專利名稱：用于對(duì)原圖樣掃描及對(duì)載體材料曝光的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)原圖樣進(jìn)行掃描以及對(duì)敷有光敏材料層的載體進(jìn)行曝光的裝置，它具有一個(gè)其上放置有原圖樣的轉(zhuǎn)鼓，沿該轉(zhuǎn)鼓徑向設(shè)置有閱讀和光學(xué)重顯頭(Lese-und Wiedergabekopfen)，轉(zhuǎn)鼓由驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)而旋轉(zhuǎn)。
藝術(shù)家們?yōu)榧徔棌S設(shè)計(jì)出具有很高價(jià)值的圖樣。這些圖樣可能很小，大約50×50cm，也可能很大，比如說200×200cm。圖像單元可能呈矩形，圓形或者橢圓形。圖像掃描為每英呎25至200線，這意味著分辨率為每平方英呎3200個(gè)像點(diǎn)。這樣高的分辨率決定了要求原稿及閱讀機(jī)或者曝光裝置必須保持極高精度且不能有振動(dòng)及擺動(dòng)。
比利時(shí)根特的BARCO GRAPHICS公司解決了這一難點(diǎn)。原稿或薄膜通過真空作用吸附在轉(zhuǎn)鼓上，光學(xué)系統(tǒng)放置在一個(gè)氣墊上，氣墊懸浮在一個(gè)花崗巖塊上，借此來避免系統(tǒng)中一些關(guān)鍵部位的摩擦及損耗?；◢弾r塊重約4000kg。這樣一來，整個(gè)設(shè)備的搬運(yùn)就十分困難。工作地點(diǎn)的選擇也就要考慮到地面的承受能力。就是說，不是在任何地方都能使該系統(tǒng)正常運(yùn)行。
本發(fā)明的任務(wù)是，設(shè)計(jì)一個(gè)與上述設(shè)備相應(yīng)的裝置，它不會(huì)對(duì)地面施加很重的負(fù)荷，但仍能保證相應(yīng)的分辨率，或者當(dāng)具備相應(yīng)的攝象和/或重顯裝置(Aufnahme und/oder Wiedergabegerate)的話甚至能以更高的分辨率工作。
按照本發(fā)明，將轉(zhuǎn)鼓和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)以及閱讀和重顯光學(xué)頭一同安裝在一個(gè)框架上，該框架通過減振器固接到機(jī)架上去。
這種方案經(jīng)長(zhǎng)期的試驗(yàn)表面具有許多優(yōu)點(diǎn)。一方面，框架可以做得非常堅(jiān)固，從而它可以承受轉(zhuǎn)鼓及移動(dòng)的光學(xué)部件的所有的力。借助于設(shè)置在框架和機(jī)架之間的減振器使得框架及安放在其上的轉(zhuǎn)鼓和所有的光學(xué)部件及其導(dǎo)向裝置可自由地振動(dòng)。
由于上述緣故，用于掃描和曝光的各個(gè)部件連同轉(zhuǎn)鼓它們的相對(duì)位置都保持絕對(duì)不變，而且不會(huì)傳入振動(dòng)干擾。沉重的花崗巖塊也不必要了。機(jī)架可支放在各種地面上而不必顧及對(duì)地面的負(fù)荷大小。此外，轉(zhuǎn)鼓的直徑可達(dá)70cm或更大些，因?yàn)椴扇×思訌?qiáng)剛度的措施，所有的振動(dòng)對(duì)設(shè)備的正常工作都無影響，整個(gè)系統(tǒng)本身也是可以自由地振動(dòng)的。
轉(zhuǎn)鼓的不平衡力總是很大的。轉(zhuǎn)鼓轉(zhuǎn)速達(dá)200轉(zhuǎn)/分鐘，被掃描的圖樣要描繪在一個(gè)穩(wěn)固的原紙板或其它類似的材料上，原紙板沒有包住整個(gè)轉(zhuǎn)鼓，只包了其周長(zhǎng)的四分之一或更少。
下面借助一些附圖來說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例。


圖1系根據(jù)本發(fā)明的裝置的正視圖，圖中去掉了蓋板和槽子，轉(zhuǎn)鼓的形狀是經(jīng)豎直剖后的投影。
圖2系圖1所示裝置的右視圖，圖中沒有顯示出側(cè)壁。
用于掃描原圖樣及對(duì)薄膜曝光的裝置主要由轉(zhuǎn)鼓1和閱讀及重顯裝置2組成。轉(zhuǎn)鼓上沿其水平方向設(shè)置有驅(qū)動(dòng)軸11，光學(xué)閱讀及重顯裝置帶有閱讀鏡21和曝光鏡22。轉(zhuǎn)鼓1和光學(xué)重顯裝置2都裝在框架3上?？蚣?左、右側(cè)有側(cè)壁31a和31b，側(cè)壁與后梁37聯(lián)結(jié)。前面有一個(gè)移動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸24，比如說一個(gè)螺桿。裝有光學(xué)閱讀和重顯裝置2的滑塊23采用循環(huán)球式支承(Umlaufkugellager)，從而實(shí)現(xiàn)均勻平順的移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)軸11和移動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸24都支承在側(cè)壁31a和31b上。驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連同變速器12同樣也是固定在側(cè)壁31a上的。
框架3經(jīng)減振器50a，50b，50c，50d支承在機(jī)架4上。該機(jī)架主要由4個(gè)豎直支座組成，支座41a，41b，41c，41d的上端與軛梁40a，40b和橫梁40c，40d剛性聯(lián)結(jié)。在由40a，40b，40c，40d所組成的框上前面有兩個(gè)短支柱34a，34b，后面有一對(duì)長(zhǎng)支柱33a，33b，四個(gè)支柱33a，33b，34a，34b上放置著四個(gè)減振器50a，50b，50c和50d，減振器的頭部經(jīng)支架32a，32b，32c，32d與側(cè)壁31a，31b聯(lián)結(jié)。框架3因此便被懸掛在支架4上得以自由振動(dòng)。
根據(jù)這種方案，轉(zhuǎn)鼓1和光學(xué)閱讀及重顯裝置2整個(gè)地安放在機(jī)架上，可以自由地振動(dòng)。地面上任何的振動(dòng)不會(huì)傳遞到框架3上，而轉(zhuǎn)鼓1和光學(xué)裝置2所產(chǎn)生的振動(dòng)也不會(huì)傳遞到機(jī)架4上。這意味著，機(jī)架并不一定要固接在地面上，也不必用巖石塊或水泥墩加重它的負(fù)荷。整個(gè)重量?jī)H為機(jī)架4和框架3的重量，它們的材料的選取也僅由強(qiáng)度條件來確定，不需考慮其它方面的要求。
試驗(yàn)表明，轉(zhuǎn)鼓在起動(dòng)時(shí)轉(zhuǎn)速達(dá)200轉(zhuǎn)/分鐘，此時(shí)產(chǎn)生一個(gè)強(qiáng)的起動(dòng)脈沖，由此在振動(dòng)系統(tǒng)中形成強(qiáng)的沖擊。這種沖擊也同樣可以用減振器加以衰減，這時(shí)要求前減振器50a，50b比后減振器50c，50d安裝的位置低一些。前，后減振器的安裝高度差是這樣確定的，即經(jīng)轉(zhuǎn)鼓1之左、右兩側(cè)各兩個(gè)減振器底部的連線Aa、Ab，與經(jīng)過整個(gè)振動(dòng)系統(tǒng)之質(zhì)心S的水平直線B相交。
權(quán)利要求
1.一種用于對(duì)原圖樣進(jìn)行掃描以及對(duì)敷有光敏材料層的載體進(jìn)行曝光的裝置，它具有一個(gè)轉(zhuǎn)鼓(1)，轉(zhuǎn)鼓上放置原圖樣，沿轉(zhuǎn)鼓徑向設(shè)置有閱讀和重顯裝置(2)，轉(zhuǎn)鼓由驅(qū)動(dòng)裝置(12)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)，其特征在于，轉(zhuǎn)鼓(1)與其驅(qū)動(dòng)裝置(12)以及閱讀和重顯裝置(2)安裝在一個(gè)框架(3)上，框架(3)經(jīng)減振器(50a，50b，50c，50d)而固接在機(jī)架(4)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，其中的框架是由兩個(gè)非常穩(wěn)固的側(cè)壁(31a，31b)及一個(gè)聯(lián)結(jié)軛梁(31)所組成，轉(zhuǎn)鼓(1)上的驅(qū)動(dòng)軸(11)和用于光學(xué)閱讀及重顯裝置(2)的移動(dòng)軸(23)支承在兩個(gè)側(cè)壁(31a，31b)上，其中一個(gè)側(cè)壁(31a)上安置著帶有變速器(12)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的裝置，其特征在于，它具有一個(gè)用做減振器(50a，50b，50c，50d)的壓簧，壓簧中央設(shè)有阻尼件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的裝置，其特征在于，減振器(50a，50b，50c，50d)是機(jī)械式的吸收振動(dòng)能量的阻尼器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中之任一項(xiàng)的裝置，其特征在于，減振器(50a，50b，50c，50d)是成對(duì)地安裝在框架(3)的兩側(cè)壁(31a，31b)上的。
6.根據(jù)權(quán)利要求4的裝置，其特征在于，經(jīng)兩側(cè)壁(31a，31b)各兩個(gè)減振器(50a和50c，50b和50d)底部的連線(Aa，Ab)，與經(jīng)振動(dòng)系統(tǒng)的質(zhì)心S的水平線B相交。
全文摘要
一種用于對(duì)原圖樣掃描以及對(duì)敷有光敏材料的載體進(jìn)行曝光的裝置，其放置待掃描的原圖樣或薄膜材料的轉(zhuǎn)鼓及驅(qū)動(dòng)裝置連同沿轉(zhuǎn)鼓徑向裝置的閱讀和重顯頭安裝在一個(gè)框架上，框架經(jīng)減振器與機(jī)架固接而得以自由振動(dòng)。振動(dòng)由減振器進(jìn)行阻尼衰減。轉(zhuǎn)鼓和光學(xué)閱讀及重顯裝置成整體地振動(dòng)，使可能出現(xiàn)的無法控制的微小振動(dòng)不會(huì)使原圖樣的像點(diǎn)變形。
文檔編號(hào)G06K9/26GK1101444SQ9410271
公開日1995年4月12日 申請(qǐng)日期1994年3月12日 優(yōu)先權(quán)日1993年3月13日
發(fā)明者彼得·貝爾納 申請(qǐng)人:呂歇機(jī)械制造股份公司