專利名稱：薄膜磁頭元件的檢查方法和檢查用保持夾具的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及檢查薄膜磁頭的形狀的方法和檢查時使用的保持夾具。
背景技術：
以前，采用光學顯微鏡進行了薄膜磁頭的形狀測量(特別是記錄軌道寬度的測量)。但是，光學顯微鏡的分辨率難以精密地測量(觀察)越來越微細化的薄膜磁頭的軌道寬度，從而利用掃描式電子顯微鏡(SEM，Scanning ElectronMicroscope)進行長度測量。
專利文獻1日本特開2002-150523號公報發(fā)明內容本發(fā)明的目的在于得到一種檢查方法，在利用SEM進行薄膜磁頭的形狀測量檢查的情況下，將其檢查工序組合到制造工序中，高效地進行檢查。
而且，本發(fā)明的目的在于得到一種檢查用保持夾具，在用于通過SEM進行的檢查時，能夠以高精度進行檢查。
本發(fā)明提出的是，在從縱橫地排列多個薄膜磁頭元件而形成的晶片中，切出具有一列的多個薄膜磁頭元件的滑條時，保持該滑條的狀態(tài)不變，由SEM依次檢查多個薄膜磁頭元件的方法。
即，本發(fā)明的薄膜磁頭元件的檢查方法的第1方式是，包括將列狀地具有多個薄膜磁頭元件的滑條保持在由非磁性材料構成的檢查用保持夾具上的步驟；將保持在該檢查用保持夾具上的滑條放入掃描式電子顯微鏡的試樣載置部中的步驟；以及由上述掃描式電子顯微鏡依次執(zhí)行滑條上的多個薄膜磁頭元件的形狀檢查的步驟。
本發(fā)明的方法中使用的檢查用保持夾具的一個特征是，由于用于SEM中，所以由不會被SEM內部的電磁線圈吸附的非磁性材料構成。并且，希望包括無孔的盲板和在該盲板上重疊固定且由保持滑條的單—部件構成的板簧。由于具有盲板，所以能夠使盲板(檢查用保持夾具)吸附在運送機器人的真空吸附臂上，運送到掃描式電子顯微鏡的內外。
更具體地講，包括無孔的盲板和在該盲板上重疊固定且由單一部件構成的板簧的檢查用保持夾具可以構成為，在該板簧上形成插入滑條的保持槽和保持插入到該保持槽中的滑條且由貫通上述板簧的貫通槽劃分形成的彈簧臂。
該彈簧臂可以組合使用2種類型、或者單獨使用。其中一種是具有與滑條的長度方向的端部邊緣部接觸的錐面的端部按壓彈簧臂，該端部按壓彈簧臂的錐面的作用是，將插入到保持槽中的滑條按壓在該保持槽的長度方向的一端上。另一種是，具有與滑條的長度方向的中間部分接觸的按壓爪的中間部按壓彈簧臂，該中間部按壓彈簧臂的按壓爪的作用是，將插入到保持槽中的滑條按壓在該保持槽的長度方向的一側面上。
在板簧上，可以形成相互平行的多個保持槽。在該方式中，端部按壓彈簧臂和中間部按壓彈簧臂都可以設置在多個保持槽的每一個中，能分別地彈性變形?；蛘撸軌蛟O置在多個保持槽的每一個中，相互連接，可以一起彈性變形。
盲板和板簧優(yōu)選用固定螺釘結合。如果用例如粘合劑粘接，在真空環(huán)境的SEM內會產生排氣的問題，所以是不希望的。
另外，希望是，由非磁性材料構成的盲板與板簧中，至少板簧由非磁性的可得到板簧的較高彈性的鈦制成。
作為檢查對象的、從晶片切出的滑條希望和晶片狀態(tài)時一樣平坦，但實際上有時會產生凸向或者凹向的翹曲。如果用檢查用保持夾具保持產生翹曲的滑條，滑條成為從檢查用保持夾具浮起的狀態(tài)，和板簧的導通性惡化。因此，在用SEM檢查時，用于穩(wěn)定著陸能量(landing energy)的反饋偏壓難以施加到滑條上，SEM圖像的分辨率下降。本發(fā)明的第2方式提出了使滑條和板簧可靠導通，用SEM高精度地進行檢查的方法。而且，著陸能量指的是電子束到達被檢查物時的電壓。
即本發(fā)明的薄膜磁頭元件的檢查方法的第2方式，包括將列狀地具有多個薄膜磁頭元件的滑條插入由非磁性材料構成的檢查用保持夾具中，將滑條以按壓在該檢查用保持夾具上的狀態(tài)進行保持的步驟；將保持在該檢查用保持夾具上的滑條放入掃描式電子顯微鏡的試樣載置部中的步驟；以及由上述掃描式電子顯微鏡依次執(zhí)行滑條上的多個薄膜磁頭元件的形狀檢查的步驟。
優(yōu)選的是，檢查用保持夾具包括無孔的盲板；板簧，在該盲板上重疊固定，由保持滑條的單一部件構成；以及按壓板簧，由與該板簧不同的其它部件構成，在上述盲板上重疊固定，將滑條按壓在該板簧上。或者優(yōu)選，包括無孔的盲板；和重合固定在該盲板上、保持滑條并按壓在該檢查用保持夾具上的由單一部件形成的板簧。由于具有盲板，能夠使盲板(檢查用保持夾具)被吸附在運送機器人的真空吸附臂上，運送到掃描式電子顯微鏡的內外。
更具體地說，具有無孔的盲板、重疊固定在該盲板上且由單一部件形成的板簧、由與板簧不同的其它部件構成且重疊固定在盲板上的按壓板簧的檢查用保持夾具，能夠具有如下結構，在上述板簧上形成有插入滑條的帶底的保持槽、和保持插入到該保持槽中的滑條且由貫通上述板簧的貫通槽分劃形成的彈簧臂，在上述按壓板簧上形成有下方按壓簧片，該下方按壓簧片在上述保持槽上伸出，將插入到該保持槽中的滑條按壓在保持槽底面上。
優(yōu)選按壓板簧具有在釋放下方按壓簧片的彈力的方向上彈性變形，使滑條相對于保持槽裝卸自如的釋放著力部。通過具有該釋放著力部，滑條的裝卸變得容易。
在板簧上，可以相互平行地形成多個保持槽。在該方式中，優(yōu)選在多個保持槽的每個中，在該保持槽的長度方向的兩端部和中間部的至少三個位置設有按壓板簧。由于在保持槽的長度方向的兩端部和中間部的至少三個位置上設有按壓板簧，能夠校正滑條的凸向和凹向的任何翹曲。
優(yōu)選按壓板簧用固定螺釘連接到板簧和盲板中的至少一個上。通過采用螺釘，使得在真空環(huán)境的SEM內不會產生排氣。
優(yōu)選由非磁性材料形成的按壓板簧是由非磁性且得到下方按壓簧片的高彈性的黃銅制成。
另一方面，更具體地講，具有無孔的盲板和重疊固定在該盲板上的由單一部件構成的板簧的檢查用保持夾具，還可以具有如下結構，即在板簧上形成插入滑條的帶底的保持槽，和保持插入到保持槽中的滑條且由貫通板簧的貫通槽劃分的彈簧臂。優(yōu)選該彈簧臂是具有從滑條上方同滑條的上表面和側面的交線抵接的錐面的錐形按壓彈簧臂，該錐形按壓彈簧臂的錐面實現將插入到上述保持槽中的滑條按壓在該保持槽的長度方向的一側面和底面上的作用。
該錐形按壓彈簧臂可以并用2種類型，或者單獨使用。其中一種是將滑條在長度方向的端部位置按壓在保持槽的長度方向的一側面和底面上的端部錐形按壓彈簧臂，另一種是將滑條在長度方向的中間部按壓在保持槽的長度方向的一側面和底面上的中間部錐形按壓彈簧臂。
在板簧上可以相互平行地形成多個保持槽。在該方式中，優(yōu)選在多個保持槽的每一個中具有錐形按壓彈簧臂。多個錐形按壓彈簧臂可以分別彈性變形，也可以相互連接，一起彈性變形。
在上述板簧具有錐形按壓彈簧臂的檢查用保持夾具中，可以具有由與板簧不同的其它部件構成且重疊固定在盲板上的按壓板簧。優(yōu)選在該按壓板簧上形成有下方按壓簧片，該下方按壓簧片在與上述錐形按壓彈簧臂不同的位置在保持槽上伸出，將插入到該保持槽中的滑塊按壓在保持槽底面上。如果象這樣組合使用錐形按壓彈簧臂和按壓板簧，會擴大發(fā)計自由度。
優(yōu)選在按壓板簧上形成有在釋放下方按壓簧片的彈力的方向上彈性變形、且使滑條在保持槽中裝卸自如的釋放著力部。由于具有該釋放著力部，滑條的裝卸變得容易。
在板簧上可以相互平行地形成多個保持槽。在該方式中，優(yōu)選在該多個保持槽的每一個中，上述錐形按壓彈簧臂和上述按壓板簧共設有3個以上，至少位于該保持槽的長度方向的兩端部和中間部。由于具有3個以上的錐形按壓彈簧臂和按壓板簧，能夠校正滑條的凸向和凹向兩個方向的翹曲。
優(yōu)選盲板和按壓板簧用固定螺釘連接。同樣，優(yōu)選盲板和板簧用固定螺釘連接。通過采用螺釘，使得在真空環(huán)境的SEM內不會產生排氣。
按壓板簧優(yōu)選由非磁性且得到下方按壓簧片的高彈性的黃銅制成。同樣，板簧也優(yōu)選由得到錐形按壓彈簧臂的高彈性的鈦制成。
利用本發(fā)明的方法，能夠在制造工序中的滑條的狀態(tài)下利用SEM測量薄膜磁頭的形狀。
由于本發(fā)明的檢查用保持夾具由至少包含盲板和由單一部件構成的板簧的多重板結構形成，所以能夠使向SEM內外的夾具(滑條)的傳送自動化。通過使板簧的彈簧臂或者彈簧臂和按壓板簧(釋放著力部)彈性變形，滑條的裝卸能夠在短時間內執(zhí)行，所以操作性好。而且，由于保持滑條的彈簧臂由形成在板簧中的貫通槽形成，所以裝卸時即使彈性變形也不用擔心產生微細雜質。例如將螺釘、膠帶或者臘用于裝卸，則會產生SEM內的污染和排氣的問題，妨礙正確的測量，但在本發(fā)明中，與此相比，能夠避免這樣的擔心。而且，插入到板簧的保持槽中的滑條由按壓板簧的下方按壓簧片和板簧的按壓彈簧臂中至少一個被按壓在保持槽底面上，所以即使在滑條上產生翹曲，也能夠由SEM高精度地進行檢查。


圖1(A)、(B)、(C)、(D)是采用本發(fā)明的檢查方法的滑條的分級放大圖，(B)是(A)的B部放大圖，(C)是(B)的C部放大圖，(D)是(C)的D部放大圖。
圖2是本發(fā)明的檢查方法中使用的掃描式電子顯微鏡的概念圖。
圖3是表示本發(fā)明的檢查方法中使用的檢查用保持夾具的第一實施方式的立體圖。
圖4是其平面圖。
圖5是表示將滑條保持在檢查用保持夾具上的狀態(tài)的平面圖；
圖6是圖5的正視圖。
圖7是沿圖5的VII-VII線的剖面圖。
圖8是表示作為檢查對象的滑條的剖面圖，(A)是正常的情況，(B)是產生了凸翹曲的情況，(C)是產生了凹翹曲的情況。
圖9是將滑條保持在第二實施方式的檢查用保持夾具上的狀態(tài)取出一部分表示的平面圖。
圖10是將圖9的一部分放大表示的立體圖。
圖11是沿圖9的XI-XI線的剖面圖。
圖12是將滑條保持在第三實施方式的檢查用保持夾具上的狀態(tài)取出一部分表示的平面圖。
圖13是沿圖12的XIII-XIII線的剖面圖。
圖14是將滑條保持在第四實施方式的檢查用保持夾具中的狀態(tài)取出一部分而示出的平面圖。
附圖標記說明10晶片11薄膜層12薄膜磁頭元件12A再現元件12B記錄元件W記錄軌道寬度15滑條20掃描式電子顯微鏡(SEM)40檢查用保持夾具41盲板42、64固定螺釘43板簧44保持槽
44a一端部44b一側面44c底面45端部按壓彈簧臂45T錐面46中間部按壓彈簧臂46A按壓爪46B連接臂46C彈性臂47貫通槽50真空吸附臂60按壓板簧60A下方按壓簧片60B釋放著力部60C固定部345端部錐形按壓彈簧臂345T錐面346中間錐形按壓彈簧臂346T錐面α交線具體實施方式
參照圖1(A)至(D)說明具有作為本發(fā)明對象的多個薄膜磁頭的滑條制造工序。在圖(A)所示的晶片10上，依次以規(guī)定形狀層疊各種薄膜，在該薄膜層11內同時形成縱橫排列的多個薄膜磁頭元件12(一般再現用和記錄用上下設置)。各薄膜磁頭元件12具有規(guī)定的軌道寬度和規(guī)定的高度尺寸。在薄膜層11和晶片10的邊界示意性地標有邊界線13。而且，圖1(A)所示的縱橫的分劃線14，表示一個薄膜磁頭元件12的形成區(qū)域。放大表示薄膜層11的厚度和由分劃線14分劃的薄膜磁頭元件12的形成區(qū)域。
接著，將該晶片10切割成具有一列薄膜磁頭元件12的滑條15。在該滑條15的ABS面上，與各薄膜磁頭元件12對應地加工導軌16。眾所周知，薄膜磁頭元件12包含層疊方向下方的再現元件(例如GMR或TMR)12A和上方的記錄元件12B，記錄元件12B具有由磁性薄膜12D和12E夾著非磁性薄膜12C的記錄頭部。該非磁性薄膜12C的寬度W是記錄軌道寬度，目前是百數十nm的數量級。
本實施方式的檢查方法是，在滑條15的狀態(tài)下利用SEM依次測量在ABS面露出的多個記錄元件12B的記錄軌道寬度W的大小。圖2表示SEM20的大致結構。由電子槍21產生的電子束由電子聚束透鏡22、23收束，通過偏轉線圈(掃描線圈)24的磁場偏轉，在XY方向掃描。通過電子物鏡25和可變光瀾使掃描的電子束(電子探測器)將焦點聚焦在試樣X上進行照射。在試樣X上，為了使著陸能量穩(wěn)定而施加規(guī)定的負電壓(反饋偏壓)。通過電子束照射發(fā)出的二次電子和反射電子在檢測器27內部轉換成光，經圖像放大器28提供給CRT29。偏轉線圈24和CRT29通過掃描電路30實現相關，試樣X表面的電子探頭所在的點和CRT畫面上的電子束的位置保持正確的相關關系。因此，在CRT29的畫面上能夠得到試樣X的放大SEM像。在測量時通過真空泵將SEM20內31保持高真空。
在本發(fā)明方法中，為了在SEM20內運送滑條15，采用檢查用保持夾具40。利用圖3至圖7說明該檢查用保持夾具40的第一實施方式。檢查用保持夾具40是無孔的盲板41和重合在該盲板41上并用固定螺釘42(圖6)固定的板簧43的雙重板結構。盲板41和板簧43由具有高平面度的鈦制造。
在板簧43上，形成多個保持滑條15且相互平行的帶底的保持槽44。形成與各保持槽44對應，分別形成在與保持槽44平行的方向上延伸申的端部按壓彈簧臂45和中間部按壓彈簧臂46。端部按壓彈簧臂45和中間部按壓彈簧臂46都由在板簧43上形成的貫通槽47形成。在圖4中，貫通槽47由陰影表示。如此地，通過利用貫通槽47形成端部按壓彈簧臂45和中間部按壓彈簧臂46，能夠構成滑動部分為最小限度的保持夾具。而且，為了使端部按壓彈簧臂45和中間部按壓彈簧臂46不與盲板41接觸(滑動接觸)，優(yōu)選在兩者之間設置間隙。
各端部按壓彈簧臂45對于每個保持槽44是獨立的，其基部與板簧43結合，在前端自由端部具有錐面45T。錐面45T在自由狀態(tài)下同插入保持槽44中的滑條15的長度方向的端部邊緣部抵接。即，滑條15的端部邊緣部成平面直角，錐面45T相對于成直角的兩個面分別成45度地接觸。因此，錐面45T的作用是，將滑條15按壓在保持槽44的長度方向的一端44a上，同時也產生將滑條15按壓在保持槽44的長度方向的一側面44b上的力。
另一方面，在設置于各保持槽44的中間部按壓彈簧臂46的前端部，形成有可以與插入保持槽44中的滑條15的中間部分抵接的按壓爪46A，該按壓爪46A的相反側的端部通過連接臂46B相互結合著。連接臂46B在與相互平行的保持槽44相垂直的方向上延伸，其兩端部同與保持槽44平行的一對彈性臂46C的一端部結合著。一對彈性臂46C的另一端部和板簧43結合著。所有的中間部按壓彈簧臂46由該一對彈性臂46C提供彈性，在自由狀態(tài)下，各按壓爪46A將插入保持槽44中的滑條15的中間部分按壓在該保持槽44的一側面44b上。在連接臂46B上形成有保持槽44的一部分，該連接臂46B上的保持槽44的寬度比其它部分的保持槽44寬，使得在滑條15嵌入到保持槽44的狀態(tài)下，中間部按壓彈簧臂46可以彈性變形(圖3、圖4)。
在上述結構的檢查用保持夾具40中，在從端部按壓彈簧臂45和中間部按壓彈簧臂46向離開各保持槽44的方向彈性變形的狀態(tài)下，將導軌16的加工結束后的滑條15嵌入各保持槽44中，如果釋放端部按壓彈簧臂45和中間部按壓彈簧臂46，則錐面45T將滑條15按壓在一端部44a和一側面44b上，按壓爪46A將滑條15按壓在一側面44b上。能夠利用該彈性力將滑條15保持在檢查用保持夾具40上的正確位置(設定位置)。
這樣保持了多個滑條15的檢查用保持夾具40，可通過使運送機器人的真空吸附臂50(圖6)作用在盲板41上，將其運送到SEM20的內外。被運送到SEM20內的規(guī)定位置(試樣載置部)的滑條15(檢查用保持夾具40)，通過SEM20執(zhí)行各薄膜磁頭元件12的記錄軌道寬度W的測量，區(qū)分為合格品和不合格品。
然后，SEM20的檢查(長度測量)結束的滑條15(檢查用保持夾具40)和搬入時同樣由運送機器人的真空吸附臂50吸附著被搬出?；瑮l15沿著圖1(B)所示的切斷線15S切斷每個薄膜磁頭元件12，合格品成為滑塊。
但是，希望SEM20的試樣X(檢查對象)、即從晶片切出的滑條15，與晶片狀態(tài)時同樣是平的(圖8(A))，但實際上，有時通過導軌16的加工等產生凸向或者凹向的翹曲(圖8(B)、(C))。如果用檢查用保持夾具40保持具有這樣的翹曲的滑條15，則滑條15成為從板簧43的保持槽44浮起的狀態(tài)，與板簧43的導通性惡化。因此，可知在用SEM20檢查時，用于穩(wěn)定著陸能量的反饋偏壓難以施加到滑條15上，SEM像質會下降。以下說明的本發(fā)明的第二～第四實施方式的檢查用保持夾具240、340、440是上述檢查用保持夾具40的改良版，即使是產生了翹曲的滑條15，也具有使該滑條15和板簧43可靠導通的功能。
參照圖9～圖11，對第二實施方式的檢查用保持夾具240進行說明。圖9是表示保持了滑條15的狀態(tài)下的檢查用保持夾具240的一部分的平面圖。圖10是將圖9部分地放大示出的立體圖，圖11是沿圖9的XI-XI線的剖面圖。
檢查用保持夾具240是由以下構件構成的三重板結構，這些構件是無孔的盲板41；與該盲板41重疊并用固定螺釘42(圖6)固定的板簧43；以及按壓板簧60(61～63)，由與該板簧43不同的部件構成，和盲板41重疊且用固定螺釘64固定。按壓板簧60由黃銅(非磁性材料)制造。除了具有按壓板簧60之外，和第一實施方式的檢查用保持夾具40是相同結構。在圖9～圖11中，對于具有和第一實施方式的檢查用保持夾具40的各構成部件相同的功能的構成部件，采用和圖3～圖7相同的附圖標記示出。
如圖10中放大表示的那樣，按壓板60具有在板簧43的保持槽44上延伸出的下方按壓簧片60A、與該下方按壓簧片60A垂直的釋放著力部60B、從該釋放著力部60B的端部延伸的固定部60C，整體形成為平面L字形。
下方按壓簧片60A在從保持槽44的上方朝底面44c的方向上(圖10和圖11的下方)被施力，實現將保持在保持槽44中的滑條15按壓在底面44c上的作用(參照圖11(A))。釋放著力部60B在自由狀態(tài)下和盲板41及板簧43非接觸，以從盲板41及板簧43浮起的狀態(tài)被保持，可以在釋放下方按壓簧片60A的彈力的方向上進行彈性變形。具體而言，如果將釋放著力部60B朝靠近板簧43的方向(圖示下方向)按壓使其彈性變形，則如圖11(B)所示，將釋放著力部60B和板簧43抵接的點作為支點，下方按壓簧片60A向離開保持槽44(保持在保持槽44中的滑條15)的方向轉動，下方按壓簧片60A的彈力被釋放。在該釋放狀態(tài)，滑條15在保持槽44中裝卸自如。固定部60C通過固定螺釘64被固定在盲板41上。
該按壓板簧60與板簧43的各保持槽44對應，設置在該各保持槽44(插入各保持槽44的滑條15)的長度方向的兩端部和中間部這三個位置上。在本實施方式中，將位于保持槽44的長度方向的兩端部的按壓板簧60作為端部按壓板簧61、63，將位于中間部的按壓板簧60作為中間部按壓板簧62。這樣，通過將按壓板簧60設置在保持槽44的長度方向的兩端、中間部的至少3個位置上，即使在滑條15朝著凸方向翹曲(圖8(B))和朝著凹方向翹曲(圖8(C))的某一種情況下，也能夠由按壓板簧60的下方按壓簧片60A將滑條15按壓在保持槽44的底面44c上，確?；瑮l15和板簧43的導通性。
而且，按壓板簧60的厚度在本實施方式中是0.2mm，使得在傳送到SEM20中時不與電子物鏡25接觸。這是因為，SEM20的電子物鏡25的焦距短，在SEM20內，檢查用保持夾具240上側的間隙小。而且，關于按壓板簧60的厚度，只要在檢查時被檢查物振動、并且按壓板簧60電子物鏡25不接觸就可以，也可以是0.5mm以下。按壓板簧60的形狀不限于本實施方式的L字形，可以任意設計。
在上述結構的檢查用保持夾具240使釋放著力部60B朝著釋放各按壓板簧60的下方按壓簧片60A的彈力的方向彈性變形、并且使端部按壓彈簧臂45和中間部按壓彈簧臂46朝著離開各保持槽44的方向彈性變形的狀態(tài)下，將導軌16的加工已結束的滑條15嵌入各保持槽44中，如果釋放了釋放著力部60B、端部按壓彈簧臂45和中間部按壓彈簧臂46，則下方按壓簧片60A將滑條15按壓在保持槽44的底面44c上，錐面45T將滑條15按壓在一端部44a和一側面44b上，而且按壓爪46A將滑條15按壓在一側面44b上。通過端部按壓彈簧臂45和中間部按壓彈簧臂46的施力，能夠將滑條15保持在檢查用保持夾具40上的正確位置(設定位置)。然后，通過下方按壓簧片60A的施力，校正滑條15的翹曲，整個滑條15被保持為與保持槽44的底面44c抵接的狀態(tài)。
這樣保持了多個滑條15的檢查用保持夾具240，使運送機器人的真空吸附臂作用在該盲板41上，從而能夠運送到SEM20的內外。被運送到SEM20內的規(guī)定位置(試樣載置部)的滑條15(檢查用保持夾具240)，利用SEM20測量各薄膜磁頭元件12的記錄軌道寬度W，區(qū)分為合格品和不合格品。即使在滑條15產生翹曲的情況下，只要被保持在檢查用保持夾具240上，就能夠通過下方按壓簧片60A的施力使整體與保持槽44的底面44c抵接，確保滑條15和板簧43的導通性，在SEM檢查時滑條表面的著陸能量穩(wěn)定，能夠利用高像質的SEM圖像高精度地測量各薄膜磁頭元件12的記錄軌道寬度W。
然后，SEM20執(zhí)行的檢查(長度測量)已結束的滑條15(檢查用保持夾具240)，與送入時同樣地被運送機器人的真空吸附臂吸附?；瑮l15沿著圖1(B)所示的切斷線15S切斷每個薄膜磁頭元件12，合格品成為滑塊。
接著，參照圖12和圖13說明第三實施方式的檢查用保持夾具340。圖12是表示保持了滑條15的狀態(tài)下的檢查用保持夾具340的一部分的平面圖，圖13是沿圖12的XIII-XIII線的剖面圖。該檢查用保持夾具340具有端部錐形按壓彈簧臂345和中間錐形按壓彈簧臂346，它們的作用是將被保持在保持槽44中的滑條15按壓在保持槽44的長度方向的一側面44b和底面44c上。該端部錐形按壓彈簧臂345和中間錐形按壓彈簧臂346之外的結構，和第一實施方式的檢查用保持夾具40相同。在圖12和圖13中，對于具有與第一實施方式的檢查用保持夾具40的各構成構件相同功能的構件，付與同圖3～圖7相同的附圖標記表示。
端部錐形按壓彈簧臂345對于每個保持槽44獨立形成的，其基部和板簧43結合，在前端自由端部具有錐面345T。錐面345T在自由狀態(tài)下，在插入保持槽44中的滑條15的長度方向的端部，從滑條15上方與該滑條15的上表面15a和側面15b相交的交線α抵接，通過該抵接，對滑條15施加三個方向a1、a2、a3(圖13)的力。即，實現將滑條15的長度方向的端部按壓在保持槽44的長度方向的一側面44b和底面44c上的作用。而且，第一實施方式的端部按壓彈簧臂45具有與插入到保持槽44中的滑條15的長度方向的端部邊緣部抵接的錐面45T，但該錐面45T在產生將滑條15按壓在保持槽44的長度方向的一端44a上的力的方向上同端部邊緣抵接，所以不具有將滑條15按壓在保持槽44的底面44c上的作用。
中間錐形按壓彈簧臂346設置在各保持槽44上，在自由前端部形成可以從滑條15上方同插入到保持槽44的滑條15的中間部分低接的錐面346T，與該自由前端部相反的一側的端部通過連接臂46B相互結合著。如圖13所示，錐面346T的作用是，在自由狀態(tài)下，在被插入到保持槽44中的滑條15的中間部分，從滑條15上方與滑條15的上表面15a和側面15b相交的交線α抵接，將滑條15的中間部分按壓在保持槽44的一側面44b和底面44c上。而且，如圖7所示，第一實施方式的中間部按壓彈簧臂46和滑條15的中間部分的抵接面成為平面，僅僅在將滑條15按壓在保持槽44的一側面44b上的方向上作用力。
由于滑條15以薄膜磁頭元件12位于保持槽44的一側面44b側的朝向(與圖3、圖9的第一、第二實施方式相反的朝向)插入到保持槽44，所以端部錐形按壓彈簧臂345和中間錐形按壓彈簧臂346不覆蓋在薄膜磁頭元件12上，不妨礙SEM20的檢查。
在上述結構的檢查用保持夾具340中，在使端部錐形按壓彈簧臂345和中間錐形按壓彈簧臂346在離開各保持槽44的方向上彈性變形的狀態(tài)下，將導軌16的加工已結束的滑條15嵌入到各保持槽44中，如果釋放端部錐形按壓彈簧臂345和中間錐形按壓彈簧臂346，則錐面345T、346T將滑條15按壓在保持槽44的一側面44b和底面44c上。通過該端部錐形按壓彈簧臂345和中間部錐形按壓彈簧臂346的施力，能夠在檢查用保持夾具340上的正確位置(設定位置)，將滑條15保持為同保持槽44的底面44c抵接的狀態(tài)。
這樣保持了多個滑條15的檢查用保持夾具340可通過使運送機器人的真空吸附臂作用在盲板41上，運送到SEM20的內外。被運送到SEM20內的規(guī)定位置(試樣載置部)的滑條15(檢查用保持夾具340)通過SEM20執(zhí)行各薄膜磁頭元件12的記錄軌道寬度W的測量，區(qū)分為合格品和不合格品。即使滑條15因軌道加工等產生了翹曲的情況下，若被檢查用保持夾具340保持，則通過端部錐形按壓彈簧臂345和中間錐形按壓彈簧臂346的施力，滑條15和保持槽44的底面44c抵接而獲得與板簧43的導通性，所以SEM檢查時滑條表面的著陸能量穩(wěn)定，能夠利用高像質的SEM圖像高精度地測量各薄膜磁頭元件12的記錄軌道寬度W。
然后，和送入時相同地，SEM20的檢查(長度測量)已結束的滑條15(檢查用保持夾具340)被運送機器人的真空吸附臂吸附?；瑮l15沿著圖1(B)所示的切斷線15S切斷每個薄膜磁頭元件12，合格品成為滑塊。
在該第三實施方式中，實現將插入到保持槽44的滑條15按壓在保持槽44的底面44c上的作用的錐形按壓彈簧臂，形成在保持槽44的長度方向的一端部和中間部這兩個位置上，但還可以在保持槽44的長度方向的另一端部，設置與端部錐形按壓彈簧臂345相同結構的錐形按壓彈簧臂。通過在保持槽44的長度方向的兩端部和中間部的至少3個位置將滑條15按壓在保持槽44的底面44c上，即使在滑條15向凸向和凹向中的某一方向翹曲的情況下，也能夠使滑條15和板簧43抵接，確保兩者的導通性。
下面，參照圖14，對第四實施方式的檢查用保持夾具440進行說明。圖14是表示保持了滑條15的狀態(tài)下的檢查用保持夾具440的一部分的平面圖。該檢查用保持夾具440是在上述第三實施方式的檢查用保持夾具340上追加第二實施方式的按壓板簧60而形成的。具體而言，具有下述的結構，即，利用在板簧43上形成的端部錐形按壓彈簧臂345及中間錐形按壓彈簧臂346，和配置在與保持槽44的端部錐形按壓彈簧臂345相反的一側的端部、且由與板簧43不相同的部件構成的按壓板簧60，將插入到保持槽44的滑條15在保持槽44的長度方向的兩端部和中間部的三個位置上按壓在保持槽44的底面44c上。通過如此地組合錐形按壓彈簧臂345、346和按壓板簧60，同在板簧43上對每個保持槽44中形成3處以上的錐形按壓彈簧臂時相比，設計自由度加大。在圖14中，對于具有與第二及第三實施方式的檢查用保持夾具240、340的各構成部件相同的功能的構成部件，采用與圖9～圖13相同的附圖標記表示。
根據第四實施方式，插入到保持槽44中的滑條15也被保持為被按壓在保持槽44的底面44c上的狀態(tài)，所以能夠確?；瑮l15和板簧43的導通性，高精度地執(zhí)行SEM的檢查。在第四實施方式中，采用了兩個錐形按壓彈簧臂(端部錐形按壓彈簧臂345和中間錐形按壓彈簧臂346)和一個按壓板簧60，但檢查用保持夾具所具有的錐形按壓彈簧臂和按壓板簧的組合可以任意變更。
在上述各實施方式中，與各保持槽44對應地設置了端部按壓彈簧臂和中間部按壓彈簧臂46(端部錐形按壓彈簧臂345和中間錐形按壓彈簧臂346)，但可以是僅設置某一個的方式。而且，具有下述優(yōu)點，即多個中間部按壓彈簧臂46(中間錐形按壓彈簧臂346)通過連接臂46B相互結合，能夠使所有的中間部按壓彈簧臂46(中間錐形按壓彈簧臂346)同時彈性變形，但也可以與端部按壓彈簧臂45(端部錐形按壓彈簧臂345)同樣地獨立?；蛘呦喾?，也可以是和中間部按壓彈簧臂46(中間錐形按壓彈簧臂346)同樣，使多個端部按壓彈簧臂45(端部錐形按壓彈簧臂345)結合。
板簧43和按壓板簧60由非磁性且可得到高彈性的鈦或黃銅制造，也可以由其它非磁性金屬材料構成。而且，只要盲板41是平面性高的材料，無需由鈦制造，也可以由其它非磁性金屬材料構成。例如可以由鋁合金、銅合金構成。
而且，在以上實施方式中，測量了薄膜磁頭元件的記錄軌道寬度W，但也可以測量再現用元件的寬度或垂直用磁記錄的主磁極寬度。本發(fā)明的方法是在滑條狀態(tài)下檢查(測量)多個薄膜磁頭元件的構成，不考慮其檢查位置。
權利要求
1.一種薄膜磁頭元件的檢查方法，其特征在于，包括將列狀地具有多個薄膜磁頭元件的滑條保持在由非磁性材料構成的檢查用保持夾具上的步驟；將保持在該檢查用保持夾具上的滑條放入掃描式電子顯微鏡的試樣載置部中的步驟；以及由上述掃描式電子顯微鏡依次執(zhí)行滑條上的多個薄膜磁頭元件的形狀檢查的步驟。
2.根據權利要求1所述的薄膜磁頭元件的檢查方法，上述檢查用保持夾具包括無孔的盲板和在該盲板上重疊固定且由保持滑條的單一部件構成的板簧，上述盲板被運送機器人的真空吸附臂吸附，在掃描式電子顯微鏡的內外運送檢查用保持夾具。
3.一種薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，用于權利要求1所述的薄膜磁頭元件的檢查方法中，其包括無孔的盲板和在該盲板上重疊固定的由單一部件構成的板簧，在該板簧上形成插入滑條的保持槽和保持插入到該保持槽中的滑條且由貫通上述板簧的貫通槽劃分形成的彈簧臂。
4.根據權利要求3所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述彈簧臂是具有與滑條的長度方向的端部邊緣部接觸的錐面的端部按壓彈簧臂，該端部按壓彈簧臂的錐面實現將插入到上述保持槽中的滑條按壓在該保持槽的長度方向的一端部的作用。
5.根據權利要求3所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述彈簧臂是具有與滑條的長度方向的中間部分接觸的按壓爪的中間部按壓彈簧臂，該中間部按壓彈簧臂的按壓爪實現將插入到上述保持槽中的滑條按壓在該保持槽的長度方向的一側面上的作用。
6.根據權利要求3所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，在上述板簧上相互平行地形成有多個上述保持槽，在多個保持槽的每個中設有上述彈簧臂，可以分別彈性變形。
7.根據權利要求3所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，在上述板簧上相互平行地形成有多個上述保持槽，在上述多個保持槽的每一個中設有上述彈簧臂，而且所述彈簧臂相互連接，可以一起彈性變形。
8.權利要求3所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述盲板和板簧用固定螺釘結合著。
9.權利要求3所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述盲板和板簧中，至少板簧由鈦制成。
10.一種薄膜磁頭元件的檢查方法，其特征在于，包括將列狀地具有多個薄膜磁頭元件的滑條插入由非磁性材料構成的檢查用保持夾具中，將滑條以按壓在該檢查用保持夾具上的狀態(tài)進行保持的步驟；將保持在該檢查用保持夾具上的滑條放入掃描式電子顯微鏡的試樣載置部中的步驟；以及由上述掃描式電子顯微鏡依次執(zhí)行滑條上的多個薄膜磁頭元件的形狀檢查的步驟。
11.根據權利要求10所述的薄膜磁頭元件的檢查方法，上述檢查用保持夾具包括無孔的盲板；板簧，在該盲板上重疊固定，由保持滑條的單一部件構成；以及按壓板簧，由與該板簧不同的其它部件構成，在上述盲板上重疊固定，將滑條按壓在該板簧上；上述盲板被運送機器人的真空吸附臂吸附，在掃描式電子顯微鏡的內外運送檢查用保持夾具。
12.根據權利要求10所述的薄膜磁頭元件的檢查方法，上述檢查用保持夾具包括無孔的盲板；和重疊固定在該盲板上、保持滑條并按壓在該檢查用保持夾具上的由單一部件形成的板簧；上述盲板吸附在運送機器人的真空吸附臂上，在掃描式電子顯微鏡的內外運送檢查用保持夾具。
13.一種薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，用于權利要求10所述的薄膜磁頭元件的檢查方法中，該檢查用保持夾具包括無孔的盲板；板簧，在該盲板上重疊固定，由單一部件構成；以及按壓板簧，由與該板簧不同的其它部件構成，在盲板上重疊固定；在上述板簧上形成有插入滑條的帶底的保持槽、和保持插入到該保持槽中的滑條且由貫通上述板簧的貫通槽劃分形成的彈簧臂，在上述按壓板簧上形成有下方按壓簧片，該下方按壓簧片在上述保持槽上伸出，將插入到該保持槽中的滑條按壓在保持槽底面上。
14.據權利要求13所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，在上述按壓板簧上形成有釋放著力部，該釋放著力部在釋放上述下方按壓簧片的彈力的方向上彈性變形，使滑條相對于上述保持槽裝卸自如。
15.根據權利要求13所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，在上述板簧上相互平行地形成有多個上述保持槽，在多個保持槽的每個中，在該保持槽的長度方向的兩端部和中間部的至少三個位置設有上述按壓板簧。
16.權利要求13所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述盲板和按壓板簧用固定螺釘結合著。
17.根據權利要求13所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述按壓板簧由黃銅制成。
18.一種薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，用于權利要求10所述的薄膜磁頭元件的檢查方法中，該檢查用保持夾具包括無孔的盲板和在該盲板上重疊固定且由單一部件構成的板簧，在該板簧上形成有插入滑條的帶底的保持槽、和保持插入到該保持槽中的滑條且由貫通上述板簧的貫通槽劃分形成的彈簧臂，該彈簧臂是具有從滑條上方同滑條的上表面和側面的交線抵接的錐面的錐形按壓彈簧臂，該錐形按壓彈簧臂的錐面實現將插入到上述保持槽中的滑條按壓在該保持槽的長度方向的一側面和底面上的作用。
19.根據權利要求18所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述錐形按壓彈簧臂是將滑條在長度方向的端部位置按壓在上述保持槽的長度方向的一側面和底面上的端部錐形按壓彈簧臂。
20.根據權利要求19所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述錐形按壓彈簧臂是將滑條在長度方向的中間部按壓在上述保持槽的長度方向的一側面和底面上的中間部錐形按壓彈簧臂。
21.根據權利要求18所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，在上述板簧上相互平行地形成有多個上述保持槽，上述錐形按壓彈簧臂設置在多個保持槽的每一個中，可以分別彈性變形。
22.根據權利要求18所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，在上述板簧上相互平行地形成有多個上述保持槽，上述錐形按壓彈簧臂設置在多個保持槽的每一個中，并且相互連接，可以一起彈性變形。
23.根據權利要求18所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，包括由與上述板簧不同的其它部件構成且在盲板上重疊固定的按壓板簧，在該按壓板簧上形成有下方按壓簧片，該下方按壓簧片在與上述錐形按壓彈簧臂不同的位置在上述保持槽上伸出，將插入到該保持槽中的滑條按壓在保持槽底面上。
24.根據權利要求23所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，在上述按壓板簧上形成有釋放著力部，該釋放著力部在釋放上述下方按壓簧片的彈力的方向上彈性變形，使滑條在上述保持槽中裝卸自如。
25.根據權利要求23所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，在上述板簧上相互平行地形成有多個上述保持槽，在該多個保持槽的每一個中，上述錐形按壓彈簧臂和上述按壓板簧共設有3個以上，至少位于該保持槽的長度方向的兩端部和中間部。
26.根據權利要求23所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述盲板和按壓板簧用固定螺釘結合著。
27.根據權利要求23所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述按壓板簧由黃銅制成。
28.根據權利要求18所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述盲板和板簧用固定螺釘結合著。
29.根據權利要求18所述的薄膜磁頭元件的檢查用保持夾具，上述盲板和板簧中，至少板簧由鈦制成。
全文摘要
一種薄膜磁頭元件的檢查方法，在利用SEM進行薄膜磁頭的形狀測量檢查的情況下，在制造工序中組合進該檢查方法，能夠有效地進行檢查。該檢查方法包括將列狀地具有多個薄膜磁頭元件的滑條保持在由非磁性材料構成的檢查用保持夾具上的步驟；將保持在該檢查用保持夾具上的滑條放入掃描式電子顯微鏡的試樣載置部中的步驟；以及由上述掃描式電子顯微鏡依次執(zhí)行滑條上的多個薄膜磁頭元件的形狀檢查的步驟。
文檔編號G11B21/21GK1983395SQ200610064039
公開日2007年6月20日 申請日期2006年11月2日 優(yōu)先權日2005年11月2日
發(fā)明者宮武亨, 菊地敬太郎, 保坂智就 申請人:阿爾卑斯電氣株式會社