觸控面板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種適合用于與蓋板一體地形成的觸控面板及觸控面板的制造方法 的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002] 觸控面板為通過(guò)由操作者用手指或筆觸摸顯示畫(huà)面上的透明的面來(lái)檢測(cè)所接觸 的位置從而能夠進(jìn)行數(shù)據(jù)輸入的輸入裝置的構(gòu)成要件，其能夠通過(guò)鍵盤(pán)輸入進(jìn)行直接且直 觀的輸入。因此，近年來(lái)以移動(dòng)電話或便攜信息終端、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)為代表，廣泛用于各種 電子設(shè)備的操作部。
[0003] 所述觸控面板作為輸入裝置能夠貼在液晶面板等平面型顯示裝置的顯示畫(huà)面上 來(lái)使用。觸控面板的檢測(cè)方式有電阻式、電容式、超聲波式以及光學(xué)式等多種，其結(jié)構(gòu)多種 多樣。
[0004] 電容式觸控面板大體上能夠分為表面型和投影型。表面型電容式觸控面板難以同 時(shí)感測(cè)2個(gè)點(diǎn)以上的接觸點(diǎn)。而投影型電容式觸控面板能夠同時(shí)感測(cè)2個(gè)點(diǎn)以上的接觸 點(diǎn)。投影型電容式觸控面板具有在透明基板上一般依次形成第一透明電極圖案層、第一絕 緣層、第二透明電極圖案層、成為端子電極的金屬電極圖案層以及第二絕緣層這各個(gè)層的 層疊結(jié)構(gòu)，以此作為電容式觸控面板用的電極板。
[0005] 并且，將投影型電容式觸控面板重疊在平面型顯示裝置的顯示畫(huà)面上來(lái)使用的方 式還有能夠與觸控面板獨(dú)立型不同地使整體薄型化的保護(hù)玻璃一體型。
[0006] 即，在觸控面板獨(dú)立型中，在平面型顯示裝置的顯示面?zhèn)冉?jīng)由氣隙粘貼獨(dú)立型觸 控面板，另外在其前面設(shè)置以具有邊框等裝飾圖案且用于保護(hù)表面的保護(hù)玻璃（前面板） 為代表的透明蓋板（參考日本專利公開(kāi)2012-084025號(hào)公報(bào)）。
[0007] 另一方面，在保護(hù)玻璃一體型中，在平面型顯示裝置的顯示面?zhèn)冉?jīng)由同樣的氣隙 粘貼保護(hù)玻璃一體型觸控面板。另外，關(guān)于構(gòu)成觸控面板的電極和端子、配線等的圖案的方 向，由于直接支承圖案的基板的位置在觸控面板獨(dú)立型和保護(hù)玻璃一體型中成為相反的關(guān) 系，因此從辨識(shí)側(cè)觀察的方向是相反的。
[0008] 關(guān)于投影型電容式觸控面板的電極結(jié)構(gòu)，若以由保護(hù)玻璃一體型所代表的透明蓋 板一體型的例子示出，則包括在透明蓋板的同一平面上二維配置的傳感器電極即多個(gè)透明 導(dǎo)電膜圖案、電連接透明導(dǎo)電膜圖案之間的跳線部、防止跳線部中的層間的電氣短路的絕 緣部以及從傳感器電極導(dǎo)出配線直到端子部的配線部。傳感器電極使用ITO(銦錫氧化物） 等透明導(dǎo)電膜。另一方面，跳線部使用導(dǎo)電性比ITO優(yōu)異的金屬材料（參考日本專利公開(kāi) 2013-020347 號(hào)公報(bào)）。
[0009] 在這種觸控面板中，雖然用于立體連接有規(guī)律地配置在同一平面上的傳感器電極 的絕緣部和跳線部的結(jié)構(gòu)是不可欠缺，但是由于這些絕緣部和跳線部位于作為顯示區(qū)域的 操作平面區(qū)域內(nèi)，因此提出了希望降低該部分的反射率來(lái)提高顯示裝置的辨識(shí)性的要求。 在日本專利公開(kāi)2013-020347號(hào)公報(bào)中，如圖6所示，若與使用從透明蓋板2的表面依次包 括鉬膜71/鋁膜81/鉬膜91這3層結(jié)構(gòu)的薄膜層疊材料的情況相比，則在包括鉬氧化膜7/ 鋁膜8/鉬膜9這3層時(shí)減小了反射率。
[0010] 但是，如日本專利公開(kāi)2013-020347號(hào)公報(bào)的圖6所示，在將跳線部設(shè)為鉬氧化膜 7/鋁膜8/鉬膜9這3層時(shí)，從嚴(yán)格的意義來(lái)講，反射率并沒(méi)有在可見(jiàn)光區(qū)域的整個(gè)區(qū)域減 小。尤其是在400nm附近處反射率增大而影響了反射特性尤其是作為顯示裝置的觸控面板 的色調(diào)，因此強(qiáng)烈要求改善該問(wèn)題希望在可見(jiàn)光區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)大致均勻的反射率。
[0011] 并且，存在有希望在可見(jiàn)光區(qū)域的整個(gè)區(qū)域內(nèi)使反射率成為10%以下的強(qiáng)烈要 求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012] 本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，且欲實(shí)現(xiàn)以下目的。
[0013] 1.在可見(jiàn)光區(qū)域的整個(gè)區(qū)域內(nèi)使反射率減小到10%以下。
[0014] 2.降低波長(zhǎng)依賴性，在可見(jiàn)光區(qū)域的整個(gè)區(qū)域內(nèi)使反射率均勻。
[0015] 3.關(guān)于蝕刻特性、方塊電阻值以及與底層的粘附性，維持與以往同等程度的特性。
[0016] 本發(fā)明的一方式所涉及的觸控面板，其配置于顯示面板上，且采用通過(guò)觸摸操作 面來(lái)操作的電容方式，所述觸控面板具有：透明基板；在所述透明基板的所述操作面的背 面?zhèn)妊豖方向形成的多個(gè)X電極；以及沿與所述X方向正交的Y方向形成的多個(gè)Y電極。 所述多個(gè)X電極和所述多個(gè)Y電極具有：形成于所述背面?zhèn)鹊耐幻娴亩鄠€(gè)透明電極；以 及在所述X電極和所述Y電極經(jīng)由絕緣部相互交叉的交叉部，立體連接相鄰的所述X電極 的透明電極或相鄰的所述Y電極的透明電極中的任一方的跳線。所述跳線具有與所述透明 電極連接的第一層和層疊于該第一層的第二層。所述第一層包括第一金屬氧化膜，所述第 二層包括第二金屬氧化膜。所述第一層的折射率低于所述第二層的折射率。
[0017] 根據(jù)上述觸控面板，從辨識(shí)側(cè)觀察時(shí)，能夠相對(duì)于可見(jiàn)光的整個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域降低交 叉部的反射率，并且均勻地抑制反射率。
[0018] 優(yōu)選所述第一層中的含氧率高于所述第二層的含氧率。
[0019] 此時(shí)，能夠在交叉部獲得所期望的反射率。
[0020] 優(yōu)選所述第一層中的比電阻高于所述第二層的比電阻。
[0021] 此時(shí)，能夠在交叉部獲得所期望的反射率。
[0022] 優(yōu)選所述第一層和所述第二層為相同金屬的氧化物。
[0023] 此時(shí)，能夠在交叉部獲得所期望的反射率。
[0024] 優(yōu)選所述第一層和所述第二層為含有1~15atm%的鈮的鉬合金氧化物。
[0025] 此時(shí)，能夠在交叉部獲得所期望的反射率。
[0026] 優(yōu)選在將所述第一金屬氧化膜及第二金屬氧化膜中的復(fù)折射率定義為m = n_ik(n為折射率，k為消光系數(shù)）時(shí)，在構(gòu)成所述第一層的所述第一金屬氧化膜中，
[0027] 2. 0 彡 nl 彡 2. 2
[0028] 0? 015 彡 kl 彡 0? 1 ;
[0029] 在構(gòu)成所述第二層的所述第二金屬氧化膜中，
[0030] 2. 5 彡 n2 彡 3. 8
[0031] 0.3 彡 k2 彡 3.0〇
[0032] 優(yōu)選所述跳線具有層疊于所述第二層的包括第三金屬膜的第三層。
[0033] 優(yōu)選所述第三層包括鋁或鋁合金。
[0034] 優(yōu)選所述跳線具有層疊于所述第三層的包括第四金屬膜的第四層。
[0035] 所述第四層也可以包括鉬或鉬合金。
[0036] 根據(jù)上述本發(fā)明的方式，通過(guò)如上所述構(gòu)成交叉部，能夠在可見(jiàn)光區(qū)域?qū)崿F(xiàn)大致 均勻的反射率來(lái)提高辨識(shí)性，并且在可見(jiàn)光區(qū)域的整個(gè)區(qū)域使反射率成為10%以下，進(jìn)而 保證色調(diào)的正確性。
【附圖說(shuō)明】
[0037] 圖1是示意地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的觸控面板的俯視圖。
[0038] 圖2是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的觸控面板的剖視圖。
[0039] 圖3是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的觸控面板中的交叉部附近的放大剖視 圖。
[0040] 圖4是本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的觸控面板的跳線處的膜的結(jié)構(gòu)例以及表示 方塊電阻評(píng)價(jià)和反射率評(píng)價(jià)的概念圖。
[0041] 圖5是表示有關(guān)本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的觸控面板的測(cè)定結(jié)果的曲線圖。
[0042] 圖6是表示有關(guān)本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的觸控面板的實(shí)驗(yàn)例的曲線圖。
[0043] 圖7是表示有關(guān)本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的觸控面板的模擬結(jié)果的曲線圖。
[0044] 圖8是表示有關(guān)本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的觸控面板的模擬結(jié)果的曲線圖。
[0045] 符號(hào)說(shuō)明
[0046] 10-觸控面板，11A-操作面，11-透明基板，12-透明電極，12X-X電極，12Y-Y電極， 12Xa、12Ya-細(xì)線部，12Xb、12Yb-焊盤(pán)部，13-絕緣部，14-交叉部，15-跳線，17-配線部， Ml-下鉬-鈮氧化層疊膜（第一層），M2-上鉬-鈮氧化層疊膜（第二層），A3-鋁-釹膜 (第三層），M4-鉬-鈮膜（第四層）。
【具體實(shí)施方式】
[0047] 以下，根