤(pán)討論，但是此處討論的設(shè)備和方法還可以用于其它類(lèi)型的盤(pán)，例如，諸如壓縮磁盤(pán)(CD) 和數(shù)字多用盤(pán)(DVD)的光學(xué)記錄盤(pán)。磁盤(pán)濺射系統(tǒng)在本領(lǐng)域中已知，因此，在此不提供進(jìn)一步的細(xì)節(jié)。圖1圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的具有含有加熱器組件的角腔的磁盤(pán)處理系統(tǒng)。磁盤(pán)處理系統(tǒng)100包括位于不同線(xiàn)性部分的多個(gè)處理腔。各種類(lèi)型的處理腔可以設(shè)置在任何臺(tái)，例如但不限于化學(xué)氣相沉積(CVD)、蝕刻、冷卻、加熱、加載、卸載、蝕刻等。圖 1圖示說(shuō)明的示例實(shí)施例包括處理臺(tái)P1-P20、角臺(tái)C1-C4、蝕刻腔P0、加載腔101和卸載腔 102。處理臺(tái)P1-P3位于第一線(xiàn)性部分。處理臺(tái)P4-P12在與第一線(xiàn)性部分垂直的第二線(xiàn)性部分中。處理臺(tái)P13-P15在與第二線(xiàn)性部分垂直的第三線(xiàn)性部分中。處理臺(tái)P16-P20在與第三線(xiàn)性部分垂直的第四線(xiàn)性部分中。磁盤(pán)更換系統(tǒng)105用于將磁盤(pán)傳輸?shù)胶蛡鬏敵龃疟P(pán)處理系統(tǒng)100。磁盤(pán)傳輸系統(tǒng)在各個(gè)臺(tái)之間傳輸在處理流111中在磁盤(pán)載體上(貯存在載體貯存器119中)的一個(gè)或者更多個(gè)磁盤(pán)(例如磁盤(pán)120)。在一個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)磁盤(pán)載體保持兩個(gè)磁盤(pán)(例如磁盤(pán)120和121)使得兩個(gè)磁盤(pán)在具體臺(tái)內(nèi)被處理?？商鎿Q地，磁盤(pán)載體可以固定超過(guò)或者少于兩個(gè)磁盤(pán)。應(yīng)注意在替代實(shí)施例中，磁盤(pán)處理系統(tǒng)100可以具有超過(guò)或者少于圖1所示的臺(tái)的數(shù)量。在一個(gè)實(shí)施例中，磁盤(pán)濺射系統(tǒng)100是具有一個(gè)或多個(gè)角腔的ANELVA磁盤(pán)濺射系統(tǒng)(例如C-3010、C-3040、C-3050等)，根據(jù)在此描述的實(shí)施例，該角腔被修改為具有在生產(chǎn)模式中將磁盤(pán)傳輸通過(guò)角腔時(shí)使用的一個(gè)或者更多個(gè)加熱器。在替換實(shí)施例中，系統(tǒng)100 可以是另一類(lèi)型的濺射系統(tǒng)或者磁盤(pán)處理系統(tǒng)。角臺(tái)C1-C4工作以連接處理系統(tǒng)的不同取向的線(xiàn)性部分。更具體地，角臺(tái)C1-C4 連接其出口相對(duì)于處理流111內(nèi)的隨后臺(tái)的入口成角度(例如垂直)的前一臺(tái)。例如，加載臺(tái)101的出口 131相對(duì)于臺(tái)Pl的入口 141垂直取向。角臺(tái)Cl包括旋轉(zhuǎn)組件，其將在一個(gè)方向上從加載腔101接收的磁盤(pán)載體重新取向?yàn)榇怪狈较蛞员銈鬏數(shù)脚_(tái)P1。下面討論角腔的進(jìn)一步細(xì)節(jié)。應(yīng)注意相對(duì)于圖2A-圖5B的實(shí)施例討論的角腔可以代表角腔C1-C4中的任意一個(gè)或者更多個(gè)。圖2A是圖示說(shuō)明具有加熱組件的角腔的一個(gè)實(shí)施例的剖開(kāi)立體圖。在本實(shí)施例中，磁盤(pán)載體210通過(guò)角腔200的側(cè)壁中的入口槽207進(jìn)入角腔200。載體210通過(guò)磁盤(pán)傳輸機(jī)構(gòu)213上的入口槽207并且固定到旋轉(zhuǎn)組件250。在一個(gè)實(shí)施例中，磁盤(pán)載體210具有磁性傳輸?shù)鬃?11，其使得載體能夠使用磁力耦合在磁盤(pán)載體旋轉(zhuǎn)組件250上?？商鎿Q地， 磁盤(pán)載體210可以使用其它機(jī)構(gòu)耦合到磁盤(pán)載體旋轉(zhuǎn)組件250。用于在臺(tái)之間傳輸磁盤(pán)載體的磁盤(pán)傳輸機(jī)構(gòu)在本領(lǐng)域中已知，因此，此處將不提供其描述。載體210的磁盤(pán)載體出口方向202垂直于入口方向201。因此，磁盤(pán)載體210被旋轉(zhuǎn)組件250繞著旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)256轉(zhuǎn)動(dòng)255大約90度以使得磁盤(pán)載體210能夠通過(guò)出口槽 208離開(kāi)角腔200。載體旋轉(zhuǎn)組件在本領(lǐng)域中已知，因此，不提供進(jìn)一步描述。在一個(gè)實(shí)施例中，可以使用如ANELVA C-3040磁盤(pán)濺射系統(tǒng)中使用的載體旋轉(zhuǎn)組件?？商鎿Q地，可以使用其它類(lèi)型的載體旋轉(zhuǎn)組件。加熱器組件260也耦合到載體旋轉(zhuǎn)組件250使得磁盤(pán)載體旋轉(zhuǎn)組件250被利用來(lái)與磁盤(pán)載體210的旋轉(zhuǎn)結(jié)合旋轉(zhuǎn)加熱器組件沈0。因此，在載體從入口方向201旋轉(zhuǎn)到出口方向202的同時(shí)，在載體210內(nèi)固定的磁盤(pán)可以在角腔中被加熱。應(yīng)注意當(dāng)磁盤(pán)載體210 通過(guò)入口槽207開(kāi)始進(jìn)入角腔時(shí)，加熱可以通過(guò)啟動(dòng)對(duì)加熱器元件的電源開(kāi)始。在磁盤(pán)載體210的旋轉(zhuǎn)255期間當(dāng)載體210被固定在旋轉(zhuǎn)組件250 (在相同或者不同溫度)時(shí)，加熱處理繼續(xù)。加熱處理還可以繼續(xù)直至磁盤(pán)載體210通過(guò)出口槽208離開(kāi)角腔200。在本實(shí)施例中，加熱器組件260通過(guò)安裝到載體旋轉(zhuǎn)組件的頂部而被從下方支撐。在替換實(shí)施例中，加熱器組件可以在其它配置中安裝到旋轉(zhuǎn)載體組件，例如以下參照?qǐng)D 4描述的。加熱器組件260可以包括加熱元件防護(hù)罩261和沈2，加熱元件防護(hù)罩261和 262安裝在加熱器組件中以防護(hù)部件免受與固定于磁盤(pán)載體中的磁盤(pán)相鄰設(shè)置的加熱元件 (例如參見(jiàn)圖3A和圖3B)產(chǎn)生的熱。角腔200還包括電源連通器259以向加熱元件提供電源連接。電源連通器可以布置在不同于圖2A圖示說(shuō)明的角腔上。在圖2A圖示說(shuō)明的實(shí)施例中，加熱器防護(hù)罩261和262至少與加熱元件和在載體210內(nèi)固定的磁盤(pán)大小相同。因此，加熱元件和在載體210內(nèi)固定的磁盤(pán)在圖2A提供的視圖中被遮擋。圖2B提供磁盤(pán)載體210的一部分的平面圖，示出磁盤(pán)120通過(guò)夾持器(也可以稱(chēng)為棘爪)203固定在載體的磁盤(pán)接收器190內(nèi)。盡管圖2B中圖示說(shuō)明3個(gè)夾持器，但是可以使用更多或者更少的夾持器?？商鎿Q地，磁盤(pán)載體210可以使用其它類(lèi)型的磁盤(pán)固定機(jī)構(gòu)。在一個(gè)實(shí)施例中，磁盤(pán)載體的每個(gè)接收器保持單個(gè)磁盤(pán)(例如其可以是單面磁盤(pán)或者雙面磁盤(pán))?？商鎿Q地，每個(gè)接收器(例如接收器190)可以保持在磁盤(pán)載體210中背靠背固定的兩個(gè)單面磁盤(pán)(即每個(gè)面都朝外被處理)。圖3A是立體圖并且圖:3B是截面圖，圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的加熱器組件。在本實(shí)施例中，加熱器組件260包括4個(gè)加熱元件沈1、沈2、263和沈4。加熱器組件 260配置為將加熱元件261和262設(shè)置在磁盤(pán)載體210的一側(cè)并且將加熱元件263和264 設(shè)置在磁盤(pán)載體210的相對(duì)側(cè)。因此，在相對(duì)的加熱元件之間的間隙267至少足夠大以將磁盤(pán)載體210適配在它們之間。在一個(gè)實(shí)施例中，間隙267可以大約在5毫米(mm)到20mm 的范圍內(nèi)?？商鎿Q地，間隙267可以具有其它尺寸。加熱元件261和262耦合到加熱器保持件330，并且加熱元件263和264耦合到加熱器保持件331。在一個(gè)實(shí)施例中，加熱元件是熱解氮化硼(PBN)加熱元件。可替換地，加熱器組件260可以具有其它類(lèi)型的加熱元件，例如紅外、石英燈、電阻等。加熱器防護(hù)罩341在加熱元件261和保持件330之間耦合到加熱器保持件330。 加熱器防護(hù)罩342在加熱元件262和保持件330之間耦合到加熱器保持件330。類(lèi)似地， 加熱器防護(hù)罩343在加熱元件263和保持件331之間耦合到加熱器保持件331，并且加熱器防護(hù)罩344在加熱元件264和保持件331之間耦合到加熱器保持件331。加熱器防護(hù)罩 341-344工作用于保護(hù)其它組件部件免受加熱元件沈1_264產(chǎn)生的熱量的損害。在一個(gè)實(shí)施例中，用于構(gòu)成加熱器保持件330、331和加熱器防護(hù)罩341-344的材料是鈦，因?yàn)槠淠軌蚪?jīng)受高溫度和真空環(huán)境。可替換地，加熱器保持件330、331和加熱器防護(hù)罩341-344可以由其它材料構(gòu)成，例如，鉬或者鉭。在另一實(shí)施例中，加熱器組件可以不包括加熱器防護(hù)罩。加熱器組件260還包括穿過(guò)各個(gè)加熱器防護(hù)罩并且連接到各個(gè)加熱元件的用于每個(gè)加熱元件261-264的電源連接器(例如電源連接器360)。電源連接器用耦合到電源連接器的相應(yīng)環(huán)形端子(例如環(huán)形端子361)的電導(dǎo)線(xiàn)連接到電源連通器259。每個(gè)電源連接器被套管(例如368)包圍并且被絕緣器(例如369)終止，在此耦合到加熱元件。在一個(gè)實(shí)施例中，套管和絕緣器可以由陶瓷構(gòu)成。可替換地，可以使用其它電絕緣和阻熱材料。加熱器保持件330和331耦合到向組件提供支撐結(jié)構(gòu)的安裝架380。加熱器保持件330和331分別使用安裝柱320和321耦合到安裝板310和311。安裝柱320和321的高度設(shè)計(jì)為當(dāng)加熱器組件260安裝到旋轉(zhuǎn)組件250時(shí)將加熱元件與磁盤(pán)載體210的磁盤(pán)相鄰設(shè)置。安裝板310和322用于將加熱器組件260耦合到載體旋轉(zhuǎn)組件250。應(yīng)注意加熱器組件沈0的結(jié)構(gòu)部件，諸如安裝板、安裝柱和安裝架和加熱器保持件可以每個(gè)由單件或者多件構(gòu)成。另外，加熱器組件260的結(jié)構(gòu)部件的一個(gè)或者更多個(gè)可以形成為整體件。加熱器組件沈0的部件可以使用本領(lǐng)域已知技術(shù)耦合到一起，例如熔接、鉚接、螺釘連接、焊接等。圖4是圖示說(shuō)明具有加熱器組件的角腔的替換實(shí)施例的剖開(kāi)立體圖。在本實(shí)施例中，磁盤(pán)載體210通過(guò)角腔400的側(cè)壁中的入口槽407進(jìn)入角腔400。載體210被磁盤(pán)傳輸結(jié)構(gòu)(未示出)傳輸穿過(guò)入口槽407并且固定到旋轉(zhuǎn)組件450。磁盤(pán)載體210按照以上參照?qǐng)D2A討論的類(lèi)似方式工作。在本實(shí)施例中，磁盤(pán)載體的磁盤(pán)載體出口方向402垂直于入口方向401。因此，磁盤(pán)載體410被旋轉(zhuǎn)組件450繞著旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)456旋轉(zhuǎn)455大致90度以使得磁盤(pán)載體210能夠通過(guò)出口槽408離開(kāi)角腔400。在一個(gè)實(shí)施例中，可以使用如ANELVA C-3010磁盤(pán)濺射系統(tǒng)中使用的載體旋轉(zhuǎn)組件。可替換地，可以使用其它類(lèi)型的載體旋轉(zhuǎn)組件。加熱器組件460還使用安裝柱420耦合到載體旋轉(zhuǎn)組件450。由此，磁盤(pán)載體旋轉(zhuǎn)組件450可以被利用以與磁盤(pán)載體210的旋轉(zhuǎn)結(jié)合從而使加熱器組件460旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施例中，加熱器組件260通過(guò)使用安裝在載體旋轉(zhuǎn)組件450的頂部的角度安裝柱420從側(cè)面被支撐。在替換實(shí)施例中，加熱器組件460可以在其它配置中安裝到旋轉(zhuǎn)載體組件450。角腔400還包括電源連通器459以向加熱器組件460的加熱元件提供電源連接。 電源連通器可以布置在不同于圖4圖示說(shuō)明的角腔的位置。在圖4圖示說(shuō)明的實(shí)施例中， 加熱器防護(hù)罩(例如462)至少與加熱元件和固定在載體210內(nèi)的磁盤(pán)相同大小。因此，加熱元件和固定在載體210內(nèi)的磁盤(pán)在圖4提供的視圖中被遮擋。圖5A是立體圖并且圖5B是截面圖，圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的替換實(shí)施例的加熱器組件。在本實(shí)施例中，加熱器組件460包括4個(gè)加熱元件461、462、463和464。加熱器組件460配置為將加熱元件461和462設(shè)置在磁盤(pán)載體210的一側(cè)，并且將加熱元件463和 464設(shè)置在磁盤(pán)載體210的相對(duì)側(cè)。類(lèi)似于以上討論的加熱器組件沈0，相對(duì)的加熱元件之間的間隙至少足夠大以使磁盤(pán)載體210適配在它們之間。
加熱元件461和462耦合到加熱器保持件430，并且加熱元件463和464耦合到加熱器保持件431。在一個(gè)實(shí)施例中，加熱元件是熱解氮化硼(PBN)加熱元件?？商鎿Q地，加熱器組件460可以具有其它類(lèi)型的加熱元件，例如紅外、石英燈、電阻等。加熱器防護(hù)罩441在加熱元件461和保持件430之間耦合到加熱器保持件430。 加熱器防護(hù)罩442在加熱元件462和保持件430之間耦合到加熱器保持件430。類(lèi)似地， 加熱器防護(hù)罩443在加熱元件463和保持件431之間耦合到加熱器保持件431，并且加熱器防護(hù)罩444在加熱元件464和保持件431之間耦合到加熱器保持件431。加熱器防護(hù)罩 441-444工作用于保護(hù)其它組件部件免受加熱元件461-464產(chǎn)生的熱量的損害。在一個(gè)實(shí)施例中，用于構(gòu)成加熱器保持件430、431和加熱器防護(hù)罩441-444的材料是鈦，因?yàn)槠淠軌蚪?jīng)受高溫度和真空環(huán)境?？商鎿Q地，加熱器保持件430、431和加熱器防護(hù)罩441-444可以由其它材料構(gòu)成，例如，鉬或者鉭。加熱器組件460還包括用于每個(gè)加熱元件461-464的電源連接器(例如電源連接器460)，電源連接器穿過(guò)相應(yīng)加熱器防護(hù)罩并且連接到相應(yīng)加熱元件。電源連接器連接到電源連通器459。每個(gè)電源連接器被套管(例如468)包圍并且被絕緣器(例如469)終止， 在此被耦合到加熱元件。在一個(gè)實(shí)施例中，套管和絕緣器可以由陶瓷構(gòu)成?？商鎿Q地，可以使用其它電絕緣和阻熱材料。加熱器保持件430和431耦合到向組件提供支撐結(jié)構(gòu)的安裝架480 (在圖5A中圖示說(shuō)明)，并且在本實(shí)施例中，安裝架480使得加熱器保持件431能夠耦合到安裝柱420。加熱器保持件430和431使用安裝柱320、420耦合到安裝板410。安裝柱420的高度設(shè)計(jì)為當(dāng)加熱器組件460安裝到旋轉(zhuǎn)組件450時(shí)將加熱元件與磁盤(pán)載體的磁盤(pán)相鄰設(shè)置。安裝板 420用于將加熱器組件460耦合到載體旋轉(zhuǎn)組件450。應(yīng)注意加熱器組件460的結(jié)構(gòu)部件 (諸如安裝板、安裝柱和安裝架和加熱器保持件)可以每個(gè)由單件或者多件構(gòu)成。另外，加熱器組件460的結(jié)構(gòu)部件的一個(gè)或者更多個(gè)可以形成為整體件。加熱器組件460的部件可以使用本領(lǐng)域已知技術(shù)耦合到一起，例如熔接、鉚接、螺釘連接、焊接等。應(yīng)注意如果磁盤(pán)載體210的接收器均保持單個(gè)雙面磁盤(pán)或者兩個(gè)單面磁盤(pán)，則當(dāng)載體210旋轉(zhuǎn)時(shí)在角腔200和400中雙面可以被加熱。在替換實(shí)施例中，加熱器組件260 和460可以被配置為具有圖3A和5A圖示說(shuō)明的僅僅一半部件，以?xún)H提供對(duì)磁盤(pán)載體的單面加熱。在以上的說(shuō)明書(shū)中，參照具體示例實(shí)施例描述了本發(fā)明。然而，明顯地可以對(duì)其進(jìn)行各種修改和變化而不背離按照所附的權(quán)利要求限定的本發(fā)明的實(shí)施例的寬廣范圍。例如，盡管按照具體順序描述了本發(fā)明方法的實(shí)施例的步驟，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解所描述的一些步驟可以同時(shí)、在疊加的時(shí)間幀中和/或以與描述和要求保護(hù)的順序不同的順序發(fā)生并且落入本發(fā)明的實(shí)施例。說(shuō)明書(shū)和附圖因此認(rèn)為是例示性的而不是限制性的。
權(quán)利要求
1.一種磁盤(pán)處理系統(tǒng)，包括 角腔，包括安裝組件；耦合到所述安裝組件的加熱器組件；以及載體旋轉(zhuǎn)組件，所述載體旋轉(zhuǎn)組件耦合到所述安裝組件以使所述加熱器組件繞著所述載體旋轉(zhuǎn)組件的旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述加熱器組件包括第一加熱元件和第二加熱元件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述安裝組件包括 耦合到所述載體旋轉(zhuǎn)組件的安裝板；耦合到所述安裝板的安裝柱；以及耦合到所述安裝柱的第一加熱器保持件，其中所述第一加熱器元件和所述第二加熱器元件耦合到所述第一加熱器保持件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，還包括布置在所述第一加熱元件和所述第一加熱器保持件之間的第一防護(hù)罩；以及布置在所述第二加熱元件以及和所述第一加熱器保持件之間的第二防護(hù)罩。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中所述第一加熱元件和所述第二加熱元件中的每一個(gè)均包括熱解氮化硼加熱元件。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中所述加熱器組件還包括第三加熱元件和第四加熱元件，并且其中所述系統(tǒng)還包括耦合到所述第一加熱器保持件的安裝架；以及耦合到所述安裝架的第二加熱器保持件，其中所述第三加熱元件和所述第四加熱元件在與所述第一加熱元件和所述第二加熱元件相鄰的位置分別耦合到所述第二加熱器保持件，其間存在間隙。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中所述第一加熱元件、所述第二加熱元件、所述第三加熱元件和所述第四加熱元件均包括熱解氮化硼加熱元件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，還包括布置在所述第三加熱元件和所述第二加熱器保持件之間的第三防護(hù)罩；以及布置在所述第四加熱元件和所述第二加熱器保持件之間的第四防護(hù)罩。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括用于沿著第一方向?qū)⒋疟P(pán)載體傳輸?shù)剿鼋乔坏拇疟P(pán)傳輸系統(tǒng)，所述磁盤(pán)傳輸系統(tǒng)沿著第二方向?qū)⑺龃疟P(pán)載體傳輸出所述角腔。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述第二方向與所述第一方向垂直。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括 加載腔；多個(gè)處理腔；以及磁盤(pán)傳輸系統(tǒng)，所述磁盤(pán)傳輸系統(tǒng)耦合到所述加載腔、所述角腔和所述多個(gè)處理腔以在它們之間傳輸磁盤(pán)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述磁盤(pán)傳輸系統(tǒng)配置為從所述加載腔向所述角腔然后向所述多個(gè)處理腔按順序地傳輸磁盤(pán)。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，還包括通過(guò)對(duì)應(yīng)的第一加熱器防護(hù)罩、第二加熱器防護(hù)罩、第三加熱器防護(hù)罩和第四加熱器防護(hù)罩分別耦合到所述第一加熱元件、所述第二加熱元件、所述第三加熱元件和所述第四加熱元件的第一電源連接器、第二電源連接器、第三電源連接器和第四電源連接器。
14.一種方法，包括將固定一個(gè)或者更多個(gè)磁盤(pán)的磁盤(pán)載體傳輸?shù)浇乔恢?；以及使用加熱器組件在所述角腔中加熱所述一個(gè)或者更多個(gè)磁盤(pán)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，還包括在所述角腔中繞著同一旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)所述一個(gè)或者更多個(gè)磁盤(pán)和所述加熱器組件，并且其中加熱包括在旋轉(zhuǎn)時(shí)加熱所述一個(gè)或者更多個(gè)磁盤(pán)。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中所述加熱器組件包括一個(gè)或者更多個(gè)加熱元件。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述一個(gè)或者更多個(gè)加熱元件中的每一個(gè)均包括熱解氮化硼加熱元件。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中所述一個(gè)或者更多個(gè)磁盤(pán)和所述一個(gè)或者更多個(gè)加熱器繞著所述載體旋轉(zhuǎn)組件的旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)。
19.一種磁盤(pán)處理系統(tǒng)，包括用于在角腔中旋轉(zhuǎn)一個(gè)或者更多個(gè)磁盤(pán)和加熱器組件的裝置；以及用于在旋轉(zhuǎn)時(shí)在所述角腔中使用所述加熱器組件加熱所述一個(gè)或者更多個(gè)磁盤(pán)的裝置。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的磁盤(pán)處理系統(tǒng)，其中所述用于旋轉(zhuǎn)的裝置包括用于繞著同一旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)所述一個(gè)或者更多個(gè)磁盤(pán)與所述加熱器組件的裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種具有角腔的磁盤(pán)處理系統(tǒng)，該角腔具有加熱器組件和配置用于旋轉(zhuǎn)加熱器組件的載體旋轉(zhuǎn)組件。
文檔編號(hào)G11B5/84GK102385873SQ20111016613
公開(kāi)日2012年3月21日 申請(qǐng)日期2011年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月30日
發(fā)明者J·陳, N·D·塔布拉扎 申請(qǐng)人:西部數(shù)據(jù)傳媒公司