本發(fā)明涉及觸摸輸入傳感器的制造方法以及可用于該制造方法的感光性導(dǎo)電膜。

背景技術(shù)：

作為例如多功能手機(jī)(智能手機(jī))、便攜式游戲機(jī)等電子設(shè)備所包括的輸入器件，采用有觸摸面板等觸摸輸入傳感器。例如在特開(kāi)2013-156655號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)中所公開(kāi)的，觸摸輸入傳感器包括透明基板〔基板20〕、以及X坐標(biāo)檢測(cè)用和Y坐標(biāo)檢測(cè)用的透明電極〔透明電極103、104〕。專利文獻(xiàn)1的觸摸輸入傳感器經(jīng)以下步驟而制造得到：即、在基板上層疊感光性樹(shù)脂層和導(dǎo)電膜，對(duì)該層疊體進(jìn)行圖案曝光之后，在氧的存在下對(duì)未固化部分進(jìn)行曝光，之后進(jìn)行顯影，從而形成由導(dǎo)電圖案構(gòu)成的透明電極。

在專利文獻(xiàn)1的制造方法中，經(jīng)過(guò)上述的“層疊→圖案曝光→氧存在下的曝光→顯影”各工序而形成X坐標(biāo)檢測(cè)用的透明電極，之后，經(jīng)過(guò)同樣的工序，形成Y坐標(biāo)檢測(cè)用的透明電極(參照專利文獻(xiàn)1的0125段)。但是，在這樣的制造方法中存在缺乏實(shí)用性的問(wèn)題，比如共需要進(jìn)行四次曝光工序，增加工序數(shù)量，并且，在進(jìn)行圖案曝光后需要去除基材膜，所以對(duì)裝置的限制較多等。并且，有時(shí)不易進(jìn)行X坐標(biāo)檢測(cè)用的透明電極與Y坐標(biāo)檢測(cè)用的透明電極的對(duì)位。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：特開(kāi)2013-156655號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題

尋求一種能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行制造、且能夠容易地進(jìn)行一對(duì)透明電極彼此的對(duì)位的觸摸輸入傳感器的制造方法。并且，尋求一種適合這樣的制造方法的感光性導(dǎo)電膜。

用于解決技術(shù)問(wèn)題的方案

根據(jù)本公開(kāi)的觸摸輸入傳感器的制造方法，包括：層疊工序，在透明基板的兩面分別從所述透明基板一側(cè)起依次層疊中間樹(shù)脂層和透明導(dǎo)電膜，所述中間樹(shù)脂層包含感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑；圖案曝光工序，以分別覆蓋兩面?zhèn)鹊乃鲋虚g樹(shù)脂層和所述透明導(dǎo)電膜的方式配置掩模，并利用紫外線從兩面?zhèn)冗M(jìn)行圖案曝光；以及透明電極形成工序，進(jìn)行顯影，從而在所述透明基板的兩面形成由所述透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的透明電極。

根據(jù)本公開(kāi)的感光性導(dǎo)電膜包括：基材膜；透明導(dǎo)電膜，配置于所述基材膜上；以及帶抗紫外線功能的感光層，配置于所述透明導(dǎo)電膜上，并包含感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑。

根據(jù)本公開(kāi)的技術(shù)的其它特征及優(yōu)點(diǎn)通過(guò)下面的說(shuō)明將變得更為明確。

附圖說(shuō)明

圖1是根據(jù)實(shí)施方式的觸摸輸入傳感器的平面圖。

圖2是圖1的II-II截面圖。

圖3是示出感光性導(dǎo)電膜的截面圖。

圖4是示出被覆工序的示意圖。

圖5是示出圖案曝光工序的示意圖。

圖6是示出結(jié)束圖案曝光工序時(shí)的狀態(tài)的示意圖。

圖7是示出顯影工序的示意圖。

圖8是圖7中的局部放大圖。

圖9是示出整面曝光工序的示意圖。

圖10是示出結(jié)束整面曝光工序時(shí)的狀態(tài)的示意圖。

圖11是示出感光性導(dǎo)電膜以及觸摸輸入傳感器的其它方式的截面圖。

圖12是示出感光性導(dǎo)電膜的其它方式的截面圖。

圖13是示出感光性導(dǎo)電膜的其它方式的截面圖。

具體實(shí)施方式

下面，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。但是，本發(fā)明的范圍并不限定于下面記載的實(shí)施方式。并且，在下面的說(shuō)明中，作用機(jī)制的說(shuō)明中包含一部分推測(cè)，本發(fā)明的范圍不因該推測(cè)的正確與否而受限定。

需要注意的是，在下面的說(shuō)明所參照的附圖中，出于簡(jiǎn)化圖示、便于理解等方面，示出的縮尺、上下左右的尺寸比例等有時(shí)會(huì)與實(shí)際的產(chǎn)品有所不同。對(duì)于預(yù)定存在多個(gè)的各部件，在下面的說(shuō)明中提及并在對(duì)應(yīng)的附圖中示出的具體數(shù)量只是一種單純的示例，當(dāng)然還可以是除此之外的數(shù)量。

根據(jù)本實(shí)施方式的觸摸輸入傳感器1是包括在例如多功能手機(jī)(智能手機(jī))、便攜式游戲機(jī)等電子設(shè)備中并起到輸入器件的功能的觸摸面板等。在這些電子設(shè)備中，觸摸輸入傳感器1與由例如液晶顯示面板、有機(jī)EL(electroluminescence：電致發(fā)光)顯示面板等構(gòu)成的顯示裝置重疊使用。下面，詳細(xì)說(shuō)明根據(jù)本實(shí)施方式的觸摸輸入傳感器1的制造方法。

如圖1及圖2所示，觸摸輸入傳感器1包括透明基板10、承載層12、22、透明電極14、24以及走線16、26。第一承載層12、第一透明電極14以及第一走線16設(shè)于透明基板10的一面(第一面10a)側(cè)，第二承載層22、第二透明電極24以及第二走線26設(shè)于透明基板10的另一面(第二面10b)側(cè)。在透明基板10的第一面10a側(cè)，從透明基板10一側(cè)起依次層疊有第一承載層12以及第一透明電極14，在透明基板10的第二面10b側(cè)，從透明基板10一側(cè)起依次層疊有第二承載層22以及第二透明電極24。本實(shí)施方式的觸摸輸入傳感器1在一張透明基板10的兩面具有透明電極14、24，從而可以實(shí)現(xiàn)傳感器整體的薄型化。

透明基板10是用于設(shè)置第一透明電極14以及第二透明電極24的作為基底的部件。優(yōu)選地，透明基板10采用除了具有出色的透明性之外還具有出色的柔軟性以及絕緣性等的材料構(gòu)成。透明基板10例如可由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、丙烯酸類樹(shù)脂等通用樹(shù)脂；聚縮醛類樹(shù)脂、聚碳酸酯類樹(shù)脂等通用工程樹(shù)脂；聚砜類樹(shù)脂、聚苯硫醚類樹(shù)脂等超級(jí)工程樹(shù)脂等構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，透明基板10由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜構(gòu)成。需要說(shuō)明的是，透明基板10還可以由玻璃基板等構(gòu)成。透明基板10的厚度可以是例如25μm～100μm。

第一承載層12配置在透明基板10的第一面10a。在第一承載層12上配置有多個(gè)(本例中為五個(gè))第一透明電極14。即、在透明基板10的第一面10a上隔著第一承載層12設(shè)有多個(gè)第一透明電極14。如圖1所示，將沿X軸方向排列配置的多個(gè)(本例中為五個(gè))菱形電極在X軸方向上相互連接而分別形成多個(gè)第一透明電極14。各個(gè)第一透明電極14整體上形成為沿X軸方向延伸。多個(gè)第一透明電極14以沿Y軸方向排列的方式配置成相互平行。

第二承載層22配置在透明基板10的第二面10b。在第二承載層22上配置有多個(gè)(本例中為四個(gè))第二透明電極24。即、在透明基板10的第二面10b上隔著第二承載層22設(shè)有多個(gè)第二透明電極24。如圖1所示，將沿與X軸方向交叉(本例中為正交)的Y軸方向排列配置的多個(gè)(本例中為六個(gè))菱形電極在Y軸方向上相互連接而分別形成多個(gè)第二透明電極24。各個(gè)第二透明電極24整體上形成為沿Y軸方向延伸。多個(gè)第二透明電極24以沿X軸方向排列的方式配置成相互平行。

構(gòu)成第一透明電極14的多個(gè)菱形電極和構(gòu)成第二透明電極24的多個(gè)菱形電極在俯視觀察時(shí)(在與觸摸輸入傳感器1的延伸面正交的方向觀察時(shí)的狀態(tài))配置為相輔相成的位置關(guān)系。換言之，在未配置構(gòu)成第一透明電極14的菱形電極的區(qū)域配置有構(gòu)成第二透明電極24的菱形電極，在未配置構(gòu)成第二透明電極24的菱形電極的區(qū)域配置有構(gòu)成第一透明電極14的菱形電極。另外，多個(gè)第一透明電極14和多個(gè)第二透明電極24配置為它們?nèi)w覆蓋顯示裝置的顯示區(qū)域的大致整個(gè)面。

優(yōu)選地，第一承載層12以及第二承載層22采用具有出色的透明性以及電絕緣性的樹(shù)脂材料構(gòu)成。并且，優(yōu)選地，第一承載層12以及第二承載層22采用具有適當(dāng)?shù)挠捕纫约皺C(jī)械強(qiáng)度的樹(shù)脂材料構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，承載層12、22以后述的感光性樹(shù)脂(光固化性樹(shù)脂)為主體而構(gòu)成。

第一透明電極14以及第二透明電極24采用除了具有出色的透明性之外還具有出色的導(dǎo)電性的材料構(gòu)成。透明電極14、24例如通過(guò)由氧化錫、氧化銦、氧化鋅及ITO(Indium Tin Oxide：銦錫氧化物)等金屬氧化物、金、銀、銅、鎳及它們的合金等形成的金屬納米線、碳納米管、石墨烯、金屬網(wǎng)、導(dǎo)電性聚合物等而構(gòu)成。透明電極14、24是采用這些材料構(gòu)成的透明導(dǎo)電層。在本實(shí)施方式中，透明電極14、24由銀納米線構(gòu)成。

第一透明電極14與第二透明電極24的靜電電容隨著被檢測(cè)物(用戶的手指、定位筆等導(dǎo)體)的接近/離開(kāi)而發(fā)生變化。需要說(shuō)明的是，“靜電電容”是包括自電容(self capacitance)和互電容(mutual capacitance)雙方的概念。換言之，隨著被檢測(cè)物的接近/離開(kāi)，第一透明電極14的自電容或者與第二透明電極24之間的互電容發(fā)生變化，隨著被檢測(cè)物的接近/離開(kāi)，第二透明電極24的自電容或者與第一透明電極14之間的互電容發(fā)生變化。

第一透明電極14各自與第一走線16連接。第二透明電極24各自與第二走線26連接。走線16、26由金、銀、銅以及鎳等金屬、或者碳等導(dǎo)電漿料構(gòu)成。在走線16、26的與透明電極14、24相反一側(cè)的端部設(shè)有連接端子28。透明電極14、24經(jīng)由走線16、26以及連接端子28而連接于控制部(未圖示)。通過(guò)控制部檢測(cè)隨透明電極14、24中產(chǎn)生的靜電電容的變化而流動(dòng)的電流，從而能夠檢測(cè)用戶的觸摸操作以及觸摸位置。

觸摸輸入傳感器1的制造方法包括準(zhǔn)備工序、被覆工序、圖案曝光工序、顯影工序以及整面曝光工序。并且，在本實(shí)施方式中，還包括失活處理工序以及配線形成工序。準(zhǔn)備工序、被覆工序、圖案曝光工序、顯影工序、失活處理工序、整面曝光工序以及配線形成工序按照該記載順序而執(zhí)行。

準(zhǔn)備工序是準(zhǔn)備在本實(shí)施方式的制造方法中使用的中間材料的工序。在準(zhǔn)備工序中，準(zhǔn)備透明基板10以及作為承載層12、22和透明電極14、24的基礎(chǔ)的感光性導(dǎo)電膜3。透明基板10例如以在其兩面分別貼附有保護(hù)膜的狀態(tài)而提供(未圖示)。優(yōu)選地，透明基板10例如采用在450nm～650nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的最小透光率在80％以上(優(yōu)選地，在85％以上)的基板。這樣，能夠容易實(shí)現(xiàn)觸摸面板顯示器等的高亮度化。

如圖3所示，感光性導(dǎo)電膜3構(gòu)成為基材膜31、透明導(dǎo)電膜32與中間樹(shù)脂層33的層疊體。感光性導(dǎo)電膜3包括基材膜31、配置在基材膜31上的透明導(dǎo)電膜32以及配置在透明導(dǎo)電膜32上的中間樹(shù)脂層33。并且，在本實(shí)施方式中，在中間樹(shù)脂層33上配置有隔離片39。

基材膜31可采用聚合物膜構(gòu)成?；哪?1采用具有出色的耐熱性以及耐溶劑性的材料構(gòu)成?；哪?1例如可以由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚碳酸酯膜等構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，基材膜31由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜構(gòu)成。基材膜31的厚度例如可以是5μm～300μm。

透明導(dǎo)電膜32是作為第一透明電極14以及第二透明電極24的基礎(chǔ)的層。透明導(dǎo)電膜32例如可以是通過(guò)由氧化錫、氧化銦、氧化鋅及ITO等金屬氧化物、金、銀、銅、鎳及它們的合金等形成的金屬納米線、碳納米管、石墨烯、金屬網(wǎng)、導(dǎo)電性聚合物等而構(gòu)成的透明導(dǎo)電層。在本實(shí)施方式中，采用了銀納米線的薄膜層作為透明導(dǎo)電膜32。銀納米線是具有納米單位(例如幾nm～幾百nm)的外徑的細(xì)小的銀線。銀納米線非常細(xì)，用人眼無(wú)法識(shí)別，所以銀納米線的薄膜層具有出色的透明性。透明導(dǎo)電膜32也可以構(gòu)成為具有呈平面分布的銀納米線彼此接觸而成的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。這樣，盡可能抑制透明導(dǎo)電膜32的厚度的同時(shí)，還能夠使面方向的導(dǎo)電性為各向同性。并且，也能夠正好應(yīng)對(duì)具有可撓性的觸摸輸入傳感器1的制造。例如可通過(guò)真空蒸鍍法、濺射法、離子電鍍法、CVD法以及輥式涂布法等，在基材膜31的整面上形成透明導(dǎo)電膜32。透明導(dǎo)電膜32的厚度例如可以是5nm～5000nm。

中間樹(shù)脂層33是作為第一承載層12以及第二承載層22的基礎(chǔ)的層。在本實(shí)施方式中，中間樹(shù)脂層33構(gòu)成為包含感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑的樹(shù)脂層。

感光性樹(shù)脂只要具有因活性光線(具體地，紫外線)而產(chǎn)生化學(xué)變化或者結(jié)構(gòu)變化的性質(zhì)，可以采用負(fù)型和正型中的任一類型。在本實(shí)施方式中，采用負(fù)型的感光性樹(shù)脂。構(gòu)成負(fù)型的感光性樹(shù)脂的感光性樹(shù)脂組合物例如含有粘合劑樹(shù)脂、具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物以及光聚合引發(fā)劑。

作為粘合劑樹(shù)脂，例如可以使用丙烯酸樹(shù)脂、苯乙烯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、酰胺樹(shù)脂、酰胺環(huán)氧樹(shù)脂、醇酸樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂、酯樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂和(甲基)丙烯酸反應(yīng)而得到的環(huán)氧丙烯酸酯樹(shù)脂、通過(guò)環(huán)氧丙烯酸酯樹(shù)脂和酸酐反應(yīng)而得到的酸改性環(huán)氧丙烯酸酯樹(shù)脂等。既可以分別單獨(dú)地使用這些樹(shù)脂，也可以組合使用它們中的兩種以上。

作為具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物，例如可以使用將α，β-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而得到的化合物、將α，β-不飽和羧酸與含縮水甘油基化合物反應(yīng)而得到的化合物、具有氨酯鍵的(甲基)丙烯酸酯化合物等氨酯單體、鄰苯二甲酸類化合物、(甲基)丙烯酸乙酯等。既可以分別單獨(dú)地使用這些化合物，也可以組合使用它們中的兩種以上。

作為光聚合引發(fā)劑，例如可以使用芳族酮、安息香醚化合物、安息香化合物、肟酯化合物、芐基衍生物、2,4,5-三苯基咪唑二聚體(トリアリールイミダゾール二量體)、吖啶衍生物、N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生物、香豆素類化合物、惡唑類化合物等自由基聚合引發(fā)劑等。既可以分別單獨(dú)地使用這些引發(fā)劑，也可以組合使用它們中的兩種以上。

感光性樹(shù)脂組合物也可以根據(jù)需要而進(jìn)一步含有各種添加劑。作為添加劑，可舉例示出塑化劑、填充劑、消泡劑、阻燃劑、穩(wěn)定劑、密合性賦予劑、流平劑、剝離促進(jìn)劑、抗氧化劑、香料、顯像劑、熱交聯(lián)劑等。既可以分別單獨(dú)地含有這些添加劑，也可以組合含有它們中的兩種以上。

關(guān)于紫外線吸收劑，如果是吸收作為活性光線的紫外線并能量轉(zhuǎn)換為熱、紅外線等而釋放的話，所有的化合物均可以使用。從透明性的角度來(lái)看，優(yōu)選有機(jī)類紫外線吸收劑。作為這樣的紫外線吸收劑，例如可以使用苯并三唑類紫外線吸收劑、二苯基甲酮類紫外線吸收劑、苯甲酸鹽類紫外線吸收劑、水楊酸類紫外線吸收劑、三嗪類紫外線吸收劑以及氰基丙烯酸酯類紫外線吸收劑。既可以分別單獨(dú)地使用這些吸收劑，也可以組合使用它們中的兩種以上。并且，還可以使用在一個(gè)分子中組合包含它們中的兩種以上的基本結(jié)構(gòu)的物質(zhì)。

對(duì)于紫外線吸收劑的添加量并不特別限定，以重量基準(zhǔn)計(jì)，相對(duì)于中間樹(shù)脂層33全體，例如可以為1％以上10％以下。當(dāng)紫外線吸收劑的添加量低于1％時(shí)，有可能無(wú)法發(fā)揮充分的抗紫外線功能。相反，當(dāng)紫外線吸收劑的添加量超過(guò)10％時(shí)，有時(shí)會(huì)降低觸摸輸入傳感器1的透明性。更優(yōu)選的紫外線吸收劑的添加量例如在3％以上7％以下。

在中間樹(shù)脂層33中，感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑既可以以分離狀態(tài)存在，也可以以混合狀態(tài)存在。本實(shí)施方式中，在中間樹(shù)脂層33中，紫外線吸收劑分散保持于由感光性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的感光性樹(shù)脂層34中。換言之，在本實(shí)施方式中，由含有粘合劑樹(shù)脂、具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑以及紫外線吸收劑的具抗紫外線功能的感光性樹(shù)脂組合物來(lái)構(gòu)成中間樹(shù)脂層33。在本實(shí)施方式中，紫外線吸收劑在感光性樹(shù)脂層34中大致均勻地分散。在本實(shí)施方式中，中間樹(shù)脂層33相當(dāng)于“帶抗紫外線功能的感光層”。

例如通過(guò)將溶解于溶劑中的上述樹(shù)脂組合物的溶液涂布在形成于基材膜31上的透明導(dǎo)電膜32上之后進(jìn)行干燥而能形成中間樹(shù)脂層33。作為溶劑，例如可以使用甲醇、乙醇、丙酮、甲基乙基酮、甲苯、N,N-二甲基甲酰胺、丙二醇單甲醚等。既可以分別單獨(dú)地使用這些溶劑，也可以是它們中的兩種以上的混合溶劑。并且，涂布例如可以采用輥涂法、逗號(hào)式涂布法(comma coating)、凹版涂布法、氣刀涂布法、狹縫涂布法、棒涂法、噴涂法等公知的方法來(lái)進(jìn)行。干燥例如可以采用熱風(fēng)對(duì)流式干燥機(jī)等來(lái)進(jìn)行。中間樹(shù)脂層33的厚度可以設(shè)為在干燥后達(dá)到例如1μm～200μm。

隔離片39是為了容易處理感光性導(dǎo)電膜3而設(shè)置的。隔離片39可以采用與上述的基材膜31相同的材料(例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯等)來(lái)構(gòu)成。

以基材膜31、透明導(dǎo)電膜32和中間樹(shù)脂層33的層疊體為主體而構(gòu)成的感光性導(dǎo)電膜3還被稱為干膜抗蝕劑(Dry Film Resist：DFR)。作為感光性導(dǎo)電膜3，優(yōu)選使用例如在450nm～650nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的最小透光率在80％以上(優(yōu)選地，在85％以上)的物質(zhì)。這樣，容易實(shí)現(xiàn)觸摸面板顯示器等中的高亮度化。在本實(shí)施方式中，針對(duì)一張透明基板10準(zhǔn)備兩張這樣的感光性導(dǎo)電膜3。

被覆(被著)工序是被覆在準(zhǔn)備工序中準(zhǔn)備的一張透明基板10和兩張感光性導(dǎo)電膜3的工序。在被覆工序中，剝離兩面?zhèn)鹊谋Ｗo(hù)膜而露出透明基板10的第一面10a及第二面10b。并且，分別從兩張感光性導(dǎo)電膜3剝離隔離片39而露出中間樹(shù)脂層33。之后，如圖4所示，從露出的中間樹(shù)脂層33一側(cè)分別將兩張感光性導(dǎo)電膜3被覆于透明基板10的露出面。這時(shí)，例如邊加熱至80℃～120℃的溫度，邊進(jìn)行壓接(熱層壓)，從而將兩張感光性導(dǎo)電膜3被覆于透明基板10的兩面。由此，在透明基板10的兩面，分別從透明基板10側(cè)起依次層疊有包含感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑的中間樹(shù)脂層33、透明導(dǎo)電膜32以及基材膜31。需要說(shuō)明的是，也可以剝離層疊方向兩端的兩張基材膜31。

圖案曝光工序是對(duì)被覆工序后的層疊體進(jìn)行第一次曝光的工序。如圖5所示，在圖案曝光工序中，以分別覆蓋兩面?zhèn)鹊闹虚g樹(shù)脂層33以及透明導(dǎo)電膜32的方式配置掩模41、42，以從兩面?zhèn)冗M(jìn)行圖案曝光。即、在第一面10a側(cè)的基材膜31的外側(cè)配置第一掩模(第一光掩模)41，并在第二面10b側(cè)的基材膜31的外側(cè)配置第二掩模(第二光掩模)42，在該狀態(tài)下，從兩面?zhèn)冗M(jìn)行曝光。第一掩模41具有與第一透明電極14的俯視觀察時(shí)的整體形狀(參照?qǐng)D1)對(duì)應(yīng)的第一透明電極形成圖案。第二掩模42具有與第二透明電極24的俯視觀察時(shí)的整體形狀對(duì)應(yīng)的第二透明電極形成圖案。在如本實(shí)施方式這樣包含在中間樹(shù)脂層33中的感光性樹(shù)脂層34為負(fù)型時(shí)，第一透明電極形成圖案以及第二透明電極形成圖案是形成在對(duì)應(yīng)的掩模41、42上的窗部(透光部)。

利用設(shè)于曝光裝置的掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)(包括位置傳感器以及位置調(diào)整機(jī)構(gòu))可以容易且高精度地進(jìn)行第一掩模41和第二掩模42的對(duì)位。具體地，例如分別預(yù)先在第一掩模41以及第二掩模42上形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，例如通過(guò)攝像頭等位置傳感器檢測(cè)兩個(gè)掩模41、42的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記彼此的相對(duì)位置而得到相對(duì)位置信息。然后，基于得到的相對(duì)位置信息，位置調(diào)整機(jī)構(gòu)使兩個(gè)掩模41、42相對(duì)移動(dòng)，以使成對(duì)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記彼此的中心對(duì)準(zhǔn)并重疊，以此來(lái)進(jìn)行第一掩模41與第二掩模42的對(duì)位即可。

對(duì)被覆工序后的層疊體定位及固定第一掩模41以及第二掩模42之后，從兩面?zhèn)日丈渥鳛榛钚怨饩€的紫外線L。紫外線L可用紫外線照射燈進(jìn)行照射。既可以向兩面同時(shí)地照射紫外線L，也可以一個(gè)面一個(gè)面地依次進(jìn)行照射。在本實(shí)施方式中，為了縮短循環(huán)時(shí)間，對(duì)兩面同時(shí)進(jìn)行曝光。在考慮到保持于感光性樹(shù)脂層34中的紫外線吸收劑帶來(lái)的影響等的基礎(chǔ)上，可根據(jù)感光性樹(shù)脂層34的感光特性來(lái)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定紫外線L的曝光強(qiáng)度及曝光時(shí)間。在本實(shí)施方式中，由于不剝離基材膜31而保持配置于透明導(dǎo)電膜32的表面的狀態(tài)下進(jìn)行曝光，因此，可以在空氣中進(jìn)行圖案曝光工序。在已剝離了基材膜31的情況下，在無(wú)氧存在下(例如在不活潑氣體存在下或真空中)進(jìn)行圖案曝光工序即可。

在圖案曝光工序中，在透明基板10的第一面10a側(cè)，通過(guò)第一掩模41將紫外線L照射為圖像狀，從而按與第一透明電極14的俯視時(shí)形狀相應(yīng)的圖案對(duì)中間樹(shù)脂層33(感光性樹(shù)脂層34)進(jìn)行曝光。由此，使感光性樹(shù)脂層34中曝光于紫外線L的部分對(duì)應(yīng)于第一透明電極14的俯視時(shí)形狀而固化，并使除此之外的部分維持在未固化狀態(tài)(參照?qǐng)D6)。需要說(shuō)明的是，在圖6～圖10中用彼此不同的影線示出感光性樹(shù)脂層34中的已固化的部分(固化部分34C)和未固化的部分(未固化部分34U)。這時(shí)，在本實(shí)施方式中，由于中間樹(shù)脂層33包含感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑，所以從第一面10a側(cè)照射的紫外線L使第一面10a側(cè)的感光性樹(shù)脂層34固化，而另一方面又被紫外線吸收劑吸收，從而幾乎不會(huì)透過(guò)至透明基板10的第二面10b側(cè)。因此，設(shè)于第二面10b側(cè)的中間樹(shù)脂層33幾乎不會(huì)因從第一面10a側(cè)照射的紫外線L的作用而固化。

另外，在透明基板10的第二面10b側(cè)，通過(guò)第二掩模42將紫外線L照射為圖像狀，從而按與第二透明電極24的俯視時(shí)形狀相應(yīng)的圖案對(duì)中間樹(shù)脂層33(感光性樹(shù)脂層34)進(jìn)行曝光。由此，使感光性樹(shù)脂層34中曝光于紫外線L的部分對(duì)應(yīng)于第二透明電極24的俯視時(shí)形狀而固化，并使除此之外的部分維持在未固化狀態(tài)。這時(shí)，從第二面10b側(cè)照射的紫外線L使第二面10b側(cè)的感光性樹(shù)脂層34固化，而另一方面又被紫外線吸收劑吸收，從而幾乎不會(huì)透過(guò)至透明基板10的第一面10a側(cè)。因此，設(shè)于第一面10a側(cè)的中間樹(shù)脂層33幾乎不會(huì)因從第二面10b側(cè)照射的紫外線L的作用而固化。

這樣，能夠抑制第一透明電極14的圖案形成和第二透明電極24的圖案形成相互影響。因此，能夠在兩面同時(shí)進(jìn)行曝光的同時(shí)抑制曝光干擾，能夠同時(shí)且恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行第一透明電極14的圖案形成和第二透明電極24的圖案形成。經(jīng)圖案化處理后的第一透明電極14和經(jīng)圖案化處理后的第二透明電極24的位置精度也隨著第一掩模41與第二掩模42的定位精度而成為高精度。需要說(shuō)明的是，在圖案曝光工序中，感光性樹(shù)脂層34被固化至在透明基板10上能夠隔著該感光性樹(shù)脂層34承載透明導(dǎo)電膜32的程度即可，即使不完全固化也可。為此，即使在構(gòu)成中間樹(shù)脂層33的感光性樹(shù)脂層34中分散保持有紫外線吸收劑，由于能夠得到必要的硬度，所以也不成問(wèn)題。

顯影工序是對(duì)圖案曝光工序后的層疊體進(jìn)行顯影處理的工序。如圖7所示，在顯影工序中，對(duì)中間樹(shù)脂層33(感光性樹(shù)脂層34)進(jìn)行顯影，從而在透明基板10的兩面分別形成由經(jīng)圖案化處理后的透明導(dǎo)電膜32構(gòu)成的第一透明電極14和第二透明電極24(也參照?qǐng)D10)?？梢栽趧冸x了兩側(cè)的基材膜31的狀態(tài)下例如通過(guò)用到了顯影液的濕法顯影來(lái)進(jìn)行顯影工序。具體地，首先，準(zhǔn)備符合感光性樹(shù)脂層34的化學(xué)性質(zhì)的顯影液。例如在進(jìn)行堿性顯影時(shí)，作為顯影液，可以使用碳酸鈉溶液、氫氧化鉀溶液、堿性乙氨基乙醇、四甲基氫氧化銨、二乙醇胺等。并且，例如在進(jìn)行有機(jī)顯影時(shí)，作為顯影液，可以使用N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙?；?2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺等極性溶劑。這些極性溶劑既可以單獨(dú)使用，也可以與水、甲醇、乙醇等其它溶劑組合使用。并且，也可以通過(guò)例如噴霧法、浸漬法、漿板法(paddle method)等進(jìn)行顯影。

在顯影工序中，至少局部地去除在圖案曝光工序結(jié)束后也仍然保持未固化狀態(tài)而殘留的感光性樹(shù)脂層34的未固化部分34U。在本實(shí)施方式中，去除感光性樹(shù)脂層34的未固化部分34U中的至少表層部分(透明導(dǎo)電膜32側(cè)的部分)。在此，本發(fā)明的發(fā)明人們研究發(fā)現(xiàn)，有可能未完全去除感光性樹(shù)脂層34的未固化部分34U中的深層部分(透明基板10側(cè)的部分)。在本實(shí)施方式中，由于在構(gòu)成中間樹(shù)脂層33的感光性樹(shù)脂層34中分散保持有紫外線吸收劑，所以在圖案曝光工序中，因分散保持的紫外線吸收劑的影響，與表層側(cè)相比，深層側(cè)中的感光性樹(shù)脂層34的固化容易變得不充分。尤其是在感光性樹(shù)脂層34中的曝光區(qū)域的邊緣部，因完全沒(méi)有從被掩模41、42的遮光部覆蓋的區(qū)域側(cè)的重復(fù)曝光，所以與曝光區(qū)域的中央部相比，深層側(cè)的固化易于變得不充分。其結(jié)果，例如圖8中夸張示出地，感光性樹(shù)脂層34的固化部分34C容易形成為倒錐臺(tái)狀，感光性樹(shù)脂層34的固化部分34C與未固化部分34U的關(guān)系容易變成底切(undercut)形。為此，在顯影工序中，不易去除感光性樹(shù)脂層34的未固化部分34U中的深層部分，有可能殘留。

為了在后續(xù)工序中完全固化如上述這樣有時(shí)會(huì)殘留的未固化部分34U，本實(shí)施方式的制造方法追加包括失活處理工序。失活處理工序是使包含在中間樹(shù)脂層33中的紫外線吸收劑失活的工序。在本實(shí)施方式中，通過(guò)加熱處理來(lái)執(zhí)行失活處理工序。在失活處理工序中，將顯影工序后的層疊體整體加熱至比熱層壓溫度更高的溫度。例如，加熱至紫外線吸收劑的熱分解開(kāi)始溫度(例如250℃～350℃)以上，從而使包含在中間樹(shù)脂層33中的(在本實(shí)施方式中是分散保持在感光性樹(shù)脂層34中的)紫外線吸收劑熱失活。這樣，使紫外線吸收劑的抗紫外線功能鈍化。

整面曝光工序是對(duì)失活處理工序后的層疊體進(jìn)行第二次曝光(后曝光)的工序。如圖9所示，在整面曝光工序中，不使用掩模地對(duì)兩面?zhèn)鹊闹虚g樹(shù)脂層33的整面照射紫外線L。由于在失活處理工序中已經(jīng)使紫外線吸收劑的抗紫外線功能鈍化，所以在整面曝光工序中，既可以從兩面?zhèn)日丈渥贤饩€L，也可以僅從單面?zhèn)日丈渥贤饩€L。在本實(shí)施方式中，為了提高均勻性以及縮短循環(huán)時(shí)間，對(duì)兩面同時(shí)進(jìn)行曝光。通過(guò)該整面曝光工序，包括在顯影工序中有時(shí)會(huì)殘留的未固化部分34U在內(nèi)地使整個(gè)感光性樹(shù)脂層34完全固化。固化的感光性樹(shù)脂層34成為承載層12、22(參照?qǐng)D10)。在還考慮到最終產(chǎn)品中對(duì)承載層12、22要求的硬度等的基礎(chǔ)上，可根據(jù)感光性樹(shù)脂層34的感光特性適當(dāng)設(shè)定紫外線L的曝光強(qiáng)度以及曝光時(shí)間。

在本實(shí)施方式的制造方法中，積極利用在顯影工序中有時(shí)會(huì)殘留的未固化部分34U(包括紫外線吸收劑)，經(jīng)失活處理工序而使得該部分可全面固化，從而在之后的整面曝光工序中將透明電極14、24與非電極部分之間的高低差異抑制為較小。因此，通過(guò)簡(jiǎn)單的方法即可抑制顯現(xiàn)第一透明電極14以及第二透明電極24的圖案。從而，能夠?qū)⒏糁|摸輸入傳感器1的顯示裝置的目視確認(rèn)性維持在良好水平。并且，當(dāng)在觸摸輸入傳感器1中設(shè)有保護(hù)層等其它功能層時(shí)，能夠抑制在貼合觸摸輸入傳感器1與功能層時(shí)混入氣泡(產(chǎn)生氣泡滯留)。

配線形成工序是形成分別從透明電極14、24延伸出的走線16、26的工序。在配線形成工序中，使用例如金、銀、銅以及鎳等金屬或者碳等導(dǎo)電漿料，通過(guò)印刷法形成走線16、26。作為印刷法，可以采用例如絲網(wǎng)印刷法、噴墨印刷法等。采用絲網(wǎng)印刷法時(shí)，在涂布導(dǎo)電漿料后，通過(guò)激光照射等進(jìn)行圖案形成即可。采用噴墨印刷法時(shí)，由于可以進(jìn)行高位置精度的印刷，所以能夠直接形成走線16、26。在配線形成工序中，還可以進(jìn)一步形成覆蓋所形成的走線16、26進(jìn)行保護(hù)的配線保護(hù)層。

〔其它實(shí)施方式〕

對(duì)觸摸輸入傳感器的制造方法以及感光性導(dǎo)電膜的其它實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。需要注意的是，在不沖突的情況下，下面的各個(gè)實(shí)施方式中公開(kāi)的構(gòu)成也可以與其它實(shí)施方式中公開(kāi)的構(gòu)成組合使用。

(1)上述實(shí)施方式中以感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑在混合狀態(tài)下存在于中間樹(shù)脂層33中的構(gòu)成為例進(jìn)行了說(shuō)明。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式并不限定于此。例如，如圖11所示，感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑也可以在分離狀態(tài)下存在于中間樹(shù)脂層33中。圖示的例子中，在中間樹(shù)脂層33中，感光性樹(shù)脂層34和紫外線吸收劑層37以感光性樹(shù)脂層34位于透明導(dǎo)電膜32側(cè)的狀態(tài)層疊。即使使用這樣構(gòu)成的感光性導(dǎo)電膜3，通過(guò)兩面同時(shí)曝光，也可以同時(shí)且恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行第一透明電極14的圖案形成和第二透明電極24的圖案形成。需要說(shuō)明的是，如圖11的例子所示這樣，紫外線吸收劑層37也可以是非感光性紫外線吸收劑層36。非感光性紫外線吸收劑層36以紫外線吸收劑分散于非感光性樹(shù)脂層中的狀態(tài)而構(gòu)成。作為非感光性樹(shù)脂，例如可以例示熱塑性樹(shù)脂以及壓敏粘合劑(Pressure Sensitive Adhesive：PSA)等。如果考慮到處理方便性，感光性導(dǎo)電膜3需要具有一定的厚度，所以通過(guò)以分離狀態(tài)具有紫外線吸收劑層37，從而能夠使感光性樹(shù)脂層34的厚度變薄相當(dāng)于紫外線吸收劑層37的厚度的量。其結(jié)果，能夠縮小經(jīng)圖案化處理后的透明電極14、24的高低差異。需要說(shuō)明的是，作為非感光性紫外線吸收劑層36，如果使用在熱塑性樹(shù)脂層中分散有紫外線吸收劑的層，則具有在進(jìn)行被覆工序中的熱層壓時(shí)容易使紫外線吸收劑層37粘接于透明基板10的優(yōu)點(diǎn)。

作為熱塑性樹(shù)脂層，例如可以使用乙烯-醋酸乙烯共聚物類樹(shù)脂、聚酰胺類樹(shù)脂、聚氨酯類樹(shù)脂、聚酯類樹(shù)脂、烯烴類樹(shù)脂以及丙烯酸類樹(shù)脂。既可以分別單獨(dú)地使用這些樹(shù)脂，也可以組合它們中的兩種以上進(jìn)行使用。作為壓敏粘合劑，例如可以使用丙烯酸類粘合劑、橡膠類粘合劑、乙烯基烷基醚類粘合劑、有機(jī)硅類粘合劑、聚酯類粘合劑、聚酰胺類粘合劑、聚氨酯類粘合劑、氟類粘合劑、環(huán)氧類粘合劑以及聚醚類粘合劑等。既可以分別單獨(dú)地使用這些粘合劑，也可以組合它們中的兩種以上進(jìn)行使用。

(2)或者，在上述(1)的例子中，例如圖12所示，中間樹(shù)脂層33除了紫外線吸收劑層37之外還可以包括非感光性樹(shù)脂層38，該非感光性樹(shù)脂層38相對(duì)于感光性樹(shù)脂層34層疊于與透明導(dǎo)電膜32相反的一側(cè)。這時(shí)，如果考慮透明基板10與非感光性樹(shù)脂層38的粘接性，優(yōu)選地，按照感光性樹(shù)脂層34、紫外線吸收劑層37和非感光性樹(shù)脂層38的順序進(jìn)行層疊。優(yōu)選地，非感光性樹(shù)脂層38是例如具有隨著加熱到玻璃化轉(zhuǎn)變溫度或者熔點(diǎn)以上而軟化、且隨著冷卻到低于玻璃化轉(zhuǎn)變溫度或者低于熔點(diǎn)而固化的特性的樹(shù)脂層(熱塑性樹(shù)脂層)。這時(shí)，具有在進(jìn)行被覆工序中的熱層壓時(shí)容易使非感光性樹(shù)脂層38粘接于透明基板10的優(yōu)點(diǎn)。并且，如果考慮處理方便性，感光性導(dǎo)電膜3需要具有一定的厚度，所以通過(guò)以分離狀態(tài)具有紫外線吸收劑層37以及非感光性樹(shù)脂層38，從而能夠使感光性樹(shù)脂層34的厚度變薄相當(dāng)于紫外線吸收劑層37以及非感光性樹(shù)脂層38的厚度的量。其結(jié)果，能夠縮小經(jīng)圖案化處理后的透明電極14、24的高低差異。并且，非感光性樹(shù)脂層38也可以是由例如具有加壓時(shí)固化而發(fā)揮附著力的特性的壓敏粘接劑構(gòu)成的層。這時(shí)，也能夠確保與透明基板10的粘接性，并能通過(guò)感光性樹(shù)脂層34的薄層化而縮小經(jīng)圖案化處理后的透明電極14、24的高低差異。

(3)上述實(shí)施方式中以在中間樹(shù)脂層33中，紫外線吸收劑大致均勻地分散保持于感光性樹(shù)脂層34中的構(gòu)成為例進(jìn)行了說(shuō)明。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式并不限定于此。例如圖13所示，在中間樹(shù)脂層33中，紫外線吸收劑(圖中作為小點(diǎn)示意性示出)也可以以具有濃度梯度的狀態(tài)分散保持于感光性樹(shù)脂層34中。如圖示的例子所示，在感光性導(dǎo)電膜3中，紫外線吸收劑以隨著從透明導(dǎo)電膜32側(cè)往隔離片39一側(cè)(被覆工序后的透明基板10側(cè))而濃度變高的狀態(tài)分散保持。

(4)上述實(shí)施方式中說(shuō)明了采用包含負(fù)型感光性樹(shù)脂的感光性導(dǎo)電膜3的例子。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式并不限定于此。例如，也可以采用包含正型感光性樹(shù)脂的感光性導(dǎo)電膜3。這時(shí)，第一掩模41以及第二掩模42形成為具有與正型的感光特性相應(yīng)的電極形成圖案。

(5)上述實(shí)施方式中以為了在透明基板10的兩面分別層疊中間樹(shù)脂層33和透明導(dǎo)電膜32而使用兩張感光性導(dǎo)電膜3進(jìn)行被覆的構(gòu)成為例進(jìn)行了說(shuō)明。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式并不限定于此。例如，也可以在透明基板10的兩面分別以液相層疊透明導(dǎo)電膜32的構(gòu)成材料以及中間樹(shù)脂層33的構(gòu)成材料。

(6)上述實(shí)施方式中也可以使用具有紫外線吸收功能的透明基板10。這樣，與包含在中間樹(shù)脂層33中的紫外線吸收劑協(xié)作，能夠更可靠地抑制曝光干擾。作為帶抗紫外線功能的透明基板10，可以使用在構(gòu)成透明基板10的材料中含有上述實(shí)施方式中說(shuō)明的紫外線吸收劑的基板。

(7)上述實(shí)施方式中以第一透明電極14以及第二透明電極24具有相互連接多個(gè)菱形電極而成的形狀的構(gòu)成為例進(jìn)行了說(shuō)明。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式并不限定于此。透明電極14、24例如既可以形成為條紋狀(具有一定寬度的直線狀)，也可以形成為波浪狀或之字形。根據(jù)透明電極14、24的俯視時(shí)形狀確定第一掩模41以及第二掩模42的窗部(透光部)的形狀。

(8)上述實(shí)施方式中以通過(guò)加熱處理使包含在中間樹(shù)脂層33中的紫外線吸收劑失活的構(gòu)成為例進(jìn)行了說(shuō)明。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式并不限定于此。例如，也可以通過(guò)高能量UV處理使紫外線吸收劑失活，在該高能量UV處理中照射波長(zhǎng)比在圖案曝光工序中照射的紫外線L更短的紫外線。

(9)上述實(shí)施方式中說(shuō)明了在顯影工序中使用顯影液進(jìn)行濕法顯影的例子。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式并不限定于此。例如，也可以進(jìn)行通過(guò)氧等離子體等與顯影氣體接觸來(lái)進(jìn)行顯影處理的干法顯影。

(10)應(yīng)該可以理解，關(guān)于其它構(gòu)成，本說(shuō)明書(shū)中公開(kāi)的實(shí)施方式在所有方面均只是單純的示例。因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員可在不脫離本公開(kāi)宗旨的范圍內(nèi)適當(dāng)進(jìn)行各種變更。

〔實(shí)施方式的概要〕

總而言之，優(yōu)選地，根據(jù)本公開(kāi)的觸摸輸入傳感器的制造方法包括以下各構(gòu)成。

[1]

一種觸摸輸入傳感器(1)的制造方法，包括：層疊工序，在透明基板(10)的兩面，分別從所述透明基板(10)側(cè)起依次層疊中間樹(shù)脂層(33)和透明導(dǎo)電膜(32)，其中，所述中間樹(shù)脂層(33)包含感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑；圖案曝光工序，以分別覆蓋兩面?zhèn)鹊乃鲋虚g樹(shù)脂層(33)和所述透明導(dǎo)電膜(32)的方式配置掩模(41、42)，并從兩面?zhèn)冗M(jìn)行利用紫外線(L)的圖案曝光；以及透明電極形成工序，進(jìn)行顯影，在所述透明基板(10)的兩面形成由所述透明導(dǎo)電膜(32)構(gòu)成的透明電極(14、24)。

根據(jù)該構(gòu)成，在透明基板的兩面分別層疊中間樹(shù)脂層和透明導(dǎo)電膜之后進(jìn)行圖案曝光。在進(jìn)行該圖案曝光時(shí)，由于能夠相對(duì)容易且高精度地進(jìn)行兩個(gè)掩模的對(duì)位本身，因此，也能夠容易地進(jìn)行顯影后在透明基板的兩面分開(kāi)得到的一對(duì)透明電極彼此的對(duì)位。

并且，在上述構(gòu)成中，設(shè)于透明基板的兩面的包含感光性樹(shù)脂的中間樹(shù)脂層還包含紫外線吸收劑，因此，能夠抑制一對(duì)透明電極的一方的圖案形成與另一方的圖案形成相互影響。換言之，用于在透明基板的一面(下面稱為“第一面”)側(cè)進(jìn)行一透明電極的圖案形成的紫外線被紫外線吸收劑吸收而幾乎不會(huì)透過(guò)至另一面(下面稱為“第二面”)側(cè)。同樣，用于在透明基板的第二面?zhèn)冗M(jìn)行另一透明電極的圖案形成的紫外線被紫外線吸收劑吸收而幾乎不會(huì)透過(guò)至第一面?zhèn)取Ｒ虼?，能夠分別適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行在透明基板的兩面分開(kāi)得到的一對(duì)透明電極的圖案形成。曝光工序數(shù)量少，只要能從兩面?zhèn)冗M(jìn)行曝光，對(duì)裝置幾乎沒(méi)有限制，所以能夠簡(jiǎn)單地形成一對(duì)透明電極，能夠簡(jiǎn)化觸摸輸入傳感器的制造。

[2]

在所述中間樹(shù)脂層(33)中，所述紫外線吸收劑分散保持于感光性樹(shù)脂層(34)中。

根據(jù)該構(gòu)成，通過(guò)將紫外線吸收劑分散在感光性樹(shù)脂層中，從而能夠容易地形成包含感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑的中間樹(shù)脂層。并且，在進(jìn)行圖案曝光時(shí)，由于分散保持的紫外線吸收劑的影響，與表層側(cè)(透明導(dǎo)電膜側(cè))相比，深層側(cè)(透明基板側(cè))的感光性樹(shù)脂層的固化不充分，容易產(chǎn)生底切形狀。為此，在之后的顯影時(shí)，僅去除透明導(dǎo)電膜和感光性樹(shù)脂層中的表層側(cè)部分，能夠?qū)⑼该麟姌O與非電極部分之間的高低差異抑制得較小。因此，能夠抑制顯現(xiàn)透明電極的圖案。

[3]

還包括：在顯影后使包含在所述中間樹(shù)脂層(33)中的所述紫外線吸收劑失活的工序；以及在使所述紫外線吸收劑失活之后對(duì)兩面?zhèn)鹊乃鲋虚g樹(shù)脂層(33)進(jìn)行整面曝光的工序。

根據(jù)該構(gòu)成，在圖案曝光及顯影之后使紫外線吸收劑失活，之后，對(duì)兩面?zhèn)鹊闹虚g樹(shù)脂層進(jìn)行整面曝光，從而不會(huì)受到紫外線吸收劑的影響，能夠?qū)⒅虚g樹(shù)脂層中的經(jīng)圖案化處理后的部分以及未固化的部分完全固化。因此，即使在使用構(gòu)成為在感光性樹(shù)脂層中分散保持有紫外線吸收劑的中間樹(shù)脂層時(shí)，也能夠恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行整體的完全固化，能夠得到具有合適性能的觸摸輸入傳感器。

[4]

所述紫外線吸收劑以具有隨著從所述透明導(dǎo)電膜(32)側(cè)往所述透明基板(10)側(cè)而濃度變高的濃度梯度的狀態(tài)分散保持于所述感光性樹(shù)脂層(34)中。

根據(jù)該構(gòu)成，在進(jìn)行圖案曝光時(shí)，易于使中間樹(shù)脂層中的透明導(dǎo)電膜側(cè)的大部分適當(dāng)?shù)毓袒?，并且能夠有效地抑制紫外線透過(guò)至相對(duì)于透明基板而言的相反側(cè)。

[5]

在所述中間樹(shù)脂層(33)中，感光性樹(shù)脂層(34)和紫外線吸收劑層(37)以所述感光性樹(shù)脂層(34)位于所述透明導(dǎo)電膜(32)側(cè)的狀態(tài)層疊。

根據(jù)該構(gòu)成，通過(guò)單獨(dú)地形成并層疊感光性樹(shù)脂層和紫外線吸收劑層，從而能夠容易地形成包含感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑的中間樹(shù)脂層。由于以感光性樹(shù)脂層位于透明導(dǎo)電膜側(cè)、而紫外線吸收劑層位于透明基板側(cè)的狀態(tài)進(jìn)行層疊，所以在進(jìn)行圖案曝光時(shí)，能夠使感光性樹(shù)脂層適當(dāng)?shù)毓袒?，并能夠有效地抑制紫外線透過(guò)至相對(duì)于透明基板而言的相反側(cè)。并且，當(dāng)中間樹(shù)脂層的厚度為一定時(shí)，能夠根據(jù)紫外線吸收劑層的厚度將感光性樹(shù)脂層的厚度抑制在較薄的厚度。因此，在圖案曝光工序以及之后的顯影之后，能夠?qū)⑼该麟姌O與非電極部分之間的高低差異抑制得較小。因此，能夠抑制顯現(xiàn)透明電極的圖案。

[6]

所述中間樹(shù)脂層(33)還包括非感光性樹(shù)脂層(38)，非感光性樹(shù)脂層(38)相對(duì)于所述紫外線吸收劑層(37)層疊在與所述感光性樹(shù)脂層(34)相反的一側(cè)。

根據(jù)該構(gòu)成，當(dāng)中間樹(shù)脂層的厚度為一定時(shí)，能夠根據(jù)非感光性樹(shù)脂層以及紫外線吸收劑層的厚度將感光性樹(shù)脂層的厚度進(jìn)一步抑制在較薄的厚度。因此，能夠進(jìn)一步將透明電極與非電極部分之間的高低差異抑制得較小。因此，能夠有效地抑制顯現(xiàn)透明電極的圖案。

并且，優(yōu)選地，根據(jù)本公開(kāi)的感光性導(dǎo)電膜具有以下的各構(gòu)成。

[7]

一種感光性導(dǎo)電膜(3)，包括：基材膜(31)；配置于所述基材膜(31)上的透明導(dǎo)電膜(32)；以及配置于所述透明導(dǎo)電膜(32)上并包含感光性樹(shù)脂和紫外線吸收劑的帶抗紫外線功能的感光層(33)。

當(dāng)使用兩張這樣構(gòu)成的感光性導(dǎo)電膜，并以帶抗紫外線功能的感光層分別與透明基板的兩面接觸的方式進(jìn)行被覆時(shí)，在透明基板的兩面分別形成從透明基板側(cè)起帶抗紫外線功能的感光層和透明導(dǎo)電膜依次層疊的層疊體。通過(guò)以分別覆蓋該層疊體中的兩面?zhèn)鹊膸Э棺贤饩€功能的感光層以及透明導(dǎo)電膜的方式配置掩模，并從兩面?zhèn)冗M(jìn)行圖案曝光，從而能夠容易地進(jìn)行顯影之后在透明基板的兩面分開(kāi)得到的一對(duì)透明電極之間的對(duì)位。

并且，在上述構(gòu)成中，設(shè)在透明基板的兩面的包含感光性樹(shù)脂的帶抗紫外線功能的感光層進(jìn)一步包含紫外線吸收劑，所以能夠抑制一對(duì)透明電極中的一方的圖案形成與另一方的圖案形成相互影響。因此，能夠分別適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行在透明基板的兩面分開(kāi)得到的一對(duì)透明電極的圖案形成。曝光工序數(shù)量少，只要能從兩面?zhèn)冗M(jìn)行曝光，對(duì)裝置幾乎沒(méi)有限制，所以能夠簡(jiǎn)單地形成一對(duì)透明電極，能夠簡(jiǎn)化觸摸輸入傳感器的制造。

因此，可以提供在能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行制造、且能容易地進(jìn)行一對(duì)透明電極彼此的對(duì)位的觸摸輸入傳感器的制造方法中適用的感光性導(dǎo)電膜。

需要說(shuō)明的是，優(yōu)選地，感光性導(dǎo)電膜也具有上述的針對(duì)觸摸輸入傳感器的制造方法所說(shuō)明的優(yōu)選的構(gòu)成([2]、[4]～[6])。這時(shí)，將上述[4]的構(gòu)成中的“所述透明基板(10)側(cè)”改換為“與所述基材膜(31)相反的一側(cè)”來(lái)考慮即可。

根據(jù)本公開(kāi)的觸摸輸入傳感器的制造方法以及感光性導(dǎo)電膜只要能夠起到上述各效果中的至少一種效果即可。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

根據(jù)本公開(kāi)的技術(shù)例如可以在制造觸摸輸入傳感器時(shí)用于形成一對(duì)透明電極。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1 觸摸輸入傳感器

3 感光性導(dǎo)電膜

10 透明基板

14 第一透明電極(透明電極)

24 第二透明電極(透明電極)

31 基材膜

32 透明導(dǎo)電膜

33 中間樹(shù)脂層(帶抗紫外線功能的感光層)

34 感光性樹(shù)脂層

36 熱塑性紫外線吸收劑層(紫外線吸收劑層，非感光性樹(shù)脂層)

37 紫外線吸收劑層

38 熱塑性樹(shù)脂層(非感光性樹(shù)脂層)

41 第一掩模(掩模)

42 第二掩模(掩模)

L 紫外線