方式還提供了一種OGS觸摸屏的制作方法，包括：
[0038] 在基板上形成白色遮光層，所述白色遮光層中包含白色金屬氧化物。
[0039] 例如，本發(fā)明實施方式中的OGS觸摸屏的制作方法可以具體包括Sl~S3 ;
[0040] Sl :在基板上制作由白色金屬氧化物形成的白色遮光層，該步驟可以具體包括 Sll ~S14 ;
[0041] Sll:如圖2所示，采用派射工藝（Sputter)在基板10上形成白色金屬氧化物薄膜 21，其中，白色金屬氧化物薄膜21的厚度可以小于或等于10000 A (埃米）；
[0042] 其中，濺射工藝采用的靶材可以包括以下的至少一種：鋁靶、氧化鋁靶、鋇靶、氧 化鋇靶、鋅靶、氧化鋅靶，當(dāng)采用鋁靶、鋇靶或者鋅靶時，可以在濺射的環(huán)境中充入適量的氧 氣，從而能夠在基板10上形成對應(yīng)的白色金屬氧化物，由于目前濺射工藝的鍍膜厚度一般 不超過1000:0矣，因此，通過濺射工藝所形成的金屬氧化物薄膜21的厚度能夠遠低于現(xiàn)有 技術(shù)中采用白色光阻所形成的薄膜厚度，從而有效避免后續(xù)形成線路在爬坡處發(fā)生斷裂；
[0043] 此外，為防止白色金屬氧化物發(fā)生大量晶體化，使整個白色遮光層從白色狀態(tài) 轉(zhuǎn)變?yōu)橥该鳡顟B(tài)，可以適當(dāng)調(diào)整濺射工藝的氣氛和鍍膜溫度，例如，上述濺射工藝的氣氛 中可以包含氬氣和氧氣，其溫度可以小于200攝氏度，此外，還可以適當(dāng)增加濺射所形 成膜層的厚度，防止整個白色遮光層從白色狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)橥该鳡顟B(tài)，例如可以為8000 A、 .9000 A、、. ]_〇〇〇〇▲等；
[0044] S12:在所述白色金屬氧化物薄膜上形成光刻膠圖案，所述光刻膠圖案包括光刻膠 保留區(qū)域和光刻膠去除區(qū)域，所述光刻膠保留區(qū)域?qū)?yīng)所述白色遮光層的區(qū)域；
[0045] 具體地，如圖3所示，首先在白色金屬氧化物薄膜21上涂覆光刻膠（光阻劑），形 成光刻膠層51，而后對光刻膠層51進行曝光、顯影，從而如圖4所示在白色金屬氧化物薄膜 21上形成光刻膠圖案50,其中，光刻膠圖案50中的光刻膠保留區(qū)域?qū)?yīng)所要形成的白色遮 光層，光膠去除區(qū)域?qū)?yīng)白色遮光層之外的區(qū)域；
[0046] S13:采用酸液去除所述光刻膠去除區(qū)域上的白色金屬氧化物薄膜，如圖5所示， 通過對白色金屬氧化物薄膜51中暴露出的區(qū)域（即光刻膠去除區(qū)域）進行刻蝕，形成所需 圖案的白色遮光層20 ;
[0047] S14:去除剩余的光刻膠。
[0048] S2 :在白色遮光層上形成保護層，如圖6所示，可以在基板10的整面上涂布有機光 刻材料（Over Coat，0C)材料，固膜后形成保護層（平坦層）30 ;
[0049] S3 :如圖7所示，在保護層30上制作觸摸功能層40。
[0050] 本發(fā)明實施方式提供的OGS觸摸屏的制作方法，通過采用白色金屬氧化物制作其 中的白色遮光層，由于白色金屬氧化物可以通過濺射工藝形成在基板上，相比現(xiàn)有技術(shù)，不 僅可以降低所制作的白色遮光層的厚度，防止后續(xù)形成的線路在爬坡處發(fā)生斷路，并且由 于白色金屬氧化物具有較高的OD值，相比現(xiàn)有技術(shù)，能夠有效提高白色遮光層的OD值和白 色色度，即使在厚度較小的情況下也能使觸摸屏具備較好的視覺效果。
[0051] 以上實施方式僅用于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有 等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
【主權(quán)項】
1. 一種OGS觸摸屏，包括基板以及設(shè)置在所述基板上的白色遮光層，其特征在于，所述 白色遮光層中包含白色金屬氧化物。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的0GS觸摸屏，其特征在于，所述白色遮光層為由所述白色金屬 氧化物形成的白色金屬氧化物層。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的0GS觸摸屏，其特征在于，所述白色金屬氧化物包括以下的至 少一種：氧化鋁、氧化鋇、氧化鋅。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的0GS觸摸屏，其特征在于，所述白色遮光層的厚度小于或等于 1〇〇〇〇A。5. 根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的0GS觸摸屏，其特征在于，所述白色遮光層上依次設(shè)置 有保護層、觸摸功能層。6. -種顯示裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1-5任一所述的觸摸屏。7.-種0GS觸摸屏的制作方法，其特征在于，包括： 在基板上形成白色遮光層，所述白色遮光層中包含白色金屬氧化物。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述在基板上形成白色遮光層包括： 采用濺射工藝在所述基板上形成白色金屬氧化物薄膜； 在所述白色金屬氧化物薄膜上形成光刻膠圖案，所述光刻膠圖案包括光刻膠保留區(qū)域 和光刻膠去除區(qū)域，所述光刻膠保留區(qū)域?qū)?yīng)所述白色遮光層的區(qū)域； 去除所述光刻膠去除區(qū)域上的白色金屬氧化物薄膜； 去除剩余的光刻膠。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述濺射工藝采用的靶材包括以下 的至少一種：鋁靶、氧化鋁靶、鋇靶、氧化鋇靶、鋅靶、氧化鋅靶。10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述濺射工藝的氣氛中包含氬氣和 氧氣。11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述白色金屬氧化物薄膜的厚度小 于或等于10_冊0_1612. 根據(jù)權(quán)利要求7-11任一所述的制作方法，其特征在于，所述在基板上形成白色遮 光層之后還包括：依次在所述白色遮光層上形成保護層、觸摸功能層。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種OGS觸摸屏及其制作方法、顯示裝置，該OGS觸摸屏包括基板以及設(shè)置在所述基板上的白色遮光層，其中，所述白色遮光層中包含白色金屬氧化物。本發(fā)明提供的OGS觸摸屏，通過采用白色金屬氧化物制作其中的白色遮光層，由于白色金屬氧化物可以通過濺射工藝形成在基板上，相比現(xiàn)有技術(shù)，不僅可以降低所制作的白色遮光層的厚度，防止后續(xù)形成的線路在爬坡處發(fā)生斷路，并且由于白色金屬氧化物具有較高的OD值，即使在厚度很小的情況下也能使觸摸屏具備較好的視覺效果。
【IPC分類】G06F3/041
【公開號】CN105094452
【申請?zhí)枴緾N201510617923
【發(fā)明人】張雷, 胡明, 王慶浦, 范文金, 李君 , 陳啟程
【申請人】京東方科技集團股份有限公司, 合肥鑫晟光電科技有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年9月24日