技術(shù)編號：3801307
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及對用于半導體及FPD(Flat Panel Display平板面板顯示器)制造裝置、印刷電路基板制造裝置、生物關(guān)連裝置(DNA(脫氧核糖核酸)微陣列制作、DNA芯片)、化學反應試驗裝置等的各種基板(以下簡稱為“基板”)供給處理液、實施規(guī)定的處理的處理裝置。背景技術(shù) 以前使用噴墨技術(shù)，直接向基板上噴出處理液進行圖形形成等規(guī)定處理的噴墨方式的處理裝置為眾所周知。如專利文獻1中記載的處理裝置是把抗蝕劑液作為處理液而供給基板形成保護膜的裝置。該裝置通過使...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。