本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2012年12月4日、發(fā)明名稱為“樹脂固化膜圖案的形成方法、感光性樹脂組合物、感光性元件、觸摸面板的制造方法及樹脂固化膜”的中國申請(qǐng)?zhí)枮?01280059872.4的分案申請(qǐng)。

本發(fā)明涉及樹脂固化膜圖案的形成方法、感光性樹脂組合物、感光性元件、觸摸面板的制造方法及樹脂固化膜。

背景技術(shù)：

從個(gè)人電腦或電視的大型電子設(shè)備到汽車導(dǎo)航、手機(jī)、電子詞典等小型電子設(shè)備以及oa/fa設(shè)備等的顯示設(shè)備中都要使用液晶顯示元件或觸摸面板(觸摸傳感器)。這些液晶顯示元件或觸摸面板中設(shè)有由透明導(dǎo)電電極材料構(gòu)成的電極。作為透明導(dǎo)電電極材料，已知有ito(銦錫氧化物)、氧化銦及氧化錫，這些材料由于顯示高的可見光透射率，因此作為液晶顯示元件用基板等的電極材料成為主流。

觸摸面板已經(jīng)實(shí)用化了各種方式，近年來靜電電容方式的觸摸面板的利用不斷發(fā)展。靜電電容方式觸摸面板中，當(dāng)作為導(dǎo)電體的指尖接觸到觸摸輸入面時(shí)，指尖與導(dǎo)電膜之間發(fā)生靜電電容耦合，形成電容器。因此，靜電電容方式觸摸面板通過捕捉指尖接觸位置處的電荷變化來檢測(cè)其坐標(biāo)。

特別是投影型靜電電容方式的觸摸面板，由于可進(jìn)行指尖的多點(diǎn)檢測(cè)，因此具備可進(jìn)行復(fù)雜的指示這一良好的操作性，因其操作性的優(yōu)良，作為手機(jī)或便攜式音樂播放器等具有小型顯示裝置的設(shè)備中的顯示面上的輸入裝置的利用不斷發(fā)展。

一般來說，投影型靜電電容方式的觸摸面板中，為了表現(xiàn)利用x軸和y軸的2維坐標(biāo)，多個(gè)x電極和與該x電極正交的多個(gè)y電極形成2層結(jié)構(gòu)，作為該電極，使用ito(銦錫氧化物)。

但是，由于觸摸面板的邊框區(qū)域是無法檢測(cè)觸摸位置的區(qū)域，因此將其邊框區(qū)域的面積變窄是用于提高產(chǎn)品價(jià)值的重要要素。在邊框區(qū)域上，為了傳送觸摸位置的檢測(cè)信號(hào)，需要金屬配線，而為了謀求邊框面積的狹小化，需要將金屬配線的寬度變窄。由于ito的導(dǎo)電性不夠高，因此通常金屬配線由銅形成。

但是，上述那樣的觸摸面板在被指尖接觸時(shí)，有時(shí)水分或鹽分等腐蝕成分會(huì)從傳感區(qū)域侵入到內(nèi)部。腐蝕成分侵入到觸摸面板的內(nèi)部時(shí)，金屬配線會(huì)腐蝕，有可能發(fā)生電極與驅(qū)動(dòng)用電路間的電阻的增加或者斷線。

為了防止金屬配線的腐蝕，公開了在金屬上形成有絕緣層的靜電電容方式的投影型觸摸面板(例如專利文獻(xiàn)1)。該觸摸面板中，利用等離子體化學(xué)氣相沉積法(等離子體cvd法)在金屬上形成二氧化硅層，防止了金屬的腐蝕。但是，由于該手法使用等離子體cvd法，因此存在需要高溫處理而使基材受到限定、制造成本變高等問題。

另外，作為在所需位置上設(shè)置抗蝕劑膜的方法，已知有在規(guī)定的基材上設(shè)置由感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層、并將該感光層進(jìn)行曝光、顯影的方法(例如專利文獻(xiàn)2～4)。另外，在專利文獻(xiàn)5及6中公開了通過上述方法形成觸摸面板的保護(hù)膜。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2011-28594號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開平7-253666號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特開2005-99647號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)4：日本特開平11-133617號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)5：日本特開2010-27033號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)6：日本特開2011-232584號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

利用感光性樹脂組合物制作保護(hù)膜與等離子體cvd法相比，可期待成本的縮減。但是，在觸摸面板用電極上形成保護(hù)膜時(shí)，如果樹脂膜的厚度大，則有時(shí)在有膜的位置和沒有膜的位置上高度差明顯。為此，優(yōu)選使保護(hù)膜盡可能地薄。

但是，本發(fā)明人們發(fā)現(xiàn)，在基材上將由感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層以厚度10μm以下形成、通過將該感光層進(jìn)行曝光、顯影來布圖時(shí)，具有析像度降低的傾向。此外，對(duì)于上述專利文獻(xiàn)5或6記載的感光性樹脂組合物，雖然可以形成薄的膜且透明性高的保護(hù)膜，但在形成圖案上還有改善的余地。

本發(fā)明的目的在于提供即使是薄的膜也可以以充分的析像度形成樹脂固化膜圖案的樹脂固化膜圖案的形成方法、可以在基材上形成即使是薄的膜也具有良好圖案形狀的樹脂固化膜的感光性樹脂組合物、感光性元件、觸摸面板的制造方法及樹脂固化膜。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題，本發(fā)明人們進(jìn)行潛心研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過使用含有特定的粘合劑聚合物、光聚合性化合物以及特定的光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物，即使在以10μm以下的厚度形成感光層時(shí)也具有充分的分辨率、可以形成良好的樹脂固化膜圖案，從而完成了本發(fā)明。

本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法的特征在于，其具備：在基材上設(shè)置由含有酸值為75mgkoh/g以上且具有羧基的粘合劑聚合物、光聚合性化合物以及光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物構(gòu)成、并且厚度為10μm以下的感光層的第1工序；通過活性光線的照射使感光層的規(guī)定部分固化的第2工序；以及除去所述感光層的規(guī)定部分以外的部分、形成所述感光層的規(guī)定部分的固化膜圖案的第3工序，其中，所述感光性樹脂組合物含有肟酯化合物和/或膦氧化物化合物作為所述光聚合引發(fā)劑。

根據(jù)本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法，可以在基材上形成即使是厚度為10μm以下的薄的膜也具有充分的分辨率的樹脂固化膜圖案。

對(duì)于通過本發(fā)明的方法發(fā)揮上述效果的理由，本發(fā)明人們?nèi)缦驴紤]。首先，對(duì)于感度降低的要因，本發(fā)明人們認(rèn)為這是由于，如果感光層的厚度變小，則容易受到來自基材的光散射的影響，產(chǎn)生光暈。在本發(fā)明中，本發(fā)明人們推測(cè)，由于肟酯化合物中所含的肟部位或者膦氧化物化合物中所含的膦氧化物部位具有比較高的光分解效率且具有一點(diǎn)點(diǎn)的漏光不會(huì)分解的適度閾值，因此由漏光產(chǎn)生的影響得以抑制，其結(jié)果是獲得了充分的分辨率。

本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法中，從進(jìn)一步提高析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選上述感光性樹脂組合物進(jìn)一步含有紫外線吸收劑。通過含有紫外線吸收劑，可以吸收感光層內(nèi)的漏光。

從抑制因漏光導(dǎo)致的肟酯化合物或者膦氧化物化合物的分解、進(jìn)一步提高析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，上述紫外線吸收劑優(yōu)選是在360nm以下的波長區(qū)域具有最大吸收波長的物質(zhì)。

另外，從進(jìn)一步提高析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，上述感光層的365nm處的吸光度優(yōu)選為0.4以下、334nm處的吸光度優(yōu)選為0.4以上。通過感光層具有上述的吸光特性，變得更容易吸收漏光，可以抑制因漏光導(dǎo)致的肟酯化合物或者膦氧化物化合物的分解。

另外，本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法中，上述感光層優(yōu)選400～700nm下的可見光透射率的最小值為85％以上。

在形成觸摸面板用電極的保護(hù)膜等情況下，如果考慮到觸摸面板的視覺辨認(rèn)性或美觀性，則優(yōu)選樹脂固化膜的透明性更高。但是在現(xiàn)有的感光性樹脂組合物中，由于主要使用利用從紫外區(qū)域到可見光區(qū)域的光的光反應(yīng)，因此多使用吸收波及到可見光區(qū)域的光引發(fā)劑成分。另外，需要顏料或染料的用途的情況也多，難以確保透明性。與此相對(duì)，根據(jù)本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法，通過設(shè)置上述特定的感光層并進(jìn)行活性光線的照射，即使在感光層的可見光透射率的最小值為85％以上時(shí)，也可以獲得充分的析像度。

另外，上述感光層優(yōu)選cielab表色系中的b^*為-0.2～1.0。

此時(shí)，即使在觸摸面板的位于觸摸傳感器區(qū)域的電極上形成樹脂固化膜圖案作為保護(hù)膜時(shí)，也可以充分防止視覺辨認(rèn)性或美觀性受損。

本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法中，可以是上述基材具備觸摸面板用電極、形成樹脂固化膜圖案作為該電極的保護(hù)膜。

另外，本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法中，可以準(zhǔn)備具備支撐膜和設(shè)置在該支撐膜上的由所述感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層的感光性元件、將該感光性元件的感光層轉(zhuǎn)印在所述基材上來設(shè)置感光層。此時(shí)，通過使用感光性元件，可以簡便地形成膜厚均勻的保護(hù)膜。

本發(fā)明還提供一種用于形成10μm以下厚度的樹脂固化膜圖案的感光性樹脂組合物，其含有酸值為75mgkoh/g以上且具有羧基的粘合劑聚合物、光聚合性化合物以及光聚合引發(fā)劑，所述光聚合引發(fā)劑包含肟酯化合物和/或膦氧化物化合物。

根據(jù)本發(fā)明的感光性樹脂組合物，可以在規(guī)定的觸摸面板用電極上形成即使是薄的膜也具有良好的圖案形狀的保護(hù)膜。

本發(fā)明的感光性樹脂組合物從進(jìn)一步提高析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選進(jìn)一步含有紫外線吸收劑。

另外，從進(jìn)一步提高析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選上述紫外線吸收劑是在360nm以下的波長區(qū)域具有最大吸收波長的物質(zhì)。

另外，從進(jìn)一步提高析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，365nm處的吸光度優(yōu)選為0.4以下、334nm處的吸光度優(yōu)選為0.4以上。

從充分確保觸摸面板的視覺辨認(rèn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選在400～700nm下的可見光線透射率的最小值為85％以上。

另外，從進(jìn)一步提高觸摸面板的視覺辨認(rèn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選cielab表色系中的b^*為-0.2～1.0。

本發(fā)明還提供一種感光性元件，其具備支撐膜和設(shè)置在該支撐膜上的由上述本發(fā)明的感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層。

根據(jù)本發(fā)明的感光性元件，可以在規(guī)定的觸摸面板用電極上形成即使是薄的膜也具有良好的圖案形狀的保護(hù)膜。

上述感光層的厚度可以為10μm以下。

本發(fā)明還提供一種觸摸面板的制造方法，其具備在具有觸摸面板用電極的基材上通過上述本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法形成作為覆蓋所述電極的一部分或全部的保護(hù)膜的樹脂固化膜圖案的工序。

本發(fā)明還提供由上述本發(fā)明的感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的樹脂固化膜。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供可形成即使是薄的膜也具有充分的析像度的樹脂固化膜圖案的樹脂固化膜圖案的形成方法、可以在觸摸面板用電極上形成即使是薄的膜也具有良好圖案形狀的樹脂固化膜的感光性樹脂組合物、感光性元件、觸摸面板的制造方法及樹脂固化膜。

另外，本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法可以適合于觸摸面板用電極的保護(hù)膜等那樣需要利用薄膜來保護(hù)的電子部件的保護(hù)膜、特別是靜電電容式觸摸面板的金屬電極的保護(hù)膜的形成。

附圖說明

圖1為表示本發(fā)明的感光性元件的一個(gè)實(shí)施方式的示意截面圖。

圖2為用于說明本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法的一個(gè)實(shí)施方式的示意截面圖。

圖3為表示靜電電容式的觸摸面板的一例的示意俯視圖。

圖4為表示靜電電容式的觸摸面板的另一例的示意俯視圖。

圖5(a)為圖3所示c部分的沿v-v線的部分截面圖，圖5(b)為表示另一方案的部分截面圖。

具體實(shí)施方式

以下對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行詳細(xì)說明。但本發(fā)明并不限定于以下的實(shí)施方式。此外，本說明書中，(甲基)丙烯酸是指丙烯酸或者甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯或者與其對(duì)應(yīng)的甲基丙烯酸酯，(甲基)丙烯?；侵副；蛘呒谆；?。另外，(聚)氧化乙烯鏈?zhǔn)侵秆趸蚁┗蛘呔垩趸蚁┗?聚)氧化丙烯鏈?zhǔn)侵秆趸┗蛘呔垩趸┗?/p>

另外，本說明書中“工序”的用語不僅是指獨(dú)立的工序，在與其它工序無法明確區(qū)別時(shí)，只要能實(shí)現(xiàn)該工序所預(yù)期的作用則也包括在本用語中。另外，本說明書中用“～”表示的數(shù)值范圍是指將“～”前后記載的數(shù)值分別作為最小值及最大值包括在內(nèi)的范圍。

此外，本說明書中，組合物中的各成分的含量在組合物中含有多個(gè)相當(dāng)于各成分的物質(zhì)時(shí)，如果沒有特別說明則是指組合物中存在的該多個(gè)物質(zhì)的合計(jì)量。

圖1為表示本發(fā)明的感光性元件的一個(gè)實(shí)施方式的示意截面圖。圖1所示的感光性元件1由支撐膜10、設(shè)置在支撐膜10上的由本發(fā)明的感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層20、以及設(shè)置在感光層20的與支撐膜10相反側(cè)上的保護(hù)膜30構(gòu)成。

本實(shí)施方式的感光性元件優(yōu)選用于形成觸摸面板用電極的保護(hù)膜。

本說明書中，觸摸面板用電極不僅包含位于觸摸面板的傳感區(qū)域上的電極，而且也包含邊框區(qū)域的金屬配線。要設(shè)置保護(hù)膜的電極可以是其中任意一者，也可以是兩者。

作為支撐膜10，可以使用聚合物膜。作為聚合物膜，例如可舉出由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯、聚醚砜等構(gòu)成的膜。

支撐膜10的厚度從確保被覆性和抑制透過支撐膜10照射活性光線時(shí)的析像度降低的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5～100μm、更優(yōu)選為10～70μm、進(jìn)一步優(yōu)選為15～40μm、特別優(yōu)選為20～35μm。

構(gòu)成感光層20的本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有酸值為75mgkoh/g以上且具有羧基的粘合劑聚合物(以下也稱為(a)成分)、光聚合性化合物(以下也稱為(b)成分)以及光聚合引發(fā)劑(以下也稱為(c)成分)，光聚合引發(fā)劑包含肟酯化合物和/或膦氧化物化合物。

本實(shí)施方式中，(a)成分優(yōu)選是含有來自于(a)(甲基)丙烯酸以及(b)(甲基)丙烯酸烷基酯的結(jié)構(gòu)單元的共聚物。

作為上述(甲基)丙烯酸烷基酯，例如可以舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯以及(甲基)丙烯酸羥基乙酯。

上述共聚物還可以進(jìn)一步在結(jié)構(gòu)單元中含有可與上述的(a)成分和/或(b)成分發(fā)生共聚的其它單體。

作為可與上述的(a)成分和/或(b)成分發(fā)生共聚的其它單體，例如可以舉出(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸2,2,2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸2,2,3,3-四氟丙酯、(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯腈、二丙酮(甲基)丙烯酰胺、苯乙烯以及乙烯基甲苯。在合成作為(a)成分的粘合劑聚合物時(shí)，上述的單體可以單獨(dú)使用1種，也可以組合使用2種以上。

作為(a)成分的粘合劑聚合物的重均分子量從析像度的立場(chǎng)出發(fā)，優(yōu)選為10,000～200,000、更優(yōu)選為15,000～150,000、進(jìn)一步優(yōu)選為30,000～150,000、特別優(yōu)選為30,000～100,000、極其優(yōu)選為40,000～100,000。此外，重均分子量的測(cè)定條件設(shè)為與本申請(qǐng)說明書的實(shí)施例相同的測(cè)定條件。

作為(a)成分的粘合劑聚合物的酸值從圖案性優(yōu)異的方面出發(fā)，優(yōu)選為75～200mgkoh/g、更優(yōu)選為75～150mgkoh/g、進(jìn)一步優(yōu)選為75～120mgkoh/g。

作為(a)成分的粘合劑聚合物的酸值可以如下測(cè)定。

即，首先精密稱取作為酸值測(cè)定對(duì)象的粘合劑聚合物1g。在上述精密稱取的粘合劑聚合物中加入丙酮30g，將其均勻溶解。接著，在其溶液中滴加適量的作為指示劑的酚酞，使用0.1n的koh水溶液進(jìn)行滴定。然后，由下式算出酸值。

酸值＝0.1×vf×56.1/(wp×i/100)

式中，vf表示koh水溶液的滴定量(ml)，wp表示測(cè)得的含有粘合劑聚合物的溶液的重量(g)，i表示測(cè)得的含有粘合劑聚合物的溶液中的不揮發(fā)成分的比例(質(zhì)量％)。

此外，在將粘合劑聚合物以與合成溶劑或稀釋溶劑等揮發(fā)成分混合的狀態(tài)配合時(shí)，在精密稱取前預(yù)先在比揮發(fā)成分的沸點(diǎn)高10℃以上的溫度下加熱1～4小時(shí)以除去揮發(fā)成分后測(cè)定酸值。

作為(b)成分的光聚合性化合物，可以使用具有烯鍵式不飽和基團(tuán)的光聚合性化合物。

作為具有烯鍵式不飽和基團(tuán)的光聚合性化合物，例如可以舉出單官能乙烯基單體、二官能乙烯基單體、具有至少3個(gè)可聚合的烯鍵式不飽和基團(tuán)的多官能乙烯基單體。

作為上述單官能乙烯基單體，例如可以舉出作為在上述(a)成分的優(yōu)選例的共聚物的合成中使用的單體例示出的(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸烷基酯以及可與它們共聚的單體。

作為上述二官能乙烯基單體，例如可以舉出聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙酚a聚氧化乙烯聚氧化丙烯二(甲基)丙烯酸酯(2,2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基苯基)丙烷)、雙酚a二縮水甘油基醚二(甲基)丙烯酸酯、多元羧酸(苯二甲酸酐等)與具有羥基及烯鍵式不飽和基團(tuán)的物質(zhì)(丙烯酸β-羥基乙酯、甲基丙烯酸β-羥基乙酯等)的酯化物。

作為上述具有至少3個(gè)可聚合的烯鍵式不飽和基團(tuán)的多官能乙烯基單體，例如可以舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等使α,β-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而獲得的化合物；三羥甲基丙烷三縮水甘油基醚三丙烯酸酯等在含縮水甘油基的化合物上加成α,β-不飽和羧酸而獲得的化合物。

其中，優(yōu)選含有具有至少3個(gè)可聚合的烯鍵式不飽和基團(tuán)的多官能乙烯基單體。進(jìn)而，從電極腐蝕的抑制力以及顯影容易性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含有選自具有來自季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物、具有來自二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物以及具有來自三羥甲基丙烷的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物中的至少1種，更優(yōu)選含有選自具有來自二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物以及具有來自三羥甲基丙烷的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物中的至少1種。

這里，具有來自二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯是指二季戊四醇與(甲基)丙烯酸的酯化物，該酯化物中還包含用氧化烯基改性了的化合物。上述的酯化物優(yōu)選一分子中的酯鍵的數(shù)目為6，但也可以混合酯鍵的數(shù)目為1～5的化合物。

另外，上述具有來自三羥甲基丙烷的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物是指三羥甲基丙烷與(甲基)丙烯酸的酯化物，該酯化物中還包含用氧化烯基改性了的化合物。上述的酯化物優(yōu)選一分子中的酯鍵的數(shù)目為3，但也可以混合酯鍵的數(shù)目為1～2的化合物。

上述的化合物可以單獨(dú)使用1種或者組合使用2種以上。

在將分子內(nèi)具有至少3個(gè)可聚合的烯鍵式不飽和基團(tuán)的單體與單官能乙烯基單體或二官能乙烯基單體組合使用時(shí)，對(duì)使用的比例沒有特別限制，但從獲得光固化性以及電極腐蝕的抑制力的觀點(diǎn)出發(fā)，分子內(nèi)具有至少3個(gè)可聚合的烯鍵式不飽和基團(tuán)的單體的比例優(yōu)選相對(duì)于感光性樹脂組合物中所含的光聚合性化合物的合計(jì)量100質(zhì)量份為30質(zhì)量份以上、更優(yōu)選為50質(zhì)量份以上、進(jìn)一步優(yōu)選為75質(zhì)量份以上。

本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物中的(a)成分以及(b)成分的含量相對(duì)于(a)成分以及(b)成分的合計(jì)量100質(zhì)量份分別為：優(yōu)選(a)成分為35～85質(zhì)量份、(b)成分為15～65質(zhì)量份，更優(yōu)選(a)成分為40～80質(zhì)量份、(b)成分為20～60質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選(a)成分為50～70質(zhì)量份、(b)成分為30～50質(zhì)量份，特別優(yōu)選(a)成分為55～65質(zhì)量份、(b)成分為35～45質(zhì)量份。特別是從維持透明性、形成圖案的方面出發(fā)，(a)成分以及(b)成分的含量優(yōu)選相對(duì)于(a)成分以及(b)成分的合計(jì)量100質(zhì)量份、(a)成分為35質(zhì)量份以上、更優(yōu)選為40質(zhì)量份以上、進(jìn)一步優(yōu)選為50質(zhì)量份以上、特別優(yōu)選為55質(zhì)量份以上。

通過使(a)成分以及(b)成分的含量在上述范圍內(nèi)，可以充分確保涂布性或感光性元件中的膜性、并且獲得充分的感度，可以充分地確保光固化性、顯影性以及電極腐蝕的抑制力。

本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物中，作為(c)成分的光聚合引發(fā)劑，包含肟酯化合物和/或膦氧化物化合物作為必需成分。通過含有肟酯化合物和/或膦氧化物化合物，可以在基材上形成即使厚度為10μm以下的薄的膜也具有充分的析像度的樹脂固化膜圖案。另外，還可以形成透明性也優(yōu)異的樹脂固化膜圖案。

對(duì)于獲得上述效果的理由，本發(fā)明人們推測(cè)如下。首先，本發(fā)明人們認(rèn)為，對(duì)于感度降低的主要原因，如果感光層的厚度變小，則容易受到來自基材的光散射的影響，產(chǎn)生光暈。本實(shí)施方式中，由于肟酯化合物中所含的肟部位或者膦氧化物化合物中所含的膦氧化物部位具有比較高的光分解效率且具有一點(diǎn)點(diǎn)的漏光不會(huì)發(fā)生分解的適度閾值，因此由漏光產(chǎn)生的影響得以抑制，其結(jié)果是獲得了充分的分辨率。

作為肟酯化合物，可以舉出下述通式(c-1)以及通式(c-2)所示的化合物，從速固化性、透明性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選下述通式(c-1)所示的化合物。

上述通式(c-1)中，r¹表示碳數(shù)為1～12的烷基或者碳數(shù)為3～20的環(huán)烷基。另外，只要不損害本發(fā)明的效果，則也可以在上述通式(c-1)中的芳香環(huán)上具有取代基。

上述通式(c-1)中，r¹優(yōu)選是碳數(shù)為3～10的烷基或者碳數(shù)為4～15的環(huán)烷基，更優(yōu)選是碳數(shù)為4～8的烷基或者碳數(shù)為4～10的環(huán)烷基。

上述通式(c-2)中，r²表示氫原子或者碳數(shù)為1～12的烷基，r³表示碳數(shù)為1～12的烷基或者碳數(shù)為3～20的環(huán)烷基，r⁴表示碳數(shù)為1～12的烷基，r⁵表示碳數(shù)為1～20的烷基或者芳基。p1表示0～3的整數(shù)。此外，p1為2以上時(shí)，多個(gè)存在的r⁴可以彼此相同或不同。此外，咔唑上在不損害本發(fā)明效果的范圍內(nèi)可以具有取代基。

上述通式(c-2)中，r²優(yōu)選是碳數(shù)為1～12的烷基、更優(yōu)選是碳數(shù)為1～8的烷基、進(jìn)一步優(yōu)選是碳數(shù)為1～4的烷基。

上述通式(c-2)中，r³優(yōu)選是碳數(shù)為1～8的烷基或者碳數(shù)為4～15的環(huán)烷基、更優(yōu)選是碳數(shù)為1～4的烷基或者碳數(shù)為4～10的環(huán)烷基，特別優(yōu)選為乙基。

作為上述通式(c-1)所示的化合物，可以舉出1,2-辛二酮,1-[4-(苯基硫代)苯基-,2-(o-苯甲?；?]等。作為上述通式(c-2)所示的化合物，可以舉出乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9h-咔唑-3-基]-,1-(o-乙?；?等。1,2-辛二酮,1-[4-(苯基硫代)苯基-,2-(o-苯甲?；?]可以作為irgacureoxe01(basf株式會(huì)社制、商品名)獲得。另外，乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9h-咔唑-3-基]-,1-(o-乙?；?可以作為irgacureoxe02(basf株式會(huì)社制、商品名)從商業(yè)途徑獲得。它們可以單獨(dú)使用或者組合使用2種以上。

上述通式(c-1)中，特別是極其優(yōu)選1,2-辛二酮,1-[4-(苯基硫代)苯基-,2-(o-苯甲酰基肟)]。上述通式(c-2)中，特別是極其優(yōu)選乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9h-咔唑-3-基]-,1-(o-乙?；?。

作為上述膦氧化物化合物，可以舉出下述通式(c-3)以及通式(c-4)所示的化合物。從速固化性、透明性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選下述通式(c-3)所示的化合物。

上述通式(c-3)中，r⁶、r⁷以及r⁸各自獨(dú)立地表示碳數(shù)為1～20的烷基或者芳基。通式(c-4)中，r⁹、r¹⁰以及r¹¹各自獨(dú)立地表示碳數(shù)為1～20的烷基或者芳基。

上述通式(c-3)中的r⁶、r⁷或者r⁸是碳數(shù)為1～20的烷基時(shí)、以及上述通式(c-4)中的r⁹、r¹⁰或者r¹¹是碳數(shù)為1～20的烷基時(shí)，該烷基可以是直鏈狀、支鏈狀以及環(huán)狀中的任一種，另外，該烷基的碳數(shù)更優(yōu)選為5～10。

上述通式(c-3)中的r⁶、r⁷或者r⁸為芳基時(shí)、以及上述通式(c-4)中的r⁹、r¹⁰或者r¹¹為芳基時(shí)，該芳基也可以具有取代基。作為該取代基，例如可舉出碳數(shù)為1～6的烷基以及碳數(shù)為1～4的烷氧基。

其中，上述通式(c-3)優(yōu)選r⁶、r⁷以及r⁸為芳基。另外，上述通式(c-4)優(yōu)選r⁹、r¹⁰以及r¹¹為芳基。

作為上述通式(c-3)所示的化合物，從所形成的保護(hù)膜的透明性以及使膜厚為10μm以下時(shí)的圖案形成能力出發(fā)，優(yōu)選2,4,6-三甲基苯甲?；?二苯基-膦氧化物。2,4,6-三甲基苯甲?；?二苯基-膦氧化物例如可以作為lucirintpo(basf株式會(huì)社社制、商品名)從商業(yè)途徑獲得。

(c)成分還可以并用使用除肟酯化合物以及膦氧化物化合物以外的光引發(fā)劑。作為除肟酯化合物以及膦氧化物化合物以外的光聚合引發(fā)劑，例如可以舉出二苯甲酮、4-甲氧基-4’-二甲基氨基二苯甲酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-1、2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-嗎啉代-丙酮-1等芳香族酮；苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚化合物、苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；芐基二甲基縮酮等芐基衍生物；9-苯基吖啶、1,7-雙(9,9’-吖啶基)庚烷等吖啶衍生物；n-苯基甘氨酸、n-苯基甘氨酸衍生物；香豆素系化合物；噁唑系化合物。另外，還可以像二乙基噻噸酮和二甲基氨基苯甲酸的組合那樣將噻噸酮系化合物和叔胺化合物組合。

作為(c)成分的光聚合引發(fā)劑的含量相對(duì)于(a)成分以及(b)成分的合計(jì)量100質(zhì)量份優(yōu)選為0.1～20質(zhì)量份、更優(yōu)選為1～10質(zhì)量份、進(jìn)一步優(yōu)選為2～5質(zhì)量份。

(c)成分的含量從光感度以及分辨率優(yōu)異的方面出發(fā)，優(yōu)選為0.1質(zhì)量份以上，從可見光透射率優(yōu)異的方面出發(fā)，優(yōu)選為20質(zhì)量份以下。

本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物可以進(jìn)一步含有紫外線吸收劑(以下也稱為(d)成分)。紫外線吸收劑從反射光吸收的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選波長380nm以下的紫外線的吸收能力優(yōu)異、且從透明性的觀點(diǎn)出發(fā)、優(yōu)選波長400nm以上的可見光的吸收少的物質(zhì)。具體地說，最大吸收波長為360nm以下的紫外線吸收劑與其相當(dāng)。

作為紫外線吸收劑，例如可以舉出氧二苯甲酮系化合物、苯并三唑系化合物、水楊酸酯系化合物、二苯甲酮系化合物、二苯基丙烯酸酯系化合物、鎳絡(luò)合物系化合物。特別優(yōu)選的紫外線吸收劑是二苯基氰基丙烯酸酯類等二苯基丙烯酸酯系化合物。

作為(d)成分的紫外線吸收劑的含量相對(duì)于(a)成分以及(b)成分的合計(jì)量100質(zhì)量份優(yōu)選為0.1～30質(zhì)量份、更優(yōu)選為1～20質(zhì)量份、進(jìn)一步優(yōu)選為2～10質(zhì)量份。

(d)成分的含量從分辨率優(yōu)異的方面出發(fā)，優(yōu)選為0.1質(zhì)量份以上、從抑制在活性光線的照射時(shí)組合物的表面上的吸收增加而使得內(nèi)部的光固化變得不充分的方面出發(fā)，優(yōu)選為30質(zhì)量份以下。

本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物中，除了上述成分以外，還可以根據(jù)需要含有相對(duì)于(a)成分以及(b)成分的合計(jì)量100質(zhì)量份各自為0.01～20質(zhì)量份左右的硅烷偶聯(lián)劑等密合性賦予劑、流平劑、增塑劑、填充劑、消泡劑、阻燃劑、穩(wěn)定劑、抗氧化劑、香料、熱交聯(lián)劑、阻聚劑等。它們可以單獨(dú)使用或組合使用2種以上。

本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物優(yōu)選400～700nm下的可見光透射率的最小值為85％以上、更優(yōu)選為92％以上、進(jìn)一步優(yōu)選為95％以上。

這里，感光性樹脂組合物的可見光透射率如下求得。首先，在支撐膜上按照干燥后的厚度達(dá)到10μm以下的方式涂布含有感光性樹脂組合物的涂布液，通過將其干燥，形成感光性樹脂組合物層(感光層)。接著，按照感光性樹脂組合物層(感光層)與玻璃基板接觸的方式使用層壓機(jī)進(jìn)行層壓。這樣，獲得在玻璃基板上層疊有感光性樹脂組合物層以及支撐膜的測(cè)定用試樣。接著，對(duì)所得的測(cè)定用試樣照射紫外線，將感光性樹脂組合物層光固化后，使用紫外可見分光光度計(jì)對(duì)測(cè)定波長區(qū)域400～700nm下的透射率進(jìn)行測(cè)定。

另外，上述的優(yōu)選的透射率是指上述波長區(qū)域下的透射率的最小值。

如果在通常的可見光波長區(qū)域的光線即400～700nm的波長區(qū)域下的透射率為85％以上，則例如在保護(hù)觸摸面板(觸摸傳感器)的傳感區(qū)域的透明電極時(shí)、或者在保護(hù)觸摸面板(觸摸傳感器)的邊框區(qū)域的金屬層(例如ito電極上形成了銅層的層等)時(shí)從傳感區(qū)域的端部可見保護(hù)膜時(shí)，可以充分抑制傳感區(qū)域上的畫像顯示品質(zhì)、色調(diào)、亮度的降低。

另外，本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物優(yōu)選cielab表色系中的b^*為-0.2～1.0、更優(yōu)選為0.0～0.7、進(jìn)一步優(yōu)選為0.1～0.4。與可見光透射率的最小值為85％以上時(shí)同樣地從防止傳感區(qū)域的畫像顯示品質(zhì)、色調(diào)的降低的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選b^*為-0.2～0.8。此外，cielab表色系中的b^*的測(cè)定是例如使用konicaminolta制分光測(cè)色計(jì)“cm-5”、在b^*為0.1～0.2且厚度為0.7mm的玻璃基板上形成厚度為10μm以下的感光性樹脂組合物層、照射紫外線使感光性樹脂組合物層光固化后、設(shè)定在d65光源、視野角2°進(jìn)行測(cè)定而獲得上述b^*。

另外，從進(jìn)一步提高析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物優(yōu)選365nm處的吸光度為0.4以下。另外，334nm處的吸光度優(yōu)選為0.4以上。通過感光層具有上述的吸光特性，變得更容易吸收漏光，可以抑制因漏光導(dǎo)致的肟酯化合物或者膦氧化物化合物的分解。

上述吸光度可以使用uv分光光度計(jì)(株式會(huì)社日立制作所制、分光光度計(jì)u-3310)測(cè)定。測(cè)定通過在測(cè)定側(cè)放置在支撐膜上形成有由感光性樹脂組合物構(gòu)成的任意膜厚的感光層的感光性元件、在參照側(cè)放置支撐膜、根據(jù)吸光度模式在300～700nm間連續(xù)測(cè)定、讀取334nm、365nm處的值來進(jìn)行。

作為將吸光度調(diào)整在上述范圍的方法，例如可以舉出將肟酯化合物和/或膦氧化物化合物與紫外線吸收劑配合、或者控制感光層的膜厚等。

本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物可以用于在基材上形成感光層。例如可以制備能使感光性樹脂組合物均勻地溶解或分散于溶劑中獲得的涂布液，通過將其涂布在基材上而形成涂膜，通過干燥除去溶劑而形成感光層。

作為溶劑，從各成分的溶解性、涂膜形成的容易性等方面出發(fā)，可以使用酮、芳香族烴、醇、二醇醚、二醇烷基醚、二醇烷基醚醋酸酯、酯或二乙二醇。這些溶劑可以單獨(dú)使用1種，也可以制成由2種以上的溶劑構(gòu)成的混合溶劑來使用。

上述溶劑中，優(yōu)選使用乙二醇單丁基醚醋酸酯、二乙二醇單乙基醚醋酸酯、二乙二醇二乙醚、二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二甲基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚醋酸酯等。

本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物優(yōu)選像感光性元件那樣制成感光性膜來使用。通過將感光性膜層疊在具有觸摸面板用電極的基材上，可以容易地實(shí)現(xiàn)卷對(duì)卷工藝、可以縮短溶劑干燥工序等對(duì)制造工序的短縮和成本降低作出大的貢獻(xiàn)。

感光性元件1的感光層20可以通過制備含有本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物的涂布液、將其涂布在支撐膜10上并進(jìn)行干燥來形成。涂布液可以通過將上述的構(gòu)成本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物的各成分均勻地溶解或分散在溶劑中來獲得。

作為溶劑，沒有特別限制，可以使用公知的溶劑，例如可以舉出丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、甲苯、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、甲二醇、乙二醇、丙二醇、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二乙醚、丙二醇單甲基醚、乙二醇單丁基醚醋酸酯、二乙二醇單乙基醚醋酸酯、丙二醇單甲基醚醋酸酯、氯仿、二氯甲烷。這些溶劑可以單獨(dú)使用1種，也可以制成由2種以上的溶劑構(gòu)成的混合溶劑來使用。

作為涂布方法，例如可以舉出刮刀涂布法、線棒涂布法、輥涂布、絲網(wǎng)涂布法、旋涂法、噴墨涂布法、噴涂法、浸涂法、凹版涂布法、簾涂法、模涂法。

對(duì)干燥條件沒有特別限制，干燥溫度優(yōu)選設(shè)為60～130℃，干燥時(shí)間優(yōu)選設(shè)為0.5～30分鐘。

為了發(fā)揮對(duì)電極保護(hù)的充分效果、且盡可能減小由局部的電極保護(hù)膜形成所產(chǎn)生的觸摸面板(觸摸傳感器)表面的高度差，感光層的厚度以干燥后的厚度計(jì)優(yōu)選為1μm以上且9μm以下，更優(yōu)選為1μm以上且8μm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為2μm以上且8μm以下，特別優(yōu)選為3μm以上且8μm以下。

本實(shí)施方式中，感光層20的可見光線透射率的最小值優(yōu)選為85％以上、更優(yōu)選為92％以上、進(jìn)一步優(yōu)選為95％以上。另外，感光層20的cielab表色系中的b^*優(yōu)選為-0.2～1.0，更優(yōu)選為0.0～0.7，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1～0.4。

另外，感光層20的365nm處的吸光度優(yōu)選為0.4以下。另外，334nm處的吸光度優(yōu)選為0.4以上。

關(guān)于感光層20的粘度，在將感光性元件制成卷狀時(shí)，從防止感光性樹脂組合物從感光性元件1的端面滲出達(dá)1個(gè)月以上的方面以及防止在將感光性元件1切斷時(shí)由于感光性樹脂組合物的碎片附著于基板所引起的照射活性光線時(shí)的曝光不良或顯影殘余等的方面出發(fā)，在30℃下優(yōu)選為15～100mpa·s、更優(yōu)選為20～90mpa·s、進(jìn)一步優(yōu)選為25～80mpa·s。

另外，上述的粘度是如下得到的值：將由感光性樹脂組合物形成的直徑為7mm、厚度為2mm的圓形膜作為測(cè)定用試樣，測(cè)定沿該試樣的厚度方向、在30℃以及80℃下施加1.96×10^-2n的負(fù)荷時(shí)的厚度的變化速度，由該變化速度假定牛頓流體而換算成粘度。

作為保護(hù)膜30(覆膜)，例如可以舉出由聚乙烯、聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯-醋酸乙烯酯共聚物以及聚乙烯-醋酸乙烯酯共聚物與聚乙烯的層疊膜等構(gòu)成的膜。

保護(hù)膜30的厚度優(yōu)選為5～100μm左右，但從卷成卷狀進(jìn)行保管的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為70μm以下、更優(yōu)選為60μm以下、進(jìn)一步優(yōu)選為50μm以下、特別優(yōu)選為40μm以下。

感光性元件1可以卷成卷狀來進(jìn)行保管或使用。

本發(fā)明中，還可以將含有上述的本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物以及溶劑的涂布液涂布在具有觸摸面板用電極的基材上并進(jìn)行干燥來設(shè)置由感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層20。在該用途時(shí)，感光層也優(yōu)選滿足上述的膜厚、可見光線透射率、、cielab表色系中的b^*、吸光度的條件。

下面，對(duì)作為本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法的一個(gè)實(shí)施方式的觸摸面板用電極的保護(hù)膜的形成方法進(jìn)行說明。圖2是用于說明本發(fā)明的樹脂固化膜圖案的形成方法的一例的示意截面圖。

本實(shí)施方式的觸摸面板用電極的保護(hù)膜的形成方法具備：在具有觸摸面板用電極110及120的基材100上設(shè)置由上述的本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物構(gòu)成、并且厚度為10μm以下的感光層20的第1工序；通過包含紫外線的活性光線的照射使感光層20的規(guī)定部分固化的第2工序；以及在活性光線的照射后除去規(guī)定部分以外的感光層(感光層的未被照射活性光線的部分)、形成覆蓋電極的一部分或全部的由感光性樹脂組合物的固化膜圖案構(gòu)成的保護(hù)膜22的第3工序。這樣，可以獲得作為觸摸輸入片材的帶有保護(hù)膜的觸摸面板(觸摸傳感器)200。

作為本實(shí)施方式中使用的基材100，可以舉出通常作為觸摸面板(觸摸傳感器)用使用的玻璃板、塑料板、陶瓷板等基板。在該基板上設(shè)置作為形成樹脂固化膜作為保護(hù)膜的對(duì)象的觸摸面板用電極。作為電極，可以舉出ito、cu、al、mo等電極、tft等。另外，在基板上還可以在基板與電極之間設(shè)置有絕緣層。

圖2所示的具有觸摸面板用電極110及120的基材100例如可以按照以下步驟獲得。在pet膜等基材100上按照ito、cu的順序通過濺射形成金屬膜后，在金屬膜上粘貼蝕刻用感光性膜，形成所希望的抗蝕圖案，將不需要的cu用氯化鐵水溶液等蝕刻液除去后，剝離除去抗蝕圖案。

本實(shí)施方式的第1工序中，將本實(shí)施方式的感光性元件1的保護(hù)膜30除去后，一邊加熱感光性元件，一邊將感光層20壓接在基材100的設(shè)有觸摸面板用電極110及120的表面上，由此進(jìn)行轉(zhuǎn)印、層疊(參照?qǐng)D2的(a))。

作為壓接手段，可以舉出壓接輥。壓接輥還可以具備加熱手段以能夠?qū)嵤┘訜釅航印?/p>

為了充分確保感光層20與基材100的密合性、以及感光層20與觸摸面板用電極110及120的密合性、并且使感光層20的構(gòu)成成分難以發(fā)生熱固化或熱裂解，加熱壓接時(shí)的加熱溫度優(yōu)選設(shè)為10～180℃、更優(yōu)選設(shè)為20～160℃、進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為30～150℃。

另外，加熱壓接時(shí)的壓接壓力從充分確保感光層20與基材100的密合性、并且抑制基材100的變形的觀點(diǎn)出發(fā)，以線壓計(jì)優(yōu)選設(shè)為50～1×10⁵n/m、更優(yōu)選設(shè)為2.5×10²～5×10⁴n/m、進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為5×10²～4×10⁴n/m。

如果將感光性元件1如上述那樣進(jìn)行加熱，則無需對(duì)基材進(jìn)行預(yù)熱處理，但從進(jìn)一步提高感光層20與基材100的密合性的方面出發(fā)，優(yōu)選將基材100進(jìn)行預(yù)熱處理。此時(shí)的預(yù)熱溫度優(yōu)選設(shè)為30～180℃。

本實(shí)施方式中，可以不使用感光性元件而如下形成感光層20：制備含有本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物以及溶劑的涂布液，將其涂布在基材100的設(shè)有觸摸面板用電極110及120的表面上并進(jìn)行干燥，從而形成感光層20。

感光層20優(yōu)選滿足上述的膜厚、可見光線透射率、cielab表色系中的b^*、吸光度的條件。

本實(shí)施方式的第2工序中，對(duì)感光層20的規(guī)定部分隔著光掩模130以圖案狀照射活性光線l(參照?qǐng)D2的(b))。

照射活性光線時(shí)，在感光層20上的支撐膜10為透明時(shí)，可以直接照射活性光線，在該支撐膜10為不透明時(shí)將其除去后照射活性光線。從感光層20的保護(hù)的方面出發(fā)，優(yōu)選使用透明的聚合物膜作為支撐膜10、在殘留該聚合物膜的情況下透過其照射活性光線。

作為活性光線l的照射中使用的活性光線的光源，可以使用公知的活性光源，例如可以舉出碳弧燈、超高壓汞燈、高壓汞燈、氙燈，只要是有效放射紫外線的光源，則沒有特別限制。

此時(shí)的活性光線l的照射量通常為1×10²～1×10⁴j/m²，照射時(shí)也可以伴有加熱。該活性光線照射量低于1×10²j/m²時(shí)，有光固化的效果變得不充分的傾向，超過1×10⁴j/m²時(shí)，有感光層20變色的傾向。

本實(shí)施方式中，感光層20的365nm處的吸光度優(yōu)選為0.4以下、334nm處的吸光度優(yōu)選為0.4以上、活性光線的光源優(yōu)選為超高壓汞燈、355nm或364nm等處具有激發(fā)的uv激光器等的組合。

本實(shí)施方式的第3工序中，將活性光線照射后的感光層用顯影液進(jìn)行顯影，除去未被照射活性光線的部分(即感光層的規(guī)定部分以外的部分)，形成覆蓋電極的一部分或全部的厚度為10μm以下的由本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物的固化膜圖案構(gòu)成的保護(hù)膜22(參照?qǐng)D2的(c))。所形成的保護(hù)膜22可以具有規(guī)定的圖案。

此外，活性光線照射后，在感光層20上層疊有支撐膜10時(shí)將其除去后利用顯影液進(jìn)行除去未被照射活性光線的部分的顯影。

作為顯影方法，可以舉出使用堿水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑等公知的顯影液、通過噴霧、淋浴、搖動(dòng)浸漬、刷洗、擦洗等公知的方法進(jìn)行顯影以除去不需要的部分的方法等，其中，從環(huán)境、安全性的觀點(diǎn)出發(fā)，可以舉出使用堿水溶液作為優(yōu)選的方法。

作為堿水溶液的堿，可以舉出氫氧化堿(鋰、鈉或者鉀的氫氧化物等)、碳酸堿(鋰、鈉或者鉀的碳酸鹽或碳酸氫鹽等)、堿金屬磷酸鹽(磷酸鉀、磷酸鈉等)、堿金屬焦磷酸鹽(焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等)、氫氧化四甲基銨、三乙醇胺等，其中可以舉出氫氧化四甲基銨等作為優(yōu)選的堿。

另外，還優(yōu)選使用碳酸鈉的水溶液。例如優(yōu)選使用20～50℃的碳酸鈉的稀溶液(0.5～5質(zhì)量％水溶液)。

顯影溫度以及時(shí)間可以根據(jù)本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物的顯影性進(jìn)行調(diào)整。

另外，堿水溶液中可以混入表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量有機(jī)溶劑等。

另外，顯影后，可以將光固化后的感光層20上殘存的堿水溶液的堿利用有機(jī)酸、無機(jī)酸或者這些酸的水溶液、通過噴霧、搖動(dòng)浸漬、刷洗、擦洗等公知方法進(jìn)行酸處理(中和處理)。

還可以進(jìn)一步在酸處理(中和處理)后進(jìn)行實(shí)施水洗的工序。

顯影后，根據(jù)需要可以通過活性光線的照射(例如5×10³～2×10⁴j/m²)使固化膜圖案進(jìn)一步固化。此外，本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物在沒有顯影后的加熱工序的情況下也會(huì)顯示出對(duì)金屬的優(yōu)異密合性，但也可以根據(jù)需要代替顯影后的活性光線的照射而實(shí)施加熱處理(80～250℃)、或者與活性光線照射一起實(shí)施加熱處理(80～250℃)。

如上所述，本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物以及感光性元件優(yōu)選用于形成樹脂固化膜圖案。另外，本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物以及感光性元件優(yōu)選用于形成作為觸摸面板用電極的保護(hù)膜的樹脂固化膜圖案(作為樹脂固化膜圖案形成材料的用途)。關(guān)于感光性樹脂組合物的上述用途，可以使用與溶劑混合而成的涂布液來形成保護(hù)膜。

另外，本發(fā)明可以提供含有本發(fā)明的感光性樹脂組合物的樹脂固化膜圖案形成材料。該樹脂固化膜圖案形成材料可以含有上述的本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物，優(yōu)選是進(jìn)一步含有上述溶劑的涂布液。

接著，使用圖3、圖4以及圖5來說明本發(fā)明的保護(hù)膜的使用位置的一例。圖3為表示靜電電容式的觸摸面板的一例的示意俯視圖。圖3所示的觸摸面板在透明基板101的單面上具有用于檢測(cè)觸摸位置坐標(biāo)的觸摸畫面102，用于檢測(cè)該區(qū)域的靜電電容變化的透明電極103及透明電極104設(shè)置在基板101上。透明電極103及透明電極104分別檢測(cè)觸摸位置的x坐標(biāo)以及y坐標(biāo)。

透明基板101上設(shè)有用于將觸摸位置的檢測(cè)信號(hào)從透明電極103及透明電極104傳送到外部電路的引出配線105。另外，引出配線105與透明電極103及透明電極104通過設(shè)置在透明電極103及透明電極104上的連接電極106連接。另外，在引出配線105的與透明電極103及透明電極104的連接部的相反側(cè)的端部上設(shè)有與外部電路連接的連接端子107。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以優(yōu)選用于形成作為引出配線105、連接電極106以及連接端子107的保護(hù)膜122的樹脂固化膜圖案。此時(shí)，還可以同時(shí)保護(hù)位于傳感區(qū)域的電極。圖3中，通過保護(hù)膜122保護(hù)引出配線105、連接電極106、傳感區(qū)域的一部分電極以及連接端子107的一部分，但也可以適當(dāng)變更設(shè)置保護(hù)膜的位置。例如如圖4所示，可以按照保護(hù)整個(gè)觸摸畫面102的方式來設(shè)置保護(hù)膜123。

使用圖5來說明圖3所示的觸摸面板中透明電極與引出配線的連接部的截面結(jié)構(gòu)。圖5是圖3所示的c部分的沿v-v線的部分截面圖，是用于說明透明電極104與引出配線105的連接部的圖。如圖5(a)所示，透明電極104與引出配線105介由連接電極106電連接。如圖5(a)所示，透明電極104的一部分、以及引出配線105及連接電極106的全部被作為保護(hù)膜122的樹脂固化膜圖案覆蓋。同樣地，透明電極103與引出配線105介由連接電極106電連接。此外，如圖5的(b)所示，透明電極104與引出配線105還可以直接電連接。本發(fā)明的感光性樹脂組合物以及感光性元件優(yōu)選用于形成作為上述結(jié)構(gòu)部分的保護(hù)膜的樹脂固化膜圖案。

對(duì)本實(shí)施方式的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說明。首先，在設(shè)于基材100上的透明電極101上形成透明電極(x位置坐標(biāo))103。接著，形成透明電極(y位置坐標(biāo))104。透明電極103以及透明電極104的形成可以使用將形成在基材100上的透明電極層進(jìn)行蝕刻的方法等。

接著，在透明基板101的表面上形成用于與外部電路連接的引出配線105、連接該引出配線與透明電極103及透明電極104的連接電極106。引出配線105以及連接電極106可以在形成透明電極103及透明電極104之后形成，也可以在各透明電極形成時(shí)同時(shí)地形成。引出配線105以及連接電極106的形成可以在金屬濺射后使用蝕刻法等。引出配線105例如可以使用含有片狀的銀的導(dǎo)電糊劑材料、利用絲網(wǎng)印刷法在形成連接電極106的同時(shí)來形成。接著，形成用于連接引出配線105與外部電路的連接端子107。

按照覆蓋通過上述工序形成的透明電極103及透明電極104、引出配線105、連接電極106以及連接端子107的方式壓接本實(shí)施方式的感光性元件1，在上述電極上設(shè)置感光層20。接著，對(duì)轉(zhuǎn)印來的感光層20以所希望的形狀隔著光掩模以圖案狀照射活性光線l。照射活性光線l后進(jìn)行顯影，除去感光層20的規(guī)定部分以外的部分，由此形成由感光層20的規(guī)定部分的固化物構(gòu)成的保護(hù)膜122。這樣，可以制造具備保護(hù)膜122的觸摸面板。

實(shí)施例

以下舉出實(shí)施例來對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步具體地說明。但本發(fā)明并不限于以下的實(shí)施例。

[粘合劑聚合物溶液(a1)的制作]

在具備攪拌器、回流冷卻機(jī)、不活潑性氣體導(dǎo)入口以及溫度計(jì)的燒瓶內(nèi)裝入表1所示的(1)，在氮?dú)鈿夥障律郎刂?0℃，在將反應(yīng)溫度保持在80℃±2℃的同時(shí)用4小時(shí)的時(shí)間均勻地滴加表1所示的(2)。滴加(2)后在80℃±2℃下持續(xù)攪拌6小時(shí)，獲得重均分子量為約80,000的粘合劑聚合物的溶液(固體成分為45質(zhì)量％)(a1)。

表1

此外，重均分子量(mw)通過利用凝膠滲透色譜法(gpc)進(jìn)行測(cè)定、使用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯的標(biāo)準(zhǔn)曲線進(jìn)行換算而導(dǎo)出。以下示出gpc的條件。

gpc條件

泵：日立l-6000型(株式會(huì)社日立制作所制、產(chǎn)品名)

色譜柱：gelpackgl-r420、gelpackgl-r430、gelpackgl-r440(以上為日立化成工業(yè)株式會(huì)社制、產(chǎn)品名)

洗脫液：四氫呋喃

測(cè)定溫度：40℃

流量：2.05ml/分鐘

檢測(cè)器：日立l-3300型ri(株式會(huì)社日立制作所制、產(chǎn)品名)

[酸值的測(cè)定方法]

另外，酸值如下測(cè)定。首先，將粘合劑聚合物的溶液在130℃下加熱1小時(shí)，除去揮發(fā)成分，獲得固體成分。然后，精密稱取要測(cè)定酸值的聚合物1g后，在該聚合物中添加丙酮30g，將其均勻溶解。接著，在該溶液中適量添加作為指示劑的酚酞，使用0.1n的koh水溶液進(jìn)行滴定。然后，由下式算出酸值。

酸值＝0.1×vf×56.1/(wp×i/100)

式中，vf表示koh水溶液的滴定量(ml)，wp表示測(cè)得的樹脂溶液的重量(g)，i表示測(cè)得的樹脂溶液中的不揮發(fā)成分的比例(質(zhì)量％)。

(實(shí)施例1)

[含有感光性樹脂組合物的涂布液(v-1)的制作]

將表2所示的材料使用攪拌器混合15分鐘，制作用于形成保護(hù)膜的含有感光性樹脂組合物的涂布液(v-1)。

表2

*1：表示除去了溶劑后的粘合劑聚合物的質(zhì)量份。

[感光性元件(e-1)的制作]

作為支撐膜，使用厚度為50μm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜，將上述制作的含有感光性樹脂組合物以及溶劑的涂布液(v-1)利用缺角輪涂布機(jī)均勻地涂布在支撐膜上，用100℃的熱風(fēng)對(duì)流式干燥機(jī)干燥3分鐘以除去溶劑，形成由感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層(感光性樹脂組合物層)。所得感光層的厚度為2.5μm。

接著，在所得的感光層上進(jìn)一步貼合25μm厚度的聚乙烯膜作為覆膜，制作了用于形成保護(hù)膜的感光性元件(e-1)。

[固化膜的透射率的測(cè)定]

一邊剝離所得感光性元件(e-1)的作為覆膜的聚乙烯膜，一邊按照感光層與厚度為1mm的玻璃基板接觸的方式使用層壓機(jī)(日立化成工業(yè)株式會(huì)社制、商品名hlm-3000型)、在輥溫度為120℃、基板傳送速度為1m/分鐘、壓接壓力(滾筒壓力)為4×10⁵pa(由于使用了厚度為1mm、長10cm×寬10cm的基板，因此此時(shí)的線壓為9.8×10³n/m)的條件下進(jìn)行層壓，制作了在玻璃基板上層疊有感光層以及支撐膜的層疊體。

接著，對(duì)所得的層疊體的感光層用平行光線曝光機(jī)(orc制作所株式會(huì)社制、exm1201)由感光層側(cè)上方以曝光量5×10²j/m²(i線(波長為365nm)下的測(cè)定值)照射紫外線后，除去支撐膜，獲得具有厚度為2.5μm的感光層的固化膜圖案的透射率測(cè)定用試樣。

接著，將所得的試樣用株式會(huì)社日立hightechnologies制的紫外可見分光光度計(jì)(u-3310)在測(cè)定波長區(qū)域400～700nm下測(cè)定可見光線透射率。關(guān)于所得保護(hù)膜的透射率，波長700nm處為97％、波長550nm處為96％、波長400nm處為94％，400～700nm下的透射率的最小值為94％，確保了良好的透射率。

[固化膜的b^*的測(cè)定]

一邊剝離所得感光性元件(e-1)的聚乙烯膜，一邊按照感光層與厚度為0.7mm的玻璃基板接觸的方式使用層壓機(jī)(日立化成工業(yè)株式會(huì)社制、商品名hlm-3000型)、在輥溫度為120℃、基板傳送速度為1m/分鐘、壓接壓力(滾筒壓力)為4×10⁵pa(由于使用了厚度為1mm、長10cm×寬10cm的基板，因此此時(shí)的線壓為9.8×10³n/m)的條件下進(jìn)行層壓，制作了在玻璃基板上層疊有感光層以及支撐膜的基板。

接著，對(duì)所得的感光層用平行光線曝光機(jī)(orc制作所株式會(huì)社制、exm1201)由感光層側(cè)上方以曝光量5×10²j/m²(i線(波長為365nm)下的測(cè)定值)照射紫外線后，除去支撐膜，再由感光層側(cè)上方以曝光量1×10⁴j/m²(i線(波長為365nm)下的測(cè)定值)照射紫外線，獲得具有厚度為2.5μm的感光層的固化膜圖案的b^*測(cè)定用試樣。

接著，將所得試樣使用konicaminolta株式會(huì)社制的分光測(cè)色計(jì)(cm-5)、在光源設(shè)定為d65、視野角為2°下測(cè)定cielab表色系中的b^*。

固化膜的b^*為0.45，確認(rèn)了具有良好的b^*。

[感光層的吸光度的測(cè)定]

使用uv分光光度計(jì)(株式會(huì)社日hightechnologies制、分光光度計(jì)u-3310)進(jìn)行測(cè)定。測(cè)定是通過在測(cè)定側(cè)放置感光性元件、在參照側(cè)放置支撐膜、根據(jù)吸光度模式在300～700nm間連續(xù)測(cè)定、讀取334nm、365nm處的值來進(jìn)行。

所得吸光度的值是334nm處為0.44、365nm處為0.14。

[感光層的感光特性]

一邊剝離感光性元件的聚乙烯膜，一邊使用層壓機(jī)(日立化成工業(yè)株式會(huì)社制、商品名hlm-3000型)、在輥溫度為120℃、基板傳送速度為1m/分鐘、壓接壓力(滾筒壓力)為4×10⁵pa的條件下層壓到pet膜上[厚度為125μm、東洋紡織制、商品名a4300]?；钚怨饩€的照射通過設(shè)置在具有高壓汞燈的曝光機(jī)(orc株式會(huì)社制)exm-1201的半透明pet膜(mylarpet)上、隔著其濾光器照射規(guī)定量的活性光線來進(jìn)行。從活性光線的照射后在室溫下放置10分鐘后，除去聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯，用30℃的1％碳酸鈉水溶液將未被照射活性光線的部分的感光性樹脂組合物噴霧顯影60秒。噴霧顯影后，使用株式會(huì)社orc制作所制紫外線照射裝置，進(jìn)行1j/cm²的紫外線照射。評(píng)價(jià)中的感度設(shè)定為利用日立化成工業(yè)株式會(huì)社制的41段階段式曝光表用于獲得6/21段的必要量的曝光量。另外，密合具有線寬/間距寬為6/6～47/47(單位：μm)的配線圖案的pet制光掩模，利用光學(xué)顯微鏡觀察可獲得6/21段的曝光量下的圖案，由作為線與間距殘留的線寬(μm)求出析像度(μm)。

(實(shí)施例2～5、比較例1～6)

除了使用含有表2及表3所示的感光性樹脂組合物的涂布液以外，與實(shí)施例1同樣地制作感光性元件，并對(duì)透射率的測(cè)定、b^*、吸光度、感光特性進(jìn)行了評(píng)價(jià)。另外，表2及表3中的數(shù)值表示質(zhì)量份。

表3

*1：表示除去了溶劑后的粘合劑聚合物的質(zhì)量份。

表2及表3的成分的記號(hào)表示以下的意思。

(a)成分

(a1)：單體配合比為甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸乙酯＝12/58/30(質(zhì)量比)的共聚物的丙二醇單甲基醚/甲苯溶液、重均分子量為65,000、酸值為78mgkoh/g

(b)成分

pet-30：季戊四醇三丙烯酸酯(日本化藥株式會(huì)社制)

(c)成分

irgacureoxe01：1,2-辛二酮,1-[(4-苯基硫代)苯基-,2-(o-苯甲?；?](basf株式會(huì)社制)

irgacureoxe02：乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9h-咔唑-3-基]-,1-(o-乙?；?(basf株式會(huì)社制)

lucirintpo：2,4,6-三甲基苯甲?；?二苯基-膦氧化物(basf株式會(huì)社制)

其它的光聚合引發(fā)劑

irgacure184：1-羥基-環(huán)己基-苯基-酮(basf株式會(huì)社制)

irgacure651：2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮(basf株式會(huì)社制)

irgacure369：2-芐基-2-二甲基氨基-1-(嗎啉代苯基)-丁酮-1(basf株式會(huì)社制)

irgacure907：2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮(basf株式會(huì)社制)

n-1717：1,7-雙(9-吖啶基)庚烷(株式會(huì)社adeka制)

eab：4,4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮(保土ヶ谷化學(xué)株式會(huì)社制)

(d)成分

sb501：乙基-2-氰基-3,3-二苯基丙烯酸酯(shipro化成株式會(huì)社制)

sb502：2’-乙基己基-2-氰基-3,3-二苯基丙烯酸酯(shipro化成株式會(huì)社制)

其它成分

antagew-500：2,2’-亞甲基-雙(4-乙基-6-叔丁基苯酚)(川口化學(xué)株式會(huì)社制)

sh30：八甲基環(huán)四硅氧烷(dowcorningtoray株式會(huì)社制)

甲基乙基酮：東燃化學(xué)株式會(huì)社制

如下述表4及表6所示，在使用了肟酯化合物或者膦氧化物化合物作為光聚合引發(fā)劑的實(shí)施例1、2以及5中，在2.5μm的膜厚下兼顧了析像度和透明性。另外，并用了紫外線吸收劑的實(shí)施例3以及4中進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了高析像化。另一方面，比較例1～6中析像度的降低較大。另外，比較例3、4中雖然析像度良好但膜著色成黃色。

(實(shí)施例6～10以及比較例5～12)

另外，對(duì)使上述實(shí)施例1～5以及比較例1～6的感光層的膜厚為5μm的情況(實(shí)施例6～10以及比較例5～12)與上述同樣地進(jìn)行了評(píng)價(jià)。但是，將上述[感光層的感光特性]中的必要量的曝光量設(shè)為利用日立化成工業(yè)株式會(huì)社制的41段階段式曝光表用于獲得10/41段的曝光量。將結(jié)果示于下述表5及表7。

表4

表5

表6

表7

符號(hào)說明

1感光性元件、10支撐膜、20感光層、22保護(hù)膜、30保護(hù)膜、100基材、101透明基板、102觸摸畫面、103透明電極(x位置坐標(biāo))、104透明電極(y位置坐標(biāo))、105引出配線、106連接電極、107連接端子、110、120觸摸面板用電極、122、123保護(hù)膜、130光掩模、200觸摸面板。