哈氏合金電解拋光工藝的制作方法
【專利說明】
[0001]技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于拋光工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種哈氏合金電解拋光工藝。
[0002]【背景技術(shù)】:
哈氏合金電解拋光工藝，有其特別的重要性。IC裝備用哈氏合金電解拋光要求:工件表面發(fā)暗無明顯金屬光澤。工件表面容易形成腐蝕點(diǎn)或花斑，影響工件功能。哈氏合金電解拋光制程與其他不銹鋼工件電解拋光不同，一般電解拋光工藝處理哈氏合金工件，會導(dǎo)致工件表面發(fā)暗無明顯光亮度且容易形成腐蝕點(diǎn)及花斑，無法滿足客戶要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述存在的技術(shù)問題，解決哈氏合金工件電解拋光過程中，工件表面發(fā)暗無明顯光亮度且容易形成腐蝕點(diǎn)及花斑等問題，本發(fā)明的目的是提供一種哈氏合金電解拋光工藝。它通過調(diào)整前處理方式及控制過程得到良好的電解拋光效果。
[0004]本發(fā)明的目的是通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
本發(fā)明一種哈氏合金電解拋光工藝，包括如下步驟:
(I)對哈氏合金電解拋光工件進(jìn)行干燥潔凈預(yù)處理，保證工件表面無多余水分；
(2 )對干燥潔凈工件直接進(jìn)行電解拋光處理:將吹干后工件用鈦合金夾具，放入電拋槽后，立刻通電，通電方式為恒壓直流，電解拋光，電流密度控制在5-7A/dm2;
(3)將電拋后工件放入38-42°C的熱水中清洗2min后吹干。
[0005]進(jìn)一步地，所述預(yù)處理是將工件用水洗去除表面油污，使用壓縮空氣吹干工件表面。
[0006]進(jìn)一步地，所述電解拋光溶液為Isopol 140電解拋光藥水，過程工藝參數(shù)為:溫度:50-65°C，電壓:8-12V,電解拋光 60_120s。
[0007]進(jìn)一步地，所述電拋槽使用鈦絲做陰極，極板面積為零件面積的1/3-1/5。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明運(yùn)用通用的電解拋光藥液，通過調(diào)整前處理方式及控制過程得到良好的電解拋光效果，哈氏合金工件電解拋光表面外觀良好，表面光亮度增加，具有明顯金屬光澤，無花斑腐蝕等問題，并且有效保證加工質(zhì)量。
[0009]【具體實(shí)施方式】:
下面實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0010]實(shí)施例1:本發(fā)明哈氏合金電解拋光工藝，具體步驟如下:
(I)對哈氏合金電解拋光工件進(jìn)行干燥潔凈預(yù)處理，保證工件表面無多余水分；所述預(yù)處理是將工件用水洗去除表面油污，使用壓縮空氣吹干工件表面，以減少表面花斑。
[0011](2)對干燥潔凈工件直接進(jìn)行電解拋光處理:將吹干后工件用鈦合金夾具，放入電拋槽后，立刻通電，避免自然狀態(tài)下工件在藥水中腐蝕；通電方式為恒壓直流，電流密度控制在5-7A/dm2;所述電解拋光溶液為Isopol 140電解拋光藥水，過程工藝參數(shù)為:溫度:50-65°C,電壓:8-12V，電解拋光:60_120s。所述電拋槽使用鈦絲做陰極，極板面積為零件面積的1/3-1/5。
[0012](3)將電拋后工件放入38_42°C的熱水中清洗2min后吹干。
[0013]實(shí)施例2:本例與實(shí)施例1不同的是:本例中工藝參數(shù)為:電流密度控制在5A/dm2;所述電解拋光過程工藝參數(shù)為:溫度:50°C，電壓:8V，電解拋光:60s。所述電拋槽使用鈦絲做陰極，極板面積為零件面積的1/3。將電拋后工件放入38°C的熱水中清洗2min后吹干。
[0014]實(shí)施例3:本例與實(shí)施例1不同的是:本例中工藝參數(shù)為:電流密度控制在7A/dm2;所述電解拋光過程工藝參數(shù)為:溫度:65°C，電壓:12V，電解拋光:120s。所述電拋槽使用鈦絲做陰極，極板面積為零件面積的1/5。將電拋后工件放入42°C的熱水中清洗2min后吹干。
[0015]實(shí)施例4:本例與實(shí)施例1不同的是:本例中工藝參數(shù)為:電流密度控制在6A/dm2;所述電解拋光過程工藝參數(shù)為:溫度:60°C，電壓:10V，電解拋光:100s。所述電拋槽使用鈦絲做陰極，極板面積為零件面積的1/4。將電拋后工件放入40°C的熱水中清洗2min后吹干。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種哈氏合金電解拋光工藝，其特征在于:包括如下步驟: (I)對哈氏合金電解拋光工件進(jìn)行干燥潔凈預(yù)處理，保證工件表面無多余水分； (2 )對干燥潔凈工件直接進(jìn)行電解拋光處理:將吹干后工件用鈦合金夾具，放入電拋槽后，立刻通電，通電方式為恒壓直流，電解拋光，電流密度控制在5-7A/dm2; (3)將電拋后工件放入38-42°C的熱水中清洗2min后吹干。
2.如權(quán)利要求1所述哈氏合金電解拋光工藝，其特征在于:所述預(yù)處理是將工件用水洗去除表面油污，使用壓縮空氣吹干工件表面。
3.如權(quán)利要求1所述哈氏合金電解拋光工藝，其特征在于:所述電解拋光溶液為Isopol 140電解拋光藥水，過程工藝參數(shù)為:溫度:50-65°C，電壓:8_12V，電解拋光60-120so
4.按照權(quán)利要求1所述的哈氏合金電解拋光工藝，其特征在于:所述電拋槽使用鈦絲做陰極，極板面積為零件面積的I/3-1/5。
【專利摘要】一種哈氏合金電解拋光工藝，屬于拋光工藝技術(shù)領(lǐng)域。具體步驟為：對哈氏合金電解拋光工件進(jìn)行干燥潔凈預(yù)處理，保證工件表面無多余水分；對干燥潔凈工件直接進(jìn)行電解拋光處理：將吹干后工件用鈦合金夾具上掛，放入電拋槽后，立刻通電，通電方式為恒壓直流，電解拋光60-120s，電流密度控制在5-7A/dm2；將電拋后工件放入38-42℃的熱水中清洗2min后吹干。本發(fā)明運(yùn)用通用的電解拋光藥液，通過調(diào)整前處理方式及控制過程，使哈氏合金工件電解拋光表面外觀良好，表面光亮度增加有明顯金屬光澤無花斑腐蝕，并有效保證加工質(zhì)量。
【IPC分類】C25F3-22
【公開號】CN104532338
【申請?zhí)枴緾N201410754930
【發(fā)明人】張少杰
【申請人】沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年12月11日