布局設計系統(tǒng)、布局設計方法及利用其制造的半導體裝置的制造方法
【專利說明】布局設計系統(tǒng)、布局設計方法及利用其制造的半導體裝置
[0001]本申請要求于2013年11月18日提交到韓國知識產(chǎn)權局的第10_2013_0139844號韓國專利申請的優(yōu)先權以及由其產(chǎn)生的全部權益，該韓國專利申請的內(nèi)容通過引用全部包含于此。
技術領域
[0002]根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例涉及一種布局設計系統(tǒng)、一種布局設計方法以及一種利用其制造的半導體裝置。
【背景技術】
[0003]許多年來，電子裝置已經(jīng)以更緊湊的封裝的形式提供了改善了的性能和集成度，并且這種趨勢持續(xù)至今。持續(xù)地需要解決集成度、性能和小型化的需求的方法和設備。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，一種布局設計系統(tǒng)包括:處理器；存儲單元，被配置為存儲具有第一面積的第一單元設計，其中，在第一單元設計中，在第一單元設計的邊界上未布置端子；以及設計模塊，被配置為通過使用處理器在第一單元設計的邊界上布置端子來產(chǎn)生具有大于第一面積的第二面積的第二單元設計。
[0005]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，第一單元設計包括元級設計或宏級設計，第二單元設計包括塊級設計或芯片級設計。
[0006]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，端子包括虛設柵極和虛設有源鰭中的至少一種。
[0007]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，端子包括具有虛設柵極的第一端子和具有虛設有源鰭的第二端子，第一端子被布置為沿著第一單元設計的邊界在第一方向上延伸，第二端子被布置為沿著第一單元設計的邊界在與第一方向交叉的第二方向上延伸。
[0008]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，第一端子包括多個虛設柵極，第二端子包括多個虛設有源鰭。
[0009]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，設計模塊包括:布局模塊，被配置為將第一單元設計布置在第二單元設計的界限內(nèi)；邊線設置模塊，被配置為在布置的第一單元設計的邊界上設置邊線；端子產(chǎn)生模塊，被配置為在設置的邊線內(nèi)產(chǎn)生端子。
[0010]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，邊線限定環(huán)形區(qū)域。
[0011 ] 在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，設計模塊存儲在所述存儲單元中，或者存儲在與所述存儲單元分開的另一存儲單元中。
[0012]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，第一單元設計包括逆變器設計，第二單元設計包括邏輯塊設計。
[0013]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，第一單元設計包括存儲元設計，第二單元設計包括存儲元陣列設計。
[0014]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，一種布局設計系統(tǒng)中的布局設計方法，所述布局設計系統(tǒng)通過使用處理器和存儲單元接收多個第一單元設計來產(chǎn)生具有比所述多個第一單元設計的面積大的面積的第二單元設計，該布局設計方法包括下述步驟:接收所述多個第一單元設計；布置所述多個第一單元設計；通過在所述多個第一單元設計的邊界上產(chǎn)生第一端子來產(chǎn)生第二單元設計。
[0015]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，第一端子未被布置在每個第一單元設計的邊界上。
[0016]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，第一端子包括虛設柵極和虛設有源鰭中的至少一種。
[0017]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，與第一端子不同的第二端子被布置在每個第一單元設計的邊界上。
[0018]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，布置所述多個第一單元設計的步驟包括布置所述多個第一單元設計而不用考慮第二端子部分的至少一部分。
[0019]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，所述布局設計方法包括在布置所述多個第一單元設計之后，限定環(huán)形區(qū)域，其中，在限定環(huán)形區(qū)域的步驟中，使用第二端子的至少一部分作為環(huán)形區(qū)域。
[0020]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，第一單元設計包括逆變器設計，第二單元設計包括邏輯塊設計。
[0021]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，第一單元設計包括存儲元設計，第二單元設計包括存儲元陣列設計。
[0022]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，一種計算機可讀記錄介質(zhì)具有能夠執(zhí)行存儲在其中的根據(jù)發(fā)明構思的原理的布局設計方法的軟件。
[0023]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，一種半導體裝置包括第一存儲元以及被布置成與第一存儲元相鄰的第二存儲元，其中，第一存儲元和第二存儲元中的每個包括沿第一方向延伸的有源鰭以及沿與第一方向交叉的第二方向延伸并形成在有源鰭上的柵極，虛設有源鰭和虛設柵極中的至少一個形成在第一存儲元的使第一存儲元不與第二存儲元相鄰的一側(cè)，虛設有源鰭和虛設柵極未形成在第一存儲元的使第一存儲元與第二存儲元相鄰的另一側(cè)。
[0024]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，第一存儲元和第二存儲元包括靜態(tài)隨機存取存儲器(SRAM)元。
[0025]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，虛設柵極包括平行于第二方向延伸的多個虛設柵極，多個虛設柵極中的任意一個的寬度與另一寬度不同。
[0026]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，虛設有源鰭包括平行于第一方向延伸的多個虛設有源鰭。
[0027]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，一種半導體裝置包括應用處理器和DRAM，其中，第一存儲元和第二存儲元被布置在應用處理器中。
[0028]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，一種半導體裝置包括多個第一單元設計以及通過在第一單元設計的邊界上形成端子來產(chǎn)生的第二單元設計。
[0029]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，端子是虛設柵極或虛設有源鰭。
[0030]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，第一單元設計包括逆變器。
[0031]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，一種電子裝置包括半導體裝置，所述半導體裝置包括多個第一單元設計以及通過在第一單元設計的邊界上形成端子來產(chǎn)生的第二單元設計。
[0032]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，一種電子系統(tǒng)包括半導體裝置，所述半導體裝置包括多個第一單元設計以及通過在第一單元設計的邊界上形成端子來產(chǎn)生的第二單元設計。
[0033]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，一種智能電話包括半導體裝置，所述半導體裝置包括多個第一單元設計以及通過在第一單元設計的邊界上形成端子來產(chǎn)生的第二單元設計。
[0034]在根據(jù)本發(fā)明構思的原理的示例性實施例中，一種芯片上系統(tǒng)(SoC)包括半導體裝置，所述半導體裝置包括多個第一單元設計以及通過在第一單元設計的邊界上形成端子來產(chǎn)生的第二單元設計。
【附圖說明】
[0035]通過參照附圖詳細地描述本發(fā)明的實施例，本發(fā)明的上述和其它特征與優(yōu)點將變得更加清楚，在附圖中:
[0036]圖1是根據(jù)本發(fā)明的一些實施例的布局設計系統(tǒng)的框圖；
[0037]圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的一些實施例的布局設計方法的流程圖；
[0038]圖3至圖9是用于描述圖2中示出的布局設計方法的圖；
[0039]圖10至圖16是用于描述圖2中示出的布局設計方法的效果的圖；
[0040]圖17A是示出根據(jù)本發(fā)明的一些實施例的布局設計方法的流程圖；
[0041]圖17B是通過根據(jù)本發(fā)明的一些實施例的布局設計方法來布置第一單元設計的示例性圖；
[0042]圖18A是包括根據(jù)本發(fā)明構思的原理的半導體裝置的SoC系統(tǒng)的框圖；
[0043]圖18B是示出圖18A的中央處理單元的示意性配置的框圖；
[0044]圖19是示出圖18A的半導體裝置被封裝的狀態(tài)的圖；
[0045]圖20是包括根據(jù)本發(fā)明構思的原理的半導體裝置的電子系統(tǒng)的框圖；
[0046]圖21至圖23是能夠采用根據(jù)本發(fā)明的一些實施例的半導體裝置的示例性半導體系統(tǒng)。
【具體實施方式】
[0047]將在下文中參照附圖更充分地描述各種示例性實施例，在附圖中示出了示例性實施例。然而，示例性實施例可以以許多不同的形式實施，而不應被解釋為局限于在這里闡述的示例性實施例。相反，提供這些示例性實施例，使得本公開將是徹底的，并將把示例性實施例的范圍傳達給本領域技術人員。在附圖中，為了清楚起見，可以夸大層和區(qū)域的尺寸和相對尺寸。
[0048]將理解的是，當元件或?qū)颖环Q作“在”另一元件或?qū)印吧稀被蛘摺斑B接到”或“結(jié)合至IJ”另一元件或?qū)訒r，該元件或?qū)涌梢灾苯釉谒隽硪辉驅(qū)由匣蛘咧苯舆B接到或直接結(jié)合到所述另一元件或?qū)?，或者可以存在中間元件或中間層。相反，當元件被稱作“直接在”另一元件或?qū)印吧稀被蛘摺爸苯舆B接到”或“直接結(jié)合到”另一元件或?qū)訒r，不存在中間元件或中間層。同樣的標號始終表示同樣的元件。如在這里使用的，術語“和/或”包括一個或更多個相關所列項的任意組合和全部組合。除非另外指出，否則以包含性的意義來使用術語“或”。
[0049]將理解的是，雖然在這里可以使用例如第一、第二、第三術語來描述不同的元件、組件、區(qū)域、層和/或部分，但是這些元件、組件、區(qū)域、層和/或部分不應受這些術語限制。這些術語僅用于將一個元件、組件、區(qū)域、層或部分與另一元件、組件、區(qū)域、層或部分區(qū)分開。按照這種方式，在不脫離示例性實施例的教導的情況下，下面討論的第一元件、組件、區(qū)域、層或部分可以被命名為第二元件、組件、區(qū)域、層或部分。
[0050]為了方便描述，在這里可使用空間相對術語，如“在…之下”、“在…下方”、“下面的”、“在…上方”、“上面的”等，來描述在圖中所示的一個元件或特征與其它元件或特征的關系。應該理解的是，空間相對術語意在包含除了在附圖中描述的方位之外的裝置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附圖中的裝置被翻轉(zhuǎn)，則描述為“在”其它元件或特征“下方”或“之下”的元件隨后將被定位為“在”所述其它元件或特征“上方”。按這種方式，示例性術語“在…下方”可包括“在…上方”和“在…下方”兩種方位。所述裝置可被另外定位(旋轉(zhuǎn)90度或者在其它方位)，并對在這里使用的空間相對描述符做出相應的解釋。
[0051]這里使用的術語僅出于描述特定示例性實施例的目的，而不意圖成為示例性實施例的限制。如這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式“一個(種)”和“該(所述)”也意圖包括復數(shù)形式。還將理解的是，當在本說明書中使用術語“包含”和/或“包括”時，說明存在所述特征、整體、步驟、操作、元件和/或組件，但不排除存在或附加一個或更多個其它特征、整體、步驟、操作、元件、組件和/或它