技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種寬光譜極紫外多層膜的魯棒性膜系設(shè)計方法，屬于極紫外多層膜技術(shù)領(lǐng)域。解決了極紫外多層膜設(shè)計中僅考慮光學(xué)性能，不考慮膜厚隨機誤差對光學(xué)性能影響的問題。本發(fā)明將實數(shù)編碼的非支配排序遺傳算法應(yīng)用于寬光譜極紫外多層膜的設(shè)計之中，將多層膜的寬光譜光學(xué)性能和膜系的主動魯棒性同時作為優(yōu)化的兩個目標(biāo)，通過進(jìn)化獲得接近Pareto前沿的非支配解集。接近Pareto前沿的非支配解集一方面反映了多層膜寬光譜光學(xué)性能和膜系魯棒性的制約關(guān)系；另一方面，非支配解集提供了一系列光學(xué)性能和膜系魯棒性不同組合的多層膜膜系。本發(fā)明的設(shè)計方法有助于提高復(fù)雜非周期極紫外多層膜的鍍膜成品率，降低鍍膜風(fēng)險。

技術(shù)研發(fā)人員：匡尚奇;謝耀
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.19
技術(shù)公布日：2017.11.03