本技術(shù)屬于圖像檢測，尤其涉及一種圖形匹配方法、裝置、設(shè)備、計算機存儲介質(zhì)及程序產(chǎn)品。

背景技術(shù)：

1、目前在半導(dǎo)體集成電路制造工藝中，前期芯片設(shè)計版圖中通常會存在導(dǎo)致制備缺陷的圖形存在。為了避免實際芯片制備過程中出現(xiàn)缺陷的情況，制備廠商需要在制備前對芯片設(shè)計版圖進(jìn)行缺陷檢測和修正。然而，在實際缺陷檢測場景下，涉及的芯片設(shè)計版圖仿真、缺陷檢測以及圖形修正等操作往往需要消耗較多硬件以及時間資源。如果每次對一張全新的芯片設(shè)計版圖進(jìn)行重復(fù)的操作，將對生產(chǎn)效率造成極大制約。

2、現(xiàn)有技術(shù)為了提高芯片設(shè)計版圖缺陷檢測的效率，提出了一種解決方案，即：考慮到類似的缺陷通常由類似的一個或者多個圖形(圖形組)引起的。在類似功能的芯片設(shè)計版圖中，通常也會存在相似的圖形。因此，在同類型的芯片設(shè)計版圖中，可能存在類似的缺陷和引起缺陷對應(yīng)的圖形組?；诖耍梢酝ㄟ^建立包含已有缺陷對應(yīng)的圖形組和修正方案的圖形庫來提高缺陷檢測和修正的效率。如此，在后續(xù)的芯片版圖缺陷修正中，只需將芯片設(shè)計版圖中的待修正圖形組與圖形庫中的圖形組進(jìn)行匹配，再獲取與其匹配成功的圖形組對應(yīng)的修正方案，即可快速完成對當(dāng)前芯片設(shè)計版圖的缺陷修正。

3、然而，如何有效實現(xiàn)圖形組間的快速準(zhǔn)確匹配，以便后續(xù)根據(jù)圖形組匹配結(jié)果來實現(xiàn)芯片設(shè)計版圖的高效缺陷檢測，是當(dāng)今業(yè)界仍然亟待解決的熱點問題之一。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本技術(shù)實施例提供一種圖形匹配方法、裝置、設(shè)備、計算機存儲介質(zhì)及程序產(chǎn)品，能夠?qū)崿F(xiàn)快速、準(zhǔn)確地實現(xiàn)對不同圖形組間的模糊匹配。

2、第一方面，本技術(shù)實施例提供一種圖形匹配方法，該圖形匹配方法包括：

3、獲取待匹配的第一圖形組和參考圖形庫中的第二圖形組，參考圖形庫中存儲至少一個參考圖形組，第二圖形組為至少一個參考圖形組中的任一圖形組；第一圖形組包括m個第一圖形，第二圖形組包括n個第二圖形，m、n為正整數(shù)；

4、分別計算m個第一圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、累計轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)的簡單特征值以及簡單特征值對應(yīng)的目標(biāo)空間操作；

5、基于m個第一圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、簡單特征值以及目標(biāo)空間操作，確定第一圖形組與第二圖形組的匹配圖形數(shù)量；

6、基于匹配圖形數(shù)量，確定第一圖形組和第二圖形組之間的圖形組匹配結(jié)果；其中，圖形組匹配結(jié)果用于表征第一圖形組和第二圖形組是否為模糊匹配關(guān)系。

7、在一些可能的實施方式中，簡單特征值為周長歸一化處理后的圖形在目標(biāo)空間操作下的離散累計轉(zhuǎn)角函數(shù)積分；

8、目標(biāo)空間操作為q種空間操作中使得簡單特征值的取值最小或最大的空間操作，q為正整數(shù)；q種空間操作包括：將圖形旋轉(zhuǎn)不同的設(shè)定角度，和/或?qū)D形鏡像翻轉(zhuǎn)后旋轉(zhuǎn)不同的設(shè)定角度。

9、在一些可能的實施方式中，基于m個第一圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、簡單特征值以及目標(biāo)空間操作，確定第一圖形組與第二圖形組的匹配圖形數(shù)量，包括：

10、從第一圖形組中選取當(dāng)前遍歷圖形；

11、基于當(dāng)前遍歷圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、簡單特征值以及目標(biāo)空間操作，將當(dāng)前遍歷圖形與第二圖形組中的至少部分圖形進(jìn)行特征比對，若判斷第二圖形組中存在與當(dāng)前遍歷圖形匹配的第二圖形，則將匹配圖形數(shù)量的取值增加1，直至第一圖形組中的圖形遍歷完成；

12、得到第一圖形組與第二圖形組的匹配圖形數(shù)量。

13、在一些可能的實施方式中，將當(dāng)前遍歷圖形與第二圖形組中的至少部分圖形進(jìn)行特征比對，若判斷第二圖形組中存在與當(dāng)前遍歷圖形匹配的第二圖形，則將匹配圖形數(shù)量的取值增加1，直至第一圖形組中的圖形遍歷完成，包括：

14、當(dāng)前遍歷圖形為第一圖形組中的第i個第一圖形，i的初始值為1，i≤m，i為正整數(shù)；通過循環(huán)執(zhí)行以下步驟，直至第一圖形組中的圖形遍歷完成：

15、基于第i個第一圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的第一特征項，從第二圖形組中篩選得到x個第二圖形；x個第二圖形中任一圖形的第一特征項與第i個第一圖形的第一特征項之間的差異小于第一差異閾值，x≤n，x為非負(fù)整數(shù)；

16、在x＝0的情況下，將i更新為i+1；

17、在x≠0的情況下，將第i個第一圖形的第二特征項與x個第二圖形中的至少部分圖形的第二特征項依次進(jìn)行比較，直至在x個第二圖形中匹配得到目標(biāo)圖形；目標(biāo)圖形的第二特征項與第i個第一圖形的第二特征項之間的差異小于第二差異閾值；

18、在目標(biāo)圖形的目標(biāo)空間操作與第i個第一圖形的目標(biāo)空間操作一致的情況下，確定第i個第一圖形與目標(biāo)圖形匹配，將匹配圖形數(shù)量的取值增加1，并將i更新為i+1；

19、在目標(biāo)圖形的目標(biāo)空間操作與第i個第一圖形的目標(biāo)空間操作不一致的情況下，返回將第i個第一圖形的第二特征項與x個第二圖形中的至少部分圖形的第二特征項依次進(jìn)行比較的步驟，直至第i個第一圖形對x個第二圖形的遍歷結(jié)束，將i更新為i+1；

20、在x個第二圖形中不存在目標(biāo)圖形的情況下，將i更新為i+1；

21、其中，第一特征項為最小包圍框和簡單特征值中的其中一項，第二特征項為最小包圍框和簡單特征值中的另一項。

22、在一些可能的實施方式中，該圖形匹配方法還包括：

23、在匹配圖形數(shù)量的取值為零、且目標(biāo)圖形為首次匹配得到的情況下，若判斷目標(biāo)圖形的目標(biāo)空間操作與第i個第一圖形的目標(biāo)空間操作不一致，則按照第i個第一圖形的目標(biāo)空間操作，對第二圖形組中的圖形進(jìn)行統(tǒng)一空間變換；

24、以及，更新第二圖形組中n個第二圖形的目標(biāo)空間操作，將匹配圖形數(shù)量的取值增加1，并將i更新為i+1；

25、其中，統(tǒng)一空間變換后的目標(biāo)圖形的目標(biāo)空間操作與第i個第一圖形的目標(biāo)空間操作一致。

26、在一些可能的實施方式中，基于匹配圖形數(shù)量，確定第一圖形組和第二圖形組之間的圖形組匹配結(jié)果，包括：

27、在匹配圖形數(shù)量小于第一設(shè)定閾值的情況下，得到用于表征第一圖形組和第二圖形組不為模糊匹配關(guān)系的圖形組匹配結(jié)果；

28、在匹配圖形數(shù)量大于或等于第一設(shè)定閾值的情況下，根據(jù)第一匹配圖形組中圖形之間的相對位置關(guān)系和第二匹配圖形組中圖形之間的相對位置關(guān)系對匹配圖形數(shù)量進(jìn)行處理，得到最終圖形匹配數(shù)量；第一匹配圖形組中的k個第一圖形與第二匹配圖形組中的k個第二圖形一一匹配對應(yīng)，k的取值為匹配圖形數(shù)量；

29、在最終圖形匹配數(shù)量小于第一設(shè)定閾值的情況下，得到用于表征第一圖形組和第二圖形組不為模糊匹配關(guān)系的圖形組匹配結(jié)果；

30、在最終圖形匹配數(shù)量大于或等于第一設(shè)定閾值的情況下，得到用于表征第一圖形組和第二圖形組為模糊匹配關(guān)系的圖形組匹配結(jié)果。

31、在一些可能的實施方式中，根據(jù)第一匹配圖形組中圖形之間的相對位置關(guān)系和第二匹配圖形組中圖形之間的相對位置關(guān)系對匹配圖形數(shù)量進(jìn)行削減，得到最終圖形匹配數(shù)量，包括：

32、獲取第一匹配圖形組中任兩個第一圖形之間的第一相對位置關(guān)系和第二匹配圖形組中對應(yīng)的兩個第二圖形之間的第二相對位置關(guān)系；

33、以第一匹配圖形組為基準(zhǔn)，從k個第一圖形中篩選出使得第一相對位置關(guān)系和第二相對位置關(guān)系相符的f個第一圖形，

34、或者，以第二匹配圖形組為基準(zhǔn)，從k個第二圖形中篩選出使得第一相對位置關(guān)系和第二相對位置關(guān)系相符的f個第二圖形，f的取值等于最終圖形匹配數(shù)量。

35、在一些可能的實施方式中，在分別計算m個第一圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、累計轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)的簡單特征值以及簡單特征值對應(yīng)的目標(biāo)空間操作之前，該圖形匹配方法還包括：

36、獲取第一圖形組中的圖形數(shù)量m和第二圖形組中的圖形數(shù)量n之間的圖形數(shù)量差異；

37、分別計算m個第一圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、累計轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)的簡單特征值以及簡單特征值對應(yīng)的目標(biāo)空間操作，包括：

38、在圖形數(shù)量差異小于第二設(shè)定閾值的情況下，分別計算m個第一圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、簡單特征值以及目標(biāo)空間操作。

39、在一些可能的實施方式中，在獲取待匹配的第一圖形組和參考圖形庫中的第二圖形組之前，該圖形匹配方法還包括：

40、獲取多個候選圖形組中各候選圖形組所包含的候選圖形；候選圖形組中包括至少一個候選圖形；

41、基于多個候選圖形對應(yīng)的與累計轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)的簡單特征值，對多個候選圖形進(jìn)行模糊聚類，得到至少一個聚類圖形組；

42、基于至少一個聚類圖形組中候選圖片對應(yīng)的候選圖形組，確定多個候選圖形組的模糊分類結(jié)果；

43、基于模糊分類結(jié)果，從多個候選圖形組中篩選出至少一個參考圖形組，并將參考圖形組存儲至參考圖形庫中；其中，至少一個參考圖形組中各參考圖形組歸屬于不同的圖形組分類。

44、在一些可能的實施方式中，基于至少一個聚類圖形組中候選圖片對應(yīng)的候選圖形組，確定多個候選圖形組的模糊分類結(jié)果，包括：

45、若目標(biāo)聚類圖形組中存在歸屬于不同候選圖形組的第一候選圖形和第二候選圖形，則對多個候選圖形組中的第一候選圖形組和多個候選圖形組中的第二候選圖形組中的候選圖形進(jìn)行兩兩匹配，得到模糊分類結(jié)果；

46、其中，目標(biāo)聚類圖形組為至少一個聚類圖形組中的任一聚類圖形組，第一候選圖形組為第一候選圖形所屬的候選圖形組，第二候選圖形組為第二候選圖形所屬的候選圖形組。

47、在一些可能的實施方式中，參考圖形庫中還存儲與至少一個參考圖形組中各參考圖形組對應(yīng)的缺陷修正方案，在基于匹配圖形數(shù)量，確定第一圖形組和第二圖形組之間的圖形組匹配結(jié)果之后，該圖形匹配方法還包括：

48、在圖形組匹配結(jié)果表征第一圖形組和第二圖形組為模糊匹配關(guān)系的情況下，從參考圖形庫中獲取第二圖形組對應(yīng)的缺陷修正方案，以對第一圖形組進(jìn)行缺陷修正；

49、在圖形組匹配結(jié)果表征第一圖形組和第二圖形組不為模糊匹配關(guān)系的情況下，接收外部輸入的第一圖形組對應(yīng)的缺陷修正方案；

50、將第一圖形組及其對應(yīng)的缺陷修正方案存儲至參考圖形庫中。

51、基于相同的發(fā)明構(gòu)思，第二方面，本技術(shù)實施例提供了一種圖形匹配裝置，該圖形匹配裝置包括：

52、第一獲取模塊，用于獲取待匹配的第一圖形組和參考圖形庫中的第二圖形組，參考圖形庫中存儲至少一個參考圖形組，第二圖形組為至少一個參考圖形組中的任一圖形組；第一圖形組包括m個第一圖形，第二圖形組包括n個第二圖形，m、n為正整數(shù)；

53、第一計算模塊，用于分別計算m個第一圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、累計轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)的簡單特征值以及簡單特征值對應(yīng)的目標(biāo)空間操作；

54、第一確定模塊，用于基于m個第一圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、簡單特征值以及目標(biāo)空間操作，確定第一圖形組與第二圖形組的匹配圖形數(shù)量；

55、第二確定模塊，用于基于匹配圖形數(shù)量，確定第一圖形組和第二圖形組之間的圖形組匹配結(jié)果；其中，圖形組匹配結(jié)果用于表征第一圖形組和第二圖形組是否為模糊匹配關(guān)系。

56、第三方面，本技術(shù)實施例提供了一種圖形匹配設(shè)備，該圖形匹配設(shè)備包括：

57、處理器以及存儲有計算機程序指令的存儲器；

58、所述處理器執(zhí)行所述計算機程序指令時實現(xiàn)如上述本技術(shù)實施例中任意一項提供的圖形匹配方法。

59、第四方面，本技術(shù)實施例提供了一種計算機存儲介質(zhì)，該計算機可讀存儲介質(zhì)上存儲有計算機程序指令，所述計算機程序指令被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如上述本技術(shù)實施例中任意一項提供的圖形匹配方法。

60、第五方面，本技術(shù)實施例提供了一種計算機程序產(chǎn)品，計算機程序產(chǎn)品中的指令由電子設(shè)備的處理器執(zhí)行時，使得所述電子設(shè)備執(zhí)行如上述本技術(shù)實施例中任意一項提供的圖形匹配方法。

61、本技術(shù)實施例提供的一種圖形匹配方法、裝置、設(shè)備、計算機存儲介質(zhì)及程序產(chǎn)品，通過獲取待匹配的第一圖形組和參考圖形庫中的第二圖形組，再分別計算第一圖形組中的m個第一圖形和第二圖形組中的n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、累計轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)的簡單特征值以及簡單特征值對應(yīng)的目標(biāo)空間操作。如此，再基于m個第一圖形和n個第二圖形中各圖形對應(yīng)的最小包圍框、簡單特征值以及目標(biāo)空間操作進(jìn)行圖形比對，從而確定第一圖形組與第二圖形組的匹配圖形數(shù)量。最后，基于匹配圖形數(shù)量，確定第一圖形組和第二圖形組之間是否為模糊匹配關(guān)系。

62、通過上述描述可知，本技術(shù)實施例的一種圖形匹配方法、裝置、設(shè)備、計算機存儲介質(zhì)及程序產(chǎn)品，為了提高兩個圖形組之間的模糊匹配，提出采用基于圖形的累計轉(zhuǎn)角函數(shù)所關(guān)聯(lián)的簡單特征值實現(xiàn)圖形間的輪廓匹配、通過最小包圍框?qū)D形間的尺寸大小進(jìn)行匹配，以及通過對比圖形簡單特征值對應(yīng)的目標(biāo)空間操作來實現(xiàn)對圖形空間操作的比對，從而最終比對得到第一圖像組和第二圖像組之間的匹配圖形數(shù)量，最后可根據(jù)該匹配圖形數(shù)量確定圖形組間是否為模糊匹配關(guān)系。通過采用本技術(shù)實施例的圖形匹配方法、裝置、設(shè)備、計算機存儲介質(zhì)及程序產(chǎn)品，能夠快速準(zhǔn)確地實現(xiàn)圖形組中單個或多個圖形間的模糊匹配，從而能夠有效提升版圖匹配效率以及整體芯片設(shè)計版圖的缺陷檢測修正效率。