一種離子注入機(jī)的運(yùn)行數(shù)據(jù)保存與顯示方法
【專利摘要】本發(fā)明闡述了一種離子注入機(jī)的運(yùn)行數(shù)據(jù)保存與顯示方法，其特征在于離子注入機(jī)運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的大量的各種類型的數(shù)據(jù)保存與顯示時(shí)數(shù)據(jù)信息的可分性，數(shù)據(jù)信息保存與報(bào)警數(shù)據(jù)信息報(bào)警提示的實(shí)時(shí)性，數(shù)據(jù)內(nèi)容、數(shù)據(jù)來(lái)源、歷史數(shù)據(jù)的可查性。該數(shù)據(jù)處理流程包括：1、生成操作、警告、報(bào)警信息。2、信息內(nèi)容與信息類型、模塊來(lái)源、生成時(shí)間組合。3、信息傳送。4、程序界面信息欄信息顯示。5、信息解析。6、是否是報(bào)警信息。7、信息欄信息顯示時(shí)報(bào)警提示。8、信息內(nèi)容是否和上一條相同。9、是否是操作信息。10、不同信息按照時(shí)序保存至數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)應(yīng)表單中。11、程序界面對(duì)應(yīng)表單查詢顯示。通過(guò)上述這些處理，完成離子注入機(jī)運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的各種數(shù)據(jù)保存和顯示，同時(shí)供其它程序調(diào)用這些數(shù)據(jù)，以便對(duì)離子注入機(jī)的運(yùn)行情況進(jìn)行查詢與分析。
【專利說(shuō)明】
一種離子注入機(jī)的運(yùn)行數(shù)據(jù)保存與顯示方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明是一種軟件技術(shù)，涉及離子注入機(jī)的數(shù)據(jù)生成、數(shù)據(jù)處理、數(shù)據(jù)顯示、數(shù)據(jù)報(bào)警、數(shù)據(jù)保存的方法，屬于半導(dǎo)體器件制造的軟件領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體集成電路制造工藝已經(jīng)發(fā)展到12英寸晶片、納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)階段。隨著晶圓尺寸越來(lái)越大，單元器件尺寸越來(lái)越小，對(duì)半導(dǎo)體工藝設(shè)備的性能要求也越來(lái)越高。離子注入機(jī)是半導(dǎo)體集成電路器件制造工藝中必不可少的關(guān)鍵設(shè)備。為了確保離子注入機(jī)運(yùn)行時(shí)的穩(wěn)定性和可靠性，確保注入晶片的工藝符合工藝要求，必須時(shí)時(shí)跟蹤離子注入機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)和操作記錄，通過(guò)這些運(yùn)行狀態(tài)和操作記錄，可以判斷該離子注入機(jī)的工作狀態(tài)是否正常，操作步驟是否符合晶片注入要求，或者有報(bào)警信息提示時(shí)能及時(shí)對(duì)設(shè)備進(jìn)行處理。
[0003]鑒于離子注入機(jī)的運(yùn)行數(shù)據(jù)生成、處理、顯示、報(bào)警、保存的重要性，一種離子注入機(jī)的運(yùn)行數(shù)據(jù)保存與顯示的最優(yōu)方法是離子注入機(jī)自動(dòng)化控制急需解決的問(wèn)題。
[0004]離子注入機(jī)的運(yùn)行數(shù)據(jù)保存與顯示的最優(yōu)方法需要考慮數(shù)據(jù)生成的實(shí)時(shí)性、數(shù)據(jù)信息的重復(fù)性、數(shù)據(jù)信息同時(shí)產(chǎn)生的種類與數(shù)量、報(bào)警數(shù)據(jù)信息提示、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的分類等要求。而且數(shù)據(jù)的處理與存儲(chǔ)還不能影響設(shè)備的運(yùn)行，即有大量數(shù)據(jù)信息處理與存儲(chǔ)時(shí)程序不能出現(xiàn)卡機(jī)等現(xiàn)象。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明主要是為了離子注入機(jī)在運(yùn)行時(shí)對(duì)各種數(shù)據(jù)記錄進(jìn)行保存與顯示的一種方法。
[0006]本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0007]1、當(dāng)離子注入機(jī)運(yùn)行產(chǎn)生一條數(shù)據(jù)信息時(shí)，就把該數(shù)據(jù)信息和相關(guān)數(shù)據(jù)組合并保存至一個(gè)數(shù)據(jù)隊(duì)列中進(jìn)行信息傳送。當(dāng)這條組合信息處理并保存完成后則在隊(duì)列中刪除。
[0008]2、每條信息包括信息內(nèi)容、信息產(chǎn)生時(shí)間、信息產(chǎn)生來(lái)源等內(nèi)容。
[0009]3、各類信息解析出來(lái)后除了在信息欄顯示外，另外告警信息加標(biāo)識(shí)信號(hào)進(jìn)行界面報(bào)警提示和聲光設(shè)備報(bào)警的信息傳送。
[0010]4、保存至數(shù)據(jù)庫(kù)中的運(yùn)行記錄，根據(jù)信息種類不同可在對(duì)應(yīng)的表單界面上查詢，而且可根據(jù)不同時(shí)間段和數(shù)據(jù)來(lái)源等條件來(lái)查詢。
[0011]本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點(diǎn):
[0012]1、數(shù)據(jù)信息類型的可分性。
[0013]2、數(shù)據(jù)保存、顯示、報(bào)警的實(shí)時(shí)性。
[0014]3、數(shù)據(jù)記錄的隨時(shí)可查性。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明專利限定。
[0016]如圖所示，離子注入機(jī)在運(yùn)行操作時(shí)，程序根據(jù)運(yùn)行情況產(chǎn)生操作信息、警告信息、報(bào)警信息等數(shù)據(jù)，有了這些信息，就可以查找設(shè)備運(yùn)行時(shí)操作者的操作記錄、設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)的故障記錄與故障原因、設(shè)備運(yùn)行的警告記錄等記錄，這些記錄都必須保存至數(shù)據(jù)庫(kù)中，且保存數(shù)據(jù)的過(guò)程中還不能影響設(shè)備的正常運(yùn)行，即所有的運(yùn)行記錄產(chǎn)生后都臨時(shí)保存至數(shù)據(jù)隊(duì)列中，數(shù)據(jù)處理前隊(duì)列作為臨時(shí)數(shù)據(jù)緩沖區(qū)來(lái)保存這些數(shù)據(jù)，這樣就不會(huì)有丟失數(shù)據(jù)的情況發(fā)生。
[0017]當(dāng)各種信息產(chǎn)生時(shí)除了保存至數(shù)據(jù)庫(kù)外，還會(huì)實(shí)時(shí)顯示在界面信息欄上，且最新數(shù)據(jù)顯示在頂層；當(dāng)有重復(fù)的信息時(shí)，程序進(jìn)行處理:重復(fù)的操作信息都保存至數(shù)據(jù)庫(kù)中，重復(fù)的警告信息和報(bào)警信息都只把第一條信息保存至數(shù)據(jù)庫(kù)中；當(dāng)有報(bào)警信息產(chǎn)生時(shí)，除了在信息顯示欄進(jìn)行特殊處理顯示外，同時(shí)還給聲光設(shè)備發(fā)送信息觸動(dòng)聲光報(bào)警，以此來(lái)提醒操作者。
[0018]當(dāng)要把數(shù)據(jù)信息保存至數(shù)據(jù)庫(kù)時(shí)，則按數(shù)據(jù)信息生成的先后次序?qū)﹃?duì)列中的數(shù)據(jù)信息進(jìn)行處理，判斷數(shù)據(jù)類型，然后保存至對(duì)應(yīng)表單中，同時(shí)刪除隊(duì)列中該條記錄，再處理隊(duì)列中下一條生成的數(shù)據(jù)信息。因?yàn)樾畔⑿畔⒂锌赡芡粫r(shí)間段在不同功能模塊中生成很多條，就有可能在同一時(shí)間段隊(duì)列中需要處理和保存的信息有很多條。如果在同一時(shí)間段把隊(duì)列中所有信息都處理并保存完，則有可能會(huì)造成程序暫時(shí)卡機(jī)或影響別的程序段運(yùn)行，所以需要用時(shí)間循環(huán)的方式進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和保存，即每個(gè)時(shí)間循環(huán)只處理并保存一條數(shù)據(jù)信息。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1為離子注入機(jī)的運(yùn)行數(shù)據(jù)保存與顯示方法流程圖。
[0020]本發(fā)明專利的特定實(shí)施例已對(duì)本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不違背本發(fā)明精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.該離子注入機(jī)的運(yùn)行數(shù)據(jù)保存與顯示方法的特征在于:無(wú)論離子注入機(jī)運(yùn)行時(shí)生成什么類型的數(shù)據(jù)(操作數(shù)據(jù)信息、警告數(shù)據(jù)信息、報(bào)警數(shù)據(jù)信息)，它在保存時(shí)都是分類保存的，即每種類型的數(shù)據(jù)信息保存在對(duì)應(yīng)的表單中，當(dāng)查詢顯示時(shí)也是在對(duì)應(yīng)的表單中顯示查詢結(jié)果的。在顯示時(shí)針對(duì)報(bào)警信息專門在界面信息欄上進(jìn)行了特別處理。2.該離子注入機(jī)的運(yùn)行數(shù)據(jù)保存與顯示方法的特征在于:無(wú)論離子注入機(jī)運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生多少數(shù)據(jù)信息，都將及時(shí)保存至數(shù)據(jù)庫(kù)中，同時(shí)報(bào)警信息也將及時(shí)把報(bào)警信號(hào)和報(bào)警信息反應(yīng)到界面上。3.該離子注入機(jī)的運(yùn)行數(shù)據(jù)保存與顯示方法的特征在于:保存至數(shù)據(jù)庫(kù)中的運(yùn)行數(shù)據(jù)信息可根據(jù)信息類型、時(shí)間段、數(shù)據(jù)來(lái)源等條件進(jìn)行查詢。
【文檔編號(hào)】G06F17/30GK105893378SQ201410788948
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2014年12月18日
【發(fā)明人】王瑋琪
【申請(qǐng)人】北京中科信電子裝備有限公司