專利名稱：用于物理氣相沉積設(shè)備的報警裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是涉及一種物理氣相沉積設(shè)備。
背景技術(shù)：
在集成電路中，制造銅導(dǎo)線的方法是以物理氣相沉積(Physical VapourDeposition)設(shè)備在已沉積的基層上長一層銅層。沉積過程中，先會沉積上一層非金 屬層作為過渡，通常選擇鉭(Ta)，然后再在鉭層的基礎(chǔ)上沉積上一層銅層。在現(xiàn)有的物理氣相沉積設(shè)備中，由于多種原因造成的電力短路以及制造廠的供電 系統(tǒng)跳電而導(dǎo)致物理氣相沉積的設(shè)備有時處于斷電狀態(tài)，由于整個物理氣相沉積設(shè)備無電 流供應(yīng)，所以相關(guān)操作人員無法及時獲知物理氣相沉積設(shè)備異常，由于晶圓在沉積過程始 終處于高溫的狀態(tài)而斷電后會導(dǎo)致工藝溫度以及壓力的異常，長時間無人處理晶圓將導(dǎo)致 晶圓表面氧化，使得晶圓導(dǎo)通層電阻發(fā)生變化，嚴(yán)重情況下甚至?xí)斐删A報廢。

實用新型內(nèi)容本實用新型解決的問題是現(xiàn)有物理氣相沉積設(shè)備沒有報警系統(tǒng)而使得一旦發(fā)生 機(jī)臺無電流供應(yīng)，所以相關(guān)操作人員無法及時獲知物理氣相沉積設(shè)備異常，由于晶圓在沉 積過程始終處于高溫的狀態(tài)而斷電后會導(dǎo)致工藝溫度以及壓力的異常，長時間無人處理晶 圓將導(dǎo)致晶圓表面氧化，使得晶圓導(dǎo)通層電阻發(fā)生變化，嚴(yán)重情況下甚至?xí)斐删A報廢。一種用于物理氣相沉積設(shè)備的報警裝置，包括控制器、報警器、工作電源和供電 電池，所控制器輸入端與工作電源連接于第一節(jié)點，所述控制器輸出端與所述供電電池連 接于第二節(jié)點，所述控制器驅(qū)動端與報警器連接于第三節(jié)點，所述第二節(jié)點和第三節(jié)點之 間接有轉(zhuǎn)換器。優(yōu)選的，所述報警器包括狀態(tài)指示燈和擴(kuò)音器。優(yōu)選的，所述工作電源額定供電電壓為IOOv 220v交流電壓。由于采用了上述技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點1、通過在控制器與報警器之間增加設(shè)置了供電電池，一方面保證了報警器即使工 作電源停止工作同樣能夠發(fā)出警報，另一方面，在平時又可以由機(jī)臺電源予以補充電力。2、進(jìn)一步保證了由于物理氣相沉積設(shè)備由于多種原因造成的電力短路以及制造 廠的供電系統(tǒng)跳電而導(dǎo)致物理氣相沉積的設(shè)備有時處于斷電狀態(tài)，由于整個物理氣相沉積 設(shè)備無電流供應(yīng)，所以相關(guān)操作人員無法及時獲知物理氣相沉積設(shè)備異常。由于晶圓在沉 積過程始終處于高溫的狀態(tài)而斷電后會導(dǎo)致工藝溫度以及壓力的異常，長時間無人處理晶 圓將導(dǎo)致晶圓表面氧化，使得晶圓導(dǎo)通層電阻發(fā)生變化，嚴(yán)重情況下甚至?xí)斐删A報廢。

通過附圖中所示的本發(fā)明的優(yōu)選實施例的更具體說明，本發(fā)明的上述及其它目 的、特征和優(yōu)勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按實際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點在于示出本發(fā)明的主旨。圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意具體實施方式
以下將對本實用新型的用于物理氣相沉積設(shè)備的報警裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描 述。下面將參照附圖對本實用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選 實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型 的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對 本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實際實施例 的開發(fā)中，必須作出大量實施細(xì)節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和 耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。本實用新型設(shè)計了一種用于物理氣相沉積設(shè)備的報警裝置，圖1為本實用新型的 結(jié)構(gòu)示意圖，所述用于物理氣相沉積設(shè)備的報警裝置100包括控制器101、報警器102、工 作電源103和供電電池104，所控制器輸入端與工作電源103連接于第一節(jié)點a，所述控制 器101輸出端與所述供電電池104連接于第二節(jié)點b，所述控制器101驅(qū)動端與報警器102 連接于第三節(jié)點c，所述第二節(jié)點b和第三節(jié)點c之間接有轉(zhuǎn)換器105。本實施例中，當(dāng)所述物理氣相沉積設(shè)備處于正常工作狀態(tài)時，所述工作電源103 提供所述控制器101的工作電源，同時所述控制器101給供電電池104充電。其中，所述工 作電源103為交流電壓100V 230V。當(dāng)物理氣相沉積設(shè)備處于異常工作狀態(tài)時，即物理氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)錯亂或者設(shè) 備供電系統(tǒng)停止工作時，工作電源103停止對所述控制器101供電，控制器101檢測工作電 源103停止工作后，驅(qū)動所述轉(zhuǎn)換器105切換電路使得供電電池104直接連通報警器102 使得報警器102運行并發(fā)出警報。通過本實用新型設(shè)計，無論物理氣相沉積設(shè)備是否有正常供電供應(yīng)，仍保證了用 于物理氣相沉積設(shè)備的報警裝置始終處在運行狀態(tài)，能夠?qū)崟r地通知操作人員及時取出晶 圓，避免了晶圓出現(xiàn)報廢的情況發(fā)生。雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型。本實 用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各 種的更動與潤飾。因此，本實用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種用于物理氣相沉積設(shè)備的報警裝置，所述報警裝置包括控制器、報警器、工作電源和供電電池，所控制器輸入端與工作電源連接于第一節(jié)點，所述控制器輸出端與所述供電電池連接于第二節(jié)點，所述控制器驅(qū)動端與報警器連接于第三節(jié)點，所述第二節(jié)點和第三節(jié)點之間接有轉(zhuǎn)換器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于物理氣相沉積設(shè)備的報警裝置，其特征在于，所述報警器 包括狀態(tài)指示燈和擴(kuò)音器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于物理氣相沉積設(shè)備的報警裝置，其特征在于，所述工作電 源額定供電電壓為100v 220v交流電壓。
專利摘要本實用新型提供了一種用于物理氣相沉積設(shè)備的報警裝置，包括控制器、報警器、工作電源和供電電池，所控制器輸入端與工作電源連接于第一節(jié)點，所述控制器輸出端與所述供電電池連接于第二節(jié)點，所述控制器驅(qū)動端與報警器連接于第三節(jié)點，所述第二節(jié)點和第三節(jié)點之間接有轉(zhuǎn)換器。保證了既使物理氣相沉積的設(shè)備發(fā)生跳電或者由于其他原因?qū)е略O(shè)備沒有供電，仍能警告給操作人員，避免長時間無人處理晶圓，導(dǎo)致晶圓表面氧化，使得晶圓導(dǎo)通層電阻發(fā)生變化，嚴(yán)重情況下甚至?xí)斐删A報廢。
文檔編號G08B21/00GK201678728SQ201020161728
公開日2010年12月22日 申請日期2010年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月16日
發(fā)明者李廣寧 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司